KR101403425B1 - 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치 - Google Patents

로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치에 관한 것으로서, 카세트의 베이스 플레이트에 형성되는 링형상의 가이드홈, 가이드홈에 일정한 각도로 형성되는 복수 개의 고정홈, 베이스 플레이트를 관통하여 가이드홈의 중앙에 형성되는 중앙홀과, 로드락 챔버 내에 설치되는 고정홈에 대응되는 복수의 지지대, 지지대 상단에 장착되는 볼 플런저, 복수의 지지대의 중앙에 형성되어 카세트를 지지해 주는 받침부, 받침부 중앙에 형성되어 카세트가 이탈되지 않도록 중앙홀에 끼워지는 중앙핀을 포함한다.
본 발명에 따르면 OLED 진공증착 공정에 필요한 기판이나 마스크를 진공 상태를 깨지 않고 증착 공정 과정 중에 로딩하기 위해 클러스터 진공증착 장비 내에 포함되어 있는 로드락 챔버에 복수 개의 기판이나 마스크가 투입된 카세트를 로딩 또는 언로딩하게 되는데, 클러스터 진공증착 장비 내에서의 작업방향과 로드락 챔버에 기판이나 마스크가 투입된 카세트를 로딩하는 방향이 일치하지 않아 카세트 로딩 또는 언로딩 작업을 할 때마다 무거운 카세트를 밖으로 꺼내는 번거로움 있으나 로드락 챔버 내에 카세트 회전 장치를 구비함으로써 이러한 번거로움을 없애고 작업의 능률을 높일 수 있는 효과가 있다.

Description

로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치{A Cassette Rotating Apparatus within a Loadlock Chamber}
본 발명은 카세트 회전 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OLED 증착 공정을 할 때 쓰이는 클러스터 진공증착 장비 내의 로드락 챔버에 로딩되는 카세트의 무게가 무겁기 때문에 작업자의 편의를 위해 카세트가 회전 가능하도록 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치에 관한 것이다.
OLED 진공증착 공정에 필요한 기판이나 마스크를 진공 상태를 깨지 않고 증착 공정 과정 중에 로딩하기 위해 클러스터 진공증착 장비 내에 포함되어 있는 로드락 챔버에 복수 개의 기판이나 마스크가 투입된 카세트를 로딩한다. 카세트에는 복수 개의 기판이나 마스크가 로딩될 수 있는 슬롯이 구비되어 있고, 작업자가 카세트에 기판이나 마스크를 로딩한 후 클러스터 진공증착 장비 내에서 증착 공정이 이루어지도록 로드락 챔버에 카세트를 장착한다.
도 1은 일반적인 클러스터 진공증착 장비를 나타내는 평면도로서 진공증착 장비 내에서 기판이나 마스크가 로딩 또는 언로딩되는 공정 방향이 도시되어 있는데, 카세트를 기판이나 마스크가 로딩 또는 언로딩될 수 있는 방향으로 로드락 챔버에 장착해야 한다. 다시 말해서, 카세트에 기판이나 마스크를 로딩한 방향과 클러스터 진공증착 장비 내에서 증착 공정이 이루어지도록 방향이 일치하도록 장착해야 한다. 따라서 또 다시 기판이나 마스크를 로딩 또는 언로딩하기 위해서는 작업자가 무거운 카세트를 직접 밖으로 꺼내는 작업이 수반된다.
종래의 기술로써 공개특허 10-2011-0003241호에는 로드락 챔버의 카세트 승강장치에 실린더 구동에 의해 소정의 높이를 승강하는 엘리베이터가 있으나, 카세트에서 웨이퍼를 로딩하거나 언로딩할 때 카세트를 회전하는 장치가 없어 무게가 무거운 카세트를 작업자가 회전시키게 되므로 작업하는데 불편함이 있어 본 발명을 제안하게 되었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로, 카세트가 회전 가능하도록 하여 로드락 챔버에서 카세트를 꺼내지 않고도 기판이나 마스크를 카세트에 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 하여 작업자의 작업효율을 높일 수 있는 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치는 카세트의 베이스 플레이트에 링형상으로 형성되는 가이드 홈과, 상기 가이드 홈에 일정한 각도로 형성되어 스토퍼(stopper) 역할을 하는 복수 개의 고정 홈과, 상기 베이스 플레이트를 관통하여 상기 가이드 홈의 중앙에 형성되는 중앙홀과, 상기 고정 홈에 대응되도록 로드락 챔버 내부 하면에 설치되는 복수의 지지대와, 상기 지지대 상단에 장착되는 볼 플런저와, 복수의 상기 지지대의 중앙에 형성되어 카세트를 지지해 주는 받침부와, 상기 받침부 중앙에 형성되어 상기 카세트가 이탈되지 않도록 상기 중앙홀에 끼워지는 중앙핀을 포함할 수 있다.
본 발명에서는 복수의 상기 지지대 하부에 설치되는 링형상의 고정부가 더 포함될 수 있다.
또한, 상기 고정부는 고정장치에 의해 로드락 챔버 내부에 고정될 수 있다.
그리고, 상기 볼 플런저는 상기 지지대의 상단에서 돌출되어 회전하는 볼과,
상기 지지대 내부에 삽입되어 상기 볼에 탄성력을 가하는 스프링으로 구성될 수 있다.
아울러, 상기 받침부는 상기 카세트가 장착되었을 때 상기 볼 플런저가 상기 가이드 홈에 닿을 수 있는 높이로 형성될 수 있다.
본 발명에서 상기 중앙핀은 원기둥 형태로 상기 카세트의 중앙홀에 끼움결합하여 상기 카세트가 이탈되지 않도록 할 수 있다.
또한, 상기 고정 홈은 90°의 각도로 4개가 형성되고 상기 지지대도 90°의 각도로 4개가 형성될 수 있다.
그리고, 상기 베이스 플레이트는 SUS 재질로 형성될 수 있다.
또한, 상기 볼은 SUS 재질로 형성될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 클러스터 진공증착 장비 내에 포함되어 있는 로드락 챔버에 카세트 이탈방지를 위한 중앙 핀과 회전 가능하도록 볼 플런저(ball plunger)를 구비하여 로드락 챔버에 카세트가 장착된 상태에서 기판이나 마스크를 로딩 또는 언로딩한 뒤 클러스터 진공증착 장비에서 증착 공정이 이루어지도록 카세트를 회전시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 기판이나 마스크를 로딩 또는 언로딩할 때 무거운 카세트를 밖으로 꺼내는 번거로운 작업을 하지 않아도 되므로 작업의 효율을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 일반적인 클러스터 진공증착 장비를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 카세트 회전 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 카세트의 저면과 로드락 챔버 내의 회전 장치를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 카세트의 저면도이다.
도 5는 본 발명의 로드락 챔버에 카세트가 장착된 단면도이다.
이하, 본 발명의 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 카세트 회전 장치의 구성을 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 카세트의 저면과 로드락 챔버 내의 회전 장치를 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 카세트의 저면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 로드락 챔버 내에 구비되는 카세트 회전 장치는 클러스터 진공증착 전후에 유리 기판이나 마스크를 카세트에 로딩 또는 언로딩할 때, 로드락 챔버(10)에서 상기 카세트(20)를 밖으로 꺼내지 않고 상기 카세트(20)를 회전시켜 유리 기판이나 마스크를 카세트에 로딩 또는 언로딩할 수 있는 장치로 상기 로드락 챔버의 내부 하면(100)에 설치되는 중앙핀(110), 볼 플런저(120), 지지대(130), 고정부(140), 받침부(150)와, 상기 카세트의 베이스 플레이트(200)에 형성되는 중앙홀(210), 고정홈(220), 가이드홈(230)을 포함한다.
도 3에 도시한 바와 같이, 상기 로드락 챔버의 내부 하면(100)에는 복수 개의 상기 지지대(130)가 형성되는데 상기 복수의 지지대(130) 하부에는 링형상의 상기 고정부(140)가 설치되며, 상기 고정부(140)는 고정장치에 의해 상기 로드락 챔버의 내부 하면(100)에 고정된다. 또한, 상기 지지대(130) 상단에는 상기 볼 플런저(120)가 설치되는데 상기 볼 플런저(120)는 상기 지지대(130)의 상단에 돌출되어 회전하는 볼과, 상기 지지대(130) 내부에 삽입되어 상기 볼에 탄성력을 가하는 스프링으로 구성된다. 이 때, 상기 스프링의 탄성력으로 상기 볼이 튀어나가지 않도록 상기 지지대(130)의 상단에 직경이 상기 볼의 직경보다 작은 링형상의 띠가 구비된다.
도 4를 참조하면, 상기 카세트의 베이스 플레이트(200)에는 링형상으로 상기 가이드홈(230)이 형성되며, 상기 가이드홈(230)에 일정한 각도로 스토퍼(stopper) 역할을 하는 복수 개의 상기 고정홈(220)이 형성된다. 또한, 상기 베이스 플레이트(200)를 관통하여 상기 가이드홈(230)의 중앙에 중앙홀(210)이 형성된다.
본 발명의 실시예에서 상기 지지대(130)는 90°간격으로 4개가 형성되며, 상기 지지대(130) 상단에 설치되는 상기 볼에 대응되도록 상기 고정홈(220)도 90°간격으로 4개가 형성된다.
또한, 도 2에 도시한 바와 같이 상기 로드락 챔버(10)에 상기 카세트(20)가 장착되면 상기 가이드홈(230)을 따라 상기 볼 플런저(120)의 볼이 회전하면서 상기 카세트(20)는 회전이동하게 되고, 상기 볼 플런저(120)는 상기 고정홈(220)에 대응되도록 설치되어 스토퍼(stopper)기능을 하므로 상기 고정홈(220)에 상기 볼이 맞닿게 되면 회전이동하던 상기 카세트(20)는 고정된다. 이와 같이 상기 로드락 챔버(10)의 회전장치에 장착된 상기 카세트(20)는 360°회전이 가능하나 필요에 따라 90°간격으로 고정시킬 수도 있다.
도 5는 본 발명의 로드락 챔버에 카세트가 장착된 단면도인데, 도 5에 도시한 바와 같이, 복수의 상기 지지대(130)의 중앙에는 원반형태의 상기 받침부(150)가 설치되는데 상기 받침부(150)는 상기 카세트(20)가 장착되었을 때 상기 볼 플런저(120)가 상기 가이드홈(230)에 닿을 수 있는 높이로 형성되어 상기 카세트(20)가 상기 로드락 챔버(10) 내에 로딩되었을 때 상기 카세트(20)를 지지해 준다.
아울러, 도 3과 도 5를 참조하면, 상기 카세트(20)가 상기 로드락 챔버(100)에 장착될 때, 상기 받침부(150)의 중앙에 원기둥 형태로 형성된 상기 중앙핀(110)이 상기 카세트(20)가 이탈되지 않도록 상기 베이스 플레이트(200)의 중앙에 형성되는 상기 중앙홀(210)에 끼움결합하게 된다.
상기 베이스 플레이트(200)와 상기 볼은 SUS 재질을 사용하여 제작함으로써 상기 베이스 플레이트(200)에 형성된 가이드홈(230)을 따라 상기 볼이 회전하면서 생성되는 베어링 파티클(bearing particle)을 방지한다.
본 발명의 실시예에 따르면 상기 볼 플런저(120)의 볼 1개가 3kg의 하중을 견딜 수 있는데, 상기 볼 플런저(120)가 4개가 형성되어 최대 12kg의 하중까지 견디도록 회전장치가 설치된다. 상기 카세트(20)의 무게가 6kg이고, 상기 카세트(20)에 로딩되는 마스크 5장의 무게가 3kg, 유리 기판이 0.5kg으로 총 9.5kg이므로 최소 3개의 볼이 구비되면 회전구동에는 문제가 없다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
10 : 로드락 챔버 20 : 카세트
100 : 로드락 챔버의 내부 하면 110 : 중앙핀
120 : 볼 플런저 130 : 지지대
140 : 고정부 150 : 받침부
200 : 카세트의 베이스 플레이트 210 : 중앙홀
220 : 고정홈 230 : 가이드홈

Claims (9)

  1. 카세트의 베이스 플레이트에 링형상으로 형성되는 가이드 홈;
    상기 가이드 홈에 일정한 각도로 형성되어 스토퍼(stopper) 역할을 하는 복수 개의 고정 홈;
    상기 베이스 플레이트를 관통하여 상기 가이드 홈의 중앙에 형성되는 중앙홀;
    상기 고정 홈에 대응되도록 로드락 챔버 내부 하면에 설치되는 복수의 지지대;
    상기 지지대 상단에 장착되는 볼 플런저;
    복수의 상기 지지대의 중앙에 형성되어 카세트를 지지해 주는 받침부; 및
    상기 받침부 중앙에 형성되어 상기 카세트가 이탈되지 않도록 상기 중앙홀에 끼워지는 중앙핀;을 포함하고,
    상기 볼 플런저는 상기 지지대의 상단에서 돌출되어 회전하는 볼과,
    상기 지지대 내부에 삽입되어 상기 볼에 탄성력을 가하는 스프링으로 구성되며,
    상기 중앙핀은 원기둥 형태로 상기 카세트의 중앙홀에 끼움결합하여 상기 카세트가 이탈되지 않도록 하며,
    상기 지지대의 상단에 직경이 상기 볼의 직경보다 작은 링형상의 띠가 구비되는 카세트 회전 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    복수의 상기 지지대 하부에 설치되는 링형상의 고정부가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 고정부는 고정장치에 의해 로드락 챔버 내부에 고정되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 받침부는 상기 카세트가 장착되었을 때 상기 볼 플런저가 상기 가이드 홈에 닿을 수 있는 높이로 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 고정 홈은 90°의 각도로 4개가 형성되고 상기 지지대도 90°의 각도로 4개가 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트는 SUS 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 볼은 SUS 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전 장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016011690A1 (zh) * 2014-07-24 2016-01-28 深圳市华星光电技术有限公司 用于oled高温炉的石英卡夹装置及石英卡夹底板
KR101887461B1 (ko) * 2017-06-28 2018-08-13 엠케이메탈 주식회사 기판 수납용 매거진

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06244272A (ja) * 1993-02-17 1994-09-02 Mitsubishi Materials Shilicon Corp カセットマガジン
JPH0676720U (ja) * 1993-04-08 1994-10-28 日本精工株式会社 無潤滑転がり軸受
JPH08181198A (ja) * 1994-12-22 1996-07-12 Dainippon Screen Mfg Co Ltd カセット載置装置
KR20050067751A (ko) * 2003-12-29 2005-07-05 동부아남반도체 주식회사 로드락 챔버의 엘리베이터 회전장치 및 그 회전방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06244272A (ja) * 1993-02-17 1994-09-02 Mitsubishi Materials Shilicon Corp カセットマガジン
JPH0676720U (ja) * 1993-04-08 1994-10-28 日本精工株式会社 無潤滑転がり軸受
JPH08181198A (ja) * 1994-12-22 1996-07-12 Dainippon Screen Mfg Co Ltd カセット載置装置
KR20050067751A (ko) * 2003-12-29 2005-07-05 동부아남반도체 주식회사 로드락 챔버의 엘리베이터 회전장치 및 그 회전방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016011690A1 (zh) * 2014-07-24 2016-01-28 深圳市华星光电技术有限公司 用于oled高温炉的石英卡夹装置及石英卡夹底板
KR101887461B1 (ko) * 2017-06-28 2018-08-13 엠케이메탈 주식회사 기판 수납용 매거진

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