KR101436294B1

KR101436294B1 - 전극패턴 검사장치 및 이를 포함하는 전극패턴 검사장치 시스템

Info

Publication number: KR101436294B1
Application number: KR1020130120421A
Authority: KR
Inventors: 박준희; 조현민; 이승기
Original assignee: 로체 시스템즈(주)
Priority date: 2013-10-10
Filing date: 2013-10-10
Publication date: 2014-09-03

Abstract

전극패턴 검사장치는 프로브부, 연결매개부, 프로브부 수용부, 연결매개부 장착부 및 조절부를 포함한다. 프로브부는 전극패턴의 연결상태를 검사하는 프로브를 포함하고, 연결매개부는 프로브와 외부와의 전기적 연결을 매개하는 매개유닛을 포함한다. 프로브부 수용부는 프로브부가 탈착 가능하도록 프로브부를 수용한다. 연결매개부 장착부는 연결매개부가 장착되며, 매개유닛이 프로브와 대향하도록 프로브 수용부와 대향하여 배치된다. 조절부는 적어도 프로브부 수용부 및 연결매개부 장착부 사이에 배치되어서, 외력이 작용함에 따라 프로브부 수용부 및 연결매개부 장착부 사이의 이격 간격을 조절하여 프로브 및 매개유닛을 전기적으로 접촉 및 분리시킨다. 이에 따라, 프로브 교체 시간을 단축시키고, 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있으며, 세팅을 다시 하는 번거로움을 방지할 수 있다.

Description

전극패턴 검사장치 및 이를 포함하는 전극패턴 검사장치 시스템{ELECTRODE PATTERN INSPECTING APPARATUS AND ELECTRODE PATTERN INSPECTING APPARATUS SYSTEM HAVING THE SAME}

본 발명은 전극패턴 검사장치 및 이를 갖는 전극패턴 검사장치 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로브를 용이하게 교체할 수 있는 전극패턴 검사장치 및 이를 갖는 전극패턴 검사장치 시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 디스플레이(flat panel display, FPD)와 같은 장치의 패널에는 전극 패턴이 형성되어 있다. 이러한 전극패턴은 이를 형성하는 공정이나 형성 후 열처리 등과 같은 제조공정 중에서 패턴라인이 끊어지거나(open) 인접한 선과 연결되는(short) 경우가 빈번히 발생한다.

따라서, 상기 전극패턴의 단락여부를 제조공정의 중간에 검사하는 것이 완성품의 수율을 높이기 위해서는 필요한 공정이 되며, 이를 위해 전극패턴 검사장치가 사용된다. 상기 전극패턴 검사장치는 전극패턴 검사를 위한 프로브를 포함하며, 상기 프로브는 일정 검사를 수행한 후에는 마모 등의 이유로 교체가 필요하다.

종래에는 상기 프로브를 볼트-너트와 같은 체결수단을 이용하여 상기 전극패턴 검사장치에 결합하는 등의 기구적인 조립 방식을 채용해 왔다. 그러나, 이와 같은 결합 방식에 의할 때, 결합된 상기 프로브를 교체하기 위해서는 나사와 같은 체결수단을 일일이 체결해제를 한 후 교체하여야 하므로, 교체 시간이 많이 소요되고 작업자가 교체 작업을 수행함에 용이하지 않다. 또한, 세팅(setting)의 일관성을 훼손하여 세팅을 새로 해야 하는 등의 추가적인 문제가 발생하고, 이에 따라 유지보수(maintenance) 시간이 길어지는 문제가 있다.

따라서, 교체 시간을 감소시키고 보다 작업자가 용이하게 교체를 수행할 수 있으며, 세팅의 일관성을 유지할 수 있는 방안이 요청된다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 교체 시간을 감소시키고, 작업자가 보다 용이하게 교체를 수행할 수 있으며, 세팅의 일관성을 유지할 수 있는 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 교체 시간을 감소시키고, 작업자가 보다 용이하게 교체를 수행할 수 있으며, 세팅의 일관성을 유지할 수 있는 전극패턴 검사장치 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 전극패턴 검사장치는 프로브부, 연결매개부, 프로브(probe)부 수용부, 연결매개부 장착부 및 조절부를 포함한다. 상기 프로브부는 전극패턴의 연결상태를 검사하는 프로브를 포함한다. 상기 연결매개부는 상기 프로브와 외부와의 전기적 연결을 매개하는 매개유닛을 포함한다. 상기 프로브부 수용부는 상기 프로브부가 탈착 가능하도록 상기 프로브부를 수용한다. 상기 연결매개부 장착부는 상기 연결매개부가 장착되며, 상기 매개유닛이 상기 프로브와 대향하도록 상기 프로브 수용부와 대향하여 배치된다. 상기 조절부는 적어도 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부 사이에 배치되어서, 외력이 작용함에 따라 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부 사이의 이격 간격을 조절하여 상기 프로브 및 상기 매개유닛을 전기적으로 접촉 및 분리시킨다.

일 실시예로, 상기 조절부는, 쐐기 형상을 가지며 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부 사이에 삽입되고, 서로 대향하도록 배치되어 상기 외력을 제공받는 제1 및 제2 조절블록들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부의 대향하는 면들은, 상기 제1 및 제2 조절블록들에 상기 외력이 작용될 때 상기 외력이 전달되도록 각각 상기 제1 및 제2 조절블록들의 쐐기 형상에 대응하는 쐐기 형상을 가질 수 있다. 상기 전극패턴 검사장치는, 상기 제1 및 제2 조절블록들 사이에 배치되며, 상기 외력이 작용할 때 수축되고 상기 외력이 제거될 때 복원되는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.

일 실시예로, 상기 프로브부는 상기 프로브가 결합되는 프로브블록을 더 포함할 수 있다. 상기 프로브부 수용부는, 상기 프로브블록을 수용하는 적어도 하나의 수용홈 또는 수용홀이 형성된 제1 바디(body) 및 상기 제1 바디로부터 쐐기 형상으로 돌출된 제1 돌출블록을 포함할 수 있다. 상기 연결매개부 장착부는, 상기 연결매개부가 장착된 제2 바디 및 상기 제2 바디로부터 쐐기 형상으로 돌출되며, 상기 제1 돌출블록과 대향하는 제2 돌출블록을 포함할 수 있다. 상기 제2 바디의 하면에는 제1 요철이 형성될 수 있고, 상기 프로브블록의 상면에는 상기 제1 요철과 대응하는 제2 요철이 형성될 수 있다. 상기 조절부는, 상기 제1 돌출블록 및 상기 제2 돌출블록 사이의 일측에 배치되며, 상기 제1 돌출블록 및 상기 제2 돌출블록의 서로 마주보는 일면들 사이에 배치된 쐐기 형상의 제1 조절블록 및 상기 제1 조절블록과 대향하여 상기 제1 돌출블록 및 상기 제2 돌출블록 사이의 타측에 배치되며, 상기 제1 돌출블록 및 상기 제2 돌출블록의 서로 마주보는 타면들 사이에 배치된 쐐기 형상의 제2 조절블록을 포함할 수 있다.

일 실시예로, 상기 전극패턴 검사장치는, 상기 프로브부 수용부와 결합되며, 상기 외력이 작용함에 따라 상기 연결매개부 장착부가 상하로 이동되도록 가이드하는 가이드부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 전극패턴 검사장치 시스템은 제1 및 제2 전극패턴 검사장치들 및 이송장치를 포함한다. 상기 제1 및 제2 전극패턴 검사장치들은 각각 전극패턴의 연결상태를 검사하고 상기 전극패턴에 대해 경사지게 배치된 프로브를 포함하는 프로브부, 상기 프로브와 외부와의 전기적 연결을 매개하는 매개유닛을 포함하는 연결매개부, 상기 프로브부가 탈착 가능하도록 상기 프로브부를 수용하는 프로브부 수용부, 상기 연결매개부가 장착되며, 상기 매개유닛이 상기 프로브와 대향하도록 상기 프로브 수용부와 대향하여 배치된 연결매개부 장착부, 및 적어도 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부 사이에 배치되어서, 외력이 작용함에 따라 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부 사이의 이격 간격을 조절하여 상기 프로브 및 상기 매개유닛이 전기적으로 접촉 및 분리시키는 조절부를 포함한다. 상기 제1 및 제2 전극패턴 검사장치들은 서로 반대 방향으로 배치된다. 상기 이송장치는 상기 제1 전극패턴 검사장치를 상기 제1 전극패턴 검사장치의 프로브의 경사진 방향인 제1 방향으로 이송하고, 상기 제2 전극패턴 검사장치를 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이송한다. 상기 제1 전극패턴 검사장치가 상기 제1 방향으로 이송되는 동안 상기 제1 전극패턴 검사장치는 검사를 수행하고, 상기 제2 전극패턴 검사장치가 상기 제2 방향으로 이송되는 동안 상기 제2 전극패턴 검사장치는 검사를 수행한다.

본 발명에 따르면, 프로브가 수용된 프로브부 수용부 및 매개유닛이 장착된 연결매개부 장착부 사이에 배치되어 외부에서 작용하는 외력에 따라 프로브와 매개유닛을 전기적으로 접촉 및 분리시키도록 함으로써, 원-터치 방식에 의해 용이하게 상기 프로브를 교체할 수 있다.

즉, 기구적인 조립방식 대신 상기 프로브가 장착된 프로브블록으로 모듈화하여 모듈화된 프로브부를 일체로 교체하는 원-터치 방식을 채용함으로써, 용이하게 상기 프로브를 교체할 수 있어 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있고, 프로브 교체 시간을 감소시킬 수 있으며, 세팅을 다시 하는 번거로움을 방지할 수 있으므로, 수율을 크게 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부의 돌출블록들과 조절블록들이 사방에서 중심을 향하여 폭이 좁아지는 서로 대응하는 쐐기 형상을 가지는 경우, 보다 용이하게 상기 접촉 및 분리 작업이 수행될 수 있다.

또한, 상기 조절블록들 사이에 탄성부재를 배치시키는 경우, 상기 외력이 작용할 때 수축되고 상기 외력이 제거될 때 자동적으로 복원되므로 상기 조절블록들의 동작을 효과적으로 수행할 수 있다.

또한, 프로브가 장착된 프로브블록의 상면과 이에 대응하는 상기 연결매개부 장착부의 하면에 서로 대응하는 요철들이 각각 형성되는 경우, 상기 프로브블록이 상기 전극패턴 검사장치에 보다 견고하게 안착될 수 있다.

또한, 실제 검사를 위하여 양방향에서 전극패턴 검사장치들을 배치시켜 서로 다른 방향으로 이송하며 작업을 수행하는 경우, 작업자로부터 원거리에 위치한 전극패턴 검사장치의 프로브도 단순히 손을 뻗어 조절블록들을 양쪽에서 눌러 주기만 함으로써 용이하게 프로브를 교체할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 전극패턴 검사장치를 나타낸 사시도이다.
도 2 내지 도 4는 도 1의 전극패턴 검사장치의 동작을 구체적으로 설명하기 위한 사시도들이다.
도 5 내지 도 7은 각각 도 2 내지 도 4의 제1 및 제2 조절블록들과 제1 및 제2 돌출블록들을 나타낸 단면도들이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 전극패턴 검사장치 시스템을 나타낸 개념도이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 전극패턴 검사장치를 나타낸 사시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전극패턴 검사장치(100)는 프로브부(110), 연결매개부(120), 프로브부 수용부(130), 연결매개부 장착부(140) 및 조절부(150)를 포함한다.

상기 프로브부(110)는 프로브(112) 및 프로브블록(114)을 포함할 수 있다.

상기 프로브(112)는 검사대상이 되는 전극패턴의 연결상태를 검사한다. 상기 전극패턴은, 예를 들면, 평판디스플레이(flat panel display, FPD)에서 패턴화된 데이터 라인(data line)과 게이트 라인(gate line)과 같은 신호전달 패턴을 포함할 수 있다. 상기 프로브(112)는 상기 전극패턴의 쇼트(short)와 같은 불량여부를 검사할 수 있다.

상기 프로브블록(114)에는 상기 프로브(112)가 결합된다. 상기 프로브블록(114)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 경사면을 갖는 블록 형태로 형성될 수 있고, 상기 프로브(112)는 상기 경사면 상에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 전극패턴 검사장치(100)가 전극패턴을 검사하기 위하여 외부로부터 제공되는 이송장치에 의해 상기 프로브(112)가 경사진 방향으로 이송됨으로써, 검사가 원활히 수행될 수 있고 상기 프로브(112)의 마모 등이 방지될 수 있다. 상기 프로브블록(114)은 후술되는 상기 프로브부 수용부(130)에 수용될 수 있다.

상기 연결매개부(120)는 매개유닛(122) 및 매개블록(124)을 포함할 수 있다. 상기 매개유닛(122)은 상기 프로브(112)와 외부와의 전기적 연결을 매개한다. 구체적으로, 상기 매개유닛(122)의 일단은 각각 상기 프로브(112)에 접촉할 수 있고, 상기 매개유닛(122)의 타단은 외부로부터 제공되는 장치에 전기적으로 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 프로브(112)에서 획득된 전기적 신호는 상기 매개유닛(122)을 통하여 외부 장치에 전달될 수 있다.

상기 매개블록(124)에는 상기 매개유닛(122)이 결합된다. 예를 들면, 상기 매개유닛(122)은 상기 매개블록(124)을 관통하여 설치될 수 있고, 상기 매개블록(124)은 후술되는 상기 연결매개부 장착부(140)에 장착될 수 있다.

상기 프로브부 수용부(130)는 상기 프로브부(110)가 탈착 가능하도록 상기 프로브부(110)를 수용한다. 일 실시예로, 상기 프로브부 수용부(130)는 제1 바디(body)(132) 및 제1 돌출블록(134)을 포함할 수 있다.

상기 제1 바디(132)는, 일 예로 도 1에 도시된 바와 같이, 플레이트(plate) 형상을 가질 수 있다. 상기 제1 바디(132)에는 상기 프로브블록(114)을 수용하는 적어도 하나의 수용홈 또는 수용홀이 형성될 수 있다. 즉, 상기 플레이트 형상의 전단부에는 상기 프로브블록(114)을 수용하기 위한 홈 및 홀(hole)이 어느 하나 또는 모두 형성될 수 있으며, 상기 전단에서 상기 프로브블록(114)의 일부를 상기 홈이나 홀에 삽입할 수 있다. 일 예로 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제1 바디(132)에는 하나의 수용홈(RG)과 하나의 수용홀(RH)이 형성될 수 있다.

상기 제1 돌출블록(134)은 상기 제1 바디(132)로부터 쐐기 형상으로 돌출될 수 있다. 일 예로 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제1 돌출블록(134)은 상기 제1 바디(132)의 후단부에서 상방 돌출될 수 있다.

상기 연결매개부 장착부(140)에는 상기 연결매개부(120)가 장착되며, 상기 매개유닛(122)이 상기 프로브(112)와 대향하도록 상기 프로브(112) 수용부와 대향하여 배치된다.

일 실시예로, 상기 연결매개부 장착부(140)는 제2 바디(142) 및 제2 돌출블록(144)을 포함할 수 있다.

상기 제2 바디(142)는, 일 예로 도 1에 도시된 바와 같이, 꺾인 플레이트 형상을 가질 수 있다. 상기 제2 바디(142)에는 상기 연결매개부(120)가 장착된다. 예를 들면, 상기 연결매개부(120)는 상기 제2 바디(142)의 전단부에 장착될 수 있으며, 상기 프로브부(110)에 대응하도록 장착될 수 있다.

상기 제2 돌출블록(144, 도 5 내지 7 참조)은 상기 제2 바디(142)로부터 쐐기 형상으로 돌출되며, 상기 제1 돌출블록(134)과 대향한다(도 5 내지 7 참조). 일 예로, 상기 제2 돌출블록(144)은 상기 제2 바디(142)의 후단부에서 하방 돌출될 수 있다(도 5 내지 7 참조).

일 실시예로, 상기 제2 바디(142)의 하면에는 제1 요철이 형성될 수 있고, 상기 프로브블록(114)의 상면에는 상기 제1 요철과 대응하는 제2 요철이 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 바디(142)의 전단부의 하면에는 상기 제1 요철이 형성될 수 있고, 상기 프로브블록(114)의 후단부의 상면에는 상기 제2 요철이 형성될 수 있다. 상기 제1 및 제2 요철들은 서로 대응되는 요철 형상을 가져서, 상기 연결매개부 장착부(140)가 하방으로 이동하여 상기 프로브(112)와 상기 매개 유닛(122)이 전기적으로 접속될 때, 상기 제1 및 제2 요철들이 서로 대응하여 접합함으로써, 상기 프로브(112)가 정확한 위치에 안정적으로 고정될 수 있다.

상기 조절부(150)는 적어도 상기 프로브부 수용부(130) 및 상기 연결매개부 장착부(140) 사이에 배치되어서, 외력이 작용함에 따라 상기 프로브부 수용부(130) 및 상기 연결매개부 장착부(140) 사이의 이격 간격을 조절하여 상기 프로브(112) 및 상기 매개유닛(122)을 전기적으로 접촉 및 분리시킨다. 예를 들면, 상기 외력이 작용할 때, 상기 연결매개부 장착부(140)가 상방으로 이동하여, 상기 프로브(112) 및 상기 매개유닛(122)을 전기적으로 분리시키고, 상기 외력이 제거될 때, 상기 연결매개부 장착부(140)가 하방으로 이동하여 상기 프로브(112) 및 상기 매개유닛(122)을 전기적으로 접촉시킬 수 있다.

일 실시예로, 상기 조절부(150)는 제1 조절블록(152) 및 제2 조절블록(154)을 포함할 수 있다.

상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)은 쐐기 형상을 가지며, 상기 외력을 제공받을 수 있다. 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)은 상기 프로브부 수용부(130) 및 상기 연결매개부 장착부(140) 사이에 삽입될 수 있고, 서로 대향하도록 배치될 수 있다.

상기 제1 조절블록(152)은 상기 제1 돌출블록(134) 및 상기 제2 돌출블록(144) 사이의 일측, 예를 들면 도 1에서 좌측에 배치될 수 있으며, 상기 제1 돌출블록(134) 및 상기 제2 돌출블록(144)의 서로 마주보는 일면들, 예를 들면 상기 제1 돌출블록(134)의 좌측면 및 상기 제2 돌출블록(144)의 좌측면 사이에 배치될 수 있다(도 5 내지 도 7 참조).

상기 제2 조절블록(154)은 상기 제1 조절블록(152)과 대향하여 상기 제1 돌출블록(134) 및 상기 제2 돌출블록(144) 사이의 타측, 예를 들면 도 1에서 우측에 배치될 수 있으며, 상기 제1 돌출블록(134) 및 상기 제2 돌출블록(144)의 서로 마주보는 타면들, 예를 들면 상기 제1 돌출블록(134)의 우측면 및 상기 제2 돌출블록(144)의 우측면 사이에 배치될 수 있다(도 5 내지 도 7 참조).

예를 들면, 상기 프로브부 수용부(130) 및 상기 연결매개부 장착부(140)의 쐐기 형상과 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)의 쐐기 형상은, 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)에 상기 외력이 작용될 때 상기 외력이 상기 프로브부 수용부(130) 및 상기 연결매개부 장착부(140)에 전달되도록, 서로 대응되게 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 프로브부 수용부(130) 및 상기 연결매개부 장착부(140)의 쐐기 형상과 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)의 쐐기 형상은, 서로 대응하는 면이 접촉되도록 형성될 수 있다.

상기 전극패턴 검사장치(100)는 상기 제1 및 제2 조절블록(154)들 사이에 배치된 탄성부재(도시되지 않음)를 더 포함할 수 있다. 상기 탄성부재는 상기 외력이 작용할 때 수축되고 상기 외력이 제거될 때 복원될 수 있다. 예를 들면, 상기 탄성부재는 스프링, 탄성블록 등을 포함할 수 있다.

상기 전극패턴 검사장치(100)는 가이드부(160)를 더 포함할 수 있다. 상기 가이드부(160)는 상기 프로브부 수용부(130)와 결합되며, 상기 외력이 작용함에 따라 상기 연결매개부 장착부(140)가 상하로 이동되도록 가이드할 수 있다.

일 실시예로, 상기 가이드부(160) 고정블록(162) 및 상기 고정블록에 장착된 실린더(164)를 포함할 수 있다.

상기 고정블록(162)은 상기 실린더(164)를 통해 상기 프로브부 수용부(130)와 결합되어 고정된다. 상기 연결매개부 장착부(140)의 후단부에는 상기 실린더(164)가 관통하도록 홀이 형성되며, 상기 연결매개부 장착부(140)는 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)에 외력이 작용함에 따라 상하로 이동된다. 이에 따라, 상기 실린더(164)는 상기 연결매개부 장착부(140)의 상하 이동을 가이드할 수 있다.

이하, 상술한 구성을 갖는 전극패턴 검사장치(100)의 동작의 일 예를 도면을 참조로 보다 상세하게 설명한다.

도 2 내지 도 4는 도 1의 전극패턴 검사장치의 동작을 구체적으로 설명하기 위한 사시도들이고, 도 5 내지 도 7은 각각 도 2 내지 도 4의 제1 및 제2 조절블록들과 제1 및 제2 돌출블록들을 나타낸 단면도들이다.

도 2 및 도 5를 참조하면, 먼저 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)에 외력이 화살표 방향으로 작용할 때, 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)은 서로 마주보며 상기 제1 및 제2 돌출블록들(134, 144)의 경사면을 따라 화살표 방향과 같이 중심방향으로 이동한다. 이에 따라, 상기 연결매개부 장착부(140)는 상방으로 이동한다.

도 3 및 도 6을 참조하면, 상기 연결매개부 장착부(140)는 상방으로 이동한 상태에서, 상기 프로브(112)가 장착된 상기 프로브블록(114)을 상기 수용홈(RG) 및 상기 수용홀(RH)에 대응되도록 장착할 수 있다.

도 4 및 도 7을 참조하면, 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)에 외력이 제거될 때, 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)은 상기 제1 및 제2 돌출블록들(134, 144)의 경사면을 따라 화살표 방향과 같이 중심 반대방향으로 이동한다. 이 경우, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154) 사이에 탄성부재가 구비된 경우, 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)은 보다 용이하게 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 연결매개부 장착부(140)는 하방으로 이동하여 상기 매개유닛(122)이 상기 프로브(112)와 전기적으로 접촉될 수 있다.

이와 같은 과정이 완료되면, 상기 전극패턴 검사장치(100)를 이용하여 전극패턴의 검사를 실시할 수 있다. 이어서, 상기 프로브(112)를 교체할 때에는, 다시 도 2 및 도 5에서와 같이, 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)에 외력을 화살표 방향으로 작용하여, 상기 매개유닛(122)을 상기 프로브(112)와 전기적으로 분리시키고, 상기 프로브(112)가 장착된 상기 프로브블록(114)을 상기 수용홈(RG) 및 상기 수용홀(RH)로부터 제거할 수 있다.

이와 같이, 상기 전극패턴 검사장치(100)는 상기 프로브(112)를 교체하는 경우, 상기 제1 및 제2 조절블록들(152, 154)에 예를 들면 엄지 손가락과 나머지 손가락을 이용하여 외력을 작용함으로써, 상기 매개유닛(122)을 상기 프로브(112)로부터 분리시킨 후, 이미 준비된 새로운 프로브(112)가 장착된 프로브블록(114)을 단순히 상기 수용홈(RG) 및 상기 수용홀(RH)에 올려 놓음으로써, 용이하게 상기 프로브부(110)를 교체할 수 있다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 전극패턴 검사장치 시스템을 나타낸 개념도이다.

도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전극패턴 검사장치 시스템(1000)은 제1 전극패턴 검사장치(100), 제2 전극패턴 검사장치(200) 및 이송장치(300)를 포함한다.

상기 제1 전극패턴 검사장치(100)는 도 1 내지 도 7에서 설명한 전극패턴 검사장치(100)와 실질적으로 동일하므로, 중복되는 상세한 설명은 생략한다.

상기 제2 전극패턴 검사장치(200)는 상기 제1 전극패턴 검사장치(100)와 실질적으로 동일하며, 검사대상물(10) 상에 배치된 전극패턴 검사를 위하여 상기 제1 전극패턴 검사장치(100)와 반대 방향으로 배치된다.

상기 이송장치(300)는 상기 제1 전극패턴 검사장치(100)를 상기 제1 전극패턴 검사장치(100)의 프로브의 경사진 방향인 제1 방향(D1)으로 이송하고, 상기 제2 전극패턴 검사장치(200)를 상기 제1 방향(D1)과 반대 방향인 제2 방향(D2)으로 이송한다.

상기 제1 전극패턴 검사장치(100)가 상기 제1 방향(D1)으로 이송되는 동안 상기 제1 전극패턴 검사장치(100)는 검사를 수행하고, 상기 제2 전극패턴 검사장치(200)가 상기 제2 방향(D2)으로 이송되는 동안 상기 제2 전극패턴 검사장치(200)는 검사를 수행한다.

상기와 같은 검사가 완료되면, 상기 제1 및 제2 전극패턴 검사장치들(100, 200)은 다시 초기 위치로 이송된다.

다음으로, 상기 제1 및 제2 전극패턴 검사장치들(100, 200)은 상기 제1 방향(D1) 및 상기 제2 방향(D2)에 수직인 방향으로 소정 거리만큼 이송되며, 상술한 이송 및 검사를 반복하여 수행한다.

상기와 같이 서로 반대되는 위치에 제1 및 제2 전극패턴 검사장치들(100, 200)이 위치하므로, 상기 프로브(112, 도 1 참조)가 장착된 프로브블록(114, 도 1 참조)을 교체하기에 매우 용이할 수 있다. 즉, 작업자가 어느 한 위치에서, 예를 들면 상기 제1 전극패턴 검사장치(100)의 인근에서 작업을 수행하는 경우, 인근에 위치한 상기 제1 전극패턴 검사장치(100)의 프로브를 용이하게 교체할 수 있을 뿐만 아니라, 반대편에 위치한 상기 제2 전극패턴 검사장치(200)의 프로브도 단순히 손만 뻗어 상기 제1 및 제2 조절블록들을 양쪽에서 눌러 주기만 함으로써 용이하게 프로브를 교체할 수 있다.

상기와 같은 전극패턴 검사장치에 따르면, 프로브가 수용된 프로브부 수용부 및 매개유닛이 장착된 연결매개부 장착부 사이에 배치되어 외부에서 작용하는 외력에 따라 프로브와 매개유닛을 전기적으로 접촉 및 분리시키도록 함으로써, 원-터치 방식에 의해 용이하게 상기 프로브를 교체할 수 있다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.　 따라서, 전술한 설명 및 아래의 도면은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아닌 본 발명을 예시하는 것으로 해석되어야 한다.

100, 200 : 전극패턴 검사장치 110 : 프로브부 수용부
120 : 연결매개부 130 : 프로브부 수용부
140 : 연결매개부 장착부 150 : 조절부
160 : 가이드부 300 : 이송장치
1000 : 전극패턴 검사장치 시스템

Claims

전극패턴의 연결상태를 검사하는 프로브(probe)를 포함하는 프로브부;
상기 프로브와 외부와의 전기적 연결을 매개하는 매개유닛을 포함하는 연결매개부;
상기 프로브부가 탈착 가능하도록 상기 프로브부를 수용하는 프로브부 수용부;
상기 연결매개부가 장착되며, 상기 매개유닛이 상기 프로브와 대향하도록 상기 프로브 수용부와 대향하여 배치된 연결매개부 장착부; 및
적어도 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부 사이에 배치되어서, 외력이 작용함에 따라 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부 사이의 이격 간격을 조절하여 상기 프로브 및 상기 매개유닛이 전기적으로 접촉 및 분리시키는 조절부를 포함하는 전극패턴 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 조절부는,
쐐기 형상을 가지며 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부 사이에 삽입되고, 서로 대향하도록 배치되어 상기 외력을 제공받는 제1 및 제2 조절블록들을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
제2항에 있어서,
상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부의 대향하는 면들은, 상기 제1 및 제2 조절블록들에 상기 외력이 작용될 때 상기 외력이 전달되도록 각각 상기 제1 및 제2 조절블록들의 쐐기 형상에 대응하는 쐐기 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
제2항에 있어서,
상기 제1 및 제2 조절블록들 사이에 배치되며, 상기 외력이 작용할 때 수축되고 상기 외력이 제거될 때 복원되는 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 프로브부는 상기 프로브가 결합되는 프로브블록을 더 포함하고,
상기 프로브부 수용부는,
상기 프로브블록을 수용하는 적어도 하나의 수용홈 또는 수용홀이 형성된 제1 바디(body); 및
상기 제1 바디로부터 쐐기 형상으로 돌출된 제1 돌출블록을 포함하고,
상기 연결매개부 장착부는,
상기 연결매개부가 장착된 제2 바디; 및
상기 제2 바디로부터 쐐기 형상으로 돌출되며, 상기 제1 돌출블록과 대향하는 제2 돌출블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
제5항에 있어서,
상기 제2 바디의 하면에는 제1 요철이 형성되고,
상기 프로브블록의 상면에는 상기 제1 요철과 대응하는 제2 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
제5항에 있어서,
상기 조절부는,
상기 제1 돌출블록 및 상기 제2 돌출블록 사이의 일측에 배치되며, 상기 제1 돌출블록 및 상기 제2 돌출블록의 서로 마주보는 일면들 사이에 배치된 쐐기 형상의 제1 조절블록; 및
상기 제1 조절블록과 대향하여 상기 제1 돌출블록 및 상기 제2 돌출블록 사이의 타측에 배치되며, 상기 제1 돌출블록 및 상기 제2 돌출블록의 서로 마주보는 타면들 사이에 배치된 쐐기 형상의 제2 조절블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 프로브부 수용부와 결합되며, 상기 외력이 작용함에 따라 상기 연결매개부 장착부가 상하로 이동되도록 가이드하는 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
전극패턴의 연결상태를 검사하고 상기 전극패턴에 대해 경사지게 배치된 프로브를 포함하는 프로브부, 상기 프로브와 외부와의 전기적 연결을 매개하는 매개유닛을 포함하는 연결매개부, 상기 프로브부가 탈착 가능하도록 상기 프로브부를 수용하는 프로브부 수용부, 상기 연결매개부가 장착되며, 상기 매개유닛이 상기 프로브와 대향하도록 상기 프로브 수용부와 대향하여 배치된 연결매개부 장착부, 및 적어도 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부 사이에 배치되어서, 외력이 작용함에 따라 상기 프로브부 수용부 및 상기 연결매개부 장착부 사이의 이격 간격을 조절하여 상기 프로브 및 상기 매개유닛이 전기적으로 접촉 및 분리시키는 조절부를 각각 포함하고, 서로 반대 방향으로 배치된 제1 및 제2 전극패턴 검사장치들; 및
상기 제1 전극패턴 검사장치를 상기 제1 전극패턴 검사장치의 프로브의 경사진 방향인 제1 방향으로 이송하고, 상기 제2 전극패턴 검사장치를 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이송하는 이송장치를 포함하고,
상기 제1 전극패턴 검사장치가 상기 제1 방향으로 이송되는 동안 상기 제1 전극패턴 검사장치는 검사를 수행하고, 상기 제2 전극패턴 검사장치가 상기 제2 방향으로 이송되는 동안 상기 제2 전극패턴 검사장치는 검사를 수행하는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치 시스템.