KR101483631B1 - Voc저감장치 및 이의 제어방법 - Google Patents

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KR101483631B1
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조충흠
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Abstract

본 발명의 VOC저감장치는, 재생존, 냉각존, 흡착존으로 구분 형성되어 회전하는 VOC처리로터; 상기 흡착존으로 VOC가 포함된 공기를 압송하는 처리팬이 포함된 프리쿨러; 상기 흡착존을 통과한 공기를 냉각하는 에프터쿨러; 상기 냉각존을 통과한 공기를 가열하는 재생히터; 상기 가열된 공기를 재생존으로 압송하는 재생팬; 상기 재생히터의 온도를 측정하는 제1온도센서; 및 상기 재생히터의 온도를 측정하는 제2온도센서;를 포함하되, 상기 제1,2온도센서는 재생히터의 온도를 2회 이상 반복 측정하여 재생히터의 과열을 방지하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 제1온도센서와 제2온도센서에 의해 재생히터의 과열을 단계별로 체크하여 장치의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

Description

VOC저감장치 및 이의 제어방법{Device for reducing VOC and control method thereof}
본 발명은 VOC저감장치 및 이의 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 재생히터의 과열로 인한 화재를 예방하는 VOC저감장치 및 이의 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 및 LCD 산업의 발달로 웨이퍼 및 LCD 패널 제조 시 사용되는 화학물질로 인해 다량의 VOC(휘발성유기화합물)가 발생하고 있으며, 이러한 VOC는 VOC처리장치에 의해 제거하게 된다.
VOC처리장치는 VOC를 흡착요소로 이루어진 회전 가능한 VOC처리로터의 단면 사이에 통과시켜서 유기용제를 흡착요소에 흡착시키고, 흡착요소에 부착된 유기용제에 역방향으로 열풍을 불어 유기용제를 흡착요소로부터 분리하게 된다. 분리된 유기용제는 불어 날려 버림으로써 흡착요소를 재사용가능한 상태로 회복시키게 된다.
도 1은 종래기술에 따른 VOC처리장치를 도시한 블록도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 종래기술에 따른 VOC처리장치는, 처리공기는 냉각기(2)에 의해 냉각된 후 처리팬(3)에 의하여 허니컴상 처리자재로 이루어진 VOC처리로터(1)의 흡착존(1a)으로 이송되고, 처리공기는 흡착존(1a)을 통과하여 VOC가 제거된다. 상기 흡착존(1a)을 통과한 공기는 대상공간(100)으로 공급된다.
또한, VOC처리로터(1)의 냉각공기가 통과하며 냉각존(1c)은 냉각되어 다음 공정인 흡착을 준비하게 된다.
그리고, 냉각존(1c)을 통과한 공기는 재생팬(4)에 의해 재생히터(5)로 이송되어 가열된 후 VOC처리로터(1)의 재생존(1b)에 공급된다.
이에 따라, VOC처리로터(1)의 재생존(1b)에 흡착된 유기용제는 가열 공기에 의해 가열되어 제거된다.
즉, VOC처리로터(1)가 정속으로 회전하며 유기용제가 포함된 공기를 흡착존(1a)에서 흡착 처리하고, 가열 공기에 의해 재생존(1b)에서 수분이 제거되고, 냉각존(1c)에서 냉각된 후 흡착존(1a)에서 재차 공기의 처리를 수행하게 된다.
결국, 대상공간(100)으로 VOC가 제거된 청정 공기가 연속적으로 공급되는 것이다.
그러나, 종래기술의 VOC처리장치는 재생히터에 축열된 열로 인해 화재발생의 위험이 존재하는 등의 단점을 내포하고 있었다.
이와 같은 문제점을 개선하기 위해 하기 특허문헌 1의 VOC처리장치가 개시되었다.
이러한 특허문허 1의 VOC처리장치는 화재발생시에 방재수단을 가동하여 화재를 소화시키게 된다.
그러나, 특허문헌 1의 VOC처리장치는 화재발생 설정 온도를 초과하면 방재수단이 가동되어 VOC처리장치의 동작이 정지하는 문제점이 있었다.
즉, 재생히터의 과열온도가 1회만 넘어서도 방재수단을 주입한 후 VOC처리장치의 동작을 정지시키게 된다.
이에 따라 방재창치에 따른 후처리로 인해 장치가 정지되어 제품 생산 중단 등의 손실이 발생하여 장치에 대한 신뢰성이 저하된다.
따라서, 재생히터의 과열온도를 2회 이상 반복하여 체크하는 개선된 형태의 VOC저감장치 및 이의 제어방법의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
한국공개특허 제2009-0088586호(2009.08.20)
본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 재생히터의 과열온도를 2회 이상 반복하여 체크하여 장치의 신뢰성을 향상시키는 VOC저감장치 및 이의 제어방법를 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 VOC저감장치는, 재생존, 냉각존, 흡착존으로 구분 형성되어 회전하는 VOC처리로터; 상기 흡착존으로 VOC가 포함된 공기를 압송하는 처리팬이 포함된 프리쿨러; 상기 흡착존을 통과한 공기를 냉각하는 에프터쿨러; 상기 냉각존을 통과한 공기를 가열하는 재생히터; 상기 가열된 공기를 재생존으로 압송하는 재생팬; 상기 재생히터의 온도를 측정하는 제1온도센서; 및 상기 재생히터의 온도를 측정하는 제2온도센서;를 포함하되, 상기 제1,2온도센서는 재생히터의 온도를 2회 이상 반복 측정하여 재생히터의 과열을 방지하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 재생팬의 배출측 단부에는 배기댐퍼가 구비되며, 상기 재생히터로 공기를 유입시키는 유입유로에는 유입댐퍼가 구비되고, 상기 제1온도센서의 측정값이 제1설정값을 초과하면 유입댐퍼는 개방되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1온도센서의 측정값이 제1설정값을 초과하면 알람발생과 함께 재생히터는 정지되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 냉각존을 통과하기 전의 냉각유로와 재생히터를 연결하는 바이패스 유로가 더 구비되며, 상기 바이패스 유로에는 솔레노이드밸브와 냉각팬이 더 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1온도센서의 측정값이 제1설정값을 초과하면 솔레노이드밸브는 개방되고 냉각팬은 구동되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 재생히터로 불연성 가스를 공급하는 리시버 탱크가 더 구비되며, 상기 제2온도센서의 측정값이 제2설정값을 초과하면 배기댐퍼는 차단되고 유입댐퍼는 개방된 후 리시버 탱크는 개방되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2온도센서의 측정값이 제2설정값을 초과하면 알람이 발생하며, 상기 재생팬은 구동하여 재생히터의 잔열을 제거하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 재생팬에는 인버터가 더 구비되며, 상기 제1,2온도센서의 측정값이 제1,2설정값 미만이면 상기 인버터는 제1,2온도센서의 측정값에 의해 재생팬의 회전수를 비례제어 하는 것을 특징으로 한다.
또한, VOC저감장치를 제어하는 컨트롤러 및 VOC저감장치에 전원을 인가하는 비상전원장치가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 VOC저감장치의 제어방법은,
Ⅰ) 전원을 인가하여 전술한 VOC저감장치를 구동하는 단계;
Ⅱ) 재생히터의 온도를 측정하는 단계
Ⅲ) 재생히터의 온도가 제1설정값을 초과하는지를 판단하는 단계; 및
Ⅳ) 재생히터의 온도가 제2설정값을 초과하는지를 판단하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 Ⅲ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제1설정값을 초과하는 경우, 알람 발생 및 재생히터는 정지시키고, 유입댐퍼는 개방하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 Ⅲ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제1설정값을 초과하는 경우, 바이패스 유로를 개방 후 냉각팬을 구동하여 프리쿨러에서 냉각된 공기를 재생히터로 공급하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 Ⅲ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제1설정값을 초과하지 않는 경우, 운전상태를 유지하며 Ⅱ)단계로 되돌아가 재생히터의 온도를 측정하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 Ⅳ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제2설정값을 초과하는 경우, 알람을 발생하고, 배기댐퍼를 차단하고 유입댐퍼를 개방 후 리시버 탱크를 개방하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 Ⅳ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제2설정값을 초과하는 경우, 상기 재생팬을 구동하여 재생히터의 잔열을 제거하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 Ⅳ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제2설정값을 초과하지 않는 경우, VOC저감장치의 구동을 종료하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 Ⅲ)단계와 Ⅳ)단계는 2회 이상 반복하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 VOC저감장치 및 이의 제어방법에 따르면, 제1온도센서와 제2온도센서에 의해 재생히터의 과열을 단계별로 체크하여 장치의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.
또한, 인버터가 부착된 재생팬에 의해 재생히터의 온도에 따라 회전수를 조절하여 재생히터의 과열을 억제하게 된다.
또한, 리시버 탱크에 의해 재생히터의 과열시에 재생히터로 불연성 가스를 공급하여 재생히터의 과열에 따른 건물 전체의 화재를 방지하게 된다.
도 1은 종래기술에 따른 VOC저감장치를 도시한 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 VOC저감장치를 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 VOC저감장치의 제어방법을 도시한 순서도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 VOC저감장치를 도시한 구성도이고, 도 3은 본 발명에 따른 VOC저감장치의 제어방법을 도시한 순서도이다.
도 2에 도시한 바와 같이 본 발명에 따른 VOC저감장치(A)는, 재생존(110), 냉각존(120), 흡착존(130)으로 구분 형성되어 회전하는 VOC처리로터(100)와, 상기 흡착존(130)으로 VOC가 포함된 공기를 압송하는 처리팬(210)이 포함된 프리쿨러(200)와, 상기 흡착존(130)을 통과한 공기를 냉각하는 에프터쿨러(300)와, 상기 냉각존(120)을 통과한 공기를 가열하는 재생히터(400)와, 상기 가열된 공기를 재생존(110)으로 압송하는 재생팬(500)과, 상기 재생히터(400)의 온도를 측정하는 제1온도센서(600a) 및 상기 재생히터(400)의 온도를 측정하는 제2온도센서(600b)로 구성된다.
먼저, VOC처리로터(100)는 실리카 겔(silica gel), 제오라이트(zeolite), 활성탄 등의 흡착제를 이용한 흡착제층을 VOC처리로터의 구성 요소로서 로터의 회전방향을 따라 연속적으로 배치하여 구성된다.
또한, VOC처리로터(100)는 회전구동수단(140)에 의해 회전이 이루어진다.
프리쿨러(200)의 외측면은 외기(OA) 및 실내의 VOC를 처리 방식에 따라 환기(RA)가 유입되며, 내부에는 처리팬(210)이 설치된다.
여기서, 상기 처리팬(210)은 외기(OA)(또는 외기(OA)와 환기(RA))로부터 유입된 공기를 VOC처리로터(100)을 거쳐 에프터쿨러(300)로 이동시키는 역할을 수행하게 된다.
에프터쿨러(300)는 대상공간(전자부품, 약제, 필름, LCD, 반도체 등의 청정실)으로 VOC가 제거된 청정공기를 공급전에 냉각하여 대상공간에서 필요한 조건(예를 들어, 절대온도(습도) 0.07g/KgDA의 분위기)으로 유지하게 된다.
본 발명의 VOC저감장치에 따르면, 프리쿨러(100)에서 공급받은 VOC가 포함된 공기를 VOC처리로터(100)의 흡착존(130)에서 VOC를 흡착하여 제거한 후 대상공간에 공급하고, VOC가 제거된 일부 공기는 냉각존(120)을 통과한 후의 재생팬(500)에 의해 재생히터(400)로 이송되어 가열된다.
다음, 가열된 공기는 재생존(110)을 통과하면서 가열 공기에 의해 흡착된 VOC가 가열됨에 의해 VOC처리로터(100)에서 이탈되어 재생팬(500)에 의해 재생 공기방출통로를 통해 VOC가 배기되어 제거하게 된다.
그 밖의 구조는 공지된 VOC저감장치의 다양한 구성이 채용될 수 있으므로 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
본 발명은 재생히터(400)의 과열로 인한 화재를 예방하도록 상기 제1,2온도센서(600a,600b)에 의해 재생히터(400)의 온도를 2회 이상 반복 측정하여 재생히터(400)의 과열 및 화재를 방지하게 된다.
구체적으로, 상기 재생팬(500)의 배출측 단부에는 배기댐퍼(700a)가 구비되며, 상기 재생히터(400)로 공기를 유입시키는 유입유로(700)에는 유입댐퍼(700b)가 구비되고, 상기 제1온도센서(600a)의 측정값이 제1설정값을 초과하면 유입댐퍼(700b)는 개방된다.
이에 따라, 유입댐퍼(700b)를 개방하여 외부공기가 유입되어 과열된 재생히터(400)를 냉각시키게 된다.
여기서, 제1설정값은 재생히터(400)의 과열로 인한 화재위험온도로 설정된다. 유입유로(700)로는 외기가 유입된다.
뿐만 아니라, 상기 제1온도센서(600a)의 측정값이 제1설정값을 초과하면 알람발생과 함께 재생히터(400)는 정지되어 사용자가 재생히터(400)의 과열을 인지함과 동시에 재생히터(400)를 정지시켜 추가 과열을 방지하게 된다.
이에 더해, 상기 냉각존(120)을 통과하기 전의 냉각유로(101)와 재생히터(400)를 연결하는 바이패스 유로(102)가 더 구비되며, 상기 바이패스 유로(102)에는 솔레노이드밸브(810)와 냉각팬(820)이 더 구비되어 프리쿨러(200)에서 냉각된 공기를 재생히터(400)로 공급하여 재생히터(400)의 과열을 방지하게 된다.
도면상에는 바이패스 유로(102)가 VOC처리로터(100)를 관통하도록 도시하였지만, 바이패스 유로(102)는 VOC처리로터(100)를 우회하도록 구성된다. 이에 따라 프리쿨러(200)에서 냉각된 공기가 직접 재생히터(400)로 공급된다.
또한, 바이패스 유로(102)는 에프터쿨러(300)를 통과하여 대상공간으로 배출되기 전의 공급유로(103)와 재생히터(400)를 연결하도록 구성되어도 재생히터(400)를 냉각시킬 수 있다.
즉, 상기 제1온도센서(700a)의 측정값이 제1설정값을 초과하면 솔레노이드밸브(810)는 개방되고 냉각팬(820)은 구동된다.
더욱이, 상기 재생히터(400)로 불연성 가스를 공급하는 리시버 탱크(900)가 더 구비되며, 상기 제2온도센서(700b)의 측정값이 제2설정값을 초과하면 배기댐퍼(700a)는 차단되고 유입댐퍼(700b)는 개방된 후 리시버 탱크(900)는 개방되어 재생히터(400)를 냉각시키거나 화재를 소화하게 된다.
이에 따라, 리시버 탱크(900)에 의해 재생히터(400)의 과열시에 재생히터(400)로 불연성 가스를 공급하여 재생히터(400)의 과열에 따른 건물 전체의 화재를 방지하게 된다.
여기서, 제2설정값은 제1설정값보다 높은 온도로서, 제1설정값을 재생히터(400)의 과열로 인한 화재위험온도로 설정하였으므로, 제2설정값은 재생히터(400) 또는 그 근방에서 화재가 발생했다고 판단되는 온도로 설정된다. 즉, 화재발생온도로 설정된 것이다.
뿐만 아니라, 제2설정값은 제1설정값보다 높은 온도로서 상대적으로 높은 확률의 화재위험온도로 설정할 수도 있다.
결국, 제1,2설정값은 다양한 값으로 설정이 가능하다.
또한, 상기 제2온도센서(700b)의 측정값이 제2설정값을 초과하면 알람을 발생시켜 사용자에게 특정상황을 인지시키게 되며, 상기 재생팬(500)은 구동하여 재생히터(400)의 잔열을 제거하게 된다.
그리고, 상기 재생팬(500)에는 인버터(510)가 더 구비되어 상기 제1,2온도센서(700a, 700b)의 측정값이 제1,2설정값 미만이면 상기 인버터(510)는 제1,2온도센서(700a, 700b)의 측정값에 의해 재생팬(500)의 회전수를 비례제어 하게 된다.
즉, 제1,2온도센서(700a, 700b)의 측정값이 높으면 재생팬(500)의 회전수를 높여주며, 측정값이 낮으면 재생팬(500)의 회전수를 줄여주게 된다.
이에 따라, 인버터(510)가 부착된 재생팬(500)에 의해 재생히터(400)의 온도에 따라 회전수를 조절하여 재생히터(400)의 과열을 억제하게 된다.
마지막으로, 전술한 구성을 제어하는 컨트롤러(910) 및 전술한 구성에 비상전원을 인가하는 비상전원장치(920, UPS)가 더 구비된다.
본 발명에 따르면, 제1온도센서(700a)와 제2온도센서(700b)에 의해 재생히터(400)의 과열을 단계별로 체크하여 장치의 신뢰성을 향상시키게 된다.
도 2를 참조하여 본 발명에 따른 VOC저감장치의 제어방법을 설명한다.
먼저, 전원을 인가하여 VOC저감장치를 구동시킨다(S110).
즉, 배기댐퍼(700a)를 개방하고 유입댐퍼(700b)를 차단하고(S120), VOC처리로터(100)와 재생팬(500) 및 처리팬(210)을 구동한다(S130,S140).
또한, 재생히터(400)를 구동시킨다(S150).
다음, 제1온도센서(600a)에 의해 재생히터(400)의 온도를 측정한다(S160).
그리고, 재생히터(400)의 온도가 제1설정값을 초과하는지를 판단한다(S170).
상기 S170단계의 판단결과 재생히터(400)의 온도가 제1설정값을 초과하는 경우, 알람 발생 및 재생히터(400)는 정지시키고(S180), 유입댐퍼(700b)는 개방한다(S190).
상기 S170단계의 판단결과 재생히터(400)의 온도가 제1설정값을 초과하는 경우, 바이패스 유로(102)를 개방 후 냉각팬(820)을 구동하여 프리쿨러(200)에서 냉각된 공기를 재생히터(400)로 공급하여 재생히터(400)를 냉각하게 된다(S200).
상기 S170단계의 판단결과 재생히터(400)의 온도가 제1설정값을 초과하지 않는 경우, 운전상태를 유지하며(S210) S160단계로 되돌아간다.
다음, 제2온도센서(600b)에 의해 재생히터(400)의 온도를 측정한다(S220).
그리고, 재생히터(400)의 온도가 제2설정값을 초과하는지를 판단한다(S230).
상기 S230단계의 판단결과 재생히터(400)의 온도가 제2설정값을 초과하는 경우, 알람을 발생시키고(S240), 배기댐퍼(700a)를 차단하고 유입댐퍼(700b)를 개방한다(S250).
상기 S250단계 후 상기 재생팬(500)을 구동하여 재생히터(400)의 잔열을 제거한다(S260).
상기 S260단계 후 리시버 탱크(900)를 개방한다.
상기 S230단계의 판단결과 재생히터(400)의 온도가 제2설정값을 초과하지 않는 경우, VOC저감장치의 구동을 종료한다(S270).
마지막으로, S170단계와 S230단계는 1회 이상 반복하여 오작동에 대한 식별이 가능할 뿐만 아니라 재생히터(400)의 과열 또는 화재를 정확하게 판단하게 된다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
A - VOC저감장치 100 - VOC처리로터
200 - 프리쿨러 210 - 처리팬
300 - 에프터쿨러 400 - 재생히터
500 - 재생팬 600a - 제1온도센서
600b - 제2온도센서 700 - 유입유로
700a - 배기댐퍼 700b - 유입댐퍼
810 - 솔레노이드밸브 820 - 냉각팬
900 - 리시버 탱크 910 - 컨트롤러
920 - 비상전원장치

Claims (17)

  1. 재생존, 냉각존, 흡착존으로 구분 형성되어 회전하는 VOC처리로터;
    상기 흡착존으로 VOC가 포함된 공기를 압송하는 처리팬이 포함된 프리쿨러;
    상기 흡착존을 통과한 공기를 냉각하는 에프터쿨러;
    상기 냉각존을 통과한 공기를 가열하는 재생히터;
    상기 가열된 공기를 재생존으로 압송하는 재생팬;
    상기 재생히터의 온도를 측정하는 제1온도센서; 및
    상기 재생히터의 온도를 측정하는 제2온도센서;를 포함하되,
    상기 제1,2온도센서는 재생히터의 온도를 2회 이상 반복 측정하여 재생히터의 과열을 방지하는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 재생팬의 배출측 단부에는 배기댐퍼가 구비되며, 상기 재생히터로 공기를 유입시키는 유입유로에는 유입댐퍼가 구비되고,
    상기 제1온도센서의 측정값이 제1설정값을 초과하면 유입댐퍼는 개방되는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제1온도센서의 측정값이 제1설정값을 초과하면 알람발생과 함께 재생히터는 정지되는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 냉각존을 통과하기 전의 냉각유로와 재생히터를 연결하는 바이패스 유로가 더 구비되며, 상기 바이패스 유로에는 솔레노이드밸브와 냉각팬이 더 구비된 것을 특징으로 하는 VOC저감장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제1온도센서의 측정값이 제1설정값을 초과하면 솔레노이드밸브는 개방되고 냉각팬은 구동되는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치.
  6. 제 3항에 있어서,
    상기 재생히터로 불연성 가스를 공급하는 리시버 탱크가 더 구비되며,
    상기 제2온도센서의 측정값이 제2설정값을 초과하면 배기댐퍼는 차단되고 유입댐퍼는 개방된 후 리시버 탱크는 개방되는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제2온도센서의 측정값이 제2설정값을 초과하면 알람이 발생하며, 상기 재생팬은 구동하여 재생히터의 잔열을 제거하는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 재생팬에는 인버터가 더 구비되며,
    상기 제1,2온도센서의 측정값이 제1,2설정값 미만이면 상기 인버터는 제1,2온도센서의 측정값에 의해 재생팬의 회전수를 비례제어가 이루어지는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    VOC저감장치를 제어하는 컨트롤러 및 VOC저감장치에 전원을 인가하는 비상전원장치가 더 구비된 것을 특징으로 하는 VOC저감장치.
  10. Ⅰ) 전원을 인가하여 제 1항의 VOC저감장치를 구동하는 단계;
    Ⅱ) 재생히터의 온도를 측정하는 단계
    Ⅲ) 재생히터의 온도가 제1설정값을 초과하는지를 판단하는 단계; 및
    Ⅳ) 재생히터의 온도가 제2설정값을 초과하는지를 판단하는 단계;를 포함하되,
    상기 Ⅲ)단계와 Ⅳ)단계는 2회 이상 반복하는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치의 제어방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 Ⅲ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제1설정값을 초과하는 경우, 알람 발생 및 재생히터는 정지시키고, 유입댐퍼는 개방하는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치의 제어방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 Ⅲ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제1설정값을 초과하는 경우, 바이패스 유로를 개방 후 냉각팬을 구동하여 프리쿨러에서 냉각된 공기를 재생히터로 공급하는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치의 제어방법.
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 Ⅲ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제1설정값을 초과하지 않는 경우, 운전상태를 유지하며 Ⅱ)단계로 되돌아가 재생히터의 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치의 제어방법.
  14. 제 10항에 있어서,
    상기 Ⅳ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제2설정값을 초과하는 경우, 알람을 발생하고, 배기댐퍼를 차단하고 유입댐퍼를 개방 후 리시버 탱크를 개방하는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치의 제어방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 Ⅳ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제2설정값을 초과하는 경우, 상기 재생팬을 구동하여 재생히터의 잔열을 제거하는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치의 제어방법.
  16. 제 10항에 있어서,
    상기 Ⅳ)단계의 판단결과 재생히터의 온도가 제2설정값을 초과하지 않는 경우, VOC저감장치의 구동을 종료하는 것을 특징으로 하는 VOC저감장치의 제어방법.
  17. 삭제
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