KR101608322B1 - 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블을 개시한다. 본 발명에 따른 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블은, 작업 대상체를 로딩하여 회전시키는 것이 가능한 로딩 테이블; 및 상기 로딩 테이블의 일부를 회전 및 정지시키도록 구동력을 제공함과 더불어 상기 로딩 테이블의 회전 정지시 상기 로딩 테이블이 설정된 위치에서 정지하도록 상기 로딩 테이블 측으로 탄성적인 가압력을 제공하는 테이블 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블{INDEX TABLE WITH BACKLASH PREVENTABLE STRUCTURE}
본 발명은, 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 구동 기어의 정지시 구동 기어와 종동 기어 사이에 백래쉬가 발생하는 것을 방지하여 종동 기어가 보다 정확한 위치에서 신속하게 정지 가능하도록 하여 더욱 정확한 위치 제어를 가능하게 하는 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블에 관한 것이다.
일반적으로, 동력 전달을 위하여 기어 구조는 다양한 산업 분야에서 사용되고 있다.
이러한 기어 구조는 일 예로 서로 간에 이맞물림되는 복수의 기어를 포함하고 있으며, 모터의 정회전, 역회전, 정지 상태에 따라 서로 간에 결합된 기어 이 간에 일정거리가 이격되게 형성되는데, 이러한 경우 모터에서는 동력이 가해졌지만 이격되는 거리만큼 기어가 회전해야 하므로 기어에 동력이 전달되지 않는 문제가 발생하게 된다. 이를 백래쉬라고 하는데, 이러한 백래쉬 발생에 따라 동력 정지시 정확한 정지 위치를 정하는게 힘들게 되어 정확한 정지 위치 제어가 힘들 우려가 발생하게 된다.
본 출원인은 구동 기어의 정지시 구동 기어와 종동 기어 사이의 백래쉬 발생없이 종동 기어가 정확한 위치에서 신속하게 정지하도록 하는 구조를 제안한다.
한국 등록실용신안공보 제20-0268980호 (2002.03.07 등록)
본 발명은 상술한 종래 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 구동 기어의 정지시 구동 기어와 종동 기어 사이에 백래쉬가 발생하는 것을 방지하여 종동 기어가 보다 정확한 위치에서 신속하게 정지 가능하도록 하여 더욱 정확한 위치 제어를 가능하게 하는 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따르면, 작업 대상체를 로딩하여 회전시키는 것이 가능한 로딩 테이블; 및 상기 로딩 테이블의 일부를 회전 및 정지시키도록 구동력을 제공함과 더불어 상기 로딩 테이블의 회전 정지시 상기 로딩 테이블이 설정된 위치에서 정지하도록 상기 로딩 테이블 측으로 탄성적인 가압력을 제공하는 테이블 구동부를 포함하는 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블이 제공된다.
상기 로딩 테이블은, 베드 상에 고정되게 설치되는 고정링; 상기 고정링에 대해 회전 가능하도록 상기 고정링의 외주면을 감싸도록 이루어지는 웜 휠; 상기 웜 휠의 상부에 고정되어 상기 작업 대상체가 로딩되도록 로딩 영역을 제공하며 상기 웜 휠의 회전시 동시에 회전하는 워킹 플레이트; 및 상기 고정링과 상기 웜 휠 사이에 상기 고정링의 원주 방향을 따라 이격되게 마련되는 크로스 롤러 베어링을 포함할 수 있다.
상기 웜 휠은 복수의 핀으로 이루어지며, 상기 복수의 핀은 상기 크로스 롤러 베어링의 외주면에 그 원주 방향을 따라 서로 이격되게 마련될 수 있다.
상기 테이블 구동부는, 구동모터; 상기 구동모터와 커플러를 통해 연결된 틸팅 회전축에 결합되며 상기 웜 휠과 이맞물림되어 상기 웜 휠에 회전력을 제공하는 웜; 및 상기 틸팅 회전축의 단부에 마련되어 상기 웜의 회전 정지시 상기 틸팅 회전축을 틸팅시켜 상기 웜을 상기 웜 휠 측으로 탄성적으로 가압하는 백래쉬 방지부를 포함할 수 있다.
상기 백래쉬 방지부는, 상기 틸팅 회전축에 결합되어 상기 틸팅 회전축의 회전을 지지하는 베어링 하우징; 및 상기 베어링 하우징을 상기 웜 휠 측으로 탄성적으로 가압하는 탄성 가압부를 포함할 수 있다.
상기 베드 상에는 상기 베어링 하우징의 슬라이드 이동을 가이드하는 가이드부가 마련되고 상기 베어링 하우징 및 상기 가이드부에는 각각 가이드홈 및 가이드 돌기 구조가 마련될 수 있다.
상기 탄성 가압부는, 상기 베드 상에 고정되게 마련되는 가압 고정체; 및 상기 가압 고정체와 상기 베어링 하우징 사이에 개재되는 탄성부재를 포함할 수 있다.
상기 테이블 구동부는, 상기 웜과 상기 커플러 사이의 상기 틸팅 회전축에 결합되되, 상기 틸팅 회전축의 틸팅 구동시 상기 웜 휠 측으로의 접근이 제한되는 틸팅 보조부를 더 포함할 수 있다.
상기 틸팅 보조부는, 상기 틸팅 회전축에 결합되어 상기 틸팅 회전축의 회전을 지지하는 보조 베어링 하우징; 및 상기 베드와 상기 보조 베어링 하우징 사이에 개재되어 상기 틸팅 회전축의 틸팅 구동시 상기 보조 베어링 하우징을 회전시킴과 더불어 상기 웜 휠 측으로의 상기 보조 베어링 하우징 접근을 제한 가능한 회동핀부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 테이블 구동부가 백래쉬 방지부 및 틸팅 보조부를 포함함으로써 틸팅 회전축의 틸팅 회전 조절 및 유지를 보다 수월하게 할 뿐만 아니라 웜 휠의 회전 정지 위치를 정확하게 제어하여 작업 대상체의 작업 효율을 증대시킬 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블을 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 부분 상세도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ선 확대도이다.
도 5는 도 3의 Ⅴ선 확대도이다.
도 6은 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블의 작동 상태를 나타내는 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블을 나타내는 평면도이고, 도 2는 도 1의 부분 상세도이며, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ선 확대도이며, 도 5는 도 3의 Ⅴ선 확대도이고, 도 6은 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블의 작동 상태를 나타내는 평면도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블(이하, '인덱스 테이블'이라 함)은 작업 대상체를 로딩하여 특정의 작업을 수행할 수 있는 영역을 제공함과 더불어 후공정 작업을 위해 작업 대상체를 일정 각도 회전시켜 배치 위치를 변환시킬 수 있도록 마련된다. 여기서, 작업 대상체는 글래스 기판, 반도체 웨이퍼, 태양전지 기판 등 다양하게 적용 가능하다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 인덱스 테이블은, 작업 대상체를 로딩하여 회전시키는 것이 가능한 로딩 테이블(100)과, 로딩 테이블(100)의 일부를 회전 및 정지시키도록 구동력을 제공함과 더불어 로딩 테이블(100)의 회전 정지시 로딩 테이블(100)이 설정된 위치에서 정지하도록 로딩 테이블(100) 측으로 탄성적인 가압력을 제공하는 테이블 구동부(200)를 포함한다.
여기서, 로딩 테이블(100)이 설정된 위치에서 정지한다는 말은, 로딩 테이블(100)을 예를 들어 초기 작업 대상체 로딩시에 비해 α각도만큼 회전시키고자 설정하였다면 이러한 회전각도를 최대한 유지할 수 있도록 하기 위함이다. 부연합자면, 회전체의 회전 정지시에는 회전 지속에 따른 관성력이 회전체에 작용하여 회전체를 설정된 각도만큼 회전시킨 후 정확하게 정지시키기 어렵게 된다. 본 발명은 회전체의 회전 정지시에 백래쉬가 발생하지 않도록 하여 회전체의 회전 각도를 보다 정확하게 제어하여 정확한 위치 제어가 가능하도록 마련된다.
먼저, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 로딩 테이블(100)은, 베드(110) 상에 고정되게 설치되는 고정링(120)과, 고정링(120)에 대해 회전 가능하도록 고정링(120)의 외주면을 감싸도록 이루어지는 웜 휠(130)과, 웜 휠(130)의 상부에 고정되어 작업 대상체(W)가 로딩되도록 로딩 영역을 제공하며 웜 휠(130)의 회전시 동시에 회전하는 워킹 플레이트(140)와, 고정링(120)과 웜 휠(130) 사이에 고정링(120)의 원주 방향을 따라 이격되게 마련되는 크로스 롤러 베어링(150)을 포함한다.
본 발명의 실시예에서, 웜 휠(130)은 후술하는 테이블 구동부(200)의 구동을 통해 회전 가능하며, 고정링(120)과 웜 휠(130) 사이에 크로스 롤러 베어링(150)이 마련됨으로써 원활하게 회전이 가능하게 된다.
여기서, 도 1에 도시한 바와 같이 웜 휠(130)은 복수의 핀(160)으로 이루어지며, 복수의 핀(130)은 크로스 롤러 베어링(150)의 외주면에 그 원주 방향을 따라 서로 이격되게 마련된다. 즉, 크로스 롤러 베어링(150)과 복수의 핀(160), 즉 웜 휠(130)은 서로간에 일체로 결합되어 동시에 회전 가능하게 된다.
부연하자면, 본 발명에서는, 크로스 롤러 베어링(150)의 외주면에 웜 휠(130), 즉 복수의 핀(160)이 상기 베어링의 원주 방향을 따라 서로 이격되게 복수로 마련되어 있으며, 여기서 웜 휠(130)과 크로스 롤러 베어링(150)은 일체로 결합된다.
한편, 웜 휠(130)의 상부에는 워킹 플레이트(140)가 스크루 결합 또는 클램프 결합 등의 방식을 통해 결합 가능하며 따라서 웜 휠(130)의 회전시에 워킹 플레이트(140)는 연동하여 회전하게 된다. 본 발명에서, 웜 휠(130)은 복수의 핀(160)으로 이루어지며, 후술하는 웜(240)은 복수의 핀(160) 사이 공간에 이 결합을 통해 회전이 이루어진다. 이하에서는, 복수의 핀(160) 결합체를 웜 휠(130)로 하여 설명한다.
다음, 테이블 구동부(200)는 웜 휠(130), 즉 복수의 핀(160)을 회전 및 회전 정지하도록 구동력을 제공하게 되며 웜 휠(130)의 회전 정지시에는 웜 휠(130)이 설정된 위치(각도만큼 회전한 상태)에 보다 정확하게 정지하도록 위치를 제어하게 된다.
도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 테이블 구동부(200)는, 구동모터(210)와, 구동모터(210)와 커플러(220)를 통해 연결된 틸팅 회전축(230)에 결합되며 웜 휠(130)과 맞물림되어 웜 휠(130)에 회전력을 제공하는 웜(240)과, 틸팅 회전축(230)의 단부에 마련되어 웜(240)의 회전 정지시 틸팅 회전축(230)을 틸팅시켜 웜(240)을 웜 휠(130) 측으로 탄성적으로 가압하는 백래쉬 방지부(250)를 포함한다. 여기서, 웜(240)은 통상적인 웜 기어를 의미하며 이하에서는 웜으로 사용하기로 한다.
구동모터(210)는 베드(110)상에 고정 설치되며, 구동모터(210)의 회전축과 틸팅 회전축(230) 사이에는 축 결합수단으로서 커플러(220)가 결합되어 있다. 또한, 틸팅 회전축(230)에는 웜 휠(130)과 맞물림 결합 가능한 웜(240)이 고정 설치되어 있다. 따라서, 구동모터(210)의 회전시 틸팅 회전축(230)과 웜(240)은 동시에 회전이 가능하게 된다. 여기서, 틸팅 회전축(230)은 커플러(220)에 의해 구동모터(210)와 연결됨으로써, 커플러(220)의 설계 규격에 따라 일정 이상 틸팅이 가능하게 된다.
백래쉬 방지부(250)는 웜(240)의 회전 정지시 틸팅 회전축(230)을 틸팅시켜 웜(240)을 웜 휠(130) 측으로 탄성적으로 가압함으로써 웜(240)의 기어 이와 웜 휠(130), 즉 복수의 핀(160) 사이의 간극을 보다 감소시켜 웜(240)과 웜 휠(130)이 타이트하게 결합하도록 한다.(서로간의 간극이 감소한 상태) 부연하자면, 웜(240)의 구동에 의해 웜 휠(130)이 회전하는 동안에는 웜(240)의 기어 이와 웜 휠(130)의 사이에는 일정 이상의 간극이 형성된다. 그러나, 이러한 간극은 웜과 웜 휠의 회전을 용이하게 하지만, 웜 휠(130)의 회전 정지시에는 웜 휠(130)의 회전 관성력과 이러한 간극에 의해 더욱 정확한 위치에서 웜 휠(130)의 회전을 정지시키기 어렵게 된다. 본 발명은, 웜(240)의 회전 정지시 웜(240)을 웜 휠(130)측으로 탄성적으로 가압하여 각각의 사이 간극을 보다 감소시켜 즉 백래쉬 발생을 방지하면서 웜 휠(130)을 정확한 위치와 시점에 회전 정지시킬 수 있게 된다.
도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 백래쉬 방지부(250)는, 틸팅 회전축(230)에 결합되어 틸팅 회전축(230)의 회전을 지지하는 베어링 하우징(251)과, 베어링 하우징(251)을 웜 휠(130) 측으로 탄성적으로 가압하는 탄성 가압부(255)를 포함한다. 여기서, 베어링 하우징(251)은 틸팅 회전축(230)을 회전 지지하기 위한 베어링을 포함한다.
본 발명에서, 도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 탄성 가압부(255)는, 베드(110) 상에 고정되게 마련되는 가압 고정체(256)와, 가압 고정체(256)와 베어링 하우징(251) 사이에 개재되는 탄성부재(257)를 포함한다.
가압 고정체(256)는 예를 들어 볼트, 핀 등의 다양한 구조로 적용 가능하며, 일단은 베어링 하우징(251)에 접촉하도록 마련되는 것이 바람직하다. 또한, 탄성부재(257)는 가압 고정체(256)와 베어링 하우징(251) 사이에 개재되어 항시 베어링 하우징(251)을 웜 휠(130) 측으로 가압하도록 탄성 가압력을 제공하게 되며, 일 예로 스프링 구조로 적용되거나 고무, 에폭시 등의 재질로 이루어질 수 있다. 즉, 웜(240)의 구동에 의해 웜 휠(130)이 회전하는 동안(즉, 복수의 핀과 크로스 롤러 베어링이 동시에 회전)에는 각각의 사이 간극에 의해(회전이 이루어지는 동안에는 일정 이상의 간극이 필요함) 틸팅 회전축(230) 및 베어링 하우징(251)이 웜 휠(130)로부터 일정 이상 이격된 위치에 오게 된다. 이와 달리, 도 6에 도시한 바와 같이, 웜(240)의 구동 정지에 의해 웜 휠(130)이 회전 정지하게 되면 탄성부재(257)가 베어링 하우징(251)을 웜 휠(130) 측으로 가압하여 이동시킴으로 각각의 기어 사이 간극(웜과 복수의 핀 사이의 간극)이 보다 감소하게 되며 이에 따라 웜 휠(130)과 웜(240)이 서로 간에 타이트하게 이맞물림되어 웜 휠(130)의 회전 정지가 정확한 위치에서 신속하게 이루어질 수 있다. 여기서, 베어링 하우징(251)의 웜 휠(130) 측으로의 이동 거리는 대략 수 마이크로 미터 범위에 있다.
그러나, 이에 한정되지 않으며, 탄성 가압부(255)는 실린더를 포함하여 이루어질 수 있으며, 이때 실린더 로드는 베어링 하우징(251)에 접촉하는 상태가 되고 실린더에는 베어링 하우징(251)을 설정 거리만큼 이동시킬 정도로 미리 계산된 양이 공압 또는 유압이 공급되도록 할 수도 있다.
한편, 본 발명의 실시예에서는, 베어링 하우징(251)의 웜 휠(130) 측으로의 접근 및 이격 운동을 가이드하기 위한 구조가 더 마련된다.
구체적으로, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 베드(110) 상에는 베어링 하우징(251)의 슬라이드 이동을 가이드하는 가이드부(252)가 마련되고 베어링 하우징(251) 및 가이드부(252)에는 각각 가이드홈(253) 및 가이드 돌기(254) 구조가 마련될 수 있다.
예를 들어, 가이드부(252)는 대략 'ㄱ'자 구조를 가지며 서로 이격되게 마련된 한 쌍의 가이더를 포함하며, 베어링 하우징(251)에는 가이드부(252)를 따라 슬라이드 이동 가능하도록 가이드 돌기(254)가 마련될 수 있다. 따라서, 가이드 돌기(254)와 가이드부(252)의 가이드홈(253) 구조를 통해 베어링 하우징(251)은 직선 왕복 이동을 효율적으로 가이드할 수 있게 된다. 그러나, 전술한 구조에 한정되지 않으며, 베어링 하우징(251)에 가이드홈이 마련되고 가이드부(252)에 가이드 돌기가 마련될 수도 있다.
본 발명의 실시예에서, 도 3 및 도 5에 도시한 바와 같이, 테이블 구동부(200)는, 웜(240)과 커플러(220) 사이의 틸팅 회전축(230)에 결합되되, 틸팅 회전축(230)의 틸팅 구동시 웜 휠(130) 측으로의 접근이 제한되는 틸팅 보조부(260)를 더 포함한다.
이러한 틸팅 보조부(260)는 전술한 베어링 하우징(251)의 웜 휠(130) 측으로의 접근에 따른 웜(240)과 웜 휠(130)의 결합 상태 변환을 보조하기 위한 것으로서, 예를 들면 틸팅 보조부(260)가 마련되지 않는 경우, 틸팅 회전축(230)의 틸팅 기준점은 커플러(220)와 연결되는 부분에 형성되는데 이러한 경우 틸팅 가압력이 작용하는 부위와 틸팅 회전 기준점과의 사이 거리가 증가함에 따라 틸팅 각도 조절 및 유지가 일부 어려운 상황이 발생할 수도 있다.
본 발명은, 틸팅 가압력이 작용하는 부위와 틸팅 회전 기준점과의 사이 거리를 보다 감소시켜 틸팅 회전축(230)의 틸팅 각도 조절 및 유지를 보다 효율적으로 할 수 있도록 틸팅 보조부(260)를 더 포함한다.
도 3 및 도 5에 도시한 바와 같이, 틸팅 보조부(260)는, 틸팅 회전축(230)에 결합되어 틸팅 회전축(230)의 회전을 지지하는 보조 베어링 하우징(261)과, 베드(110)와 보조 베어링 하우징(261) 사이에 개재되어 틸팅 회전축(230)의 틸팅 구동시 보조 베어링 하우징(261)을 회전시킴과 더불어 웜 휠(130) 측으로의 보조 베어링 하우징(261) 접근을 제한 가능한 회동핀부(262)를 더 포함한다.
보조 베어링 하우징(261)은 마찬가지로 틸팅 회전축(230)을 회전 지지하기 위한 베어링을 포함한다. 회동핀부(262)는 보조 베어링 하우징(261)을 베드(110) 상에 회전만 가능하게 하고 웜 휠(130) 측으로의 접근은 불가하도록 고정하게 된다.
따라서, 웜(240) 구동이 정지하여 탄성부재(257)가 베어링 하우징(251)을 웜 휠(130)측으로 가압하여 웜(240)과 웜 휠(130) 간에 타이트한 이 결합이 이루어질 때, 보조 베어링 하우징(261)은 틸팅 회전축(230)의 틸팅 각도와 대응하도록 베드(110) 상에 회전만 하게 될 뿐 웜 휠(130) 측으로의 접근은 제한된다.
이러한 구조를 통해, 틸팅 회전축(230)이 틸팅 회전할 때 커플러(220)와 틸팅 회전축(230)의 단부(베어링 하우징이 마련된 부분) 사이에 보조 베어링 하우징(261)이 추가됨으로써 틸팅 회전축(230)의 회전 각 조절 및 유지가 보다 수월하게 된다.
정리하자면, 본 발명은, 테이블 구동부(200)가 백래쉬 방지부(250) 및 틸팅 보조부(260)를 포함함으로써 틸팅 회전축(230)의 틸팅 회전 조절 및 유지를 보다 수월하게 할 뿐만 아니라 웜 휠(130)의 회전 정지 위치를 정확하게 제어하여 작업 대상체의 작업 효율을 증대시킬 수 있게 된다.
본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.
100: 로딩 테이블 120: 고정링
130: 웜 휠 150: 크로스 롤러 베어링
160: 핀 200: 테이블 구동부
220: 커플러 230: 틸팅 회전축
250: 백래쉬 방지부 252: 가이드부
255: 탄성가압부 256: 가압 고정체
257: 탄성부재 260: 틸팅 보조부
261: 보조 베어링 하우징 262: 회동핀부

Claims (9)

  1. 작업 대상체를 로딩하여 회전시키는 것이 가능한 로딩 테이블; 및
    상기 로딩 테이블의 일부를 회전 및 정지시키도록 구동력을 제공함과 더불어 상기 로딩 테이블의 회전 정지시 상기 로딩 테이블이 설정된 위치에서 정지하도록 상기 로딩 테이블 측으로 탄성적인 가압력을 제공하는 테이블 구동부를 포함하고,
    상기 로딩 테이블은,
    베드 상에 고정되게 설치되는 고정링;
    상기 고정링에 대해 회전 가능하도록 상기 고정링의 외주면을 감싸도록 이루어지는 웜 휠;
    상기 웜 휠의 상부에 고정되어 상기 작업 대상체가 로딩되도록 로딩 영역을 제공하며 상기 웜 휠의 회전시 동시에 회전하는 워킹 플레이트; 및
    상기 고정링과 상기 웜 휠 사이에 상기 고정링의 원주 방향을 따라 이격되게 마련되는 크로스 롤러 베어링을 포함하며,
    상기 테이블 구동부는,
    구동모터;
    상기 구동모터와 커플러를 통해 연결된 틸팅 회전축에 결합되며 상기 웜 휠과 맞물림되어 상기 웜 휠에 회전력을 제공하는 웜; 및
    상기 틸팅 회전축의 단부에 마련되어 상기 웜의 회전 정지시 상기 틸팅 회전축을 틸팅시켜 상기 웜을 상기 웜 휠 측으로 탄성적으로 가압하는 백래쉬 방지부를 포함하되,
    상기 백래쉬 방지부는,
    상기 틸팅 회전축에 결합되어 상기 틸팅 회전축의 회전을 지지하는 베어링 하우징; 및
    상기 베어링 하우징을 상기 웜 휠 측으로 탄성적으로 가압하는 탄성 가압부를 포함하는 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 베드 상에는 상기 베어링 하우징의 슬라이드 이동을 가이드하는 가이드부가 마련되고 상기 베어링 하우징 및 상기 가이드부에는 각각 가이드홈 및 가이드 돌기 구조가 마련되는 것을 특징으로 하는 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 탄성 가압부는,
    상기 베드 상에 고정되게 마련되는 가압 고정체; 및
    상기 가압 고정체와 상기 베어링 하우징 사이에 개재되는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 백래쉬 방지 구조를 갖는 인덱스 테이블.
  8. 삭제
  9. 삭제
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