KR101500633B1 - 자외선 led 패키지의 윈도우 접착 장치 및 방법 - Google Patents

자외선 led 패키지의 윈도우 접착 장치 및 방법 Download PDF

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윤창훈
전시욱
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Abstract

본 발명은 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착과정에 천공과 용접 없이 LED 패키지에 윈도우를 안정적으로 접착하여 제조공정과 생산 효율이 개선되도록 한 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를위해, 본 발명은 LED 패키지를 수납하는 챔버; 상기 챔버에 수납된 LED 패키지의 윈도우가 접착되도록 가열 온도를 입력하는 입력부; 상기 입력부에서 입력된 가열 온도에 따라 가열부로 온도 제어신호를 출력하고, 상기 가열 온도의 변화에 따라 상기 챔버 내부의 압력이 가변되도록 가압부로 압력 제어신호를 출력하는 제어부; 상기 제어부에서 출력되는 온도 제어신호에 따라 상기 챔버의 내부 온도가 가열되도록 제어하는 가열부; 상기 제어부에서 출력되는 압력 제어신호에 따라 상기 챔버의 내부 압력이 변경되도록 가압하는 가압부; 상기 챔버의 내부 온도를 검출하여 상기 제어부로 출력하는 온도센서; 및 상기 챔버의 내부 압력을 검출하여 상기 제어부로 출력하는 압력센서를 포함한다. 따라서 본 발명은 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착과정에 천공과 용접 없이 LED 패키지에 윈도우를 안정적으로 접착할 수 있고, 밀봉 실링에 의한 윈도우 접착이 필요 없어 제조공정을 단순화할 수 있으며, 생산 효율을 증가시킬 수 있는 장점이 있다.

Description

자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR ADHERING WINDOW OF ULTRAVIOLET RAYS LED PACKAGE}
본 발명은 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치 및 방법에 관한 발명으로서, 더욱 상세하게는 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착과정에 천공과 용접 없이 LED 패키지에 윈도우를 안정적으로 접착하여 제조공정과 생산 효율이 개선되도록 한 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 발광 다이오드(Light Emitting Diode : LED, 이하 LED라 함)는 반도체의 p-n 접합구조를 이용하여 주입된 소수 캐리어(전자 또는 정공)를 만들어내고, 이들의 재결합에 의하여 발광시키는 전자부품이다.
또한, LED는 친환경성과 긴 수명 그리고 높은 효율 등의 장점으로 차세대 조명으로 각광받고 있으며, 이러한 LED는 그 응용범위가 실내 조명으로부터 옥외 가로등, 자동차 및 해양, 심해(undersea) 조명, 적외선 조명, 자외선 조명 등으로 더욱 확장되고 있는 추세이다.
한편, UV(이하, 자외선이라 함)를 발광하는 LED 칩을 패키징할 때에는 일반적인 실리콘 봉지재를 사용할 경우 봉지재의 황변이 발생하여 광출력이 저하되는 문제점이 있다.
즉 SMD 타입의 LED 패키지 구조에 있어서 UV LED 칩을 몰딩하기 위해 사용되는 투광성 수지 재료는 자외선(파장 380㎚ 이하의 광)이 조사됨으로써 열화하고, 사용에 따라 점차 자외선의 투과율이 감소되어 안정한 자외선 출력을 얻을 수 없는 문제점이 있어서, 자외선을 발광하는 SMD 타입의 LED 패키지는 봉지재를 충전하여 패키징할 수는 없다.
따라서 종래의 자외선 LED 패키지는 봉지재를 대체하여 고투과성의 윈도우를 접착하며, 윈도우를 자외선 LED 패키지에 접착제를 이용해서 접착후 경화를 위해 가열하면 패키지 내부의 공기 팽창에 의해 윈도우가 패키지로부터 탈락되거나 또는 들뜨게 되는 문제점이 있다.
그러나 이러한 문제점을 해결하기 위해 LED 패키지에 구멍을 천공하여 LED 패키지의 가열시 패키지 내부에서 팽창하는 공기가 패키지 외부로 배출되도록 하고, 윈도우의 접착이 완료된 후에는 천공된 구멍을 막는 실링 과정을 수행해야만 하여 제조 과정이 복잡해지는 문제점이 있다.
다른 방법으로는 한국 특허공개번호 제10-2010-0104529호(발명의 명칭: TO CAN 평행광 패키지)에서 TO-CAN 패키지 타입을 이용하는 방법이 제안되었는데, 도 1은 종래 기술에 따른 TO-CAN 패키지의 구조를 나타낸 단면도로서, TO-CAN 패키지(10)는 베이스 기판(11)과, +/- 전원을 공급하는 리드선(12)과, 상기 베이스 기판(11)의 상부에 패스트(13')를 통해 고정된 서브 마운트(13)와, 상기 서브 마운트 상에 설치된 UV LED 칩(14)과, 상기 리드선(12)을 통해 공급되는 전원이 상기 UV LED 칩(14)에 전달되도록 연결하는 와이어(15)와, 상기 UV LED 칩(14)과 와이어(15) 등을 보호하는 보호캡(16)과, 상기 보호캡(16) 상에 설치되어 상기 UV LED 칩(14)에서 발광된 빛이 투과되도록 자외선 투과성의 석영 유리 등으로 이루어진 윈도우 렌즈(17)를 포함하여 구성된다.
또한, 보호캡(16)의 내부 공간에는 자외선이 투과하기 쉬운 예를 들면 질소나, 알곤, 헬륨 등의 불활성 기체를 봉입되며, 밀봉 실링(Hermetic sealing)을 통해 TO-CAN 패키지(10)가 밀봉된다.
그러나 상기 TO-CAN 패키지는 밀봉 실링으로 인해 자외선의 급격한 광 손실이 발생하는 문제점이 있다.
한국 특허공개번호 제10-2010-0104529호
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착과정에 천공과 용접 없이 LED 패키지에 윈도우를 안정적으로 접착하여 제조공정과 생산 효율이 개선되도록 한 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치로서, LED 패키지를 수납하는 챔버; 상기 챔버에 수납된 LED 패키지의 윈도우가 접착되도록 가열 온도와 접착제 정보를 입력하는 입력부; 상기 입력부에서 입력된 가열 온도에 따라 가열부로 온도 제어신호를 출력하고, 상기 가열 온도의 변화에 따라 상기 챔버 내부의 압력이 가변되도록 가압부로 압력 제어신호를 출력하는 제어부; 상기 제어부에서 출력되는 온도 제어신호에 따라 상기 챔버의 내부 온도가 가열되도록 제어하는 가열부; 상기 제어부로부터 출력되는 압력 제어신호에 따라 온/오프되어 상기 챔버의 내부 압력을 제어하는 압력밸브와, 상기 제어부로부터 출력되는 압력 제어신호에 따라 기체를 압축시켜 상기 챔버의 내부 압력이 변경되도록 가압하는 압축기를 구비한 가압부; 상기 챔버의 내부 온도를 검출하여 상기 제어부로 출력하는 온도센서; 및 상기 챔버의 내부 압력을 검출하여 상기 제어부로 출력하는 압력센서를 포함하고, 상기 제어부는 챔버의 내부를 가열하는 온도에 따라 증가하는 LED 패키지의 내부 압력(P1)과 상기 LED 패키지의 내부 압력(P1)에 비례하는 챔버의 내부 압력(P2)을 검색하여 상기 챔버의 내부 압력(P2)이 상기 LED 패키지의 내부 압력(P1) 보다 일정 압력 이상 높게 형성되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
삭제
삭제
또한, 본 발명은 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 방법으로서, a) 입력부에서 챔버에 수납된 LED 패키지의 윈도우 경화를 위한 온도 조건이 입력되면, 제어부는 상기 챔버의 내부 온도가 일정 온도에 도달하도록 가열부로 온도 제어신호를 출력하고, 챔버의 내부를 가열하는 온도에 따라 증가하는 LED 패키지의 내부 압력(P1)과 상기 LED 패키지의 내부 압력(P1)에 비례하는 챔버의 내부 압력(P2)을 검색하여 상기 챔버의 내부 압력(P2)이 상기 LED 패키지의 내부 압력(P1) 보다 일정 압력 이상 높게 형성되도록 가압부로 압력 제어신호를 출력하는 단계; b) 상기 챔버의 내부 온도가 설정 온도에 도달하면, 상기 제어부는 상기 챔버의 내부 온도와 압력을 유지하여 윈도우의 접착체를 경화하는 단계; 및 c) 상기 b) 단계의 경화가 종료되면, 상기 제어부는 가열부와 가압부로 종료신호를 출력하는 단계를 포함한다.
삭제
본 발명은 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착과정에 천공과 용접 없이 LED 패키지에 윈도우를 안정적으로 접착할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 밀봉 실링에 의한 윈도우 접착이 필요 없어 제조공정을 단순화시키고, 생산 효율을 증가시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1 은 종래 기술에 따른 TO-CAN 패키지의 구조를 나타낸 단면도.
도 2 는 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치의 구성을 나타낸 블록도.
도 3 은 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치의 가압부 구성을 나타낸 블록도.
도 4 는 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치에서 제조되는 LED 패키지를 나타낸 단면도.
도 5 는 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 방법을 나타낸 흐름도.
도 6 은 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 방법의 압력-온도를 나타낸 그래프.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치 및 방법의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
(접착 장치)
도 2는 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치의 구성을 나타낸 블록도이고, 도 3은 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치의 가압부 구성을 나타낸 블록도이며, 도 4는 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치에서 제조되는 LED 패키지를 나타낸 단면도이다.
도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치(100)는 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착과정에 천공과 용접 없이 LED 패키지에 윈도우를 안정적으로 접착할 수 있고, 밀봉 실링에 의한 윈도우 접착이 필요 없어 제조공정을 단순화할 수 있으며, 생산 효율을 증가시킬 수 있도록 챔버(110)와, 입력부(120)와, 제어부(130)와, 가열부(140)와, 가압부(150)와, 온도센서(160)와, 압력센서(170)를 포함하여 구성된다.
상기 챔버(110)는 LED 패키지(200)를 수납하는 구성으로서, 상기 LED 패키지(200)의 삽입 및 배출을 위해 도어(미도시)가 설치되고, 내부에는 상기 LED 패키지(200)가 수납되도록 공간이 형성되며, 가열부(140)를 통해 내부 온도가 증가되도록 하여 상기 LED 패키지(200)의 윈도우(260)가 고정되도록 하고, 가압부(150)를 통해 내부 압력을 상기 온도 증가에 따라 순차적으로 증가시켜 윈도우(260)가 경화되는 과정에 상기 LED 패키지(200)로부터 탈락되거나 또는 들뜨는 것이 방지되도록 한다.
상기 입력부(120)는 챔버(110)에 수납된 LED 패키지(200)의 윈도우(260)가 접착되도록 가열 온도와, 윈도우(260)를 고정시키는 접착제(270)의 종류를 입력하는 구성으로서, 키패드, 키보드, 버튼 등으로 구성된다.
상기 제어부(130)는 입력부(120)에서 입력된 가열 온도에 따라 가열부(140)로 온도 제어신호를 출력하고, 상기 가열 온도의 변화에 따라 상기 챔버(110) 내부의 압력이 가변되도록 가압부(150)로 압력 제어신호를 출력하는 구성으로서, 온도 제어와 압력 제어를 위한 프로그램과 데이터를 저장하는 저장수단을 포함하여 구성된다.
또한, 상기 제어부(130)는 설정된 가열 온도에 따라 챔버(110)의 내부 온도가 증가하면, 상기 증가되는 챔버(110)의 내부 온도에 따라 챔버(110)의 내부 압력(P2)도 함께 증가되도록 제어한다.
즉 상기 제어부(130)는 윈도우(260)에 접착된 접착제(270)를 경화시키기 위해 챔버(110)의 내부를 일정 온도가 되도록 가열하고, 이때 챔버(110)의 내부 온도가 증가함에 따라 LED 패키지(200)와 윈도우(260) 사이의 패키지 내부 압력(P1)도 증가하므로 상기 증가되는 패키지 내부 압력(P1)으로 인해 상기 윈도우(260)가 LED 패키지(200)로부터 탈락되거나 또는 들뜨는 것을 방지할 수 있도록 챔버 내부 압력(P2)도 순차적으로 증가되도록 제어한다.
또한, 상기 제어부(130)는 입력부(120)를 통해 입력된 접착제(270)의 종류가 유기계열의 접착제이면, 가열 온도를 200℃ 이내에서 가열되도록 온도 제어신호를 출력하고, 무기계열의 접착제이면, 가열 온도를 400℃ 이내에서 가열되도록 온도 제어신호를 출력한다.
또한, 상기 제어부(130)는 챔버(110)의 내부 압력(P2)이 온도의 증가에 따라 발생하는 LED 패키지(200)의 내부 압력(P1)보다 일정 압력 높게 형성되도록 제어하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제어부(130)는 가열 온도에 따라 증가하는 패키지 내부 압력(P1)과, 상기 패키지 내부 압력(P1)에 비례하는 챔버 내부 압력(P2)을 설정한 압력 제어 테이블로 저장할 수 있고, 상기 압력 제어 테이블로부터 해당 온도에 따른 챔버 내부 압력(P2)을 검색하여 압력 제어신호를 출력할 수도 있다.
상기 가열부(140)는 챔버(110)의 내부에 설치되어 제어부(130)에서 출력되는 온도 제어신호에 따라 온/오프되고, 상기 챔버(110)의 내부 온도가 가열되도록 제어하여 접착제(270)를 경화시킴으로써, 윈도우(260)가 LED 패키지(200)에 고정되도록 한다.
상기 가압부(150)는 파이프(미도시)를 통해 챔버(110)와 연결되고, 제어부(130)에서 출력되는 압력 제어신호에 따라 상기 챔버(110)의 내부 압력이 변경되도록 가압하는 구성으로서, 압력 밸브(151)와, 압축기(152)를 포함하여 구성된다.
상기 압력 밸브(151)는 제어부(130)로부터 출력되는 압력 제어신호에 따라 온/오프되어 챔버(110)의 내부 압력이 증가되도록 하거나 또는 LED 패키지(200)와 윈도우(260)의 접착이 완료되면, 상기 챔버(110)의 압력이 감소되도록 제어한다.
상기 압축기(152)는 기체를 압축시켜 공급하는 구성으로서, 제어부(130)로부터 출력되는 온도 제어신호에 따라 챔버(110) 내부의 기체를 가압시켜 압력이 증가되도록 한다.
상기 온도센서(160)는 챔버(110)의 내부에 설치되어 챔버(110)의 내부 온도를 검출하고, 상기 검출된 내부 온도를 제어부(130)로 출력하여 상기 제어부(130)가 정확한 온도 제어를 수행할 수 있도록 한다.
상기 압력센서(170)는 챔버(110)의 내부에 설치되어 챔버(110)의 내부 압력을 검출하고, 상기 검출된 내부 압력을 제어부(130)로 출력하여 상기 제어부(130)가 정확한 압력 제어를 수행할 수 있도록 한다.
상기 LED 패키지(200)는 기판(210)상에 형성되는 리드 프레임(220)과, 상기 리드 프레임(220)의 상면에 실장되는 UV LED 칩(230)과, 상기 리드 프레임(220)과 UV LED 칩(230)을 각각 연결하는 와이어(240)와, 상기 리드 프레임(220)의 상부에 설치되어 상기 UV LED 칩(230) 주위에 리플렉터를 형성하는 케비티(250)와 상기 케비티(250)의 상부에 설치되는 윈도우(260)와, 상기 캐비티(250)에 윈도우(260)가 고정되도록 접착하는 접착제(270)를 포함한다.
상기 윈도우(260)는 자외선 투과성의 석영 유리 등으로 이루어지고, 상기 접착제(270)는 유기계열 접착제 또는 무기계열 접착제 중 어느 하나의 접착제이다.
(접착 방법)
다음은 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 방법을 설명한다.
도 5는 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 방법을 나타낸 흐름도이고, 도 6은 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 방법의 압력-온도를 나타낸 그래프이다.
도 2 내지 도 6을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 방법은 입력부(120)에서 챔버(110)에 수납된 LED 패키지(200)의 윈도우 경화를 위한 온도 조건과, 윈도우(260)를 고정하기 위한 접착제(270) 정보가 입력(S100)되면, 상기 입력된 접착제 정보에 따른 가열 온도정보를 검출하고, 상기 검출된 가열 온도에 따라 상기 챔버(110)의 내부 온도가 일정 온도에 도달하도록 가열부(140)로 온도 제어신호를 출력하며, 상기 증가하는 상기 챔버(110)의 내부 온도에 따라 챔버(110)의 내부 압력(P2)이 증가하도록 가압부(150)로 압력 제어신호를 출력(S110)한다.
상기 S110단계에서 제어부(130)는 도 6과 같이 압력과 온도에 따른 그래프와 챔버 내부 압력(P2)이 미리 저장된 압력 제어 테이블로부터 검색한 가열 온도에 따라 증가하는 패키지 내부 압력(P1)에 비례하여 일정 압력 이상 큰 압력의 챔버 내부 압력(P2)으로 가압될 수 있도록 압력 제어신호를 출력한다.
또한, 상기 S110단계에서 제어부(130)는 챔버 내부 압력(P2)이 온도의 증가에 따라 발생하는 LED 패키지(200)의 내부 압력(P1)보다 일정 압력 높게 형성되도록 유지한다.
상기 제어부(130)는 온도센서(160)로부터 챔버(110) 내부의 온도를 검출하여 설정 온도에 도달(S120)하였는지 여부와, 압력센서(170)로부터 상기 챔버(110) 내부의 온도 변화에 따른 챔버 내부 압력(P2)이 설정 압력에 도달(S130)하였는지 여부를 판단한다.
상기 S120 및 S130 단계의 판단 결과, 설정 온도 및 설정 압력에 도달하지 않았으면, 제어부(130)는 상기 S110단계를 수행한다.
상기 S120 및 S130 단계의 판단 결과, 설정 온도 및 설정 압력에 도달하였으면, 제어부(130)는 설정 온도와 설정 압력이 일정 시간동안 유지되도록 제어하여 접착제(270)가 경화(S140)되도록 함으로써, 윈도우(250)가 캐비티(250)에 고정되도록 한다.
상기 S140단계의 경화가 완료되면, 제어부(130)는 제어부(130)는 가열부(140)와 가압부(150)로 종료신호를 출력(S150)한다.
따라서 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착과정에 천공과 용접 없이 LED 패키지에 윈도우를 안정적으로 접착할 수 있고, 밀봉 실링에 의한 윈도우 접착이 필요 없어 SMD를 이용한 자외선 LED 패키지의 제조가 가능하여 제조공정을 단순화할 수 있으며, 생산 효율을 증가시킬 수 있게 된다.
상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있으며, 상술된 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있으므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
100 : 접착 장치 110 : 챔버
120 : 입력부 130 : 제어부
140 : 가열부 150 : 가압부
151 : 압력밸브 152 : 압축기
160 : 온도센서 170 : 압력센서
200 : LED 패키지 210 : 기판
220 : 리드프레임 230 : UV LED 칩
240 : 와이어 250 : 캐비티
260 : 윈도우 270 : 접착제

Claims (5)

  1. 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치로서,
    LED 패키지(200)를 수납하는 챔버(110);
    상기 챔버(110)에 수납된 LED 패키지(200)의 윈도우(260)가 접착되도록 가열 온도와 접착제 정보를 입력하는 입력부(120);
    상기 입력부(120)에서 입력된 가열 온도에 따라 가열부(140)로 온도 제어신호를 출력하고, 상기 가열 온도의 변화에 따라 상기 챔버(110) 내부의 압력이 가변되도록 가압부(150)로 압력 제어신호를 출력하는 제어부(130);
    상기 제어부(130)에서 출력되는 온도 제어신호에 따라 상기 챔버(110)의 내부 온도가 가열되도록 제어하는 가열부(140);
    상기 제어부(130)로부터 출력되는 압력 제어신호에 따라 온/오프되어 상기 챔버(110)의 내부 압력을 제어하는 압력밸브(151)와, 상기 제어부(130)로부터 출력되는 압력 제어신호에 따라 기체를 압축시켜 상기 챔버(110)의 내부 압력이 변경되도록 가압하는 압축기(152)를 구비한 가압부(150);
    상기 챔버(110)의 내부 온도를 검출하여 상기 제어부(130)로 출력하는 온도센서(160); 및
    상기 챔버(110)의 내부 압력을 검출하여 상기 제어부(130)로 출력하는 압력센서(170)를 포함하고,
    상기 제어부(130)는 챔버(110)의 내부를 가열하는 온도에 따라 증가하는 LED 패키지(200)의 내부 압력(P1)과 상기 LED 패키지(200)의 내부 압력(P1)에 비례하는 챔버(110)의 내부 압력(P2)을 검색하여 상기 챔버(110)의 내부 압력(P2)이 상기 LED 패키지(200)의 내부 압력(P1) 보다 일정 압력 이상 높게 형성되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 방법으로서,
    a) 입력부(120)에서 챔버(110)에 수납된 LED 패키지(200)의 윈도우 경화를 위한 온도 조건이 입력되면, 제어부(130)는 상기 챔버(110)의 내부 온도가 일정 온도에 도달하도록 가열부(140)로 온도 제어신호를 출력하고, 챔버(110)의 내부를 가열하는 온도에 따라 증가하는 LED 패키지(200)의 내부 압력(P1)과 상기 LED 패키지(200)의 내부 압력(P1)에 비례하는 챔버(110)의 내부 압력(P2)을 검색하여 상기 챔버(110)의 내부 압력(P2)이 상기 LED 패키지(200)의 내부 압력(P1) 보다 일정 압력 이상 높게 형성되도록 가압부(150)로 압력 제어신호를 출력하는 단계;
    b) 상기 챔버(110)의 내부 온도가 설정 온도에 도달하면, 상기 제어부(130)는 상기 챔버(110)의 내부 온도와 압력을 유지하여 윈도우(260)의 접착체(270)를 경화하는 단계; 및
    c) 상기 b) 단계의 경화가 종료되면, 상기 제어부(130)는 가열부(140)와 가압부(150)로 종료신호를 출력하는 단계를 포함하는 자외선 LED 패키지의 윈도우 접착 방법.
  5. 삭제
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