KR101472978B1

KR101472978B1 - 패드 컨디셔너

Info

Publication number: KR101472978B1
Application number: KR1020130027882A
Authority: KR
Inventors: 이승훈; 박지호; 모성원; 최문섭; 장항
Original assignee: 주식회사 제우스
Priority date: 2013-03-15
Filing date: 2013-03-15
Publication date: 2014-12-16
Also published as: KR20140113027A

Abstract

패드 컨디셔너에 관한 발명이 개시된다. 개시된 패드 컨디셔너는 연마 패드의 표면을 컨디셔닝하고, 컨디셔닝할 때 발생되는 잔류물이 통과되는 관통부가 관통 형성되는 디스크부와, 디스크부가 밀착되고, 관통부와 연통되는 감압부가 구비되는 고정척부와, 디스크부가 회전되도록 고정척부를 회전시키는 회전유닛과, 잔류물이 관통부로 흡입되도록 감압부를 감압시키는 감압유닛 및 디스크부를 승강시키는 가압유닛을 포함하고, 가압유닛은, 회전유닛에 결합되는 전달바디부와, 전달바디부를 회전 가능하게 지지하는 가압바디부 및 고정척부가 승강되도록 전달바디부와 가압바디부를 거쳐 고정척부에 흡입력 또는 가압력을 제공하는 가압구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

패드 컨디셔너{PAD CONDITIONER}

본 발명은 패드 컨디셔너에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패드 컨디셔너가 회전되는 연마 패드를 컨디셔닝할 때, 연마 패드의 표면에서 발생되는 잔류물을 흡입하여 제거할 수 있음은 물론 패드 컨디셔너와 연마 패드의 밀착력을 향상시킬 수 있는 패드 컨디셔너에 관한 것이다.

일반적으로, 씨엠피(CMP, Chemical Mechanical Polishing) 장치는 다른 표현으로 화학적 기계적 연마 장치라고 하고, 웨이퍼의 넓어진 면을 평탄화하기 위해 화학적인 제거가공과 기계적인 제거가공을 하나의 가공방법으로 혼합한 장치이다.

다시 말해, 씨엠피 장치는 단차를 가진 웨이퍼 표면을 연마 패드 위에 밀착시킨 후 연마제와 화학물질이 포함된 슬러리(slurry)를 웨이퍼와 연마 패드 사이에 주입시켜 웨이퍼의 표면을 평탄화시킨다.

관련 선행기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-0517144호 (경화슬러리 제거브러쉬가 구비된 CMP 장치) 가 있다.

본 발명의 목적은 패드 컨디셔너가 회전되는 연마 패드를 컨디셔닝할 때, 연마 패드의 표면에서 발생되는 잔류물을 흡입하여 제거할 수 있음은 물론 패드 컨디셔너와 연마 패드의 밀착력을 향상시킬 수 있는 패드 컨디셔너를 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 패드 컨디셔너는 연마 패드의 표면을 컨디셔닝하고, 상기 컨디셔닝할 때 발생되는 잔류물이 통과되는 관통부가 관통 형성되는 디스크부; 상기 디스크부가 밀착되고, 상기 관통부와 연통되는 감압부가 구비되는 고정척부; 상기 디스크부가 회전되도록 상기 고정척부를 회전시키는 회전유닛; 상기 잔류물이 상기 관통부로 흡입되도록 상기 감압부를 감압시키는 감압유닛; 및 상기 디스크부를 승강시키는 가압유닛; 을 포함하고, 상기 가압유닛은, 상기 회전유닛에 결합되는 전달바디부; 상기 전달바디부를 회전 가능하게 지지하는 가압바디부; 및 상기 고정척부가 승강되도록 상기 전달바디부와 상기 가압바디부를 거쳐 상기 고정척부에 흡입력 또는 가압력을 제공하는 가압구동부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 디스크부는, 상기 관통부 중 관통홀부가 관통 형성되는 판부; 및 상기 관통홀부와 연통되는 연통홀부가 관통 형성되도록 상기 판부에서 돌출 형성되고, 상기 연마 패드의 표면을 컨디셔닝하는 연마부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 연마부는 상기 판부에 탈부착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 고정척부는, 상기 디스크부와 결합되고, 상기 감압부 중 상기 관통부와 연통되는 감압공간부를 형성하는 고정판부; 및 상기 고정판부에서 돌출 형성되어 상기 회전유닛과 상기 가압유닛에 삽입되고, 상기 감압공간부와 연통되는 감압유로부를 형성하는 고정축부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 고정척부는, 상기 고정판부와 상기 고정축부 중 적어도 어느 하나에 결합되고, 상기 회전유닛에 승강 가능하게 결합되는 피스톤부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 피스톤부에는, 상기 고정축부의 승강에 따라 상기 가압유닛의 이동 경로를 형성하는 제1가이드부; 가 포함되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 회전유닛은, 회전력을 발생시키는 회전구동부; 및 상기 회전력에 의해 상기 고정척부를 회전시키는 회전실린더부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 회전실린더부에는, 상기 고정척부가 승강 가능하게 삽입되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 감압유닛은, 상기 감압부가 노출되도록 상기 고정척부에 구비되는 감압블럭부; 상기 감압부와 연통되어 흡입력을 발생시키는 감압구동부; 및 상기 감압블럭부에 노출된 상기 감압부와 상기 감압구동부를 연결하고, 흡입력에 의해 상기 감압부를 거친 상기 잔류물의 이동 경로를 형성하는 감압라인부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 가압유닛은, 유체의 이동 경로를 형성하도록 상기 전달바디부에 구비되는 전달유로부; 및 상기 전달유로부와 상기 가압구동부가 연결되어 상기 유체의 이동 경로를 형성하도록 상기 가압바디부에 구비되는 연결유로부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 회전유닛을 지지하는 바디유닛; 을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 바디유닛은, 상기 회전유닛과 상기 감압유닛과 상기 가압유닛 중 적어도 상기 회전유닛이 지지되는 베이스부; 상기 베이스부에 결합되는 덮개부; 및 상기 베이스부와 상기 덮개부 중 적어도 어느 하나에 구비되어 상기 회전유닛과 상기 감압유닛과 상기 가압유닛이 수용되는 지지공간부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 바디유닛은, 상기 베이스부에 결합되는 피벗축부; 및 상기 피벗축부를 피벗 운동시키는 피벗구동부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 고정척부와 상기 회전유닛 사이를 폐쇄하는 제1이물방지부와, 상기 바디유닛과 상기 회전유닛 사이를 폐쇄하는 제2이물방지부 중 적어도 어느 하나를 포함하는 이물방지부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 잔류물이 흡입되도록 상기 디스크부의 가장자리에 구비되고, 상기 감압부와 연통되는 확산방지부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 확산방지부는, 상기 디스크부의 가장자리에 관통 형성되는 제1확산방지홀부와 상기 제1확산방지홀부와 상기 감압부를 연통시키는 제2확산방지홀부 중 적어도 상기 제1확산방지홀부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 패드 컨디셔너는 회전되는 연마 패드를 컨디셔닝할 때, 연마 패드의 표면에서 발생되는 잔류물을 흡입하여 제거할 수 있음은 물론 패드 컨디셔너와 연마 패드의 밀착력을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 컨디셔닝 디스크에서 연마부만을 교체할 수 있고, 컨디셔닝 디스크의 유지 보수를 용이하게 한다.

또한, 본 발명은 연마 패드에 축적된 잔류물을 더욱 효과적으로 제거할 수 있다.

또한, 본 발명은 컨디셔닝 디스크의 회전과 잔류물의 흡입을 용이하게 할 수 있다.

또한, 본 발명은 컨디셔닝 디스크가 연마 패드에 밀착된 상태에서 용이하게 평탄도를 유지할 수 있고, 회전되는 컨디셔닝 디스크를 안정적으로 지지 회전시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 연마 패드의 표면을 고르게 컨디셔닝할 수 있다.

또한, 본 발명은 웨이퍼의 교체가 용이하다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 씨엠피 장치를 도시한 평면도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 씨엠피 장치를 도시한 측면도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너를 도시한 분해도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너를 도시한 단면사시도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너에서 디스크부를 도시한 분해사시도,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너에서 감압유닛의 변형예를 도시한 단면도,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너에서 디스크부의 변형예를 도시한 사시도,
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너에서 디스크부의 변형예가 적용된 상태를 도시한 단면도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 패드 컨디셔너의 일 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 씨엠피 장치를 도시한 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 씨엠피 장치를 도시한 측면도이다.

도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 씨엠피 장치는 연마 패드(100)와, 연마기(200)와, 패드 컨디셔너(300)를 포함한다.

연마 패드(100)는 웨이퍼의 표면을 기계적으로 가공하기 위한 연마패드부(110)와, 인가되는 전원에 의해 연마패드부(110)를 회전시키는 연마구동부(130)를 포함한다. 여기서 연마 패드(100)의 표면은 웨이퍼가 접촉되는 연마패드부(110)의 표면을 지시한다.

연마기(200)는 웨이퍼를 연마패드부(110)에 밀착시켜 웨이퍼를 지지하는 연마헤드(210)와, 웨이퍼가 연마패드부(110)에 밀착된 상태에서 회전되도록 인가되는 전원에 의해 연마헤드(210)를 회전시키는 헤드구동부(230)를 포함한다.

그러면, 연마패드부(110)와 웨이퍼 사이에 연마제와 슬러리가 주입됨으로써, 연마기(200)에 의해 회전되는 웨이퍼의 표면을 평탄화할 수 있다.

이때, 연마 패드(100)에는 웨이퍼에서 탈락된 이물질, 웨이퍼 평탄화에 사용되고 연마패드부(110)에 공급되는 연마제와 슬러리 등이 연마 패드(100)의 표면에 축적된다.

패드 컨디셔너(300)는 연마 패드(100)의 표면을 컨디셔닝한다.

특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너(300)는 연마 패드(100)에 축적된 이물질 또는 연마제와 슬러리 등을 포함하는 잔류물을 연마 패드(100)에서 탈락시킴과 동시에 탈락된 잔류물을 흡입 배출시킴으로써, 연마 패드(100)에서 잔류물을 제거할 수 있다.

잔류물에는 패드 컨디셔너(300)가 연마 패드(100)의 표면을 컨디셔닝함에 따라 연마 패드(100)가 절삭되어 분리된 절삭물이 포함된다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너를 도시한 분해도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너를 도시한 단면사시도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너에서 디스크부를 도시한 분해사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너에서 감압유닛의 변형예를 도시한 단면도이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너에서 디스크부의 변형예를 도시한 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너에서 디스크부의 변형예가 적용된 상태를 도시한 단면도이다.

도 3 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너(300)는 디스크부(310)와, 고정척부(320)와, 회전유닛(330)과, 감압유닛(340)과, 가압유닛(350)을 포함한다.

디스크부(310)는 연마 패드(100)의 표면을 컨디셔닝하고, 컨디셔닝할 때, 발생되는 잔류물이 통과되는 관통부가 관통 형성된다.

디스크부(310)는 연마 패드(110)의 표면을 컨디셔닝하고, 컨디셔닝할 때 발생되는 잔류물이 통과되는 관통부가 관통 형성된다.

디스크부(310)는 판부(311)와, 연마부(313)를 포함한다.

판부(311)는 고정척부(320)에 결합되고, 연마부(313)는 판부(311)에 돌출 형성되고, 연마 패드(100)의 표면을 컨디셔닝한다.

관통부는 판부(311)에 관통 형성되는 관통홀부(312)와, 연마부(313)에 관통 형성되는 연통홀부(314)를 포함할 수 있다.

여기서, 판부(311)에는 컨디셔닝할 때 발생되는 잔류물이 통과되도록 관통홀부(312)가 관통 형성되고, 연마부(313)에는 관통홀부(312)와 연통되도록 연통홀부(314)가 관통 형성된다.

이때, 관통홀부(312)는 슬릿 형상으로 관통 형성될 수 있다. 또한, 도시되지 않았지만, 관통홀부(312)는 복수 개가 상호 이격되는 구멍 형상으로 관통 형성될 수 있다.

더불어 연통홀부(314)도 슬릿 형상 또는 구멍 형상으로 관통 형성될 수 있다.

관통홀부(312)와 연통홀부(314)는 잔류물이 통과할 때, 잔류물이 간섭되지 않도록 한다.

일예로, 판부(311)는 원판 형상으로 이루어지고, 판부(311)에는 슬릿 형상으로 관통된 관통홀부(312)가 방사형으로 배치될 수 있고, 연마부(313)에는 슬릿 형상으로 관통된 연통홀부(314)가 방사형으로 배치될 수 있다.

여기서, 슬릿 형상의 관통홀부(312)와 연통홀부(314)는 호 형상으로 이루어질 수 있다. 또한, 슬릿 형상의 관통홀부(312)와 연통홀부(314)는 직선 형상으로 이루어질 수 있다. 또한, 슬릿 형상의 관통홀부(312)와 연통홀부(314)는 거미줄 형상으로 이루어질 수 있다.

이와 같이 관통홀부(312)와 연통홀부(314)의 배치 형상은 공지된 다양한 형태로 변형될 수 있다.

연마부(313)는 판부(311)에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다. 연마부(313)는 공지된 자성체를 이용하여 판부(311)에 탈부착될 수 있고, 공지된 후크 결합 또는 나사 결합을 이용하여 판부(311)에 탈부착될 수 있다.

연마부(313)는 제1연마부(313-1)와 제2연마부(313-2)로 구분할 수 있다.

제1연마부(313-1)는 연마 패드(100)의 표면을 절삭해 연마 패드(100)의 표면을 균일하게 한다. 제1연마부(313-1)에는 절삭 입자(313-3)가 구비되어 연마 패드(100)의 표면을 절삭할 수 있다.

제2연마부(313-2)는 연마 패드(100)의 표면에 축적된 잔류물을 연마 패드(100)에서 탈락시킨다. 제2연마부(313-2)에는 브러쉬(313-4)가 구비되어 잔류물을 연마 패드(100)에서 탈락시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시예에서 제1연마부(313-1)와 제2연마부(313-2)는 교대로 배치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 연마부(313)는 제1연마부(313-1)와 제2연마부 중 어느 하나로 구성될 수 있다.

고정척부(320)는 디스크부(310)가 밀착되고, 관통홀부(312)와 연결되는 감압부가 구비된다.

감압부는 디스크부(310)가 고정척부(320)에 밀착될 때, 고정척부(320)와 디스크부(310) 사이에 이격 형성되는 감압공간부(322)와, 감압공간부(322)와 감압유닛(340)을 연결시키는 감압유로부(324)를 포함할 수 있다.

이에 따라 고정척부(320)는 디스크부(310)와 결합되고, 감압공간부(322)를 형성하는 고정판부(321)와, 고정판부(321)에서 돌출 형성되어 회전유닛(330)과 가압유닛(350)에 삽입되고, 감압공간부(322)와 연통되는 감압유로(324)가 형성되는 고정축부(323)를 포함할 수 있다.

여기서, 고정축부(323)와 고정판부(321) 사이를 밀폐할 수 있도록 기밀링(10)이 구비될 수 있다.

또한, 상호 분리된 고정판부(321)와 고정축부(323) 사이를 밀폐할 수 있도록 기밀링(10)이 구비될 수 있다.

또한, 고정축부(323)와 회전유닛(330)의 회전실린더부(335) 사이를 밀폐할 수 있도록 기밀링(10)이 구비될 수 있다.

또한, 고정축부(323)와 가압유닛(350)의 전달바디부(351) 사이를 밀폐할 수 있도록 기밀링(10)이 구비될 수 있다.

고정척부(320)는 피스톤부(325)를 더 포함할 수 있다.

피스톤부(325)는 고정판부(321)와 고정축부(323) 중 적어도 어느 하나에 결합되고, 회전유닛(330)에 승강 가능하게 결합된다.

피스톤부(325)에는 고정축부(323)가 끼움 결합된다. 피스톤부(325)에는 제1가이드부(325-1)와 제2가이드부(325-2) 중 적어도 제1가이드부(325-1)가 포함될 수 있다.

제1가이드부(325-1)는 고정축부(323)의 승강에 따라 가압유닛(350)의 이동 경로를 형성한다. 좀더 자세하게, 제1가이드부(325-1)는 전달바디부(351)의 제1안내부(351-1)의 이동 경로를 형성한다. 제1가이드부(325-1)의 형성에 따라 고정척부(320)의 승강 이동을 원활하게 하고, 고정척부(320)의 요동을 방지할 수 있다.

제2가이드부(325-2)는 제1가이드부(325-1)와 연결되어 가압유닛(350)의 이동 경로를 형성한다. 좀더 자세하게, 제2가이드부(325-2)는 전달바디부(351)의 제2안내부(351-2)의 이동 경로를 형성한다. 제2가이드부(325-2)의 형성에 따라 고정척부(320)의 회전 이동을 원활하게 하고, 회전유닛(330)의 회전력이 안정되게 디스크부(310)에 전달될 수 있다.

회전유닛(330)은 디스크부(310)가 회전되도록 고정척부(320)를 회전시킨다.

회전유닛(330)은 회전력을 발생시키는 회전구동부(331)와, 회전력에 의해 고정척부(320)를 회전시키는 회전실린더부(335)를 포함할 수 있다.

회전구동부(331)에는 회전력을 조절하는 회전감속부(332)가 구비될 수 있다.

여기서, 회전구동부(331)는 고정브라켓부(334)를 매개로 바디유닛(360)의 베이스부(361)에 결합될 수 있다. 고정브라켓부(334)는 회전구동부(331)와 바디유닛(360)의 베이스부(361)에 결합되어 회전구동부(331)를 바디유닛(360)에 탈부착 가능하게 결합시킬 수 있다.

회전실린더부(335)에는 고정척부(320)의 피스톤부(325)와 가압유닛(350)의 전달바디부(351)가 삽입되는 승강공간부(336)가 형성될 수 있다. 특히, 승강공간부(336)는 고정척부(320)의 피스톤부(325)가 승강 이동되는 양을 제한할 수 있다.

이때, 승강공간부(336)에 삽입되는 피스톤부(325)와 회전실린더부(335) 사이에는 기밀링(10)이 개재되어 승강공간부(336)를 밀폐시킬 수 있다. 이때, 기밀링(10)은 피스톤부(325)의 승강 이동에 간섭되지 않도록 한다.

또한, 승강공간부(336)에 삽입되는 피스톤부(325)와 회전실린더부(335) 사이에는 피스톤링(20)이 개재되어 피스톤부(325)와 회전실린더부(335)의 내벽 사이에서 기밀을 유지하고 승강공간부(336) 내부로 유입되는 잔류물을 긁어내어 피스톤부(325)와 전달바디부(351) 사이로 잔류물이 유입되는 것을 억제 또는 방지할 수 있다.

회전실린더부(335)와 바디유닛(360)(베이스부(361)와 베이스지지부(362) 중 적어도 어느 하나) 사이에는 베어링(30)이 개재되어 회전실린더부(335)의 회전을 원활하게 하고, 회전실린더부(335)가 바디유닛(360)에 안정하게 지지될 수 있도록 한다.

이때, 회전유닛(330)은 회전실린더부(335)에 결합된 베어링(30)을 지지하도록 회전실린더부(335)에 탈부착 가능하게 결합되는 지지브라켓부(337)가 구비될 수 있다.

또한, 회전실린더부(335)는 제1지지부(361-1)와 제2지지부(362-2)를 통해 바디유닛(360)에 회전 가능하게 결합시킬 수 있다.

그리고, 회전유닛(330)은 회전구동부(331)의 회전력을 회전실린더부(335)에 전달하는 동력전달부(333)를 더 포함할 수 있다.

동력전달부(333)는 기어들의 치합 또는 기어와 체인의 결합 또는 풀리와 밸트의 결합 등과 같은 동력전달 메카니즘을 구성할 수 있다. 동력전달부(333)의 주동절은 회전구동부(331)에 결합되고, 동력전달부(333)의 종동절은 회전실린버부(335)에 결합되어 회전구동부(331)의 회전력을 고정척부(320)에 전달하게 된다.

이때, 회전전달부(345)에는 양단이 각각 고정척(330)의 고정축부(333)와 회전전달부(345)의 종동절에 결합되는 전달축부(349)가 포함된다.

그러면, 회전유닛(330)이 컨디셔닝 디스크(310)를 회전시킴에 따라 연마 패드(100)의 표면을 컨디셔닝할 수 있다.

감압유닛(340)은 잔류물이 관통부로 흡입되도록 감압부를 감압시킨다.

감압유닛(340)은 가압유닛(350)에 결합된다.

감압유닛(340)은 감압블럭부(341)와, 감압구동부(343)와, 감압라인부(344)를 포함할 수 있다.

감압블럭부(341)는 감압부 중 감압유로부(324)가 노출되도록 고정척부(320) 중 고정축부(323)에 구비된다. 이때, 감압블럭부(341)와 고정축부(323) 사이를 밀폐할 수 있도록 기밀링(10)이 구비될 수 있다.

여기서, 감압블럭부(341)에는 고정축부(323)의 승강 이동 경로를 형성하는 배출공간부(341-1)가 형성될 수 있다. 또한, 감압블럭부(341)는 고정축부(323)에 결합되어 고정축부(323)와 함께 승강 이동될 수 있다.

감압구동부(343)는 감압부 중 감압유로부(324)와 연통되어 감압부를 감압시키는 흡입력을 발생시킨다.

감압라인부(344)는 감압블럭부(341)에 노출된 감압부와 감압구동부(343)를 연결한다. 감압라인부(344)는 흡입력에 의해 감압부를 거친 잔류물의 이동 경로를 형성한다.

여기서, 감압유닛(340)은 감압블럭부(341)와 감압라인부(344) 사이를 밀폐하도록 감압블럭부(341)와 감압라인부(344)를 연결하는 감압캡부(342)를 더 포함할 수 있다.

또한, 감압유닛(340)은 감압구동부(343)에 연결되어 잔류물을 배출시키는 배출라인부(345)를 더 포함할 수 있다.

또한, 감압유닛(340)은 감압라인부(344)를 통해 잔류물이 이동될 때, 감압라인부(344)의 감압 상태를 확인하기 위해 게이지(미도시)가 구비될 수 있다. 게이지(미도시)는 감압라인부(344)에서 분기되는 관에 연결됨으로써, 게이지(미도시)에서 감압라인부(344)의 감압 상태를 확인할 수 있다.

여기서, 감압구동부(343)는 분사부(346)와, 이젝터부(347)를 포함할 수 있다.

분사부(346)는 배출라인부(345)를 향해 압력을 갖는 유체를 공급한다.

이젝터부(347)는 분사부(346)와 감압라인부(344)와 배출유로부(345)가 연결된다. 이젝터부(347)는 분사부(346)를 통해 이송되는 유체에 의해 감압라인부(344)에서 이송되는 잔류물이 유입되고, 유입된 잔류물은 배출유로부(345)로 배출된다.

가압유닛(350)은 디스크부(310)를 승강시킨다.

가압유닛(350)은 전달바디부(351)와, 가압바디부(353)와, 가압구동부(357)를 포함할 수 있다.

전달바디부(351)는 회전유닛(330)에 결합된다. 전달바디부(351)에는 고정척부(320)의 고정축부(323)가 삽입 지지될 수 있다. 이때, 전달바디부(351)와 고정축부(323) 사이를 밀폐하도록 기밀링(10)이 구비될 수 있다.

전달바디부(351)에는 제1안내부(351-1)와 제2안내부(351-2) 중 적어도 제1안내부(351-1)가 구비될 수 있다.

제1안내부(351-1)는 전달바디부(351)에 구비되고, 고정척부(320)의 피스톤부(325)에 형성된 제1가이드부(325-1)와 끼움 결합될 수 있다. 제1안내부(351-1)와 제1가이드부(325-1)의 끼움 결합에 따라 고정척부(320)의 승강 이동을 원활하게 하고, 고정척부(320)의 요동을 방지할 수 있다.

제2안내부(351-2)는 제1안내부(351-1)에 구비되고, 고정척부(320)의 피스톤부(325)에 형성된 제2가이드부(325-2)와 끼움 결합될 수 있다. 제2안내부(351-2)와 제2가이드부(325-2)의 끼움 결합에 따라 고정척부(320)의 회전 이동을 원활하게 하고, 회전유닛(330)의 회전력이 안정되게 디스크부(310)에 전달될 수 있다.

가압바디부(353)는 전달바디부(351)를 회전 가능하게 지지한다. 가압바디부(353)는 바디유닛(360)의 베이스부(361) 또는 덮개부(363)에 결합된다. 이때, 전달바디부(351)와 가압바디부(353) 사이를 밀폐하도록 기밀링(10)이 구비될 수 있다.

전달바디부(351)와 가압바디부(353) 사이에는 베어링(30)이 개재되어 전달바디부(351)의 회전을 원활하게 하고, 전달바디부(351)가 가압바디부(353)에 안정하게 지지될 수 있도록 한다.

가압구동부(357)는 고정축부(320)가 승강되도록 전달바디부(351)와 가압바디부(353)를 거쳐 고정축부(320)에 흡입력 또는 가압력을 제공한다.

가압유닛(350)은 전달유로부(352)와 연결유로부(354)를 더 포함할 수 있다.

전달유로부(352)는 전달바디부(351)에 구비되어 흡입력 또는 가압력을 제공하기 위한 유체의 이동 경로를 형성한다.

연결유로부(354)는 가압바디부(353)에 구비되어 흡입력 또는 가압력을 제공하기 위한 유체의 이동 경로를 형성한다. 연결유로부(354)는 전달유로부(352)와 가압구동부(357)를 연결한다.

전달유로부(352)와 연결유로부(354)는 상호 연통되도록 하고, 전달바디부(351)의 회전이 유체의 이동에 간섭되지 않도록 한다. 이에 따라 전달유로부(352)와 연결유로부(354) 중 적어도 어느 하나는 전달바디부(351)의 둘레를 따라 함몰 형성될 수 있다.

가압유닛(350)은 연결라인부(356)와, 연결캡부(355)와, 안내브라켓부(358) 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.

연결라인부(356)는 가압바디부(353)에 구비되는 연결유로부(354)와 가압구동부(357)를 연결하고, 흡입력 또는 가압력을 제공하기 위한 유체의 이동 경로를 형성한다.

연결캡부(355)는 가압바디부(357)와 연결라인부(356) 사이를 밀폐하도록 가압바디부(357)와 연결라인부(356)를 연결한다.

안내브라켓부(358)는 가압바디부(353)에 결합된 베어링(30)을 지지하도록 가압바디부(353)에 탈부착 가능하게 결합된다.

안내브라켓부(358)는 감압유닛(340)의 감압블럭부(341)를 지지할 수 있다. 안내브라켓부(358)는 감압블럭부(341)를 결합시키기도 하고, 감압블럭부(341)를 회전 가능하게 지지하기도 하며, 감압블럭부(341)를 승강 가능하게 지지하기도 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너(300)는 바디유닛(360)을 더 포함할 수 있다.

바디유닛(360)은 회전유닛(330)과 감압유닛(340)과 가압유닛(350) 중 적어도 회전유닛(330)을 지지한다.

바디유닛(360)은 회전유닛(330)과 감압유닛(340)과 가압유닛(350) 중 적어도 회전유닛(350)을 지지하는 베이스부(361)와, 베이스부(361)에 결합되는 덮개부(363)와, 베이스부(361)와 덮개부(363) 중 적어도 어느 하나에 구비되어 회전유닛(330)과 감압유닛(340)과 가압유닛(350)이 수용되는 지지공간부(365)를 포함할 수 있다.

베이스부(361)와 덮개부(363) 사이를 밀폐할 수 있도록 기밀링(10)이 구비될 수 있다.

여기서, 베이스부(361)에는 회전유닛(330) 중 회전실린더부(335)의 안정적인 지지를 위해 베이스지지부(362)가 결합될 수 있다. 베이스부(361)와 베이스지지부(362) 사이를 밀폐할 수 있도록 기밀링(10)이 구비될 수 있다.

이때, 베이스부(361)에는 회전실린더부(335)의 일측을 지지하는 제1지지부(361-1)가 구비되고, 베이스지지부(362)에는 회전실린더부(335)의 타측을 지지하는 제2지지부(362-2)가 구비될 수 있다.

제1지지부(361-1)와 제2지지부(362-2)는 회전실린더부(335)에 결합되는 베어링(30)을 안정되게 파지할 수 있다.

특히, 제2지지부(362-2)는 베이스지지부(362)에서 회전실린더부(335)의 내측 반경 방향으로 연장되는 제1연장부(362a)와, 제1연장부(362a)에서 회전실린더부(335)의 축 방향으로 연장되는 제2연장부(362b)를 포함할 수 있다. 제2연장부(362b)는 회전 가능한 회전실린더부(335)에 삽입될 수 있다.

이에 따라, 제1연장부(362a)와 제2연장부(362b)에 의해 잔류물이 침투되는 경로를 최대화하여 이물질이 바디유닛(360)의 지지공간부(365)로 침투되는 것을 억제 또는 방지할 수 있다.

또한, 덮개부(363)에는 회전유닛(330)의 회전구동부(331)와 감압유닛(340)의 감압블럭부(341) 중 적어도 어느 하나의 설치 공간을 확보하기 위해 덮개확장부(364)가 결합될 수 있다.

덮개부(363)와 덮개확장부(364) 사이를 밀폐할 수 있도록 기밀링(10)이 구비될 수 있다.

덮개확장부(364)의 구성에 따라 바디유닛(360)의 크기를 컴팩트(compact)하게 할 수 있고, 지지공간부(365)에 수용되는 회전유닛(330)과 감압유닛(340)과 가압유닛(350)을 보호할 수 있다.

지지공간부(365)에는 감압유닛(340)의 감압라인부(344)와 가압유닛(350)의 연결라인부(356)가 수용될 수 있다. 이에 따라 감압유닛(340)과 가압유닛(350)의 동작을 위해 배관되는 감압라인부(344)와 연결라인부(356)가 노출되는 것을 방지할 수 있고, 패드 컨디셔너(300)의 동작에 따라 감압라인부(344)와 연결라인부(356)의 간섭을 방지할 수 있다.

바디유닛(360)은 피벗축부(367)와, 피벗구동부(369)를 더 포함할 수 있다.

피벗축부(367)는 베이스부(361)에 결합되고, 피벗구동부(369)는 피벗축부(367)에 결합되어 베이스부(361)를 피벗 운동시킨다. 피벗구동부(369)는 피벗축부(367)를 중심으로 베이스부(361)를 정역 회전시킴으로써, 연마패드부(110)의 컨디셔닝을 용이하게 할 수 있다.

여기서, 피벗축부(367)에는 지지공간부(365)에 수용되는 감압라인부(344)와 연결라인부(356)가 통과할 수 있는 관통라인부(미도시)가 형성될 수 있다. 일예로, 피벗축부(367)는 중공의 관 형상으로 이루어질 수 있다.

또한, 피벗구동부(369)에는 정역 회전에 따른 회전력을 조절하는 피벗감속부(369-1)가 구비될 수 있다.

관통라인부(미도시)가 형성된 피벗축부(367)의 구성에 따라 감압유닛(340)의 감압구동부(343)와 가압유닛(350)의 가압구동부(357)를 바디유닛(360) 외측에 결합시켜 피벗 운동되는 베이스부(361)의 무게를 감소시키고, 베이스부(361)의 피벗 운동을 용이하게 할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너(300)는 이물방지부(370)를 더 포함할 수 있다.

이물방지부(370)는 회전 동작 또는 승강 동작에 따라 상호 결합되는 두 구성 사이를 폐쇄시킴으로써, 잔류물이 침투하는 것을 억제 또는 방지할 수 있다.

이물방지부(370)는 제1이물방지부(371)와 제2이물방지부(372) 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.

제1이물방지부(371)는 회전유닛(330)의 회전실린더부(335)와 고정척부(320)의 피스톤부(325) 사이를 폐쇄시킬 수 있다. 제1이물방지부(371)는 일측이 고정판부(321)에 설치되고, 타측이 회전실린더부(335)에 설치될 수 있다. 제1이물방지부(371)는 고정척부(320)의 승강 이동에 대응하여 신축 가능한 재질로 이루어진다.

제2이물방지부(372)는 회전유닛(330)의 회전실린더부(335)와 바디유닛(360)의 베이스지지부(362) 사이를 폐쇄시킬 수 있다. 제2이물방지부(372)는 회전실린더부(335)의 삽입을 위해 개구된 베이스지지부(362)를 폐쇄시킬 수 있다. 제2이물방지부(362)는 회전실린더부(335)에 결합되어 회전실린더부(335)의 회전에 의해 회전되고, 제2이물방지부(372)의 회전이 베이스지지부(362)에 간섭되지 않는다.

본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너(300)는 확산방지부(380)를 더 포함할 수 있다.

확산방지부(380)는 잔류물이 흡입되도록 디스크부(310)의 가장자리에 구비되고, 감압부와 연통된다. 확산방지부(380)는 디스크부(310)와 연마패드부(110) 사이에서 발생되는 잔류물이 디스크부(310)에서 벗어나는 것을 방지할 수 있도록 디스크부(310)의 가장자리에서 감압유닛(340)의 동작에 따라 잔류물을 흡입한다.

확산방지부(380)는 제1확산방지홀부(381)와 제2확산방지홀부(382) 중 적어도 제1확산방지홀부(381)를 포함하고, 연결부(383)를 더 포함할 수 있다.

제1확산방지홀부(381)는 디스크부(310)의 가장자리에 관통 형성된다. 제1확산방지홀부(381)는 연마부(313)의 가장자리를 감싸도록 판부(311)에 관통 형성될 수 있다.

일예로, 제1확산방지홀부(381)는 감압공간부(322)와 연통될 수 있다.

다른 예로, 제1확산방지홀부(381)는 디스크부(310)의 가장자리와 고정척부(320)의 고정판부(321) 가장자리에 상호 연통되도록 관통 형성될 수 있다. 이때, 제2확산방지홀부(382)는 제1확산방지홀부(381)와 감압유로부(324)가 연통되도록 고정축부(320)의 피스톤부(325)와 고정축부(323)에 관통 형성될 수 있다.

그러면, 제1확산방지홀부(381)로 흡입되는 잔류물은 고정판부(321)와 제1이물방지부(371) 사이의 공간으로 이동되어 제2확산방지홀부(382)에 흡입될 수 있다.

연결부(383)는 제1확산방지홀부(381)와 제2확산방지홀부(382)를 상호 연결하여 잔류물의 이동 경로를 형성한다. 연결부(383)의 구성에 따라 잔류물의 이동을 용이하게 하고, 잔류물이 피스톤부(323)와 회전실린더부(335) 사이로 침투되는 것을 억제 또는 방지할 수 있다.

상술한 구성을 통해 디스크부(310)는 가압유닛(350)에 의해 연마패드부(110)에 밀착된 상태에서 회전유닛(340)에 의해 회전되면서 연마패드부(110)의 표면을 컨디셔닝하고, 여기서 발생되는 잔류물은 디스크부(310)와 연마 패드부(110) 사이에서 이탈되지 않고, 감압유닛(340)을 통해 제거된다.

특히, 감압유닛(340)을 통해 잔류물을 배출시킴으로써, 연마기(200)에서 웨이퍼와 같은 기판이 연마될 때, 잔류물에 의한 기판 표면의 스크래치(scratch)를 방지할 수 있다.

또한, 가압유닛(350)에 의해 디스크부(310)를 가압함으로써, 디스크부(110)와 연마패드부(110)의 밀착력을 향상시키고, 컨디셔닝되는 연마패드부(110)의 컨디셔닝 상태와 연마패드부(110)의 평탄도를 향상시킬 수 있다.

상술한 기밀링(10)은 싱글링(single ring) 또는 쿼드링(quad ring)으로 구성될 수 있고, 두 구성 사이를 밀폐시킬 수 있으며, 회전 이동 또는 승강 이동에 간섭되지 않도록 한다.

지금부터는 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너의 동작에 대하여 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너(300)는 고정판부(321)에 디스크부(310)가 탈부착 가능하게 결합되고, 고정축부(323)는 회전실린더부(335)를 통과하여 전달바디부(351)에 삽입됨은 물론 단부에 감압블럭부(341)가 결합된다.

피스톤부(325)는 고정축부(323)가 삽입된 상태에서 고정판부(321) 또는 고정축부(323)에 결합되고, 회전실린더부(335)의 승강공간부(336)에 승강 가능하게 삽입된다.

회전구동부(331)는 고정브라켓부(334)를 통해 베이스부(361)에 결합되고, 회전실린더부(335)는 제1지지부(361-1)와 제2지지부(362-2)에 의해 회전 가능하게 베이스부(361)와 베이스지지부(362)에 결합된다.

전달바디부(351)는 가압바디부(353)에 회전 가능하게 삽입 결합되고, 가압바디부(353)는 베이스부(361) 또는 덮개부(363)에 결합된다.

이때, 전달바디부(351)의 제1안내부(351-1)와 피스톤부(325)의 제1가이드부(325-1)는 상호 끼움 결합되고, 전달바디부(351)의 제2안내부(351-2)와 피스톤부(325)의 제2가이드부(325-2)는 상호 끼움 결합된다.

감압블럭부(341)는 가압유닛(350)의 안내브라켓부(358)에 회전 가능하거나 승강 가능하게 결합되기도 하고, 안내브라켓부(358)에 결합될 수 있다.

먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너(300)에서 디스크부(310)의 회전 동작에 대하여 설명한다.

디스크부(310)는 회전유닛(330)의 동작에 의해 회전된다.

회전구동부(331)에서 발생되는 회전력에 의해 회전실린더부(335)가 회전된다. 회전력은 회전감속부(332)와 동력전달부(333)에 의해 회전실린더부(335)에 전달될 수 있다. 또한, 회전실린더부(335)는 바디유닛(360)에 베어링(30)을 매개로 회전 가능하게 결합된다.

회전실린더부(335)가 회전되면, 회전실린더부(335)에 결합된 가압유닛(350)의 전달바디부(351)가 회전되고, 전달바디부(351)의 제1안내부(351-1)와 제2안내부(351-2)가 피스톤부(325)의 제1가이드부(325-1)와 제2가이드부(325-2)에 각각 끼움 결합됨에 따라 피스톤부(325)가 회전된다.

피스톤부(325)가 회전되면, 고정판부(321)와 고정축부(323)를 포함하는 고정척부(320)가 회전되고, 고정척부(320)에 결합된 디스크부(310)가 회전됨으로써, 디스크부(310)의 연마부(313)가 연마패드부(110)를 컨디셔닝할 수 있다.

다음으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너(300)에서 디스크부(310)에서의 감압 동작에 대하여 설명한다.

디스크부(310)에서는 관통부와 연통되는 감압유닛(340)의 동작에 의해 잔류물을 흡입한다.

감압구동부(343)에서 발생되는 흡입력에 의해 감압라인부(344)가 감압된다. 이에 따라 감압유닛(340)의 배출공간부(341-1)와 고정척부(320)의 감압유로부(324)와 감압공간부(322)가 감압된다.

그러면, 감압공간부(322)와 연통되는 관통부를 통해 잔류물이 흡입되고, 확산방지부(380)를 통해서도 잔류물이 흡입됨에 따라 잔류물은 감압라인부(344)를 거쳐 배출라인부(345)로 배출될 수 있다.

다음으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너(300)에서 디스크부(310)의 승강 동작에 대하여 설명한다.

디스크부(310)는 가압유닛(350)의 동작에 의해 승강된다.

가압구동부(357)에서 발생되는 흡입력에 의해 연결라인부(356)가 감압된다. 이에 따라 가압유닛(350)의 연결유로부(354)와 전달유로부(352)가 감압된다.

그러면, 전달바디부(351)와 피스톤부(325) 사이의 승강공간부(336)에 존재하는 유체가 전달유로부(352)로 흡입되므로 흡입된 유체가 연결라인부(354)를 통해 배출되면서 승강공간부(336)를 감압시킨다.

승강공간부(336)의 감압에 따라 승강공간부(336)에 승강 가능하게 삽입된 피스톤부(325)가 전달바디부(351) 측으로 이동되고, 피스톤부(325)에 결합된 고정판부(321)와 고정축부(323)를 포함하는 고정척부(320)가 이동되어 고정척부(320)에 결합된 디스크부(310)를 연마패드부(110)로부터 이격시킬 수 있다.

또한, 가압구동부(357)에서 발생되는 가압력에 의해 연결라인부(356)에 유체가 공급된다. 이에 따라 유체는 가압유닛(350)의 연결유로부(356)와 전달유로부(352)를 거쳐 승강공간부(336)에 전달된다.

승강공간부(336)에 공급되는 유체는 승강공간부(336)의 압력을 상승시킨다.

그러면, 압력 상승에 따른 가압력으로 승강공간부(336)에 승강 가능하게 삽입된 피스톤부(325)가 연마패드부(110) 측으로 이동되고, 피스톤부(325)에 결합된 고정판부(321)와 고정축부(323)를 포함하는 고정척부(320)가 이동되어 고정척부(320)에 결합된 디스크부(310)를 연마패드부(110)에 밀착시킬 수 있다.

디스크부(310)와 연마패드부(110)가 밀착됨으로써, 디스크부(310)의 연마부(313)가 연마패드부(110)를 컨디셔닝할 수 있다.

다음으로 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 컨디셔너(300)에서 디스크부(310)의 피벗 동작에 대하여 설명한다.

디스크부(310)는 바디유닛(360)의 피벗구동부(369) 동작에 의해 피벗 운동된다.

피벗구동부(369)의 정역 회전에 따라 피벗축부(367)는 피벗 운동되고, 피벗축부(367)에 결합된 베이스부(361)가 피벗 운동되며, 디스크부(310)가 연마패드부(110)의 상측에서 피벗 운동할 수 있다.

디스크부(310)와 연마패드부(110)의 밀착 상태에서 피벗 운동이 이루어지는 경우, 디스크부(310)의 연마부(313)가 연마패드부(110)를 컨디셔닝할 수 있다.

또한, 디스크부(310)와 연마패드부(110)가 이격된 상태에서 피벗 운동이 이루어지는 경우, 디스크부(310)의 연마부(313)를 교체하거나 패드 컨디셔너(300)를 유지 보수할 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.

100: 연마 패드 11: 연마패드부
130: 연마구동부 200: 연마기
210: 연마헤드부 230: 헤드구동부
300: 컨디셔너 310: 디스크부
311: 판부 312: 관통홀부
313: 연마부 314: 연통홀부
313-1: 제1연마부 313-2: 제2연마부
313-3: 절삭 입자 313-4: 브러쉬
320: 고정척부 321: 고정판부
322: 감압공간부 323: 고정축부
324: 감압유로부 325: 피스톤부
325-1: 제1가이드부 325-2: 제2가이드부
330: 회전유닛 331: 회전구동부
332: 회전감속부 333: 동력전달부
334: 고정브라켓부 335: 회전실린더부
336: 승강공간부 337: 지지브라켓부
340: 감압유닛 341: 감압블럭부
341-1: 배출공간부 342: 감압캡부
343: 감압구동부 344: 감압라인부
345: 배출라인부 346: 분사부
347: 이젝터부 350: 가압유닛
351: 전달바디부 351-1: 제1안내부
351-2: 제2안내부 352: 전달유로부
353: 가압바디부 354: 연결유로부
355: 연결캡부 356: 연결라인부
357: 가압구동부 358: 안내브라켓부
360: 바디유닛 361: 베이스부
361-1: 제1지지부 362: 베이스지지부
362-2: 제2지지부 362a: 제1연장부
362b: 제2연장부 363: 덮개부
364: 덮개확장부 365: 지지공간부
367: 피벗축부 369: 피벗구동부
369-1: 피벗감속부 370: 이물방지부
371: 제1이물방지부 372: 제2이물방지부
380: 확산방지부 381: 제1확산방지홀부
382: 제2확산방지홀부 383: 연결부
10: 기밀부 20: 피스톤링
30: 베어링

Claims

연마 패드의 표면을 컨디셔닝하고, 상기 컨디셔닝할 때 발생되는 잔류물이 통과되는 관통부가 관통 형성되는 디스크부;
상기 디스크부가 밀착되고, 상기 관통부와 연통되는 감압부가 구비되는 고정척부;
상기 디스크부가 회전되도록 상기 고정척부를 회전시키는 회전유닛;
상기 잔류물이 상기 관통부로 흡입되도록 상기 감압부를 감압시키는 감압유닛; 및
상기 디스크부를 승강시키는 가압유닛; 을 포함하고,
상기 가압유닛은,
상기 회전유닛에 결합되는 전달바디부;
상기 전달바디부를 회전 가능하게 지지하는 가압바디부; 및
상기 고정척부가 승강되도록 상기 전달바디부와 상기 가압바디부를 거쳐 상기 고정척부에 흡입력 또는 가압력을 제공하는 가압구동부; 를 포함하며,
상기 가압유닛은,
유체의 이동 경로를 형성하도록 상기 전달바디부에 구비되는 전달유로부; 및
상기 전달유로부와 상기 가압구동부가 연결되어 상기 유체의 이동 경로를 형성하도록 상기 가압바디부에 구비되는 연결유로부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제1항에 있어서,
상기 디스크부는,
상기 관통부 중 관통홀부가 관통 형성되는 판부; 및
상기 관통홀부와 연통되는 연통홀부가 관통 형성되도록 상기 판부에서 돌출 형성되고, 상기 연마 패드의 표면을 컨디셔닝하는 연마부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제2항에 있어서,
상기 연마부는 상기 판부에 탈부착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제1항에 있어서,
상기 고정척부는,
상기 디스크부와 결합되고, 상기 감압부 중 상기 관통부와 연통되는 감압공간부를 형성하는 고정판부; 및
상기 고정판부에서 돌출 형성되어 상기 회전유닛과 상기 가압유닛에 삽입되고, 상기 감압공간부와 연통되는 감압유로부를 형성하는 고정축부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제4항에 있어서,
상기 고정척부는,
상기 고정판부와 상기 고정축부 중 적어도 어느 하나에 결합되고, 상기 회전유닛에 승강 가능하게 결합되는 피스톤부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제5항에 있어서,
상기 피스톤부에는,
상기 고정축부의 승강에 따라 상기 가압유닛의 이동 경로를 형성하는 제1가이드부; 가 포함되는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제1항에 있어서,
상기 회전유닛은,
회전력을 발생시키는 회전구동부; 및
상기 회전력에 의해 상기 고정척부를 회전시키는 회전실린더부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제7항에 있어서,
상기 회전실린더부에는, 상기 고정척부가 승강 가능하게 삽입되는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제1항에 있어서,
상기 감압유닛은,
상기 감압부가 노출되도록 상기 고정척부에 구비되는 감압블럭부;
상기 감압부와 연통되어 흡입력을 발생시키는 감압구동부; 및
상기 감압블럭부에 노출된 상기 감압부와 상기 감압구동부를 연결하고, 흡입력에 의해 상기 감압부를 거친 상기 잔류물의 이동 경로를 형성하는 감압라인부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
삭제
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 회전유닛을 지지하는 바디유닛; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제11항에 있어서,
상기 바디유닛은,
상기 회전유닛과 상기 감압유닛과 상기 가압유닛 중 적어도 상기 회전유닛이 지지되는 베이스부;
상기 베이스부에 결합되는 덮개부; 및
상기 베이스부와 상기 덮개부 중 적어도 어느 하나에 구비되어 상기 회전유닛과 상기 감압유닛과 상기 가압유닛이 수용되는 지지공간부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제12항에 있어서,
상기 바디유닛은,
상기 베이스부에 결합되는 피벗축부; 및
상기 피벗축부를 피벗 운동시키는 피벗구동부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제11항에 있어서,
상기 고정척부와 상기 회전유닛 사이를 폐쇄하는 제1이물방지부와, 상기 바디유닛과 상기 회전유닛 사이를 폐쇄하는 제2이물방지부 중 적어도 어느 하나를 포함하는 이물방지부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 잔류물이 흡입되도록 상기 디스크부의 가장자리에 구비되고, 상기 감압부와 연통되는 확산방지부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.
제15항에 있어서,
상기 확산방지부는, 상기 디스크부의 가장자리에 관통 형성되는 제1확산방지홀부와 상기 제1확산방지홀부와 상기 감압부를 연통시키는 제2확산방지홀부 중 적어도 상기 제1확산방지홀부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔너.