KR101432844B1 - 가장 잘 알려진 방법을 이용하여 레시피를 생성하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

프로세싱 시스템에서 기판을 프로세싱하는 레시피의 생성에 영향을 미치기 위한 방법. 이 방법은, 가장 잘 알려진 방법 구동형 레시피 편집기를 제공하는 단계를 포함한다. 가장 잘 알려진 방법 구동형 레시피 편집기는 가장 잘 알려진 방법 (BKM) 을 통합하고, BKM 은 레시피에 대한 최선의 실행 사양이다. 또한, 방법은 레시피에 대한 BKM 에 기초하는 복수의 BKM 모듈을 생성하는 단계를 포함한다. 방법은, 복수의 BKM 모듈에서 파라미터에 대한 규칙을 정의하는 단계를 더 포함한다. 이 규칙은 BKM 에 의해 전파된다. 방법은, BKM 규칙들의 가이드라인 내에서 파라미터에 대한 값을 입력하기 위해 가장 잘 알려진 방법 구동 레시피 편집기를 이용함으로써 BKM 구동형 레시피를 생성하는 단계를 더 포함한다.
Figure R1020097006376
프로세싱 시스템, 레시피, 레시피 편집기, BKM

Description

가장 잘 알려진 방법을 이용하여 레시피를 생성하기 위한 방법 및 장치{METHODS AND ARRANGEMENT FOR CREATING RECIPES USING BEST-KNOWN METHODS}
발명의 배경
플라즈마 및 세정 프로세싱에서의 발전은 반도체 산업의 성장을 촉진하고 있다. 플라즈마 프로세싱에서, 기판 프로세싱을 수행하기 위해 상이한 레시피 (recipe) 들이 이용될 수도 있다. 일반적으로, 레시피는 복잡하며 레시피에 관한 지식 뿐만 아니라 이 레시피를 실행하는 프로세싱 시스템 하드웨어에 관한 지식도 있는 프로세스 엔지니어와 같은 유저 (user) 를 필요로 한다. 전술된 바와 같이, 프로세싱 시스템은 플라즈마 프로세싱 시스템 및 세정 프로세싱 시스템을 포함할 수도 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
레시피를 생성하기 위해 통상적으로 이용될 수도 있는 방법은 LMS (large monolithic spreadsheet) 와 같은 태뷸러 (tabular) 문서 상으로 값들을 수동으로 입력하는 프로세스이다. LMS 는 값들을 입력하고 변경하는데 유연성을 유저에게 허용한다. 그러나, LMS 는 수집될 수도 있는 값들의 개수 면에서 과도하게 클 수도 있다. 통상적으로, 레시피는 약 50 개의 단계 (step) 를 포함할 수도 있다. 각 단계에 대해 약 250 개의 파라미터들 (예를 들어, 바이어스 전력, 상부 전력, 챔버 압력, 가스의 유형 등) 이 정의될 수도 있다. 또한, 각 파라미 터에 대해, 유저는 3 개의 값들: 설정포인트, 소프트 공차 (soft tolerance), 및 하드 공차 (hard tolerance) 를 입력해야 할 수도 있다. 따라서, 통상적인 레시피에 대해 약 30,000 내지 40,000 개의 값들이 유저에 의해 수동으로 입력되어야 할 수도 있다.
논의하기 위해, 도 1 은 수동의 태뷸러 레시피 문서를 이용하는 제조 환경의 간략화된 도면을 나타낸다. 레시피가 LMS (102) 상으로 입력된 후에, LMS (102) 는 경로 (108) 를 통해 프로세싱 시스템 하드웨어 (106) 를 제어할 수도 있는, 컴퓨터와 같은, 프로세스 제어 모듈 (PCM; 104) 상으로 업로딩된다. PCM (104) 은 경로 (110) 를 통해 LMS (102) 로부터 프로세싱 시스템 하드웨어 (106) 로 각 단계에 대한 파라미터들을 전송할 수도 있다. 프로세싱 시스템 하드웨어 (106) 는 LMS (102) 로부터의 파라미터들을 이용하여, 기판을 프로세싱할 수도 있다. 레시피 단계가 완료됨에 따라, 플라즈마 프로세싱 하드웨어 (106) 는 경로 (112) 를 통해 데이터 요청을 PCM (104) 으로 전송하여, 레시피의 다음 단계를 검색할 수도 있다.
LMS (102) 상의 데이터는 유저에 의해 수동으로 입력되기 때문에, 프로세스는 인간 에러를 일으키기 쉬울 수도 있다. 유저가 정확한 값이 제공되는 것을 확보하기 위해, 유저는 레시피 및 프로세싱 시스템 하드웨어에 관한 기술 및 지식을 프로세싱해야 할 수도 있다. 또한, 레시피의 생성에 있어서 유저가 제공해야만 할 수도 있는 하는 압도적인 개수의 값들은 잘못된 값들이 입력되는 기회를 제공할 수도 있다. 또한, LMS (102) 는, 유저 또는 그 외의 사람들이 파라미터 를 추가 또는 삭제할 수 있는 것으로부터 보호되지 않을 수도 있다. 따라서, 유저는 비용적으로 기판 낭비를 야기하는 에러가 있는 데이터를 입력할 수도 있다. 당업자는, 무효의 데이터를 갖는 레시피와 같은 "열악한 레시피" 가 몇몇 제조 환경에서 비용적으로 절반 이상의 기판 낭비를 설명한다는 것을 인식한다.
또한, LMS (102) 내로 데이터를 입력하는 프로세스는 프로세싱 시스템 하드웨어 (106) 와 통합되지 않을 수도 있다. 그 결과, 레시피 생성에 익숙할 수도 있는 유저라 하더라도, 일반적으로, LMS (102) 상으로 입력된 값들이 프로세싱 시스템 하드웨어 (106) 의 구성 설정에 따르는지 여부를 결정하는 어려운 시간을 가질 수도 있다. 따라서, 프로세싱 시스템 하드웨어의 구성 설정과 호환되지 않는 레시피는 서버로 하여금 값비싼 하드웨어에 손상을 입히게 할 수도 있다.
인간 에러의 위험을 최소화하기 위해, 몇몇 기판 제조자들은 레시피를 하드-코딩하는 방법을 이용할 수도 있다. 그러나, 이 방법은 레시피에 대한 변경을 정당하게 하는데 있어서 유저들에게 유연성을 거의 제공하지 않는다. 대신에, 일반적으로 레시피에 대한 업데이트는 시간-소모 및/또는 값비싼 소프트웨어 코드 변경을 필요로 할 수도 있다.
레시피를 생성하는 종래의 방법과 연관된 몇몇 단점들이 존재한다. 예를 들어, 하드-코딩된 레시피는, 레시피에 대한 업데이트 및 조정을 성가신 프로세스로 만드는 소프트웨어 지원을 필요로 한다. 한편, 수동 LMS 는 유저에게 데이터를 입력하는데 유연성을 제공하고, 에러가 있는 데이터 입력에 대한 많은 기회를 제공한다.
발명의 개요
일 실시형태에서, 본 발명은 프로세싱 시스템에서 기판을 프로세싱하는 레시피의 생성에 영향을 미치기 위한 방법에 관한 것이다. 이 방법은, 가장 잘 알려진 방법 구동형 레시피 편집기 (best-known method driven recipe editor) 를 제공하는 단계를 포함한다. 가장 잘 알려진 방법 구동형 레시피 편집기는 가장 잘 알려진 방법 (best-known method; BKM) 들을 통합하고, 이 BKM 들은 레시피에 대한 최선의 실행 사양이다. 또한, 방법은 레시피에 대한 BKM 들에 기초하여 복수의 BKM 모듈을 생성하는 단계를 포함한다. 이 방법은, 복수의 BKM 모듈들에서 파라미터들에 대한 규칙들을 정의하는 단계를 더 포함한다. 규칙들은 BKM 들에 의해 전파된다. 또한, 방법은 BKM 규칙들의 가이드라인 내에서 가장 잘 알려진 방법 구동형 레시피 편집기를 이용함으로써 파라미터들에 대한 값들을 입력하기 위해 BKM 구동형 레시피를 생성하는 단계를 포함한다.
다른 실시형태에서, 본 발명은 프로세싱 시스템에서 기판을 프로세싱하는 레시피의 생성에 영향을 미치기 위한 장치에 관한 것이다. 장치는 가장 잘 알려진 방법 구동형 레시피 편집기를 포함하고, 가장 잘 알려진 방법 구동형 레시피 편집기는 가장 잘 알려진 방법 (BKM) 들을 포함하며, 이 BKM 들은 레시피에 대한 최선의 실행 사양이다. 또한, 장치는 레시피에 대한 BKM 에 기초하여 복수의 BKM 모듈을 포함한다. 장치는 복수의 BKM 모듈에서 파라미터들을 정의하는 규칙들을 더 포함한다. 이 규칙들은 BKM 들에 의해 전파된다.
또 다른 실시형태에서, 본 발명은 컴퓨터 판독가능 코드가 수록된 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조품에 관한 것이다. 컴퓨터 판독가능 코드는 프로세싱 시스템에서 기판을 프로세싱하는 레시피를 생성하도록 구성된다. 또한, 제조품은 가장 잘 알려진 방법 구동형 레시피 편집기를 생성하기 위한 컴퓨터 판독가능 코드를 포함한다. 가장 잘 알려진 방법 구동형 레시피 편집기는 가장 잘 알려진 방법 (BKM) 들을 통합하고, 이 BKM 들은 레시피에 대한 최선의 실행 사양이다. 제조품은 레시피에 대한 BKM 들에 기초하여 복수의 BKM 모듈을 생성하기 위한 컴퓨터 판독가능 코드를 더 포함한다. 또한, 제조품은 복수의 BKM 모듈에서 파라미터들을 정의함에 있어서의 규칙을 적용하기 위한 컴퓨터 판독가능 코드를 포함한다. 이 규칙들은 BKM 들에 의해 전파된다.
이하, 본 발명의 이들 및 다른 특징들이 본 발명의 상세한 설명과 다음의 도면과 관련하여 보다 상세히 설명될 것이다.
도면의 간단한 설명
본 발명은, 동일한 참조 부호가 동일한 구성 요소를 지칭하는 첨부 도면의 그림에서 한정적인 방식이 아닌 예시의 방식으로 도시된다.
도 1 은 수동의 태뷸러 레시피 문서를 이용하는 제조 환경의 간략화된 도면을 나타낸다.
도 2 는 일 실시형태에서 복수의 BKM 모듈을 갖는 레시피의 간단한 도면을 나타낸다.
도 3 은 일 실시형태에서 BKM 구동형 레시피 편집기 인터페이스의 주 화면 (main view) 의 일 예를 나타낸다.
도 4 는 일 실시형태에서 BKM 구동형 레시피 편집기 인터페이스의 값 화면 (value view) 의 일 예를 나타낸다.
도 5 는 일 실시형태에서 BKM 구동형 레시피 편집기의 규칙 화면 (rule view) 의 일 예를 나타낸다.
도 6 은 일 실시형태에서 BKM 이 BKM 구동형 레시피를 생성하는데 어떻게 이용될 수도 있는지의 일 예를 나타내는 흐름도를 나타낸다.
도 7 은 일 실시형태에서 프로세싱 시스템 하드웨어에 BKM 구동형 레시피를 적용하는 알고리즘을 나타내는 간략화된 블록도를 나타낸다.
실시형태들의 상세한 설명
이제, 첨부된 도면에 나타난 바와 같이, 본 발명의 몇몇 실시형태를 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. 다음 설명에서, 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해 수많은 구체적인 상세한 내용들이 설명될 것이다. 그러나 본 발명이 이들 구체적인 상세한 내용들의 일부 또는 전부 없이 실행될 수도 있다는 것은 당업자에게 자명한 것이다. 다른 관점에서, 본 발명을 불필요하게 모호하게 하지 않기 위해 잘 알려진 프로세스 단계들 및/또는 구조들은 상세하게 설명하지 않았다.
이하에서는 방법 및 기술을 포함하는 다양한 실시형태들이 설명된다. 또한, 본 발명은 본 발명의 실시형태들을 수행하기 위한 컴퓨터 판독가능 명령들이 저장된 컴퓨터 판독가능 매체를 포함하는 제조품을 커버할 수도 있다는 것에 유념해야 한다. 컴퓨터 판독가능 매체는, 예를 들어, 반도체, 자성체, 광-자성체, 광학체, 또는 컴퓨터 판독가능 코드를 저장하는 컴퓨터 판독가능 매체의 다른 형태를 포함할 수도 있다. 또한, 본 발명은 본 발명의 실시형태를 실행하기 위한 장치를 커버할 수도 있다. 이러한 장치는, 본 발명의 실시형태에 속하는 태스크를 수행하기 위한 전용 및/또는 프로그래머블 회로를 포함할 수도 있다. 이러한 장치의 예들로는, 범용 컴퓨터 및/또는 적절히 프로그래밍된 경우의 전용 컴퓨팅 디바이스를 포함하고, 본 발명의 실시형태에 속하는 다양한 태크스를 위해 적응된 컴퓨터/컴퓨팅 디바이스 및 전용/프로그래머블 회로의 조합을 포함할 수도 있다.
본 발명의 실시형태에 따르면, 주어진 레시피에 대한 값들을 입력 및 조정하는 유연성을 유저에게 제공하면서 가장 잘 알려진 방법 (BKM) 들을 통합하도록 설계된 가장 잘 알려진 방법 구동형 레시피 편집기가 제공된다. 본 명세서에 논의된 바와 같이, BKM 은 프로세싱 시스템 하드웨어에 대한 레시피를 생성하는 최선의 실행을 지칭한다. 본 명세서에 논의된 바와 같이, 프로세싱 시스템은, 플라즈마 프로세싱 시스템 및 세정 프로세싱 시스템을 포함할 수도 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시형태에서, 각 레시피에 대한 BKM 은 하나 이상의 BKM 모듈 내에 캡슐화될 수도 있다. 본 발명의 실시형태는, 전문가가 BKM 구동형 레시피 편집기를 통해 현존하는 BKM 모듈을 수정하고 새로운 BKM 모듈을 생성하기 위한 방법 및 장치를 더 제공한다. 본 명세서에 논의된 바와 같이, 전문가는 새로운 BKM 모듈을 생성하거나 현재의 BKM 모듈을 수정하는 편집 특권이 부여되어 있는 사람을 지칭한다.
본 문서에서, 다양한 구현들이 플라즈마 프로세싱 시스템을 이용하여 각종 구현들이 논의될 수도 있다. 그러나, 본 발명은 플라즈마 프로세싱 시스템에 한정되는 것은 아니며 세정 시스템을 포함할 수도 있다. 대신에, 논의는 실시예로서 의미가 있는 것이고, 본 발명이 설명된 실시예들에 한정되는 것은 아니다.
일 실시형태에서, 각 BKM 모듈은 프로세스의 특정 단계에 관한 것일 수도 있고, 레시피의 하나 이상의 단계를 포함할 수도 있다. 일 예로, 50 개의 단계를 갖는 레시피는 기능성 블록으로 모듈화 될 수도 있고, 각 BKM 모듈이 적어도 하나의 단계와 연관되는 10 개의 BKM 모듈과 연관될 수도 있다.
레시피 생성에 있어서, 유저는 BKM 구동형 레시피 편집기를 이용하여 하나 이상의 BKM 모듈을 발생시킬 수도 있다. 일 실시형태에서, BKM 모듈은 각 파라미터에 대해 허용 가능한 값에 대한 규칙들을 지정할 수도 있다. 또한, 규칙들은 파라미터들 간의 의존성을 정의하는데 이용될 수도 있다. 일 예로, 압력 파라미터 용으로 입력될 수도 있는 값은 바이어스 전력 파라미터 용으로 입력될 수도 있는 범위를 결정할 수도 있다. 또한, 레시피를 위한 최선의 실행으로 업데이트하는 것은 업데이트된 BKM 을 통해 전파될 수도 있고 BKM 모듈의 파라미터에 대한 새로운 규칙들로 전환될 수도 있다. 일 실시형태에서, 상기 BKM 이 업데이트될 때, 규칙들이 자동으로 업데이트될 수도 있다. 따라서, 레시피 생성에 있어서, 유저는 값을 입력 또는 변경할 수도 있으나 유저가 규칙을 변경하도록 허용되지 않을 수도 있다.
본 발명의 실시형태에서, BKM 구동형 레시피 편집기는 레시피의 생성에서 프 로세싱 시스템 하드웨어에 대해 추천된 구성 설정들을 통합할 수도 있다. 또한, 레시피를 실행하기 전에, 유저에게 제공된 프로세싱 시스템 하드웨어에 대한 구성 설정은 BKM 구동형 레시피와 비교되어 호환성이 결정될 수도 있고, 이에 의해 하드웨어에 대한 값비싼 데미지를 방지할 수도 있다.
몇몇 환경에서, 기판 제조자들은 제공된 BKM 모듈에 의해 수용되지 않을 수도 있는 독점적 레시피 (proprietary recipe) 를 가질 수도 있다. 본 명세서에 논의된 바와 같이, 독점적 레시피는 그 분야에서 다수에 의해 채택된 최선의 실행으로부터 벗어나는 단계들 또는 파라미터들을 가질 수도 있는 레시피를 지칭한다. 일 실시형태에서, 그 레시피의 독점적 특성을 계속 유지하기를 원하는 도구 소유자와 연관된 전문가은 BKM 구동형 레시피 편집기를 이용하여 BKM 모듈을 수정 또는 생성하도록 허여될 수도 있다. 따라서, 이들 BKM 은 그 도구에 대해서만 독점적이고, (예를 들어, 칩 제조업자와 경쟁하는) 다른 도구 소유자에게 전파되지 않는다.
본 발명의 실시형태의 특징 및 이점은 이하의 도면 및 논의를 참조하여 더욱 잘 이해될 수도 있다. 도 2 는, 일 실시형태에서 복수의 BKM 모듈과 연관된 레시피의 간단한 도면이다. 멀티-스텝 모놀로식 (monolithic) 레시피 (202) 는 복수의 기능성 블록들 내로 모듈화 될 수도 있고, 복수의 기능 블록들은 복수의 BKM 모듈들 (210, 220, 및 230) 과 연관될 수도 있다. 각 BKM 모듈은 복수의 파라미터들 (212-218, 222-228, 및 232-238) 을 가질 수도 있다. 일 실시형태에서, 각 파라미터는, 각 셀에 입력될 수도 있는 허용 가능한 값들을 정의할 수도 있는 규칙들에 의해 제어될 수도 있다. 또한, 각 셀은 디폴트 값 (default value) 제안을 가질 수도 있다. 또한, 각 BKM 모듈은 프로세싱 시스템 하드웨어에 대해 추천된 구성 설정을 가질 수도 있다.
전술된 바와 같이, 각 BKM 모듈은 최선의 실행 사양을 포함할 수도 있다. 또한, 각 BKM 모듈은 프로세스 스테이지에 관한 것일 수도 있고 적어도 하나의 레시피 단계를 포함할 수도 있다. 레시피 생성에 있어서, 유저는 BKM 구동형 레시피 편집기를 이용하여, 복수의 BKM 모듈을 발생시킬 수도 있다. 도 3, 도 4 및 도 5 는 BKM 구동형 레시피 편집기에 대한 인터페이스의 예를 도시한다.
도 3 은 일 실시형태에서 BKM 구동형 레시피 편집기 인터페이스의 주 화면의 예를 나타낸다. 주 화면에서, 인터페이스 (302) 는 3 개의 BKM 모듈들 (304, 306, 및 308) 을 갖는 레시피를 나타낸다. 일 실시형태에서, 프로세싱 시스템 하드웨어의 제조자는 각 레시피에 대한 BKM 모듈의 개수 및 BKM 모듈의 시퀀스를 결정할 수도 있다. 따라서, 파라미터 값 입력은, BKM 이 추종되는 경우 제조자의 BKM 를 따르도록 보장된다. BKM 모듈 (304) 과 같은 BKM 모듈을 클릭하고, "열기 (open)" 버튼 (350) 을 클릭함으로써, 유저는 BKM 모듈 (304) 에 대한 파라미터를 발생시킬 수도 있다.
도 4 는 일 실시형태에서 BKM 구동형 레시피 편집기 인터페이스의 값 화면의 예를 나타낸다. 값 화면에서, 유저는 BKM 규칙의 가이드라인 내에서 파라미터들 각각에 대한 값들을 입력할 수도 있다. 인터페이스 (402) 는 도 3 의 BKM 모듈 (304) 의 값 화면을 나타낸다. BKM 모듈 (304) 은, 파라미터 설명 컬럼 (404), 설정포인트 컬럼 (408), 소프트 공차 컬럼 (410), 및 하드 공차 컬럼 (412) 을 포함하는 복수의 컬럼을 가질 수도 있다. 각 셀의 값은 (도 4 에 도시되지 않은, 셀에 적용 가능한) 규칙의 가이드라인 내에서 변경될 수도 있다. 컬럼들 (408, 410 및 412) 의 셀들 각각은, 각 셀에 대해 입력될 수도 있는 허용 가능한 값을 한정하는 규칙을 포함할 수도 있다. (이하 규칙의 예들은 표 1 참조) 일 예로, 파라미터 셀 (420)(Head Pair 1 Top DIW Flow) 에 대해 설정포인트 셀 (422) 의 디폴트 값은 "Off (오프)" 로 설정된다. 유저가 설정포인트 셀 (422) 을 클릭할 때, 유저는 셀의 값을 변경할 수도 있다. 그러나, 각 셀에 대해 수용될 수도 있는 값들은 각 파라미터에 대해 설정될 수도 있는 규칙에 의해 한정될 수도 있다.
도 5 는 일 실시형태에서 BKM 구동형 레시피 편집기의 규칙 화면의 예를 나타낸다. 규칙 화면에서, 전문가는 파라미터 셀들 각각에 대한 규칙들을 수정하여, BKM 모듈을 커스터마이징할 수도 있다. 전술된 바와 같이, 전문가는 새로운 BKM 모듈을 생성하거나 현재 BKM 모듈을 수정하기 위해 편집 허가가 부여되어 있는 사람을 지칭한다. 일 실시형태에서, BKM 를 생성 및/또는 수정하는 특권은 도구 제조자에 의해 권한을 부여 받은 사람들에게만 확보된다. 인터페이스 (502) 는 BKM 모듈 (304) 의 규칙 화면을 나타낸다. BKM 모듈 (304) 은, 파라미터 설명 컬럼 (504), 설정포인트 컬럼 (508), 소프트 공차 컬럼 (510), 및 하드 공차 컬럼 (512) 을 포함하는 복수의 컬럼을 가질 수도 있다. 컬럼 (504) 에 나타난 파라미터들 각각은 유저에 의해 추가 또는 제거되지 않을 수도 있다. 그러나, 전문가에게 적절히 권한이 부여되는 경우 컬럼들 (508, 510, 및 512) 의 규칙이 수정될 수도 있다. 규칙들의 예들은 이하 표 1 을 참조. 일 예로, 파라미터 셀 (520)(Head Pair 1 Top DIW Flow) 에 대해 설정포인트 셀 (522) 의 규칙이 Default (디폴트) 로 설정된다. 유저가 설정포인트 셀 (522) 을 클릭할 때, 대화 박스 (524) 가 나타나서, 디폴트 값에 관한 정보를 유저에게 제공하고, 또한 유저가 설정포인트 셀 (522) 의 값을 변경하는 것을 허용할 수도 있다.
규칙의 예
규칙 설명
Default 소프트웨어에 코딩된 디폴트 값을 이용
Exact BKM 에서 지정된 값을 이용
UserBKM BKM 을 생성할 때 유저가 값을 지정하는 것을 허용
UserRecipe 레시피에서 BKM 을 이용할 때 유저가 값을 지정하는 것을 허용
Previous 이전 단계로부터의 값을 이용
Custom BKM 에서 코딩된 값을 설정하는 커스텀 로직 (custom logic)
일 실시형태에서, BKM 구동형 레시피 편집기는, 제조 엔지니어 또는 도구 제조자와 연관된 전문가에 의해 전파될 수도 있는 BKM 들 (즉, 새로운 최선의 실행들) 을 취하고, 그 BKM 들을 BKM 모듈들의 영향을 받는 파라미터들의 셀에 적용될 수도 있는 규칙들로 전환할 수도 있는 능력을 가질 수도 있다. 따라서, 레시피는, 유저가 변경에 관한 지식을 갖는 것을 요구하지 않고 업데이트된 BKM 으로 생성 및/또는 수정될 수도 있다.
일 실시형태에서, 현존하는 레시피의 BKM-구동형 수정은 도구 제조자에 의해 원격으로 트리거될 수도 있고, 파라미터에 대한 결과적 변경은 승인을 얻기 위해 그리고/또는 예의상 통지로서 도구 유저로 전달될 수도 있다. 일 실시형태에서, BKM 이 변경될 때, 새로운 BKM 은 컴퓨터 네트워크 (예를 들어, 인터넷) 를 통해 도구 유저에게 (또는 도구에 직접적으로) 전송되어 현존하는 레시피에 반하여 적용될 수도 있다. 업데이트된 BKM 은, 현존하는 레시피 또는 현존하는 파라미터에 대해 상이한 허용 가능한 값 범위에 포함될 필요가 있을 수도 있는 새로운 파라미터를 지정할 수도 있다. 이 "BKM 심사 (audit)" 는, 존재하는 레시피와 연관된 하나 이상의 파라미터들이 변경된 BKM 에 관하여 수정될 필요가 있을 수도 있는지 여부에 관한 정보를 도구 유저 (또는 도구 유저에 의해 액세스가 허용되는 경우, 도구 제조자) 에게 제공할 수도 있다. 이러한 방식으로, 한 공장의 전문가들 또는 도구 제조자의 전문가들에 의해 획득된 지식은 임의의 특정 도구 유저의 레시피의 기밀성을 위협하지 않고 모든 도구 유저들에게 이로울 수 있는 방식으로 유익하게 전파될 수도 있다.
다른 실시형태에서, BKM 구동형 레시피 편집기는 기판 제조자들의 "독점적 레시피" 를 수용하는데 이용될 수도 있다. 독점적 레시피는 경쟁자들에 비해 분명한 이점을 줄 수도 있기 때문에 그 소유자들에 의해 폐쇄적으로 보호될 수도 있다. BKM 구동형 레시피 편집기를 이용함으로써, 전문가는 새로운 BKM 모듈을 생성할 수도 있고/있거나 독점적 레시피를 수용하기 위해 현재의 BKM 모듈을 조작할 수도 있다.
도 6 은 일 실시형태에서, BKM 이 BKM 구동형 레시피를 생성하는데 어떻게 이용될 수도 있는지의 일 예를 도시하는 흐름도이다. 제 1 단계 (602) 에서, 도구 소유자와 연관된 전문가는 BKM 구동형 레시피 편집기를 활성화시킬 수도 있다. 일 실시형태에서, BKM 구동형 레시피 편집기는 레시피에 대한 최선의 실행 사양을 포함할 수도 있는 BKM 들을 포함할 수도 있다. 각 레시피에 대해, BKM 들은 복수의 BKM 모듈 내에 캡슐화될 수도 있다.
다음 단계 (604) 에서, BKM 모듈이 레시피 생성을 위해 충분한 BKM 들을 포함한다면, BKM 모듈은 변경될 필요가 없고, 다음 단계 (614) 에서, 오퍼레이터는 BKM 구동형 레시피 편집기를 이용함으로써 새로운 레시피를 생성하여 BKM 규칙의 가이드라인 내에서 파라미터에 대한 값을 입력할 수도 있다. 일 예로, BKM 모듈의 파라미터에 대한 규칙은 최선의 실행 사양을 포함한다. 하나 이상의 BKM 모듈의 파라미터의 규칙을 변경하지 않고 새로운 BKM 구동형 레시피를 오퍼레이터가 생성할 수 있다면, BKM 모듈은 충분할 수도 있다. 그러나, 다음 단계 (604) 에서 BKM 모듈이 충분하지 않다면, BKM 모듈은 수정되어야 할 수도 있고 또는 새로운 BKM 모듈이 생성되어야 할 수도 있다. 일 예로, 전문가가 독점적 레시피를 구현하기를 원하는 경우, 최선의 실행 사양을 갖는 BKM 모듈이 충분하지 않을 수도 있고, 하나 이상의 BKM 모듈의 파라미터의 규칙에서의 변경을 필요로 할 수도 있다.
다음 단계 (606) 에서, 전문가는 현존하는 BKM 모듈을 수정하는 것을 선택할 수도 있다. 전문가가 하나 이상의 현존하는 BKM 모듈을 변경하는 것을 선택한다면, 다음 단계 (608) 에서, 전문가는 현존하는 BKM 모듈에서의 파라미터들 (예를 들어, 허용 가능한 값들, 파라미터들 간의 의존성 등) 에 대한 규칙을 수정하여, 독점적 레시피를 수용할 수도 있다. 그러나, 다음 단계 (606) 에서, 전문가가 현존하는 BKM 모듈을 수정하는 것을 선택하지 않는다면, 다음 단계 (610) 에서, 전문가는 새로운 BKM 모듈을 생성할 수도 있다. 다음 단계 (612) 에서, 전문가는 새롭게 생성된 BKM 모듈에서 파라미터에 대한 규칙을 정의할 수도 있다. 새로운 BKM 모듈은 독점적 레시피를 수용하기 위해 규칙들을 갖는 현재의 BKM 모듈에 기초할 수도 있다. 일단 BKM 모듈이 레시피를 생성하기 위한 정확한 파라미터 및 규칙들 모두를 가지면, 다음 단계 (614) 에서, 오퍼레이터는 BKM 구동형 편집기를 이용하여, BKM 구동형 레시피를 생성하기 위해 각 파라미터에 대한 값을 입력할 수도 있다.
도 7 은 일 실시형태에서 프로세싱 시스템 하드웨어 (708) 에 BKM 구동형 레시피를 적용하는 알고리즘을 나타내는 간략화된 블록도를 도시한다. PCM (702) 은 PCM (702) 상으로 업로드된 BKM 구동형 레시피 (704) 를 가질 수도 있다. BKM 구동형 레시피 (704) 는 BKM-구동형 레시피 편집기에 의해 발생될 수도 있다. 일 실시형태에서, BKM 구동형 레시피 편집기는 PCM (702) 내에 배치될 수도 있다. 다른 실시형태에서, BKM 구동형 레시피 편집기는 PCM (702) 의 외부에 배치될 수도 있다. BKM 구동형 레시피 편집기는, 단계 (710) 에서 프로세싱 시스템 하드웨어 (708) 로부터 실제 구성 설정에 관한 데이터를 요청할 수도 있다. 프로세싱 시스템 하드웨어 (708) 는, 단계 (712) 에서 요청된 구성 데이터를 PCM (702) 으로 전송할 수도 있다. 구성 데이터를 이용하여, PCM (702) 은, BKM 구동형 레시피 (704) 가 프로세싱 시스템 하드웨어 (708) 와 호환되는지를 결정할 수도 있다. 레시피가 구성 설정과 호환되지 않는다면, 경고 (706) 가 제공되어, 유저가 BKM 구동형 레시피 (704) 를 수정할 수 있게 하거나 하드웨어 구성 설정을 수정할 수 있게 할 수도 있다. 그러나, 데이터가 호환된다면, PCM (702) 은, 단계 (714) 에서 레시피를 프로세싱 시스템 하드웨어 (708) 로 전송함으로써 이 레시피를 실행할 수도 있다.
본 발명의 실시형태로부터 알 수 있는 바와 같이, BKM 구동형 레시피 편집기는, 유저가 프로세싱 시스템 하드웨어의 레시피 및 구성 설정의 전문 지식을 가질 필요성을 제거함으로써 유저를 단순작업하게 ("de-skill") 하여, 제조자의 노동 및 재료 비용의 상당한 감소를 초래한다. 구체적으로, 규칙이 BKM 구동형 레시피 편집기 내로 통합되어 유저의 입력을 거절 또는 수용함에 따라, 제조자는 더이상 유저에 의한 에러가 있는 데이터 입력에 영향을 받지 않을 수도 있다; 따라서, 단순작업하는 유저는 특정 파라미터에 대해 입력될 수도 있는 유효의 데이터에 한정됨에 따라 비용적으로 기판의 낭비의 양이 감소될 수도 있다.
본 발명은 몇몇 바람직한 실시형태에 관하여 설명되었으나, 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 변경, 치환, 및 등가물이 존재한다. 또한, 발명의 명칭, 개요, 및 요약은 편의를 위해 본 명세서에 제공되며, 본 명세서의 청구 범위를 해석하는데 이용되어서는 안된다. 또한, 본 출원에 있어서, 일 세트의 "n" 은 하나 이상의 "n" 을 지칭한다. 또한, 본 발명의 방법 및 장치를 구현하는 많은 대안의 방식들이 존재한다는 것을 주목해야 한다. 그러므로, 다음의 첨부된 청구범위는 본 발명의 사상과 범위 내에 있는 것으로서 이러한 변경, 치환, 및 등가물 모두를 포함하는 것으로 해석되는 것이 의도된다.

Claims (29)

  1. 적어도 하나의 프로세싱 시스템에서 적어도 하나의 기판을 프로세싱하는 적어도 하나의 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 방법으로서,
    상기 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 방법은,
    상기 레시피에 대한 실행 사양인 가장 잘 알려진 방법 (best-known method; BKM) 들을 통합하는 레시피 편집기 (recipe editor) 를 제공하는 단계;
    상기 레시피에 대한 상기 BKM 들에 기초하여 복수의 BKM 모듈들을 생성하는 단계로서, 상기 복수의 BKM 모듈들의 각각의 BKM 모듈은, 상기 기판을 프로세싱하는 프로세스 스테이지에 관련되고 상기 레시피의 복수의 레시피 단계들을 포함하는, 상기 복수의 BKM 모듈들을 생성하는 단계;
    상기 복수의 BKM 모듈들에서 파라미터들에 대한 규칙들을 정의하는 단계;
    상기 레시피 편집기를 이용하여, 상기 프로세싱 시스템 및 상기 복수의 BKM 모듈들 중 적어도 하나에서 제 1 유저에 의해 전파되는 유저-전파 파라미터 값들을 업데이트된 규칙들로 전환하는 단계;
    상기 업데이트된 규칙들을 이용하여 적어도 하나의 업데이트된 BKM 모듈을 발생시키는 단계; 및
    상기 업데이트된 BKM 모듈을 제 2 유저에 의해 이용되는 적어도 하나의 제 2 프로세싱 시스템에 제공하는 단계를 포함하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 업데이트된 BKM 모듈은 상기 파라미터들에 추가하여 상기 레시피에 대한 추가의 파라미터들을 지정하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 업데이트된 BKM 모듈은, 상기 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들에 대한 하나 이상의 업데이트된 허용 가능한 값 범위들을 포함하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 규칙들은 상기 파라미터들에 대해 허용 가능한 값들을 정의하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 규칙들은 상기 파라미터들간의 의존성을 정의하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 규칙들은 상기 BKM 들에 의해 자동으로 업데이트되는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 레시피 편집기는 상기 프로세싱 시스템에 대해 추천된 구성 설정들을 포함하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 레시피 편집기는 상기 레시피를 실행하기 전에 상기 프로세싱 시스템의 실제 구성 설정들을 요청하고,
    상기 실제 구성 설정들과 상기 레시피 간의 비교가 수행되는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 비교가 상기 실제 구성 설정들과 상기 레시피 간에 호환성이 없음을 나타내는 경우, 상기 레시피 편집기는 경고를 발하는 (issue), 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 방법.
  10. 적어도 하나의 프로세싱 시스템에서 적어도 하나의 기판을 프로세싱하는 적어도 하나의 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템으로서,
    상기 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템은,
    컴퓨팅 디바이스;
    상기 컴퓨팅 디바이스에서 구현되고, 상기 레시피에 대한 실행 사양인 가장 잘 알려진 방법 (best-known method; BKM) 들을 통합하는 레시피 편집기 (recipe editor);
    상기 레시피에 대한 상기 BKM 들에 기초하는 복수의 BKM 모듈로서, 상기 복수의 BKM 모듈들의 각각의 BKM 모듈은 상기 기판을 프로세싱하는 프로세스 스테이지에 관련되고 상기 레시피의 복수의 레시피 단계들을 포함하는, 상기 복수의 BKM 모듈; 및
    상기 복수의 BKM 모듈에서 파라미터들을 정의하는 규칙들을 포함하고,
    상기 레시피 편집기는, 상기 프로세싱 시스템 및 상기 복수의 BKM 모듈들 중 적어도 하나에서 제 1 유저에 의해 전파되는 유저-전파 파라미터 값들을 업데이트된 규칙들로 전환하도록 구성되고;
    상기 컴퓨팅 디바이스는, 상기 업데이트된 규칙들을 이용하여 적어도 하나의 업데이트된 BKM 모듈을 발생시키도록 구성되며;
    상기 컴퓨팅 디바이스는 또한, 상기 업데이트된 BKM 모듈을 제 2 유저에 의해 이용되는 적어도 하나의 제 2 프로세싱 시스템에 제공하도록 구성되는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 업데이트된 BKM 모듈은 상기 파라미터들에 추가하여 상기 레시피에 대한 추가의 파라미터들을 지정하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 업데이트된 BKM 모듈은 상기 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들에 대한 하나 이상의 업데이트된 허용 가능한 값 범위들을 포함하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 규칙들은 상기 파라미터들에 대해 허용 가능한 값들을 정의하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 규칙들은 상기 파라미터들 간의 의존성을 정의하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 규칙들은 상기 BKM 들에 의해 자동으로 업데이트되는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템.
  16. 제 10 항에 있어서,
    상기 레시피 편집기는 상기 프로세싱 시스템에 대해 추천된 구성 설정들을 포함하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템.
  17. 제 10 항에 있어서,
    상기 레시피 편집기는, 상기 파라미터들에 대한 값 입력을 수신한 후에 BKM 구동형 레시피를 생성하는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 레시피 편집기는 상기 BKM 구동형 레시피를 실행하기 전에 상기 프로세싱 시스템의 실제 구성 설정들을 요청하고,
    상기 실제 구성 설정들과 상기 BKM 구동형 레시피 간의 비교가 수행되는, 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 비교가 상기 실제 구성 설정들과 상기 BKM 구동형 레시피 간에 호환성이 없음을 나타내는 경우, 상기 레시피 편집기는 경고를 발하는 (issue), 레시피의 생성을 용이하게 하기 위한 시스템.
  20. 컴퓨터 판독가능 코드가 포함된 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조품으로서,
    상기 컴퓨터 판독가능 코드는 적어도 하나의 프로세싱 시스템에서 적어도 하나의 기판을 프로세싱하는 적어도 하나의 레시피의 생성을 용이하게 하도록 구성되며,
    상기 제조품은,
    상기 레시피에 대한 실행 사양인 가장 잘 알려진 방법 (best-known method; BKM) 들을 통합하는 레시피 편집기 (recipe editor) 를 생성하기 위한 컴퓨터 판독가능 코드;
    상기 레시피에 대한 상기 BKM 들에 기초하여 복수의 BKM 모듈을 생성하기 위한 컴퓨터 판독가능 코드로서, 상기 복수의 BKM 모듈들의 각각의 BKM 모듈은 상기 기판을 프로세싱하는 프로세스 스테이지에 관련되고 상기 레시피의 복수의 레시피 단계들을 포함하는, 상기 복수의 BKM 모듈을 생성하기 위한 컴퓨터 판독가능 코드;
    상기 복수의 BKM 모듈에서 파라미터들을 정의함에 있어서 규칙들을 적용하기 위한 컴퓨터 판독가능 코드;
    상기 레시피 편집기를 이용하여, 상기 프로세싱 시스템 및 상기 복수의 BKM 모듈들 중 적어도 하나에서 제 1 유저에 의해 전파되는 유저-전파 파라미터 값들을 업데이트된 규칙들로 전환하기 위한 컴퓨터 판독가능 코드;
    상기 업데이트된 규칙들을 이용하여 적어도 하나의 업데이트된 BKM 모듈을 발생시키기 위한 컴퓨터 판독가능 코드; 및
    상기 업데이트된 BKM 모듈을 제 2 유저에 의해 이용되는 적어도 하나의 제 2 프로세싱 시스템에 제공하기 위한 컴퓨터 판독가능 코드를 포함하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조품.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 업데이트된 BKM 모듈은 상기 파라미터들에 추가하여 상기 레시피에 대한 추가의 파라미터들을 지정하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조품.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 업데이트된 BKM 모듈은, 상기 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들에 대한 하나 이상의 업데이트된 허용 가능한 값 범위들을 포함하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조품.
  23. 제 20 항에 있어서,
    상기 규칙들은 상기 파라미터들에 대해 허용 가능한 값들을 정의하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조품.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 규칙들은 상기 파라미터들 간의 의존성을 정의하는, 프로그램 저장 매 체를 포함하는 제조품.
  25. 제 20 항에 있어서,
    상기 규칙들은 상기 BKM 들에 의해 자동으로 업데이트되는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조품.
  26. 제 20 항에 있어서,
    상기 레시피 편집기는 상기 프로세싱 시스템에 대해 추천된 구성 설정들을 포함하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조품.
  27. 제 20 항에 있어서,
    상기 레시피 편집기는, 상기 파라미터들에 대한 값 입력을 수신한 후에 BKM 구동형 레시피를 생성하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조품.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 레시피 편집기는 상기 BKM 구동형 레시피를 실행하기 전에 상기 프로세싱 시스템의 실제 구성 설정들을 요청하고,
    상기 실제 구성 설정들과 상기 BKM 구동형 레시피 간의 비교가 수행되는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조품.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 비교가 상기 실제 구성 설정들과 상기 BKM 구동형 레시피 간에 호환성이 없음을 나타내는 경우, 상기 레시피 편집기는 경고를 발하는 (issue), 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조품.
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