KR101226704B1 - 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈 - Google Patents

경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광 파워 감시 모듈에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 소정의 경사각을 가진 상기 평판형 광도파로 소자와 매우 얇고 구부러짐이 자유롭고 박막형 가요성 인쇄회로기판(Thin Flexible PCB) 및 포토 다이오드 어레이를 집적화하여 광분기율을 조절할 수 있는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈에 관한 것이다. 본 발명에 따른 경사각을 이용한 광 파워 측정 모듈은 기판과, 하나 이상의 쌍을 이룬 코어층을 포함하여 상기 기판의 상측에 배치되는 광회로와, 상기 광회로의 상측에 배치되는 커버글라스를 포함하는 구조로 이루어지되, 일측면이 소정의 경사각을 가지도록 형성된 평판형 광도파로 소자, 소정의 경사각을 가진 상기 평판형 광도파로 소자의 일측면과 대향하는 면에 연결되되, 일부의 광신호가 통과하는 개구부를 형성한 박막형 가요성 인쇄회로기판 및, 상기 박막형 가요성 인쇄회로기판과 나란하도록 연결되되, 상기 박막형 가요성 인쇄회로기판의 개구부에 플립 칩본딩(Flip Chip Bonding) 방식이나 공융 접합(Eutetic Bonding)으로 고정되고, 상기 개구부를 통해 상기 광신호를 수신하는 포토 다이오드 어레이를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈{OPTICAL POWER MONITORING MODULE USING TILT ANGLE}
본 발명은 광 파워 감시 모듈에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 소정의 경사각을 가진 상기 평판형 광도파로 소자와 매우 얇고 구부러짐이 자유롭고 박막형 가요성 인쇄회로기판(Thin Flexible PCB) 및 포토 다이오드 어레이를 집적화하여 광분기율을 조절할 수 있는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈에 관한 것이다.
광통신 분야에서 다양한 파장의 광 신호를 다중화(합파)하거나 다중화된 광신호를 개별 파장의 광신호들로 분리(역다중)하거나 광 파워를 균등 분배하는 소자 등을 평판형 광도파로 소자(PLC:Planar Lightwave Circuit)라고 하는데, 대표적으로 어레이도파로회절격자(AWG:Arrayed WaveguideGrating), 광파워 분배기(Optical Power Splitter) 등이 있다.
일반적으로 평판형 광도파로 소자(이하 'PLC 소자'라 한다)인 배열 도파로 격자 소자(이하 'AWG 소자'라 한다)는 단일의 입력광도파로를 통해 입력되는 합파된 다수 파장의 광신호들을 다수의 출력광도파로로 출력시키는 역다중화 기능을 하거나 또는 다수의 입력광도파로에서 입력되는 각각의 서로 다른 다수개의 파장 신호들을 단일의 출력광도파로로 출력시키는 다중화 기능을 수행한다.
이와 같이 광신호를 조절하는 소자를 수동소자라고 하고 이는 주로 실리콘 기판 위에 굴절율이 다른 실리카 매질을 이용하여 제작된다. AWG소자는 기판 상에 클래드(Clad)층과 코어(Core)층을 적층한 다음, 리쏘그라피 공정 및 건식 식각 공정을 통하여 코어층을 식각하여 다양한 형태로 패터닝된 코어를 따라서 광신호를 진행하는 광경로를 형성하고 상기 패터닝된 코어가 형성된 기판 상에 다시 클래드층을 형성하는 과정을 거쳐 제작함이 일반적이다.
한편, 이와 같은 AWG, 다 포트 광가변감쇄기(VOA:Variable Optical Attenuator), 광파워 분배기 등과 같은 PLC 소자를 집적하여 광신호를 처리하는 광서브시스템(Optical Sub System)을 형성할 때, 복수의 입력포트 또는 복수의 출력포트를 가지는 PLC 소자들의 각 입력포트 또는 각 출력포트로부터 입출사되는 광신호 파워를 모니터링해서 일정하게 조절시켜 주는 것이 바람직하다.
이때, 각 입출력 포트의 광신호를 모니터하기 위해 다수개인 입력포트 또는 출력포트에 연결되는 입출력광도파로에 탭커플러를 설치하고, 상기 탭커플러를 이용하여 만들어진 다른 광도파로에 광신호를 분기시키고, 분기되는 광신호의 파워를 능동 소자인 포토 다이오드에 의하여 모니터할 필요가 있다.
이 경우 사용되는 포토 다이오드는 대표적인 능동소자로서 광신호를 전기신호로 바꿔주는 역할을 수행한다. 또 다른 능동소자로는 전기신호를 광신호로 바꿔주는 레이저 다이오드 등이 있다. 이러한 소자는 광전효과나 전광효과를 이용하여 광통신에서 주로 사용되는 1310/1550nm 파장의 광신호를 취급하기 위하여 InP 기판 위에 조성비를 달리한 InGaAs 물질을 적층하여 p-n 접합층을 형성하여 광신호를 전기신호로 바꾸거나, 전기신호를 광신호로 바꾸어줄 수 있는 능동소자를 제작한다.
이러한 능동소자를 수동소자에 결합시켜 사용하기 위해서는, 이들이 각각 서로 다른 매질로 구성되기 때문에 한 기판 위에서 동일한 공정으로 수동소자와 능동소자를 동시에 제작할 수 없고, 각각의 공정을 통해서 완성된 각 소자를 정렬하고 부착해야 한다. 이와 같이 다른 매질로 집적된 능동소자를 수동소자 위에 결합시키는 것을 하이브리드 집적이라고 한다.
종래의 하이브리드 집적 기술에서는 PLC 소자를 구성하는 평면 광도파로를 끊는 좁고 기울어진 홈을 만들고 반사필터를 삽입하여 평면 광도파로를 진행하는 광신호를 평면 광도파로의 코어 밖으로 반사시켜 포토 다이오드 수광 영역에 입사시키는 방법을 개시하고 있다. 이 경우에는, 능동소자를 수동소자에 부착시키기 위해 수동소자의 기판에 실리콘 플랫폼을 형성하고, 평면 광도파로와 능동소자의 능동 영역을 정밀하게 정렬하고, 플립칩 본딩(Flip Chip Bonding)하여 실장해야만 한다.
도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따라 구성된 평판형 광도파로 소자(40)와 능동소자인 포토 다이오드 소자(50)의 결합 구조를 도시한 것이다.
먼저, 실질적으로 현장에서 사용할 수 있는 PLC 소자 모듈은 입사포트인 광커넥터가 부착되어 있는 입력 광섬유어레이와 출사포트인 광커넥터가 부착되어 있는 출력 광섬유어레이, 이들 사이에 매개하여 광신호를 조절(분파, 합파, 광세기 조정 등)하는 PLC 소자로 구성된다. 아울러, 평면 광도파로를 진행하는 광신호를 전기신호로 바꾸기 위해서는 능동소자인 포토 다이오드와 이를 연결하는 전기회로가 더 구성되어야 한다. 이 때, 포토 다이오드는 수광된 광 세기에 비례하는 전기신호인 전류 또는 전압을 출력하는 소자이다.
이 경우, 종래에는 먼저 출력광도파로의 끝단에 평면 광도파로의 코어(12)를 끊는 깊이 방향으로 비스듬한 각도를 갖는 홈(trench, 35)을 파고, 그 안에 일정한 반사율을 갖는 반사거울(11)을 삽입하여, 상기 평면 광도파로의 코어(12)를 진행하는 광신호를 일정한 각도로 반사시켜 반사광(17)을 반사된 빛의 경로 끝에 놓인 포토 다이오드의 수광영역(51)에 수광시키는 구조를 갖는다. 이때, 일정 반사율을 갖는 반사거울(11)의 반사율을 조절하여 일부 또는 전체 빛을 포토 다이오드(50)로 수광시킬 수 있다. 그리고, 상기 출력광도파로의 끝단 부분에 형성된 홈(35)은 매우 깨끗한 절단면을 가져서 빛의 산란을 막아야 하고, 상기 홈(35)의 폭은 삽입되는 반사거울(11)과 거의 일치되도록 좁게 만들어, 얇은 반사거울(11)이 비뚤어짐 없이 정확하게 놓이게 할 수 있어 반사되는 각도를 일정하게 유지할 수 있도록 하여야 한다. 또한, 반사거울(11)의 투과율을 조절하고 두께를 수십 마이크로미터보다 작게 만들어 반사거울(11) 뒤에 연속된 광도파로로 손실 없이 광신호를 전달할 수 있어야 한다.
또한, 홈(35)을 형성할 때 홈(35)의 각도가 정확하게 일치해야 반사된 광신호가 포토 다이오드의 수광영역(51)에서 벗어나지 않게 된다.
하지만, 종래기술에 따른 평판형 광도파로 소자용 광 파워 측정 모듈은 광경로상에 형성되는 홈에 필터가 배치되는 것이므로, 평판형 광도파로 소자의 제조공정과 능동소자의 제조공정을 개별적으로 진행하여야 하고, 평판형 광도파로 소자의 위에 직접 집적화를 한다고 해도, 홈이나 필터를 피해 집적화 해야 하므로, 전기회로를 별도로 구현해서 개별적으로 집적화할 수 밖에 없기 때문에, 벌크한 공정이 어려워 양산화 측면에서 상당히 불리하며, 홈 구현 공정과 필터에 대한 제작 원가가 증가하고, 정밀한 정렬이 어렵기 때문에 재현성과 실리콘/실리카 재료와는 다른 이종 물질에 의한 신뢰성 측면에서 불리하다.
특히, 상기 홈과 필터를 사용한 방법은 수동소자 공정과 능동소자 공정이 완전히 칩 상태로 구현되는 단계 이전의 공정에서 서로 적용되기 어렵고, 평판형 광도파로 소자위에 능동소자를 직접 집적화를 한다고 하더라도 홈이나 필터를 피해 집적화해야 하므로, 전기회로를 별도로 구현해서 개별적으로 집적화할 수 밖에 없기 때문에, 벌크한 공정이 어려워 양산화 측면에서 상당히 불리하며, 홈 구현 공정과 필터에 대한 제작 원가가 증가하고, 정밀한 정렬이 어렵기 때문에 재현성과 실리콘/실리카 재료와는 다른 이종 물질의 삽입에 의한 신뢰성 측면에서 불리한 문제점이 있다.
또한, 포토 다이오드를 집적화하는 플립 칩 공정이 고온의 온도를 필요로 하기 때문에, 고분자 소재의 필터일 경우 열에 의한 변형이 우려되고, 열에 무의존한 필터가 적용되는 경우에도 접착재료의 변형에 의해 정렬상태가 흐트러질 우려가 있는 등, 벌크한 공정처럼 장시간 열에 노출시킬 수가 없기 때문에, 수동소자와 능동소자의 공정이 혼용되기는 어렵고, 각각의 공정을 통해서 완성된 각 칩 형태의 수동소자와 능동소자들을 정렬하고 부착해야 하는 문제점이 있다.
도 2는 또 다른 종래 기술로써, 도 1에 따른 문제를 해결하기 위해서, 평판형 광도파로 소자의 상측에 능동소자를 직접 형성하는 구조가 개시되어 있다.
도 2에 따른 종래의 또 다른 기술에서는 평판형 광도파로 소자(60)와 능동소자(64) 및, 츨력 광섬유 어레이(70)를 포함하여 구현하였다. 평판형 광도파로 소자(60)는 기판(61)과, 하부 클래드층(62a)과 코어층(62b)과 상부 클래드층(62c)의 적층구조로 이루어져 상기 기판의 상측에 배치되는 광회로(62)가 형성되며, 평판형 광도파로 소자의 상부 클래드 층(62c)에 전기회로(64a)를 직접 적층하여 형성하고, 전기회로(64a)의 수광용 개구영역에 포토 다이오드(64b)를 고정하였다.
그리고, 츨력 광섬유 어레이(70)는 평판형 광도파로 소자(60)의 광출력측에 배치되는 지지기판(71)과, 상기 지지기판(71)에 설치되어 광회로(62)의 출력단으로부터 출력되는 광신호를 전달받는 광섬유(76)와, 상기 지지기판(71)에 설치되어 광회로의 출력단으로부터 출력되는 광신호를 상기 능동소자(64)의 포토 다이오드(64b)를 향해 반사시키는 반사면(66)을 갖도록 구성한다.
여기서, 출력 광섬유 어레이(70)에는 지지기판(71)에 다수개의 V형 홈(미도시)을 형성하고, 다수개의 V형 홈(미도시)에 광섬유(76)와 금속선(74)을 선택적으로 배치하였다. 이때, V형 홈에 형성되는 반지름은 127 마이크로미터 정도이므로, 100 마이크로미터 미만의 반지름을 갖는 금속선(74)을 삽입해야만 했다.
이때, 반사율이 좋은 금속을 써야 하고, 매우 얇은 금속선을 일일이 삽입해야 하므로, 금속선을 삽입하는데 제조 공정상에 많은 문제가 있었다. 금속선이 삽입되는 과정에서 금속선이 휘어지더라도 제조공정상에서 직접적으로 확인할 수는 있는 방법이 없는 문제가 있었다.
따라서, 종래의 또 다른 기술은 출력 광섬유 어레이를 만드는 공정상에서 불량율이 많으며, 금속선을 삽입하는데 많은 시간이 걸리게 되므로, 양산성이 크게 저하되는 어려움이 있었다.
특히, 광도파로에서 광신호를 포토다이오드 어레이에 직접 수광될 수 있도록 집적화시키기 위한 방법에 대해서 오랜 시간동안 많은 연구원들의 끊임없는 연구와 고민이 있었지만, 수동 소자와 광섬유가 접속되는 구조적 특성 때문에, 광 파워 감시 모듈은 탭커플러나 필터 등을 통해서 간접적으로 광신호를 수광할 수밖에 없는 방법만 고려되었으나, 이러한 방법들은 구조적으로도 복잡할 뿐만 아니라 상기에서 지적한 바와 같이 다양한 문제점을 가지고 있었다.
따라서, 최근의 광 파워 감시 모듈은 반사용 필터나 미러를 사용하지 않고, 평판형 광도파로 소자에 포토 다이오드 어레이를 직접적으로 집적화하되, 광파워 감시 모듈에서 광분기율을 조정할 수 기술이 필요하다.
본 발명은 광도파로에서 수직으로 포토 다이오드 어레이에 수광될 수 있도록 배치함으로써, 복잡한 구조나 공정의 금속 반사 거울이 삽입된 광섬유 어레이나 필터 등을 사용하지 않고, 광신호를 직접 수광할 수 있어 종래의 고민들을 해결하고, 이를 통해 매우 단순한 구조의 광파워 감시 모듈을 구현할 수 있게 된다.
종래와 같은 문제를 해결하기 위해 본 발명의 목적은 구부러짐이 자유롭고 매우 얇은 박막형 가요성 인쇄회로기판(Thin Flexible PCB)를 사용함으로써, 평판형 광도파로 소자에 포토 다이오드 어레이를 집적화할 수 있는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 광도파로상에 포토 다이오드 어레이를 배치하여 광을 직각으로 수신함으로써, 광도 수신율을 향상시킬 수 있는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 박막형 가요성 인쇄회로기판를 사용해 평판형 광도파로 소자에 포토 다이오드 어레이를 집적화함으로써, 제조공정을 단순화할 수 있는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 전극이 패터닝된 박막형 가요성 인쇄회로기판을 사용해 기존 평판 광도파로 소자의 기판상에 고가의 전극 패터닝 공정을 제거함으로써 광 감시 모듈과 전기 회로기판 사이에 전극 와이어링 공정까지 생략할 수 있어, 제작공정을 단순화하고 제조가격을 현저히 낮출 수 있는 광 파워 감시 모듈을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 고난이도 슬릿 공정이 필요한 필터 삽입 및 광학 코팅의 공정을 단순화함으로써, 제조공정을 단순화할 수 있는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 박막형 가요성 인쇄회로기판의 전극을 사용 환경에 맞게 연장하여 제조함으로써, 보다 쉽게 전극을 와이어링을 형성할 수 있는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 종래의 출력 광섬유 어레이와 같은 특수 광섬유 어레이를 제작할 필요가 없게 됨으로써, 제조공정을 단순화하고 제조 비용을 절감할 수 있는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 코어층으로부터의 광신호를 박막형 가요성 인쇄회로기판에 형성된 개구부의 공기층이나 진공상태 또는 특정기체들을 통해 포토 다이오드 어레이로 제공함으로써, 광 산란 효과를 줄여 노이즈 등에 의한 인접 채널 간의 영향을 최소화하며 수광감도를 극대화할 수 있는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 소정의 경사각을 가진 평판형 광도파로 소자에 박막형 가요성 인쇄회로기판 및 포토 다이오드 어레이를 나란하도록 배치함으로써, 경사각에 의한 반사각도에 따라 광투과율과 반사율을 조정할 수 있는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 코어층을 쌍으로 구성함으로써, 반사각도에 따라 광의 투과율과 반사율을 조정할 수 있는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈을 제공하고자 한다.
상기 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 광 파워 측정 모듈은 기판과, 하나 이상의 쌍을 이룬 코어층을 포함하여 상기 기판의 상측에 배치되는 광회로와, 상기 광회로의 상측에 배치되는 커버글라스를 포함하는 구조로 이루어지되, 일측면이 소정의 경사각을 가지도록 형성된 평판형 광도파로 소자, 소정의 경사각을 가진 상기 평판형 광도파로 소자의 일측면과 대향하는 면에 연결되되, 일부의 광신호가 통과하는 개구부를 형성한 박막형 가요성 인쇄회로기판(Thin Flexible PCB) 및, 상기 박막형 가요성 인쇄회로기판과 나란하도록 연결되되, 상기 박막형 가요성 인쇄회로기판의 개구부에 플립 칩본딩(Flip Chip Bonding) 방식이나 공융 접합(Eutetic Bonding)으로 고정되고, 상기 개구부를 통해 상기 광신호를 수신하는 포토 다이오드 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈.
또한, 상기 평판형 광도파로 소자는 기설정된 상기 소정의 경사각에 따라 상기 광신호의 투과율과 반사율이 정해진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 코어층은 상기 박막형 가요성 인쇄회로기판으로 광신호를 전달하는 제1코어층과 상기 경사각에 따라 반사된 광신호를 전달하는 제2코어층을 포함하여 쌍을 이룬 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 포토 다이오드 어레이는 투과되는 광신호의 수에 따라 다수 개의 포토 다이오드가 모듈화된 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이,본 발명의 경사각을 이용한 광 파워 측정 모듈은 구부러짐이 자유롭고 매우 얇은 박막형 가요성 인쇄회로기판(Thin Flexible PCB)를 사용함으로써, 평판형 광도파로 소자에 포토 다이오드 어레이를 집적화할 수 있는 환경을 제공한다.
또한, 본 발명의 광 파워 측정 모듈은 광도파로상에 포토 다이오드 어레이를 배치하여 광을 직각으로 수신함으로써, 광도 수신율을 향상시킬 수 있는 환경을 제공한다.
또한, 본 발명의 광 파워 측정 모듈은 박막형 가요성 인쇄회로기판를 사용해 평판형 광도파로 소자에 포토 다이오드 어레이를 집적화함으로써, 제조공정을 단순화할 수 있는 환경을 제공한다.
또한, 본 발명의 광 파워 감시 모듈은 전극이 패터닝된 박막형 가요성 인쇄회로기판을 사용해 기존 평판 광도파로 소자의 기판상에 고가의 전극 패터닝 공정을 제거함으로써 광 감시 모듈과 전기 회로기판 사이에 전극 와이어링 공정까지 생략할 수 있어, 제작공정을 단순화하고 제조가격을 현저히 낮출 수 있는 환경을 한다.
또한, 본 발명의 광 파워 측정 모듈은 고난이도 슬릿 공정이 필요한 필터 삽입 및 광학 코팅의 공정을 단순화함으로써, 제조공정을 단순화할 수 있는 환경을 제공한다.
또한, 본 발명의 광 파워 측정 모듈은 박막형 가요성 인쇄회로기판의 전극을 사용 환경에 맞게 연장하여 제조함으로써, 보다 쉽게 전극을 와이어링을 할 수 있는 환경을 제공한다.
또한, 본 발명의 광 파워 측정 모듈은 종래의 출력 광섬유 어레이와 같은 특수 광섬유 어레이를 제작할 필요가 없게 됨으로써, 제조공정을 단순화하고 제조 비용을 절감할 수 있는 환경을 제공한다.
또한, 본 발명의 광 파워 측정 모듈은 코어층으로부터의 광신호를 박막형 가요성 인쇄회로기판에 형성된 개구부의 공기층이나 진공상태 또는 특정기체들을 통해 포토 다이오드 어레이로 제공함으로써, 광 산란 효과를 줄여 노이즈 등에 의한 인접 채널 간의 영향을 최소화하며 수광감도를 극대화할 수 있는 환경을 제공한다.
또한, 본 발명의 광 파워 측정 모듈은 소정의 경사각을 가진 평판형 광도파로 소자에 박막형 가요성 인쇄회로기판 및 포토 다이오드 어레이를 나란하도록 배치함으로써, 경사각에 의한 반사각도에 따라 광투과율과 반사율을 조정할 수 있는 환경을 제공한다.
또한, 본 발명의 광 파워 측정 모듈은 코어층을 쌍으로 구성함으로써, 반사각도에 따라 광의 투과율과 반사율을 조정할 수 있는 환경을 제공한다.
도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따라 구성된 평판형 광도파로 소자와 능동소자인 포토 다이오드 소자의 결합 구조를 도시한 것이다.
도 2는 또 다른 종래 기술에 따라 평판형 광도파로 소자의 상측에 능동소자를 직접 형성하는 구조가 개시되어 있다.
도 3은 본 발명에 따른 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈의 개략적인 구성을 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 박막형 가요성 인쇄회로기판의 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 포토 다이오드 어레이의 정면도이다.
도 6은 도 3에 따른 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈의 평면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 평판형 광도파로 소자의 코어층의 광신호 전달 전달과정을 도시한 평면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 경사각에 따라 광신호가 투과되거나 반사되는 것을 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 평판형 광도파로 소자의 경사각을 변경한 변형예를 나타내는 평면도이다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 3 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈의 개략적인 구성을 도시한 사시도이다.
도 3의 따른 본 발명의 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)(Thin Flexible PCB)을 이용한 광 파워 감시 모듈은 평판형 광도파로 소자(120)(PLC:Planar Lightwave Circuit), 박막형 가요성 인쇄회로기판(130) 및, 포토 다이오드 어레이(140)를 포함한다.
평판형 광도파로 소자(120)는 기판과 광회로 및, 커버글라스를 포함하며, 광회로는 하부 클래드층과 상부 클래드층 사이에 적층된 하나 이상의 쌍을 이룬 코어층을 포함한다. 그리고, 평판형 광도파로 소자(120)의 광입력측 단부에 배치되는 광섬유 어레이(110)로부터 제공되는 광신호는 기판상에 형성된 광회로의 입력단으로 입력된다.
그리고, 평판형 광도파로 소자(120)는 일측면이 소정의 경사각을 갖도록 설계되며, 상기 경사각에 따라 광신호의 투과율과 반사율이 정해진다.
박막형 가요성 인쇄회로기판(130)은 개구부(132)와 하나 이상의 전극(134)을 포함하며, 전기회로가 패터닝 된다. 그리고, 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)은 경사각을 가진 평판형 광도파로 소자(120)의 일측면에 대향하여 배치된다.
도 4는 본 발명에 따른 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)의 평면도이다.
도 4(a)와 4(b)는 본 발명에 따른 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)의 평면도이다.
4(a)와 4(b)를 참조하면, 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)은 개구부(132)와, 개구부(132)쪽으로부터 패터닝된 전기회로(미도시) 및, 상기 전기회로(미도시)로부터 연결된 복수 개의 전극(134)이 포함됨을 보여준다. 여기서, 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)의 두께는 0.08mm 내지 0.1mm로 형성될 수 있으며, 구부러짐이 자유롭도록 구현된다. 그리고, 전기회로(미도시)는 금(Au) 재질로 이루어질 수 있다.
특히, 도 4(b)에서처럼, 본 발명의 광 파워 감시 모듈 제작시 평판형 광도파로 소자(120)의 코어층과 포토 다이어드 어레이의 수광부(142)가 보다 정밀하게 정렬하기 쉽도록 하기 위해서, 개구부(132)가 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)의 일측면인 모서리에 형성될 수 있다.
여기서, 개구부(132)의 양단에는 평판형 광도파로 소자(120)의 코어층과 하기 포토 다이오드 어레이(140)가 각각 배치되며, 코어층으로부터의 광신호가 개구부(132)를 통과해 포토 다이오드 어레이(140)로 전달된다.
특히, 개구부(132)는 비어있는 공간이 되며, 코어층으로부터의 광신호가 상기 비어있는 공간을 통과해 포토 다이오드 어레이(140)의 수광부(142)로 직접 전달되게 될 것이다.
여기서, 개구부(132)는 본 발명의 일실시예에 따라 진공상태로 구현할 수 있다. 또한, 개구부(132)는 본 발명의 또다른 실시예에 따라 공기층으로 형성할 수도 있으며, 광신호를 보다 효율적으로 전달할 수 있도록 특정기체들을 삽입해 형성될 수도 있으며, 이러한 개구부(132)의 구성은 산란효과를 최소화하고, 포토 다이오드 어레이(140)에 의한 수광감도를 최대화할 수 있도록 다양한 변형이 가능할 것이다.
예를 들어, 개구부(132)는 상기 특정기체를 세슘 기체로 형성할 수도 있을 것이다.
포토 다이오드 어레이(140)는 평판형 광도파로 소자(120)가 배치된 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)의 반대편에 대향하여 배치되되, 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)의 개구부(132)에 플립 칩본딩(Flip Chip Bonding) 방식이나 공융 접합(Eutetic Bonding)으로 고정된다.
그리고, 포토 다이오드 어레이(140)의 하나 이상의 포토 다이오드가 병렬로 정렬 배치된 수광부(142)를 포함하며, 이때의 수광부(142)는 평판형 광도파로 소자(120)의 코어층으로부터의 상기 광신호를 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)의 개구부(132)를 통해 전달받는다.
도 5는 본 발명에 따른 포토 다이오드 어레이(140)의 정면도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따라 8개 채널의 포토 다이오드가 일체형 모듈로서 배열됨을 보여주며, 각각의 포토 다이오드는 캐소드(미도시), 수광부(142) 및, 애노드(미도시)를 포함한다.
따라서, 본 발명의 광 파워 감시 모듈은 광도파로상에 포토 다이오드 어레이(140)를 배치하여 광신호를 직접적으로 수신함으로써, 광도 수신율을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 소정의 경사각을 가진 평판형 광도파로 소자(120)에 박막형 가요성 인쇄회로기판(130) 및 포토 다이오드 어레이(140)를 나란하도록 배치함으로써, 경사각에 의한 반사각도에 따라 광투과율과 반사율이 결정되도록 설계할 수 있는 효과가 있다.
도 6은 도 3에 따른 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈의 평면도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 광 파워 감시 모듈은 평판형 광도파로 소자(120), 박막형 가요성 인쇄회로기판(130) 및, 포토 다이오드 어레이(140)의 순으로 배치되어 결합된다. 그리고, 본 발명은 평판형 광도파로 소자(120)의 단면이 경사각을 가지며, 상기 경사각을 가진 단면에 대향하여 박막형 가요성 인쇄회로기판(130) 및 포토 다이오드 어레이(140)가 나란히 배치됨을 보여준다.
따라서, 평판형 광도파로 소자(120)의 코어층으로부터의 광신호는 상기 경사각에 따라 일부가 투과되며, 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)의 개구부(132)를 거쳐 포토 다이오드 어레이(140)의 수광부(142)로 전달되게 된다.
도 7은 본 발명에 따른 평판형 광도파로 소자(120)의 코어층의 광신호 전달 전달과정을 도시한 평면도이다.
본 발명의 일실시예에 따라, 광회로는 채널별로 코어층이 쌍을 이루도록 설계된다. 그리고, 쌍을 이룬 코어층은 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)으로 광신호를 전달하는 제1코어층(128a)과 상기 평판형 광도파로 소자(120)의 경사각에 따라 반사된 광신호를 전달하는 제1코어층(128b)을 포함할 수 있다.
도 7을 참조하면, 4채널을 가진 평파형 광도파로 소자로서의 평면도로서, 제1코어층(128a)은 박막형 가요성 인쇄회로기판(130)으로 광신호를 전달하며, 일부의 광신호는 평판형 광도파로 소자(120)의 경사각에 따라 반사된다. 그리고, 제1코어층(128b)은 이때 반사된 광신호를 제1코어층(128a)과 반대 방향으로 전달함을 보여준다.
도 8은 본 발명에 따른 경사각에 따라 광신호가 투과되거나 반사되는 것을 도시한 도면이다.
도 8을 참조하면, 제1코어층(128a)에 입력되는 광신호(129a)는 평판형 광도파로 소자(120)의 경사각(A,B,C,D)에 따라, 일부의 광신호(129c)는 투과되어 박막형 가요성 인쇄회로기판(130) 및 포토 다이오드 어레이(140)로 전달되며, 나머지 광신호(129b)는 반사되어 제1코어층(128b)을 따라 외부로 전달됨을 보여준다.
그리고, 본 발명의 일실시예에 따라 상기 경사각(A,B,C,D)은 본 발명의 광 파워 감시 모듈의 사용환경에 따라 설계 제작될 수 있을 것이다.
도 9는 본 발명에 따른 평판형 광도파로 소자(120)의 경사각을 변경한 변형예를 나타내는 평면도이다.
본 발명에 따른 따른 평판형 광도파로 소자(120)의 일측면은 경사각을 조절하여 광의 투과율이나 반사율이 달라져 광 파워 감시 모듈의 광분기율을 조정할 수 있는 장점이 있다.
도 9(a) 내지 9(c)는 평판형 광도파로 소자(120)의 경사각이 각각 θ1, θ2, θ3 을 가지고 있으며, 경사각을 가진 평판형 광도파로 소자(120)의 일측면에 박막형 가요성 인쇄회로기판(130) 및 포토 다이오드 어레이(140)가 나란하게 배치됨을 보여준다. 그리고, 도 9(a) 내지 9(c)에 도시된 광 파워 감시 모듈은 각각의 경사각(θ1, θ2, θ3)에 따라 투과되거나 반사되는 광신호의 양이 각각 달라질 것이다.
따라서, 본 발명은 소정의 경사각을 가진 평판형 광도파로 소자(120)에 박막형 가요성 인쇄회로기판(130) 및 포토 다이오드 어레이(140)를 나란하도록 배치함으로써, 경사각에 의한 반사각도에 따라 광투과율과 반사율을 조정할 수 있는 효과가 있음을 보여준다.
이상에서, 본 발명에 따른 광 파워 측정 모듈의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
110: 광섬유 어레이 120: 평판형 광도파로 소자
128a: 제1코어층 128b: 제2코어층
130: 박막형 가요성 인쇄회로기판 132: 개구부
134: 전극 140: 포토 다이오드 어레이
142: 수광부

Claims (4)

  1. 기판과, 하나 이상의 쌍을 이룬 코어층을 포함하여 상기 기판의 상측에 배치되는 광회로와, 상기 광회로의 상측에 배치되는 커버글라스를 포함하는 구조로 이루어지되, 일측면이 소정의 경사각을 가지도록 형성된 평판형 광도파로 소자;
    소정의 경사각을 가진 상기 평판형 광도파로 소자의 일측면과 대향하는 면에 연결되되, 상기 평판형 광도파로 소자의 일측면을 통과한 일부의 광신호가 통과하는 개구부를 형성한 박막형 가요성 인쇄회로기판(Thin Flexible PCB); 및
    상기 박막형 가요성 인쇄회로기판과 나란하도록 연결되되, 상기 박막형 가요성 인쇄회로기판의 개구부에 플립 칩본딩(Flip Chip Bonding) 방식이나 공융 접합(Eutetic Bonding)으로 고정되고, 상기 개구부를 통해 상기 광신호를 수신하는 포토 다이오드 어레이;
    를 포함하고, 상기 코어층은 상기 박막형 가요성 인쇄회로기판으로 광신호를 전달하는 제1 코어층과 상기 경사각에 따라 반사된 광신호를 전달하는 제2 코어층이 쌍을 이룬 것을 특징으로 하는 경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 평판형 광도파로 소자는 기설정된 상기 소정의 경사각에 따라 상기 광신호의 투과율과 반사율이 정해진 것을 특징으로 하는 광 파워 측정 모듈.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 포토 다이오드 어레이는 투과되는 광신호의 수에 따라 다수 개의 포토 다이오드가 모듈화된 것을 특징으로 하는 광 파워 측정 모듈.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 평판형 광도파로 소자는 상기 포토 다이오드 모듈을 구성하는 포토 다이오드의 개수가 N개인 경우 병렬 배치된 2N개의 코어층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광 파워 측정 모듈.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101501139B1 (ko) 2014-08-29 2015-03-23 주식회사 피피아이 광 파워 모니터 구조를 개량시킨 평판형 광도파로 소자 모듈
KR101501140B1 (ko) 2014-08-29 2015-03-23 주식회사 피피아이 광 파워 모니터 구조를 개량시킨 평판형 광도파로 소자 모듈

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002250657A (ja) * 2001-02-23 2002-09-06 Matsushita Electric Works Ltd 照度センサモジュール
JP2003107292A (ja) * 2001-09-27 2003-04-09 Nec Corp 受光モジュール及び受光モジュール製造装置並びにその製造方法
JP2004118117A (ja) * 2002-09-27 2004-04-15 Toshiba Corp 光導波路アレイフィルム
KR100935743B1 (ko) * 2007-03-28 2010-01-06 닛본 덴끼 가부시끼가이샤 광학 모듈

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002250657A (ja) * 2001-02-23 2002-09-06 Matsushita Electric Works Ltd 照度センサモジュール
JP2003107292A (ja) * 2001-09-27 2003-04-09 Nec Corp 受光モジュール及び受光モジュール製造装置並びにその製造方法
JP2004118117A (ja) * 2002-09-27 2004-04-15 Toshiba Corp 光導波路アレイフィルム
KR100935743B1 (ko) * 2007-03-28 2010-01-06 닛본 덴끼 가부시끼가이샤 광학 모듈

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101501139B1 (ko) 2014-08-29 2015-03-23 주식회사 피피아이 광 파워 모니터 구조를 개량시킨 평판형 광도파로 소자 모듈
KR101501140B1 (ko) 2014-08-29 2015-03-23 주식회사 피피아이 광 파워 모니터 구조를 개량시킨 평판형 광도파로 소자 모듈

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