KR101475708B1 - 초박형 실리콘 기판의 제조방법 - Google Patents

초박형 실리콘 기판의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 벌크 실리콘 부재로부터 일정 두께의 부분을 리프트 오프(Lift-off)하여 초박형 실리콘 기판을 제조하는 것으로서, 노치 형성단계와, 도금단계를 포함한다. 노치 형성단계는 벌크 실리콘 부재의 측면에서 벌크 실리콘 부재의 표면으로부터 일정 두께의 위치에 레이저빔을 조사하여 노치를 형성한다. 도금단계는 벌크 실리콘 부재의 표면에 금속층을 도금한다. 그리고, 금속층의 인장응력이 벌크 실리콘 부재 내부의 결합 구조를 파괴하면서, 노치를 기점으로 벌크 실리콘 부재의 표면과 평행한 방향으로 벌크 실리콘 부재로부터 초박형 실리콘 기판이 분리된다.

Description

초박형 실리콘 기판의 제조방법{Method for manufacturing ultrathin silicon substrate}
본 발명은 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 벌크 실리콘 부재로부터 일정 두께의 부분을 리프트 오프(Lift-off)하여 초박형 실리콘 기판을 제조하는 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 관한 것이다.
최근에는 전자 제품이 소형화됨에 따라 전자 제품 내에 실장되는 기판도 소형화되는 추세이다. 두께가 아주 얇은 초박형화 기판을 사용하면 소형화된 전자 제품에 따라 전자 제품 내에 기판의 실장이 가능하다.
종래에는 전자 제품의 기판으로 이용되는 실리콘 기판을 제조하기 위하여 결정질의 벌크 실리콘 부재를 커터로 절단하여 실리콘 기판을 제조했다. 이와 같이, 커터로 결정질의 벌크 실리콘 부재를 절단하여 실리콘 기판을 제조하면 고효율의 실리콘 기판을 제조할 수 있지만, 커터로 절단할 때 kerf-loss에 의하여 커터날의 두께만큼 결정질의 벌크 실리콘 부재가 소모되기 때문에 결정질의 벌크 실리콘 부재의 원가가 상승하여 실리콘 기판을 제조하는데 많은 제조 비용이 소모되는 문제가 있다.
따라서, 실리콘 기판을 제조하는데 제조 비용을 절감하고자 박막공정을 통하여 초박형 실리콘 기판을 제조했다. 그러나, 박막공정을 이용하여 실리콘 기판을 제조하면 제조 비용은 절감할 수 있지만, 결정질의 벌크 실리콘 부재를 절단하여 제조되는 실리콘 기판에 비해 낮은 효율을 갖는 문제가 있다.
한국 공개특허공보 제10-2012-0047867호 (발명의 명칭 : 실리콘 박막의 제조 방법, 실리콘 박막 태양전지의 제조방법, 실리콘 박막 및 실리콘 박막 태양전지, 공개일 : 2012.05.14)
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 레이저빔을 이용하여 벌크 실리콘 부재에 노치를 형성하고 벌크 실리콘 부재를 리프트 오프하여 초박형 실리콘 기판을 제조함으로써, 초박형 실리콘 기판의 제조 비용을 절감할 수 있고 고효율의 초박형 실리콘 기판을 제조할 수 있는 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 관한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 초박형 실리콘 기판의 제조방법은, 벌크 실리콘 부재로부터 일정 두께의 부분을 리프트 오프하여 초박형 실리콘 기판을 제조하는 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 있어서, 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 벌크 실리콘 부재의 표면으로부터 일정 두께의 위치에 레이저빔을 조사하여 노치를 형성하는 노치 형성단계; 상기 벌크 실리콘 부재의 표면에 금속층을 도금하는 도금단계; 및 상기 초박형 실리콘 기판의 두께를 조절하기 위하여, 상기 벌크 실리콘 부재 또는 상기 레이저빔을 상하 방향으로 이동시키면서 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 레이저빔이 조사되는 위치를 조절하는 두께 조절단계;를 포함하고, 상기 금속층의 인장응력이 상기 벌크 실리콘 부재 내부의 결합 구조를 파괴하면서, 상기 노치를 기점으로 상기 벌크 실리콘 부재의 표면과 평행한 방향으로 상기 벌크 실리콘 부재로부터 상기 초박형 실리콘 기판이 분리되며, 상기 두께 조절단계는, 상기 벌크 실리콘 부재의 측면의 영상을 촬영하는 촬영단계; 상기 영상으로부터 상기 벌크 실리콘 부재의 측면의 상단부 또는 하단부를 감지하는 단부 감지단계; 및 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 초박형 실리콘 기판의 두께에 대응되는 위치에 레이저빔을 조사하기 위하여, 상기 벌크 실리콘 부재 또는 상기 레이저빔을 상하 방향으로 이동시키는 이동단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 초박형 실리콘 기판의 제조방법은, 벌크 실리콘 부재로부터 일정 두께의 부분을 리프트 오프하여 초박형 실리콘 기판을 제조하는 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 있어서, 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 벌크 실리콘 부재의 표면으로부터 일정 두께의 위치에 레이저빔을 조사하여 노치를 형성하는 노치 형성단계; 상기 벌크 실리콘 부재의 표면에 금속층을 도금하는 도금단계; 및 상기 초박형 실리콘 기판의 두께를 조절하기 위하여, 상기 벌크 실리콘 부재 또는 상기 레이저빔을 상하 방향으로 이동시키면서 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 레이저빔이 조사되는 위치를 조절하는 두께 조절단계;를 포함하고, 상기 금속층의 인장응력이 상기 벌크 실리콘 부재 내부의 결합 구조를 파괴하면서, 상기 노치를 기점으로 상기 벌크 실리콘 부재의 표면과 평행한 방향으로 상기 벌크 실리콘 부재로부터 상기 초박형 실리콘 기판이 분리되며, 상기 두께 조절단계는, 센서를 이용하여 상기 센서와 상기 벌크 실리콘 부재의 표면 사이의 거리를 측정하는 거리 측정단계; 및 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 초박형 실리콘 기판의 두께에 대응되는 위치에 레이저빔을 조사하기 위하여, 상기 벌크 실리콘 부재 또는 상기 레이저빔을 상하 방향으로 이동시키는 이동단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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본 발명에 따른 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 있어서, 바람직하게는, 상기 노치 형성단계에서, 상기 벌크 실리콘 부재의 표면과 평행한 방향으로 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에 선 형태 또는 이격되게 배치되는 복수의 점 형태로 레이저빔을 조사한다.
본 발명에 따른 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 있어서, 바람직하게는, 상기 노치 형성단계에서, 상기 레이저빔은 나노초 펄스폭 또는 피코초 펄스폭을 가진다.
본 발명에 따른 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 있어서, 바람직하게는, 상기 도금단계는, 전해 도금 방식에 의하여 상기 벌크 실리콘 부재에 상기 금속층을 도금한다.
본 발명의 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 따르면, 초박형 실리콘 기판의 제조 비용을 절감할 수 있고 고효율의 초박형 실리콘 기판을 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 따르면, 벌크 실리콘 부재로부터 초박형 실리콘 기판이 분리될 때 벌크 실리콘 부재와 초박형 실리콘 기판이 접촉되는 면이 균일하게 분리되어 품질이 향상된 초박형 실리콘 기판을 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 따르면, 다양한 두께의 초박형 실리콘 기판을 제조할 수 있어 초박형 실리콘 기판의 호환성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초박형 실리콘 기판의 제조방법을 순서대로 도시한 도면이고,
도 2는 도 1의 초박형 실리콘 기판의 제조방법을 개략적으로 도시한 도면이고,
도 3은 도 1의 초박형 실리콘 기판의 제조방법의 노치 형성단계에서 형성되는 노치를 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초박형 실리콘 기판의 제조방법을 개략적으로 도시한 도면이다.
이하, 본 발명의 초박형 실리콘 기판의 제조방법의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초박형 실리콘 기판의 제조방법을 순서대로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 초박형 실리콘 기판의 제조방법을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 도 1의 초박형 실리콘 기판의 제조방법의 노치 형성단계에서 형성되는 노치를 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 초박형 실리콘 기판의 제조방법은, 벌크 실리콘 부재(10)로부터 일정 두께의 부분을 리프트 오프하여 초박형 실리콘 기판(100)을 제조하는 것으로서, 두께 조절단계(S110)와, 노치 형성단계(S120)와, 도금단계(S130)를 포함한다.
상기 두께 조절단계(S110)는 제조되는 초박형 실리콘 기판의 두께(t)를 조절하기 위하여, 벌크 실리콘 부재(10) 또는 레이저빔(L)을 상하 방향으로 이동시키면서 벌크 실리콘 부재의 측면(14)에서 레이저빔(L)이 조사되는 위치를 조절한다.
구체적으로, 두께 조절단계(S110)는 촬영단계와, 단부 감지단계와, 이동단계를 포함한다.
도 2를 참조하면, 촬영단계는 벌크 실리콘 부재의 측면(14) 영상을 촬영한다. 이때, 벌크 실리콘 부재의 측면(14) 영상을 촬영하는 촬영수단(111)으로는 일정 영역을 촬영할 수 있는 에어리어 카메라가 이용될 수 있으며, 벌크 실리콘 부재의 측면(14)을 커버할 수 있는 정도의 시야 범위(FOV, Field Of View)를 가진 카메라를 사용하는 것이 바람직하다.
단부 감지단계는 촬영단계에서 촬영된 영상으로부터 벌크 실리콘 부재의 측면(14)의 상단부(11) 또는 하단부(12)를 감지한다. 단부 감지단계에서 감지된 상단부(11) 또는 하단부(12)는 이동단계에서 벌크 실리콘 부재(10) 또는 레이저빔(L)을 초박형 실리콘 기판의 두께(t)에 대응되는 위치로 이동시킬 수 있는 기준이 된다.
이동단계는 벌크 실리콘 부재의 측면(14)에서 초박형 실리콘 기판의 두께(t)에 대응되는 위치에 레이저빔(L)을 조사하기 위하여, 벌크 실리콘 부재(10) 또는 레이저빔(L)을 상하 방향으로 이동시킨다.
예를 들어, 초박형 실리콘 기판의 두께(t)를 50㎛로 형성할 경우, 단부 감지단계에서 상단부(11)를 감지하면 상단부(11)에서부터 레이저빔(L)이 조사되는 위치까지의 거리가 50㎛가 되도록 벌크 실리콘 부재(10)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 또는, 상단부(11)를 기준으로 상단부(11)에서부터 50㎛만큼 이격된 위치에 레이저빔(L)이 조사될 수 있도록 레이저부(121)를 상하 방향으로 이동시킬 수도 있다.
도면에는 도시되지 않았지만, 벌크 실리콘 부재(10) 또는 레이저부(121)는 이동부(미도시)에 의하여 상하 방향으로 이동될 수 있는데, 이때 이동부는 리니어 모터 등과 같은 직선구동유닛으로 구성되는 것이 바람직하다.
본 실시예에서, 초박형 실리콘 기판의 두께(t)를 조절함으로써, 다양한 두께의 초박형 실리콘 기판(100)을 제조할 수 있어 초박형 실리콘 기판(100)의 호환성이 향상될 수 있다.
상기 노치 형성단계(S120)는 벌크 실리콘 부재의 측면(14)에서 벌크 실리콘 부재의 표면(13)으로부터 일정 두께의 위치에 레이저빔(L)을 조사하여 노치(120)를 형성한다.
도 3의 (a)를 참조하면, 벌크 실리콘 부재의 표면(13)과 평행한 방향(A)으로 벌크 실리콘 부재의 측면(14)에 선 형태로 레이저빔(L)을 조사하여 선 형태의 노치(121)를 형성할 수 있다. 또는, 도 3의 (b)를 참조하면, 벌크 실리콘 부재의 표면(13)과 평행한 방향(A)으로 벌크 실리콘 부재의 측면(14)에 이격되게 배치되는 복수의 점 형태로 레이저빔(L)을 조사하여 점 형태의 노치(122)를 형성할 수 있다.
도면에는 도시되지 않았지만, 벌크 실리콘 부재(10) 또는 레이저부(121)는 이동부에 의하여 벌크 실리콘 부재의 표면(13)과 평행한 방향(A)으로 이동될 수 있는데, 이때 이동부는 리니어 모터 등과 같은 직선구동유닛으로 구성되는 것이 바람직하다.
본 실시예에서, 레이저빔(L)은 나노초(nanosecond) 펄스폭 또는 피코초(picosecond) 펄스폭을 가진다.
일반적으로, 펄스폭(pulse width)이 긴 레이저로부터 출력된 레이저빔을 이용하여 노치(120)를 형성하면 레이저빔이 조사된 벌크 실리콘 부재(10)의 내부에서 광열 반응이 발생하여 표면이 불균일한 노치(120)가 형성된다.
그러나, 벌크 실리콘 부재(10)를 형성하는 재질의 열 확산시간보다 짧은 펄스폭을 가지는 레이저빔(L)을 벌크 실리콘 부재(10)에 조사하여 분자간의 결합을 끊어내는 광화학 반응을 주된 메커니즘으로 하여 노치(120)를 형성하면, 표면이 균일한 노치를 형성할 수 있다. 따라서, 레이저빔(L)은 나노초 펄스폭 또는 피코초 펄스폭을 가지는 것이 바람직하다.
본 실시예에서, 레이저빔(L)이 나노초 펄스폭 또는 피코초 펄스폭을 가짐으로써 표면이 균일한 노치(120)를 형성하여, 벌크 실리콘 부재(10)로부터 초박형 실리콘 기판(100)이 분리될 때 벌크 실리콘 부재(10)와 초박형 실리콘 기판(100)이 접촉되는 면이 균일하게 분리되어 품질이 향상된 초박형 실리콘 기판(100)을 제조할 수 있다.
상기 도금단계(S130)은 벌크 실리콘 부재의 표면(13)에 금속층(130)을 도금한다.
본 실시예에서, 도금단계(S130)는 전해 도금 방식에 의하여 벌크 실리콘 부재(10)에 금속층(130)을 도금한다. 여기서, 금속층(130)은 구리(Cu), 니켈(Ni) 등 다양한 종류의 금속 중 어느 하나가 선택되어 구성될 수 있다.
본 실시예에서, 벌크 실리콘 부재의 표면(13)에 금속층(130)이 도금되면 금속층(130)의 인장 응력(Tensile stress)에 의하여 벌크 실리콘 부재(10) 내부의 결합구조가 파괴된다. 동시에 벌크 실리콘 부재의 측면(14)에 형성된 노치(120)를 기점으로 벌크 실리콘 부재의 표면(13)과 평행한 방향으로 벌크 실리콘 부재(10)로부터 초박형 실리콘 기판(100)이 분리된다.
벌크 실리콘 부재(10)로부터 초박형 실리콘 기판(100)이 분리되면 최종적으로 벌크 실리콘 부재(10)만 존재하게 된다. 이후, 다시 벌크 실리콘 부재(10)에 노치(120)를 형성하고 벌크 실리콘 부재의 표면(13)에 금속층(130)을 도금하여 벌크 실리콘 부재(10) 내부의 결합구조가 파괴되면, 벌크 실리콘 부재(10)로부터 또 다른 초박형 실리콘 기판(미도시)이 분리된다. 이와 같이, 벌크 실리콘 부재(10)가 모두 소모될 때까지 위와 같은 공정을 반복하여 초박형 실리콘 기판(100)을 제조한다.
본 실시예에서, 벌크 실리콘 부재(10)를 리프트 오프하여 초박형 실리콘 기판(100)을 제조함으로써, 초박형 실리콘 기판(100)의 제조 비용을 절감할 수 있고 고효율의 초박형 실리콘 기판(100)을 제조할 수 있다.
한편, 본 발명의 초박형 실리콘 기판의 제조방법에서 다른 실시예에 따른 두께 조절단계를 도 4를 참조하여 설명한다.
도 4를 참조하면, 두께 조절단계(S210)는 측정단계와 이동단계를 포함한다.
측정단계는 센서(211)를 이용하여 센서(211)와 벌크 실리콘 부재의 표면(13) 사이의 거리 측정한다. 여기서, 센서(211)는 물체가 이동한 거리 또는 위치를 계측하는 변위센서가 될 수 있다.
이동단계는 벌크 실리콘 부재의 측면(14)에서 초박형 실리콘 기판(100)의 두께에 대응되는 위치에 레이저빔(L)을 조사하기 위하여, 벌크 실리콘 부재(10) 또는 레이저빔(L)을 상하 방향으로 이동시킨다.
예를 들어, 초박형 실리콘 기판의 두께(t)를 50㎛로 형성할 경우, 측정 단계에서 센서(211)와 벌크 실리콘 부재의 표면(13)의 거리를 측정하여 벌크 실리콘 부재(10)의 정확한 위치를 파악한다. 이후, 센서(211)와 벌크 실리콘 부재의 표면(13)의 거리는 벌크 실리콘 부재(10) 또는 레이저빔(L)을 초박형 실리콘 기판의 두께(t)에 대응되는 위치로 이동시킬 수 있는 기준이 되어, 벌크 실리콘 부재의 표면(13)에서부터 레이저빔(L)이 조사되는 위치까지의 거리가 50㎛가 되도록 벌크 실리콘 부재(10)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 또는, 벌크 실리콘 부재의 표면(13)을 기준으로 벌크 실리콘 부재의 표면(13)에서부터 50㎛만큼 이격된 위치에 레이저빔(L)이 조사될 수 있도록 레이저부(121)를 상하 방향으로 이동시킬 수도 있다.
도면에는 도시되지 않았지만, 벌크 실리콘 부재(10) 또는 레이저부(121)는 이동부(미도시)에 의하여 상하 방향으로 이동될 수 있는데, 이때 이동부는 리니어 모터 등과 같은 직선구동유닛으로 구성되는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 초박형 실리콘 기판의 제조방법은, 벌크 실리콘 부재에 형성된 노치를 기점으로 벌크 실리콘 부재를 리프트 오프하여 초박형 실리콘 기판을 제조함으로써, 초박형 실리콘 기판의 제조 비용을 절감할 수 있고 고효율의 초박형 실리콘 기판을 제조할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 초박형 실리콘 기판의 제조방법은, 나노초 펄스폭 또는 피코초 펄스폭을 가지는 레이저빔으로 표면이 균일한 노치를 형성함으로써, 벌크 실리콘 부재로부터 초박형 실리콘 기판이 분리될 때 벌크 실리콘 부재와 초박형 실리콘 기판이 접촉되는 면이 균일하게 분리되어 품질이 향상된 초박형 실리콘 기판을 제조할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 초박형 실리콘 기판 제조방법은, 초박형 실리콘 기판의 두께를 조절함으로써, 다양한 두께의 초박형 실리콘 기판을 제조할 수 있어 초박형 실리콘 기판의 호환성이 향상될 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구 범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
10 : 벌크 실리콘 부재
11 : 상단부
12 : 하단부
13 : 표면
14 : 측면
100 : 초박형 실리콘 기판
120 : 노치
130 : 금속층

Claims (7)

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  3. 벌크 실리콘 부재로부터 일정 두께의 부분을 리프트 오프하여 초박형 실리콘 기판을 제조하는 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 있어서,
    상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 벌크 실리콘 부재의 표면으로부터 일정 두께의 위치에 레이저빔을 조사하여 노치를 형성하는 노치 형성단계;
    상기 벌크 실리콘 부재의 표면에 금속층을 도금하는 도금단계; 및
    상기 초박형 실리콘 기판의 두께를 조절하기 위하여, 상기 벌크 실리콘 부재 또는 상기 레이저빔을 상하 방향으로 이동시키면서 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 레이저빔이 조사되는 위치를 조절하는 두께 조절단계;를 포함하고,
    상기 금속층의 인장응력이 상기 벌크 실리콘 부재 내부의 결합 구조를 파괴하면서, 상기 노치를 기점으로 상기 벌크 실리콘 부재의 표면과 평행한 방향으로 상기 벌크 실리콘 부재로부터 상기 초박형 실리콘 기판이 분리되며,
    상기 두께 조절단계는, 상기 벌크 실리콘 부재의 측면의 영상을 촬영하는 촬영단계; 상기 영상으로부터 상기 벌크 실리콘 부재의 측면의 상단부 또는 하단부를 감지하는 단부 감지단계; 및 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 초박형 실리콘 기판의 두께에 대응되는 위치에 레이저빔을 조사하기 위하여, 상기 벌크 실리콘 부재 또는 상기 레이저빔을 상하 방향으로 이동시키는 이동단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초박형 실리콘 기판의 제조방법.
  4. 벌크 실리콘 부재로부터 일정 두께의 부분을 리프트 오프하여 초박형 실리콘 기판을 제조하는 초박형 실리콘 기판의 제조방법에 있어서,
    상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 벌크 실리콘 부재의 표면으로부터 일정 두께의 위치에 레이저빔을 조사하여 노치를 형성하는 노치 형성단계;
    상기 벌크 실리콘 부재의 표면에 금속층을 도금하는 도금단계; 및
    상기 초박형 실리콘 기판의 두께를 조절하기 위하여, 상기 벌크 실리콘 부재 또는 상기 레이저빔을 상하 방향으로 이동시키면서 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 레이저빔이 조사되는 위치를 조절하는 두께 조절단계;를 포함하고,
    상기 금속층의 인장응력이 상기 벌크 실리콘 부재 내부의 결합 구조를 파괴하면서, 상기 노치를 기점으로 상기 벌크 실리콘 부재의 표면과 평행한 방향으로 상기 벌크 실리콘 부재로부터 상기 초박형 실리콘 기판이 분리되며,
    상기 두께 조절단계는, 센서를 이용하여 상기 센서와 상기 벌크 실리콘 부재의 표면 사이의 거리를 측정하는 거리 측정단계; 및 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에서 상기 초박형 실리콘 기판의 두께에 대응되는 위치에 레이저빔을 조사하기 위하여, 상기 벌크 실리콘 부재 또는 상기 레이저빔을 상하 방향으로 이동시키는 이동단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초박형 실리콘 기판의 제조방법.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 노치 형성단계에서,
    상기 벌크 실리콘 부재의 표면과 평행한 방향으로 상기 벌크 실리콘 부재의 측면에 선 형태 또는 이격되게 배치되는 복수의 점 형태로 레이저빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 초박형 실리콘 기판의 제조방법.
  6. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 노치 형성단계에서,
    상기 레이저빔은 나노초 펄스폭 또는 피코초 펄스폭을 가지는 것을 특징으로 하는 초박형 실리콘 기판의 제조방법.
  7. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 도금단계는,
    전해 도금 방식에 의하여 상기 벌크 실리콘 부재에 상기 금속층을 도금하는 것을 특징으로 하는 초박형 실리콘 기판의 제조방법.
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