KR101437022B1 - 회전형 위치결정장치 - Google Patents

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Abstract

회전형 위치결정장치가 개시된다. 하우징과; 상기 하우징에 회전가능하게 결합된 회전 플레이트와;상기 회전 플레이트의 하부에 결합된 원형기어와;상기 하우징에 결합되며, 상기 원형기어와 치합하는 웜기어와;상기 하우징의 측면을 관통하여 결합되며, 상기 웜기어를 상기 원형기어 방향으로 밀착시킬 수 있도록 밀어주는 푸싱바와;상기 웜기어를 회전시키는 모터모듈을 포함하는 회전형 위치결정장치가 제공된다.

Description

회전형 위치결정장치{rotation positioning device }
본 발명은 회전형 위치결정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 회전 플레이트가 흔들릴 경우 이를 외부에서 보정하여 흔들림을 최소화 할 수 있는 회전형 위치결정장치에 관한 것이다.
반도체 제조공정을 포함한 제조산업에서는 작업물을 정밀하게 회전시키기 위하여, 회전형 위치결정장치를 사용한다.
도 1과 같이, 종래의 회전형 위치결정장치(10)는 하우징(11)과, 하우징(11)에 회전가능하게 결합된 회전 플레이트(12)와, 회전 플레이트(12)의 하부에 결합된 원형기어(13)와, 원형기어(13)와 치합하는 웜기어(14)와, 웜기어(14)를 회전시키는 모터모듈(15)을 포함한다. 모터모듈(15)이 웜기어(14)를 회전시킴으로써, 웜기어(14)와 치합하는 원형기어(13)가 회전하게 되고, 원형기어(13)와 결합된 회전 플레이트(12)도 회전하게 된다.
그런데, 웜기어(14)와 원형기어(13)는 물리적인 접촉을 하게 되고, 이로 인한 마찰로 치합 유격(裕隔)이 발생한다. 이러한 유격공간으로 인하여 회전 플레이트(12)는 회전시 흔들거리게 되고, 제어부가 모터모듈(15)을 제어하여 회전 플레이트(12)를 정확한 각도만큼 회전시키지 못하게 된다. 이로 인한, 회전오차는 시간이 지날수록 커지게 된다.
종래에는 회전 플레이트(12)가 오차범위를 넘어 오작동할 경우, 회전형 위치결정장치(10)를 모두 분해하여 이를 조정하여야 했다. 이로 인하여, 회전 플레이트(12)가 결합된 기계장치 전체의 가동을 멈춰야 하는 불편함이 있을 뿐만 아니라, 공정전체가 장시간 중단되어야 했다.
따라서, 이러한 문제점을 해결하고, 기계장치의 멈춤 없이 외부에서 쉽게 웜기어(14)와 원형기어(13)의 치합유격을 줄일 수 있는 구조의 회전형 위치결정장치의 개발이 필요하다.
이와 관련된 기술은, 한국특허공개 제10-2002-0007465호 (공작기계용 회전테이블 위치 결정구조)가 있다.

본 발명은 외부에서 웜기어와 원형기어의 치합유격을 외부에서 조율할 수 있는 회전형 위치결정장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일측면에 따르면,
하우징과;
상기 하우징에 회전가능하게 결합된 회전 플레이트와;
상기 회전 플레이트의 하부에 결합된 원형기어와;
상기 하우징에 결합되며, 상기 원형기어와 치합하는 웜기어와;
상기 하우징의 측면에 결합되며, 상기 웜기어를 상기 원형기어 방향으로 밀착시킬 수 있도록 밀어주는 푸싱바와;
상기 웜기어를 회전시키는 모터모듈을 포함하는 회전형 위치결정장치가 제공된다.
또한,
상기 웜기어에는 베어링이 결합되며, 상기 푸싱바는 상기 베어링을 밀어줌으로써 상기 웜기어를 상기 원형기어 방향으로 밀착시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 회전형 위치결정장치가 제공된다.
또한,
상기 베어링과 상기 푸싱바 사이에는 일부구간이 개방된 커버링이 위치하며, 상기 커버링은 상기 베어링을 감싸는 것을 특징으로 하는 회전형 위치결정장치가 제공된다.
또한,
상기 푸싱바와 상기 하우징은 나사결합하는 것을 특징으로 하는 회전형 위치결정장치가 제공된다.
본 발명은 외부에서 웜기어와 원형기어의 치합유격을 외부에서 조율할 수 있는 회전형 위치결정장치를 제공한다.
도 1은 종래기술에 따른 회전형 위치결정장치의 분리사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전형 위치결정장치의 분리 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전형 위치결정장치의 결합 사시도(모터모듈 제외)
도 4는 도 3의 A 방향의 측면도.
도 5는 도 3의 B 방향의 측면도.
도 6은 커버링의 사시도.
이하에는, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조로 상세하게 설명하되, 이는 본 발명에 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이지, 이로써 본 발명의 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전형 위치결정장치의 분리 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전형 위치결정장치의 결합 사시도(모터모듈 제외)이며, 도 4는 도 3의 A 방향의 측면도이며, 도 5는 도 3의 B 방향의 측면도이며, 도 6은 커버링의 사시도이다.
본 실시예의 회전형 위치결정장치(20)는, 하우징(21)과; 하우징(21)에 회전가능하게 결합된 회전 플레이트(22)와; 회전 플레이트(22)의 하부에 결합된 원형기어(23)와; 하우징(21)에 결합되며, 원형기어(23)와 치합하는 웜기어(24)와; 하우징(21)의 측면에 결합되며, 웜기어(24)를 상기 원형기어(23) 방향으로 밀착시킬 수 있도록 밀수 있는 푸싱바(25)와; 웜기어(24)를 회전시키는 모터모듈(28)을 포함한다.
하우징(21)은 내부 공간이 형성되어 있으며, 상부의 일부는 개방되어 있다. 하우징(21)의 내부에는 원형기어(23)가 결합된다. 원형기어(23)의 상부에는 회전 플레이트(22)가 결합된다. 원형기어(23)와 회전 플레이트(22)는 일체로 형성될 수도 있고, 본 실시예와 같이 분리된 구조일 수도 있다. 회전 플레이트(22)의 수평방향으로 원형기어(23)가 결합된다. 따라서, 원형기어(23)의 치형들이 회전 플레이트(22)의 측면방향으로 형성되어 있다.
푸싱바(25)는 하우징(21)의 측면을 관통하여 결합된다. 푸싱바(25)는 웜기어(24)를 상기 원형기어(23) 방향으로 밀착시킬 수 있도록 한다. 푸싱바(25)를 하우징(21)의 중심방향으로 밀어 넣으면, 웜기어(24)가 원형기어(23) 방향으로 밀려들어간다.
한편, 푸싱바(25)와 웜기어(24)의 마찰력을 상쇄하기 위하여, 푸싱바(25)와 웜기어(24) 사이에는 베어링(26)이 개재될 수 있다. 베어링(26)은 웜기어(24)를 감싸면서 결합될 수 있다.
한편, 베어링(26)의 외부는 일부구간이 개방된 커버링(27)이 감쌀 수 있다. 푸싱바(25)는 커버링(27)과 접촉하여, 베어링(26)을 밀 수 있다. 이때, 커버링(27)은 일부 구간(271)이 개방되어 있으므로, 푸싱바(25)를 이용하여 커버링(27)을 밀면, 커버링(27)의 형태의 변형이 일어나면서 베어링(26)을 하우징(21)의 중심방향으로 미세하게 이동시킬 수 있다. 본 실시예의 회전형 위치결정장치(20)는 정밀제품으로 웜기어(24)를 원형기어(23) 방향으로 1/100mm 정도 이동되도록 해도 충분하다.
한편, 커버링(27)은 푸싱바(25)와 베어링(26)보다 연질인 것이 좋다. 푸싱바(25)를 이용하여 커버링(27)을 밀 경우, 푸싱바(25)와 베어링(26)의 형태는 변형되지 않고, 커버링(27)의 형태가 변형되어 얇아진다. 그 결과, 베어링(26)이 하우징(21)방향으로 베어링(26)이 1/100 mm 정도 이동될 수 있다.
경우에 따라서는, 커버링(27) 없이 푸싱바(25)가 직접적으로 베어링(26)과 접촉하여, 베어링(26)을 밀 수 있다. 더 나아가, 베어링(26)이 없는 경우, 푸싱바(25)는 직접적으로 웜기어(24)와 접촉하여 웜기어(24)를 밀 수 있다. 다만, 이렇게 설계할 경우 웜기어(24)와 푸싱바(25)의 마찰력이 다소 증가한다.
웜기어(24)와 원형기어(23)의 치합에 의한 마찰로 인하여, 치형들이 마모되거나 정렬이 흐트러질 수 있다. 이로 인하여, 치합에 유격이 발생하며, 이는 회전 플레이트(22)의 흔들거림으로 나타난다. 회전 플레이트(22)가 흔들거리면, 그 위의 작업물이 제어한 위치에 정확히 위치하지 않아 추후 정밀도 높은 공정을 진행할 수 없다.
본 실시예에서는 웜기어(24)와 원형기어(23) 사이에 유격이 발생하면, 푸싱바(25)를 밀어넣어, 웜기어(24)와 원형기어(23) 사이의 유격을 줄여줄 수가 있다. 아울러, 푸싱바(25)는 하우징(21)과 나사결합할 수도 있다. 이 경우, 푸싱바(25)를 회전시켜 조금씩 하우징(21) 내부로 밀어넣을 수 있다. 그 결과 푸싱바(25)를 정밀하게 하우징(21) 내부로 밀어넣을 수 있게 된다.
모터모듈(28)은 웜기어(24)를 회전시킨다. 모터모듈(28)은 감속기어, 모터, 커플링 등으로 구성될 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대해서 상세히 설명하였으나, 이는 하나의 실시예에 불과하며, 이로써 본 발명의 특허청구범위를 한정하는 것은 아니다. 본 실시예를 바탕으로 균등한 범위까지 당업자가 변형 및 추가하는 범위도 본 발명의 권리범위에 속한다 할 것이다.
회전형 위치결정장치(20) 하우징(21)
회전 플레이트(22) 원형기어(23)
웜기어(24) 푸싱바(25)
모터모듈(28)

Claims (4)

  1. 하우징과;
    상기 하우징에 회전가능하게 결합된 회전 플레이트와;
    상기 회전 플레이트의 하부에 결합된 원형기어와;
    상기 하우징에 결합되며, 상기 원형기어와 치합하는 웜기어와;
    상기 하우징의 측면에 결합되며, 상기 웜기어를 상기 원형기어 방향으로 밀착시킬 수 있도록 밀어주는 푸싱바와;
    상기 웜기어를 회전시키는 모터모듈을 포함하되,
    상기 웜기어에는 베어링이 결합되며, 상기 푸싱바는 상기 베어링을 밀어줌으로써 상기 웜기어를 상기 원형기어 방향으로 밀착시킬 수 있으며,
    상기 베어링과 상기 푸싱바 사이에는 일부구간이 개방된 커버링이 위치하며, 상기 커버링은 상기 베어링을 감싸며,
    상기 커버링은 푸싱바와 베어링보다 연질인 것을 특징으로 하는 회전형 위치결정장치.

  2. 제1항에 있어서,
    상기 푸싱바와 상기 하우징은 나사결합하는 것을 특징으로 하는 회전형 위치결정장치.






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  4. 삭제
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