KR101449412B1 - Dispensing Device Of UV Resin And Method Thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 UV 레진 도포 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 터치 패널 셀과 글라스를 진공 합착하여 터치 패널을 제조하는 방법에 있어서, 글라스 표면의 테두리부에 UV 댐을 토출하고 가경화시키고, 상기 UV 댐 내부에 UV 도트를 토출함으로써 UV 레진의 소비를 최소화하고, UV 경화시 접착력을 높일 수 있는 UV 레진 도포 장치 및 그 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus and a method for applying a UV resin, and more particularly, to a method of manufacturing a touch panel by vacuum-cementing a touch panel cell and a glass, comprising the steps of discharging a UV dam to the edge of a glass surface, A UV resin coating apparatus and method for minimizing the consumption of UV resin by discharging UV dots into the UV dam and increasing the adhesive force when UV curing is performed.

Description

유브이 레진 도포 장치 및 그 방법 {Dispensing Device Of UV Resin And Method Thereof}Dispensing Device of UV Resin And Method Thereof "

본 발명은 UV 레진 도포 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 터치 패널 셀과 글라스를 진공 합착하여 터치 패널을 제조하는 방법에 있어서, 글라스 표면의 테두리부에 UV 댐을 토출하고 가경화시키고, 상기 UV 댐 내부에 UV 도트를 토출함으로써 UV 레진의 소비를 최소화하고, UV 경화시 접착력을 높일 수 있는 UV 레진 도포 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to an apparatus and a method for applying a UV resin, and more particularly, to a method of manufacturing a touch panel by vacuum-cementing a touch panel cell and a glass, comprising the steps of discharging a UV dam to the edge of a glass surface, A UV resin coating apparatus and method for minimizing the consumption of UV resin by discharging UV dots into the UV dam and increasing the adhesive force when UV curing is performed.

터치 패널은 패널 상에 디스플레이된 표시를 가압함으로써 상기 표시에 대응되어 미리 정해진 정보를 입력하는 입력수단으로써 편리성으로 인해 모든 디스플레이 장치에 활발히 적용되고 있다.The touch panel is actively applied to all display devices as an input means for inputting predetermined information corresponding to the display by pressing the display displayed on the panel.

일반적으로 터치 패널은 정전용량 방식, 저항막 방식, 표면 초음파 방식, 적외선 방식 등에 의해 터치 패널에 가압된 부분의 좌표를 추출하고 정보를 입력하게 된다.In general, the touch panel extracts coordinates of a portion pressed on a touch panel by an electrostatic capacity method, a resistance film method, a surface ultrasonic method, an infrared method, or the like, and inputs information.

터치 패널은 패널 상에 손이나 전자펜 등이 접촉하여 좌표를 인식하는 방식이므로 패널 손상이 발생하기 쉬우므로 상기 터치 패널을 보호하기 위한 윈도우를 터치 패널 상에 합착하여 제조한다.Since the touch panel is a method in which a hand or an electronic pen or the like touches the panel to recognize coordinates, panel damage is apt to occur. Therefore, a window for protecting the touch panel is manufactured by attaching it on the touch panel.

종래의 터치 패널과 윈도우의 합착 방법은 광학적 접착제(OCA 테이프)를 이용하거나 UV 경화성 레진을 이용하는 방식이 이용되고 있다.Conventionally, a method of using an optical adhesive (OCA tape) or using a UV curable resin is used as a method of attaching the touch panel and the window.

상기 광학적 접착제를 이용하는 방식은 접착제 자체 두께로 인해 패널의 전체 두께가 증가하고, 접착력이 떨어지는 문제가 있으므로 UV 레진을 이용한 UV 경화 방식이 많이 사용되고 있다.In the case of using the optical adhesive, the entire thickness of the panel increases due to the thickness of the adhesive itself, and there is a problem that the adhesive strength is lowered. Therefore, a UV curing method using UV resin is widely used.

그러나, 종래의 UV 레진 도포 방법은 글라스 전면에 UV 레진을 도포하여야 하므로 UV 레진의 소모가 증가하여 제조 단가가 상승하는 문제가 있었다.However, in the conventional method of applying UV resin, since the UV resin must be applied to the entire surface of the glass, there is a problem that the cost of UV resin increases and the manufacturing cost increases.

또한, 상기 UV 레진이 도포된 후 윈도우와 터치패널 셀의 합착 또는 경화를 위한 이송시 상기 도포된 UV 레진의 유동성에 의해 UV 레진이 흘러내리거나 UV 레진의 균일도가 떨어져서 불량률이 높아지는 문제가 있었다.
In addition, there is a problem that the UV resin flows down due to the flowability of the coated UV resin when the window and the touch panel cell are bonded or cured after the UV resin is applied, or the uniformity of the UV resin is decreased and the defect rate is increased.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로써 본 발명의 목적은 터치 패널 셀과 윈도우 합착을 위해 상기 윈도우 표면에 UV 레진을 도포시 테두리부에 UV 댐을 형성함과 동시에 가경화하고, 상기 UV 댐 내부에 UV 도트를 형성함으로써 UV 레진의 소모를 최소화하고, UV 경화시 접착력을 높일 수 있는 UV 레진 도포 장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.
It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a UV dam for a window panel, The present invention provides a UV resin application apparatus and method which can minimize the consumption of UV resin by forming UV dots in a dam and increase the adhesive force when UV curing is performed.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 UV 레진 도포 장치는 윈도우가 로딩되어 이동되는 스테이지와 윈도우 테두리 영역에 UV 댐을 토출하는 제 1 토출 유닛과 상기 윈도우에 토출된 UV 댐 내부에 UV 도트를 토출하는 제 2 토출 유닛 및 상기 제 1 토출 유닛과 제 2 토출 유닛의 동작을 제어하는 토출 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a UV resin coating apparatus according to the present invention comprises a first discharging unit for discharging a UV dam to a window frame region and a stage where a window is loaded and moved, and a UV discharging unit for discharging UV dots And a discharge control unit for controlling operations of the first discharge unit and the second discharge unit.

그리고 상기 제 2 토출 유닛은 상기 UV 댐 내부에 도트점, 도트 라인 및 도트면 중 선택된 어느 하나의 UV 도트를 토출하는 것을 특징으로 한다.And the second discharging unit discharges any one of UV dots selected from dot dots, dot lines and dot dots in the UV dam.

또한, 상기 스테이지에 로딩된 윈도우의 이동 및 반송을 위해 스테이지를 상하 방향으로 이동하는 스테이지 실린더와 윈도우 로딩 후 얼라인을 위해 윈도우를 푸시하는 얼라인 실린더와 상기 얼라인된 윈도우를 푸쉬하여 기판척에 고정하는 고정 실린더를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a stage cylinder for moving the stage in the up and down direction for moving and transporting the window loaded on the stage, an aligning cylinder for pushing the window for alignment after the window loading, and an alignment cylinder for pushing the aligned window, And a fixing cylinder for fixing the fixed cylinder.

그리고 제 3 위치(C)에서 UV 레진이 도포된 윈도우의 이송을 위해 그립하는 로봇 암을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.And a robot arm which grips for transferring the window coated with the UV resin at the third position (C).

또한, 상기 제 1 및 2 토출 유닛은 X축으로 이동을 가이드하는 X축 가이드부와 상기 X축 가이드부와 수직으로 연결되어 X축으로 이동하고, Y축 이동을 가이드하는 Y축 가이드부와 상기 Y축 가이드부와 연결되어 Y축으로 이동하며 UV 레진을 토출하는 노즐부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The first and second ejection units may include an X-axis guide unit for guiding movement in the X-axis direction, a Y-axis guide unit connected to the X-axis guide unit and connected to the X- And a nozzle part connected to the Y-axis guide part and moving in the Y-axis direction and discharging the UV resin.

그리고 상기 제 2 토출 유닛의 노즐부는 UV 도트점을 토출하는 점 노즐, UV 도트라인을 토출하는 멀티 노즐, UV 도트면을 토출하는 슬릿 노즐 중 선택된 하나의 노즐을 구비하는 것을 특징으로 한다.The nozzle unit of the second ejection unit may include a nozzle selected from among a point nozzle for ejecting a UV dot, a multi-nozzle for ejecting a UV dot, and a slit nozzle for ejecting a UV dot.

또한, 상기 제 1 토출 유닛의 노즐부는 UV 댐을 토출하는 토출 노즐과 상기 토출 노즐의 수직, 수평 방향에 배치된 4개의 UV 램프를 포함하는 것을 특징으로 한다.The nozzle unit of the first discharge unit may include a discharge nozzle for discharging the UV dam and four UV lamps arranged in the vertical and horizontal directions of the discharge nozzle.

그리고 상기 UV 램프는 상기 토출 노즐이 진행하는 방향의 전단에 배치된 UV 램프만이 턴온되어 가경화를 수행하는 것을 특징으로 한다.The UV lamp is characterized in that only the UV lamp disposed at the front end in the direction in which the discharge nozzle advances is turned on to carry out the hardening.

한편, 본 발명에 따른 UV레진 도포 방법은 윈도우 표면의 테두리 영역에 UV 댐을 토출하는 단계와 상기 토출된 UV 댐 내부에 UV 도트를 토출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Meanwhile, the method of applying UV resin according to the present invention includes a step of discharging a UV dam to an edge region of a window surface, and discharging UV dots into the discharged UV dam.

그리고 상기 UV 댐을 토출하는 단계는 제 1 토출 유닛의 토출 노즐이 윈도우 표면의 테두리 영역으로 이동하면서 UV 레진을 토출하여 UV 댐을 형성하는 단계와 상기 UV 댐 형성과 동시에 UV 램프에 의해 상기 UV 댐을 가경화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The step of discharging the UV dam may include the steps of discharging the UV resin while the discharge nozzle of the first discharging unit moves to the edge area of the window surface to form a UV dam, The method comprising the steps of:

또한, 상기 UV 댐을 가경화하는 단계는 상기 토출 노즐의 수직 및 수평 방향에 배치된 4개의 UV 램프가 형성되고, 상기 토출 노즐의 이동 방향의 전단에 배치된 UV 램프 만 턴온되어 UV 댐이 토출되자 마자 가경화하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step of hardening the UV dam may include forming four UV lamps arranged in the vertical and horizontal directions of the discharge nozzle, turning on only the UV lamp disposed in the preceding direction of the discharge nozzle moving direction, Characterized in that it is temporarily cured as soon as possible.

그리고 상기 UV 도트를 토출하는 단계는 제 2 토출 유닛의 토출 노즐이 점 노즐로 구성되어, 상기 UV 댐 내부를 이동하면서 설정된 간격마다 UV 도트를 토출하여 UV 도트점을 형성하는 것을 특징으로 한다.And discharging the UV dots is characterized in that the discharge nozzles of the second discharging unit are constituted by point nozzles, and UV dots are formed by discharging UV dots at predetermined intervals while moving inside the UV dams.

또한, 상기 UV 도트를 토출하는 단계는 제 2 토출 유닛의 토출 노즐이 멀티 노즐로 구성되어, 상기 UV 댐 내부를 이동하면서 UV 도트라인을 형성하는 것을 특징으로 한다.Further, in the step of ejecting the UV dots, the ejection nozzle of the second ejection unit is composed of a multi-nozzle, and forms a UV dot line while moving inside the UV dam.

그리고 상기 UV 도트를 토출하는 단계는 제 2 토출 유닛의 토출 노즐이 슬릿 노즐로 구성되어, 상기 UV 댐 내부를 이동하면서 UV 도트면을 형성하는 것을 특징으로 한다.
In the step of discharging the UV dots, the discharging nozzle of the second discharging unit is constituted by a slit nozzle, and forms a UV dot surface while moving inside the UV dam.

상기에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 UV 레진 도포 장치 및 그 방법은 윈도우 표면 테두리부에 UV 댐을 토출함과 동시에 가경화시키고, 상기 UV 댐 내부에 UV 도트를 토출함으로써 UV 레진의 소모를 최소화하면서 UV 경화시 접합력을 극대화할 수 있는 탁월한 효과가 발생한다.As described above, the UV resin coating apparatus and method according to the present invention minimize the consumption of UV resin by discharging UV dots into the UV dam while discharging the UV dam at the edge of the window surface, An excellent effect can be obtained in which the bonding force can be maximized during UV curing.

또한, 상기 UV 댐 형성시 가경화를 동시에 진행하여 UV 레진이 이송 중 흘러내리거나 이웃 영역으로 번져서 발생하는 불량을 제거하여 수율을 높일 수 있는 탁월한 효과가 발생한다.
In addition, when the UV dam is formed, it is possible to increase the yield by eliminating defects caused by simultaneous hardening of the UV resin and flowing down the UV resin during the transportation or spreading to the neighboring area.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 터치 패널 합착 스테이지를 개략적으로 도시한 배치도이고, 도 2는 도 1의 배치에 따른 합착 방법을 개략적으로 도시한 순서도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 UV 레진 도포 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성도이고, 도 4는 도 3의 스테이지 부분에 대한 단면도이다.
도 5는 일 실시예에 따른 윈도우 표면에 UV 레진을 도포하는 과정을 도시한 것으로, 도 5a는 UV 댐 형성과정을 도시한 것이고, 도 5b는 UV 도트 형성과정을 도시한 것이고, 도 5c는 UV 레진이 도포 완료된 것을 도시한 것이다.
도 6은 또 다른 실시예에 따른 UV 도트 라인 형성을 도시한 것이고, 도 7은 UV 도트면 형성을 도시한 것이고, 도 8은 UV 댐 없이 UV 도트면 형성후 가경화시키는 것을 도시한 것이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 공정 챔버를 개략적으로 도시한 것이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 공정챔버에서 터치패널 셀과 윈도우가 합착되는 과정을 개략적으로 도시한 것으로, 도 10은 터치패널 셀이 공정챔버에 로딩 및 얼라인되는 것을 도시한 것이고, 도 11은 윈도우가 로딩되어 얼라인 후 터치패널 셀과 합착되는 것을 도시한 것이다.
도 12는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 얼라인 과정을 도시한 것이다.
FIG. 1 is a layout diagram schematically showing a touch panel laminating stage according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a flowchart schematically showing a laminating method according to the arrangement of FIG.
Fig. 3 is a system structural view schematically showing a UV resin application apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, and Fig. 4 is a sectional view of the stage portion of Fig.
FIG. 5 shows a process of applying UV resin to a window surface according to an embodiment. FIG. 5A shows a UV dam forming process, FIG. 5B shows a UV dot forming process, Showing that the resin has been applied.
Figure 6 illustrates UV dot line formation in accordance with yet another embodiment, Figure 7 illustrates UV dot surface formation, and Figure 8 illustrates further UV curing after UV dot surface formation without UV dam.
Figure 9 schematically illustrates a process chamber in accordance with a preferred embodiment of the present invention.
10 and 11 schematically illustrate a process of attaching a touch panel cell and a window in a process chamber according to a preferred embodiment of the present invention. And FIG. 11 shows that the window is loaded and aligned and then joined together with the touch panel cell.
12 illustrates an alignment process according to a preferred embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 터치 패널 합착 스테이지를 개략적으로 도시한 배치도이고, 도 2는 도 1의 배치에 따른 합착 방법을 개략적으로 도시한 순서도이다.FIG. 1 is a layout diagram schematically showing a touch panel laminating stage according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a flowchart schematically showing a laminating method according to the arrangement of FIG.

도 1 및 2를 참조하여 본 발명에 따른 터치 패널 합착 방법에 대해 살펴보기로 한다. 1 and 2, a method of attaching a touch panel according to the present invention will be described.

여기서, 도 1에 표시된 스테이지의 각 부는 컨베이어 벨트를 통해 연결되거나, 반송 로봇을 통해 이송되는 방식 또는 컨베이어 벨트와 로봇 암이 조합되는 방식 등이 적용될 수 있다.Here, each part of the stage shown in Fig. 1 may be connected via a conveyor belt or conveyed through a conveying robot, or a combination of a conveyor belt and a robot arm may be applied.

먼저 , 터치패널 셀이 스테이지에 로딩되면 보호필름 제거부(110)에서 필러를 통해 터치패널 셀로부터 보호 필름을 제거한다. First, when the touch panel cell is loaded on the stage, the protective film removing unit 110 removes the protective film from the touch panel cell through the filler.

여기서, 상기 보호필름은 윈도우 표면을 보호하기 위한 수단으로 낮은 점착력에 의해 결합되어 있으므로 상기 점착력보다 큰 힘을 인가하여 상기 보호필름을 제거할 수 있다. 또한, 상기 보호필름은 인력에 의한 수작업에 의해 제거될 수 있다.Here, since the protective film is bonded by low adhesive force as a means for protecting the window surface, the protective film can be removed by applying a force larger than the adhesive force. In addition, the protective film can be removed by manual operation.

이어서 접착 표면적을 증가시켜 접착력을 증대하고, 터치패널 셀 상의 유기물을 제거하기 위해 플라즈마 처리부(120)를 통해 플라즈마 처리를 수행한다.Then, the bonding surface area is increased to increase the adhesive force, and plasma processing is performed through the plasma processing part 120 to remove organic substances on the touch panel cell.

상기 플라즈마 처리는 산소(O2), 질소(N2) 분위기에서 수행될 수 있으며, 구체적인 조건은 사양에 따라 달라질 수 있으며, 일반적으로 널리 공지된 기술이므로 구체적인 설명은 생략하기로 한다.The plasma treatment may be performed in an atmosphere of oxygen (O 2 ) or nitrogen (N 2 ), and the specific conditions may vary according to the specification, and are generally well-known technologies, and thus a detailed description thereof will be omitted.

그리고 상기 플라즈마 처리된 터치패널 셀이 챔버부(30)의 제 1 로드락 챔버(311)로 이송된다.Then, the plasma-processed touch panel cell is transferred to the first load lock chamber 311 of the chamber part 30. [

여기서, 상기 플라즈마 처리부(120)와 제 1 로드락 챔버(311) 사이에는 터치패널 셀을 180도 회전하는 로테이션부(130)를 더 포함할 수 있다.The plasma processing unit 120 may further include a rotation unit 130 for rotating the touch panel cell 180 degrees between the plasma processing unit 120 and the first load lock chamber 311.

상기 터치패널 셀은 합착시 상부에 위치하게 되고 터치패널 상면이 하부를 향하도록 배치되어야 하지만, 보호필름 제거부(110)에 최초 로딩된 터치패널 셀은 패널의 상면이 상부를 향하도록 로딩되므로 상면이 하부를 향하도록 로테이션시켜야 할 필요가 있으며 상기 로테이션부(130)에서는 회전장치 또는 로봇을 이용해 상기 터치패널 셀을 180도 로테이션시켜 제 1 로드락 챔버(311)로 이송시킨다.The touch panel cell is positioned at an upper portion of the touch panel and the upper surface of the touch panel is downward. However, since the touch panel cell initially loaded on the protective film removing unit 110 is loaded with the upper surface of the panel facing upward, And the rotation unit 130 rotates the touch panel cell 180 degrees by using a rotating device or a robot and transfers the rotation to the first load lock chamber 311. [

상기 제 1 로드락 챔버(311)는 터치패널 셀이 들어갈 수 있는 한 최대한 작게 형성될 수 있으며, 상기 제 1 로드락 챔버의 게이트가 개방된 상태에서 터치패널 셀이 로딩되고 게이트가 닫히면 펌핑을 통해 대기압 ~ 수 torr 사이의 압력이 작용하도록 제어될 수 있다. The first load lock chamber 311 may be formed as small as possible as long as the touch panel cell can be inserted. When the gate of the first load lock chamber is opened and the gate of the touch panel cell is closed, The pressure between atmospheric pressure and several torr can be controlled to act.

한편, 윈도우가 스테이지에 로딩되면 윈도우 상에 보호필름이 부착된 경우 보호필름 제거부(210)에서 필러를 통해 윈도우로부터 보호필름이 제거된다.On the other hand, when the window is loaded on the stage, if the protective film is attached on the window, the protective film is removed from the window through the filler in the protective film removing unit 210.

이어서 접착 표면적을 증가시켜 접착력을 증대하고, 윈도우 상의 유기물을 제거하기 위해 플라즈마 처리부(220)를 통해 플라즈마 처리를 수행한다.Then, the plasma processing is performed through the plasma processing unit 220 to increase the adhesive surface area to increase the adhesive force and to remove organic substances on the window.

상기 플라즈마 처리 후 UV 레진 도포 장치(50)에 이송되어 윈도우 표면에 UV 레진을 도포한다.After the plasma treatment, it is transferred to the UV resin application device 50 to apply UV resin to the window surface.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 UV 레진 도포 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성도이고, 도 4는 도 3의 스테이지 부분에 대한 단면도이다.Fig. 3 is a system structural view schematically showing a UV resin application apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, and Fig. 4 is a sectional view of the stage portion of Fig.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 UV 레진 도포 장치(50)는 윈도우가 로딩되어 이동되는 스테이지(510)와 UV 댐을 토출하는 제 1 토출 유닛(520)과 상기 UV 댐 내부에 UV 도트를 토출하는 제 2 토출 유닛(530) 및 상기 제 1 토출 유닛과 제 2 토출 유닛의 동작을 제어하는 토출 제어부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.3 and 4, a UV resin coating apparatus 50 according to a preferred embodiment of the present invention includes a stage 510 in which a window is loaded and moved, a first discharging unit 520 discharging a UV dam, A second ejection unit 530 for ejecting UV dots into the UV dam, and a discharge control unit (not shown) for controlling the operations of the first ejection unit and the second ejection unit.

그리고 상기 스테이지에 로딩된 윈도우의 이동 및 반송을 위해 스테이지를 상하 방향으로 이동하는 스테이지 실린더(540)와 윈도우 로딩후 얼라인을 위해 윈도우를 푸시하는 얼라인 실린더(550)와 상기 얼라인된 윈도우를 푸쉬하여 기판척에 고정하는 고정 실린더(560) 및 상기 상기 UV 레진이 도포된 윈도우 반송을 위한 로봇암(570)을 더 포함하여 구성될 수 있다.A stage cylinder 540 for vertically moving the stage for moving and transporting the window loaded on the stage, an aligning cylinder 550 for pushing the window for alignment after window loading, A fixing cylinder 560 for pushing and fixing to the substrate chuck, and a robot arm 570 for transporting the window coated with the UV resin.

상기 스테이지(510)는 전후 이동이 가능한 컨베이어 벨트로 구성될 수 있다.The stage 510 may be configured as a conveyor belt capable of moving back and forth.

그리고 상기 제 1 토출 유닛(520)과 제 2 토출 유닛(530)은 각각 X축으로 이동을 가이드하는 X축 가이드부(521,521)와 상기 X축 가이드부와 수직으로 연결되어 X축으로 이동하고 Y축 이동을 가이드하는 Y축 가이드부(522,532)와 상기 Y축 가이드부와 연결되어 Y축으로 이동하는 노즐부(523,533)를 포함하여 구성될 수 있다.The first discharging unit 520 and the second discharging unit 530 are respectively connected to the X-axis guide portions 521 and 521 for guiding movement in the X-axis direction and the Y- Axis guide portions 522 and 532 for guiding axial movement, and nozzle portions 523 and 533 connected to the Y-axis guide portion and moving in the Y-axis direction.

상기 X축 가이드부(521,531)와 Y축 가이드부(522,532) 사이에는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 Y축 가이드부(522,532)의 X축 수평 이동 방향을 안내하는 안내 수단이 구비되는 것이 바람직하다. 전술한 바와 같이, 상기 Y축 가이드부(522,532)는 구동 모터(미도시)의 구동력에 의해 수평이동함에 따라 동일하게 X축 방향으로 수평이동한다. 3, guide means for guiding the X-axis horizontal movement direction of the Y-axis guide portions 522 and 532 are provided between the X-axis guide portions 521 and 531 and the Y-axis guide portions 522 and 532 desirable. As described above, the Y-axis guide portions 522 and 532 horizontally move in the X-axis direction in the same manner as they horizontally move by the driving force of a driving motor (not shown).

또한, Y축 가이드부(522,532)와 노즐부(523,533) 사이에도 X축 가이드부(521,531)와 Y축 가이드부(522,532) 사이에 형성되는 안내 수단과 동일한 방식에 의한 안내 수단이 포함될 수 있다.Guide means may also be provided between the Y axis guide portions 522 and 532 and the nozzle portions 523 and 533 in the same manner as guide means formed between the X axis guide portions 521 and 531 and the Y axis guide portions 522 and 532.

상기 안내 수단은 리니어 가이드와 같이 직선 운동을 정확하게 안내할 수 있는 구조이면 충분하고 다양하게 변형될 수 있다.The guiding means may be modified in various ways as long as it has a structure capable of accurately guiding a linear motion like a linear guide.

여기서, X축은 수평 방향의 이동을 의미하고, Y축은 수직 방향의 이동을 의미하는 것으로 정의하기로 한다. Here, the X-axis means movement in the horizontal direction, and the Y-axis means the movement in the vertical direction.

상기 제 1 토출 유닛의 노즐부는 도 5a와 같이 UV 레진을 토출하는 토출 노즐(523a)과 상기 토출 노즐의 수직 및 수평 방향에 배치된 4개의 UV 램프(523b)를 포함하여 구성될 수 있다.The nozzle unit of the first discharge unit may include a discharge nozzle 523a for discharging the UV resin and four UV lamps 523b arranged in the vertical and horizontal directions of the discharge nozzle, as shown in FIG. 5A.

상기 UV 램프는 토출 노즐이 진행하는 방향에 전단에 위치한 UV 램프가 턴온되어 UV 댐 토출후 가경화가 함께 진행되고, 상기 토출 노즐의 방향이 바뀌면 기존의 UV 램프는 턴오프되고 토출 노즐이 진행하는 방향 전단에 위치한 UV 램프가 턴온되는 방식으로 가경화가 진행된다.When the direction of the discharge nozzle is changed, the conventional UV lamp is turned off and the direction in which the discharge nozzle advances The UV lamp located at the front end is turned on, so that the hardening progresses.

상기 UV 레진은 댐에는 높은 접착력이 요구되므로 고점도용 UV 레진이 사용될 수 있으며, 도트에는 저점도용 UV 레진이 사용될 수 있다.Since the UV resin requires high adhesion to the dam, a UV resin for high viscosity can be used, and a UV resin for low viscosity can be used for the dot.

상기 UV 레진이 경화되지 않은 상태에서 윈도우가 이송될 경우 UV 레진이 주변으로 흘러서 UV 레진의 균일도에 영향을 미칠 수 있으므로 UV 레진 도포후 전체 접착력의 10 ~ 30% 정도로 가경화하는 것이 바람직하다.When the window is transported in a state where the UV resin is not cured, it is preferable that the UV resin is flowed to the periphery to affect the uniformity of the UV resin, and therefore it is desirable to reduce the adhesive strength to about 10 to 30% of the total adhesive force after application of the UV resin.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 UV 레진 도포 방법에 대해 살펴보기로 한다.Hereinafter, a UV resin application method according to a preferred embodiment of the present invention will be described.

먼저 윈도우가 스테이지(510)의 제 1 위치(A)에 로딩되고, 스테이지 실린더(540)가 상승하고, 얼라인 실린더(550)가 윈도우를 고정한다.First, the window is loaded at the first position A of the stage 510, the stage cylinder 540 is elevated, and the aligned cylinder 550 fixes the window.

보다 구체적으로, 스테이지 실린더(540)가 하강한 상태에서 윈도우가 로봇 d암에 의해 제 1 위치(A) 상에 위치하고, 상기 스테이지 실린더(540)가 상승하여 윈도우가 제 1 위치(A)에 로딩된다. 이어서, 얼라인 실린더(550)를 통해 윈도우의 위치를 정렬하고, 고정 실린더(560)를 푸시하여 상기 윈도우를 기판척(511)에 고정한다.More specifically, in a state in which the stage cylinder 540 is lowered, the window is positioned on the first position A by the robot d arm, the stage cylinder 540 is moved upward, and the window is loaded in the first position A do. Next, the position of the window is aligned through the aligning cylinder 550, and the fixing cylinder 560 is pushed to fix the window to the substrate chuck 511.

상기 기판척(511)과 고정 실린더(560)는 스테이지의 컨베이어 벨트의 이동에 따라 연동되어 이동하게 된다.The substrate chuck 511 and the fixed cylinder 560 are moved in conjunction with movement of the conveyor belt of the stage.

이어서, 스테이지(510) 상의 윈도우가 UV 레진 도포를 위해 제 2 위치(B)로 이동한다. The window on the stage 510 then moves to the second position B for UV resin application.

도 5는 윈도우 표면에 UV 레진을 도포하는 과정을 도시한 것으로, 도 5a는 UV 댐 형성과정을 도시한 것이고, 도 5b는 UV 도트 형성과정을 도시한 것이고, 도 5c는 UV 레진이 도포 완료된 것을 도시한 것이다.FIG. 5 shows a process of applying UV resin on the window surface, FIG. 5A shows a process of forming a UV dam, FIG. 5B shows a process of forming a UV dot, FIG. 5C shows a process in which a UV resin is applied Respectively.

도 5를 참조하면, 제 1 토출 유닛(520)의 변위 센서가 기준점을 추출하여 기준점에 정렬하여토출 제어부의 제어에 따라 이동하면서 윈도우 테두리 영역에 UV 댐을 토출한다.5, the displacement sensor of the first discharge unit 520 extracts a reference point, aligns the reference point with the reference point, and discharges the UV dam to the window border area while moving according to the control of the discharge control unit.

여기서, 상기 제 1 토출 유닛의 토출 노즐(523a)은 윈도우의 테두리부를 따라 기준점 위치로 도착할 때까지 직선이동하며 UV 레진을 토출하게 된다. 여기서, 상기 UV 레진 노즐은 멀티 노즐로 구성될 수 있으며 상기 노즐의 수는 UV 댐의 크기에 따라 결정될 수 있다.Here, the discharge nozzle 523a of the first discharging unit linearly moves and discharges the UV resin until it reaches the reference point position along the edge of the window. Here, the UV resin nozzle may be composed of multiple nozzles, and the number of the nozzles may be determined according to the size of the UV dam.

상기와 같이 UV 레진 노즐이 UV 댐을 토출함과 동시에 UV 램프가 동작하여 가경화를 수행한다.As described above, the UV resin nozzle discharges the UV dam and the UV lamp operates to perform the hardening.

보다 구체적으로, 도 5a와 같이 UV 레진 노즐과 같은 방향 전단에 위치하는 UV 램프 만이 턴온되고 나머지 3개의 UV 램프는 턴오프 되는 방식으로 UV 레진 도포에 따라 UV 가경화가 수행된다.More specifically, as shown in FIG. 5A, the UV curing is performed in accordance with the application of the UV resin in such a manner that only the UV lamp located in the same direction as the UV resin nozzle is turned on and the remaining three UV lamps are turned off.

상기와 같이 UV 댐 및 가경화가 수행되면, 제 1 토출 유닛(520)이 원래 위치로 복귀하고, 제 2 토출 유닛(530)의 변위 센서가 기준점을 추출하여 기준점에 정렬하여 토출 제어부의 제어에 따라 이동하면서 UV 댐 내부에 UV 도트를 토출한다. 상기 UV 도트는 도 5b와 같이 토출 노즐이 설정된 간격에 따라 이동하면서 토출될 수 있다.When the UV dam and the hardening are performed as described above, the first discharging unit 520 returns to the original position, the displacement sensor of the second discharging unit 530 extracts the reference point, aligns with the reference point, UV dots are ejected into the UV dam while moving. The UV dot may be ejected while the ejection nozzles move according to the set interval as shown in FIG. 5B.

여기서, 상기 제 2 토출 유닛(530)은 도 6a와 같이 멀티 노즐로 구성될 수 있으며, 이 경우 상기 제 2 토출 유닛(530)은 도 6b와 같은 UV 토트가 아닌 UV 토트라인을 UV 댐 내부에 도포하게 된다.6A. In this case, the second ejection unit 530 may include a UV tote, not the UV tote as shown in FIG. 6B, inside the UV dam Respectively.

상기 멀티 노즐은 일정 간격(d)으로 배치되고, 상기 간격(d)은 노즐의 크기 및 UV 레진의 퍼짐 정도를 고려하여 설정되고, 상기 간격(d)이 지나치게 클 경우 이웃하는 UV 도트라인과의 공백으로 접합력이 떨어질 수 있으며, 간격(d)이 지나치게 좁을 경우 이웃하는 UV 도트라인이 오버랩 되어 UV 레진이 불균일하게 도포될 수 있으므로 퍼짐에 의해 이웃하는 UV 도트라인이 미세하게 맞닿을 정도의 간격으로 설정하는 것이 바람직하다. The multi-nozzles are arranged at regular intervals d. The spacing d is set in consideration of the size of the nozzles and the degree of spreading of the UV resin. When the distance d is excessively large, If the spacing d is too narrow, the neighboring UV dot lines may overlap and the UV resin may be applied non-uniformly, so that the spreading causes the neighboring UV dot lines to be spaced at a fine contact distance .

보다 구체적으로, 상기 제 2 토출 유닛(530)은 기준점에 정렬되며 일방향으로 이동하면서 상기 멀티 노즐을 통해 UV 레진을 도포하게 되고, 이에 따라 UV 댐 내부에 UV 도트라인이 형성된다.More specifically, the second discharging unit 530 aligns with the reference point and applies UV resin through the multi-nozzle while moving in one direction, thereby forming a UV dot line inside the UV dam.

상기 기준점은 상면, 하면, 좌측면, 우측면 중 선택된 하나일 수 있으며, 기준점이 상면일 경우 제 2 토출 유닛은 하부로 이동하면서 세로의 UV 토트라인을 형성하게 되고, 하면일 경우 제 2 토출 유닛은 상부로 이동하면서 역시 세로의 UV 도트라인을 형성하게 된다.The reference point may be a top surface, a bottom surface, a left surface, or a right surface. If the reference point is the top surface, the second discharging unit moves downward to form a vertical UV tote line. The UV dot line of the vertical direction is formed while moving upward.

한편, 기준점이 좌측면인 경우 제 2 토출 유닛은 우측으로 이동하면서 가로의 UV 도트라인을 형성하게 되고, 우측면인 경우 제 2 토출 유닛은 좌측으로 이동하면서 역시 가로의 UV 도트라인을 형성하게 된다.On the other hand, when the reference point is the left side, the second discharging unit moves to the right side to form the UV dot line, while when the reference point is the right side, the second discharging unit moves to the left side to form the horizontal UV dot line.

그리고 상기 제 2 토출 유닛(530)은 도 7a와 같이 장홈으로 형성된 슬릿 노즐로 구성될 수 있으며, 이 경우 상기 제 2 토출 유닛(530)은 도 7c와 같은 UV 토트가 아닌 UV 도트면을 UV 댐 내부에 도포하게 된다.7A. In this case, the second discharging unit 530 may be formed by a UV damper that is not a UV tote as shown in FIG. 7C but a UV damper .

따라서, UV 댐 내부 전체에 UV 레진을 도포하여 밀실하고 균일한 UV 레진 도포가 가능하여 접합력을 높일 수 있다.Therefore, it is possible to apply the UV resin to the entire UV dam interior and apply the UV resin in a tight and uniform manner, so that the bonding force can be increased.

보다 구체적으로, 상기 제 2 토출 유닛(530)은 기준선에 정렬되며 일방향으로 이동하면서 상기 슬릿 노즐을 통해 UV 레진을 도포하게 되고, 이에 따라 UV 댐 내부에 UV 도트면이 형성된다.More specifically, the second discharging unit 530 aligns with the reference line and applies UV resin through the slit nozzle while moving in one direction, thereby forming a UV dot surface inside the UV dam.

여기서, 기준선이 상부면이면 하부로 이동하면서 UV 도트면이 형성되고, 하부면이면 상부로 이동하면서 UV 도트면이 형성되고, 좌측면이면 우측으로 이동하면서 UV 도트면이 형성되고, 우측면이면 좌측으로 이동하면서 UV 도트면이 형성될 수 있다.Here, the UV dot surface is formed while the reference line is moved to the lower surface of the upper surface, the UV dot surface is formed while moving to the upper surface of the lower surface, the UV dot surface is formed while moving to the right side of the left surface, A UV dot surface can be formed while moving.

상기 실시예는 UV 댐이 형성되고 가경화 된 후, 내부에 UV 도트, 도트라인, 도트면이 형성되는 방식이지만, UV 댐 형성없이 UV 도트면이 형성되고 가경화되는 방식으로 구성될 수 있다. 이 때, UV 댐 형성이 필요없으므로 제 1 토출 유닛(520)은 제거되지만, 상기 제 1 토출 유닛(520)이 상기 UV 도트면이 형성된 테두리부를 가경화시키는 상기 가경화 수단으로 대체되도록 구성될 수 있다.In the above embodiment, UV dots, dot lines, and dots are formed inside the UV dam after the UV dam is formed and the UV dams are formed. However, the UV dots may be formed and the UV dots may be formed without tack formation. At this time, since the formation of the UV dam is not necessary, the first discharge unit 520 is removed, but the first discharge unit 520 can be configured to be replaced with the temporary hardening means for hardening the rim on which the UV dot surface is formed .

보다 구체적으로, 제 2 토출 유닛(530)이 슬릿 노즐로 구성되어 좌우 또는 상하로 이동하면서 UV 도트면을 형성한 후, 테두리부를 가경화시켜 UV 도포를 완료할 수 있다.More specifically, after the second discharge unit 530 is constituted by a slit nozzle and moves leftward or rightward or up and down to form a UV dot surface, the edge portion may be made tapered to complete UV application.

이 경우, 도 8과 같이 상기 UV 도트면의 넓이는 테두리부를 제외한 면적으로, UV 도트면 형성된 퍼짐에 의해 테두리부까지 UV 레진이 채워지게 되고, 테두리부를 가경화시켜 테두리부 외곽으로 UV 레진이 흐르는 것을 방지할 수 있다.In this case, as shown in FIG. 8, the width of the UV dot surface is an area excluding the edge portion, the UV resin is filled up to the edge portion by the spread formed by the UV dot surface, and the UV resin is flowed to the edge of the edge portion Can be prevented.

따라서, 상기 UV 도트면의 넓이를 결정하는 것이 중요하고, 노즐의 크기와 UV 레진의 퍼짐의 정도를 고려하여 1차적으로 UV 도트면 형성시 테두리 외곽으로 흐르지 않도록 설계하는 것이 바람직하다.Therefore, it is important to determine the width of the UV dot surface, and it is desirable to design the nozzle so that it does not flow to the outside of the frame when the UV dot surface is formed primarily in consideration of the size of the nozzle and the degree of spreading of the UV resin.

UV 도트 토출이 완료되면 상기 제 2 토출 유닛이 원래 위치로 복귀한다.When the UV dot ejection is completed, the second ejection unit returns to its original position.

이어서, 스테이지상의 윈도우가 제 3 위치(C)로 이동한다.Then, the window on the stage moves to the third position (C).

상기 윈도우가 제 3 위치(C)로 이동하면, 상기 제 3 위치(C)에 배치된 로봇암(570)이 상기 기판척에 고정된 윈도우를 일시적으로 그립하고, 글라스가 고정된 고정 실린더(560)의 고정이 해제되고, 스테이지 실린더(540)가 하강하고 스테이지가 후방으로 이동하여 상기 기판척(511)과 고정 실린더(560)이 제 1 위치(A)로 복귀한다.When the window moves to the third position C, the robot arm 570 disposed at the third position C temporarily grips the window fixed to the substrate chuck, and the glass fixed cylinder 560 The stage cylinder 540 is lowered and the stage is moved backward so that the substrate chuck 511 and the fixed cylinder 560 return to the first position A. [

이 상태에서 제 1 위치(A)에 새로운 윈도우가 로딩되고, 스테이지 실린더가 상승하여 상기 로봇암에 그립된 윈도우가 제 3 위치(C)에 스테이지에 놓여지게 된다.In this state, a new window is loaded at the first position (A), and the stage cylinder is elevated so that the window gripped by the robot arm is placed on the stage at the third position (C).

이어서, 상기 윈도우가 제 4 위치(D)로 이동되어 제 2 로드락 챔버로 이송된다.Then, the window is moved to the fourth position (D) and transferred to the second load lock chamber.

상기 새로 로딩된 윈도우는 상기에서 설명한 것과 동일한 과정에 의해 UV 레진이 도포된다.The UV resin is applied to the newly loaded window by the same process as described above.

상기 윈도우 상에 UV 레진이 도포되면 챔버부의 제 2 로드락 챔버(312)로 이송한다.When UV resin is applied on the window, it is transferred to the second load lock chamber 312 of the chamber part.

상기 제 2 로드락 챔버(312) 역시 윈도우가 들어갈 수 있는 한 최대한 작게 형성될 수 있으며, 상기 제 2 로드락 챔버(312)의 게이트가 개방된 상태에서 윈도우가 로딩되고 게이트가 닫히면 펌핑을 통해 대기압 ~ 수 torr 사이의 압력이 작용하도록 제어될 수 있다. The second load lock chamber 312 may also be formed as small as possible as long as the window can be inserted. When the window is loaded while the gate of the second load lock chamber 312 is opened and the gate is closed, To-torr < / RTI >

상기와 같은 과정을 통해 터치패널 셀과 윈도우가 챔버부로 이송되면 반송챔버의 반송 로봇이 제 1 로드락 챔버(312)의 게이트를 개방하여 터치패널 셀을 꺼내서 공정챔버(330)의 게이트를 개방하여 로딩한다.When the touch panel cell and the window are transferred to the chamber through the above process, the transfer robot of the transfer chamber opens the gate of the first load lock chamber 312 to take out the touch panel cell and open the gate of the process chamber 330 Loading.

그리고 동일하게 반송챔버(330)의 반송 로봇이 제 2 로드락 챔버(312)의 게이트를 개방하여 윈도우를 꺼내서 공정챔버(330)에 로딩한다.Similarly, the transfer robot of the transfer chamber 330 opens the gate of the second load lock chamber 312 to take out the window and load it into the process chamber 330.

상기 반송챔버(320)에 장착되는 반송 로봇은 2단으로 구성될 수 있으며, 관절 로봇으로 구성되어 윈도우와 터치패널 셀을 동시에 공정챔버(330)로 이송시키도록 구성될 수 있다.The transfer robot mounted on the transfer chamber 320 may be configured in two stages, and may be configured to include a joint robot to transfer the window and the touch panel cell to the process chamber 330 at the same time.

여기서, 반송챔버(320)의 압력은 수 torr ~ 10-2 torr범위가 되도록 펌핑을 통해 제어될 수 있으며, 합착이 진행되는 공정챔버(330)의 압력은 고진공 상태인 10-4 ~ 10-5 torr 범위가 되도록 진공 펌프에 의해 제어될 수 있다.Here, the pressure of the transfer chamber 320 may be controlled through pumping so as to be in the range of several torr to 10 -2 torr, and the pressure of the process chamber 330 in which the adhesion is progressing may be controlled to 10 -4 to 10 -5 torr < / RTI > range.

상기와 같이 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버의 압력을 단계적으로 감소시키도록 설정할 경우 각 챔버로 이송되기 위해 게이트가 개방될 경우 압력을 유지하기 위해 펌핑하는 시간을 감축시킬 수 있으므로 공정시간을 단축시킬 수 있다.As described above, when the pressure in the load lock chamber, the transfer chamber, and the process chamber is set to be decreased stepwise, the time for pumping to maintain the pressure when the gate is opened to be transferred to each chamber can be reduced, .

그리고 공정챔버(330)에 터치패널 셀과 윈도우가 장착되면 얼라인 수단에 의해 터치패널 셀과 윈도우를 정확한 위치에 정렬하고, 진공 상태에서 터치패널 셀과 윈도우를 합착한다.When the touch panel cell and the window are mounted on the process chamber 330, the touch panel cell and the window are aligned with each other by aligning means, and the touch panel cell and the window are bonded together in a vacuum state.

상기 공정챔버(330)는 도 9와 같이 진공 합착이 가능하도록 구성될 수 있다.The process chamber 330 may be configured to be vacuum-bonded as shown in FIG.

상기 공정챔버(330)는 고정수단, 얼라인 수단, 합착수단, 가경화 수단을 포함하여 구성될 수 있다.The process chamber 330 may include fixing means, aligning means, cementing means, and hardening means.

상기 고정수단은 하단에서 터치패널 셀과 윈도우가 로딩되고, 윈도우가 고정되는 기판척(331)과, 터치패널 셀의 상면이 하부를 향하도록 터치패널 셀의 배면을 고정하는 점착패드(332)를 포함하여 구성될 수 있다.The fixing unit includes a substrate chuck 331 on which a touch panel cell and a window are mounted at a lower end and to which a window is fixed, and an adhesive pad 332 for fixing the back surface of the touch panel cell such that an upper surface of the touch panel cell faces downward And the like.

그리고 상기 얼라인 수단은 터치 패널 셀과 윈도우가 합착될 정확한 위치를 표시하는 얼라인 이미지를 육안으로 확인하기 위한 카메라 스테이지(333)와 상기 기판척에 로딩된 윈도우의 양 끝단을 고정하여 센터링 및 얼라인을 수행하는 윈도우 얼라인부(334)와 상기 터치 패널 셀이 로딩된 제 2 기판척을 X,Y,Z,θ 4축 이동하여 얼라인을 수행하는 터치 패널 얼라인부(335)를 포함하여 구성될 수 있다.The aligning means includes a camera stage 333 for visually confirming an alignment image indicative of an accurate position at which the touch panel cell and the window are to be attached, and a camera stage 333 for fixing both ends of the window loaded on the substrate chuck, And a touch panel aligning part 335 for performing alignment by moving the second substrate chuck in which the touch panel cell is loaded by X, Y, Z, and θ 4 axes, .

상기 카메라 스테이지(333)는 얼라인 이미지의 정확한 파악을 위해 상기 얼라인 부위를 밝게 비추기 위한 조명부를 더 포함할 수 있다.The camera stage 333 may further include an illumination unit for brightening the alignment region in order to accurately grasp the alignment image.

여기서, 상기 점착패드(332)는 터치패널 셀을 상부에 유지하기 위한 구성으로 터치패널 셀을 지지할 수 있기 위해 점착력을 가진 합성고무로 제조될 수 있으며, 상기 점착력이 지나치게 높을 경우 분리 시 터치패널 셀 표면에 손상을 줄 수 있으며, 점착력이 지나치게 낮을 경우 터치패널 셀이 윈도우와 합착 전에 분리되어 파손될 수 있으므로 터치패널 셀을 유지하면서 지나치게 큰 점착력이 작용하지 않는 범위의 점착력을 가지는 것이 좋다. 바람직하게는 400 ~ 5000 gf/cm2 범위의 점착력을 구비하는 것이 좋다.Here, the adhesive pad 332 may be made of a synthetic rubber having adhesiveness so as to support the touch panel cell in order to hold the touch panel cell at the upper portion. When the adhesive force is too high, The cell surface may be damaged. If the adhesion force is excessively low, the touch panel cell may be separated and broken before being attached to the window. Therefore, it is desirable that the touch panel cell has adhesiveness within a range that does not exert an excessively large adhesive force while holding the touch panel cell. And preferably has an adhesive force in the range of 400 to 5000 gf / cm < 2 >.

그리고 상기 가경화 수단은 공정 챔버 하부에 배치되어 합지된 터치패널 셀과 윈도우를 UV에 의해 가경화시키는 UV 램프(336)로 구성될 수 있다.The temporary hardening unit may include a UV lamp 336 disposed under the process chamber and UV-curable the touch panel cell and the window.

도 10 및 도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 공정챔버에서 터치패널 셀과 윈도우가 합착되는 과정을 개략적으로 도시한 것으로, 도 10은 터치패널 셀이 공정챔버에 로딩 및 얼라인되는 것을 도시한 것이고, 도 11은 윈도우가 로딩되어 얼라인 후 터치패널 셀과 합착되는 것을 도시한 것이다.10 and 11 schematically illustrate a process of attaching a touch panel cell and a window in a process chamber according to a preferred embodiment of the present invention. And FIG. 11 shows that the window is loaded and aligned and then joined together with the touch panel cell.

도 10 및 11을 참조하면, 상기와 같은 공정 챔버(330)에 터치 패널 셀이 기판척(331)에 로딩되면 터치 패널 얼라인부(335)가 로딩된 터치 패널 셀의 위치와 점착 패드(332)를 얼라인하여 하부로 이동시켜 상기 터치 패널 셀을 점착 패드(332)에 흡착한다.(도 10의 (b))10 and 11, when the touch panel cell is loaded on the substrate chuck 331 in the process chamber 330, the position of the touch panel cell loaded with the touch panel alignment portion 335 and the position of the pressure pad 332, So that the touch panel cell is attracted to the adhesive pad 332 (FIG. 10 (b)).

이어서, 상기 터치 패널 얼라인부(335)의 Y축 제어를 통해 1 ~ 2mm 점착척을 상부로 이동시킨 후 터치 패널 셀의 얼라인 이미지를 카메라 스테이지(333)를 통해 인식한다.(도 10의 (c), 도 12)Then, the 1 to 2 mm adhesive chuck is moved upward through the Y axis control of the touch panel aligning part 335, and the aligned image of the touch panel cell is recognized through the camera stage 333 (see FIG. 10 c), Fig. 12)

그리고, 윈도우와의 간섭을 방지하기 위해 상기 터치 패널 셀을 상부로 이동 시킨다.(도 10의 (d))Then, the touch panel cell is moved upward to prevent interference with the window (Fig. 10 (d)).

다음으로 윈도우가 기판척(331)에 로딩(도 11의 (e))되면, 윈도우 얼라인부(334)가 상기 제 1 기판척에 로딩된 윈도우의 양 끝단을 고정하여 센터링 및 얼라인을 수행한 후 얼라인 이미지를 인식한다.(도 11의 (f), 도 12)Next, when the window is loaded on the substrate chuck 331 (FIG. 11E), the window aligning portion 334 fixes both ends of the window loaded in the first substrate chuck and performs centering and alignment (Fig. 11 (f), Fig. 12)

이어서, 터치 패널 얼라인부(335)가 상부에 위치한 터치 패널 셀을 하부로 이동시킨 후 터치 패널 셀과 윈도우의 얼라인 이미지를 정렬하기 위해 X,Y,Z,θ 4축 이동하여 정밀 얼라인을 수행한다.(도 11의 (g), 도 12)Then, the touch panel aligning unit 335 moves the touch panel cell located at the upper side downward, and moves the X, Y, Z, and θ axes to align the alignment image of the touch panel cell and the window, (Fig. 11 (g), Fig. 12)

상기와 같이 얼라인이 완료되면, 상기와 같이 터치패널 셀과 윈도우가 합지된 상태에서 최소한의 고정력을 부여하기 위해 가경화 공정을 수행한다.(도 11의 (h))When the alignment is completed as described above, the toughening process is performed to provide the minimum fixing force in a state in which the touch panel cell and the window are coupled as described above (FIG. 11 (h)).

이를 위해, 공정 챔버 하단에 UV 램프(336)를 구비할 수 있으며, 터치패널 셀과 윈도우가 합지된 상태에서 UV 램프를 조사하여 터치패널 셀과 윈도우가 최소한의 고정력으로 합착될 수 있도록 가경화한다.For this, a UV lamp 336 may be provided at the lower end of the process chamber, and the UV lamp may be irradiated while the touch panel cell and the window are laminated so that the touch panel cell and the window can be cemented together with a minimum fixing force .

상기와 같이 가경화 과정을 통해 터치패널 셀과 윈도우가 가경화되면, 점착패드를 상부로 이동시켜 분리한다.When the touch panel cell and the window are cured through the provisional curing process as described above, the adhesive pad is moved upward and separated.

여기서, 윈도우가 윈도우 얼라인부(335)에 고정되어 있으며, 윈도우와 터치패널 셀이 UV 램프의 가경화에 의해 접착력이 형성된 상태이며, 상기 접착력은 점착패드의 점착력보다 크게 설정되어 상기 점착패드(332)를 상부로 이동시키는 것 만으로 점착패드(332)를 터치패널 셀과 분리할 수 있다. Here, the window is fixed to the window aligning part 335, and the window and the touch panel cell are in a state in which adhesive strength is formed by the hardening of the UV lamp, and the adhesive force is set larger than the adhesive force of the adhesive pad, The adhesive pad 332 can be separated from the touch panel cell.

한편, 상기 제 1 로드락 챔버와 제 2 로드락 챔버에는 터치패널 셀과 윈도우의 위치를 정렬하기 위한 얼라인 수단을 더 포함할 수 있다.The first load lock chamber and the second load lock chamber may further include alignment means for aligning the position of the window with the touch panel cell.

이 경우 제 1 로드락 챔버(311)와 제 2 로드락 챔버(312)는 터치패널 셀과 윈도우의 위치를 정확한 위치에 얼라인시킬 수 있으며, 이를 통해 공정 챔버(330) 내에서 얼라인 수단의 배치 및 공정을 제거할 수 있다.In this case, the first load lock chamber 311 and the second load lock chamber 312 can align the position of the touch panel cell and the window to the correct position, Batch and process can be eliminated.

일반적으로 터치패널 셀과 윈도우는 얼라인 이미지를 이용하여 상기 터치패널 셀과 윈도우가 장착되는 제 1 및 2 로드락 챔버(311,312)의 기판척에 형성되는 얼라인 이미지를 통해 공정챔버 내에서 합착전에 프리-얼라인이 가능하다. In general, the touch panel cells and windows are aligned in the process chamber through the alignment images formed on the substrate chucks of the first and second load lock chambers 311 and 312, in which the touch panel cells and the windows are mounted, Pre-alignment is possible.

보다 구체적으로, 제 1 및 2 로드락 챔버(311,312) 내에서 얼라인을 위해 미리 설정된 X축, Y축, Z 좌표 및 각도(θ)에 따라 터치패널 셀과 윈도우를 정확한 위치에 정렬시킨 뒤 반송챔버의 반송로봇의 정확한 이동 경로만 설정하게 되면 공정챔버(330) 내에 정확한 위치에 터치패널 셀과 윈도우를 로딩할 수 있으며, 이를 통해 공정챔버(330) 내에서의 얼라인 공정 및 수단을 제거할 수 있다.More specifically, the touch panel cell and the window are aligned at the correct positions according to the X-axis, Y-axis, Z-coordinate and angle (?) Preset for alignment in the first and second load lock chambers 311 and 312, Setting the precise travel path of the transfer robot of the chamber can load the touch panel cell and window in the correct position in the process chamber 330 to remove the alignment process and means within the process chamber 330 .

상기와 같이 공정 챔버를 통해 터치패널 셀과 윈도우가 진공상태에서 합착되면 반송챔버의 반송 로봇에 의해 UV 경화부(410)로 이송된다.When the touch panel cell and the window are bonded together in a vacuum state through the process chamber as described above, they are transferred to the UV hardening unit 410 by the transfer robot of the transfer chamber.

상기 UV 경화부에서는 UV 램프를 조사하여 UV 레진을 완전 경화시키게 되고, 이를 통해 공정 챔버에서 합착된 터치패널 셀과 윈도우가 일체로 접착된다.In the UV curing part, the UV lamp is irradiated to completely cure the UV resin, thereby bonding the touch panel cell and the window bonded together in the process chamber to each other.

상기 UV 경화부는 스테이지의 길이와 이동 속도 및 UV 램프의 UV 조사강도를 고려하여 크기가 결정될 수 있다.The UV curing part may be sized in consideration of the length of the stage, the moving speed, and the UV irradiation intensity of the UV lamp.

상기와 같이 터치패널 셀과 윈도우가 UV 경화부를 통해 완전 경화되면 검사부(420)로 이송된다.When the touch panel cell and the window are completely cured through the UV curing unit, the inspection panel 420 is transferred.

상기 검사부에서는 터치패널 셀과 윈도우의 합착 상태를 검사하여 양품 또는 불량 여부를 검사하게 되고, 검사부를 통해 언로딩부(430)로 이송된다.The inspection unit inspects whether the touch panel cell and the window are adhered to each other, and checks whether the product is good or defective, and is transferred to the unloading unit 430 through the inspection unit.

이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 보호범위는 상기 실시예에 한정되는 것이 아니며, 해당 기술분야의 통상의 지식을 갖는 자라면 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention.

110 : 보호필름 제거부 120 : 플라즈마 처리부
130 : 로테이션부 210 : 보호필름 제거부
220 : 플라즈마 처리부 50 : UV 레진 도포 장치
30 : 챔버부 311 : 제 1 로드락 챔버
312 : 제 2 로드락 챔버 313 : 제 3 로드락 챔버
320 : 반송 챔버 330 : 공정 챔버
410 : UV 경화부 420 : 검사부
430 : 언로딩부
110: protective film removing unit 120: plasma processing unit
130: Rotation part 210: Protective film removal
220: Plasma processing part 50: UV resin coating device
30: chamber part 311: first load lock chamber
312: second load lock chamber 313: third load lock chamber
320: transfer chamber 330: process chamber
410: UV hardening part 420: inspection part
430: Unloading section

Claims (14)

윈도우가 로딩되어 이동되는 스테이지와;
윈도우 테두리 영역에 UV 댐을 토출하는 제 1 토출 유닛과;
상기 윈도우에 토출된 UV 댐 내부에 UV 도트를 토출하는 제 2 토출 유닛 및 상기 제 1 토출 유닛과 제 2 토출 유닛의 동작을 제어하는 토출 제어부를 포함하고,
상기 제 1 및 2 토출 유닛은
X축으로 이동을 가이드하는 X축 가이드부와;
상기 X축 가이드부와 수직으로 연결되어 X축으로 이동하고, Y축 이동을 가이드하는 Y축 가이드부와;
상기 Y축 가이드부와 연결되어 Y축으로 이동하며 UV 레진을 토출하는 노즐부를 포함하고,
상기 제 1 토출 유닛의 노즐부는
UV 댐을 토출하는 토출 노즐과;
상기 토출 노즐의 수직, 수평 방향에 배치된 4개의 UV 램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 레진 도포 장치.
A stage in which a window is loaded and moved;
A first discharge unit for discharging the UV dam to the window border area;
A second ejection unit for ejecting UV dots inside the UV dam ejected to the window; and a discharge control unit for controlling operations of the first ejection unit and the second ejection unit,
The first and second discharge units
An X-axis guide portion for guiding movement in the X-axis;
A Y-axis guide portion that is connected to the X-axis guide portion and moves in the X-axis direction and guides the Y-axis movement;
And a nozzle part connected to the Y-axis guide part and moving in the Y-axis direction and discharging the UV resin,
The nozzle portion of the first discharge unit
A discharge nozzle for discharging the UV dam;
And four UV lamps arranged in the vertical and horizontal directions of the discharge nozzle.
제 1항에 있어서,
상기 제 2 토출 유닛은
상기 UV 댐 내부에 도트점, 도트 라인 및 도트면 중 선택된 어느 하나의 UV 도트를 토출하는 것을 특징으로 하는 UV 레진 도포 장치.
The method according to claim 1,
The second discharge unit
And discharges any one of UV dots selected from dot dots, dot lines and dot faces in the UV dam.
제 1항에 있어서,
상기 스테이지에 로딩된 윈도우의 이동 및 반송을 위해 스테이지를 상하 방향으로 이동하는 스테이지 실린더와;
윈도우 로딩 후 얼라인을 위해 윈도우를 푸시하는 얼라인 실린더와;
상기 얼라인된 윈도우를 푸쉬하여 기판척에 고정하는 고정 실린더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 레진 도포 장치.
The method according to claim 1,
A stage cylinder for vertically moving the stage for moving and transporting the window loaded on the stage;
An aligned cylinder pushing the window for alignment after window loading;
Further comprising a fixing cylinder for pushing the aligned window and fixing the aligned window to the substrate chuck.
제 3항에 있어서,
제 3 위치(C)에서 UV 레진이 도포된 윈도우의 이송을 위해 그립하는 로봇 암을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 레진 도포 장치.
The method of claim 3,
Further comprising a robot arm that grips for transfer of the window coated with the UV resin at the third position (C).
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 제 2 토출 유닛의 노즐부는
UV 도트점을 토출하는 점 노즐, UV 도트라인을 토출하는 멀티 노즐, UV 도트면을 토출하는 슬릿 노즐 중 선택된 하나의 노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 UV 레진 도포 장치.
The method according to claim 1,
The nozzle portion of the second discharge unit
A nozzle for discharging the UV dot, a nozzle for discharging the UV dot, a nozzle for discharging the UV dot, and a nozzle for discharging the UV dot.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 UV 램프는
상기 토출 노즐이 진행하는 방향의 전단에 배치된 UV 램프만이 턴온되어 가경화를 수행하는 것을 특징으로 하는 UV 레진 도포 장치.
The method according to claim 1,
The UV lamp
Wherein only the UV lamp disposed at the front end in the direction in which the discharge nozzle advances is turned on to perform the temporary curing.
윈도우 표면의 테두리 영역에 UV 댐을 토출하는 단계와;
상기 토출된 UV 댐 내부에 UV 도트를 토출하는 단계를 포함하고,
상기 UV 댐을 토출하는 단계는
제 1 토출 유닛의 토출 노즐이 윈도우 표면의 테두리 영역으로 이동하면서 UV 레진을 토출하여 UV 댐을 형성하는 단계와;
상기 UV 댐 형성과 동시에 UV 램프에 의해 상기 UV 댐을 가경화하는 단계를 포함고,
상기 UV 댐을 가경화하는 단계는
상기 토출 노즐의 수직 및 수평 방향에 배치된 4개의 UV 램프가 형성되고;
상기 토출 노즐의 이동 방향의 전단에 배치된 UV 램프 만 턴온되어 UV 댐이 토출되자 마자 가경화하는 것을 특징으로 하는 UV 레진 도포 방법.
Discharging a UV dam to an edge area of a window surface;
And discharging UV dots into the discharged UV dam,
The step of discharging the UV dam
Discharging the UV resin while the discharge nozzle of the first discharge unit moves to the edge region of the window surface to form a UV dam;
And simultaneously curing the UV dam by a UV lamp simultaneously with formation of the UV dam,
The step of vulcanizing the UV dam
Four UV lamps arranged in the vertical and horizontal directions of the discharge nozzle are formed;
Wherein only the UV lamp disposed at the front end in the moving direction of the discharge nozzle is turned on and the UV dam is temporarily discharged as soon as the UV dam is discharged.
삭제delete 삭제delete 제 9항에 있어서,
상기 UV 도트를 토출하는 단계는
제 2 토출 유닛의 토출 노즐이 점 노즐로 구성되어, 상기 UV 댐 내부를 이동하면서 설정된 간격마다 UV 도트를 토출하여 UV 도트점을 형성하는 것을 특징으로 하는 UV 레진 도포 방법.
10. The method of claim 9,
The step of ejecting the UV dot
Wherein the discharge nozzles of the second discharge unit are constituted by point nozzles, and UV dots are discharged at predetermined intervals while moving inside the UV dam to form UV dot dots.
제 9항에 있어서,
상기 UV 도트를 토출하는 단계는
제 2 토출 유닛의 토출 노즐이 멀티 노즐로 구성되어, 상기 UV 댐 내부를 이동하면서 UV 도트라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 UV 레진 도포 방법.
10. The method of claim 9,
The step of ejecting the UV dot
Wherein the ejection nozzles of the second ejection unit are constituted by multi-nozzles to form UV dot lines while moving inside the UV dam.
제 9항에 있어서,
상기 UV 도트를 토출하는 단계는
제 2 토출 유닛의 토출 노즐이 슬릿 노즐로 구성되어, 상기 UV 댐 내부를 이동하면서 UV 도트면을 형성하는 것을 특징으로 하는 UV 레진 도포 방법.
10. The method of claim 9,
The step of ejecting the UV dot
Wherein the discharge nozzle of the second discharge unit is constituted by a slit nozzle to form a UV dot surface while moving inside the UV dam.
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