KR100877992B1 - 승화정제장치 - Google Patents

Abstract

개시된 내용은 승화정제장치에 관한 것으로, 내부관이 외부관 내부의 중앙영역에 배치되게 하여 내부관 전체가 균일한 온도로 가열되게 함으로써 승화정제물질의 순도를 향상시킨 승화정제장치에 관한 것이다.

이러한 승화정제장치는 승화정제장치에 있어서, 내부공간이 진공을 유지할 수 있도록 일측에 도어를 형성한 외부관;과, 상기 외부관의 외측에 배치되어 발열하는 다수의 히터;와, 가열에 의해 승화된 물질이 포집되도록 상기 외부관의 내부에 수용되는 내부관; 및, 상기 외부관내에 길이방향으로 설치되어 상기 내부관이 외부관의 내부 중앙에 배치되도록 지지하는 지지대;를 포함하여 달성된다.

승화정제, 포집, 지지대, 도어, 이송수단, 열전대

Description

승화정제장치 {Sublimation apparatus of Organic Material}

도 1은 종래 승화정제장치의 정단면도,

도 2는 종래 승화정제장치의 측단면도,

도 3은 본 발명 승화정제장치의 일실시예의 단면도,

도 4는 도 3의 A-A'선 단면도,

도 5는 본 발명 승화정제장치의 작용단면도이고,

도 6은 본 발명 승화정제장치의 다른실시예의 단면도이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

110:외부관, 112:고정홈, 120:히터,

130:내부관, 132:연결관, 134:용기,

140:지지대, 150:도어, 160:이송수단,

162:안내레일, 164:이동체, 170:내부열전대,

172:열전대, 174:단열재, 176:관체,

178:밀폐부재, 180:외부열전대

본 발명은 지지대를 통해 외부관 내에 수용되는 내부관을 지지하여 외부관의 내부 중앙에 배치되게 함으로써 내부관이 균일한 온도로 가열되게 하고, 다수의 히터에 대응하여 외부관 내의 온도를 각각 측정하여 히터의 가열온도를 제어함으로써 승화정제물질의 순도를 향상시킬 뿐만 아니라, 상기 외부관의 일측을 마감하는 도어와 함게 내부관을 지지하는 지지대가 슬라이딩되게 한 승화정제장치에 관한 것이다.

일반적으로 유기 EL 소자는 일함수가 크고 투명한 양극과 일함수가 낮은 음극 금속 사이에 여러 개의 얇은 유기 박막층으로 구성되어있고, 발광원리는 소자에 순방향으로 전압을 가하면 양극 전극에서 정공이 유기층으로 주입되고, 음극에서는 전자가 주입되어 발광층에서 재결합하여 빛을 내는 디스플레이 소자이다.

이러한 유기 EL 소자는 저소비전력, 넓은 광시야각, 고속 응답속도, 넓은 구동온도범위 등의 정보화시대에서 요구하는 고품위 패널특성을 모두 가지고 있으며, 또한 상대적으로 제작 공정이 단순하여 기존의 평판 디스플레이를 초월하는 저가격화 실현을 기대할 수 있는 강점을 가지고 있다.

상기와 같은 유기 EL 소자의 발광 특성에 영향을 미치는 요인으로 유기재료의 순도가 있다. 유기재료 중에 불순물이 혼입되어 있으면, 그 불순물이 캐리어의 트랩이 되거나 소광의 원인이 되어 발광 강도 및 발광 효율이 저하된다. 따라서 불순물을 줄이기 위해 유기재료를 정제할 필요가 있다.

이러한 유기재료의 정제 방법으로는 일반적으로 용매를 사용한 재결정 또는 승화에 의한 재결정이 사용된다. 용매를 사용한 재결정에서는 유기재료를 대량으로 정제하는 것이 가능하다는 장점이 있으나, 용매를 사용하기 때문에 용매가 유기 결정 중에 들어가 버리기 쉽다. 유기 결정 중에 들어간 용매는 불순물로서 작용하여 발광 특성을 저하시킬 수 있다.

한편, 승화에 의한 재결정에서는 진공 하에서 유기재료가 승화되어 재결정되므로 불순물이 들어가기 어렵다. 따라서 EL소자용 유기재료의 정제에는 승화정제방법을 사용하는 것이 주류로 되어 있다.

유기재료의 승화정제방법은 H. J. Wagner, el al., Jounal of Materials Science, 17, 2781, (1982)에 개시되어 있는데, 열전도용 동관내에 1m 정도의 길이를 갖는 유리관이 삽입되어 있고, 유리관내의 일단부 영역에 정제할 유기재료의 시료가 배치된다. 유기재료 시료 주위의 동관을 둘러싸도록 히터가 부착되어 있으며, 유리관의 내부를 200Pa 정도의 진공 상태로 유지하고, 히터에 의해 유리관 내의 시료를 가열하여 시료의 유기분자를 승화시킨다. 유리관은 온도구배가 되어 있고, 유리관 내의 타단부 영역에서 유기 분자의 증기가 냉각되어 재결정화 된다. 이로써 유리관의 타단부 영역에서는 재결정화된 유기 결정이 생성된다.

일반적으로 행하여지는 유기재료의 승화 정제 방법은 상기 논문의 방법을 개선하여 시료를 수용하는 수용기와 재결정되는 유기재료를 포착하기 위한 내부관을 사용하고, 비활성 가스를 흘려주는 것이 일반적이다.

그러나 이와 같은 종래의 유기물질 정제 방법을 통해 얻어지는 생성물은 서로 다른 결정성의 생성물이 혼재하기 때문에 원하는 순수한 결정성을 얻기 위해서는 상당량의 혼재부분을 임의로 제거해야 하므로 실제 얻어지는 수율은 정제 공정 에서 얻어지는 수율 이하로 얻을 수 밖에 없게 된다. 또한, 이러한 제거공정이 작업자의 판단에 의해 주관적으로 진행됨으로써 공정 및 품질의 표준을 정의하는데 어려움이 있다.

또한, 도 1 및 도 2에서와 같이 내부에 수용공간을 갖는 외부관(11)의 외측에 히터(12)가 배치되어 발열함에 따라 외부관(11) 내부에 배치된 내부관(13)을 가열시켜 내부관(13)내에서 물질의 승화와 포집이 이루어지도록 한다.

그런데, 이러한 종래의 승화정제장치는 외부관(11) 내에 내부관(13)을 삽입하여 내부관(13)의 하단이 외부관(11)의 내측하부에 접촉되면서 내부관(13)의 하단부가 내부관(13)의 상단부보다 온도가 높아지게 된다.

따라서, 내부관(13)내의 온도가 일정하지 않아 내부관(13)의 상단부와 하단부에 서로다른 물질이 포집되므로 승화정제물질의 순도가 떨어지게 된다. 또한 종래의 승화정제장치는 히터(12)의 발열온도를 설정하여 내부관(13)을 가열시키는 것으로 히터(11)의 발열온도와 실제 승화온도 및 포집온도와 오차가 발생되므로 승화정제물질의 순도가 떨어지게 된다.

그리고, 승화정제를 위한 준비과정중에서 연결관(13a)에 의해 연결된 다수의 내부관(13)들을 외부관(11) 내에 밀어넣게 되는데, 이러한 과정에서 내부관(13)의 하단이 외부관(11)의 바닥면에 접촉되므로 내부관(13)을 연결하는 연결관(13a)이 외부관(11)의 단부에 걸려지게 되어 내부관(13)과 연결관(13a)의 틈새가 벌어지는 일이 종종 발생되어 승화정제물질의 회수율이 떨어지는 문제점도 발생된다.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 내부관을 외부관의 내부 중앙에 배치시켜 내부관이 일정온도로 가열되게 함으로써 승화정제물질의 순도를 높이는 승화정제장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 상기 지지대를 내부관의 하부양측에 배치하여 내부관을 안정되게 지지하는 승화정제장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 내부관을 지지하는 지지대를 슬라이딩시키는 이송수단을 마련하여 내부관의 삽입/인출이 용이한 승화정제장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명 승화정제장치는 다수의 히터에 대응하는 외부관 내부의 온도를 각각 측정하는 내부열전대를 마련하여 승화정제물질의 실제 승화 및 포집온도를 각각 측정하여 히터의 발열온도를 조절하도록 함으로써 승화정제물질의 순도를 향상시킬 뿐만 아니라, 원하는 부위의 온도를 각각 제어할 수 있도록 함으로써 승화정제물의 종류에 따라 유효적절하게 대응할 수 있는 승화정제장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

한편, 내부열전대를 내부관을 지지하는 지지대에 설치하여 외부관의 내부공간 활용도를 높이는 승화정제장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

한편, 다수 마련되는 히터의 온도와 히터에 의해 가열되는 외부관내의 온도를 각각 측정하여 측정값의 비교를 통해 히터의 발열온도를 조절하는 등 온도변화에 민감하게 대응함으로써 승화정제장치의 순도를 향상시키는 승화정제장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명 승화정제장치는 승화정제장치에 있어서, 내부공간이 진공을 유지할 수 있도록 일측에 도어를 형성한 외부관;과, 상기 외부관의 외측에 배치되어 발열하는 다수의 히터;와, 가열에 의해 승화된 물질이 포집되도록 상기 외부관의 내부에 수용되는 내부관; 및, 상기 외부관내에 길이방향으로 설치되어 상기 내부관이 외부관의 내부 중앙에 배치되도록 지지하는 지지대;를 포함하는 승화정제장치를 제공함으로써 달성된다.

상기 지지대는 내부관의 하부양측을 지지하도록 복수마련되는 것이 바람직하다.

상기 지지대의 일단이 고정된 상태에서 상기 외부관의 일측을 개폐시키는 도어를 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명 승화정제장치는 상기 지지대의 일단이 도어에 고정된 상태에서 도어가 후방으로 슬라이딩되게 하는 이송수단을 구비하는 것이 바람직하다.

상기 외부관은 도어의 대향측 단부에 지지대가 삽입지지되는 고정홈이 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명 승화정제장치는 다수개 배치된 히터에 대응하는 외부관의 내부온도를 각각 측정하도록 다수의 측정점을 갖는 내부열전대를 구비하여 상기 외부관과 내부관의 사이공간에 배치하는 것이 바람직하다.

상기 내부열전대는 다수의 측정점을 갖는 열전대와, 상기 열전대의 외부를 감싸는 단열재와, 상기 단열재의 외측을 감싸는 내열소재의 관체 및, 상기 관체의 양단을 밀폐시키는 밀폐부재가 형성되는 것이 바람직하다.

상기 내부열전대는 다수의 측정점을 갖는 열전대와, 상기 열전대의 외부를 감싸는 단열재를 마련하여 지지대 내부에 설치되는 것이 바람직하다.

상기 지지대는 열전대의 측정점에 대응되는 위치에 통공이 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명 승화정제장치는 상기 히터의 온도를 측정하는 외부열전대를 각각 구비하는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명 승화정제장치의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

첨부도면중 도 3은 본 발명 승화정제장치의 일실시예의 단면도이고, 도 4는 도 3의 A-A'선 단면도이다.

상기 도면들에서 도시하는 바와 같은 본 발명 승화정제장치는 내부공간을 진공상태로 갖는 외부관(110)과, 상기 외부관(110)의 외측에 길이방향으로 다수 배치되는 히터(120)와, 상기 외부관(110)의 내측에 수용되는 내부관(130)과, 상기 내부관(130)이 외부관(110)의 내부중앙에 위치하도록 지지하는 지지대(140)와, 상기 외부관(110)의 일측을 개폐시키는 도어(150)와, 상기 도어(150)가 후방으로 슬라이딩되게 하는 이송수단(160)과, 상기 외부관(110)내의 온도를 측정하는 내부열전대(170) 및, 히터(120)의 발열온도를 각각 측정하도록 히터(120)에 각각 설치되는 외부열전대(180)로 구성된다.

상기 외부관(110)은 일측은 개방되고 타측이 마감된 관형의 몸체로 구성되 며, 마감측 단부 내측에 고정홈(112)이 형성되고, 상기 고정홈(112)의 선단에는 외측방향으로 확장되는 경사면(112a)을 형성하며, 내부공간은 별도 마련되는 진공펌프에 의해 진공상태를 유지한다.

상기 히터(120)는 상기 외부관(110)의 외부에 길이방향으로 다수개 배치되어 외부관(110)을 향해 서로다른 온도로 발열한다.

상기 내부관(130)은 가열에 의해 승화된 물질이 각각 포집되도록 다수개 마련되어 연결관(132)으로 서로 연결되며, 내부 일측에는 원재료가 담겨지는 용기(134)가 마련된다.

상기 지지대(140)는 외부관(110)의 내측에서 길이방향으로 배치되어 내부관(130)이 외부관(110)의 내부 중앙에 위치하도록 지지하는 것으로, 열전도율이 낮은 소재로 이루어지는 것이 바람직하며, 선단은 외부관(110)의 고정홈(112)에 삽입되어 지지되고, 후단은 도어(150)에 고정된다.

상기 도어(150)는 외부관(110)의 개방측 단부를 마감하는 것으로 착탈가능하게 조립된다.

상기 이송수단(160)은 안내레일(162)과, 상기 도어(150)가 고정된 상태로 상기 안내레일(162)상에서 슬라이딩하는 이동체(164)로 구성된다.

상기 내부열전대(170)는 다수의 히터(120)에 대응하여 각각의 측정점(P)을 갖는 열전대(172)와, 상기 열전대(172)의 외측을 감싸는 단열재(174)와, 상기 단열재(174)의 외측을 감싸며 측정점(P)부위에 통공(176a)을 형성한 내열소재의 관체(176)와, 상기 관체(176)의 양단을 밀폐시키는 밀폐부재(178)로 구성되며, 상기 외부관(110)과 내부관(130) 사이의 온도를 측정하도록 후단이 상기 도어(150)를 관통하여 설치된다.

상기 외부열전대(180)는 히터(120)의 발열온도를 측정하도록 다수 마련되는 히터(120)에 각각 설치된다.

한편, 내부열전대(170)에서 측정된 측정값을 외부열전대(180)의 측정값과 비교한 후 히터(120)를 제어하여 원하는 부위의 온도를 조절할 수 있게 된다.

이하, 상기의 구성을 갖는 본 발명 승화정제장치의 작용을 설명한다.

먼저, 본 발명 승화정제장치의 정제작용을 살펴보면, 외부관(110)의 하부양측에 설치되어 선단이 외부관(110)의 고정홈(112)에 삽입지지되고 후단은 외부관(110)의 도어(150)에 고정된 지지대(140)의 상측으로 연결관(132)에 의해 연결된 다수의 내부관(130)이 안착되어 외부관(110)의 내부중앙에 위치하게 되면서(도 4참조) 내부관(130)에 외부관(110) 내부의 온도가 균일하게 적용되므로 종래와 같이 내부관(130)이 외부관(110)에 접촉되어 내부관(130)의 접촉부위의 온도가 높게 가열되는 것이 방지된다.

그리고, 상기 외부관(110)의 외측에 길이방향으로 다수 배치되어 설정된 온도로 각각 발열하는 히터(120)에 의해 내부관(130)의 일측에 배치된 용기(134)속에 수용된 원재료가 승화하게 되고, 승화된 물질들은 설정된 온도로 발열하는 다수의 히터(120)들에 의해 서로다른 온도범위를 유지하는 내부관(130)의 내측면으로 분리되어 포집됨으로써 원재료로부터 원하는 물질을 정제하여 얻을 수 있게 된다.

여기서, 외부관(110)과 내부관(130)의 사이에 내부열전대(170)를 삽입하여 외부관(110) 내측의 온도를 측정할 수 있도록 하고, 특히 내부열전대(170) 상에 다수의 내부관(130)에 대응하는 위치별로 측정점(P)을 마련하여 히터(120)의 온도가 아닌 히터(120)에 의해 가열된 외부관(110)의 내부온도륵 측정함으로써 보다 정확한 승화온도를 측정하여 승화정제물의 순도를 향상시킬 수 있게 된다.

또한, 상기 내부열전대(170)는 열전대(172)가 단열재(174)로 감싸진 상태에서 내열소재의 관체(176)에 삽입되어 측정점(P)부위만 관체(176)의 통공(176a)을 통해 노출되어 있으므로 측정점(P) 이외의 열전대(172)의 회로라인들은 히터(120)의 열로부터 보호받게 된다. 그리고, 관체(176)의 양단이 밀폐부재(178)를 통해 밀폐되어 있으므로 진공상태의 외부관(110) 내로 외부의 공기가 유입되는 것이 방지된다.

또한, 상기 내부열전대(170)의 측정값과 히터(120)에 각각 마련된 외부열전대(180)의 측정값을 비교하여 히터(120)의 가열온도를 조절하면서 원하는 부위의 온도를 각각 제어할 수 있도록 함으로써 승화정제물의 종류에 따라 유효적절하게 대응할 수 있게 된다.

한편, 상기의 외부관(110)의 개방된 일측을 마감하여 진공상태를 유지할 수 있도록 하는 도어(150)는 지지대(140)의 후단을 고정한 상태에서 이송수단(160)의 이동체(164)에 고정되어 안내레일(162)을 따라 후방으로 슬라이딩 할 수 있게 된다.

첨부도면중 도 5는 본 발명 승화정제장치의 작용단면도이다.

상기 도면에서 도시하는 바와 같이 외측에 히터(120)가 배치된 외부관(110) 의 내측으로 수용되는 내부관(130)은 후단이 도어(150)에 고정된 지지대(140)상에 안착되어 이송수단(160)을 따라 슬라이딩하게 된다.

즉, 이송수단(160)의 안내레일(162)상에서 슬라이딩하는 이동체(164)에 외부관(110)의 개방측을 개폐시키는 도어(150)가 고정되고, 상기 도어(150)에 지지대(140)의 후단이 고정되어 안내레일(162)을 따라 슬라이딩하게 된다.

상기와 같은 도어(150)의 지지대(140)상에 연결관(132)에 의해 연결된 다수의 내부관(130)이 안착된 상태에서 이송레일을 따라 슬라이딩하면서 외부관(110) 내로 삽입 또는 인출됨에 따라 종래와 같이 이동중 내부관(130)과 연결관(132)의 틈새가 벌어지는 것을 방지하게 된다.

한편, 상기 지지대(140)의 선단은 도어(150)가 외부관(110)의 개구측을 마감하는 경우 도어(150)의 대향측에 마련된 마감측의 고정홈(112)으로 삽입되어 지지된다.

이때, 상기 지지대(140)의 선단은 고정홈(112)의 입구에 마련된 경사면(112a)에 의해 삽입이 용이하게 이루어지게 된다.

여기서, 상기 지지대(140)의 선단하부에는 이동중의 지지대(140)의 선단을 지지하기 위해 지지대(140)의 선단 하부에 고정되어 외부관(110)의 바닥면에서 슬라이딩하는 지지수단이 마련됨이 바람직할 것이다.

또한, 상기 실시예에서는 내부열전대(170)가 외부관(110) 내의 상부영역에 설치된 것을 예로 들었으나, 다수의 내부열전대(170)가 설치되어 온도를 측정하도록 하는 것도 가능하며, 도어(150)에 설치되어 도어(150)와 함께 슬라이딩되는 것 이 아닌 외부관(110) 내측에 고정식으로 설치되는 것도 가능할 것이다.

첨부도면중 도 6은 본 발명 승화정제장치의 다른실시예의 단면도이다.

상기 도면에서 나타나는 바와 같은 본 발명 승화정제장치는 외부관(110)과 내부관(130) 사이의 온도를 측정하는 내부열전대(170)가 지지대(140)에 적용된 것이다.

이를위해 상기 지지대(140)는 내열소재의 관체로 구성되어 후단이 도어(150)에 관통설치되고, 지지대(140)의 내부로는 외측에 단열재(174)를 감싼 열전대(172)가 삽입되며, 지지대(140)의 양단부는 밀폐부재(178)를 통해 마감된다.

여기에서도 상기 열전대(172)는 외부관(110)의 외측에 다수 배치된 히터(120)에 대응하여 다수의 온도 측정점(P)이 형성되어 내부관(130)을 지지함과 동시에 해당히터(120)의 온도를 측정하여 히터(120)의 발열온도를 조절하도록 함으로써 승화정제물질의 포집 순도를 향상시키도록 한다.

또한, 상기 지지대(140)는 열전대(172)의 다수의 측정점(P)에 대응되는 위치에 각각 통공(142)이 형성되어 상기 통공(142)을 통해 노출된 측정점(P)으로 열을 측정하도록 하며, 열전대(172)의 측정점(P) 이외의 부분들은 단열재(174)를 통해 히터의 열로부터 보호받도록 한다. 그리고, 상기 지지대(140)의 양단은 밀폐부재(178)를 통해 밀폐시킴으로써 진공상태의 외부관(110) 내측으로 외부공기가 유입되는 것을 방지한다.

또한, 지지대(140)의 선단은 내부관(130)의 삽입상태에서 도어(150)의 대향측에 마련된 고정홈(112)에 삽착되어 지지되며, 고정홈(112)의 입구측에 형성된 경 사면(112a)에 의해 지지대(140)의 삽입 위치가 안내되어 고정대(140)의 삽입이 용이하게 이루어진다.

한편, 상기 내부열전대(170)는 상기 복수 마련되어 내부관(130)을 지지하는 지지대(140)의 어느 일측에 설치되는 것과, 양측 지지대(140)의 내부에 분산설치되는 것도 가능하다.

상기한 바와 같은 본 발명 승화정제장치는 내부관을 외부관의 내부 중앙에 배치시켜 내부관이 일정온도로 가열되게 함으로써 승화정제물질의 순도를 높이는 효과가 있다.

또한, 상기 지지대를 내부관의 하부양측에 배치하여 내부관을 안정되게 지지하는 효과가 있다.

또한, 내부관을 지지하는 지지대를 슬라이딩시키는 이송수단을 마련하여 내부관의 삽입/인출이 용이한 효과가 있다.

본 발명 승화정제장치는 다수의 히터에 대응하는 외부관 내부의 온도를 각각 측정하는 내부열전대를 마련하여 승화정제물질의 실제 승화 및 포집온도를 각각 측정하여 히터의 발열온도를 조절하도록 함으로써 승화정제물질의 순도를 향상시킬 뿐만 아니라, 원하는 부위의 온도를 각각 제어할 수 있도록 함으로써 승화정제물의 종류에 따라 유효적절하게 대응할 수 있는 효과도 있다.

한편, 내부열전대를 내부관을 지지하는 지지대에 설치하여 외부관의 내부공간 활용도를 높이는 효과가 있다.

한편, 다수 마련되는 히터의 온도와 히터에 의해 가열되는 외부관내의 온도를 각각 측정하여 측정값의 비교를 통해 히터의 발열온도를 조절하는 등 온도변화에 민감하게 대응함으로써 승화정제장치의 순도를 향상시키는 효과가 있다.

Claims (10)

1. 승화정제장치에 있어서,

   내부공간이 진공을 유지할 수 있도록 일측에 도어를 형성한 외부관;

   상기 외부관의 외측에 배치되어 발열하는 다수의 히터;

   가열에 의해 승화된 물질이 포집되도록 상기 외부관의 내부에 수용되는 내부관; 및,

   상기 외부관내에 길이방향으로 설치되어 상기 내부관이 외부관의 내부 중앙에 배치되도록 지지하는 지지대;를 포함하는 승화정제장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 지지대는 내부관의 하부양측을 지지하도록 복수마련되는 것을 특징으로 하는 승화정제장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 지지대의 일단이 고정된 상태에서 상기 외부관의 일측을 개폐시키는 도어를 구비하는 것을 특징으로 하는 승화정제장치.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 지지대의 일단이 도어에 고정된 상태에서 도어가 후방으로 슬라이딩되 게 하는 이송수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 승화정제장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 외부관은 도어의 대향측 단부에 지지대의 선단이 삽입지지되는 고정홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 승화정제장치.
6. 제 1항 내지 제 5항중 어느 한 항에 있어서,

   다수개 배치된 히터에 대응하는 외부관의 내부온도를 각각 측정하도록 다수의 측정점을 갖는 내부열전대를 구비하여 상기 외부관과 내부관의 사이공간에 배치하는 것을 특징으로 하는 승화정제장치.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 내부열전대는 다수의 측정점을 갖는 열전대와, 상기 열전대의 외부를 감싸는 단열재와, 측정점에 대응되는 위치에 통공을 형성하여 상기 단열재의 외측을 감싸는 내열소재의 관체 및, 상기 관체의 양단을 밀폐시키는 밀폐부재가 형성되는 것을 특징으로 하는 승화정제장치.
8. 제 6항에 있어서,

   상기 내부열전대는 다수의 측정점을 갖는 열전대와, 상기 열전대의 외부를 감싸는 단열재를 마련하여 지지대 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 승화정제장 치.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 지지대는 열전대의 측정점에 대응되는 위치에 통공이 형성되는 것을 특징으로 하는 승화정제장치.
10. 제 9항에 있어서,

    상기 히터의 온도를 측정하는 외부열전대를 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 승화정제장치.

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