JP6492796B2 - 光学装置及び光学装置の製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、サーバやスーパーコンピュータ等の分野では、LSI(Large Scale Integration)等の半導体素子間のデータ伝送方法として、電気信号を伝送する電気配線に替えて、光信号を伝送する光配線を用いる光インターコネクトの必要性が高まっている。高周波帯域の信号伝送においては、電気配線では損失やクロストークによる波形劣化のため、長距離伝送が徐々に困難になってきており、将来的には高速電気配線はパッケージ上の距離に限定されることが予測される。光インターコネクトでは、光トランシーバと呼ばれる、電気信号を光信号に変換する、或いは、光信号を電気信号に変換する、光学モジュールが用いられる。近い将来の光インターコネクトでは、微小の光トランシーバをLSIの近傍に配置し、光電変換して送受信する形態になるものと予測される。
まず、第1の実施の形態について説明する。
パッケージ基板200は、例えば、その表面200a、裏面200b及び内部に、所定の導体パターン(配線、ビア等)が設けられたプリント板等の回路基板(インターポーザ)である。パッケージ基板200上に、半導体装置300及び光インターコネクト用の光トランシーバ400が実装される。
図3は第1の実施の形態に係る光トランシーバ及びその周辺部の一例を示す図である。ここで、図3(A)は第1の実施の形態に係る光トランシーバ及びその周辺部の一例の要部平面模式図、図3(B)は図3(A)のL2−L2断面模式図である。
光トランシーバ400は、パッケージ基板410、並びに、パッケージ基板410上に実装された第1光導波路基板420及び回路チップ430を有する。回路チップ430は、第1光導波路基板420を制御するドライバ回路と、トランスインピーダンスアンプ(TransInpedance Amplifier;TIA)等のアンプ回路とを含む。第1光導波路基板420及び回路チップ430は、バンプ440を通じてパッケージ基板410と電気的に接続される。パッケージ基板410上には、図3(A)に示すように、更に光源450が実装される。光源450は、光ファイバ等(図示せず)が用いられて第1光導波路基板420に光学的に接続される。
まず、第1光導波路基板420について説明する。
図5は第1の実施の形態に係る第2光導波路基板の一例を示す図である。ここで、図5(A)は第1の実施の形態に係る第2光導波路基板の一例の要部平面模式図、図5(B)は図5(A)のL4−L4断面模式図、図5(C)は図5(A)の右側面模式図である。
図6は第1の実施の形態に係る第1光導波路基板と第2光導波路基板との接合体の一例を示す図である。ここで、図6(A)は第1の実施の形態に係る第1光導波路基板と第2光導波路基板との接合体の一例の要部平面模式図、図6(B)は図6(A)のL5−L5断面模式図である。
図7は第1の実施の形態に係る光ファイバの接続構造の一例を示す図である。ここで、図7(A)は第1の実施の形態に係る光ファイバ接続構造の一例の要部平面模式図、図7(B)は図7(A)のL6−L6断面模式図である。
ここでは、上記のような第1光導波路基板420上に接合され光ファイバ500が光学的に接続される第2光導波路基板の別例を、第2の実施の形態として説明する。
ここでは、第2光導波路基板に設けるガイド溝の変形例を、第3の実施の形態として説明する。
尚、この第2変形例のようなガイド溝466Cの、少なくとも光導波路462に近い側の幅W1の部位を、上記第1変形例のように、断面V字形状とすることもできる。
以下、第4の実施の形態に係る第1光導波路基板及び第2光導波路基板の構成例、並びに、それらの接合及び光ファイバの接続について、図12〜図16を参照して説明する。
図12は第4の実施の形態に係る第1光導波路基板の一例を示す図である。ここで、図12(A)は第4の実施の形態に係る第1光導波路基板の一例の要部平面模式図、図12(B)は図12(A)のL8−L8断面模式図、図12(C)は図12(A)の右側面模式図である。
図13は第4の実施の形態に係る第2光導波路基板の一例を示す図である。ここで、図13(A)は第4の実施の形態に係る第2光導波路基板の一例の要部平面模式図、図13(B)は図13(A)のL9−L9断面模式図、図13(C)は図13(A)の右側面模式図である。
図14は第4の実施の形態に係る第1光導波路基板と第2光導波路基板との接合体の一例を示す図である。ここで、図14(A)は第4の実施の形態に係る第1光導波路基板と第2光導波路基板との接合体の一例の要部平面模式図、図14(B)は図14(A)のL10−L10断面模式図、図14(C)は図14(A)の右側面模式図である。
図15は第4の実施の形態に係る第1光ファイバ接続工程の一例を示す図、図16は第4の実施の形態に係る第2光ファイバ接続工程の一例を示す図である。ここで、図15(A)は第4の実施の形態に係る第1光ファイバ接続工程の一例の要部平面模式図、図15(B)は図15(A)のL11−L11断面模式図である。図16(A)は第4の実施の形態に係る第2光ファイバ接続工程の一例の要部平面模式図、図16(B)は図16(A)のL12−L12断面模式図である。
光ファイバ500は、予め先端部の被覆が除去され、先端がファイバカッターで切断される。このように処理された光ファイバ500が、まず、図15(A)及び図15(B)に示すように、接合体480Eの下側に位置する第1光導波路基板420Eのガイド溝426Eに、支持部材470に沿わせながら、斜め上方から挿入される。接合体480Eは、第1光導波路基板420Eのガイド溝426Eの比較的幅広の部位(間口)が、上側に位置する第2光導波路基板460E側から見える構造となっているため、光ファイバ500をガイド溝426Eに比較的容易に挿入することができる。第1光導波路基板420Eのガイド溝426Eの比較的幅広の部位に挿入された光ファイバ500は、そこから更に押し込まれると、ガイド溝426Eのテーパ状に狭まった部位、その部位に連通する比較的幅狭の部位へと挿入される。
図17は第5の実施の形態に係る光学装置の一例を示す図である。ここで、図17(A)は第5の実施の形態に係る光学装置の光トランシーバ及びその周辺部の一例の要部平面模式図、図17(B)は図17(A)のL13−L13断面模式図である。
図19は第6の実施の形態に係る光学装置の一例を示す図である。ここで、図19(A)は第6の実施の形態に係る光学装置の光トランシーバ及びその周辺部の一例の要部平面模式図、図19(B)は図19(A)のL15−L15断面模式図である。
次に、第7の実施の形態について説明する。
図20は第7の実施の形態に係る第2光導波路基板の一例を示す図である。ここで、図20(A)は第7の実施の形態に係る第2光導波路基板の一例の要部平面模式図、図20(B)は図20(A)のL16−L16断面模式図、図20(C)は図20(A)の右側面模式図である。
(付記1) 第1面に設けられた第1光導波路と、前記第1光導波路に設けられた第1回折格子とを有する第1基板と、
前記第1面上に接合され、前記第1面に対向する第2面に設けられ前記第1回折格子と光学的に接続された第2光導波路と、前記第2光導波路端側に設けられ側端面に達する第2凹部とを有する第2基板と、
前記第2凹部の底面に沿って設けられ、前記第2光導波路と光学的に接続された光ファイバと
を含むことを特徴とする光学装置。
(付記3) 前記第2基板は、前記第2光導波路に設けられ、前記第1回折格子と光学的に接続されたミラーを有することを特徴とする付記1に記載の光学装置。
(付記5) 前記第1基板と前記第2基板との接合体が搭載され、前記第1基板と電気的に接続された第3基板を更に含むことを特徴とする付記1乃至4のいずれかに記載の光学装置。
(付記9) 前記第2凹部は、平面視で矩形状であることを特徴とする付記1乃至8のいずれかに記載の光学装置。
(付記14) 第1面に設けられた第1光導波路と、前記第1光導波路に設けられた第1回折格子とを有する第1基板の、前記第1面上に、前記第1面に対向する第2面に設けられ前記第1回折格子と光学的に接続された第2光導波路と、前記第2光導波路端側に設けられ側端面に達する第2凹部とを有する第2基板を接合する工程と、
光ファイバを、前記第2凹部の底面に沿って設け、前記第2光導波路と光学的に接続する工程と
を含むことを特徴とする光学装置の製造方法。
前記光ファイバを接続する工程は、
前記第1凹部の、前記第2凹部の外方まで延在された部位に、前記光ファイバを挿入する工程と、
挿入された前記光ファイバを、前記第1凹部と前記第2凹部の間の部位に押し込む工程と、
押し込まれた前記光ファイバを、前記第1基板側に寝かせ、前記第2凹部の前記底面に沿わせる工程と
を含むことを特徴とする付記14に記載の光学装置の製造方法。
100 ボード
100a,200a,421a,461a,1100a 表面
200,410 パッケージ基板
200b,421c 裏面
210,412,413,427 端子
211,411 穴
300 半導体装置
400,1000 光トランシーバ
420,420E 第1光導波路基板
421,461,1100 基板
421b,461b 側端面
422,462,462E,1200 光導波路
422b,462b,462Ab,1210 回折格子
423 素子領域
424,464,1300 保護層
425,465,465A メタル層
426E,466,466B,466C,466D,466E ガイド溝
428 導体部
430 回路チップ
440,700,800 バンプ
450 光源
460,460A,460B,460C,460D,460E,460F 第2光導波路基板
462A,462F シングルモード光導波路
462c ミラー
463 SSC
466a,466Ca,466Da 底面
466Ba 側面
466Db,511 突起
466Ea 内面
470 支持部材
480,480E 接合体
500,2000 光ファイバ
510 光コネクタ
520,900,3000,3100 接着剤
600 冷却部材
610 ヒートシンク
610a フィン
620 クーリングプレート
620a 配管
2100 ファイバホルダ
2100a 先端面
Claims (7)
- 第1面に設けられた第1光導波路と、前記第1光導波路に設けられた第1回折格子とを有する第1基板と、
前記第1面上に接合され、前記第1面に対向する第2面に設けられ前記第1回折格子と光学的に接続された第2光導波路と、前記第2光導波路端側に設けられ側端面に達する第2凹部とを有する第2基板と、
前記第2凹部の底面に沿って設けられ、前記第2光導波路と光学的に接続された光ファイバと
を含み、
前記第1基板は、接合される前記第2基板の前記第2凹部との対向位置から前記第2凹部の外方まで延在された第1凹部を有することを特徴とする光学装置。 - 前記第2基板は、前記第2光導波路に設けられ、前記第1回折格子と光学的に接続された第2回折格子を有することを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 前記第1基板と前記第2基板との接合体が搭載され、前記第1基板と電気的に接続された第3基板を更に含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学装置。
- 前記第2凹部の前記底面に沿って設けられる前記光ファイバを支持する支持部材を更に含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光学装置。
- 前記第1基板と前記第2基板との接合体上に設けられた冷却部材を更に含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の光学装置。
- 第1面に設けられた第1光導波路と、前記第1光導波路に設けられた第1回折格子とを有する第1基板の、前記第1面上に、前記第1面に対向する第2面に設けられ前記第1回折格子と光学的に接続された第2光導波路と、前記第2光導波路端側に設けられ側端面に達する第2凹部とを有する第2基板を接合する工程と、
光ファイバを、前記第2凹部の底面に沿って設け、前記第2光導波路と光学的に接続する工程と
を含み、
前記第1基板は、接合される前記第2基板の前記第2凹部との対向位置から前記第2凹部の外方まで延在された第1凹部を有し、
前記光ファイバを接続する工程は、
前記第1凹部の、前記第2凹部の外方まで延在された部位に、前記光ファイバを挿入する工程と、
挿入された前記光ファイバを、前記第1凹部と前記第2凹部の間の部位に押し込む工程と、
押し込まれた前記光ファイバを、前記第1基板側に寝かせ、前記第2凹部の前記底面に沿わせる工程と
を含むことを特徴とする光学装置の製造方法。 - 前記光ファイバを接続する工程は、前記光ファイバを、支持部材で支持して前記第2凹部の前記底面に沿わせる工程を含むことを特徴とする請求項6に記載の光学装置の製造方法。
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