KR101478915B1 - 구동장치용 풀리, 구동장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 구동벨트와 결합되어 구동벨트와 함께 회전하는 회전본체와, 회전 샤프트가 삽입되도록 제1축을 따라 상기 회전본체를 관통하여 형성되는 삽입공 및 상기 제1축에 수직한 제2축을 따라 상기 회전본체를 관통하여 형성되는 주입공을 포함하는 구동장치용 풀리, 구동장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 윤활유를 주입할 수 있는 주입공을 구비함으로써, 풀리와 회전 샤프트를 분리하지 않고 윤활유를 용이하게 주입하여 유지보수에 드는 노력 및 시간을 절감할 수 있다.

Description

구동장치용 풀리, 구동장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{PULLEY AND DRIVE DEVICE, AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE COMPRISING THE SAME}

본 발명은 기판을 이송하기 위한 구동장치용 풀리와 구동장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 상기 기판을 이송하기 위한 것이다. 이러한, 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 이송암, 이송암을 회전시키기 위한 선회부를 포함한다. 이송암과 선회부를 회전하면서 기판을 이송시킨다. 기판 이송장치는 이송암과 선회부를 회전시키기 위한 구동장치를 구비한다.

도 1은 종래기술에 따른 구동장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.

종래기술에 따른 구동장치는 구동벨트(미도시)가 결합되는 풀리(1)와, 상기 풀리(1)를 회전시키기 위한 회전 샤프트(2)로 구성된다. 상기 회전 샤프트(2)는 상기 풀리(1)의 중심부에 형성된 삽입공에 삽입되어 상기 풀리(1)와 결합된다. 상기 회전 샤프트(2)와 상기 풀리(1)의 사이에는 상기 회전 샤프트(2)와 상기 풀리(1)를 함께 회전시키기 위한 고정부재(3)가 위치한다. 상기 고정부재(3)는 상기 회전 샤프트(2) 및 상기 풀리(1) 사이에 삽입되어, 상기 회전 샤프트(2)와 상기 풀리(1)를 결합시킨다. 상기 풀리(1)의 삽입공은 상기 회전 샤프트(2)의 크기와 대략 일치하도록 형성되는데, 이러한 상기 풀리(1)의 삽입공에 상기 고정부재(3)가 삽입되어 상기 풀리(1)와 상기 회전 샤프트(2)가 밀착되도록 한다. 이렇게 함으로써, 상기 고정부재(3)는 상기 풀리(1)와 상기 회전 샤프트(2)가 함께 회전하게 한다. 실시예에 따라서는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 고정부재(3)를 수용할 수 있는 걸림부가 상기 풀리(1)와 상기 회전 샤프트(2)에 형성될 수도 있다. 이러한 걸림부에 상기 고정부재(3)가 걸리면서 상기 풀리(1)와 상기 회전 샤프트(2)는 동시에 회전할 수도 있다.

상기 풀리(1)와 상기 회전 샤프트(2)가 회전하면, 상기 고정부재(3)는 상기 풀리(1) 및 상기 회전 샤프트(2)와 충돌 및 마찰하게 된다. 이러한 고정부재(3), 상기 풀리(1) 및 상기 회전 샤프트(2)의 충돌 및 마찰에 의해 상기 풀리(1) 및 상기 회전 샤프트(2)가 파손될 수 있다. 따라서, 상기 풀리(1) 및 상기 회전 샤프트(2)와 상기 고정부재(3)의 사이에는 윤활유를 주입한다. 그러나, 종래기술에 따른 구동장치(100)에 따르면, 상기 풀리(1)와 상기 회전 샤프트(2)를 조립하는 과정에서 윤활유를 주입하고 윤활유를 추가로 주입할 수 없어 문제가 된다.

상기 풀리(1) 및 상기 회전 샤프트(2)의 파손이 우려되어 윤활유를 추가로 주입하는 경우에는 상기 풀리(1) 및 사이 회전 샤프트(2)를 분리한 후 윤활유를 주입해야 하므로 유지 및 보수에 드는 노력과 시간이 과중하게 소모되는 문제가 있었다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 풀리와 회전 샤프트 사이에 윤활유를 용이하게 주입할 수 있는 구동장치용 풀리와 구동장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 구동장치용 풀리는 구동벨트와 결합되어 구동벨트와 함께 회전하는 회전본체; 회전 샤프트가 삽입되도록 제1축을 따라 상기 회전본체를 관통하여 형성되는 삽입공; 및 상기 제1축에 수직한 제2축을 따라 상기 회전본체를 관통하여 형성되는 주입공을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 구동장치용 풀리는 상기 제1축을 기준으로 서로 마주보도록 상기 회전본체에 결합되는 제1제한부재 및 제2제한부재를 포함하고, 상기 주입공은 상기 제2제한부재보다 상기 제1제한부재에 인접하게 형성될 수 있다.

본 발명에 따른 구동장치용 풀리는 상기 회전본체와 회전 샤프트가 함께 회전하도록 상기 회전본체와 회전 샤프트를 결합시키는 고정부재를 수용하는 풀리 걸림부를 포함하고, 상기 주입공은 상기 풀리 걸림부와 연결될 수 있다.

본 발명에 따른 구동장치는 구동력을 발생하는 구동부; 상기 구동부의 구동력에 의해 회전하는 구동벨트; 및 상기 구동벨트와 결합되어 상기 구동벨트와 함께 회전하는 풀리를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송시키기 위한 이송암; 상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부; 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키기 위한 선회부; 및 상기 이송암과 상기 선회부 중 적어도 하나를 회전시키기 위한 구동장치를 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

본 발명은 윤활유를 주입할 수 있는 주입공을 구비함으로써, 풀리와 회전 샤프트를 분리하지 않고 윤활유를 용이하게 주입하여 유지보수에 드는 노력 및 시간을 절감할 수 있다.

도 1은 종래기술에 따른 구동장치를 개략적으로 나타내는 단면도
도 2는 본 발명에 따른 구동장치를 개략적으로 나타내는 도면
도 3은 본 발명에 따른 구동장치용 풀리를 개략적으로 나타내는 도면
도 4는 도 3에서 I-I선에 따른 단면도
도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 개략적으로 나타내는 사시도

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목들 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.

또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도면에 도시된 바에 한정되지 않으며, 여러 부분 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다.

이하에서는 본 발명에 따른 구동장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 본 발명에 따른 구동장치용 풀리는 본 발명에 따른 구동장치에 포함되므로, 본 발명에 따른 구동장치의 바람직한 실시예를 설명하면서 함께 설명하기로 한다.

본 발명에 따른 구동장치(100)는 구동력을 발생하기 위한 구동부(110)와, 상기 구동부(110)의 구동력에 의해 회전하는 구동벨트(140)와, 상기 구동벨트(140)와 결합되어 상기 구동벨트(140)와 함께 회전하는 풀리(120)를 포함한다.

상기 풀리(120)는 상기 구동벨트(140)와 결합되어 상기 구동벨트(140)와 함께 회전하는 회전본체(121)와, 회전 샤프트가 삽입되도록 제1축(X축)을 따라 상기 회전본체(121)를 관통하여 형성되는 삽입공(122)과, 상기 제1축(X축)에 수직한 제2축(Y축)을 따라 상기 회전본체(121)를 관통하여 형성되는 주입공(124)을 포함한다.

상기 회전 샤프트와 상기 회전본체(121)가 함께 회전할 수 있도록 상기 삽입공(122)에는 고정부재가 삽입된다. 상기 고정부재는 상기 회전 샤프트와 함께 상기 삽입공(122)에 삽입되어, 상기 회전 샤프트와 상기 회전본체(121)가 같이 회전할 수 있게 한다. 즉, 상기 고정부재에 의해, 상기 회전 샤프트는 상기 삽입공(122) 내에서 미끄러지지 않고, 상기 회전본체(121)와 같이 회전하게 된다.

상기 주입공(124)은 상기 회전본체(121)를 관통하여 형성되므로, 상기 회전본체(121)의 외부와 상기 삽입공(122)을 연결한다. 따라서, 작업자는 상기 주입공(124)을 통해 상기 삽입공(122)으로 윤활유를 주입할 수 있게 된다. 윤활유는 상기 회전본체(121), 상기 회전 샤프트 및 상기 고정부재가 서로 충돌하는 것을 방지한다. 윤활유는 상기 회전본체(121), 상기 회전 샤프트 및 상기 고정부재 사이에서 마찰이 발생하는 것을 방지한다. 따라서, 윤활유는 상기 회전본체(121), 상기 회전 샤프트 및 상기 고정부재가 파손되는 것을 방지한다.

위와 같은, 본 발명에 따른 구동장치(100)에 따르면, 작업자는 상기 풀리(120)를 분리하지 않고도 상기 주입공(124)을 통해 상기 삽입공(122)으로 윤활유를 주입할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 구동장치(100)의 구동 중에도 상기 삽입공(122)에 윤활유를 주입할 수 있다. 따라서, 상기 구동장치(100)의 유지보수에 드는 시간과 노력을 감소시킬 수 있다.

이하에서는 상기 풀리(120), 상기 구동부(110), 상기 구동벨트(140)에 대해 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 풀리(120)는 상기 구동부(110)의 구동력을 전달하기 위한 구동벨트(140)를 회전 및 고정시키기 위한 것이다. 상기 풀리(120)는 사기 구동부(110)에 결합되는 구동풀리와, 상기 구동부(110)의 구동력에 의해 종속적으로 회전하는 종동풀리를 포함한다. 상기 구동풀리는 상기 구동부(110)의 구동력에 의해 직접 회전하는 풀리(120)이다. 반면, 상기 종동풀리는 상기 구동벨트(140)에 의해 전달된 구동력에 의해 종속적으로 회전한다. 즉, 상기 종동풀리는 상기 구동부(110)의 구동력이 상기 구동풀리 및 상기 구동벨트를 통해 전달되어야 회전한다.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 풀리(120)는 상기 구동벨트(140)와 결합되어 구동벨트와 함께 회전하는 회전본체(121)를 포함한다. 상기 회전본체(121)는 원통형으로 형성될 수 있다. 상기 회전본체(121)의 외면은 상기 구동벨트(140)를 안정적으로 고정할 수 있도록 상기 제1축(X축)을 기준으로 중심부분이 두꺼운 형태로 형성될 수 있다. 상기 회전본체(121)의 외면에는 상기 구동벨트(140)가 결합된다.

상기 풀리(120)는 상기 제1축(X축)을 기준으로 서로 마주보도록 상기 회전본체(121)에 결합되는 제1제한부재(125)와, 상기 제2제한부재(126)를 포함한다. 상기 제1제한부재(125)와 상기 제2제한부재(126)는 상기 회전본체(121)의 양 단에 결합된다. 상기 제1제한부재(125)와 상기 제2제한부재(126)는 원판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 제1제한부재(125)와 상기 제2제한부재(126)는 상기 제2축(Y축)을 기준으로 상기 회전본체(121)보다 크게 형성된다. 상기 제1제한부재(125)와 상기 제2제한부재(126)가 원판형으로 형성되는 경우, 상기 제1제한부재(125)와 상기 제2제한부재(126)의 반경은 상기 회전본체(121)의 반경보다 크게 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1제한부재(125)와 상기 제2제한부재(126)는 상기 회전본체(121)의 반경 방향 외측방향으로 돌출될 수 있도록 형성된다. 상기 제1제한부재(125)와 상기 제2제한부재(126)는 상기 회전본체(121)에 결합된 상기 구동벨트(140)가 상기 회전본체(121)에서 분리되는 것을 방지한다. 상기 제1제한부재(125)는 상기 제2제한부재(126)보다 중력 방향을 기준으로 위쪽에 배치된다.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 풀리(120)는 상기 제1축(X축)을 따라 상기 회전본체(121)를 관통하여 형성되는 삽입공(122)을 포함한다. 상기 삽입공(122)에 상기 회전 샤프트가 결합되어, 상기 회전 샤프트와 상기 회전본체(121)가 결합된다. 상기 회전 샤프트는 상기 삽입공(122)에 삽입되어 상기 회전본체(121)와 함께 회전한다. 상기 회전 샤프트는 상기 구동풀리에 연결되는 구동 샤프트(111)와, 상기 종동풀리에 연결되는 종동 샤프트를 포함한다. 상기 구동 샤프트(111)는 상기 구동부(110)의 구동력에 의해 회전하면서 상기 구동풀리를 회전시킨다. 반면, 상기 종동 샤프트는 상기 종동풀리가 회전하면, 상기 종동풀리와 함께 회전하게 된다.

도 4를 참고하면, 상기 풀리(120)는 상기 고정부재를 수용하는 풀리 걸림부(123)를 포함할 수 있다. 상기 풀리 걸림부(123)는 상기 회전본체(121)의 내면에 형성된다. 즉, 상기 풀리 걸림부(123)는 상기 삽입공(122)과 연결되도록 형성된다. 상기 풀리 걸림부(123)는 상기 삽입공(122)의 일측에 형성된다. 상기 풀리 걸림부(123)가 있는 경우, 상기 고정부재가 상기 풀리 걸림부(123)에 걸려서 상기 회전본체(121)를 회전시키게 된다. 상기 풀리 걸림부(123)가 있는 경우, 상기 회전 샤프트가 상기 삽입공(122) 내에서 미끄러지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 풀리 걸림부(123)는 상기 회전 샤프트와 상기 회전본체(121)가 완전하게 일체가 되어 함께 회전하게 할 수 있다.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 풀리(120)는 상기 제2축(Y축)을 따라 상기 회전본체(121)를 관통하여 형성되는 주입공(124)을 포함한다. 상기 주입공(124)은 상기 회전본체(121)를 관통하여 형성되어, 상기 삽입공(122)과 연결된다. 상기 주입공(124)을 통해 작업자는 윤활유를 상기 삽입공(122)을 향해 주입할 수 있다.

도 3을 참고하면, 상기 주입공(124)은 상기 제2제한부재(126)보다 상기 제1제한부재(125)에 인접하게 위치될 수 있다. 즉, 상기 주입공(124)은 상기 회전본체(121)에서 중력 방향을 기준으로 위쪽에 위치될 수 있다. 상기 주입공(124)을 통해 윤활유가 주입되면, 주입된 윤활유는 중력에 의해 하강하게 된다. 이때, 상기 주입공(124)이 중력 방향을 기준으로 위쪽에 위치되는 경우, 윤활유가 상기 삽입공(122)에 빠짐없이 공급될 수 있다. 결국, 윤활유가 상기 삽입공(122) 전체로 공급되어 상기 풀리가 파손되는 것을 감소시키거나 방지할 수 있다.

도 4를 참고하면, 상기 주입공(124)은 상기 풀리 걸림부(123)와 연결되도록 형성될 수 있다. 상기 풀리(120)에서 파손되는 부분은 결국, 상기 고정부재와 마찰이 많이 일어나는 부분이다. 결국, 상기 주입공(124)을 통해 공급되는 윤활유는 상기 고정부재가 위치하는 부분을 통해 주입되어야 효과를 극대화할 수 있다. 상기 풀리 걸림부(123)는 상기 고정부재를 수용하고, 이에 따라 상기 회전본체(121)가 회전하면 고정부재와 사이에서 마찰이 일어나는 부분이다. 따라서, 상기 주입공(124)이 상기 풀리 걸림부(123)와 연결되면, 상기 주입공(124)을 통해 공급되는 윤활유가 상기 풀리 걸림부(123)로 직접 공급될 수 있다. 결국, 상기 주입공(124)이 상기 풀리 걸림부(123)와 연결되도록 형성되면, 상기 고정부재와 마찰에 의해 상기 풀리(120)가 파손되는 것을 감소시키거나 방지할 수 있다.

도 2를 참고하면, 상기 구동부(110)는 구동력을 발생한다. 상기 구동부(110)는 모터를 포함할 수 있다. 상기 구동부(110)는 구동력에 의해 회전하는 구동 샤프트(111)를 포함한다. 상기 구동 샤프트(111)는 상기 회전 샤프트에 포함되는 것이다. 상기 구동 샤프트(111)에는 상기 풀리(120)가 결합된다. 상기 구동 샤프트(111)에 결합된 상기 풀리(120)는 구동 풀리이다. 상기 구동부(110)에서 발생한 구동력에 의해 상기 구동 샤프트(111)가 회전하면, 상기 구동 샤프트(111)에 결합된 상기 풀리(120)가 회전하게 된다.

도 2를 참고하면, 상기 구동벨트(140)는 구동부(110)의 구동력을 전달하기 위한 것이다. 상기 구동벨트(140)는 상기 구동부(110)의 구동력에 의해 회전하면서 구동력을 전달한다. 상기 구동벨트(140)는 상기 구동풀리와 상기 종동풀리에 동시에 연결된다. 상기 구동벨트(140)는 상기 구동풀리에 의해 회전한다. 상기 구동벨트(140)는 상기 구동풀리에 의해 회전하면서 상기 종동풀리를 회전시킨다. 상기 구동벨트(140)는 상기 구동부(110)의 구동력을 상기 구동풀리에서 상기 종동풀리로 전달한다.

이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

본 발명에 따른 기판 이송장치(10)는 기판(S)을 이송한다. 예컨대, 상기 기판(S)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 상기 기판(S)은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판(S)은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판(S)은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착기판일 수도 있다. 상기 기판(S)은 대략 사각판형으로 형성되나, 이에 한정되는 것은 아니고 다양한 형태로 형성될 수도 있다. 상기 기판(S)은 공정챔버에서 증착공정, 식각공정 등의 제조 공정을 거쳐 제조된다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(10)는 상기 기판(S)을 상기 공정챔버로 이송한다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(10)는 상기 기판(S)을 보관하는 기판 카세트로부터 상기 공정챔버로 상기 기판(S)을 이송한다. 또는, 본 발명에 따른 기판 이송장치(10)는 서로 다른 제조 공정을 수행하는 복수개의 공정챔버 간에 상기 기판(S)을 이송한다.

도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(10)는 기판(S)을 이송하기 위한 이송암(20)과, 상기 이송암(20)이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암(20)을 승강시키기 위한 승강부(30)와, 상기 이송암(20)이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부(30)를 회전시키기 위한 선회부(40)와, 상기 이송암(20)과 상기 선회부(40) 중 적어도 하나를 회전시키기 위한 구동장치(100)를 포함한다.

도 5를 참고하면, 상기 이송암(20)은 상기 기판(S)을 이송한다. 상기 이송암(20)은 상기 기판(S)을 지지하면서 상기 기판(S)을 이송한다. 상기 이송암(20)은 상기 기판(S)을 지지하기 전에는 상기 기판(S)을 향해 이동한다. 상기 이송암(20)이 상기 기판(S)을 지지한 후에는 상기 기판(S)을 이송한다. 상기 이송암(20)은 상기 기판(S)을 직선으로 이송할 수 있다. 상기 이송암(20)은 상기 승강부(30)에 결합된다.

상기 이송암(20)은 암베이스(21), 암유닛(22) 및 지지핸드(23)를 포함할 수 있다.

상기 암베이스(21)는 상기 승강부(30)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(21)는 상기 승강부(30)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(20)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다.

상기 암유닛(22)은 상기 암베이스(21)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(22)의 일단은 상기 암베이스(21)와 결합되고, 타단은 상기 지지핸드(23)와 결합된다. 상기 암유닛(22)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(23)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(22)은 상기 지지핸드(23)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(22)은 적어도 하나의 암기구를 포함할 수 있다. 상기 암유닛(22)은 서로 다른 방향으로 회전하는 복수개의 암기구를 이용하여 상기 지지핸드(23)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니고, 직선으로 이동하는 암기구를 이용하여 상기 지지핸드(23)를 직선으로 이동시킬 수도 있다.

상기 암유닛(22)은 제1암기구(221) 및 제2암기구(222)를 포함할 수 있다. 상기 제1암기구(221)는 상기 암베이스(21)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(221)의 일단은 상기 암베이스(21)와 결합되고, 타단은 상기 제2암기구(222)와 결합된다. 상기 제2암기구(222)는 상기 제1암기구(221)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2암기구(222)의 일단은 상기 제1암기구(221)와 결합되고, 타단은 상기 지지핸드(23)와 결합된다. 상기 지지핸드(23)는 상기 제2암기구(222)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 지지핸드(23)는 상기 기판(S)을 지지한다. 상기 제1암기구(221), 상기 제2암기구(222) 및 상기 지지핸드(23)는 서로 다른 회전 비로 회전하면서 상기 지지핸드(23)가 직선으로 이동할 수 있게 한다. 이에 따라 상기 이송암(20)은 상기 지지핸드(23)에 지지된 상기 기판(S)을 직선으로 이송할 수 있다.

상기 제1암기구(221)와 상기 제2암기구(222)는 서로 다른 높이에서 회전하도록 결합된다. 즉, 상기 암베이스(21)의 상면에 상기 제1암기구(221)가 결합되고, 상기 제1암기구(221)의 상면에 상기 제2암기구(222)가 결합된다. 이와 같은 결합에 의해 상기 제1암기구(221)와 상기 제2암기구(222)는 서로 다른 높이에서 회전하게 된다. 반대로, 상기 암베이스(21)의 하면에 상기 제1암기구(221)가 결합되고, 상기 제1암기구(221)의 하면에 상기 제2암기구(222)가 결합될 수도 있다. 그러나 이와 같은 경우에는 상기 제1암기구(221)와 상기 제2암기구(222)는 서로 다른 높이에서 회전하게 된다.

본 발명에 따른 기판 이송장치(10)는 복수개의 기판(S)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다. 이 경우 본 발명에 따른 기판 이송장치(10)는 복수개의 이송암(20)을 포함할 수 있다. 예컨대, 본 발명에 따른 기판 이송장치(10)가 2개의 기판(S)을 이송할 수 있도록 구현되는 경우, 본 발명에 따른 기판 이송장치(10)는 2개의 이송암(20)을 포함할 수 있다. 즉, 2개의 지지핸드(23)를 포함할 수 있다. 두 개의 이송암(20)은 승강방향을 기준으로 서로 나란하게 배치되게 상기 승강부(30)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 하나의 이송암(20)은 아래쪽에 배치되고, 다른 하나의 이송암(20)은 위쪽에 배치된다. 이에 따라, 2개의 지지핸드(23)는 승강방향을 기준으로 서로 다른 높이에서 상기 기판(S)을 지지 및 이송할 수 있다. 2개의 이송암(20) 중 아래쪽에 위치하는 이송암(20)에는 암베이스(21) 위에 제1암기구(221)가 설치되고, 제1암기구(221) 위에 제2암기구(222)가 설치된다. 반대로, 위쪽에 위치하는 이송암(20)에는 암베이스(21) 아래에 제1암기구(221)가 설치되고, 제1암기구(221) 아래에 제2암기구(222)가 설치된다.

도 3을 참고하면, 상기 승강부(30)는 상기 이송암(20)을 승강시킨다. 이에 따라 상기 승강부(30)는 상기 이송암(20)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다. 상기 승강부(30)는 상기 이송암(20)이 지지하고자 하는 기판(S)이 위치하는 높이까지 상기 이송암(20)을 승강시킨다. 상기 이송암(20)이 상기 기판(S)을 지지한 후에는 상기 승강부(30)가 상기 이송암(20)을 승강시킴에 따라 상기 기판(S)이 승강된다. 즉, 상기 승강부(30)는 상기 공정챔버가 위치하는 높이까지 상기 기판(S)을 승강시킨다. 상기 승강부(30)는 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식으로 상기 이송암(20)을 승강시킬 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 승강부(30)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 상기 이송암(20)을 승강시킬 수도 있다.

상기 승강부(30)는 상기 선회부(40)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 승강부(30)는 상기 선회부(40)에 결합되는 제1승강기구를 포함할 수 있다. 상기 승강부(30)는 상기 제1승강기구에 승강 가능하게 결합되는 제2승강기구를 더 포함할 수 있다. 상기 제2승강기구에는 상기 이송암(20)이 승강 가능하게 결합된다. 도면에 도시하지는 않았으나, 상기 제2승강기구는 생략될 수 있다. 이와 같은 경우, 상기 이송암(20)은 상기 제1승강기구에 승강 가능하게 결합될 수 있다.

도 5를 참고하면, 상기 선회부(40)는 상기 이송암(20)을 회전시킨다. 상기 이송암(20)은 상기 지지핸드(23) 및 상기 지지핸드(23)에 지지된 기판(S)을 직선으로 이동할 뿐이므로, 상기 선회부(40)가 상기 이송암(20)을 회전시킴으로써 상기 지지핸드(23) 및 상기 기판(S)의 이동 방향을 바꾸게 된다. 상기 선회부(40)는 상기 승강부(30)와 결합된다. 따라서, 상기 선회부(40)가 회전하면, 상기 선회부(40)에 결합된 상기 승강부(30) 및 상기 승강부(30)에 결합된 상기 이송암(20)이 회전하게 된다.

상기 선회부(40)는 선회프레임과, 상기 선회프레임을 회전시키는 구동부를 포함할 수 있다. 상기 선회프레임은 상기 승강부(30)와 결합된다. 상기 선회프레임은 선회축을 중심으로 회전한다. 상기 구동부는 상기 선회프레임을 회전시키는 구동력을 발생시킨다. 상기 구동부가 상기 선회축을 회전시킴으로써 상기 선회프레임이 회전하게 된다. 상기 구동부는 구동력을 발생하는 모터와, 모터의 구동력을 조절하여 상기 선회축에 전달하는 감속기를 포함할 수 있다. 상기 감속기는 상기 모터의 구동력을 증폭하여 상기 선회축에 전달한다. 상기 모터와 상기 감속기는 풀리와 벨트를 이용하여 연결될 수 있다. 또는, 상기 모터와 상기 감속기는 직결식으로 연결될 수도 있다.

상기 이송암(20)과 상기 선회부(40)는 회전하는 것으로서, 상기 구동장치(100)는 상기 이송암(20)과 상기 선회부(40) 중 적어도 하나를 회전시킨다. 즉, 이송암(20)과 상기 선회부(40) 중 적어도 하나에 상기 구동장치(100)가 설치될 수 있다. 상기 구동장치(100)는 상기 이송암(20)과 상기 선회부(40) 중에서 풀리와 벨트를 이용하여 구동되는 것에 설치될 수 있다. 상기 구동장치(100)는 앞서 설명한 본 발명에 따른 구동장치(100)가 사용될 수 있으므로, 설명은 생략한다.

도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(10)는 상기 이송암(20)을 주행방향을 따라 이동시키는 주행부(50)를 더 포함할 수 있다. 상기 주행부(50)는 상기 선회부(40)와 결합된다. 상기 주행부(50)가 상기 선회부(40)를 이동시킴에 따라 상기 선회부(40)에 결합된 상기 승강부(30) 및 상기 이송암(20)이 이동하게 된다. 결국, 상기 주행부(50)는 상기 이송암(20)에 지지된 기판(S)을 주행방향으로 이동시킨다. 상기 주행부(50)는 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식으로 상기 선회부(40)를 이동시킬 수 있다. 상기 주행부(50)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 상기 선회부(40)를 이동시킬 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

100 : 구동장치 110 : 구동부
120 : 풀리 121 : 회전본체
122 : 삽입공 123 : 풀리 걸림부
124 : 주입공 125 : 제1제한부재
126 : 제2제한부재
140 : 구동벨트
10 : 기판 이송장치

Claims (5)

1. 구동벨트와 결합되어 구동벨트와 함께 회전하는 회전본체;
   회전 샤프트가 삽입되도록 제1축을 따라 상기 회전본체를 관통하여 형성되는 삽입공;
   상기 제1축에 수직한 제2축을 따라 상기 회전본체를 관통하여 형성되는 주입공; 및
   상기 회전본체와 회전 샤프트가 함께 회전하도록 상기 회전본체와 회전 샤프트를 결합시키는 고정부재를 수용하는 풀리 걸림부를 포함하고,
   상기 주입공은 윤활유가 고정부재를 수용한 풀림 걸림부에 직접 공급되도록 상기 풀리 걸림부와 연결되는 것을 특징으로 하는 구동장치용 풀리.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1축을 기준으로 서로 마주보도록 상기 회전본체에 결합되는 제1제한부재 및 제2제한부재를 포함하고,
   상기 주입공은 상기 제2제한부재보다 상기 제1제한부재에 인접하게 형성되는 것을 특징으로 하는 구동장치용 풀리.
3. 삭제
4. 구동력을 발생하는 구동부;
   상기 구동부의 구동력에 의해 회전하는 구동벨트; 및
   상기 구동벨트와 결합되어 상기 구동벨트와 함께 회전하는 제1항 또는 제2항 에 따른 풀리를 포함하는 구동장치.
5. 기판을 이송시키기 위한 이송암;
   상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부;
   상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키기 위한 선회부; 및
   상기 이송암과 상기 선회부 중 적어도 하나를 회전시키기 위한 제4항에 따른 구동장치를 포함하는 기판 이송장치.

Images