KR101400246B1 - 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 내측에 정제를 위한 공간을 제공하고, 진공을 유지할 수 있는 튜브; 상기 튜브를 감싸도록 상기 튜브의 길이방향을 기준으로 양측에 각각 위치하고, 상기 튜브의 길이방향을 따라 다수로 설치되며, 내부에 모세관이 형성되는 모세관부재가 설치됨과 아울러 기화 가능한 작동유체가 저장되는 히트파이프; 상기 히트파이프 각각에 상기 작동유체의 기화를 위해 필요한 열이 제공되도록 설치되는 히터; 상기 히트파이프 각각의 냉각에 필요한 냉각수가 순환공급되도록 설치되는 냉각수라인; 상기 튜브의 길이방향을 기준으로 양측에 각각 위치하되, 서로 마주보는 측에 상기 히트파이프가 길이방향을 따라 다수로 배열되도록 고정되는 케이스; 및 상기 히트파이프가 상기 튜브에 인접 내지 밀착되거나 이격되기 위하여, 상기 케이스 각각이 상기 히트파이프와 함께 이동하도록 가이드하는 가이드부를 포함하도록 한 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 열원으로서 히트파이프를 효과적으로 이용함으로써 등온영역대를 확장시키고, 상하 온도 편차를 감소시키며, 이로 인해 급가열 및 급랭을 가능하도록 하고, 정제 효율을 증대시키며, 우수한 냉각 구조 및 구성을 가짐으로써 냉각시간의 단축으로 인한 정제에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.

Description

히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치{REFINING APPARATUS USING HEAT PIPE FOR MASS PRODUCTION}
본 발명은 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 열원으로서 히트파이프를 효과적으로 이용함으로써 등온 영역대를 확장시키고, 상하의 온도 편차를 감소시키며, 정제 효율을 증대시키도록 하는 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 승화 정제 장치는 유기 EL이나 OLED 소자의 발광체 또는 수송체로 사용 가능한 저분자 유기 재료의 불순물 제거를 위한 공정인 승화 정제 공정에 사용된다.
이와 같은 종래의 기술에 따른 승화 정제 장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 기술에 따른 승화 정제 장치를 도시한 측단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 기술에 따른 승화 정제 장치(10)는 승화시킬 원료 유기 물질을 배치하여 승화되어 정제된 유기물과 불순물을 분리하기 위한 다수의 내부관(12), 상기 다수의 내부관을 연결하는 다수의 연결부(12a), 상기 다수의 내부관을 포함하며 진공을 유지할 수 있는 열전도용 외부관(11), 상기 외부관(11) 및 다수의 내부관(12)을 각각 다른 온도로 가열하여 유기 물질을 승화시키는 다수의 히터(13)를 포함하여 구성된다. 여기서, 내부관(12)은 주로 유리, 석영, 세라믹, 또는 금속관 재질로 제조된다.
이와 같은 승화 정제 장치(10)는 내부에 수용 공간을 갖는 외부관(11)의 외측에 다수의 히터(13)가 배치되어 발열함에 따라 외부관(11) 내부에 배치된 다수의 내부관(12)을 가열시켜 내부관(12) 내의 보트(14)에서 원료 유기 물질의 승화와 내부관(12)에서의 승화 정제 물질이 포집됨으로써 이루어짐으로써 수행된다. 여기서, 분리된 다수의 내부관(12)을 사용하는 이유는 외부관(11) 외측에 배치된 다수의 히터(13)가 각각 다른 온도로 가열됨으로써 다수의 내부관(12)들 간에 온도 구배를 형성시키고, 이로써 원료 유기 물질이 승화되어 이러한 온도 구배에 따라 각각의 내부관(12)에 분리 정제되도록 하기 위함이다.
또한, 종래의 다른 예에 따른 승화 정제 장치로서, 대한민국 특허청에 출원된 특허공개 제10-2008-0073958호의 "이송 수단을 구비한 승화 정제 장치"가 개시된 바 있는데, 이는 내부 공간이 진공을 유지할 수 있도록 일측에 도어를 구비한 외부관과, 상기 외부관의 외측에 배치되어 발열하는 다수의 히터와, 가열에 의해 승화된 물질이 포집되도록 상기 외부관의 내부에 수용되는 다수의 내부관과, 상기 외부관 내에 길이 방향으로 설치되어 상기 승화 정제 장치의 내부관이 상기 외부관의 내부 중앙부에서 이동될 수 있도록 상기 내부관을 지지하는 이송 지지부와, 상기 이송 지지부의 하측에 설치되어 상기 이송 지지부를 상기 외부관 내에서 상기 외부관의 길이 방향으로 수평 이동시키는 적어도 하나의 이송 수단을 포함한다.
그러나, 이와 같은 종래의 기술에 따른 승화 정제 장치는 열원으로 세라믹 히터를 사용하게 됨으로써 등온 영역대의 확장에 어려움이 따르고, 이로 인해 정제 효율을 저하시키고, 급가열 및 급랭이 어려워서 정제 효율이 낮을 뿐만 아니라 정제에 소요되는 시간을 증가시키는 문제점을 가지고 있었다.
상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 열원으로서 히트파이프를 효과적으로 이용함으로써 등온 영역대를 확장시키고, 상하 온도 편차를 감소시키며, 급가열 및 급랭을 가능하도록 하고, 정제 효율을 증대시키며, 우수한 냉각 구조 및 구성을 가짐으로써 냉각시간의 단축으로 인한 정제 소요 시간을 단축시키도록 하는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시예에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 측면에 따르면, 정제 장치에 있어서, 내측에 정제를 위한 공간을 제공하고, 진공을 유지할 수 있는 튜브; 상기 튜브를 감싸도록 상기 튜브의 길이방향을 기준으로 양측에 각각 위치하고, 상기 튜브의 길이방향을 따라 다수로 설치되며, 내부에 모세관이 형성되는 모세관부재가 설치됨과 아울러 기화 가능한 작동유체가 저장되는 히트파이프; 상기 히트파이프 각각에 상기 작동유체의 기화를 위해 필요한 열이 제공되도록 설치되는 히터; 상기 히트파이프 각각의 냉각에 필요한 냉각수가 순환공급되도록 설치되는 냉각수라인; 상기 튜브의 길이방향을 기준으로 양측에 각각 위치하되, 서로 마주보는 측에 상기 히트파이프가 길이방향을 따라 다수로 배열되도록 고정되는 케이스; 및 상기 히트파이프가 상기 튜브에 인접 내지 밀착되거나 이격되기 위하여, 상기 케이스 각각이 상기 히트파이프와 함께 이동하도록 가이드하는 가이드부를 포함하는 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치가 제공된다.
상기 히트파이프는, 내부가 반원의 단면 형상을 가지도록 형성되고, 상기 튜브의 길이방향으로 배열되는 각각의 길이가 서로 상이하도록 형성될 수 있다.
상기 케이스는, 내측에 길이방향을 따라 다수로 고정되는 블록의 내측에 상기 히터가 각각 설치되되, 상기 히터가 상기 히트파이프 각각에 인접하거나 접하여 상기 히트파이프 각각의 외측면을 따라 다수로 배열되도록 설치되고, 상기 냉각수라인이 상기 히트파이프 각각에 인접하거나 접하도록 내측에 설치될 수 있다.
상기 튜브의 길이방향을 따라 배열되는 상기 히트파이프 각각에 대응하여 상기 튜브의 상부와 하부의 온도를 각각 측정하도록 상기 케이스에 다수로 설치되는 상부 및 하부온도센서; 및 상기 상부 및 하부온도센서로부터 출력되는 감지신호를 각각 수신받아 상기 히터를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
상기 가이드부는, 상기 케이스에 직교하도록 설치되는 가이드레일; 및 상기 케이스 각각의 일측에 고정되고, 케이스이송부에 의해 상기 가이드레일을 따라 이동하도록 상기 가이드레일에 슬라이딩 가능하게 결합되는 가이드부재를 포함하고, 상기 케이스이송부는, 상기 가이드레일에 나란하도록 설치되는 리드스크루; 상기 케이스 각각의 일측에 고정되고, 상기 리드스크루에 서로 반대방향으로 나사 결합되는 나사결합부재; 및 상기 리드스크루의 일단에 고정되고, 회전방향에 따라 상기 케이스의 거리를 조절함으로써 상기 히트파이프가 상기 튜브에 밀착되도록 하거나 이격되도록 하는 핸들을 포함할 수 있다.
상기 케이스가 서로 이격되면, 상기 케이스 사이로 냉각용 에어를 공급하도록 설치되는 냉각에어공급부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치에 의하면, 열원으로서 히트파이프를 효과적으로 이용함으로써 등온 영역대를 확장시키고, 상하 온도 편차를 감소시키며, 이로 인해 급가열 및 급랭을 가능하도록 하고, 정제 효율을 증대시키며, 우수한 냉각 구조 및 구성을 가짐으로써 냉각시간의 단축으로 인한 정제 소요 시간을 단축시킬 수 있다.
도 1은 종래의 기술에 따른 승화 정제 장치를 도시한 단면도이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치를 도시한 측단면도이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치를 도시한 평면도이고,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치를 도시한 정면도이고,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치의 요부를 도시한 구성도이고,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치의 블록을 도시한 측면도이고,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치의 케이스이송부를 도시한 정면도이고,
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치의 동작을 설명하기 위한 정면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해 되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치를 도시한 측단면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치를 도시한 평면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치를 도시한 정면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치(100)는 튜브(110), 히트파이프(120)와, 히터(130)와, 냉각수라인(140)과, 케이스(150)를 포함할 수 있다.
튜브(110)는 내측에 정제를 위한 공간을 제공하고, 진공을 유지할 수 있으며, 이를 위해 양단이 개폐부재나 연결장치 등에 의해 개폐 가능한 구조를 가지거나, 막힘 구조를 가짐으로써 밀폐 가능한 구조를 가질 수 있다
튜브(110)는 일측의 배출구(112)를 통해서 내측의 기체를 외부로 배출될 수 있고, 배출구(112) 측에 LN2 포집 장치(300)가 연결될 수 있으며, 일측에 마련된 진공노즐(113)이나 일측에 연결되는 진공흡입라인(미도시)을 통해서 내부가 진공을 형성할 수 있으며, 일례로 쿼츠(quartz)로 이루어질 수 있고, 지면에 설치되는 본체(210) 상에 마련되는 고정대(211)에 의해 양단이 각각 고정될 수 있다. 튜브(110)는 내측에 쿼츠나 글래스 또는 금속이나 금속합금으로 이루어져서 정제되는 물질이 포집되는 이너튜브(220)가 설치될 수 있고, 이너튜브(220)의 내측에 정제가 필요한 물질이 수용된 보트(230)가 안착된다.
도 5를 참조하면, 히트파이프(120)는 튜브(110)를 감싸도록 튜브(110)의 길이방향을 기준으로 양측에 각각 위치하고, 튜브(110)의 길이방향을 따라 다수로 설치되며, 모세관이 형성되는 모세관부재(121)가 설치되는 내부에 기화 가능한 작동유체가 저장된다. 모세관부재(121)는 일례로 윅(wick)으로 이루어질 수 있으며, 모세관 현상을 유발할 수 있는 다양한 구조를 가지거나 다양한 재질로 이루어질 수 있다. 작동유체는 임계온도 이하의 작동온도를 유지할 수 있도록 하기 위하여, 액체 금속일 수 있으며, 예컨대 나트륨, 칼륨, 리튬 등의 알칼리 금속일 수 있다.
히트파이프(120)는 스테인레스스틸 등의 금속합금으로 이루어질 수 있고, 일례로 내부가 반원의 단면 형상을 가지도록 형성될 수 있으며, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 튜브(110)의 길이방향으로 배열되는 각각의 길이가 서로 상이하도록 형성될 수 있고, 후술하게 될 히터(130)로부터 외주면측에 열이 공급되면, 내주면측에 위치하는 튜브(110) 측으로 열이 공급됨으로써 내주면측에서의 응축이 발생하여 등온 벽면을 이루게 되어 튜브(110)의 등온 가열원이 된다. 따라서, 외주면과 내주면 사이의 공간 내에 저장된 작동유체가 가열되어 외주면측에서 증기를 발생하고, 발생된 증기는 모세관부재(121)의 반경방향으로 이동하여 내주면측에서 응축되면서 열을 튜브(110) 측으로 전달하게 된다. 이때, 응축된 증기는 외주면과 내주면 사이의 공간에 설치된 모세관부재(121)의 모세관력에 의해서 액체 상태로 되어 외주면측으로 귀환된다.
히터(130)는 히트파이프(120) 각각에 작동유체의 기화를 위해 필요한 열이 제공되도록 설치되고, 도 6에 도시된 바와 같이, 일례로 바(bar) 형태를 가질 수 있다.
히터(130)의 제어를 위하여, 상부 및 하부온도센서(181,182)와 제어부(183)가 마련될 수 있다.
상부 및 하부온도센서(181,182)는 튜브(110)의 길이방향을 따라 배열되는 히트파이프(120) 각각에 대응하여 튜브(110)의 상부와 하부의 온도를 각각 측정하도록 케이스(150) 중 어느 하나에 다수로 설치될 수 있다. 따라서, 상부 및 하부온도센서(181,182)는 튜브(110)의 길이방향을 따라 배열되는 히트파이프(120)의 개수와 상응하는 개수로 각각 이루어지고, 히트파이프(120)에 의해 가열되는 영역에 해당하는 튜브(110)의 상부와 하부의 온도를 각각 측정하여 제어부(183)로 감지신호로서 각각 출력하도록 한다.
제어부(183)는 상부 및 하부온도센서(181,182)로부터 출력되는 감지신호를 각각 수신받아 히터(130)를 제어하는데, 일례로, 튜브(110)의 가열 초기시 히터(130) 모두를 동시에 구동시키고, 상부 및 하부 온도센서(181,182)의 측정 온도가 설정된 온도, 예컨대 히트파이프(120)에 의해 가열된 튜브(110)가 정화 공정에 필요한 온도에 도달시, 튜브(110)의 중심부를 기준으로 상부에 위치하는 히터(130)를 정지시킴과 아울러 하부에 위치하는 히터(130)를 동작시킴으로써 튜브(110)에 균일한 열을 공급하도록 하고, 나아가서, 경제적인 운전을 가능하도록 한다.
냉각수라인(140)은 히트파이프(120) 각각의 냉각에 필요한 냉각수가 순환공급되도록 설치되는데, 일례로 케이스(150)에 설치될 수 있으며, 외부로부터 펌프의 펌핑력에 의해 냉각수가 순환 공급되기 위한 경로를 제공한다. 냉각수라인(140) 각각에 대한 냉각수의 순환을 제어함으로써 히트파이프(120) 각각에 대한 냉각을 수행할 수 있도록 한다.
케이스(150)는 스테인레스스틸 재질로 이루어질 수 있으며, 일례로 한 쌍으로 이루어져서 튜브(110)의 길이방향을 기준으로 양측에 각각 위치하되, 서로 마주보는 측에 히트파이프(120)가 길이방향을 따라 다수로 배열되도록 고정된다.
케이스(150)는 내측에 길이방향을 따라 다수로 고정되는 블록(151)의 내측에 히터(130)가 각각 설치되되, 히터(130)가 히트파이프(120) 각각에 인접하거나 접하여 히트파이프(120) 각각의 외측면을 따라 다수로 배열되도록 설치될 수 있고, 냉각수라인(140)이 히트파이프(120) 각각에 인접하거나 접하도록 내측에 설치될 수 있다.
도 6을 참조하면, 블록(151)은 히트파이프(120)의 길이와 상응한 길이를 가지도록 (a)와 (b)에서와 같이 상이한 길이를 가지도록 형성될 수 있으며, 중심부에 튜브(110)가 위치하기 위한 튜브홈(152)이 형성되고, 튜브홈(152) 내측에 냉각수라인(140)이 설치되기 위한 냉각수라인홈(153)이 형성될 수 있다.
가이드부(160)는 히트파이프(120)가 튜브(110)에 인접 내지 밀착되거나 이격되기 위하여, 케이스(150) 각각이 히트파이프(120)와 함께 직선이동 또는 회전이동을 비롯하여 다양한 경로를 따라 이동하도록 가이드할 수 있으며, 본 실시예에서처럼 케이스(150) 각각을 좌우로 이동할 수 있도록 가이드하거나, 다른 예로서, 상하로 이동하도록 가이드할 수 있으며, 이에 한하지 않고, 다양한 방향으로 이동하도록 가이드할 수 있다.
가이드부(160)는 일례로 케이스(150)에 직교하도록 설치되는 가이드레일(161)과, 케이스(150) 각각의 일측에 고정되고, 케이스이송부(170)에 의해 가이드레일(161)을 따라 이동하도록 가이드레일(161)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 가이드부재(162)를 포함할 수 있으며, 본 실시예에서처럼 케이스(150)의 안정적인 가이드를 위하여 다수, 예컨대 한 쌍으로 이루어질 수 있다. 가이드레일(161)은 일례로 수평되게 설치될 수 있으며, 본 실시예에서처럼 본체(210) 상에 고정될 수 있다. 가이드부재(162)는 한 쌍으로 이루어져서 케이스(150)의 하부에 각각 고정될 수 있다.
도 7을 참조하면, 케이스이송부(170)는 가이드레일(161)에 나란하도록 설치되는 리드스크루(171)와, 케이스(150) 각각의 일측에 고정되고, 리드스크루(171)에 서로 반대방향으로 나사 결합되는 나사결합부재(172)와, 리드스크루(171)의 일단에 고정되고, 회전방향에 따라 케이스(150)의 거리를 조절함으로써 히트파이프(120)가 튜브(110)에 밀착되도록 하거나 이격되도록 하는 핸들(173)을 포함할 수 있다. 여기서, 리드스크루(171)는 케이스(150)의 이동방향을 따라 설치될 수 있고, 일례로 본체(210) 상에 설치될 수 있다. 나사결합부재(172)는 리드스크루(171)에 서로 반대방향으로 나사 결합되기 위하여, 서로 반대방향의 암나사부가 형성되거나, 리드스크루(171)의 중심을 기준으로 외주면에 형성되는 수나사부가 서로 반대방향으로 형성될 수 있다. 한편, 케이스이송부(170)는 모터나 실린더의 구동력을 이용하여 케이스(150)가 서로 간의 간격이 조절되도록 이동할 수 있도록 한다.
도 8을 참조하면, 케이스(150)가 서로 이격되면, 케이스(150) 사이로 냉각용 에어를 공급하도록 냉각에어공급부(190)를 더 포함할 수 있다. 냉각에어공급부(190)는 본 실시예에서처럼 외부의 펌핑이나 압력차에 의해 공급라인을 통해서 공급되는 에어를 서로 이격된 케이스(150) 사이의 튜브(110) 측으로 배출시키기 위하여 "T"자 형태를 가지는 노즐로 이루어질 수 있고, 이와 달리, "I"자 형태를 비롯하여 다양한 형태를 가지는 노즐로 이루어질 수 있으며, 다른 예로서, 케이스(150)중 어느 하나의 상부에 설치되어 하방으로 송풍력을 제공하는 송풍기로 이루어질 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치의 작용을 설명하기로 한다.
히터(130)에 의해 동작하는 히트파이프(120)에 의해 튜브(110)에 열을 공급함으로써 튜브(110) 내측에 설치된 이너튜브(220)를 가열하여, 이너튜브(220 내의 보트(230)에 수용된 정제 대상 물질이 기화되어 이너튜브(220)의 내측면에 포집됨으로써 정제 과정을 수행하도록 한다. 또한, 히터(130) 각각과 히트파이프(120) 각각에 의해 튜브(110)의 길이방향을 따라 나뉘어지는 영역을 각각 가열하도록 함으로써, 이너튜브(220) 내의 온도 구배를 형성시키고, 이로 인해 정제 대상 물질이 기화되어 이너튜브(220)의 내측면에 포집되어 분리 정제되도록 한다.
또한, 열원으로서 히트파이프(120)를 효과적으로 이용함으로써 등온 영역대를 확장시키고, 상하 온도 편차를 감소시키며, 이로 인해 급가열 및 급랭을 가능하도록 하고, 정제 효율을 증대시킨다.
또한, 튜브(110)를 중심으로 히트파이프(120)가 케이스(150)와 함께 분리될 수 있도록 함과 아울러, 냉각수라인(140)을 통한 냉각수의 순환 공급 및 냉각에어공급부(190)를 통해 냉각용 에어의 분사에 의해 냉각시간의 단축으로 인한 정제 소요 시간을 단축시킬 수 있다.
이와 같이 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
110 : 튜브 111 : 공간
112 : 배출부 113 : 진공노즐
120 : 히트파이프 121 : 모세관부재
130 : 히터 140 : 냉각수라인
150 : 케이스 151 : 블록
152 : 튜브홈 153 : 냉각수라인홈
160 : 가이드부 161 : 가이드레일
162 : 가이드부재 170 : 케이스이송부
171 : 리드스크루 172 : 나사결합부재
173 : 핸들 181 : 상부온도센서
182 : 하부온도센서 183 : 제어부
190 : 냉각에어공급부 210 : 본체
211 : 고정대 220 : 이너튜브
221 : 공간 230 : 보트
300 : LN2 포집 장치

Claims (6)

  1. 정제 장치에 있어서,
    내측에 정제를 위한 공간을 제공하고, 진공을 유지할 수 있는 튜브;
    상기 튜브를 감싸도록 상기 튜브의 길이방향을 기준으로 양측에 각각 위치하고, 상기 튜브의 길이방향을 따라 다수로 설치되며, 내부에 모세관이 형성되는 모세관부재가 설치됨과 아울러 기화 가능한 작동유체가 저장되는 히트파이프;
    상기 히트파이프 각각에 상기 작동유체의 기화를 위해 필요한 열이 제공되도록 설치되는 히터;
    상기 히트파이프 각각의 냉각에 필요한 냉각수가 순환공급되도록 설치되는 냉각수라인;
    상기 튜브의 길이방향을 기준으로 양측에 각각 위치하되, 서로 마주보는 측에 상기 히트파이프가 길이방향을 따라 다수로 배열되도록 고정되는 케이스; 및
    상기 히트파이프가 상기 튜브에 인접 내지 밀착되거나 이격되기 위하여, 상기 케이스 각각이 상기 히트파이프와 함께 이동하도록 가이드하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 히트파이프는,
    내부가 반원의 단면 형상을 가지도록 형성되고, 상기 튜브의 길이방향으로 배열되는 각각의 길이가 서로 상이하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 케이스는,
    내측에 길이방향을 따라 다수로 고정되는 블록의 내측에 상기 히터가 각각 설치되되, 상기 히터가 상기 히트파이프 각각에 인접하거나 접하여 상기 히트파이프 각각의 외측면을 따라 다수로 배열되도록 설치되고, 상기 냉각수라인이 상기 히트파이프 각각에 인접하거나 접하도록 내측에 설치되는 것을 특징으로 하는 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 튜브의 길이방향을 따라 배열되는 상기 히트파이프 각각에 대응하여 상기 튜브의 상부와 하부의 온도를 각각 측정하도록 상기 케이스에 다수로 설치되는 상부 및 하부온도센서; 및
    상기 상부 및 하부온도센서로부터 출력되는 감지신호를 각각 수신받아 상기 히터를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 가이드부는,
    상기 케이스에 직교하도록 설치되는 가이드레일; 및
    상기 케이스 각각의 일측에 고정되고, 케이스이송부에 의해 상기 가이드레일을 따라 이동하도록 상기 가이드레일에 슬라이딩 가능하게 결합되는 가이드부재를 포함하고,
    상기 케이스이송부는,
    상기 가이드레일에 나란하도록 설치되는 리드스크루;
    상기 케이스 각각의 일측에 고정되고, 상기 리드스크루에 서로 반대방향으로 나사 결합되는 나사결합부재; 및
    상기 리드스크루의 일단에 고정되고, 회전방향에 따라 상기 케이스의 거리를 조절함으로써 상기 히트파이프가 상기 튜브에 밀착되도록 하거나 이격되도록 하는 핸들을 포함하는 것을 특징으로 하는 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 케이스가 서로 이격되면, 상기 케이스 사이로 냉각용 에어를 공급하도록 설치되는 냉각에어공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히트파이프를 이용한 양산용 정제 장치.
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