KR101405780B1 - 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치 - Google Patents

이송방향 전환이 가능한 기판이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치에 관한 것으로서, 상측에 이송 대상인 기판이 배치되며, 다수의 관통공 및 전환공이 형성되는 상부플레이트; 상기 상부플레이트 상에 상기 기판이 부양되도록 상기 상부플레이트의 관통공 내로 에어를 분사하는 고정노즐; 축방향으로의 회전운동 및 길이방향으로의 이동 중 적어도 하나의 움직임을 가지는 회전축; 상기 회전축에 장착되어 상기 회전축과 동일한 움직임을 가지는 제2조인트와 일단은 상기 전환공에 연결되고 타단은 상기 제2조인트와 연결되며 상기 기판의 이송방향을 조절하도록 상기 회전축의 움직임과 연동하여 에어의 분사방향을 변경하는 제1조인트를 구비하는 동적노즐;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 자유로운 방향전환을 통하여 파손 위험 없이 대면적의 기판을 대량으로 이송할 수 있는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치가 제공된다.

Description

이송방향 전환이 가능한 기판이송장치{TRANSFERRING DIRECTION CONTROLLABLE APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE }
본 발명은 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 부양시킨 상태에서 전방향의 이송이 가능한 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치에 관한 것이다.
되일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 확산, 식각, 사진 및 클리닝 공정 등을 수행하게 된다. 이러한 각각의 공정들은 이전 공정과 연계되며, 각 공정이 완료된 후에 다음 공정으로 이송되어야 한다. 이러한 공정간의 기판이송을 위해서 각 공정으로부터 다음공정으로 이송하기 위한 이송암을 구비하는 로봇형태의 기판이송장치가 사용된다.
도 1은 종래의 이송로봇의 일례를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 종래의 이송로봇은 로봇암을 이용하여 기판을 이송하도록 구성된다.
그러나, 이러한 종래의 이송로봇은 고가로서 전체적인 생산단가를 증가시키고, 기판 이송시에 충돌으로 인한 파손의 가능성이 있다는 문제가 있었다. 또한, 다수의 기판을 연속적으로 이송하는 용도로 이용되기 어려워, 제품 수율이 떨어지고 대량생산에 적합하지 않다는 단점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 자유로운 방향전환을 통하여 파손 위험 없이 대면적의 기판을 대량으로 이송할 수 있는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 상측에 이송 대상인 기판이 배치되며, 다수의 관통공 및 전환공이 형성되는 상부플레이트; 상기 상부플레이트 상에 상기 기판이 부양되도록 상기 상부플레이트의 관통공 내로 에어를 분사하는 고정노즐; 축방향으로의 회전운동 및 길이방향으로의 이동 중 적어도 하나의 움직임을 가지는 회전축; 상기 회전축에 장착되어 상기 회전축과 동일한 움직임을 가지는 제2조인트와 일단은 상기 전환공에 연결되고 타단은 상기 제2조인트와 연결되며 상기 기판의 이송방향을 조절하도록 상기 회전축의 움직임과 연동하여 에어의 분사방향을 변경하는 제1조인트를 구비하는 동적노즐;을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치에 의해 달성된다.
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또한, 상기 동적노즐은 상기 회전축 상에 복수개가 장착되고, 상기 회전축은 상호 이격되게 복수개가 배열될 수 있다.
또한, 상기 상부플레이트로부터 하방으로 이격되게 배치되며, 다수의 관통공이 형성되는 하부플레이트를 더 포함하고, 상기 동적노즐은 상기 상부플레이트와 상기 하부플레이트의 사이 공간에 배치되되, 상기 고정노즐은 상기 하부플레이트의 하방에 배치되어 에어를 상측으로 분사할 수 있다.
또한, 상기 회전축에 회전력 또는 이동력을 인가하는 동력부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 상부플레이트 상에서 부양된 상태로 이송되는 상기 기판의 방향을 제어하기 위하여 상기 동적노즐을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 동적노즐로부터 분사되는 에어의 분사속도를 제어할 수 있다.
또한, 상기 기판의 위치를 검출하기 위하여 상기 관통공 사이에 설치되는 복수개의 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판을 소정 높이로 부양시켜 파손의 위험을 최소화한 상태에서, 이송방향 전환을 통하여 기판을 원하는 위치에 용이하게 이송할 수 있는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치가 제공된다.
또한, 제어부가 고정노즐로부터 분사되는 에어의 분사속도를 조절함으로써 기판의 부양높이를 제어할 수 있다.
또한, 제어부가 동적노즐로부터 분사되는 에어의 분사속도를 조절함으로써 기판의 이송속도를 제어할 수 있다.
또한, 상부플레이트 또는 하부플레이트의 관통공의 갯수를 조절함으로써, 고정노즐로부터 기판에 분사되는 에어를 균일하게 분산하여 기판에 제공할 수 있다.
도 1은 종래의 기판이송로봇의 일례를 도시한 것이고,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 다른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치의 사시도이고,
도 3은 도 2의 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치의 동적노즐을 도시한 것이고,
도 4는 도 2의 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치에서 기판의 전진방향 이송의 동작을 설명하기 위한 것이고,
도 5는 도 2의 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치에서 기판의 후진방향 이송의 동작을 설명하기 위한 것이고,
도 6는 도 2의 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치에서 기판의 회전 이송의 동작을 설명하기 위한 것이고,
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치의 사시도이고,
도 8은 도 7의 이송방향 전환이 가능한 기판 이송장치에서 기판의 좌측방향 이송의 동작을 설명하기 위한 것이고,
도 9는 도 7의 이송방향 전환이 가능한 기판 이송장치에서 기판의 우측방향 이송의 동작을 설명하기 위한 것이고,
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치를 개략적으로 도시한 것이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치(100)에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 다른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치의 사시도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치(100)는 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120)와 고정노즐(130)과 동적노즐(140)과 회전축(150)과 동력부(160)와 제어부(170)와 에어공급부(180)를 포함한다.
상기 상부플레이트(110)는 후술하는 하부플레이트(120)로부터 상측으로 이격되게 배치되는 플레이트로서, 후술하는 고정노즐(130)로부터 분사되는 에어가 통과할 수 있도록 다수개의 관통공(111)이 전면에 균일하게 형성된다.
상부플레이트(110)에 형성되는 관통공(111)은 하측으로부터 제공되는 에어가 상측의 기판(S)의 전면에 분산되어 공급될 수 있도록 하는 것으로서, 관통공(111)의 갯수는 기판(S)이 전면(全面)에 걸쳐 균일한 정도의 부양력(浮揚力)을 확보하도록 기판(S)의 중량 및 면적을 고려하여 결정되는 것이 바람직하다.
한편, 상부플레이트(110)에는 후술하는 동적노즐(140)의 제1조인트(141)의 상단이 장착되도록 동적노즐(140)의 갯수에 대응되는 갯수의 전환공(112)이 형성된다.
상기 하부플레이트(120)는 상부플레이트(110)와 대향되도록 상부플레이트(110)로부터 하측으로 이격되게 배치되는 플레이트 형태의 부재이다. 하부플레이트(120)에는 상술한 상부플레이트(110)와 동일한 형태의 관통공(121)이 다수 형성된다.
한편, 후술하는 고정노즐(130)로부터 제공되는 에어가 외부에 손실되지 않도록 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120) 사이의 공간은 외부로부터 밀폐되는 것이 바람직하다.
상기 고정노즐(130)은 하부플레이트(120)의 하측 공간에 마련되며, 상부플레이트(110)의 상측에 배치되는 기판(S)이 상부플레이트(110)로부터 부양될 수 있도록 상측으로 에어를 분사하는 부재이다.
도 3은 도 2의 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치의 동적노즐을 도시한 것이다.
도 3을 참조하면, 상기 동적노즐(140)은 상부플레이트(110)로부터 부양된 상태의 기판(S)의 이송방향을 제어하기 위한 부재로서, 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120) 사이의 영역에 배치된다. 동적노즐(140)은 에어의 분사방향이 조절 가능한 구조로 구성되며, 서로에 대하여 회동 가능하게 상호 연결되는 제1조인트(141)와 제2조인트(142)를 포함한다.
상기 제1조인트(141)는 에어가 분사되는 측의 단부로서, 상단부가 전환공(112) 내에 수용되되, 전환공(112)과 제1조인트(141)의 사이에는 탄성력(flexible) 있는 재질의 패킹부재(113)가 개재된다. 따라서, 탄성을 가지는 패킹부재(113)에 의하여 전환공(112) 내에 장착되는 제1조인트(141)는 상단부의 위치는 고정된 상태에서 분사방향이 전환될 수 있도록 구성된다.
상기 제2조인트(142)는 일단이 제1조인트(141)와 연결되는 것으로서, 타단은 후술하는 회전축(150) 상에 장착되는 부재이다. 즉, 후술하는 회전축(150)의 길이방향의 이동으로부터 제2조인트(142)에 가해지는 힘이 제1조인트(141)에 전달되어 제1조인트(141)의 상단부가 향하는 방향, 즉, 에어의 분사방향이 자유롭게 변환될 수 있도록 구성된다.
한편, 제2조인트(142)의 하단부는 회전축(150) 상에 장착될 수 있도록 삽입공이 형성되며, 제2조인트(142)는 회전축(150)과 함께 일체로 움직일 수 있도록 구성된다.
상기 회전축(150)은 다수개가 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120)의 사이 영역에 평행하게 병렬 배치되되, 길이방향을 따라 왕복이동이 가능한 형태로 마련된다. 본 실시예에서 회전축(150)은 상호 이격되는 제1회전축(151)과 제2회전축(152)을 포함한다.
상술한 바와 같이, 회전축(150) 상에는 동적노즐(140)의 제2조인트(142)가 장착되므로 제2조인트(142)의 하단부는 회전축(150)의 길이방향과 함께 일체로 움직이게 된다.
한편, 본 실시예에서 회전축(150)은 서로 복렬 배열되는 제1회전축(151)과 제2회전축(152)을 포함하나, 이에 제한되지 않고, 회전축(150)의 갯수는 이송되는 기판(S)의 면적, 중량, 이송방향 등을 고려하여 결정되는 것이 바람직하다.
상기 동력부(160)는 회전축(150)이 길이방향을 따라 이동하도록 회전축(150)에 동력을 인가하기 위한 부재이다.
상기 동력부(160)는 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120)의 이격공간의 측단부에 리니어 모터의 형터로 장착되어, 회전축(150)의 단부와 연결됨으로써 회전축에 길이방향의 힘을 인가한다.
상기 제어부(170)는 상술한 동력부(150)를 제어함으로써, 최종적으로 동적노즐(140)로부터 분사되는 에어의 분사방향을 조절하는 부재이다. 또한, 제어부(170)는 고정노즐(130) 및 동적노즐(140)로부터 분사되는 에어의 분사속도를 제어함으로써 기판(S)의 부양정도 및 이송속도를 제어할 수도 있다.
상기 에어공급부(180)는 고정노즐(130) 또는 동적노즐(140)에 압축된 에어를 제공하기 위한 저장소이다.
지금부터는 상술한 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치(100)의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상부플레이트(110) 상에 기판(S)에 배치되면, 고정노즐(130)로부터 상측으로 에어가 분사된다. 이때, 에어는 고압으로 압축된 상태에서 고정노즐(130)로부터 분사되며, 하부플레이트(120)의 관통공(121) 및 상부플레이트(110)의 관통공(110)을 차례로 통과하여 기판(S)의 하단면과 접촉하게 되고, 상부플레이트(100)로부터 기판(S)을 소정 높이만큼 부양시킨다.
이때, 상부플레이트(110) 및 하부플레이트(120) 상에 다수 형성되는 관통공(111, 121)이 고정노즐(130)로부터 분사되는 에어를 전면(全面)으로 균일하게 분산시키는 역할을 하므로, 기판(S)은 에어로부터 균일한 부양력을 제공받을 수 있다.
한편, 고정노즐(130)로부터 분사되는 에어의 분사속도는 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120) 간의 이격거리, 상부플레이트(110) 및 하부플레이트(120)에 형성되는 관통공(111, 121)의 갯수, 이송 대상 기판(S)의 면적 및 중량 등을 고려하여 제어부(170)에 의하여 적절하게 제어될 수 있다.
기판(S)이 상부플레이트(110)로부터 부양된 상태에서, 제어부(170)는 이송대상 기판(S)의 정해진 이송방향에 따라 동력부(160)를 제어하며, 기판(S)의 각 이송방향에 따른 동력부(160)의 제어방법에 대하여 후술한다.
전진방향(A)
도 4는 도 2의 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치에서 기판의 전진방향 이송의 동작을 설명하기 위한 것이고,
도 4를 참조하여 설명하면, 전진방향(A)으로의 기판(S) 이송시에 제어부(170)는 동력부(160)를 제어하여 제1회전축(151) 및 제2회전축(152)이 후진방향(B)을 따라 이동하도록 힘을 인가한다. 제1회전축(151) 및 제2회전축(152)이 후진방향을(B)을 따라 이동하면, 이에 각각 장착되는 제2조인트(142) 역시 후진방향(B)을 따라 이동한다.
제2조인트(142)의 이동으로 인하여 이와 연결되는 제1조인트(142)의 하단부 역시 후진방향(B)을 따라 이동하게 되며, 하단부의 이동으로 인하여 상단부가 전환공 내에 삽입되어 위치가 고정된 상태의 제1조인트(141)의 에어 분사방향은 전진방향(A)으로 변환된다. 즉, 제1조인트(141)의 길이방향 축의 하단부가 후진방향(B)으로 이송되면, 상단부는 위치가 고정된 상태에서, 제1조인트(141)는 상단부는 전진방향(A) 하단부는 후진방향(B)을 따라 기울어진다.
따라서, 상술한 과정에 의하여 각 동적노즐(140)은 전진방향(A)을 향하여 사선으로 에어를 분사하며, 이에 따라 기판(S)은 소정 높이로 부양된 상태에서 전진방향(A)을 따라 이송된다.
한편, 제어부(170)는 기판(S)의 방향제어 뿐만 아니라, 고정노즐(130) 및 동적노즐(140)로부터 분사되는 에어의 분사속도를 조절하여 부양력 및 이송되는 기판(S)의 속도를 제어할 수도 있다.
후진방향(B)
도 5는 도 2의 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치에서 기판의 후진방향 이송의 동작을 설명하기 위한 것이다.
도 5를 참조하여 설명하면, 후진방향(B)으로의 기판(S) 이송시에 제어부(170)는 동력부(160)를 이용하여 제1회전축(151) 및 제2회전축(152)이 전진방향(A)을 따라 이동하도록 힘을 인가한다. 제1회전축(151) 및 제2회전축(152)이 전진방향을(A)을 따라 이동하면, 이에 각각 장착되는 제2조인트(142) 역시 전진방향(A)을 따라 이동한다.
제2조인트(142)의 이동으로 인하여 이와 연결되는 제1조인트(141)의 하단부 역시 전진방향(A)을 따라 이동하게 되며, 하단부의 이동으로 인하여 상단부가 전환공 내에 삽입되어 위치가 고정된 상태의 제1조인트(141)로부터 분사되는 에어의 분사방향은 후진방향(B)으로 변환된다. 즉, 제1조인트(141)의 축의 하단부가 전진방향(A)으로 이송되면 위치가 고정된 상태의 상단부는 반대방향인 전진방향(B)을 향하게 되는 것이다.
따라서, 상술한 과정에 의하여 각 동적노즐(140)은 후진방향(B)을 향하여 사선으로 에어를 분사하며, 이에 따라 기판(S)은 소정 높이로 부양된 상태에서 후진방향(B)을 따라 이송된다.
회전
도 6는 도 2의 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치에서 기판의 회전 이송의 동작을 설명하기 위한 것이다.
도 6을 참조하여 설명하면, 상부플레이트(110) 상에서 기판(S)을 회전시키고자 하는 경우에 제어부(170)는 동력부(160)를 동작시켜 제1회전축(151)은 후진방향(B)으로 이동하도록 하고, 제2회전축(152)은 전진방향(A)으로 이동하도록 한다.
이에 따라, 제1회전축(151)에 장착되는 동적노즐(140)과 제2회전축(152)에 장착되는 동적노즐(140)은 각각 서로 다른 방향으로 에어를 분사하게 되고, 양 단부에 서로 다른 방향의 힘을 받는 기판은 어느 하나의 방향으로 이송되지 않고, 고정된 위치에서 회전하게 된다.
또한, 상술한 제1회전축(151)과 제2회전축(152)의 이송방향을 서로 변경함으로써 기판의 회전방향을 변경할 수도 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치(200)에 대하여 상세하게 설명한다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치의 사시도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치(200)는 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120)와 고정노즐(130)과 동적노즐(140)과 회전축(250)과 동력부(260)와 제어부(170)를 포함한다. 본 실시예의 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120)와 고정노즐(130)과 동적노즐(140)과 제어부(170)는 제1실시예에서 상술한 구성과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
상기 회전축(250)은 다수개가 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120)의 사이 공간에 평행하게 복렬 배치되며, 제1회전축(251)과 제2회전축(252)을 포함한다.
다만 본 실시예에서 회전축(250)은 길이방향을 따라 이동가능하게 장착되는 동시에 축방향으로 회전가능하게 구성된다.
상기 동력부(260)는 축방향 및 길이방향 이동하도록 회전축에 회전력 및 이동력을 인가하기 위한 것으로서, 제1동력부(261)와 제2동력부(262)를 포함한다.
상기 제1동력부(261)는 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120)의 이격공간의 측단부에 리니어 모터의 형태로 장착되어, 회전축(250)의 단부와 연결되어 회전축(250)에 길이방향의 힘을 인가한다.
상기 제2동력부(262)는 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120)의 이격공간의 측단부에 회전모터의 형태로 장착되어, 상술한 회전축(250)의 단부와 연결되어 회전축(250)에 회젼력을 전달한다.
지금부터는 상술한 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치의 제2실시예(200)의 작동에 대하여 설명한다.
본 실시예의 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치(200)의 기판(S)의 전진방향(A)의 이송, 기판(S)의 후진방향(B) 이송, 회전이송은 제어부가 제1동력부를 제어함으로써 제1실시예에서와 동일한 형태로 구현될 수 있다.
따라서, 이하, 본 실시예를 이용한 기판의 좌측방향(C) 및 우측방향(D)의 이송에 대해서 설명한다.
좌측방향(C)
도 8은 도 7의 이송방향 전환이 가능한 기판 이송장치에서 기판의 좌측방향 이송의 동작을 설명하기 위한 것이다.
도 8을 참조하여 설명하면, 좌측방향(C)으로의 기판(S) 이송하기 위해서, 제어부(170)는 먼저, 제1동력부(261)를 제어하여 각 회전축(250)을 중립으로 조절하여, 동적노즐(140)의 에어 분사방향이 전진방향(A) 또는 후진방향(B) 중 어느 하나에 치우치지 않도록 한다.
제어부(170)는 제2동력부(262)를 통하여 제1회전축(251) 및 제2회전축(252)이 우측방향(D)을 따라 회전하도록 회전력을 인가한다. 제1회전축(251) 및 제2회전축(252)이 우측방향(D)으로 회전하면, 이에 각각 장착되는 제2조인트(142) 역시 우측방향(D)으로 회전한다.
제2조인트(142)의 회전으로 인하여, 제1조인트(141)의 하단부는 회전방향으로 힘을 인가받아 우측방향(D)으로 기울어지고, 전환공(112) 내에 장착된 상태의 제1조인트(141)의 상단부는 좌측방향(C)을 향하게 된다.
따라서, 상술한 과정에 의하여 각 동적노즐(140)은 좌측방향(C)을 향하여 사선으로 에어를 분사하며, 이에 따라 기판(S)은 소정 높이로 부양된 상태에서 좌측방향(C)을 따라 이송된다.
우측방향(D)
도 9는 도 7의 이송방향 전환이 가능한 기판 이송장치에서 기판의 우측방향 이송의 동작을 설명하기 위한 것이다.
도 9를 참조하여 설명하면, 우측방향(D)으로의 기판(S) 이송하기 위해서, 제어부(170)는 먼저, 제1동력부(261)를 제어하여 회전축(150)을 중립으로 조절하여, 동적노즐(140)을 통한 에어 분사방향이 전진방향(A) 또는 후진방향(B) 중 어느 하나 측으로 치우치지 않도록 한다.
다음으로, 제어부(170)는 제2동력부(262)를 통하여 제1회전축(251) 및 제2회전축(252)이 좌측방향(C)을 따라 회전하도록 회전력을 인가한다. 제1회전축(251) 및 제2회전축(252)이 좌측방향(C)으로 회전하면, 이에 각각 장착되는 제2조인트(142) 역시 좌측방향(C)으로 회전한다.
제2조인트(142)의 회전으로 인하여, 제1조인트(141)의 하단부는 회전방향으로 힘을 인가받아 좌측방향(C)으로 기울어지고, 전환공(112) 내에 장착된 상태의 제1조인트(141)의 상단부는 우측방향(D)을 향하게 된다.
따라서, 상술한 과정에 의하여 각 동적노즐(140)은 우측방향(D)을 향하여 사선으로 에어를 분사하며, 이에 따라 기판(S)은 소정 높이로 부양된 상태에서 우측방향(D)을 따라 이송된다.
따라서, 본 실시예에 의하면, 기판(S)의 파손위험 없이 전진방향(A)이송, 후진방향(B)이송, 좌측방향(C)이송, 우측방향(D)이송, 회전이송 등 모든 방향의 이송이 가능하다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제3실시예에 따른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치(300)에 대하여 상세하게 설명한다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치를 개략적으로 도시한 것이다.
도 10을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치(100)는 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120)와 고정노즐(130)과 동적노즐(140)과 회전축(150)과 동력부(160)와 제어부(170)와 에어공급부(180)와 센서(390)를 포함한다.
다만, 상기 상부플레이트(110)와 하부플레이트(120)와 고정노즐(130)과 동적노즐(140)과 회전축(150)과 동력부(160)와 제어부(170)와 에어공급부(180)는 제1실시예에서 상술한 구성과 동일한 것이므로 중복 설명은 생략한다.
상기 센서(390)는 관통공과 관통공의 사이 공간에 설치되어, 기판(S)의 위치를 검출하는 것으로서, 복수개가 마련된다.
도 10(b)에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 상부플레이트(110) 상에서 일정영역을 차지하는 경우에, 센서(390)는 기판(S)의 위치 및 크기 등을 검출하여 제어부(170)에 전달할 수 있다.
한편, 센서(390)의 개수 및 배열은 상부플레이트(110)의 전체 크기, 이송되는 기판(S)의 크기 등을 고려하여 결정하는 것이 바람직하다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100 : 본 발명의 제1실시예에 따른 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치
110 : 상부플레이트 120 : 하부플레이트
130 : 고정노즐 140 : 동적노즐
150 : 회전축 160 : 동력부
170 : 제어부 180 : 에어공급부

Claims (11)

  1. 상측에 이송 대상인 기판이 배치되며, 다수의 관통공 및 전환공이 형성되는 상부플레이트;
    상기 상부플레이트 상에 상기 기판이 부양되도록 상기 상부플레이트의 관통공 내로 에어를 분사하는 고정노즐;
    축방향으로의 회전운동 및 길이방향으로의 이동 중 적어도 하나의 움직임을 가지는 회전축;
    상기 회전축에 장착되어 상기 회전축과 동일한 움직임을 가지는 제2조인트와 일단은 상기 전환공에 연결되고 타단은 상기 제2조인트와 연결되며 상기 기판의 이송방향을 조절하도록 상기 회전축의 움직임과 연동하여 에어의 분사방향을 변경하는 제1조인트를 구비하는 동적노즐;을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 동적노즐은 상기 회전축 상에 복수개가 장착되고,
    상기 회전축은 상호 이격되게 복수개가 배열되는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상부플레이트로부터 하방으로 이격되게 배치되며, 다수의 관통공이 형성되는 하부플레이트를 더 포함하고,
    상기 동적노즐은 상기 상부플레이트와 상기 하부플레이트의 사이 공간에 배치되되,
    상기 고정노즐은 상기 하부플레이트의 하방에 배치되어 에어를 상측으로 분사하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 회전축에 회전력 또는 이동력을 인가하는 동력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 상부플레이트 상에서 부양된 상태로 이송되는 상기 기판의 방향을 제어하기 위하여 상기 동적노즐을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 동적노즐로부터 분사되는 에어의 분사속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판의 위치를 검출하기 위하여 상기 관통공 사이에 설치되는 복수개의 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치.
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