KR101048428B1 - 광도파로형 광모듈 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 광도파로형 광모듈에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 광도파로형 광모듈은 기판과, 하부 클래드층과 코어층과 상부 클래드층의 적층구조로 이루어져 상기 기판의 상측에 배치되는 광회로와, 광출력측 단부의 상측면에 광신호의 진행방향과 직교하는 방향으로 V형 홈이 형성되어 상기 광회로의 상측에 배치되는 광회로 보호용 기판이 형성된 평판형 광도파로 소자; 및, 상기 V형 홈의 양측 면 중 광출력측 단부에 대향하는 면에 설치되는 포토 다이오드가 형성된 능동소자;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 반사된 광원이 까지 도달하는 경로를 줄이는 것과 동시에 광신호가 포토 다이오드의 수광면에 대략 직교하는 각도로 입사되도록 함으로써 포토 다이오드의 감도를 향상시킬 수 있는 광도파로형 광모듈이 제공된다.

Description

광도파로형 광모듈{OPTICAL WAVEGUIDE TYPE OPTICAL MODULE}
본 발명은 광도파로형 광모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반사된 광원이 까지 도달하는 경로를 줄이는 것과 동시에 광신호가 포토 다이오드의 수광면에 대략 직교하는 각도로 입사되도록 함으로써 포토 다이오드의 감도를 향상시킬 수 있는 광도파로형 광모듈에 관한 것이다.
광통신 분야에서 다양한 파장의 광신호를 다중화(합파)하거나 다중화된 광신호를 개별 파장의 광신호들로 분리(역다중)하기 위한 대표적인 평판형 광도파로 소자(PLC:Planar Lightwave Circuit)로써, 배열 도파로 격자(AWG:Arrayed Waveguide Grating) 소자가 있다.
일반적으로 평판형 광도파로 소자(이하 'PLC 소자'라 한다)인 배열 도파로 격자 소자(이하 'AWG 소자'라 한다)는 단일의 입력광도파로를 통해 입력되는 합파된 다수 파장의 광신호들을 다수의 출력광도파로로 출력시키는 역다중화 기능을 하거나 또는 다수의 입력광도파로에서 입력되는 각각의 서로 다른 다수개의 파장 신호들을 단일의 출력광도파로로 출력시키는 다중화 기능을 수행한다.
이와 같이 광신호를 조절하는 소자를 수동소자라고 하고 이는 주로 실리콘 기판 위에 굴절율이 다른 실리카 매질을 이용하여 제작된다. AWG소자는 기판 상에 클래드(Clad)층과 코어(Core)층을 적층한 다음, 리쏘그라피 공정 및 건식 식각 공정을 통하여 코어층을 식각하여 다양한 형태로 패터닝된 코어를 따라서 광신호를 진행하는 광경로를 형성하고 상기 패터닝된 코어가 형성된 기판 상에 다시 클래드층을 형성하는 과정을 거쳐 제작함이 일반적이다.
한편, 이와 같은 AWG, 다 포트 광가변감쇄기(VOA:Variable Optical Attenuator), 광세기 분할기 등과 같은 PLC소자를 집적하여 광신호를 처리하는 광서브시스템(Optical Sub System)을 형성할 때, 복수의 입력포트 또는 복수의 출력포트를 가지는 PLC 소자들의 각 입력포트 또는 각 출력포트로부터 입출사되는 광신호 파워를 모니터링해서 일정하게 조절시켜 주는 것이 바람직하다.
이때, 각 입출력 포트의 광신호를 모니터하기 위해 다수개인 입력포트 또는 출력포트에 연결되는 입출력광도파로에 탭커플러를 설치하고, 상기 탭커플러를 이용하여 만들어진 다른 광도파로에 광신호를 분기시키고, 분기되는 광신호의 파워를 능동 소자인 포토 다이오드에 의하여 모니터할 필요가 있다.
이 경우 사용되는 포토 다이오드는 대표적인 능동소자로서 광신호를 전기신호로 바꿔주는 역할을 수행한다. 또 다른 능동소자로는 전기신호를 광신호로 바꿔주는 레이저 다이오드 등이 있다. 이러한 소자는 광전효과나 전광효과를 이용하여 광통신에서 주로 사용되는 1310/1550nm 파장의 광신호를 취급하기 위하여 InP 기판 위에 조성비를 달리한 InGaAs 물질을 적층하여 p-n 접합층을 형성하여 광신호를 전기신호로 바꾸거나, 전기신호를 광신호로 바꾸어줄 수 있는 능동소자를 제작한다.
이러한 능동소자를 수동소자에 결합시켜 사용하기 위해서는, 이들이 각각 서로 다른 매질로 구성되기 때문에 한 기판 위에서 동일한 공정으로 수동소자와 능동소자를 동시에 제작할 수 없고, 각각의 공정을 통해서 완성된 각 소자를 정렬하고 부착해야 한다. 이와 같이 다른 매질로 집적된 능동소자를 수동소자 위에 결합시키는 것을 하이브리드 집적이라고 한다.
종래의 하이브리드 집적 기술에서는 PLC 소자를 구성하는 평면 광도파로를 끊는 좁고 기울어진 홈을 만들고 반사필터를 삽입하여 평면 광도파로를 진행하는 광신호를 평면 광도파로의 코어 밖으로 반사시켜 포토 다이오드 수광 영역에 입사시키는 방법을 개시하고 있다. 이 경우에는, 능동소자를 수동소자에 부착시키기 위해 수동소자의 기판에 실리콘 플랫폼을 형성하고, 평면 광도파로와 능동소자의 능동 영역을 정밀하게 정렬하고, 플립칩 본딩(Flip Chip Bonding)하여 실장해야만 한다.
도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따라 구성된 PLC 소자(40)와 능동소자인 포토 다이오드 소자(50)의 결합 구조를 도시한 것이다.
먼저, 실질적으로 현장에서 사용할 수 있는 PLC 소자 모듈은 입사포트인 광커넥터가 부착되어 있는 입력 광섬유어레이와 출사포트인 광커넥터가 부착되어 있는 출력 광섬유어레이, 이들 사이에 매개하여 광신호를 조절(분파, 합파, 광세기 조정 등)하는 PLC 소자로 구성된다. 아울러, 평면 광도파로를 진행하는 광신호를 전기신호로 바꾸기 위해서는 능동소자인 포토 다이오드와 이를 연결하는 전기회로가 더 구성되어야 한다. 이 때, 포토 다이오드는 수광된 광 세기에 비례하는 전기신호인 전류 또는 전압을 출력하는 소자이다.
이 경우, 종래에는 먼저 출력광도파로의 끝단에 평면 광도파로의 코어(12)를 끊는 깊이 방향으로 비스듬한 각도를 갖는 홈(trench, 35)을 파고, 그 안에 일정한 반사율을 갖는 반사거울(11)을 삽입하여, 상기 평면 광도파로의 코어(12)를 진행하는 광신호를 일정한 각도로 반사시켜 반사광(17)을 반사된 빛의 경로 끝에 놓인 포토 다이오드의 수광영역(51)에 수광시키는 구조를 갖는다. 이때, 일정 반사율을 갖는 반사거울(11)의 반사율을 조절하여 일부 또는 전체 빛을 포토 다이오드(50)로 수광시킬 수 있다. 그리고, 상기 출력광도파로의 끝단 부분에 형성된 홈(35)은 매우 깨끗한 절단면을 가져서 빛의 산란을 막아야 하고, 상기 홈(35)의 폭은 삽입되는 반사거울(11)과 거의 일치되도록 좁게 만들어, 얇은 반사거울(11)이 비뚤어짐 없이 정확하게 놓이게 할 수 있어 반사되는 각도를 일정하게 유지할 수 있도록 하여야 한다. 또한, 반사거울(11)의 투과율을 조절하고 두께를 수십 마이크로미터보다 작게 만들어 반사거울(11) 뒤에 연속된 광도파로로 손실 없이 광신호를 전달할 수 있어야 한다.
또한, 홈(35)을 형성할 때 홈(35)의 각도가 정확하게 일치해야 반사된 광신호가 포토 다이오드의 수광영역(51)에서 벗어나지 않게 된다.
하지만, 종래기술에 따른 광도파로형 광모듈은 경사배치되는 반사면에 의해 반사되는 광신호가 광회로 보호용 기판의 상측면에 수평으로 배치된 포토 다이오드에 경사방향으로 전달되는 구조로 이루어져 있으므로, 포토 다이오드의 수광감도가 저하되는 문제점이 있다.
또한, 반사면에 반사된 광신호가 광회로 보호용 기판을 사선방향으로 통과하게 되므로, 광경로가 길어짐에 따라 포토 다이오드의 수광감도가 저하되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 광회로 보호용 기판에 V형 홈을 형성하고, V형 홈에 포토 다이오드를 배치함으로써, 반사된 광원이 까지 도달하는 경로를 줄이는 것과 동시에, 포토 다이오드를 향하는 광신호가 포토 다이오드의 수광면에 대략 직교하는 각도로 입사되도록 함으로써 포토 다이오드의 감도를 향상시킬 수 있는 광도파로형 광모듈을 제공함에 있다.
또한, 광회로 보호용 기판에 형성되는 V형 홈은, 사이각을 크게 하여 포토 다이오드의 조립공정의 효율을 향상시키거나, 사이각을 좁게 하여 광신호의 이동경로를 짧게 함으로써 수광효율을 향상시키는 것을 사용자의 요구환경에 따라 조절할 수 있는 광도파로형 광모듈을 제공함에 있다.
또한, V형 홈의 사이각을 조절함에 따라, 반사면의 반사각을 결정하는 출력 광섬유 어레이의 입력측 단부의 경사각과, 평판형 광도파로의 출력측 단부의 경사각을 조절할 수 있는 하는 것이 가능하며, 이로 인해 사용자의 요구환경에 따라 최적화된 성능을 제공할 수 있는 광도파로형 광모듈을 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판과, 하부 클래드층과 코어층과 상부 클래드층의 적층구조로 이루어져 상기 기판의 상측에 배치되는 광회로와, 광출력측 단부의 상측면에 광신호의 진행방향과 직교하는 방향으로 V형 홈이 형성되어 상기 광회로의 상측에 배치되는 광회로 보호용 기판이 형성된 평판형 광도파로 소자; 및, 상기 V형 홈의 양측 면 중 광출력측 단부에 대향하는 면에 설치되는 포토 다이오드가 형성된 능동소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광도파로형 광모듈에 의해 달성된다.
여기서, 상기 V형 홈의 사이각은 81도 이상 180도 이하의 각도로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 능동소자는 포토 다이오드의 하부에 대응되는 위치에 수광용 개구영역이 형성되어 상기 광회로 보호용 기판과 포토 다이오드의 사이에 배치되는 전기회로를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 포토 다이오드는 전기회로에 형성된 수광영역의 수와 간격에 따라 다수 마련되어 모듈화된 상태로 전기회로의 상측에 고정되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 광회로 보호용 기판에 V형 홈을 형성하고, V형 홈에 포토 다이오드를 배치함으로써, 반사된 광원이 까지 도달하는 경로를 줄이는 것과 동시에, 포토 다이오드를 향하는 광신호가 포토 다이오드의 수광면에 대략 직교하는 각도로 입사되도록 함으로써 포토 다이오드의 감도를 향상시킬 수 있는 광도파로형 광모듈이 제공된다.
또한, 광회로 보호용 기판에 형성되는 V형 홈은, 사이각을 크게 하여 포토 다이오드의 조립공정의 효율을 향상시키거나, 사이각을 좁게 하여 광신호의 이동경로를 짧게 함으로써 수광효율을 향상시키는 것을 사용자의 요구환경에 따라 조절할 수 있는 광도파로형 광모듈이 제공된다.
또한, V형 홈의 사이각을 조절함에 따라, 반사면의 반사각을 결정하는 출력 광섬유 어레이의 입력측 단부의 경사각과, 평판형 광도파로의 출력측 단부의 경사각을 조절할 수 있는 하는 것이 가능하며, 이로 인해 사용자의 요구환경에 따라 최적화된 성능을 제공할 수 있는 광도파로형 광모듈이 제공된다.
도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따라 구성된 PLC 소자와 능동소자인 포토 다이오드 소자의 결합 구조를 나타낸 도면,
도 2는 본 발명 광도파로형 광도듈의 단면도,
도 3은 본 발명 광도파로형 광모듈의 평면도,
도 4는 본 발명 광도파로형 광모듈에 따른 광회로 보호용기판과 능동소자의 분해사시도,
도 5는 본 발명 광도파로형 광모듈에 따른 광섬유 어레이의 분해사시도,
도 6은 본 발명에 따른 광회로 보호용 기판의 V형 홈의 사이각을 변경한 다양한 변형예를 나타내는 단면도이고,
도 7은 본 발명에 따른 광회로 보호용 기판의 V형 홈의 위치를 변경한 변형예를 나타내는 단면도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 광도파로형 광모듈에 대하여 상세하게 설명한다.
첨부도면 중 도 2는 본 발명 광도파로형 광도듈의 단면도이고, 도 3은 본 발명 광도파로형 광모듈의 평면도이고, 도 4는 본 발명 광도파로형 광모듈에 따른 광회로 보호용 기판과 능동소자의 분해사시도이고, 도 5는 본 발명 광도파로형 광모듈에 따른 광섬유 어레이의 분해사시도이다.
상기 도면에서 도시하는 바와 같은 본 발명 광도파로형 광모듈은 평판형 광도파로 소자(110)와, 상기 평판형 광도파로 소자(110)의 상측에 배치되는 능동소자(120)와, 상기 평판형 광도파로 소자(110)의 광 출력측 단부에 배치되는 광섬유 어레이(130)를 포함하여 구성된다.
상기 평판형 광도파로 소자(110)는 기판(111)과, 하부 클래드층과 코어층과 상부 클래드층의 적층구조로 이루어져 상기 기판(111)의 상측에 배치되는 광회로(112)와, 광 출력측 단부의 상측면에 광신호의 진행방향과 직교하는 방향으로 V형 홈(113a)이 형성되어 상기 광회로(112)의 상측에 배치되는 광회로 보호용 기판(113)이 형성된다.
특히, 상기 V형 홈(113a)의 사이각은 81도 이상 180도 이하의 각도로 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 V형 홈(113a)의 사이각은 180도 이상이면 광회로 보호용 기판(113)의 상측에 볼록한 형태를 이루는 것이어서 광경로를 단축하는 효과를 기대하기 어렵고, 81도 이하이면 포토 다이오드(122)의 안착이 불안정하게 이루어지면서 플립 칩 본딩 공정의 수율이 저하된다.
상기 능동소자(120)는 광섬유 어레이(130)의 반사면(132a)과 포토 다이오드(122)의 수광면 사이영역에 대응되는 위치 형성되는 수광용 개구영역(121a)이 상기 V형 홈(113a)의 양측 면 중 평판형 광도파로 소자(110)의 광출력측 단부와 인접한 면에 위치하도록 상기 광회로 보호용 기판(113)의 상측에 배치되는 금(Au) 재질의 전기회로(121)와, 하부에 평판형 광도파로 소자(110)와의 사이에 배치되어 스트레스 완충작용을 하는 납(Pb), 티타늄(Ti)등의 완충박막(미도시)과, 상기 전기회로(121)에 형성된 수광용 개구영역(121a)의 개수와 간격에 따라 다수개가 모듈화된 상태로 전기회로(121)의 수광용 개구영역(121a)에 설치되어 전기회로(121)와 전기적으로 연결되는 포토 다이오드(122)가 형성된다. 한편, 상기 전기회로(121)는 광회로 보호용 기판(113)의 상측에 리프트 오프(Lift-off) 방식으로 형성되고, 상기 포토 다이오드(122)는 플립 칩 본딩 (Flip Chip Bonding)방식으로 상기 전기회로(121)의 수광용 개구영역(121a)에 고정된다.
상기 출력 광섬유 어레이(130)는 상기 평판형 광도파로 소자(110)의 광출력측 단부에 고정되어 광회로(112)의 출력측 단부로 출력되는 광신호를 광섬유(133)로 전달받거나, 반사면(132a)으로 포토 다이오드(122)를 향해 반사시키는 것으로서, 상측면에 다수의 V형 가이드홈(131b)이 등간격으로 이격 배치되어 상기 평판형 광도파로 소자(110)의 광출력측에 배치되는 지지기판(131)과, 상기 지지기판(131)의 V형 가이드홈(131b)에 선택적으로 설치되는 광섬유(133)와 금속선(132), 상기 지지기판(131)의 상측에 고정되어 V형 가이드홈(131b)에 삽입된 광섬유(133)와 금속선(132)을 고정하는 덮개(135)와, 상기 지지기판(131)의 광입력측 단부에 연마에 의해 가공 형성되는 경사면(131a)과, 상기 경사면(131a)의 형성과정에서 금속선(132)의 광입력측 단부에 형성되어 광회로(112)의 출력단으로부터 출력되는 광신호를 상기 능동소자(120)의 포토 다이오드(122)를 향해 반사시키는 반사면(132a)이 형성된다.
지금부터는 상술한 광도파로형 광모듈의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.
평판형 광도파로 소자(110)의 광출력측 단부에 형성된 경사면(111a)과 광섬유 어레이(130)의 광입력측 단부에 형성된 경사면(131a)이 밀착되도록 고정된 상태에서, 평판형 광도파로 소자(110)의 광입력측 단부에 배치되는 입력측 광섬유 어레이(미도시)로부터 제공되는 광신호는 기판(111)상에 형성된 광회로(112)의 입력단(미도시)으로 입력되고, 광손실 없이 분기된다.
분기된 광신호 중 하나는 상기 광회로(112)의 출력단에 연결되는 광섬유 어레이(130)의 광섬유(133)로 전달되고, 다른 하나는 광섬유 어레이(130)의 반사면(132a)에 의해 반사되면서 포토 다이오드(122)로 전달되어 전기신호로 변환된다.
이때, 상기 포토 다이오드(122)는 광회로 보호용 기판(113)의 상측에 형성된 V형 홈(113a)에 설치되는데, 이러한 V형 홈(113a)이 광회로 보호용 기판(113)의 상측면에서 오목한 형태로 형성되어 있으므로, 반사면(132a)에 의해 반사되어 포토 다이오드(122)로 전달되는 광신호의 광경로가 단축된다.
또한, 상기 포토 다이오드(122)는 상기 V형 홈(113a)의 양측 면 중 평판형 광도파로 소자(110)의 광출력측 단부에 대향하는 면에 설치되면서 반사면(132a)과 서로 마주보도록 배치된다. 따라서 반사면(132a)에 반사되어 포토 다이오드(122)를 향하는 광신호가 포토 다이오드(122)의 수광면에 대략 직교하는 각도로 입사된다.
상기와 같이 V형 홈(113a)에 포토 다이오드(122)를 배치함에 따라 광신호의 이동경로가 단축되는 것과 동시에, 광신호가 포토 다이오드(122)에 대략 직교하는 각도로 입사되므로 포토 다이오드(122)의 수광감도가 향상된다.
한편, 상기 광섬유 어레이(130)는 지지기판(131)의 상측에 광섬유(133)와 금속선(132)을 정렬하기 위한 V형 가이드홈(131b)이 다수 형성되는데, 상기 광회로 보호용 기판(113)에 형성되는 V형 홈(113a)은 상기 지지기판(131)의 V형 가이드홈(131b)과 동일한 방법으로 형성할 수 있으므로, V형 홈(113a)을 형성하기 위해 별도의 장비를 마련하지 않아도 된다.
또한, 상기 평판형 광도파로 소자(110)의 광출력측 단부와 광섬유 어레이(130)의 광입력측 단부를 각각 경사면(111a,131a)으로 연마하는 과정에서, 광섬유 어레이(130)의 경사면(131a)에 위치한 금속선(132)의 연마된 단면에 반사면(132a)이 형성된다. 즉, 반사면(132a)의 배치각도는 경사면(131a)의 연마각도에 따라 결정되는 것이므로, 평판형 광도파로 소자(110)의 경사면(111a)과 광섬유 어레이(130)의 경사면(131a)의 경사각도, V형 홈(113a)의 사이각, 그리고 V형 홈(113a)의 형성 위치 등을 조절하여 사용자의 요구에 최적화된 광도파로형 광모듈을 제공할 수 있다.
첨부도면 중 도 6은 본 발명에 따른 광회로 보호용 기판의 V형 홈의 사이각을 변경한 다양한 변형예를 나타내는 단면도이고, 도 7은 본 발명에 따른 광회로 보호용 기판의 V형 홈의 위치를 변경한 변형예를 나타내는 단면도이다.
본 발명에 따른 광회로 보호용 기판(113)에 형성되는 V형 홈(113a)은 사이각을 조절하여 조립공정의 용이함이나 포토 다이오드(122)의 수광감도 개선을 선택할 수 있는 장점이 있다.
도 6의 (a)는 V형 홈(113a)의 사이각을 150도로 설정한 것으로, 이와 같이 V형 홈(113a)의 사이각이 180도에 근접하도록 형성되는 경우에는 포토 다이오드(122)가 광회로 보호용 기판(113)의 상측에 수평에 가깝게 배치되므로, 플립 칩 본딩공정을 통한 포토 다이오드(122)의 조립공정이 용이하다. 그러나, 이 경우에는 V형 홈(113a)의 깊이가 얕게 형성되면서 광경로의 단축효과가 떨어지고, 포토 다이오드(122)가 수평에 가깝게 배치되면서 광신호가 경사방향으로 입사되므로 포토 다이오드(122)의 수광감도는 다소 저하된다.
반대로 도 6의 (c)는 V형 홈(113a)의 사이각을 90도로 설정한 것으로, V형 홈(113a)의 사이각이 81도에 근접하도록 형성되는 경우에는, 평판형 광도파로 소자(110)의 광출력측 단부에 배치되는 광섬유 어레이(130)의 반사면(132a)과 포토 다이오드(122) 사이의 간격이 좁아지면서 광경로가 단축되고, 포토 다이오드(122)의 수광면에 입사되는 광신호가 수직에 가까운 각도로 입사되므로 포토 다이오드(122)의 수광감도가 향상된다. 그러나, V형 홈(113a)의 사이각이 좁아지면서 플립 칩 본딩시 포토 다이오드(122)의 배치가 불안정하게 이루어지므로 불량이 증가하는 등 공정효율이 다소 저하된다. 특히, 상기 V형 홈(113a)의 사이각이 81도보다 작게 형성되는 경우에는, 포토 다이오드(122)의 안착이 불안정하게 이루어지므로, 플립 칩 본딩의 공정이 매우 불리하다.
따라서, 도 6의 (b)와 같이 V형 홈(113a)의 사이각을 120도(중간값)으로 설정하여 플립 칩 본딩 공정의 효율을 확보하면서 포토 다이오드(122)의 수광감도도 향상시키는 것이 바람직할 것이다.
즉, 본 발명은 상기한 바와 같이 V형 홈(113a)의 사이각을 적절하게 변경하여 공정효율을 향상시키거나 수광감도를 향상시키는 것을 선택적으로 조절하는 것이 가능하므로, 사용자의 요구환경에 적절하게 대응하는 것이 가능하다.
또한, 도 7과 같이 V형 홈(113a)의 위치를 평판형 광도파로 소자(110)의 광출력측 단부에 최대한 근접 배치되도록 함으로써, 광섬유 어레이(130)의 반사면(132a)으로부터 반사되어 포토 다이오드(122)를 향하는 광신호의 광경로를 추가로 단축시키는 것이 가능하다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
110:평판형 광도파로 소자, 111:기판, 111a:경사면, 112:광회로,
113:광회로 보호용 기판, 113a:V형 홈, 120:능동소자, 121:전기회로,
121a:수광용 개구영역, 122:포토 다이오드, 130:광섬유 어레이,
131:지지기판, 131a:경사면, 131b:V형 가이드홈, 132:금속선, 132a:반사면,
133:광섬유, 135:덮개

Claims (4)

  1. 기판과, 하부 클래드층과 코어층과 상부 클래드층의 적층구조로 이루어져 상기 기판의 상측에 배치되는 광회로와, 광출력측 단부의 상측면에 광신호의 진행방향과 직교하는 방향으로 V형 홈이 형성되어 상기 광회로의 상측에 배치되는 광회로 보호용 기판이 형성된 평판형 광도파로 소자;
    상기 V형 홈의 양측 면 중 광출력측 단부에 대향하는 면에 설치되는 포토 다이오드가 형성된 능동소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광도파로형 광모듈.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 V형 홈의 사이각은 81도 이상 180도 이하의 각도로 형성되는 것을 특징으로 하는 광도파로형 광모듈.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 능동소자는 포토 다이오드의 하부에 대응되는 위치에 수광용 개구영역이 형성되어 상기 광회로 보호용 기판과 포토 다이오드의 사이에 배치되는 전기회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광도파로형 광모듈.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 포토 다이오드는 전기회로에 형성된 수광영역의 수와 간격에 따라 다수 마련되어 모듈화된 상태로 전기회로의 상측에 고정되는 것을 특징으로 하는 광도파로형 광모듈.
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