KR101420348B1 - 질소가스 공급장치 - Google Patents

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KR101420348B1
KR101420348B1 KR1020130028414A KR20130028414A KR101420348B1 KR 101420348 B1 KR101420348 B1 KR 101420348B1 KR 1020130028414 A KR1020130028414 A KR 1020130028414A KR 20130028414 A KR20130028414 A KR 20130028414A KR 101420348 B1 KR101420348 B1 KR 101420348B1
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채광식
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우성이엔디주식회사
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Abstract

본 발명은, 질소가스 공급장치에 관한 것으로, 특히 진공펌프의 반응부산물 가스 배출측 배관을 최대한 가열하여 배출되는 반응부산물 가스의 고형화를 효과적으로 방지할 수 있도록 된 질소가스 공급장치에 관한 것이다.
본 발명의 질소가스 공급장치(1000)는, 진공펌프의 내부에 위치한 배관에 연결되는 플랜지를 갖춘 유입측연결링(1100)과, 유입측연결링과 축방향으로 고정됨과 더불어 내주면에 유입측연결링과 조립된 반대쪽으로 일정길이 돌출된 돌출링부(1210)를 갖춘 핫질소분사링(1200)과, 핫질소분사링과 축방향으로 고정되고, 반응부산물 가스가 배출되는 중심축상의 관통구멍과 이웃한 위치에 노즐조립구멍이 형성되며, 핫질소분사링과 조립되어 노즐조립구멍으로 유입된 핫질소를 핫질소분사링의 돌출링부와 유격되어 형성된 유로(Q)에 의해 핫질소를 환형으로 분사하도록 된 핫질소환형분사유도링(1300)과, 핫질소환형분사유도링의 내경과 축방향으로 연통되도록 고정됨과 더불어 진공펌프의 내부에서 발생되는 열에 의해 가열되도록 설치된 내측배관(1400)과, 진공펌프의 외측벽(120)으로부터 돌출된 부분의 내측배관에 고정된 플랜지를 갖춘 배출측연결링(1500)과, 내측배관에 스프링코일형태로 감겨짐과 더불어, 일단은 핫질소가 유입되도록 연결되고, 타단은 핫질소환형분사유도링에 형성된 노즐조립구멍에 끼워져 설치된 핫질소공급관(1600)을 구비한다.

Description

질소가스 공급장치{NITROGEN GAS INJECTION APPARATUS USING HEAT OF DRY PUMP}
본 발명은 반도체 및 LCD 제조공정에 사용되는 질소가스 공급장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공펌프에서 발산되어 소모되는 열을 적극 활용함으로써 질소가스를 가열하기 위한 별도의 열원 없이도 고온의 질소가스를 공급할 수 있음은 물론, 핫질소 분사 부분이 진공펌프의 내부에 설치되어 핫질소분사 부분에서 와류로 인한 파우더의 적체 현상이 발생하지 않도록 된 질소가스 공급장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정은 크게 전 공정(Fabrication 공정)과 후 공정(Assembly 공정)으로 이루어지며, 전공정이라 함은 각종 프로세스 챔버(Chamber)내에서 웨이퍼(Wafer)상에 박막을 증착하고, 증착된 박막을 선택적으로 식각하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정의 패턴을 가공하는 것에 의해 이른바, 반도체 칩(Chip)을 제조하는 공정을 말하고, 후 공정이라 함은 상기 전 공정에서 제조된 칩을 개별적으로 분리한 후, 리드프레임과 결합하여 완제품으로 조립하는 공정을 말한다.
이때, 상기 웨이퍼 상에 박막을 증착하거나, 웨이퍼 상에 증착된 박막을 식각하는 공정은 프로세스 챔버 내에서 실란(Silane), 아르신(Arsine) 및 염화 붕소 등의 유해 가스와 수소 등의 프로세스 가스를 사용하여 고온에서 수행되며, 상기 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유하는 반응부산물 가스가 다량으로 발생한다.
따라서 반도체 제조공정에는 프로세스 챔버를 진공상태로 만들어 주는 진공펌프의 후측에는 상기 프로세스 챔버에서 배출되는 반응부산물 가스를 정화시킨 후 대기로 방출하는 스크루버(Scrubber)를 설치한다.
하지만, 프로세스 챔버로부터 발생된 유독성 반응부산물 가스가 프로세스 챔버로부터 각 배관을 통해 진공펌프 및 스크루버에 이르는 과정에서 쉽게 고형화되어 누적된 후 막힘현상이 발생하곤 하였다.
따라서 이처럼 반응부산물 가스가 고형화되어 막힘현상이 발생하던 문제를 해소하기 위한 방편으로 배관의 일정 구간을 히터로 감싸서 배관내에 온도를 따뜻하게 유지하는 자켓 히터(Jaket Heater)방식이 사용되고 있고, 최근에는 자켓 히터방식이 배관의 많은 부분을 감싸야 하기 때문에 설치비용이 높고 효율성이 떨어지던 문제를 해소하기 위해 대한민국 등록특허공보 제10-0583812호 "반도체 및 LED 생산공정에서 사용되는 핫 질소분사장치"에 개시된 바와 같이 반응부산물 가스가 흐르는 배관 특히, 진공펌프의 유출측 배관 내부에 고온의 질소가스를 분사하는 방식의 질소가스 공급장치가 개발되었다.
그러나 진공펌프의 유출측 배관 내부에 고온의 질소가스를 분사하는 질소가스 공급장치는 질소가스 공급라인을 통해 외부에서 공급되는 상온의 질소가스를 고온으로 가열하기 위해 별도의 히터를 필수적으로 구비해야만 하므로 초기비용이 과다하게 요구되는 것은 물론, 전력 소모가 높은 히터의 운전에 따른 유지비용이 지속적으로 발생하는 문제점이 야기되었다.
이러한 문제점을 해소하기 위해 대한민국 특허청에 등록번호 제10-1091136호 "진공펌프 열을 이용한 질소가스 분사장치"가 제안되어 있는바, 외부에서 공급되는 질소가스를 내부 유로를 통해 경유시키고, 진공펌프에서 발산되는 열을 흡입하고, 상기 흡입된 열에 의해 외부에서 공급되는 질소가스를 내부로 경유시키면서 가열하는 열교환기와; 상기 열교환기에서 가열된 질소가스를 반응부산물 가스가 이송되도록 진공펌프와 스크루버(Scrubber)의 외부로 노출된 연결부위 배관으로 공급하는 분사유닛 및; 상기 유로가 상기 열교환기 몸체 내부에서 구불구불하게 굽이져 형성되도록 상기 열교환기 몸체 내에는 다수의 격판이 이격되게 전후방향으로 배치되되 교번하여 좌우로 치우치도록 배치되어 있다.
따라서 진공펌프에서 발생되어 소모되는 열을 적극 활용함으로써 질소가스를 가열하기 위한 별도의 열원 없이도 고온의 질소가스를 공급하여 반응부산물 가스의 고형화를 방지할 수 있다.
또한, 열교환기가 납작하게 형성되어 진공펌프의 표면에 밀착되기 때문에 효과적으로 진공펌프의 열을 흡수할 수 있고, 열교환기의 내부로 질소가스를 안내하는 유로가 구불구불하게 굽이져 형성되기 때문에 질소가스를 충분한 시간을 두고 가열할 수 있으며, 질소가스의 공급이 반응부산물 가스의 흐름방향과 일치한 방향으로 이루어지기 때문에 반응부산물 가스의 흐름을 방해하지 않는다.
그러나 대한민국 특허등록번호 제10-1091136호 "진공펌프 열을 이용한 질소가스 분사장치"는 분사유닛이 진공펌프와 스크루버(Scrubber)의 외부로 노출된 연결부위 배관에 설치되어 있어서, 핫질소분사장치인 분사유닛의 부분에서 와류로 인한 파우더의 적체 현상이 발생하는 문제점이 있다.
참조문헌: 대한민국 특허등록번호 제10-1091136호 "진공펌프 열을 이용한 질소가스 분사장치"
본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 핫질소 분사 부분이 진공펌프의 내부에 설치되어 핫질소분사 부분에서 와류로 인한 파우더의 적체 현상이 발생하지 않도록 된 질소가스 공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명은, 핫질소 분사 부분이 스프링코일 형태로 내측배관을 감싸도록 되어 핫질소 분사 부분의 배관을 최대한 가열하여 와류로 인한 파우더의 적체 현상이 발생하지 않도록 된 질소가스 공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명은, 핫질소 분사 부분이 외측배관이 설치되어 내측배관과 외측배관 및 핫질소공급관의 사이에 세라믹이 충진되어 내측배관의 가열을 지속적으로 유지할 수 있도록 된 질소가스 공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명은, 핫질소공급관의 단부에 노즐팁이 구비되어 핫질소의 고속 분사가 가능하도록 된 질소가스 공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 질소가스 공급장치는, 진공펌프에서 발산되는 열에 의해 외부에서 공급되는 질소가스를 가열하여 프로세스 챔버에서 생성된 반응부산물 가스가 프로세스 챔버와 연결되어 프로세스 챔버를 진공상태로 만들어 주는 진공펌프의 외부로 반응부산물 가스를 배출하도록 된 배관으로 공급하되, 상기 진공펌프의 외부로 반응부산물 가스를 배출하도록 된 배관이면서, 상기 진공펌프의 내부에 위치한 배관에 연결되는 플랜지를 갖춘 유입측연결링과, 상기 유입측연결링과 축방향으로 고정됨과 더불어 내주면에 유입측연결링과 조립된 반대쪽으로 일정길이 돌출된 돌출링부를 갖춘 핫질소분사링과, 상기 핫질소분사링과 축방향으로 고정되고, 반응부산물 가스가 배출되는 중심축상의 관통구멍과 이웃한 위치에 노즐조립구멍이 형성되며, 상기 핫질소분사링과 조립되어 노즐조립구멍으로 유입된 핫질소를 상기 핫질소분사링의 돌출링부와 유격되어 형성된 유로에 의해 핫질소를 환형으로 분사하도록 된 핫질소환형분사유도링과, 상기 핫질소환형분사유도링의 내경과 축방향으로 연통되도록 고정됨과 더불어 진공펌프의 내부에서 발생되는 열에 의해 가열되도록 설치된 내측배관과, 상기 진공펌프의 외측벽으로부터 돌출된 부분의 내측배관에 고정된 플랜지를 갖춘 배출측연결링과, 상기 내측배관에 스프링코일형태로 감겨짐과 더불어, 일단은 핫질소가 유입되도록 연결되고, 타단은 상기 핫질소환형분사유도링에 형성된 노즐조립구멍에 끼워져 설치된 핫질소공급관을 구비한 것을 특징으로 한다.
여기서 상기 핫질소환형분사유도링의 외경과 축방향으로 연통되도록 고정됨과 더불어 진공펌프의 내부에서 발생되는 열에 의해 가열되도록 설치된 외측배관과, 상기 내측배관과 외측배관 및 핫질소공급관의 사이에 충진된 세라믹이 더 구비되고, 상기 배출측연결링은, 상기 진공펌프의 외측벽으로부터 돌출된 부분의 내측배관과 외측배관에 고정되며, 상기 핫질소공급관은, 상기 내측배관과 외측배관의 사이에서 내측배관에 스프링코일형태로 감겨짐과 더불어, 상기 외측배관의 외주면에 형성된 관통구멍으로 일단이 돌출되어 핫질소가 유입되도록 연결된 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 핫질소환형분사유도링에 끼워진 핫질소공급관의 단부에 끼워져 고정된 노즐팁을 더 구비한 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 질소가스 공급장치에 의하면, 진공펌프에서 발산되어 소모되는 열을 적극 활용함으로써 질소가스를 가열하기 위한 별도의 열원 없이도 고온의 질소가스를 공급할 수 있음은 물론, 핫질소 분사 부분이 진공펌프의 내부에 설치되어 핫질소분사 부분에서 와류로 인한 파우더의 적체 현상이 발생하지 않게 되는 효과가 있다.
본 발명에 따른 질소가스 공급장치에 의하면, 핫질소 분사 부분이 스프링코일 형태로 내측배관을 감싸도록 되어 핫질소 분사 부분의 배관을 최대한 가열하여 와류로 인한 파우더의 적체 현상이 발생하지 않게 되는 효과가 있다.
본 발명에 따른 질소가스 공급장치에 의하면, 핫질소 분사 부분이 외측배관이 설치되어 내측배관과 외측배관 및 핫질소공급관의 사이에 세라믹이 충진되어 내측배관의 가열을 지속적으로 유지할 수 있어서 핫질소 분사 부분의 배관을 지속적으로 가열하여 와류로 인한 파우더의 적체 현상을 해소할 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 따른 질소가스 공급장치에 의하면, 핫질소공급관의 단부에 구비된 노즐팁에 의해 핫질소의 고속 분사가 가능하여 배관내에서 파우더의 적체 현상이 발생하지 않게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 질소가스 공급장치를 나타내는 종단면도이고,
도 2는 도 1의 우측면도,
도 3은 도 1의 좌측면도,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 핫질소분사링의 단면도,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 핫질소환형분사유도링의 단면도,
도 6은 도 5의 우측면도,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 핫질소공급관을 나타내는 설명도,
도 8은 본 발명의 핫질소분사링과 핫질소환형분사유도링에 의해 핫질소 분사유로가 형성된 것을 설명하는 단면도이다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 질소가스 공급장치를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토내로 내려져야 할 것이다.
또한 상기 도면의 구성 요소들에 인용부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있으며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 또한, '상부', '하부', '앞', '뒤', '선단', '전방', '후단' 등과 같은 방향성 용어는 개시된 도면(들)의 배향과 관련하여 사용된다. 본 발명의 실시 예의 구성요소는 다양한 배향으로 위치설정될 수 있기 때문에 방향성 용어는 예시를 목적으로 사용되는 것이지 이를 제한하는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 질소가스 공급장치를 나타내는 종단면도이고, 도 2는 도 1의 우측면도이며, 도 3은 도 1의 좌측면도이다.
도 1을 참조하면 본 발명의 진공펌프에서 발산되는 열에 의해 외부에서 공급되는 질소가스를 가열하여 프로세스 챔버에서 생성된 반응부산물 가스가 프로세스 챔버와 연결되어 프로세스 챔버를 진공상태로 만들어 주는 진공펌프(100)의 외부로 반응부산물 가스를 배출하도록 된 배관(110)으로 공급하는 질소가스분사장치(1000)는, 유입측연결링(1100)과, 핫질소분사링(1200), 핫질소환형분사유도링(1300), 내측배관(1400), 배출측연결링(1500), 및 핫질소공급관(1600)를 포함한다.
여기서 상기 유입측연결링(1100)은, 상기 진공펌프(100)의 외부로 반응부산물 가스를 배출하도록 되면서 상기 진공펌프의 내부에 위치한 배관(110)에 연결되는 플랜지(1110)를 갖춘 환형상의 링부재이다.
따라서 상기 배관(110)에 플랜지(1110)쪽이 조립되어 중심부로 반응부산물 가스가 배출되게 된다.
그리고 상기 핫질소분사링(1200)은 도 4에 도시된 것과 같이, 상기 유입측연결링(1100)과 축방향으로 고정됨과 더불어 내주면에 유입측연결링과 조립된 반대쪽으로 일정길이 돌출된 돌출링부(1210)를 갖춘 환형상의 링부재이다.
또 미설명부호 1220은 상기 유입측연결링(1100)이 끼워져 안착되는 유입측연결링안착홈이다.
따라서 상기 유입측연결링(1100)의 중심으로 배출되는 반응부산물 가스가 핫질소분사링(1200)의 중심으로도 배출되고, 상기 핫질소환형분사유도링(1300)과 돌출링부(1210)가 만들어 내는 이격된 유로에 의해 핫질소가 중심으로 배출되는 반응부산물 가스에 원형으로 토출되게 된다.
또한 상기 핫질소환형분사유도링(1300)은 도 5와 도 6 및 도 8에 도시된 것과 같이, 상기 핫질소분사링(1200)과 축방향으로 고정되고, 반응부산물 가스가 배출되는 중심축상의 관통구멍(1310)과 이웃한 위치에 노즐조립구멍(1320)이 형성되며, 상기 핫질소분사링(1200)과 조립되어 상기 핫질소공급관(1600)이 끼워지는 상기 노즐조립구멍(1320)으로 유입된 핫질소를 상기 핫질소분사링(1200)의 돌출링부(1210)와 유격되어 형성된 유로(Q)에 의해 핫질소를 환형으로 분사하게 된다.
또 미설명부호 1330은 상기 내측배관(1400)이 안착되어 끼워지는 내측배관안착부이고, 1340은 후술하는 외측배관이 안착되는 외측배관안착부이다.
따라서 배출되는 반응부산물 가스에 외측에서 환형으로 핫질소가스를 토출하게 되므로 핫질소분사 부분에서 와류로 인한 파우더의 적체 현상이 발생하지 않게 되고, 또 상기 유입측연결링(1100)과 핫질소분사링(1200) 및 핫질소환형분사유도링(1300)이 진공펌프(100)의 내부에 설치되어 핫질소분사 부분에서 와류로 인한 파우더의 적체 현상이 발생하지 않게 된다.
한편 상기 내측배관(1400)은, 상기 핫질소환형분사유도링(1300)의 내경과 축방향으로 연통되도록 고정됨과 더불어 진공펌프(100)의 내부에서 발생되는 열에 의해 가열되도록 설치된다.
따라서 상기 핫질소환형분사유도링(1300)으로 배출되는 반응부산물 가스가 내측배관(1400)으로 배출되게 되고, 이때 상기 내측배관(1400)은 진공펌프(100)의 내부에서 발생된 열에 의해 가열되므로 핫질소 분사 부분에서 와류로 인한 파우더의 적체 현상이 발생하지 않게 된다.
또 상기 배출측연결링(1500)은, 상기 진공펌프(100)의 외측벽으로부터 돌출된 부분의 내측배관(1400)에 고정된 플랜지(1510)를 갖춘 환형구조로 되어 있다.
따라서 상기 내측배관(1400)으로 배출되는 반응부산물 가스가 배출측연결링(1500)으로 배출되게 되고, 이 배출측연결링(1500)은 스크루버(Scrubber)와 연결되는 배관과 조립되게 된다.
또한 상기 핫질소공급관(1600)은, 상기 내측배관(1400)에 스프링코일형태로 감겨짐과 더불어, 일단은 핫질소가 유입되도록 연결되고, 타단은 상기 핫질소환형분사유도링(1300)에 형성된 노즐조립구멍(1320)에 끼워져 설치된다.
따라서 상기 핫질소공급관(1600)의 일단으로 질소가 공급되어 진공펌프(100)의 내부에서 발생된 열을 최대한 이용하여 질소가 가열되게 되므로 별도의 히터를 설치하지 않아도 되므로 설비의 설치비용이 매우 저렴하게 되고, 또 스프링코일형태로 내측배관(1400)에 감겨져서 내측배관(1400)을 가열하게 되므로 내측배관(1400)의 중심으로 이동하는 반응부산물 가스에서 와류로 인한 파우더의 적체 현상이 발생하지 않게 된다.
또 상기 핫질소환형분사유도링(1300)의 외경과 축방향으로 연통되도록 고정됨과 더불어 진공펌프(100)의 내부에서 발생되는 열에 의해 가열되도록 설치된 외측배관(1700)이 더 설치되고, 상기 내측배관(1400)과 외측배관(1700) 및 핫질소공급관(1600)의 사이에 충진된 세라믹(1800)이 더 구비되고, 상기 배출측연결링(1500)은, 상기 진공펌프(100)의 외측벽으로부터 돌출된 부분의 내측배관(1400)과 외측배관(1700)에 고정되며, 상기 핫질소공급관(1600)은, 상기 내측배관(1400)과 외측배관(1700)의 사이에서 내측배관(1400)에 스프링코일형태로 감겨짐과 더불어, 상기 외측배관(1700)의 외주면에 형성된 관통구멍(1710)으로 일단이 돌출되어 핫질소가 유입되도록 연결된다.
따라서 상기 질소가스 공급장치(1000)의 핫질소 분사 부분이 스프링코일 형태로 내측배관(1400)을 감싸도록 되어 핫질소 분사 부분의 배관을 최대한 가열하여 와류로 인한 파우더의 적체 현상이 발생하지 않게 되고, 핫질소 분사 부분이 외측배관(1700)이 설치되어 내측배관(1400)과 외측배관(1700) 및 핫질소공급관(1600)의 사이에 세라믹(1800)이 충진되어 내측배관(1400)의 가열을 진공펌프(100) 및 핫질소공급관(1600)에 의해 이루어지면 높은 온도가 지속적으로 유지되게 된다.
또한 상기 핫질소환형분사유도링(1300)에 끼워진 핫질소공급관(1600)의 단부에 끼워져 고정된 노즐팁(1900)을 더 구비하게 되면, 핫질소의 고속 분사가 가능하게 되어 와류로 인한 파우더의 적체현상이 발생하지 않게 된다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 경우에는 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
100 : 진공펌프 110 : 배관
1000 : 질소가스 공급장치 1100 : 유입측연결링
1200 : 핫질소분사링 1300 : 핫질소환형분사링
1400 : 내측배관 1500 : 배출측연결링
1600 : 핫질소공급관 1700 : 외측배관
1800 : 세라믹 1900 : 분사팁

Claims (3)

  1. 진공펌프에서 발산되는 열에 의해 외부에서 공급되는 질소가스를 가열하여 프로세스 챔버에서 생성된 반응부산물 가스가 프로세스 챔버와 연결되어 프로세스 챔버를 진공상태로 만들어 주는 진공펌프의 외부로 반응부산물 가스를 배출하도록 된 배관으로 공급하는 질소가스 공급장치에 있어서,
    상기 진공펌프의 외부로 반응부산물 가스를 배출하도록 된 배관이면서, 상기 진공펌프의 내부에 위치한 배관에 연결되는 플랜지를 갖춘 유입측연결링과,
    상기 유입측연결링과 축방향으로 고정됨과 더불어 내주면에 유입측연결링과 조립된 반대쪽으로 일정길이 돌출된 돌출링부를 갖춘 핫질소분사링과,
    상기 핫질소분사링과 축방향으로 고정되고, 반응부산물 가스가 배출되는 중심축상의 관통구멍과 이웃한 위치에 노즐조립구멍이 형성되며, 상기 핫질소분사링과 조립되어 노즐조립구멍으로 유입된 핫질소를 상기 핫질소분사링의 돌출링부와 유격되어 형성된 유로에 의해 핫질소를 환형으로 분사하도록 된 핫질소환형분사유도링과,
    상기 핫질소환형분사유도링의 내경과 축방향으로 연통되도록 고정됨과 더불어 진공펌프의 내부에서 발생되는 열에 의해 가열되도록 설치된 내측배관과,
    상기 진공펌프의 외측벽으로부터 돌출된 부분의 내측배관에 고정된 플랜지를 갖춘 배출측연결링과,
    상기 내측배관에 스프링코일형태로 감겨짐과 더불어, 일단은 핫질소가 유입되도록 연결되고, 타단은 상기 핫질소환형분사유도링에 형성된 노즐조립구멍에 끼워져 설치된 핫질소공급관을 구비한 것을 특징으로 하는 질소가스 공급장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 핫질소환형분사유도링의 외경과 축방향으로 연통되도록 고정됨과 더불어 진공펌프의 내부에서 발생되는 열에 의해 가열되도록 설치된 외측배관과,
    상기 내측배관과 외측배관 및 핫질소공급관의 사이에 충진된 세라믹이 더 구비되고,
    상기 배출측연결링은, 상기 진공펌프의 외측벽으로부터 돌출된 부분의 내측배관과 외측배관에 고정되며,
    상기 핫질소공급관은, 상기 내측배관과 외측배관의 사이에서 내측배관에 스프링코일형태로 감겨짐과 더불어, 상기 외측배관의 외주면에 형성된 관통구멍으로 일단이 돌출되어 핫질소가 유입되도록 연결된 것을 특징으로 하는 질소가스 공급장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 핫질소환형분사유도링에 끼워진 핫질소공급관의 단부에 끼워져 고정된 노즐팁을 더 구비한 것을 특징으로 하는 질소가스 공급장치.
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