KR101495155B1 - 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 금속 배선의 부식을 억제하고, 신뢰성을 높일 수 있는 표시 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명에 따르면, 구동 패널(10)은, 구동용 기판(11) 상에 회로부, 피복층(13) 및 표시부를 차례로 구비하고, 밀봉 패널(20)과 접착층(30)을 사이에 두고 접합된 접합 영역을 구비한다. 구동 패널(10)의 한 변은 밀봉 패널(20)로부터 나온 단자 영역이 되어 있고, 이 단자 영역에는, 회로부에 전기적으로 접속된 복수개의 금속 배선(51)이 연장되어 설치되어 있다. 접합 영역에서 피복층(13)은, 인접한 금속 배선(51) 사이에 배선간 분리 영역(13A)을 구비한다. 배선간 분리 영역(13A)은, 그 끝둘레가, 접합 영역(10A)을 넘어 단자 영역(10B)에 도달하고, 또한 단자 영역(10B)에서의 끝둘레까지는 도달하지 않도록 형성되어 있다.

Description

표시 장치 및 그 제조 방법{DISPLAY APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURINGE THE SAME}
본 발명은, 유기 발광 소자 등의 표시 소자를 사용한 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히, 표시 소자를 설치한 구동 패널과 밀봉 패널을 접착층을 사이에 두고 접합시킨, 이른바 완전 고체 밀봉 구조에 바람직한 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 액정 디스플레이를 대체하는 표시 장치로서 유기 발광 소자를 사용한 유기 발광 표시 장치가 주목받고 있다. 도 24 및 도 25는, 그 구조의 일례를 나타내고 있다. 이 표시 장치는, 구동 패널(210)과 밀봉 패널(220)을 대향 배치하고, 접착층(230)을 사이에 두고 접합시킨 것이다.
구동 패널(210)은, 유리 등으로 이루어지는 구동용 기판(211)에, 회로부(212), 피복층(213), 및 복수개의 유기 발광 소자로 이루어지는 표시부(214)가 차례로 형성된 것이다. 밀봉 패널(220)은, 유리 등으로 이루어지는 밀봉용 기판(221)을 구비하고 있다. 구동 패널(210)의 표시부(214) 측과 접착층(230) 사이 에는, 표시부(214)를 대기로부터 차단하기 위하여, 질화 규소(SiNx) 또는 이산화 규소(SiO2) 등으로 이루어지는 무기 절연막(240)이 설치되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
회로부(212), 피복층(213) 및 표시부(214)는, 구동 패널(210)과 밀봉 패널(220)의 접합 영역(200A) 내에 설치되어 있다. 구동 패널(210)의 한 변은 밀봉 패널(220)보다 나온 단자 영역(200B)으로 되어 있다. 이 단자 영역(200B)에는, 회로부(212)로부터 금속 배선(251)이 연장되어 설치되어 있고, 이들 금속 배선(251)의 선단에 단자부(252)가 설치되어 있다. 금속 배선(251) 및 단자부(252)는, 예를 들면, 알루미늄(Al) 등의 저(低) 저항 금속에 의해 구성되어 있다.
[특허 문헌 1] 일본국 특개 2005-38633호 공보
[특허 문헌 2] 일본국 특개평 11-142871호 공보
이와 같은 종래의 표시 장치에서는, 도 26에 나타낸 바와 같이, 금속 배선(251)은, 접합 영역(200A) 내에서, 연속된 피복층(213)으로 피복되어 있었다. 이 피복층(213)은 유기 절연 재료에 의해 구성되어 있으므로 수분을 용이하게 흡수하고, 또한, 무기 절연막(240)과의 밀착성이 낮다. 그러므로, 접합 영역(200A)과 단자 영역(200B) 사이의 경계부(200C)는, 높은 수증기압 환경 하에서 수분의 영향을 쉽게 받게 되어 있고, 수분이나 불순물 이온이 피복층(213) 내, 또는 피복층(213)과 무기 절연막(250) 사이의 계면을 통하여 침입하고, 금속 배선(251) 사이에 생기는 전위차에 의해 금속 배선(251)에 부식이 생기고, 단선이나 단락을 일으키는 문제가 있었다.
금속 배선(251)이 갈바니 부식(Galvanic corrosion)을 일으키는 요인으로서 금속 배선(251)의 구성 재료, 수분 등의 이온 교환 패스, 인접하는 금속 배선(251) 사이의 전위에 의해 생기는 전계 등을 들 수 있다. 종래에는, 예를 들면, 특허 문헌 2에 기재된 바와 같이, 병렬로 배치된 배선의 배열 순서를 인접 배선간의 전위차가 최소로 되도록 하고, 또한 더미(dummy) 배선을 설치함으로써, 갈바니 부식의 발생 요인의 하나인 인접 배선간의 전위의 영향을 최소한으로 하는 것이 제안되어 있다. 그러나, 도 26에 나타낸 바와 같은 종래의 표시 장치에서는, 수분이나 불순물 이온은 피복층(213)을 통하여 금속 배선(251) 사이에 자유롭게 침입할 수 있는 구조로 되어 있으므로, 인접 배선간의 전위차가 미소하더라도 부식을 회피하기 곤 란하였다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 금속 배선의 부식을 억제하고, 신뢰성을 높일 수 있는 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명에 의한 제1 표시 장치는, 구동용 기판에 회로부, 피복층, 및 복수개의 표시 소자로 이루어지는 표시부가 차례로 설치된 구동 패널을 구비한 것으로서, 구동 패널은, 회로부, 피복층 및 표시부를 포함하고, 또한 접착층을 사이에 두고 밀봉 패널이 접합된 접합 영역과, 밀봉 패널 및 접착층으로부터 나온 단자 영역을 구비하고, 접합 영역의 회로부에 전기적으로 접속된 복수개의 금속 배선이 단자 영역까지 연장되어 설치되어 있고, 접합 영역에서 피복층이, 복수개의 금속 배선 사이에서 적어도 1개소, 분리된 영역을 구비하고, 상기 피복층의 분리된 영역은, 상기 영역의 끝둘레가, 상기 접합 영역을 넘어서 상기 단자 영역에 도달하고, 또한 상기 단자 영역에서의 끝둘레까지는 도달하지 않도록 형성되어 있는 것이다.
이 제1 표시 장치에서는, 접합 영역에서 피복층이, 복수개의 금속 배선 사이에서 분리된 영역을 구비하고 있으므로, 수분이나 불순물 이온이 피복층을 통하여, 인접한 금속 배선 사이에 침입하는 것이 방지된다. 또한, 피복층의 분리된 영역의 끝둘레가 단자 영역에서의 끝둘레까지는 도달하지 않고 있으므로, 예를 들면, 접착층이 단자 영역으로 나오지 않도록 마스킹을 행하는 경우에, 단자 영역에서의 끝둘레까지 사이에 상기 마스킹을 위한 평탄 영역(모든 접촉 영역)이 확보되게 된다.
본 발명에 의하면, 접합 영역 내의 피복층에, 복수개의 금속 배선 사이에서 적어도 1개소, 분리된 영역을 형성하도록 했으므로, 수분이나 불순물 이온이 피복층을 통하여, 인접한 금속 배선 사이에 침입하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 금속 배선의 부식을 억제하고, 표시 장치의 신뢰성을 비약적으로 향상시킬 수 있다. 또한, 단자 영역에서의 끝둘레까지 사이에 마스킹을 위한 평탄 영역(모든 접촉 영역)을 확보할 수 있으므로, 상기 마스킹의 확실화를 통해서 단자 영역으로의 접착층이 나오는 것을 확실하게 방지할 수 있고, 결과적으로 표시 장치의 신뢰성 향상이나 제조 수율 향상이 도모되게 된다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그리고, 도면에서 각 구성 요소는 본 발명을 이해할 수 있는 정도의 형상, 크기 및 배치 관계를 개략적으로 나타낸 것이며, 실제 치수와는 상이하다.
(제1 실시 형태)
도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 표시 장치의 개략적인 구조를 나타내고, 도 2는 도 1에 나타낸 표시 장치의 II-II선에 따른 단면 구조를 나타낸 것이다. 이 표시 장치는, 예를 들면, 박막 트랜지스터(TFT； Thin Film Transistor)에 의해 구동되는 액티브형 또는 패시브형의 극박형 유기 발광 표시 장치로서 사용되는 것이며, 구동 패널(10)과 밀봉 패널(20)이 대향 배치되고, 접착층(30)을 사이에 두고 접합시킨 구성을 가지고 있다.
구동 패널(10)은, 유리 등의 무기 절연 재료로 이루어지는 구동용 기판(11)에, 회로부(12), 피복층(13), 및 후술하는 바와 같은 복수개의 유기 발광 소자로 이루어지는 표시부(14)가 차례로 형성된 것이다. 구동 패널(10)의 표시부(14) 측과 접착층(30) 사이에는, 표시부(14)를 대기로부터 차단하기 위하여, 질화 규소(SiNx) 또는 이산화 규소(SiO2) 등으로 이루어지는 무기 절연막(40)이 설치되어 있다.
회로부(12)는, 표시부(14)의 각 유기 발광 소자를 구동시키기 위한 TFT 등을 포함하는 구동 회로와, 표시부(14)의 주변에 설치되는 주변 회로(모두 도시하지 않음)를 포함하고 있다.
피복층(13)은, 예를 들면, 두께가 0.2㎛∼50㎛ 정도이며, 폴리이미드, 폴리아미드, 아크릴, BCB(벤조시클로부텐) 또는 폴리이미드아미드 등의 유기 감광성 재료에 의해 구성되어 있다.
회로부(12), 피복층(13) 및 표시부(14)는, 구동 패널(10)과 밀봉 패널(20)의 접합 영역(10A) 내에 설치되어 있다. 구동 패널(10)의 한 변은, 밀봉 패널(20)보다 나온 단자 영역(10B)이 되어 있다. 이 단자 영역(10B)에는, 회로부(12)의 주변 회로에 전기적으로 접속된 복수개의 금속 배선(51)이 연장되어 설치되어 있고, 이들 금속 배선(51)의 선단에 단자부(52)가 설치되어 있다. 금속 배선(51)은, 저항이 낮고, 반사율이나 가공성이 우수한 재료에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하고, 예를 들면, 두께가 50nm∼5㎛ 정도이며, 알루미늄(Al) 또는 알루미늄(Al)을 포 함하는 합금에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 알루미늄(Al)과 티탄(Ti), 실리콘(Si), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 백금(Pt) 또는 텅스텐(W) 등과의 합금을 들 수 있다. 또한, 이들이 적층된 구조로 되어 있어도 된다.
도 3은 접합 영역(10A)와 단자 영역(10B)의 경계부(10C) 근방의 평면 구조를 나타내고, 도 4는 도 3의 IV-IV선에 따른 단면 구조를 나타낸 것이다. 피복층(13)은, 접합 영역(10A)에서, 인접하는 금속 배선(51) 사이에, 배선간 분리 영역(13A)을 구비하고 있다. 이에 따라, 이 표시 장치에서는, 금속 배선(51)의 부식을 억제하고, 표시 장치의 신뢰성을 비약적으로 향상시킬 수 있도록 되어 있다. 그리고, 도 3에서는, 피복층(13)이 형성되어 있는 영역을 점의 쉐이드로 나타내고 있다.
피복층(13)은, 복수개의 금속 배선(51)의 상면 및 측면을 덮고 있는 것이 바람직하다. 제조 단계에서 금속 배선(51)에 이물질이 부착되거나 하여, 금속 배선(51)이 단락되거나 외력에 의해 손상을 받거나 하는 것을 방지할 수 있기 때문이다.
또한, 무기 절연막(40)은, 복수개의 금속 배선(51) 사이에서 구동용 기판(11)에 접하고 있는 것이 바람직하다. 구동용 기판(11)은 전술한 바와 같이 유리 등의 무기 재료에 의해 구성되어 있으므로, 무기 절연막(40)과 구동용 기판(11) 사이의 밀착성을 향상시킬 수 있고, 수분 또는 불순물 이온이 접합 영역(10A)과 단자 영역(10B) 사이의 경계부(10C)로부터 금속 배선(51) 사이에 침입하는 것을 방지할 수 있기 때문이다.
배선간 분리 영역(13A)의 폭 D, 즉 금속 배선(51)의 배열 방향에서의 치수는, 인접하는 금속 배선(51) 사이의 거리에 따라 가급적 넓게 되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 배선간 분리 영역(13A)의 길이 L은, 금속 배선(51)을 따른 방향으로는 가급적 길게 되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 배선간 분리 영역(13A)은, 그 한쪽의 끝둘레, 즉 단자부(52)의 외주 에지 측에 위치하는 길이 방향의 끝둘레가, 접합 영역(10A)을 넘어 단자 영역(10B)에 도달하고, 또한 단자 영역(10B)에서의 끝둘레(외주 에지)까지는 도달하지 않도록 형성되어 있다. 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레가 단자 영역(10B)에서의 끝둘레에서는 도달하고 있지 않으면, 예를 들면, 접착층(30)이 단자 영역(10B)으로는 나오지 않도록 마스킹을 행하는 경우에, 단자 영역(10B)에서의 끝둘레까지의 사이에 상기 마스킹을 위한 평탄 영역(모든 접촉 영역)이 확보되게 되기 때문이다. 즉, 단자 영역(10B)에서의 끝둘레까지의 사이에 마스킹을 위한 평탄 영역(모든 접촉 영역)을 확보할 수 있으므로, 예를 들면, 마스킹 테이프의 접착력 향상을 기대할 수 있으므로, 이에 따라, 상기 마스킹의 확실화를 통해서 단자 영역으로의 접착층이 나오는 것을 확실하게 방지하여, 그 결과로서 표시 장치의 신뢰성 향상이나 제조 수율 향상이 도모할 수 있기 때문이다.
도 1 및 도 2에 나타낸 밀봉 패널(20)은, 구동 패널(10)의 표시부(14) 측에 위치하고 있고, 접착층(30)과 함께 유기 발광 소자(110R, 110G, 110B)를 밀봉하는 밀봉용 기판(21)을 구비하고 있다. 밀봉용 기판(21)은, 유기 발광 소자(110R, 110G, 110B)에서 발생한 광에 대하여 투명한 유리 등의 재료에 의해 구성되어 있 다. 밀봉용 기판(21)에는, 예를 들면, 컬러 필터(도시하지 않음)가 설치되어 있고, 유기 발광 소자(110R, 110G, 110B)에서 발생한 광을 취출(取出)하고, 유기 발광 소자(110R, 110G, 110B) 및 그 사이의 배선에서 반사된 외광을 흡수하고, 콘트라스트를 개선하도록 되어 있다.
접착층(30)은, 예를 들면, 열경화형 수지 또는 자외선 경화형 수지에 의해 구성되어 있다.
도 5는 표시부(14)의 구성의 일례를 나타내고 있다. 표시부(14)는, 피복층(13) 상에, 적색의 광을 발생하는 유기 발광 소자(110R)와, 녹색의 광을 발생하는 유기 발광 소자(110G)와, 청색의 광을 발생하는 유기 발광 소자(110B)가, 차례로 전체적으로 매트릭스형으로 설치되어 있다.
이 유기 발광 소자(110R, 110G, 110B)는, 예를 들면, 구동용 기판(11) 측으로부터, 양극으로서의 제1 전극(112), 발광층을 포함하는 유기층(113), 및 음극으로서의 제2 전극(114)이 전술한 순서로 적층되어 있다.
제1 전극(112)은, 반사층으로서의 기능도 겸하고 있고, 예를 들면, 백금(Pt), 금(Au), 크롬(Cr), 은(Ag) 또는 텅스텐(W) 등의 금속 또는 합금에 의해 구성되어 있다. 그리고, 제1 전극(112)은, 피복층(13)에 설치된 컨택트홀(도시하지 않음)을 통하여 회로부(12)의 구동 회로에 접속되어 있다.
유기층(113)은, 유기 발광 소자의 발광색에 의해 구성이 상이하게 되어 있다. 유기 발광 소자(110R, 110B)는, 정공 수송층(hole transport layer), 발광층 및 전자 수송층이 제1 전극(112) 측으로부터 전술한 순서로 적층된 구조를 가지고 있고, 유기 발광 소자(110G는, 정공 수송층 및 발광층이 제1 전극(112) 측으로부터 전술한 순서로 적층된 구조를 가지고 있다. 정공 수송층은, 발광층으로의 정공 주입 효율을 높이기 위한 것이다. 발광층은, 전류의 주입에 의해 광을 발생하는 것이다. 전자 수송층은, 발광층으로의 전자 주입 효율을 높이기 위한 것이다.
유기 발광 소자(110R)의 정공 수송층의 구성 재료로서는, 예를 들면, 비스[(N－나프틸)-N－페닐]벤지딘(α-NPD)를 들 수 있고, 유기 발광 소자(110R)의 발광층의 구성 재료로서는, 예를 들면, 2, 5-비스[ 4-[N- (4-메톡시 페닐)―N－페닐 아미노]]스티릴 벤젠-1, 4-디카보니트릴(BSB)을 들 수 있고, 유기 발광 소자(110R)의 전자 수송층의 구성 재료로서는, 예를 들면, 8-퀴놀리놀 알루미늄 복합체(Alq3)를 들 수 있다.
유기 발광 소자(110B)의 정공 수송층의 구성 재료로서는, 예를 들면, α-NPD를 들 수 있고, 유기 발광 소자(110B)의 발광층의 구성 재료로서는, 예를 들면, 4, 4-비스(2, 2-디페닐비닐)비페닐(DPVBi)을 들 수 있고, 유기 발광 소자(110B)의 전자 수송층의 구성 재료로서는, 예를 들면, Alq3를 들 수 있다.
유기 발광 소자(110G)의 정공 수송층의 구성 재료로서는, 예를 들면, α-NPD를 들 수 있고, 유기 발광 소자(110G)의 발광층의 구성 재료로서는, 예를 들면, Alq3에 쿠마린6(C6；Coumarin6)를 1체적% 혼합한 것을 들 수 있다.
제2 전극(114)은, 반투과성 전극에 의해 구성되어 있고, 발광층에서 발생한 광은 제2 전극(114) 측으로부터 취출되도록 되어 있다. 제2 전극(114)은, 예를 들 면, 은(Ag), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg, 칼슘(Ca), 나트륨(Na) 등의 금속 또는 합금에 의해 구성되어 있다.
이 표시 장치는, 예를 들면, 다음과 같이 하여 제조할 수 있다.
도 6 내지 도 8은, 이 표시 장치의 제조 방법을 단계순으로 나타낸 것이다. 먼저, 도 6의 (A)에 나타낸 바와 같이, 전술한 재료로 이루어지는 구동용 기판(11) 상에, 구동 회로 및 주변 회로를 포함하는 회로부(12)를 형성하고, 회로부(12)로부터 단자 영역(10B)의 형성 예정 영역(10B1)에 전술한 두께 및 재료로 이루어지는 복수개의 금속 배선(51)을 연장하여 설치하고, 금속 배선(51)의 선단에 단자부(52)를 설치한다.
이어서, 도 6의 (B)에 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 스핀 코트법에 의해, 예를 들면, 전술한 재료를 도포, 노광 및 현상함으로써, 전술한 두께의 피복층(13)을 형성한다. 여기서, 노광 시에, 접합 영역(10A)의 형성 예정 영역(10A1) 내의 피복층(13)을 일부 제거함으로써, 인접하는 금속 배선(51) 사이에 배선간 분리 영역(13A)을 설치한다(도 6의 (B)에는 도시하지 않음, 도 3 및 도 4 참조).
이어서, 도 7의 (A)에 나타낸 바와 같이, 피복층(13) 상에, 표시부(14)를 형성한다. 표시부(14)를 형성할 때는, 먼저, 예를 들면, 직류 스퍼터링(DC sputtering)에 의해, 전술한 재료로 이루어지는 제1 전극(112)을 성막하고, 예를 들면, 리소그래피 기술을 사용하여 선택적으로 에칭하고, 소정의 형상으로 패터닝한다. 그 후, 예를 들면, 증착법에 의해, 전술한 재료로 이루어지는 유기층(113) 및 제2 전극(114)을 차례로 성막하고, 도 5에 나타낸 바와 같은 유기 발광 소 자(110R, 110G, 110B)를 형성한다. 이에 따라, 구동 패널(10)이 형성된다.
그 후, 도 7의 (B)에 나타낸 바와 같이, 표시부(14) 상에, 전술한 재료로 이루어지는 무기 절연막(40)을 형성한다.
구동 패널(10)을 형성한 후, 도 8의 (A)에 나타낸 바와 같이, 무기 절연막(40) 상에, 접착층(30)을 형성한다. 그 후, 밀봉 패널(20)로서, 컬러 필터가 설치되고, 전술한 재료로 이루어지는 밀봉용 기판(21)을 준비하고, 마찬가지로 도 8의 (A)에 나타낸 바와 같이, 구동 패널(10)과 밀봉 패널(20)을 접착층(30)을 사이에 두고 접합시킨다.
구동 패널(10)과 밀봉 패널(20)을 접합시킨 후, 도 8의 (B)에 나타낸 바와 같이, 단자 영역(10B)의 형성 예정 영역(10B1)의 밀봉 패널(20) 및 접착층(30)을 절단하여 제거한 후, 예를 들면, 에칭에 의해 무기 절연막(40)을 제거하고, 금속 배선(51) 및 단자부(52)를 노출시킨다. 이에 따라, 단자 영역(10B) 및 접합 영역(10A)이 형성된다. 이상에 의해, 도 1 내지 도 5에 나타낸 표시 장치가 완성된다.
이 표시 장치에서는, 제1 전극(112)과 제2 전극(114) 사이에 소정의 전압이 인가되면, 유기층(113)의 발광층에 전류가 주입되고, 정공과 전자가 재결합함으로써 발광이 일어난다. 이 광은, 제2 전극(114), 무기 절연막(40) 및 밀봉 패널(20)을 투과하여 취출된다. 여기서는, 접합 영역(10A)에서 피복층(13)이, 금속 배선(51) 사이에 배선간 분리 영역(13A)을 구비하고 있으므로, 수분이나 불순물 이온이 피복층(13)을 통하여, 인접한 금속 배선(51) 사이에 침입하는 것이 방지되고, 신뢰성이 향상된다.
이와 같이 본 실시 형태에서는, 접합 영역(10A)에서 피복층(13)에, 인접하는 금속 배선(51) 사이에 배선간 분리 영역(13A)을 설치하도록 했으므로, 수분이나 불순물 이온이 피복층(13)을 통하여, 인접한 금속 배선(51) 사이에 침입하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 금속 배선(51)의 부식을 억제하고, 금속 배선(51)이 단락하여 화소가 점등되지 않게 되거나 기본 성능이 손상되는 등의 중대한 고장을 방지하고, 표시 장치의 신뢰성을 비약적으로 향상시킬 수 있다.
또한, 배선간 분리 영역(13A)은, 피복층(13)의 노광 시에 평면 패턴을 변경만 하면 되는 간단한 단계로 형성 가능하다. 따라서, 추가로 층을 설치함으로써 구조나 제조 단계가 복잡해지지도 않고, 재료 등의 비용 증가를 수반하지 않으며 신뢰성이 높은 표시 장치를 실현할 수 있다.
특히, 무기 절연막(40)이, 복수개의 금속 배선(51) 사이에서 구동용 기판(11)에 접하고 있도록 하였으므로, 무기 절연막(40)과 유리 등의 무기 재료로 이루어지는 구동용 기판(11) 사이의 밀착성을 향상시킬 수 있고, 수분 또는 불순물 이온이 접합 영역(10A)과 단자 영역(10B) 사이의 경계부(10C)로부터 금속 배선(51) 사이에 침입하는 것을 방지할 수 있다.
이하, 제1 실시 형태의 변형예 1 내지 변형예 3에 대하여 설명한다. 이들 변형예 1 내지 변형예 3은, 피복층(13) 및 배선간 분리 영역(13A)의 형상 또는 배치를 변경한 점을 제외하고는, 제1 실시 형태와 동일한 구성을 가지고, 마찬가지로 하여 제조할 수 있고, 그 작용·효과도 제1 실시 형태와 동일하다. 따라서, 대응 하는 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하여 설명한다.
(변형예 1)
도 9는 본 발명의 변형예 1에 따른 표시 장치의 단면 구조를 나타내고, 도 10은 경계부(10C) 근방의 평면 구조를 나타낸 것이다. 이 표시 장치에서는, 피복층(13)이 접합 영역(10A) 및 단자 영역(10B)의 일부에 설치되어 있다. 배선간 분리 영역(13A)은, 접합 영역(10A)을 넘어 단자 영역(10B)에 설치되어 있다. 이에 따라, 본 변형예에서는, 제조 단계에서 전술한 구동 패널(10)과 밀봉 패널(20)을 접합시킨 후, 도 8의 (B)에 나타낸 단계에서 단자 영역(10B)의 형성 예정 영역(10B1)의 밀봉 패널(20) 및 접착층(30)을 절단할 때의 불균일을 완화할 수 있다.
(변형예 2)
도 11은, 본 발명의 변형예 2에 따른 표시 장치의 경계부(10C) 근방의 평면 구조를 나타낸 것이다. 이 표시 장치는, 피복층(13)이 접합 영역(10A) 및 단자 영역(10B)의 전부에 설치된 것이다. 피복층(13)에는, 단자부(52)에 대응하여 개구부(13B)가 설치되어 있다. 이 변형예에서도, 변형예 1과 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.
(변형예 3)
도 12는, 본 발명의 변형예 3에 따른 표시 장치의 경계부(10C) 근방의 평면 구조를 나타낸 것이다. 이 표시 장치는, 피복층(13)의 일부가 절제되어, 금속 배선(51)의 배열 방향으로 연장되는 횡단적 분리 영역(13C)이 되어 있고, 이 횡단적 분리 영역(13C)에 의해, 피복층(13) 상에 표시부(14)가 형성되어 있는 부분과, 경 계부(10C) 근방의 금속 배선(51)을 덮는 부분이 분리되어 있다. 이에 따라, 본 변형예에서는, 수분이나 불순물 이온이 피복층(13)을 통하여 경계부(10C) 근방의 금속 배선(51) 사이에 침입하는 것을 확실하게 억제할 수 있다.
그리고, 피복층(13)에는, 도 12에 나타낸 바와 같이 단자부(52)에 대응하여 개구부(13B)를 설치해도 되고, 도 13에 나타낸 바와 같이, 피복층(13)이 금속 배선(51)만을 덮고, 단자부(52)에 도달하지 않도록 해도 된다.
(변형예 4)
도 14는, 본 발명의 변형예 4에 따른 표시 장치의 경계부(10C) 근방의 평면 구조를 나타낸 것이다. 이 표시 장치는, 금속 배선(51)이 경계부(10C) 근방에서 굴곡되어 있고, 피복층(13)에도, 금속 배선(51)에 맞추어서 굴곡 형상의 배선간 분리 영역(13A)이 설치된 것이다. 본 변형예에서도, 변형예 1과 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.
(제2 실시 형태)
도 15는, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 표시 장치의 경계부(10C) 근방의 평면 구조를 나타낸 것이다. 이 표시 장치는, 배선간 분리 영역(13A)의 폭 D를, 이들을 사이에 두고 인접하는 금속 배선(51) 사이의 전위차에 따라 상이하도록 한 점을 제외하고는, 전술한 변형예 2와 동일한 구성을 가지고, 제조 방법·작용 및 효과도 동일하다. 따라서, 대응하는 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하여 설명한다.
예를 들면, 4개의 금속 배선(51A, 51B, 51C, 51D)이 설치되어 있는 경우, 금 속 배선(51A, 51B) 사이의 전위차 V1이 극히 작을 때는 거리 D1은 0, 즉 배선간 분리 영역(13A)을 설치하지 않도록 할 수 있다. 이와 같이 하면, 부식할 우려가 낮은 금속 배선(51) 사이에서 피복층(13)의 평탄성을 양호하게 할 수 있기 때문이다. 또한, 금속 배선(51B, 51C) 사이의 전위차 V2가 그다지 크지 않을 때는 거리 D2는 좁아도 된다. 금속 배선(51C, 51D) 사이의 전위차 V3가 극히 클 때는 거리 D3는 넓게 하는 것이 바람직하다.
이와 같이 본 실시 형태에서는, 배선간 분리 영역(13A)의 폭 D를, 이들을 사이에 두고 인접하는 금속 배선(51) 사이의 전위차에 따라 상이하도록 했으므로, 부식할 우려가 낮은 금속 배선(51) 사이에서는 피복층(13)의 평탄성을 유지할 수 있는 한편, 부식할 우려가 높은 금속 배선(51)에 대해서는, 수분이나 불순물 이온의 침입을 확실하게 억제할 수 있고, 표시 장치의 신뢰성을 더욱 향상시킬 수 있다.
(제3 실시 형태)
도 16은, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 표시 장치의 경계부(10C) 근방의 평면 구조를 나타낸 것이다. 이 표시 장치는, 복수개의 금속 배선(51)이, 경계부(10C)보다 단자 영역(10B) 측에서 피복층(13)에 의해 피복되어 있는 점을 제외하고는, 전술한 변형예 3과 동일한 구성을 가지고, 마찬가지의 제조 방법에 의해 제조할 수 있다.
이 표시 장치에서는, 제1 실시 형태와 마찬가지로 하여 발광이 생기고, 이 광은 밀봉 패널(20) 측으로부터 취출된다. 여기서는, 복수개의 금속 배선(51)이, 경계부(10C)보다 단자 영역(10B) 측에서 피복층(13)에 의해 피복되어 있으므로, 수 분이나 불순물 이온이 피복층(13)을 통하여, 경계부(10C)로부터 접합 영역(10A) 내로 침입하는 것이 방지된다.
이와 같이 본 실시 형태에서는, 복수개의 금속 배선(51)을, 단자 영역(10B)과 접합 영역(10A)의 경계부(10C)보다 단자 영역(10B) 측에서 피복층(13)에 의해 피복하도록 했으므로, 수분이나 불순물 이온이 피복층(13)을 통하여, 경계부(10C)로부터 접합 영역(10A) 내에 침입하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 금속 배선(51)의 부식을 억제하고, 금속 배선(51)이 단락되어 화소가 점등되지 않게 되거나 기본 성능이 손상되는 등의 중대한 고장을 방지하고, 표시 장치의 신뢰성을 비약적으로 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다.
(실시예)
상기 제1 실시 형태와 마찬가지로 하여 표시 장치를 제작하였다. 이 때, 금속 배선(51)은 알루미늄(Al)에 의해 구성하고, 피복층(13)은 폴리이미드에 의해 구성하였다. 피복층(13)의 평면 형상은 변형예 3의 도 12와 마찬가지로 하고, 인접하는 금속 배선(51) 사이에는 배선간 분리 영역(13A)을 설치하고, 질화 규소(SiNx)로 이루어지는 무기 절연막(40)과 유리로 이루어지는 구동용 기판(11)이 접하도록 했다. 배선간 분리 영역(13A)의 폭 D는 10㎛로 하였다. 얻어진 표시 장치에 대하여, 40℃, 95%의 고온 고습 하에서 약 1000시간 동안 동작시킨 후, 금속 배선(51)을 광학 현미경에 의해 관찰하였다. 그 결과를 도 17에 나타낸다.
본 실시예에 대한 비교예로서, 접합 영역 내에서, 금속 배선을, 연속된 피복층에서 피복한 점을 제외하고는, 본 실시예와 마찬가지로 하여 표시 장치를 제작하였다. 이 비교예에 대해서도, 40℃, 95%의 고온 고습 하에서 약 1000시간 동안 동작시킨 후, 금속 배선을 광학 현미경에 의해 관찰했다. 그 결과를 도 18에 나타낸다.
도 17로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 실시예에 따르면, 금속 배선(51)의 부식은 극히 경미했다. 이에 비해, 비교예에서는, 금속 배선의 부식이 현저하게 진행하고 있는 것이 인정된다. 즉, 접합 영역(10A)에서 피복층(13)에, 금속 배선(51) 사이에 배선간 분리 영역(13A)을 설치하도록 하면, 금속 배선(51)의 부식을 억제할 수 있는 것을 알았다.
(제4 실시 형태)
도 19는, 배선간 분리 영역의 단면 구조를 나타낸 것이다.
전술한 제1 실시 형태 내지 제3 실시 형태에서 설명한 바와 같이, 표시 장치에서는, 복수개의 금속 배선(51)이 피복층(13)에 의해 피복되어 있다. 다만, 이 피복층(13)은, 유기 감광성 재료로 이루어지는 것이므로, 수분(H2O)을 쉽게 통과시키는 특징을 가지고 있다.
그러므로, 단지 피복층(13)이 금속 배선(51)을 피복하기만 해서는, 예를 들면, 도 19의 (b)에 나타낸 바와 같이, 피복층(13)의 수분 흡수에 의해, 인접하는 금속 배선(51) 사이에서 이온 교환 반응이 발생하고, 이에 따라, 금속 배선(51)이 부식될 우려가 있다.
그래서, 전술한 제1 실시 형태 내지 제3 실시 형태에서는, 도 19의 (a)에 나타낸 바와 같이, 각 금속 배선(51) 사이에 배선간 분리 영역(13A)을 설치하고, 이에 따라, 이온 교환 반응의 경로를 차단함으로써, 전술한 현상을 막고 있다.
한편, 전술한 구성의 표시 장치에서는, 접합 영역(10A)에서, 구동 패널(10) 상이, 접착층(30)을 통하여, 밀봉 패널(20)에 의해 밀봉되어 있다. 이와 같은 구성의 표시 장치를 제조하는 경우에는, 통상, 접착층(30)을 구성하는 열경화형 수지 또는 자외선 경화형 수지가 단자 영역(10B) 측으로 유출되지 않도록, 이 단자 영역(10B) 상, 보다 상세하게는 단자 영역(10B)에서의 피복층(13) 상을, 마스킹 테이프에 의해 덮는 것이 일반적이다.
그러나, 피복층(13) 상에서는, 접합 영역(10A)을 넘어서 단자 영역(10B)에 도달하도록, 배선간 분리 영역(13A)이 설치되어 있다. 그러므로, 배선간 분리 영역(13A)이 설치되어 있는 개소에서는, 피복층(13)의 상면과 접착층(30)으로부터의 보호 목적을 위해 접착되는 마스킹 테이프 사이에 간극이 생기고, 이 간극으로부터 접착층(30)을 구성하기 위한 열경화형 수지 또는 자외선 경화형 수지가 들어갈 우려가 있다.
특히, 최근에는, 각 금속 배선(51)의 간격이 협(狹) 피치화되는 경향이 있는 것에 대하여, 배선간 분리 영역(13A)으로서 형성할 수 있는 최소 치수 폭에는 한계가 있으므로, 상대적으로 피복층(13)의 상면에 대하여 배선간 분리 영역(13A)이 차지하는 비율이 증대하고 있고, 열경화형 수지 또는 자외선 경화형 수지가 들어가는 발생률이 현저하게 높아지고 있다.
이상을 감안하여, 본 실시 형태에서 설명하는 표시 장치에서는, 전술한 제1 실시 형태에서도 설명한 바와 같이, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레가, 접합 영역(10A)을 넘어 단자 영역(10B)에 도달하고, 또한 단자 영역(10B)에서의 끝둘레까지는 도달하지 않도록 형성되어 있다.
도 20은, 본 실시 형태에서 설명하는 표시 장치에서의 접합 영역(10A)과 단자 영역(10B)의 경계부(10C) 근방의 일부를 확대하여 나타낸 평면도다.
도면의 예와 같이, 구동 패널(10) 상에서는, 그 일단 주위의 근방 영역이, 경계부(10C)를 경계로 하여, 접합 영역(10A)과 단자 영역(10B)으로 분할되어 있다. 그리고, 단자 영역(10B)에서는, 경계부(10C) 측에 피복층(13)이 형성되어 있지만, 단자 영역(10B)의 끝둘레 측에는 피복층(13)이 형성되어 있지 않고, 단자부(52)가 노출되도록 되어 있다. 즉, 피복층(13)의 끝둘레 위치는, 단자 영역(10B)의 끝둘레까지는 도달하지 않고, 단자 영역(10B)의 끝둘레보다 접합 영역(10A) 측에 위치하도록 되어 있다.
또한, 금속 배선(51)을 덮는 피복층(13)에는, 인접하는 금속 배선(51) 사이에, 배선간 분리 영역(13A)이 설치되어 있다. 다만, 배선간 분리 영역(13A)은, 그 끝둘레가, 접합 영역(10A)을 넘어 단자 영역(10B)에 도달하도록 형성되어 있다. 그리고, 그 끝둘레가, 단자 영역(10B)에서의 끝둘레, 보다 상세하게는 피복층(13)의 끝둘레 위치까지는 도달하지 않도록 형성되어 있다.
이에 따라, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레와 피복층(13)의 끝둘레 사이에 는, 피복층(13) 상에 배선간 분리 영역(13A)이 형성되어 있지 않은 영역, 즉 피복층(13)의 상면이 단자의 배열 방향에서 평탄면을 구성하는 평탄 영역(10D)이 확보되게 된다.
이와 같은 구성의 표시 장치에서는, 접합 영역(10A)과 단자 영역(10B)의 경계부(10C) 근방에서, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레가 피복층(13)의 끝둘레 위치까지 도달하지 않으므로, 접착층(30)을 구성하는 열경화형 수지 또는 자외선 경화형 수지가 단자 영역(10B) 측으로 유출되지 않도록 피복층(13) 상에 마스킹 테이프를 접착하는 경우에, 선간 분리 영역(13A)의 끝둘레가 피복층(13)의 끝둘레 위치 사이에 확보된 평탄 영역(10D)에 의해, 평탄 영역(10D)과 마스킹 테이프가 모두 접촉하게 되고, 이에 따라, 마스킹 테이프의 접착력을 보장할 수 있게 된다. 즉, 마스킹 테이프의 접착부에 적합한 평탄 영역(10D)의 확보에 의해, 상기 마스킹 테이프의 접착력 향상을 기대할 수 있다.
따라서, 마스킹의 확실화를 통해서, 접착층(30)을 구성하는 열경화형 수지 또는 자외선 경화형 수지가 단자 영역(10B)으로 나오거나, 피복층(13)의 상면과 마스킹 테이프 사이에 간극으로 들어가거나 하는 것을, 확실하게 방지하는 것이 실현 가능하게 되고, 그 결과로서 표시 장치의 신뢰성 향상이나 제조 수율 향상이 도모된다.
그리고, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레의 위치는, 접합 영역(10A)을 넘어 단자 영역(10B)에 도달하고 있고, 또한 피복층(13)의 끝둘레까지 도달하고 있지 않으면 되고, 이 범위라면 특히 한정되는 것은 아니지만, 이하에서 설명하는 바와 같 이 형성되는 것이 바람직하다.
배선간 분리 영역(13A)이 이온 교환 반응의 경로를 차단하고 금속 배선(51)의 부식 발생을 방지하는 기능을 다하기 위해서는, 그 끝둘레의 위치는, 접합 영역(10A)의 끝둘레, 즉 경계부(10C)의 위치에 합치하도록 형성되면 된다. 다만, 경계부(10C)의 위치에 합치하도록 형성한 경우에는, 배선간 분리 영역(13A)의 형성 불균일에 의해, 그 끝둘레의 위치가 경계부(10C)까지 도달하지 않는 것도 생각할 수 있다. 그래서, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레의 위치는, 배선간 분리 영역(13A)의 형성 불균일을 고려하여, 적어도 상기 형성 불균일에 대응하는 소정량분(소정 마진분) 만큼, 경계부(10C)로부터 단자 영역(10B) 측으로 돌출하도록, 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 마스킹 테이프의 접착력 확보는, 평탄 영역(10D)의 면적이 큰 편이 양호한 결과를 얻을 수 있다. 그래서, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레의 위치는, 소정 마진분 만큼을 삭감하는 범위 내에서, 경계부(10C)에 가능한 가까운 위치로 하는 것이 바람직하다.
(제5 실시 형태)
전술한 제4 실시 형태에서 설명한 표시 장치에서는, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레가 피복층(13)의 끝둘레까지 도달하고 있지 않고, 각각의 사이에 평탄 영역(10D)이 확보되어 있다.
다만, 최근에는, 각 금속 배선(51)의 간격이 협 피치화하는 경향이 있으므로, 이에 따라 배선간 분리 영역(13A)의 형성 폭도 협소화되는 경향이 있다.
그러므로, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레가 피복층(13)의 끝둘레까지 도달하지 않도록 피복층(13) 및 배선간 분리 영역(13A)을 구성하는 경우에는, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레의 근방 부분에서, 레지스트 잔류물이 발생할 우려가 있다.
도 21은, 레지스트 잔류물 발생의 개요를 나타낸 것이다.
도 21의 (a)에 나타낸 바와 같이, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레의 근방 부분, 즉 배선간 분리 영역(13A)과 피복층(13)의 단차의 근방 부분에서는, 그 단차가 급격하면, 그 상면 측에 레지스트막을 성막한 경우에, 이 레지스트 막의 막 두께 추종성이 상기 단차를 따르지 않고 악화된다. 그리고, 피복층(13) 측과 배선간 분리 영역(13A) 측으로 막 두께 차이가 생기는 개소가 발생한다.
그러므로, 단차의 근방 부분, 즉 막 두께 차이가 생기고 있는 개소에서는, 그 후에 행하는 레지스트 노광 시에, 도 21의 (b)에 나타낸 바와 같이, 레지스트막 두께가 두꺼워서 노광 부족으로 반응하지 않는 부분이 발생하고, 그 결과, 도 21의 (c)에 나타낸 바와 같이, 레지스트 잔류물의 발생을 초래하는 요인이 된다.
따라서, 본 실시 형태에서 설명하는 표시 장치에서는, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분의 평면 형상이, 이하에서 설명하는 바와 같이 구성되어 있다.
도 22는, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분의 평면 형상의 일례를 나타낸 것이다.
도 22의 (b)에 나타낸 바와 같이, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분의 평면 형상이, 사각형인 경우, 즉 2개의 직각과 이들을 연결하는 선분으로 이루어지는 경우에는, 배선간 분리 영역(13A)과 피복층(13)의 단차가 급격하게 되므로, 레지스트 잔류물이 쉽게 발생하는 것으로 여겨진다.
그래서, 본 실시 형태에서 설명하는 표시 장치에서는, 도 22의 (a)에 나타낸 바와 같이, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분의 평면 형상이, 선단이 배선간 분리 영역(13A)의 형성 시에서의 해상도(解像度) 한계 이하의 크기가 되는 끝이 가는 형상으로 형성되어 있다. 즉, 해상도 한계 이하의 크기가 되는 선단 부분의 길이(도면의 L을 참조)를, 어느 일정량 이상 확보한다. 이와 같이 함으로써, 배선간 분리 영역(13A)과 피복층(13)의 단차는, 급격하게 되지 않고 완만하게 된다. 그 결과, 레지스트막을 성막한 경우에, 이 레지스트막의 막 두께 추종성이, 도 22의 (b)에 나타낸 구성의 경우에 비해 향상되고, 이에 따라, 레지스트 잔류물의 발생을 억제할 수 있게 된다 .
(변형예)
레지스트 잔류물은, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분의 평면 형상의 영향에 의해서도, 쉽게 발생하는 것으로 여겨진다. 예를 들면, 도 22의 (b)에 나타낸 바와 같이, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분을 구성하는 모든 꼭지각이 직각으로 형성되어 있으면, 그 꼭지각에는, 레지스트 잔류물이 쉽게 발생하게 된다. 이것은, 꼭지각이 직각에 미치지 않는 예각으로 형성되어 있는 경우에 대해서도 마찬가지이다.
그래서, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분의 평면 형상에 대하여는, 이 하에서 설명하는 바와 같이 형성되는 것으로 여겨진다. 도 23은, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분의 평면 형상의 다른 예를 나타낸 것이다.
도 23의 (a)에 나타내는 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분의 평면 형상에서는, 상기 끝둘레 부분을 구성하는 모든 꼭지각이, 직각을 초과하는 크기의 둔각으로 형성되어 있다. 모든 꼭지각이 둔각으로 형성되어 있으면, 상기 꼭지각의 개수에 대해서는, 특히 한정되는 것은 아니다. 이와 같은 구성의 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분에 의하면, 꼭지각이 직각 또는 예각으로 형성되어 있는 경우에 비하여, 레지스트 잔류물의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 도 23의 (b)에 나타내는 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분의 평면 형상에서는, 상기 끝둘레 부분이, 상기 끝둘레 부분 이외의 부분보다 넓은 폭으로 형성되어 있다. 즉, 끝둘레 부분 이외의 부분의 폭 D4보다, 끝둘레 부분의 영역폭 D5가 크게 되어 있다. 이 경우에도, 끝둘레 부분을 구성하는 모든 꼭지각은, 둔각으로 형성되어 있는 것으로 한다. 다만, 이 꼭지각의 개수에 대해서는, 특히 한정되는 것은 아니다. 이와 같은 구성의 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분에 의하면, 특히, 각 금속 배선(51)의 간격이 협 피치화하는 경향이 있고, 이에 따라 배선간 분리 영역(13A)의 형성 폭 D4도 협소화하는 경향이 있는 경우라 하더라도, 이 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분에서의 레지스트 잔류물의 발생을 억제하는 데, 매우 유효하게 된다.
그리고, 여기서 “꼭지각을 둔각”으로 하는 것에 대해서는, 그 꼭지각이 명료하지 않은 경우도 포함하는 것으로 한다. 구체적으로는, 도 23의 (c)에 나타낸 바와 같이, 배선간 분리 영역(13A)의 끝둘레 부분이 원형으로 형성되어 있고, 꼭지각의 존재가 명료하다고 할 수 없는 경우라 하더라도, 미시적으로 보면 둔각으로 형성된 꼭지각이 존재하고 있는 경우와 동등한 것으로 생각할 수 있으므로, 여기서 꼭지각을 둔각으로 형성하는 일태양에 포함하는 것으로 한다.
이상, 실시 형태를 예를 들어서 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되지 않고, 여러 가지 변형이 가능하다. 예를 들면, 전술한 각 실시 형태에서는, 복수개의 금속 배선(51)이 모두 등 간격으로 배치되어 있는 경우에 대하여 설명하였으나, 복수개의 금속 배선(51)은 상이한 간격으로 배치되어 있어도 된다. 이 경우, 배선간 분리 영역(13A)의 폭 D는, 금속 배선(51) 사이의 간격에 따라 상이해도 된다.
또한, 제2 실시 형태에서, 복수개의 금속 배선(51)을 상이한 간격으로 배치하고, 또한 배선간 분리 영역(13A)의 폭 D를, 이들 금속 배선(51) 사이의 간격 및 전위차의, 양쪽에 따라 상이하게 하도록 해도 된다.
또한, 예를 들면, 전술한 실시 형태에서 설명한 각 층의 재료 및 두께, 또는 성막 방법 및 성막 조건 등은 한정되지 않고, 상이한 재료 및 두께라도 되고, 또는 상이한 성막 방법 및 성막 조건이라도 된다.
거기에 더하여, 전술한 실시 형태에서는, 유기 발광 소자(110R, 110B, 110G)의 구성을 구체적으로 예를 들어 설명하였으나, 모든 층을 구비할 필요는 없고, 또한, 다른 층을 추가로 구비하고 있어도 된다.
또한, 전술한 실시 형태에서는, 구동 패널(10) 및 무기 절연막(40)으로 밀봉 패널(20)이 접착층(30)을 사이에 두고 전체 면에 걸쳐서 접합되어 있는 경우에 대하여 설명하였으나, 본 발명은, 예를 들면, 구동 패널(10)의 주위 둘레부에만 접착층을 형성하여 밀봉 패널(20) 등을 접합시킨 경우 등, 구동 패널(10)과 밀봉 패널(20)의 일부분에만 접착층(30)이 형성된 경우에 대해서도 적용할 수 있다.
또한, 본 발명은, 유기 발광 소자 외에, 무기 일렉트로 발광 소자, 액정 표시 소자, 또는 일렉트로 디포지션형(electrodeposion type) 혹은 일렉트로 크로믹형(electrochromic type)의 표시 소자 등 상이한 표시 소자를 사용한 표시 장치에도 적용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 표시 장치의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 표시 장치의 II-II선에 따른 단면도이다.
도 3은 도 1에 나타낸 표시 장치의 경계부 근방의 일부를 확대하여 나타낸 평면도다.
도 4는 도 3의 IV-IV선에 따른 단면도이다.
도 5는 도 2에 나타낸 표시부의 일례를 나타낸 단면도이다.
도 6은 도 1에 나타낸 표시 장치의 제조 방법을 단계순으로 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6에 계속되는 단계를 나타낸 도면이다.
도 8은 도 7에 계속되는 단계를 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 변형예 1에 따른 표시 장치의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 10은 도 9에 나타낸 표시 장치의 경계부 근방의 일부를 확대하여 나타낸 평면도이다.
도 11은 본 발명의 변형예 2에 따른 표시 장치의 경계부 근방의 일부를 확대하여 나타낸 평면도다.
도 12는 본 발명의 변형예 3에 따른 표시 장치의 경계부 근방의 일부를 확대하여 나타낸 평면도다.
도 13은 도 12에 나타낸 표시 장치의 다른 변형예를 나타낸 평면도다.
도 14는 본 발명의 변형예 4에 따른 표시 장치의 경계부 근방의 일부를 확대하여 나타낸 평면도다.
도 15는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 표시 장치의 경계부 근방의 일부를 확대하여 나타낸 평면도다.
도 16은 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 표시 장치의 경계부 근방의 일부를 확대하여 나타낸 평면도다.
도 17은 본 발명의 실시예의 결과를 나타내는 사진이다.
도 18은 비교예의 결과를 나타내는 사진이다.
도 19는 배선간 분리 영역의 단면 구조를 나타낸 단면도이다.
도 20은 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 표시 장치의 경계부 근방의 일부를 확대하여 나타낸 평면도다.
도 21은 배선간 분리 영역의 끝둘레 근방에서의 레지스트 잔류물 발생의 개요를 나타낸 단면도이다.
도 22는 본 발명의 제5 실시 형태에 따른 표시 장치의 배선간 분리 영역의 끝둘레 부분의 평면 형상의 일례를 나타낸 설명도이다.
도 23은 본 발명의 제5 실시 형태에 따른 표시 장치의 배선간 분리 영역의 끝둘레 부분의 평면 형상의 다른 예를 나타낸 평면도다.
도 24는 종래의 표시 장치의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이다.
도 25는 도 24의 XIX-XIX선에 따른 단면도이다.
도 26은 도 25의 XXI-XXI선에 따른 단면도이다.
[부호의 설명]
10: 구동 패널
10A: 접합 영역
10B: 단자 영역
10C: 경계부
10D: 평탄 영역
11: 구동용 기판
12: 회로부
13: 피복층
13A: 배선간 분리 영역
13B: 개구부
13C: 횡단적 분리 영역
14: 표시부
20: 밀봉 패널
21: 밀봉용 기판
30: 접착층
40: 무기 절연막
51: 금속 배선
52: 단자부
110R, 110G, 110B: 유기 발광 소자
112: 제1 전극
113: 유기층
114: 제2 전극

Claims (14)

  1. 구동용 기판에 회로부, 피복층 및 복수개의 표시 소자로 이루어지는 표시부가 차례로 설치된 구동 패널을 구비한 표시 장치로서,
    상기 구동 패널은,
    상기 회로부, 상기 피복층 및 상기 표시부를 포함하고, 또한 접착층을 사이에 두고 밀봉 패널이 접합된 접합 영역과,
    상기 밀봉 패널 및 상기 접착층으로부터 나온 단자 영역
    을 구비하고,
    상기 접합 영역의 회로부에 전기적으로 접속된 복수개의 금속 배선이 상기 단자 영역까지 연장되어 설치되어 있고, 상기 접합 영역에서 상기 피복층이, 상기 복수개의 금속 배선 사이에서 적어도 1개소, 분리된 영역을 구비하고,
    상기 피복층의 분리된 영역은, 상기 영역의 끝둘레가, 상기 접합 영역을 넘어 상기 단자 영역에 도달하고, 또한 상기 단자 영역에서의 끝둘레까지는 도달하지 않도록 형성되어 있고,
    상기 피복층의 분리된 영역의 폭은, 상기 분리된 영역을 사이에 두고 인접하는 2개의 금속 배선 사이의 거리 및 전위차 중 적어도 한쪽에 따라 상이하게 되어 있는,
    표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 피복층은 유기 재료에 의해 구성되어 있는, 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 피복층은 감광성 재료에 의해 구성되어 있는, 표시 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 피복층은, 상기 복수개의 금속 배선의 상면 및 측면을 덮고 있는, 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 구동 패널의 상기 표시부 측과 상기 접착층 사이에, 무기 절연막을 포함하는, 표시 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 무기 절연막은, 상기 복수개의 금속 배선 사이에서 상기 구동용 기판에 접하고 있고, 또한 상기 구동용 기판은 유리를 포함하는 무기 재료에 의해 구성되어 있는, 표시 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 표시 소자는, 제1 전극, 발광층을 포함하는 유기층 및 제2 전극을 상기 구동용 기판 측으로부터 차례로 적층한 구성을 가지고, 상기 발광층에서 발생한 광을 상기 제2 전극 측으로부터 취출(取出)하는 유기 발광 소자인, 표시 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 피복층의 끝둘레는 상기 단자 영역에서의 끝둘레보다 상기 접합 영역 측으로 위치하고, 상기 피복층의 분리된 영역의 끝둘레는, 상기 피복층의 끝둘레까지 도달하지 않도록 형성되어 있는, 표시 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 피복층의 분리된 영역의 끝둘레와 상기 피복층의 끝둘레 사이에, 상기 피복층의 상면이 단자의 배열 방향에서 평탄면을 구성하는 평탄 영역이 확보되어 있는, 표시 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 피복층의 분리된 영역의 끝둘레 부분은, 그 평면 형상에서, 선단이 상기 영역 형성 시의 해상도 한계 이하의 크기가 되는 끝이 가는 형상으로 형성되어 있는, 표시 장치.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 피복층의 분리된 영역의 끝둘레 부분은, 그 평면 형상에서, 모든 꼭지각이 둔각으로 형성되어 있는, 표시 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 피복층의 분리된 영역의 끝둘레 부분은, 그 평면 형상에서, 상기 끝둘레 부분 이외의 부분보다 넓은 폭으로 형성되어 있는, 표시 장치.
  13. 삭제
  14. 삭제
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