KR101432114B1 - 광전소자 칩 및 그를 구비하는 광학장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정렬 효율과 접합 신뢰성을 높일 수 있는 광전소자 칩 및 그를 구비한 광학 장치를 개시한다. 그의 칩은, 기판; 상기 기판 상에 형성된 광 도파로; 상기 광 도파로에 형성된 광 커플러와, 상기 광 커플러에 결합되는 적어도 하나의 광 섬유를 고정하는 광 커넥터를 상기 기판에 정렬하는 복수개의 정렬 유닛들을 포함할 수 있다.

Description

광전소자 칩 및 그를 구비하는 광학장치{photonics chip and optical apparatus having the same}
본 발명은 광학장치에 관한 것으로, 구체적으로 광전소자 칩 및 그를 구비하는 광학장치에 관한 것이다.
광통신 기술은 IT-oriented society에서 요구되는 대용량의 데이터를 고속으로 전송할 수 있다는 장점에서 많은 잠재성을 가지고 있다. 그 중에서 실리콘 포토닉스 기술은 광송수신 시스템을 구현할 수 있다. 예를 들어, 실리콘 포토닉스의 발광 소자는 실리콘이 가지는 재료적 특성 때문에 다른 광전소자들과 단일 집적(monolithic)으로 제작될 수 없는 한계를 가지고 있다. 발광 소자는 외부광원으로 연결되는 광 커넥터가 필수적으로 요구되고 있다. 하지만, 종래의 광전소자 칩은 광 커넥터와 접합 시 정렬 효율이 낮고, 광 접합 신뢰성이 신뢰성이 떨어지는 단점이 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 광정렬 효율을 높일 수 있는 광전소자 칩 및 그를 구비하는 광학장치를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 다른 과제는 광 접합 신뢰성을 높일 수 있는 광전소자 칩 및 그를 구비하는 광학장치를 제공하는 데 있다.
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본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 장치는, 광섬유; 상기 광섬유를 고정하는 광 커넥터; 및 상기 광섬유에 결합되는 광 커플러와, 상기 광 커플러에 연결된 광 도파로와, 상기 광 도파로를 포함하는 기판과, 상기 기판 상에서 상기 광 커넥터를 정렬하는 복수개의 정렬 유닛들을 구비하는 광전소자 칩을 포함한다.상기 광 커넥터는 상기 광섬유를 정렬하는 적어도 하나의 페룰들과, 상기 페룰들을 둘러싸는 블록을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 페룰들은 상부 페룰 및 하부 페룰을 포함할 수 있다. 상기 상부 페룰 및 상기 하부 페룰 각각은 상기 광섬유를 통과시키는 제 1 홀들과, 상기 제 1 홀들 외곽에 형성된 제 2 홀들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제 1 홀들은 상기 기판의 수직한 방향에 대해 8도 내지 10도 기울어질 수 있다. 상기 제 2 홀들은 상기 기판으로부터 수직할 수 있다. 상기 제 2 홀들은 상기 정렬 유닛들을 삽입시킬 수 있다. 상기 정렬 유닛들 상의 상기 제 2 홀들 내에 삽입되는 상기 가이드 핀들을 더 포함할 수 있다. 상기 제 2 홀들은 상기 하부 페룰의 상부에서 상기 가이드 핀들을 삽입시키는 트렌치를 포함할 수 있다. 상기 하부 페룰은 상기 제 2 홀들의 하부에서 상기 정렬 유닛을 지지하는 평탄면을 가질 수 있다. 상기 광전소자 칩과 광 커넥터은 상기 정렬 유닛에 의해 플립 칩 본딩될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 블록은 상기 상부 페룰 및 상기 하부 페룰을 평행하게 고정할 수 있다. 상기 블록은 상기 상부 페룰 및 상기 하부 페룰을 상기 기판에 대해 기울어지게 고정하는 하우징 프레임들과, 상기 하우징 프레임들을 연결하는 연결 프레임들과, 상기 하우징 프레임들 내에서 상부 페룰 및 상기 하부 페룰을 지지하는 페룰 고정 프레임들을 포함할 수 있다. 상기 페룰 고정 프레임들은 상기 상부 페룰 및 상기 하부 페룰을 평행하게 이격시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 과제 해결 수단에 따르면, 기판 상으로 돌출되는 복수개의 솔더 볼을 광 커넥터의 홀들 내에 삽입하여 광전소자 칩과 상기 광 커넥터의 정렬 효율을 높일 수 있는 효과가 있다. 또한, 광전소자 칩의 광 도파로에 형성된 광 커플러와, 광섬유의 광 접합 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 커넥터를 포함하는 광학 장치를 나타내는 분해 사시도 및 결합 사시도.
도 3 및 도 4는 도 2의 I-I' 및 Ⅱ-Ⅱ' 선상을 절취하여 나타낸 단면도들.
도 5 및 도 6은 블록의 사시도 및 측면도.
도 7 및 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 장치의 분리 및 결합 단면도들.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한, 바람직한 실시예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다. 이에 더하여, 본 명세서에서, 어떤 막이 다른 막 또는 기판 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 막 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 막이 개재될 수도 있다는 것을 의미한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 광학 장치를 나타내는 분해 사시도 및 결합 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 장치는 기판(12) 상의 광 도파로들(14) 양측에서 광 커넥터(60)를 정렬하는 복수개의 정렬 유닛들(20)을 구비한 광전소자 칩(10)을 포함할 수 있다. 정렬 유닛들(20)은 솔더 볼(22) 및 패드(24)를 포함할 수 있다. 솔더 볼들(22)은 광 커넥터(60)의 페룰들(30)의 제 2 홀들(36)에 삽입될 수 있다. 광섬유들(50)은 광 도파로들(14)에 형성된 광 커플러(16)에 연결될 수 있다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 장치는 정렬 효율과, 광 접합 효율을 높일 수 있다.
도 3 및 도 4는 도 2의 I-I' 및 Ⅱ-Ⅱ' 선상을 절취하여 나타낸 단면도들이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 광전소자 칩(10)은 기판(12)과, 상기 기판(12) 상에서 서로 평행한 복수개의 광 도파로들(14)과, 상기 광 도파로들(14)에 광섬유들(50)을 결합시키는 광 커플러들(16)을 포함할 수 있다. 기판(12)은 단결정 실리콘 웨이퍼, SOI(Silicon On Insulation)웨이퍼, 또는 유리(glass) 기판과 같은 평판을 포함할 수 있다.
광 도파로들(14)은 광섬유들(22)을 통해 외부로 입출력되는 광신호를 전달할 수 있다. 광 도파로들(14)은 기판(12)의 상부로 돌출되는 리지(ridge)형 광 도파로를 포함할 수 있다. 광 도파로들(14)은 기판(12) 상의 클래드(18)와 평탄하게 배치될 수 있다. 광 도파로들(14)은 클래드(18)보다 굴절률이 높은 단결정 실리콘을 포함할 수 있다.
광 커플러들(16)은 그레이팅 커플러를 포함할 수 있다. 그레이팅 커플러는 광섬유들(50)과 접촉되는 광 도파로들(14)에 형성된 복수개의 직선, 메시, 또는 복수개의 동심원 모양의 그루브를 포함할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 광전소자 칩(10)은 다이오드, 센서, 반도체 광증폭기, 광변조기, 먹스, 디먹스 중 적어도 하나를 포함하는 단일 집적 소자를 포함할 수 있다. 다이오드, 센서, 반도체 광증폭기, 광변조기, 먹스, 디먹스는 기판(12) 상에서 광 도파로들(14)과 연결될 수 있다.
복수개의 정렬 유닛들(20)은 광 커플러(14)의 양측에 배치될 수 있다. 예를 들어, 복수개의 정렬 유닛들(20)은 광 커플러들(16)과 일직선으로 배치될 수 있다. 복수개의 정렬 유닛들(20)은 광 도파로들(12)과 수직 방향으로 배치될 수 있다. 광 도파로들(14) 및 광 커플러들(16)은 복수개의 정렬 유닛들(20)사이에 등간격으로 배치될 수 있다. 복수개의 정렬 유닛들(20)은 광 커넥터(60)의 제 2 홀들(36)에 결합될 수 있다. 상술한 바와 같이, 복수개의 정렬 유닛들(20)은 패드(24)와, 상기 패드(24) 상에 형성된 솔더 볼(22)을 포함할 수 있다. 패드(24)는 기판(12) 또는 상기 기판(12) 상의 클래드(18)와, 솔더 볼(22)을 접합시킬 수 있다. 패드(24)는 금속을 포함할 수 있다. 솔더 볼(22)은 땜납을 포함할 수 있다.
복수개의 광섬유들(50)은 광 커넥터(60)에 의해 고정될 수 있다. 광 커넥터(60)는 복수개의 광섬유(50)를 정렬하는 페룰들(30)과 상기 페룰들(30)을 고정하는 블록(40)을 포함할 수 있다. 페룰들(30)은 상부 페룰(32)과 하부 페룰(34)을 포함할 수 있다. 페룰들(30)은 평행육면체(parallelepiped)들을 포함할 수 있다. 페룰들(30)은 스테인레스강, 폴리머, 또는 세라믹을 포함할 수 있다. 세라믹은 산화알루미늄 또는 산화지르코늄을 포함할 수 있다. 페룰들(30)은 광섬유들(50)을 통과하는 적어도 하나의 제 1 홀들(38)을 포함할 수 있다. 제 1 홀들(38)은 상부 페룰(32)과 하부 페룰(34)에서 동일한 직경의 관통 홀을 포함할 수 있다. 제 1 홀들(38)은 상부 페룰(32)과 하부 페룰(34)에서 동일한 방향으로 형성될 수 있다.
광섬유들(50)은 광 도파로들(14)과 수직하거나 소정의 각도로 기울어지게 접합될 수 있다. 광섬유들(50)은 복수개의 정렬 유닛들(20)을 가로지르는 방향에 수직하게 배치될 수 있다. 반면, 광섬유들(50)은 광 도파로들(14)이 연장되는 방향으로 기울어지게 배치될 수 있다. 예를 들어, 광섬유들(50)은 반사 손실을 최소화하기 위해 광 도파로들(14) 및 광 커플러들(16)에 약 8° 내지 약 10°의 입사각(θ)으로 광을 입사할 수 있다. 즉, 광섬유들(50)은 광 커플러(16)에 기판(12)의 평탄면에서 약 82°내지 약 80°정도로 기울어지게 접합될 수 있다. 광섬유들(50)은 코어(52)와 상기 코어(52)를 둘러싸는 클래딩(54)을 포함할 수 있다.
제 1 홀들(38)의 외곽에서 상기 정렬 유닛들(20) 또는 가이드 핀들(70)이 삽입되는 제 2 홀들(36)이 배치될 수 있다. 가이드 핀들(70)은 광 커넥터(60) 상으로 연결되는 또 다른 광 커넥터 또는 광전소자를 정렬할 수 있다. 가이드 핀들(70)은 샤프트 또는 쐐기 모양으로 형성될 수 있다. 제 2 홀들(36)은 제 1 홀들(38)보다 큰 직경의 관통 홀을 포함할 수 있다. 제 2 홀들(36)은 기판(12)에 수직한 방향으로 형성될 수 있다. 따라서, 제 1 홀들(38)은 제 2 홀들(36)에 대해 기울어질 수 있다. 제 2 홀들(36)은 페룰들(30)의 양측 가장자리에 대칭적으로 형성될 수 있다. 제 2 홀들(36)은 상부 페룰(32)과 하부 페룰(34)에서 동일한 크기를 가질 수 있다.
상부 페룰(32)의 제 2 홀들(36)은 가이드 핀들(70)을 통과시킬 수 있다. 하부 페룰(34)의 제 2 관통 홀들(32)은 정렬 유닛들(20)을 삽입시킬 수 있다. 따라서, 상부 및 하부 페룰들(32, 34)의 제 2 홀들(36) 각각은 정렬 유닛들(20) 및 가이드 핀들(70)의 직경에 따라 크기가 서로 다를 수 있다.
도 5 및 도 6은 블록의 사시도 및 측면도이다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 블록(40)은 기판(12) 상에서 페룰들(30)을 소정의 각도로 고정할 수 있다. 또한, 블록(40)은 상부 페룰(32)과 하부 페룰(34)을 서로 평행하게 고정할 수 있다. 예를 들어, 블록(40)은 상부 페룰(32) 및 하부 페룰(34) 각각의 양측에 형성된 복수개의 하우징 프레임들(42)과, 상기 하우징 프레임들(42)을 연결하는 연결 프레임들(44)과, 상기 상부 페룰(32) 및 하부 페룰(34)을 고정하는 페룰 고정 프레임들(46)을 포함할 수 있다.
하우징 프레임들(42)은 기판(12)에 수직한 방향으로 배치될 수 있다. 하우징 프레임들(42)은 상부 페룰(32) 및 하부 페룰(34)을 기판(12)으로부터 기울어지게 배치시킬 수 있다. 상부 페룰(32) 및 하부 페룰(34)은 하우징 프레임들(42)에 의해 광섬유(50)의 입사각(Θ)과 동일한 방향으로 기울어질 수 있다 복수개의 하우징 프레임들(42)은 상부 및 하부가 서로 대칭적일 수 있다. 예를 들어, 하우징 프레임들(42) 중 어느 하나의 상부가 크면 나머지 하나는 작을 수 있다. 복수개의 하우징 프레임들(42) 내부의 페룰들(30)과 동일한 수평면을 가질 수 있다. 이는, 복수개의 하우징 프레임들(42)은 상부 페룰(32) 및 하부 페룰(34)과 함께 연마될 수 있기 때문이다.
연결 프레임들(44)은 페룰들(30) 양측의 하우징 프레임들(42) 사이에 배치될 수 있다. 연결 프레임들(44)은 하우징 프레임들(42)을 고정할 수 있다. 연결 프레임들(44)은 기판(12) 상에서 비스듬히 기울어질 수 있다. 예를 들어, 연결 프레임들(44)은 상부 페룰(32) 및 하부 페룰(34)과 동일한 방향으로 기울어질 수 있다. 광섬유들(50)은 연결 프레임들(44) 사이에 배치될 수 있다.
페룰 고정 프레임들(46)은 상부 페룰(32)과 하부 페룰(34)을 상하에 대하여 동일한 거리로 이격시킬 수 있다. 페룰 고정 프레임들(46)은 하우징 프레임들(42) 내부로 돌출될 수 있다. 페룰 고정 프레임(46)은 상부 페룰(32)과 하부 페룰(34) 각각의 가장자리를 지지할 수 있다. 페룰 고정 프레임(46)은 상부 페룰(32)과 하부 페룰(34)을 평행하게 이격시킬 수 있다. 페룰 고정 프레임(46)은 연결 프레임들(44)과 동일한 방향으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 페룰 고정 프레임(46)과 연결 프레임들(44)은 기판(12)에 대해 광섬유들(50)의 입사각에 대응되는 기울기를 가질 수 있다. 연결 프레임들(44)과, 상기 페룰 고정 프레임들(46)은 상기 하우징 프레임들(42)로부터 상기 상부 페룰 및 상기 하부 페룰과 동일한 경사각으로 기울어질 수 있다.
따라서, 블록(40)은 복수개의 페룰들(30)을 평행하게 고정하고, 상기 페룰들(30)을 소정의 기울기로 기판(12)에 안착시킬 수 있다. 광섬유들(50)과 광 커플러들(16)은 서로 접합될 수 있다. 광전소자 칩(10)과, 광 커넥터(60)는 솔더 볼들(22) 및 제 2 홀들(36)에 의해 정렬될 수 있다. 상기 솔더 볼들(22)은 광전소자 칩(10)과, 광 커넥터(60)의 정렬 및 접합 이후, 고온에서 상기 광 커넥터(60)의 하부 페룰(34)에 융착될 수 있다. 광 커넥터(60)는 접착제(80)에 의해 광전소자 칩(10)에 고정될 수 있다. 접착제(80)은 에폭시를 포함할 수 있다.
결국, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 장치는 광정렬 효율 및 광 접합 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 장치의 분리 및 결합 단면도들이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 장치는, 광 도파로들(14)의 양측에 형성된 솔더 볼들(22)을 구비한 광전소자 칩(10)과, 상기 광 도파로들(14)에 접합되는 광섬유들(50)을 정렬하는 페룰들(30)의 하부에 패드들(24)을 포함하는 광 커넥터(60)를 포함할 수 있다.
광전소자 칩(10)은 광 커넥터(60)와 플립 칩 본딩(flip chip bonding)될 수 있다. 광전소자 칩(10)은 기판(12) 상의 광 도파로들(14)과 연결되는 다이오드, 센서, 반도체 광증폭기, 광변조기, 먹스, 디먹스 중 적어도 하나를 구비하는 단일 집적 소자를 포함할 수 있다. 솔더 볼들(22)은 광 도파로들(14)의 외곽에 배치될 수 있다. 솔더 볼들(22)은 광전소자 칩(10)의 클래드(18) 상에 배치될 수 있다. 따라서, 솔더 볼들(22)은 광전소자 칩(10)의 기판(12) 상으로 노출될 수 있다.
광 커넥터(60)는 광섬유들(50)을 정렬하는 제 1 홀들(38)과 상기 제 1 홀들(38)의 외곽에 형성된 제 2 홀들(36)을 구비한 페룰들(30)을 포함할 수 있다. 페룰들(30)은 상부 페룰(32)과 하부 페룰(34)을 포함할 수 있다. 페룰들(30)은 블록(40)에 의해 고정될 수 있다. 제 2 홀들(36)은 광 커넥터(60)에 연결되는 광학 장치를 고정하는 가이드 핀들(70)이 삽입될 수 있다. 제 2 홀들(36)은 상부 페룰(36)을 관통할 수 있다. 제 2 홀들(36)은 하부 페룰(34)의 상부에 형성될 수 있다. 하부 페룰(34)은 하단에 패드들(24)을 지지하는 평탄면을 가질 수 있다. 제 2 홀들(36)은 하부 페룰(34)에 관통되지 않을 수 있다. 제 2 홀들(36)은 하부 페룰(34)의 평탄면에 의해 가로막히는 트렌치(trench)를 포함할 수 있다. 따라서, 패드들(24)은 광 커넥터(60)의 하부 페룰(34)에서 지지될 수 있다.
페드들(24)과 솔더 볼들(22)은 광전소자 칩(10)과 광 커넥터(60)의 정렬 유닛들(20)이 될 수 있다. 페드들(24)과 솔더 볼(22)은 광전소자 칩(10)과 광 커넥터(60)의 정렬 이후, 접합될 수 있다. 광전소자 칩(10)과 광 커넥터(60)는 접착제(80)에 의해 고정될 수 있다. 광섬유들(50)과 광 커플러들(16)은 서로 접합될 수 있다. 또한, 광섬유들(50)과 광 커플러들(16)은 서로 이격될 수 있다. 광섬유들(50)과 광 커플러들(16)사이에 에어 갭(air gap, 26)이 존재할 수 있다.
따라서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 장치는 광 접합 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있다.
이상, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 광전소자 칩 20: 정렬 유닛들
30: 페룰들 40: 블록
50: 광섬유들 60: 광 커넥터
70: 가이드 핀들 80: 접착제

Claims (20)

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  7. 광섬유;
    상기 광섬유를 고정하는 광 커넥터; 및
    상기 광섬유에 결합되는 광 커플러와, 상기 광 커플러에 연결된 광 도파로와, 상기 광 도파로를 포함하는 기판과, 상기 기판 상에서 상기 광 커넥터를 정렬하는 복수개의 정렬 유닛들을 구비하는 광전소자 칩을 포함하되,
    상기 광 커넥터는 상기 광섬유를 정렬하는 적어도 하나의 페룰들과, 상기 페룰들을 둘러싸는 블록을 포함하는 광학 장치.
  8. 삭제
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 페룰들은 상부 페룰 및 하부 페룰을 포함하는 광학 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 상부 페룰 및 상기 하부 페룰 각각은 상기 광섬유를 통과시키는 제 1 홀들과, 상기 제 1 홀들 외곽에 형성된 제 2 홀들을 포함하는 광학 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 홀들은 상기 기판의 수직한 방향에 대해 8도 내지 10도 기울어진 광학 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 2 홀들은 상기 기판으로부터 수직한 광학 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 2 홀들은 상기 정렬 유닛들을 삽입시키는 광학 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 정렬 유닛들 상의 상기 제 2 홀들 내에 삽입되는 가이드 핀들을 더 포함하는 광학 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 2 홀들은 상기 하부 페룰의 상부에서 상기 가이드 핀들을 삽입시키는 트렌치를 포함하는 광학 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 하부 페룰은 상기 제 2 홀들의 하부에서 상기 정렬 유닛을 지지하는 평탄면을 갖는 광학 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 광전소자 칩과 광 커넥터은 상기 정렬 유닛에 의해 플립 칩 본딩되는 광학 장치.
  18. 제 10 항에 있어서,
    상기 블록은 상기 상부 페룰 및 상기 하부 페룰을 평행하게 고정하는 광학 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 블록은 상기 상부 페룰 및 상기 하부 페룰을 상기 기판에 대해 기울어지게 고정하는 하우징 프레임들과, 상기 하우징 프레임들을 연결하는 연결 프레임들과, 상기 하우징 프레임들 내에서 상부 페룰 및 상기 하부 페룰을 지지하는 페룰 고정 프레임들을 포함하는 광학 장치.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 페룰 고정 프레임들은 상기 상부 페룰 및 상기 하부 페룰을 평행하게 이격시키는 광학 장치.
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