KR101496706B1 - Probe structure and method of manufacturing a probe structure - Google Patents
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Abstract
프로브 구조물은 기판, 접촉체들, 제1 연결부, 제1 입력부, 제2 입력부, 절연 패턴 및 제2 연결부를 포함한다. 접촉체들은 기판 상에 일정 간격 이격되어 구비되고, 일단이 기판으로부터 돌출되며 검사 대상물과 접촉한다. 제1 연결부는 접촉체들 중 일부를 전기적으로 연결한다. 제1 입력부는 제1 연결부와 연결되고, 일단이 기판으로부터 돌출되며 제1 신호가 입력된다. 제2 입력부는 접촉체들, 제1 연결부 및 제1 입력부와 이격되며, 일단이 기판으로부터 돌출되며 제2 신호가 입력된다. 절연 패턴은 기판 상에 구비되며, 제1 접촉체들, 제1 입력부 및 제2 입력부의 일단들이 노출되도록 접촉체들, 제1 연결부, 제1 입력부 및 제2 입력부를 덮는다. 제2 연결부는 절연 패턴을 관통하여 제1 연결부와 연결되지 않은 접촉체들 및 제2 입력부를 전기적으로 연결한다.
The probe structure includes a substrate, contact members, a first connection, a first input, a second input, an insulation pattern, and a second connection. The contact members are provided on the substrate at a predetermined distance, one end of which protrudes from the substrate and contacts the object to be inspected. The first connection portion electrically connects some of the contact bodies. The first input unit is connected to the first connection unit, one end thereof protrudes from the substrate, and a first signal is input. The second input portion is spaced apart from the contact members, the first connection portion, and the first input portion, one end of which protrudes from the substrate, and a second signal is input. The insulation pattern is provided on the substrate and covers the contact bodies, the first connection part, the first input part, and the second input part so that one ends of the first contact parts, the first input part and the second input part are exposed. The second connection portion electrically connects the contact portions and the second input portion, which are not connected to the first connection portion, through the insulation pattern.
Description
본 발명은 프로브 구조물 및 프로브 구조물 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시소자의 검사를 위해 평판표시소자와 직접 접촉하는 프로브 구조물 및 프로브 구조물 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a probe structure and a method of manufacturing the probe structure, and more particularly, to a probe structure and a method of manufacturing the probe structure that are in direct contact with the flat panel display device for inspection of the flat panel display device.
평판표시소자에 대한 검사 공정은 상기 평판표시소자를 제조하는 동안 반복적으로 이루어진다. 상기 검사 공정은 상기 평판표시소자의 패드에 평판표시소자 검사 장치의 프로브 구조물을 접촉하여 전기신호를 인가함으로써 상기 평판표시소자의 정상 유무를 확인한다. The inspection process for the flat panel display device is repeatedly performed during manufacturing the flat panel display device. In the inspection step, the probe structure of the flat panel display device is brought into contact with the pad of the flat panel display device, and an electric signal is applied to check whether the flat panel display device is normal or not.
종래 기술에 따르면, 상기 평판표시소자 검사 장치는 평판표시소자의 패드들과 접촉하는 복수개의 탐침부재를 필름 상에 고정한 프로브시트 및 적색 신호선들, 녹색 신호선들, 청색 신호선들을 교대로 반복하여 일정한 간격으로 필름 상에 고정한 FPC 접속시트를 포함한다. 상기 복수개의 신호선들의 선단이 각각에 대응하는 상기 프로브시트의 각 탐침부재에 접속한다. According to the related art, the flat panel display device includes a probe sheet having a plurality of probe members fixed on a film, which are in contact with the pads of the flat panel display device, and red, green, and blue signal lines alternately, And an FPC connection sheet fixed on the film. And the tips of the plurality of signal lines are connected to the probing members of the probe sheet corresponding to the probes.
상기 검사 장치는 상기 프로브 시트의 탐침 부재와 상기 FPC 접속시트의 신 호선들을 작업자가 접속하므로, 상기 탐침 부재와 상기 신호선들의 접속에 많은 시간이 소요되며 상기 탐침 부재와 상기 신호선들이 서로 접속되지 않을 수 있다. 또한, 상기 탐침 부재와 상기 신호선들의 연결 부위에서 노이즈가 발생할 수 있다. Since the operator connects the probe lines of the probe sheet and the FPC connection sheet, it takes a long time to connect the probe and the signal lines, and the probe and the signal lines may not be connected to each other have. Also, noise may be generated at a connection portion between the probe and the signal lines.
본 발명은 평판표시소자에 대한 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 프로브 구조물을 제공한다.The present invention provides a probe structure capable of improving the inspection reliability of a flat panel display device.
본 발명은 평판표시소자에 대한 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 프로브 구조물 제조 방법을 제공한다.The present invention provides a method of manufacturing a probe structure capable of improving the inspection reliability of a flat panel display device.
본 발명에 따른 프로브 구조물은 기판, 상기 기판 상에 일정 간격 이격되어 구비되고, 일단이 상기 기판으로부터 돌출되며 검사 대상물과 접촉하는 다수의 제1 접촉체들, 상기 제1 접촉체들 중 일부를 전기적으로 연결하는 제1 연결부, 상기 제1 연결부와 연결되고, 일단이 상기 기판으로부터 돌출되며 제1 신호가 입력되는 제1 입력부, 상기 제1 접촉체들, 상기 제1 연결부 및 상기 제1 입력부와 이격되며, 일단이 상기 기판으로부터 돌출되며 제2 신호가 입력되는 제2 입력부, 상기 기판 상에 구비되며, 상기 제1 접촉체들, 제1 연결부, 제1 입력부 및 제2 입력부를 덮는 절연 패턴 및 상기 절연 패턴을 관통하여 상기 제1 연결부와 연결되지 않은 상기 제1 접촉체들 및 상기 제2 입력부를 전기적으로 연결하는 제2 연결부를 포함할 수 있다. A probe structure according to the present invention includes a substrate, a plurality of first contact members spaced apart from each other at a predetermined distance on the substrate, one end of which protrudes from the substrate and contacts the object to be inspected, A first connection part connected to the first connection part, one end of which protrudes from the substrate and to which a first signal is inputted, a first input part connected to the first contact parts, the first connection part, and the first input part, A second input part having a first end protruding from the substrate and receiving a second signal, an insulation pattern covering the first contacts, the first connection part, the first input part, and the second input part, And a second connection unit that electrically connects the first contact units and the second input unit, which are not connected to the first connection unit, through the insulation pattern.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 프로브 구조물은 상기 제1 접촉체들의 일측에 위치하도록 상기 기판과 상기 절연 패턴 사이에 구비되고, 상기 기판으로부터 양단이 돌출되며 상기 검사 대상물과 접촉하는 다수의 제2 접촉체들을 더 포함 할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the probe structure is provided between the substrate and the insulation pattern so as to be located at one side of the first contacts, and a plurality of protrusions, both ends of which protrude from the substrate, 2 contact bodies.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 접촉체들은 평판표시소자의 데이터부와 접촉하고, 상기 제2 접촉체들은 상기 평판표시소자의 게이트부와 접촉할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the first contacts may be in contact with the data portion of the flat panel display device, and the second contacts may be in contact with the gate portion of the flat display device.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 프로브 구조물은 상기 제2 연결부를 덮도록 상기 절연 패턴 상에 구비되는 보강 부재를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the probe structure may further include a reinforcing member provided on the insulating pattern so as to cover the second connection portion.
본 발명에 따른 프로브 구조물 제조 방법은 서로 일정 간격 이격되며 검사 대상물과 접촉하는 다수의 제1 접촉체들, 상기 제1 접촉체들 중 일부를 전기적으로 연결하는 제1 연결부, 상기 제1 연결부와 연결되며 제1 신호가 입력되는 제1 입력부 및 상기 제1 접촉체들, 제1 연결부 및 제1 입력부와 이격되며 제2 신호가 입력되는 제2 입력부를 기판 상에 형성하는 단계와, 상기 제1 접촉체들, 제1 연결부, 제1 입력부 및 제2 입력부를 덮으며, 상기 제1 연결부와 연결되지 않은 상기 제1 접촉체들 및 상기 제2 입력부를 부분적으로 노출하는 제1 개구를 갖는 절연 패턴을 상기 기판 상에 형성하는 단계와, 상기 제1 개구를 통하여 상기 제1 연결부와 연결되지 않은 상기 제1 접촉체들 및 상기 제2 입력부를 전기적으로 연결하는 제2 연결부를 형성하는 단계 및 상기 제1 접촉체들, 제1 입력부 및 제2 입력부의 일단들이 노출되도록 상기 기판 및 상기 절연 패턴을 각각 부분적으로 제거하는 단계를 포함할 수 있다. A method for manufacturing a probe structure according to the present invention comprises a plurality of first contact members spaced apart from each other by a predetermined distance and in contact with an object to be inspected, a first connection unit electrically connecting a part of the first contact members, Forming a first input for receiving a first signal and a second input for receiving a second signal, the second input being spaced apart from the first contacts, the first connection and the first input, on the substrate; An insulation pattern covering the first contacts, the first connection, the first input and the second input, the first contacts being not connected to the first connection, and the first opening partially exposing the second input, Forming on the substrate a second connection portion electrically connecting the first contacts and the second input portion that are not connected to the first connection portion through the first opening,Chokche the first input unit and one end of the second input unit are exposed may include the step of partially removing the substrate and the insulating pattern, respectively.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 접촉체들, 제1 연결부, 제1 입력부 및 제2 입력부를 기판 상에 형성할 때, 상기 제1 접촉체들의 일측에 상기 검사 대 상물과 접촉하는 제2 접촉체들을 더 형성할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, when the first contact members, the first connection unit, the first input unit, and the second input unit are formed on the substrate, The second contact bodies can be further formed.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 프로브 구조물 제조 방법은 상기 제2 연결부를 덮도록 상기 절연층 상에 보강 부재를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the method of fabricating a probe structure may further include forming a reinforcing member on the insulating layer so as to cover the second connection portion.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 절연 패턴을 형성하는 단계는 상기 제1 연결부와 연결되지 않은 상기 제1 접촉체들 및 상기 제2 입력부 상에 부분적으로 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와, 상기 포토레지스트 패턴을 노출하며, 상기 제1 접촉체들, 제1 연결부, 제1 입력부 및 제2 입력부를 덮는 절연층을 상기 기판 상에 형성하는 단계 및 상기 포토레지스트 패턴을 제거하여 상기 제1 개구들을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the step of forming the insulation pattern may include forming a photoresist pattern partially on the first contacts and the second input part that are not connected to the first connection part, Forming an insulating layer over the substrate to expose a photoresist pattern and covering the first contacts, the first connection, the first input and the second input, and removing the photoresist pattern to form the first openings To form a second layer.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 절연 패턴을 형성하는 단계는 상기 제1 접촉체들, 제1 연결부, 제1 입력부 및 제2 입력부를 덮는 절연층을 상기 기판 상에 형성하는 단계 및 상기 절연층을 패터닝하여 상기 제1 개구들을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the step of forming the insulating pattern includes the step of forming an insulating layer on the substrate covering the first contacts, the first connecting portion, the first input portion, and the second input portion, And patterning the layer to form the first openings.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2 연결부를 형성하는 단계는 상기 절연 패턴 상에 상기 제1 개구들이 형성된 부위를 노출하는 제2 개구를 갖는 몰딩 패턴을 형성하는 단계와, 상기 제1 개구들 및 상기 제2 개구를 상기 도전성 물질로 매립하는 단계 및 상기 몰딩 패턴을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the step of forming the second connection portion includes the steps of forming a molding pattern having a second opening exposing a portion where the first openings are formed on the insulation pattern, And filling the second opening with the conductive material, and removing the molding pattern.
본 발명에 따른 프로브 구조물은 접촉체들이 연결부들을 통해 전기적으로 연 결되므로, 평판표시소자의 검사를 위한 입력 신호를 안정적으로 상기 평판표시소자로 제공할 수 있다. 또한, 상기 접촉체들, 연결부 및 입력부들이 일체로 형성되므로 입력 신호의 노이즈를 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 평판표시소자에 대한 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Since the probe structure according to the present invention is electrically connected to the contact members through the connection portions, an input signal for inspection of the flat panel display device can be stably provided to the flat panel display device. Further, since the contact members, the connecting portion, and the input portions are integrally formed, the noise of the input signal can be reduced. Therefore, the inspection reliability of the flat panel display device can be improved.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 프로브 구조물 및 프로브 구조물 제조 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a method of fabricating a probe structure and a probe structure according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르 게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular < RTI ID = 0.0 > term < / RTI > includes plural representations unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 구조물(100)을 설명하기 위한 사시도이다. 1 is a perspective view illustrating a
도 1을 참조하면, 프로브 구조물(100)은 기판(110), 시드 패턴(125), 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143), 제2 접촉체들(144), 절연 패턴(150), 제2 연결부(160), 보강 부재(170)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a
상기 기판(110)은 사각 평판 형태를 갖는다. 예를 들면, 상기 기판(110)은 직사각 평판 형태를 가질 수 있다. 일 예로, 상기 기판(110)은 절연성 기판일 수 있다. 상기 절연성 기판의 예로는 글래스 기판, 아크릴 기판 또는 세라믹 기판 등을 들 수 있다. 상기 아크릴 기판은 식각 용액 또는 식각 가스 등의 화학 물질에 대한 내화학성을 가질 수 있다. 특히, 투명 글래스 기판 또는 투명 아크릴 기판은 투명하므로 이물질의 잔류 여부를 용이하게 확인할 수 있다. 다른 예로, 상기 기판(110)은 반도체 기판일 수 있다. 상기 반도체 기판의 예로는 실리콘 기판, 게르마늄 기판, 실리콘 게르마늄 기판 등을 들 수 있다. 이때, 상기 기판(110) 상에는 절연을 위한 절연층(미도시)이 구비된다. 상기 절연층은 산화물, 질화물 또는 고분자 화합물을 포함할 수 있다.The
상기 기판(110) 상에 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체들(144)의 형성을 위한 시드 패턴(125)이 구비될 수 있다. 상기 시드 패턴(125)은 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체들(144)을 형성하기 위한 전기 도금 공정시 시드로 작용한다.A
상기 시드 패턴(125)은 제1 금속 패턴과 제2 금속 패턴을 포함할 수 있다. 상기 제1 금속 패턴은 점착력이 우수하다. 상기 제1 금속 패턴은 상기 제2 금속 패턴을 상기 기판(110)에 접착시킨다. 상기 제2 금속 패턴은 시드로 작용한다. 상기 제1 금속 패턴은 티타늄 또는 크롬을 포함하며, 상기 제2 금속 패턴은 구리 또는 금을 포함할 수 있다. The
한편, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체들(144)이 상기 전기 도금 공정이 아닌 물리 기상 증착 공정 또는 화학 기상 증착 공정을 통해 형성되는 경우, 상기 시드 패턴(125)은 생략될 수 있다. Meanwhile, the
상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체(144)는 상기 기판(110) 상에 구비된다. The
상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체(144)는 금속을 포함한다. 상기 금속의 예로는 니켈 또는 니켈 합금을 포함할 수 있다. 상기 니켈 합금의 예로는 니켈-코발트 합금 또는 니켈-텅스텐-코발트 합금을 들 수 있다.The
상기 제1 접촉체들(140)은 서로 이격되는 일 방향으로 연장하는 바 형태를 가지며, 일단이 상기 기판(110)의 전단으로부터 돌출된다. 상기 제1 접촉체들(140)의 일단은 검사 대상물인 평판표시소자와 접촉을 위해 뾰족한 형상을 가질 수 있다. 이때, 상기 제1 접촉체들(140)의 돌출 길이는 각각 동일하다. 상기 제1 접촉체들(140)은 서로 다른 길이를 갖는다. 예를 들면, 짝수 번째의 제1 접촉체들(140a)은 길이가 상대적으로 길고, 홀수 번째 제1 접촉체들(140b)은 길이가 상대적으로 짧다.The
상기 제1 연결부(141)는 상기 제1 접촉체들(140) 중 일부의 타단과 연결된다. 예를 들면, 상기 제1 연결부(141)는 상기 제1 접촉체들(140)과 수직하도록 연장하며, 짝수번째의 제1 접촉체들(140a)과 연결될 수 있다.The
상기 제1 입력부(142)는 상기 제1 연결부(141)와 연결되며, 상기 제1 접촉체들(140)의 연장 방향과 동일한 방향으로 연장한다. 상기 제1 입력부(142)는 일단이 상기 기판(110)의 후단으로부터 돌출된다. 상기 제1 입력부(142)의 일단을 통해 평판표시소자를 검사하기 위한 제1 신호가 입력된다. The
상기 제2 입력부(143)는 상기 제1 접촉체들(140)의 연장 방향과 동일한 방향으로 연장하며, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141) 및 제1 입력부(142)와 이격된다. 상기 제2 입력부(143)도 일단이 상기 기판(110)의 후단으로부터 돌출된다. 상기 제2 입력부(143)의 일단을 통해 상기 평판표시소자를 검사하기 위한 제2 신호가 입력된다. 일 예로, 상기 제1 신호와 상기 제2 신호는 다른 신호일 수 있다. 다른 예로, 상기 제1 신호와 상기 제2 신호는 동일한 신호일 수 있다. The
상기 제2 접촉체들(144)은 상기 제1 접촉체들(140)의 일측 또는 양측에 구비된다. 상기 제2 접촉체들(144)은 서로 이격되는 일 방향으로 연장하는 바 형태를 갖는다. 상기 제2 접촉체들(144)은 양단이 상기 기판(110)의 전단 및 후단으로부터 각각 돌출된다. 상기 기판(110)의 전단으로부터 돌출된 상기 제2 접촉체들(144)의 단부는 상기 평판표시소자와 접촉을 위해 뾰족한 형상을 가질 수 있다. 상기 기판(110)의 후단으로부터 돌출된 상기 제2 접촉체들(144)의 단부를 통해 상기 평판표시소자를 검사하기 위한 신호 및 전원이 입력된다. 일 예로, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 제2 접촉체들(144)은 일정한 피치를 가질 수 있다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만 상기 제2 접촉체들(144)은 상기 기판(110)의 전단으로부터 돌출된 단부들에서 상기 기판(110)의 후단으로 돌출된 단부들로 갈수록 피치가 점차 커질 수 있다.The
상기 제1 접촉체들(140)은 상기 평판표시소자의 데이터부와 접촉하고, 상기 제2 접촉체들(144)은 상기 평판표시소자의 게이트부와 접촉할 수 있다. 이때, 상기 데이터부와 게이트부는 상기 평판표시소자의 동일한 측면에 인접하여 배치된다. The
상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체들(144)은 서로 다른 높이를 가질 수 있지만 동일한 높이를 갖는 것이 바람직하다.The
상기 도 1에서는 상기 제1 접촉체들(140)의 일단들, 상기 제1 입력부(142)의 일단, 상기 제2 입력부(143)의 일단 및 상기 제2 접촉체들(144)들의 양단들이 뾰족한 형태로 도시되었지만, 상기 제1 접촉체들(140)의 일단들, 상기 제1 입력부(142)의 일단, 상기 제2 입력부(143)의 일단 및 상기 제2 접촉체들(144)들의 양단들의 형태는 이에 한정되지 않으며 다양한 형태를 가질 수 있다.1, one ends of the
상기 절연 패턴(150)은 상기 기판(110) 상에 구비되며, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체들(144)을 덮는다. 상기 절연 패턴(150)은 상기 제1 접촉체들(140)의 일단들, 상기 제1 입력부(142)의 일단, 상기 제2 입력부(143)의 일단 및 상기 제2 접촉체들(144)들의 양단들이 노출시킨다. 상기 절연 패턴(150)은 절연성 에폭시 수지, 세라믹, 산화물 또는 질화물을 포함할 수 있다. The insulating
상기 제2 연결부(160)는 상기 절연 패턴(150)을 관통하여 상기 제1 연결부(141)와 연결되지 않은 나머지 상기 제1 접촉체들(140) 및 상기 제2 입력부(143)를 전기적으로 연결한다. 예를 들면, 상기 제2 연결부(160)는 홀수번째의 제1 접촉체들(140b) 및 상기 제2 입력부(143)를 전기적으로 연결한다. 상기 제2 연결부(160)는 도전성 물질로 이루어진다. 상기 도전성 물질의 예로는 금속 또는 도전성 에폭시 수지를 들 수 있다. 상기 금속의 예로는 니켈 또는 니켈 합금 또는 구리 등을 들 수 있다. The
상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143), 제2 접촉체들(144) 및 상기 제2 연결부(160)는 상기 평판표시소자를 검사하기 위한 신호에 동일한 저항으로 작용하도록 폭과 길이가 조절될 수 있다.The
상기 보강 부재(170)는 상기 제2 연결부(160)를 덮도록 상기 절연 패턴(150) 상에 구비된다. 상기 보강 부재(170)는 상기 제2 연결부(160)를 보강하여 얇은 두께로 인해 상기 제2 연결부(160)가 끊어지는 것을 방지한다. 상기 보강 부재(170)는 에폭시 수지 또는 세라믹을 포함할 수 있다. The reinforcing
상기에서는 상기 제1 접촉체들(140)이 상기 제1 연결부(141) 및 제2 연결부(160)에 의해 서로 전기적으로 연결되는 것으로 설명되었지만, 필요에 따라 상기 제2 접촉체들(144)도 별도의 연결부에 의해 서로 전기적으로 연결될 수 있다.In the above description, the
한편, 상기 프로브 구조물(100)을 다수개가 적층될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 각 프로브 구조물(100)의 제1 접촉체들(140) 및 제2 접촉체들(144)이 동일한 위치에 위치하며 동일한 돌출 길이를 가질 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 각 프로브 구조물(100)의 제1 접촉체들(140) 및 제2 접촉체들(144)이 서로 다른 위치에 위치하며, 동일한 돌출 길이를 가질 수 있다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 각 프로브 구조물(100)의 제1 접촉체들(140) 및 제2 접촉체들(144)이 서로 다른 위치에 위치하며 서로 다른 돌출 길이를 가질 수 있다. A plurality of the
또한, 적층된 프로브 구조물(100)들에는 제1 적색 신호 및 제2 적색 신호, 제1 녹색 신호 및 제2 녹색 신호, 제1 청색 신호 및 제2 청색 신호가 각각 인가될 수 있고, 전원 신호가 인가될 수 있다. Also, the first red signal and the second red signal, the first green signal and the second green signal, the first blue signal, and the second blue signal may be respectively applied to the stacked
본 발명에 따른 프로브 구조물(100)은 제1 접촉체들(140)이 상기 제연결부들(141) 및 제2 연결부(160)를 통해 전기적으로 연결되므로, 상기 평판표시소자의 검사를 위한 입력 신호를 안정적으로 상기 평판표시소자로 제공할 수 있다. 또한, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143), 제2 접촉체들(144) 및 제2 연결부(160)가 일체로 형성되므로 입력 신호의 노이즈를 감소시킬 수 있다.Since the
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 구조물(200)의 다른 예를 설명하기 위한 사시도이다. 2 is a perspective view for explaining another example of the
도 2를 참조하면, 프로브 구조물(200)은 기판(210), 시드 패턴(225), 제1 접촉체들(240), 제1 연결부(241), 제1 입력부(242), 제2 입력부(243), 제2 접촉체들(244), 절연 패턴(250), 제2 연결부(260) 및 보강 부재(270)를 포함한다.2, the
상기 제2 입력부(243)의 형상 및 상기 제2 연결부(260)의 형상을 제외하면, 상기 기판(210), 시드 패턴(225), 제1 접촉체들(240), 제1 연결부(241), 제1 입력부(242), 제2 입력부(243), 제2 접촉체들(244), 절연 패턴(250), 제2 연결부(260) 및 보강 부재(270)에 대한 구체적인 설명은 도 1을 참조한 기판(110), 시드 패턴(125), 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143), 제2 접촉체들(144), 절연 패턴(150), 제2 연결부(160) 및 보강 부재(170)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다. The
상기 제2 입력부(243)는 상기 제1 접촉체들(240)의 연장 방향과 동일한 방향 으로 연장하는 제1 부위(243a) 및 상기 제1 부위(243a)로부터 분기되며, 상기 제1 접촉체들(240)의 연장 방향과 수직한 방향으로 연장하는 제2 부위(243b)를 포함할 수 있다. 상기 제2 입력부(243)는 상기 제1 접촉체들(240), 제1 연결부(241) 및 제1 입력부(242)와 이격된다. 상기 제2 입력부(243)의 제1 부위(243a)의 일단이 상기 기판(210)의 후단으로부터 돌출된다.The
상기 제2 연결부(260)는 상기 절연 패턴(250)을 관통하여 상기 제1 연결부(241)와 연결되지 않은 나머지 상기 제1 접촉체들(240)과 상기 제2 입력부(243)를 전기적으로 연결한다. 예를 들면, 상기 제2 연결부(260)는 홀수번째의 제1 접촉체들(240b) 및 상기 제2 입력부(243)를 전기적으로 연결한다. 상기 제2 연결부(260)는 상기 제2 입력부(243)의 제1 부위(243a) 및 제2 부위(243b)와 연결될 수 있다. 따라서, 상기 제2 연결부(260)와 상기 제2 입력부(243)의 접촉 면적이 넓어, 상기 제2 연결부(260)와 상기 제2 입력부(243) 사이의 전기적 연결을 안정적으로 유지할 수 있다.The
도 3a 내지 3o는 도 1에 도시된 프로브 구조물(100)의 제조 방법을 설명하기 위한 사시도들이다.3A to 3O are perspective views illustrating a method of manufacturing the
도 3a를 참조하면, 기판(110)상에 시드층(120)을 형성한다. Referring to FIG. 3A, a
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판(110)은 절연성 기판일 수 있다. 상기 절연성 기판의 예로는 글래스 기판, 아크릴 기판 또는 세라믹 기판 등을 들 수 있다. 특히, 투명 글래스 기판 또는 투명 아크릴 기판을 통해 이물질의 잔류 여부를 용이하게 확인할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 기판(110)은 반도체 기판일 수 있다. 상기 반도체 기판의 예로는 실리콘 기판, 게르마늄 기판, 실리콘 게르마늄 기판 등을 들 수 있다. 이때, 상기 기판(110) 상에는 절연을 위한 절연층(미도시)이 구비된다. 상기 절연층은 산화물, 질화물 또는 고분자 화합물을 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the
상기 시드층(120)은 스퍼터링 공정에 의해 형성된다. 구체적으로, 상기 기판 상에 점착력이 우수한 제1 금속막을 형성하고, 상기 제1 금속막 상에 시드로 작용하는 제2 금속막을 형성하여 상기 시드층(120)을 형성한다. 상기 제1 금속막은 상기 제2 금속막을 상기 기판(110)에 접착시킨다. 상기 제1 금속막은 티타늄 또는 크롬을 포함하며, 상기 제2 금속막은 구리 또는 금을 포함할 수 있다.The
도 3b를 참조하면, 상기 시드층(120) 상에 제1 접촉부들, 제1 연결부, 제1 입력부, 제2 입력부 및 제2 접촉부들이 형성될 영역을 정의하는 제1 개구들(131)을 갖는 제1 몰딩 패턴(130)을 형성한다. Referring to FIG. 3B, the
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 시드층(120) 상에 포토레지스트 조성물을 도포하거나 포토레지스트 필름을 부착하여 포토레지스트층을 형성하고, 상기 포토레지스트층을 노광 및 현상하여 상기 시드층(120) 상에 상기 제1 몰딩 패턴(130)을 형성할 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 시드층(120) 상에 산화물 또는 질화물을 포함하는 절연층을 형성하고, 상기 절연층을 패터닝하여 상기 제1 몰딩 패턴(130)을 형성할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, a photoresist composition is applied on the
도 3c를 참조하면, 전기 도금(electro plating)을 이용하여 상기 제1 몰딩 패턴(130)에 의해 노출된 상기 시드층(120) 상에 제1 접촉체들(140), 제1 연결 부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체들(144)을 형성한다. 즉, 상기 제1 개구들(131)을 도전성 물질로 채워 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체들(144)을 형성한다. 예를 들면, 상기 제1 접촉체들(140)은 서로 이격되는 일 방향으로 연장하는 바 형태를 갖는다. 상기 제1 접촉체들(140)의 일단은 검사 대상물인 평판표시소자와 접촉을 위해 뾰족한 형상을 가질 수 있다. 상기 제1 연결부(141)는 상기 제1 접촉체들(140) 중 일부의 타단과 연결된다. 예를 들면, 상기 제1 연결부(141)는 상기 제1 접촉체들(140)과 수직하도록 연장하며, 짝수번째의 제1 접촉체들(140a)과 연결될 수 있다. 상기 제1 입력부(142)는 상기 제1 연결부(141)와 연결되며, 상기 제1 접촉체들(140)의 연장 방향과 동일한 방향으로 연장한다. 상기 제2 입력부(143)는 상기 제1 접촉체들(140)의 연장 방향과 동일한 방향으로 연장하며, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141) 및 제1 입력부(142)와 이격된다. 상기 제2 접촉체들(144)은 상기 제1 접촉체들(140)의 일측 또는 양측에 구비된다. 상기 제2 접촉체들(144)은 서로 이격되는 일 방향으로 연장하는 바 형태를 가지며, 상기 기판(110)의 전단으로부터 돌출된 상기 제2 접촉체들(144)의 단부는 상기 평판표시소자와 접촉을 위해 뾰족한 형상을 가질 수 있다. 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체들(144)은 상기 평판표시소자를 검사하기 위한 신호에 동일한 저항으로 작용하도록 폭과 길이가 조절될 수 있다. Referring to FIG. 3C, on the
상기 도전성 물질은 니켈 또는 니켈 합금을 포함한다. 상기 니켈 합금의 예 로는 니켈-코발트 합금 또는 니켈-텅스텐-코발트 합금을 들 수 있다.The conductive material includes nickel or a nickel alloy. Examples of the nickel alloy include a nickel-cobalt alloy or a nickel-tungsten-cobalt alloy.
상기에서는 상기 제1 접촉체들(140)의 일단들, 상기 제1 입력부(142)의 일단, 상기 제2 입력부(143)의 일단 및 상기 제2 접촉체들(144)들의 양단들이 뾰족한 형태로 도시되었지만, 상기 제1 접촉체들(140)의 일단들, 상기 제1 입력부(142)의 일단, 상기 제2 입력부(143)의 일단 및 상기 제2 접촉체들(144)들의 양단들의 형태는 이에 한정되지 않으며 다양한 형태를 가질 수 있다.One end of the
이후, 상기 제1 몰딩 패턴(130)의 표면이 노출될 때까지 평탄화공정을 수행한다. 상기 평탄화 공정의 예로는 화학적 기계적 연마(cemical mechanical polishing), 에치백, 그라인딩 등을 들 수 있다. Then, a planarization process is performed until the surface of the
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체들(144)은 물리 기상 증착 공정 또는 화학 기상 증착 공정을 통해 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 시드층(120)을 형성하는 공정은 생략될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the
한편, 상기 제2 접촉체들(144)은 형성하지 않고, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142) 및 제2 입력부(143)만을 형성할 수 도 있다.The
도 3d를 참조하면, 상기 제1 몰딩 패턴(130)을 제거한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 몰딩 패턴(130)이 상기 포토레지스트 조성물 또는 상기 포토레지스트 필름을 포함하는 경우, 상기 제1 몰딩 패턴(130)은 애싱 및/또는 스트립 공정에 의해 제거된다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 몰딩 패턴(130)이 상기 산화물 또는 질화물을 포함하는 경우, 상기 제1 몰딩 패턴(130)은 건식 식각 공정 또는 습식 식각 공정에 의해 제거된다.Referring to FIG. 3D, the
이후, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체들(144)에 의해 노출된 시드층(120)을 제거하여 시드 패턴(125)을 형성한다. 상기 시드층(120) 제거 공정으로는 건식 식각 공정 또는 습식 식각 공정을 들 수 있다.The
도 3e를 참조하면, 상기 제1 연결부(141)와 연결되지 않은 나머지 상기 제1 접촉체들(140) 및 상기 제2 입력부(143) 상에 포토레지스트 필름을 부분적으로 부착하여 포토레지스트 패턴(146)을 형성한다. 예를 들면, 홀수번째의 제1 접촉체들(140b) 및 상기 제2 입력부(143) 상에 상기 포토레지스트 패턴(146)을 형성할 수 있다.3E, a photoresist film is partially adhered to the
도 3f를 참조하면, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143), 제2 접촉체들(144) 및 포토레지스트 패턴(146)을 덮도록 상기 기판(110) 상에 절연층(148)을 형성한다. 상기 절연층(148)은 절연성 에폭시 수지, 산화물 또는 질화물을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3F, the
이후, 상기 포토레지스트 패턴(146)의 표면이 노출될 때까지 상기 절연층(148)에 대한 평탄화공정을 수행한다. 상기 평탄화 공정의 예로는 화학적 기계적 연마(cemical mechanical polishing), 에치백, 그라인딩 등을 들 수 있다. Thereafter, the insulating
도 3g를 참조하면, 상기 포토레지스트 패턴(146)을 제거하여 상기 절연층(148)을 제2 개구들(152)을 갖는 절연 패턴(150)으로 형성한다. 상기 제2 개구들(152)은 상기 제1 연결부(141)와 연결되지 않은 나머지 상기 제1 접촉체들(140) 및 상기 제2 입력부(143)를 부분적으로 노출한다. 예를 들면, 상기 제2 개구들(152)은 홀수번째의 제1 접촉체들(140b) 및 상기 제2 입력부(143)를 부분적으로 노출한다.Referring to FIG. 3G, the
상기에서는 상기 포토레지스트 패턴(146) 형성 공정, 상기 절연층(148) 형성 공정 및 포토레지스트 패턴(146) 제거 공정을 통해 상기 제2 개구들(152)을 갖는 절연 패턴(150)을 형성하는 것으로 설명되었지만, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143) 및 제2 접촉체들(144)을 덮도록 상기 기판(110) 상에 절연성 에폭시 수지, 산화물 또는 질화물을 포함하는 절연층을 형성하고, 상기 절연층을 패터닝하여 상기 제2 개구들(152)을 갖는 상기 절연 패턴(150)을 형성할 수 있다. The insulating
도 3h를 참조하면, 상기 절연 패턴(150) 상에 상기 제2 개구들(152)이 형성된 부위를 노출하는 제3 개구(157)를 갖는 제2 몰딩 패턴(155)을 형성한다. 상기 제3 개구(157)는 상기 제2 개구들(152)을 모두 노출한다. Referring to FIG. 3H, a
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 절연 패턴(150) 상에 포토레지스트 조성물을 도포하거나 포토레지스트 필름을 부착하여 포토레지스트층을 형성하고, 상기 포토레지스트층을 노광 및 현상하여 상기 제2 몰딩 패턴(155)을 형성할 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 절연 패턴(150) 상에 산화물 또는 질화물을 포함하는 절연층을 형성하고, 상기 절연층을 패터닝하여 상기 제2 몰딩 패턴(155)을 형성할 수 있다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 절연 패턴(150) 상에 상기 제2 개구들(152)이 형성된 부위를 노출하는 제3 개구(157)를 갖 도록 테프론과 같은 불소 수지를 테이핑하여 상기 제2 몰딩 패턴(155)을 형성할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a photoresist composition is coated on the
도 3i를 참조하면, 상기 제2 개구들(152) 및 제3 개구(157)를 도전성 물질로 채워 상기 제1 연결부(141)와 연결되지 않은 나머지 상기 제1 접촉체들(140) 및 상기 제2 입력부(143)를 전기적으로 연결하는 제2 연결부(180)를 형성한다. 예를 들면, 상기 제2 연결부(160)는 홀수번째의 제1 접촉체들(140b) 및 상기 제2 입력부(143)를 전기적으로 연결한다. 상기 제2 연결부(160)는 상기 평판표시소자를 검사하기 위한 신호에 동일한 저항으로 작용하도록 폭과 길이가 조절될 수 있다.Referring to FIG. 3I, the
상기 도전성 물질의 예로는 금속 또는 도전성 에폭시 수지를 들 수 있다. 상기 금속의 예로는 니켈 또는 니켈 합금 또는 구리 등을 들 수 있다. 상기 제2 연결부(160)는 스퍼터링 공정, 화학 기상 증착(CVD) 공정, 원자층 적층(ALD) 공정, 스프레이 코팅(spray coating) 공정, 스핀 코팅(spin coating) 공정, 딥코팅(dip coating) 공정 등을 사용하여 형성될 수 있다.Examples of the conductive material include metal or conductive epoxy resin. Examples of the metal include nickel, nickel alloy, copper, and the like. The
이후, 상기 제2 몰딩 패턴(155)의 표면이 노출될 때까지 상기 제2 연결부(160)에 대한 평탄화공정을 수행한다. 상기 평탄화 공정의 예로는 화학적 기계적 연마(cemical mechanical polishing), 에치백, 그라인딩 등을 들 수 있다. Thereafter, the
상기에서는 상기 제2 입력부(143)가 상기 제1 접촉부들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142) 및 제2 접촉체들(144)과 동시에 형성되는 것으로 설명되었지만, 상기 제2 입력부(143)는 상기 제1 접촉부들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142) 및 제2 접촉체들(144)과 동시에 형성되지 않고 상기 제2 연결부(160) 와 동시에 형성될 수 있다. Although the
도 3j를 참조하면, 상기 제2 몰딩 패턴(155)을 제거한다. Referring to FIG. 3J, the
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2 몰딩 패턴(155)이 상기 포토레지스트 조성물 또는 상기 포토레지스트 필름을 포함하는 경우, 상기 제2 몰딩 패턴(155)은 애싱 및/또는 스트립 공정에 의해 제거된다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제2 몰딩 패턴(155)이 상기 산화물 또는 질화물을 포함하는 경우, 상기 제2 몰딩 패턴(155)은 건식 식각 공정 또는 습식 식각 공정에 의해 제거된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 제2 몰딩 패턴(155)이 블소 수지를 포함하는 경우, 상기 제2 몰딩 패턴(155)은 애싱, 스트립, 화학적 기계적 연마, 에치백, 그라인딩 등의 공정에 의해 제거될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, when the
도 3k를 참조하면, 상기 제2 연결부(160)가 돌출된 상기 절연 패턴(150) 상에 보강 부재가 형성될 영역을 정의하는 제4 개구(167)를 갖는 제3 몰딩 패턴(165)을 형성한다. 상기 제4 개구(167)는 상기 제1 접촉체들(140) 및 제2 접촉체들(144)의 연장 방향과 수직하도록 상기 절연 패턴(150)을 가로지르며, 상기 제2 연결부(160)를 노출시킨다.Referring to FIG. 3K, a
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2 연결부(160)가 돌출된 상기 절연 패턴(150) 상에 포토레지스트 조성물을 도포하거나 포토레지스트 필름을 부착하여 포토레지스트층을 형성하고, 상기 포토레지스트층을 노광 및 현상하여 상기 제3 몰딩 패턴(165)을 형성할 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제2 연결부(160)가 돌출된 상기 절연 패턴(150) 상에 절연층을 형성하고, 상기 절연층을 패 터닝하여 상기 제3 몰딩 패턴(165)을 형성할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, a photoresist composition may be applied on the insulating
도 3l을 참조하면, 상기 제3 몰딩 패턴(165)의 제4 개구(167)를 절연 물질로 매립하여 보강 부재(170)를 형성한다. 상기 보강 부재(170)는 상기 제2 연결부(160)를 보강하여 상기 제2 연결부(160)의 두께가 얇아 끊어지는 것을 방지한다. 상기 절연 물질의 예로는 에폭시 수지 또는 세라믹을 들 수 있다. 상기 보강 부재(170)는 화학 기상 증착(CVD) 공정, 원자층 적층(ALD) 공정, 스프레이 코팅(apray coating) 공정, 스핀 코팅(spin coating) 공정, 딥코팅(dip coating) 공정 등을 사용하여 형성될 수 있다.Referring to FIG. 31, the reinforcing
한편, 상기 제2 연결부(160)의 두께가 두꺼운 경우, 상기 보강 부재(170)를 형성하는 공정이 생략될 수 있다. Meanwhile, when the thickness of the
이후, 상기 제3 몰딩 패턴(165)의 표면이 노출될 때까지 상기 보강 부재(170)에 대한 평탄화공정을 수행한다. 상기 평탄화 공정의 예로는 화학적 기계적 연마(cemical mechanical polishing), 에치백, 그라인딩 등을 들 수 있다. Then, the planarization process for the reinforcing
도 3m을 참조하면, 상기 제3 몰딩 패턴(165)을 제거한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제3 몰딩 패턴(165)이 상기 포토레지스트 조성물 또는 상기 포토레지스트 필름을 포함하는 경우, 상기 제3 몰딩 패턴(165)은 애싱 및/또는 스트립 공정에 의해 제거된다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제3 몰딩 패턴(165)이 상기 산화물 또는 질화물을 포함하는 경우, 상기 제3 몰딩 패턴(165)은 건식 식각 공정 또는 습식 식각 공정에 의해 제거된다.Referring to FIG. 3M, the
한편, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입 력부(143), 제2 접촉체들(144) 및 제2 연결부(160)가 하나의 층으로 형성되는 것으로 설명되었지만, 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143), 제2 접촉체들(144) 및 제2 연결부(160)를 형성하는 공정을 반복하여 상기 제1 접촉체들(140), 제1 연결부(141), 제1 입력부(142), 제2 입력부(143), 제2 접촉체들(144) 및 제2 연결부(160)를 다층으로 형성할 수도 있다. The
도 3n을 참조하면, 상기 기판(110)의 하부면에 상기 기판(110)의 하부면 양측을 노출시키는 마스크 패턴(175)을 형성한다. 상기 마스크 패턴(175)은 상기 보강 부재(170)와 대응하도록 상기 제1 접촉체들(140) 및 제2 접촉체들(144)의 연장 방향과 수직하는 방향으로 연장된다. 상기 마스크 패턴(175)은 상기 보강 부재(170)와 동일한 폭을 갖도록 형성되거나, 상기 보강 부재(170)보다 크거나 또는 작은 폭을 갖도록 형성될 수도 있다.Referring to FIG. 3N, a
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 마스크 패턴(175)은 테프론(teflon)과 같은 불소 수지를 상기 기판(110)의 하부면에 테이핑하여 형성할 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 마스크 패턴(175)은 포토레지스트 조성물을 상기 기판(110)의 하부면에 도포하여 포토레지스트층을 형성하고, 상기 포토레지스트층을 노광 및 현상하여 형성할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the
다음으로, 상기 마스크 패턴(175)을 식각 마스크로 하여 상기 기판(110), 상기 절연 패턴(150) 및 상기 시드 패턴(125)을 순차적으로 식각하여 상기 제1 접촉체들(140)의 일단, 상기 제1 입력부(142)의 일단, 상기 제2 입력부(143)의 일단 및 상기 제2 접촉체들(144)의 양단을 노출시킨다.Next, the
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 마스크 패턴(175)을 형성하기 전에, 상기 기판(110)에 대해 시닝(thining) 공정 또는 연마 공정을 수행하여 상기 기판(110)의 두께를 감소시킨다. 또한, 상기 시닝 공정 또는 연마 공정을 통해 상기 기판(110)의 하부면을 거칠게 가공된다. 따라서, 상기 기판(110)의 식각 공정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a thinning process or a polishing process is performed on the
도 3o를 참조하면, 상기 마스크 패턴(175)을 제거하여 프로브(100)를 완성한다. 상기 마스크 패턴(175)의 제거 공정으로는 애싱, 스트립, 화학적 기계적 연마, 에치백, 그라인딩 등을 들 수 있다. Referring to FIG. 3O, the
도 3p를 참조하면, 상기 프로브 구조물(100)이 완성되면, 다수의 프로브 구조물(100)들을 접착물질을 이용하여 적층할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 각 프로브 구조물(100)들의 제1 접촉체들(140) 및 제2 접촉체들(144)이 동일한 위치에 동일한 돌출 길이를 갖도록 상기 프로브 구조물(100)들이 적층될 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 각 프로브 구조물(100)들의 제1 접촉체들(140) 및 제2 접촉체들(144)이 서로 다른 위치에 동일한 돌출 길이를 갖도록 상기 프로브 구조물(100)들이 적층될 수 있다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 각 프로브 구조물(100)들의 제1 접촉체들(140) 및 제2 접촉체들(144)이 서로 다른 위치에 서로 다른 돌출 길이를 갖도록 상기 프로브 구조물(100)들이 적층될 수 있다. Referring to FIG. 3P, when the
한편, 상기 도 2에 도시된 프로브 구조물(200)의 제조 방법은 도 3a 내지 도 2o를 참조한 프로브 구조물(100)의 제조 방법과 실질적으로 동일하다.The manufacturing method of the
본 발명에 따른 프로브 구조물은 접촉체들이 연결부들을 통해 전기적으로 연결되므로, 평판표시소자의 검사를 위한 입력 신호를 안정적으로 상기 평판표시소자로 제공할 수 있다. 또한, 상기 접촉체들, 연결부 및 입력부들이 일체로 형성되므로 입력 신호의 노이즈를 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 평판표시소자에 대한 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Since the probe structure according to the present invention is electrically connected to the contact members through the connection portions, an input signal for inspection of the flat panel display device can be stably provided to the flat panel display device. Further, since the contact members, the connecting portion, and the input portions are integrally formed, the noise of the input signal can be reduced. Therefore, the inspection reliability of the flat panel display device can be improved.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 구조물을 설명하기 위한 사시도이다. 1 is a perspective view illustrating a probe structure according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 구조물의 다른 예를 설명하기 위한 사시도이다. 2 is a perspective view illustrating another example of a probe structure according to another embodiment of the present invention.
도 3a 내지 도 3p는 본 발명의 일 실시예들에 따른 프로브 구조물 제조 방법을 설명하기 위한 사시도들이다.3A to 3P are perspective views illustrating a method of manufacturing a probe structure according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Description of the Related Art [0002]
100 : 프로브 구조물 110 : 기판100: probe structure 110: substrate
125 : 시드 패턴 140 : 제1 접촉체125: seed pattern 140: first contact body
141 : 제1 연결부 142 : 제1 입력부141: first connection part 142: first input part
143 : 제2 입력부 144 : 제2 접촉체143: second input section 144: second contact body
150 : 절연 패턴 160 : 제2 연결부150: insulation pattern 160: second connection portion
170 : 보강 부재170: reinforcing member
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