CN109666899A - 蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了提供一种蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置。蒸发源的冷却装置包括冷却件和驱动装置。冷却件用于冷却蒸发源的坩埚。驱动装置与冷却件连接，用于驱动冷却件移动至坩埚处。本发明通过驱动装置将冷却件推进到坩埚处，加快了坩埚的降温速度，减少了坩埚的降温时长。

Description

蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置。

背景技术

由于有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示屏幕具有可视角度大、超薄和节约电能等特点，使其在显示技术领域得到了广泛的应用。

目前，OLED器件的制作主要采用蒸镀装置在真空环境下加热蒸镀材料，使蒸镀材料在高温状态下气化，均匀沉积在OLED器件的待蒸镀基板表面。现有的蒸镀装置的蒸镀腔体一般是一体开放型，每当蒸镀材料消耗完毕需要进行停机填料，或者当OLED器件的待蒸镀基板或基板固定座发生故障时，一般会先降温再打开腔体。

然而，现有技术中蒸发源的降温时间过长，进而加长了保养周期，降低了产能。

发明内容

针对以上所述的蒸发源在降温过程中的问题，本发明实施例提供了一种蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置。

本发明实施例的第一方面在于提供一种蒸发源的冷却装置，包括：冷却件，用于冷却蒸发源的坩埚；以及驱动装置，与冷却件连接，用于驱动冷却件移动至坩埚处。

在某些实施例中，蒸发源的冷却装置还包括：控制器，用于在控制器接收到为坩埚降温的指令时控制驱动装置驱动冷却件移动至坩埚处。

在某些实施例中，驱动装置在坩埚处于工作状态时用于牵引冷却件远离坩埚处。

在某些实施例中，驱动装置包括伸缩件，设置于所述冷却件下方，与冷却件的坩埚所在侧的相反侧连接。

在某些实施例中，冷却件设置于坩埚下，驱动装置设置于冷却件下方。

在某些实施例中，冷却件上设置有通孔，驱动装置还包括支撑块，设置于伸缩件下方，所述伸缩件设置在所述冷却件与所述支撑块之间，蒸发源冷却装置还包括：支撑杆，设置在支撑块上，且通过通孔与坩埚连接，以支撑坩埚。

在某些实施例中，冷却件包括隔热板和至少一个冷却通道，至少一个冷却通道设置于隔热板中，至少一个冷却通道中通有冷却液。

在某些实施例中，至少一个冷却通道包括入口和出口，冷却件还包括至少一个波纹管，设置于冷却件的坩埚所在侧的相反侧上，与入口或出口连接。

在某些实施例中，蒸发源的冷却装置还包括：隔热件，围绕坩埚与冷却件共同形成一个具有上部开口的空腔。

本发明实施例的第二方面在于提供一种蒸发源装置，包括：坩埚；以上蒸发源的冷却装置。

本发明实施例的第三方面在于提供一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔室；以上蒸发源装置，设置于蒸镀腔室中。

本发明实施例的第四方面在于提供一种蒸发源装置的降温方法，蒸发源装置包括坩埚、以上蒸发源的冷却装置和控制器，以上方法包括：控制器接收到为坩埚降温的指令；控制器控制驱动装置驱动冷却件移动至坩埚处。

根据本发明实施例提供的技术方案，通过驱动装置驱动冷却件移动至坩埚处，使得坩埚可以通过更有效的热传导方式将热量传导至冷却件中，从而加快了坩埚的降温速度，减少了坩埚的降温时长，进而减少了生产维修(Productive Maintenance，PM)时间，提升了产品产能。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

图1为本发明一实施例提供的蒸发源的冷却装置的剖视图。

图2为本发明一实施例提供的冷却件沿A-A方向的剖视图。

图3为本发明另一实施例提供的冷却件沿A-A方向的剖视图。

图4为本发明另一实施例提供的蒸发源的冷却装置的剖视图。

图5为本发明一实施例提供的蒸发源装置的降温方法的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1为本发明一实施例提供的蒸发源的冷却装置的剖视图。

蒸发源的冷却装置10包括冷却件11和驱动装置12。冷却件11用于冷却蒸发源的坩埚20。驱动装置12与冷却件11连接，用于驱动冷却件11移动至坩埚20处，以冷却坩埚20。

基于本发明的实施例，通过驱动装置将冷却件推进到坩埚处，驱动冷却件移动至坩埚处，使得坩埚可以通过更有效的热传导方式将热量传导至冷却件中，从而加快了坩埚的降温速度，减少了坩埚的降温时长，进而减少了PM时间，提升了产品产能。

具体地，冷却件11可以设置于蒸发源的坩埚20的周围，用于冷却坩埚20。驱动装置12可以设置于冷却件11的坩埚20所在侧的相反侧，用于将冷却件11推进到坩埚20处。当然，驱动装置12也可以设置于冷却件11的侧面，通过齿轮连接的方式驱动冷却件11移动至坩埚20处，本发明的实施例对此不作限制。

坩埚20可以用于容纳蒸镀材料，例如，蒸镀材料可以是OLED材料。可以在蒸镀装置的蒸镀腔体内使用坩埚20对OLED材料进行加热，使其在一定温度下升华或者熔融汽化成蒸汽，透过蒸镀孔沉积在待蒸镀的基板上。进一步地，坩埚20的形状可以是圆柱形或长方体形状等，由于长方体形状的坩埚20更易加工，使用更加方便，所以坩埚20的形状优选为长方体。

冷却装置10可以包括冷却件11和驱动装置12，冷却装置10可以设置于坩埚20周围，例如，冷却装置10可以有至少一个，可以设置于坩埚20的左侧、右侧、前侧、后侧或下侧等中的至少一侧。优选地，多个冷却装置10一起作用可以通过接触传导和/或热辐射的方式更快的降低坩埚20的温度。

图2为本发明一实施例提供的冷却件沿A-A方向的剖视图。

图3为本发明另一实施例提供的冷却件沿A-A方向的剖视图。

根据本发明的实施例，冷却件11可以包括隔热板111和至少一个冷却通道112、113和114，冷却件11可以设置于距离坩埚20的周围，例如，冷却件11可以设置于坩埚20的左侧、右侧、前侧、后侧或下侧等中的至少一侧。隔热板111可以包括靠近坩埚20一侧的钢板、镀铝钢板等导热层，进一步地，隔热板111还可以包括远离坩埚20一侧的保温层。冷却通道112、113和114可以设置于隔热板111中导热层的任何一个表面或者内部，还可以在冷却通道112、113和114中设置至少一个冷却管，或者在导热层的任何一个表面直接设置冷却管。进一步地，可以在冷却通道或者冷却管中循环通入冷却液，例如，冷却水或冷水机液等。另外，冷却液可以随时接通，例如，冷却液可以在坩埚20需要被冷却时接通，也可以在整个过程中都接通。

可选地，在本发明的另一实施例中，至少一个冷却通道112、113和114包括入口和出口，冷却件11还包括至少一个波纹管，设置于冷却件11的坩埚20所在侧的相反侧上，与入口或出口连接。由于波纹管具有很好的折叠性能，所以可以跟随冷却件11的移动而伸长或缩短，使得向冷却通道112、113和114中通入冷却液更加简便。

如图2所示，可以在隔热板111中设置一个冷却通道112，冷却液可以从冷却通道112的入口B1进入，流经隔热板111的各处，然后从出口C1流出，带走坩埚20的热量，从而降低坩埚20的温度。如图3所示，可以在隔热板111中设置冷却通道113和冷却通道114，冷却液可以从冷却通道113和冷却通道114的入口B2和入口B3进入，流经隔热板111的各处，然后从出口C2和出口C3流出，从而降低坩埚20的温度。同时，由于冷却液可以分别从入口B2和入口B3同时进入冷却通道113和冷却通道114中，并同时排出，进一步提高了冷却件11对坩埚20的冷却效率。

驱动装置12可以设置于冷却件11的坩埚20所在侧的相反侧，例如，驱动装置12可以与冷却件11对应设置，也可以设置于坩埚20的左侧、右侧、前侧、后侧或下侧等中的至少一侧。在坩埚20需要被冷却时，驱动装置12可以用于将冷却件11推进到坩埚20的左侧、右侧、前侧、后侧或下侧等中的至少一侧，靠近坩埚20或者达到与坩埚20面接触，坩埚20通过接触传导和/或热辐射的方式将其内部热量传导至冷却件11中的冷却液中。在本发明的实施例中，冷却件11靠近坩埚20使得坩埚20通过热辐射传导热量的方式更加有效，冷却件11与坩埚20面接触也可以使得坩埚20通过接触传导的方式传导热量，进而加快了坩埚20的降温速度。在坩埚20被加热时，驱动装置12还可以用于牵引冷却件11远离坩埚20的表面，从而使得坩埚20在被加热时保持恒定的温度。

如图1所示，在坩埚20需要被冷却时，驱动装置12可以用于推进冷却件11向上移动到坩埚20的下表面处，从而可以使得冷却件11的上表面靠近坩埚20的下表面或者与坩埚20的下表面面接触，进而通过接触传导和/或热辐射的方式加快了冷却件11对坩埚20的冷却。在坩埚20被加热时，驱动装置12可以用于牵引冷却件11远离坩埚20的下表面的位置处，从而使得坩埚20可以保持恒定的温度对蒸镀材料进行加热。

根据本发明的实施例，驱动装置12可以包括伸缩件121，设置于冷却件11下方，与冷却件11的坩埚20所在侧的相反侧连接，其中，伸缩件121可以包括弹簧等可伸缩部件。驱动装置12还可以包括支撑块122，与伸缩件121的冷却件11所在侧的相反侧连接，用于支撑并驱动伸缩件121推进或牵引冷却件11的运动，其中，支撑块122的内部可以设置液压系统或电气系统等。

可选地，在本发明的另一实施例中，冷却装置10还可以包括隔热件，隔热件可以围绕坩埚20与冷却件11共同形成一个具有上部开口的空腔。具体地，坩埚20可以包括喷嘴21，冷却装置10还可以包括隔热件，隔热件可以围绕坩埚20与冷却件11共同形成一个具有上部开口的空腔，喷嘴21可以设置于开口内。隔热件的形状、材料和结构等可以与冷却件11相同，也可以与冷却件11不同。例如，可以在冷却件11所处的位置之外的位置设置隔热件，隔热件与冷却件11形成一个容纳坩埚20的空腔，这样可以保证坩埚20在被加热时保持恒定的温度，也就是说，可以保证外界的温度无法进入以上空腔内影响坩埚20的正常工作温度，也可以保证坩埚20的热量不会传递到以上空腔之外对别的反应造成影响。

优选地，冷却件11设置于坩埚20下，驱动装置12设置于冷却件11下。相对应地，隔热件可以围绕坩埚20设置于距离坩埚20的外周面一定的预设距离处，使得坩埚20在被加热时保持恒定的温度。具体地，为了使得坩埚20受热更加均匀，一般会将为坩埚20加热的加热装置(如加热丝)设置在坩埚20的外周面上，或者设置在坩埚20与距离坩埚20的外周面一定预设距离处的隔热件之间，或者设置在距离坩埚20的外周面一定预设距离处的隔热件的内表面上。如此，坩埚20的侧面就不便于设置冷却件11，为了使得在坩埚20需要被冷却时可以更快的降温，即将冷却件11设置于坩埚20下。

根据本发明的实施例，冷却件11上设置有通孔115，驱动装置12还包括支撑块122，设置于伸缩件121下，冷却装置10还包括：支撑杆，与支撑块122的连接，且通过通孔115与坩埚20连接，其中，支撑杆和支撑块122可以用于支撑坩埚20处于合适的位置。例如，支撑杆可以与支撑块122的上表面连接，也可以与支撑块122的其它位置连接，支撑杆可以与坩埚20的下表面连接，也可以与坩埚20的其它位置连接。

根据本发明的实施例，冷却装置还包括控制器，用于在控制器接收到为坩埚20降温的指令时控制驱动装置12驱动冷却件11移动至坩埚20处，使得冷却装置自动化且简便易行，进而降低了生产成本。例如，可以在坩埚20中设置温度传感器，当坩埚20的温度降至一定数值时，控制器接收到为坩埚20降温的指令，控制驱动装置12驱动冷却件11移动至坩埚20处；或者在坩埚停止被加热时，控制器接收到为坩埚20降温的指令，控制驱动装置12驱动冷却件11移动至坩埚20处，本发明的实施例对此不作限制。

图4为本发明另一实施例提供的蒸发源的冷却装置的剖视图。

如图4所示，蒸发源的冷却装置可以包括冷却件11、驱动装置12、隔热件13和支撑杆14。

冷却件11可以包括隔热板111，设置于隔热板111内的冷却通道112，以及波纹管116，其中，隔热板111上可以设置如图2或图3所示的通孔115。

驱动装置12可以包括伸缩件121和支撑块122，支撑块122与伸缩件121固定连接，可以支撑并驱动伸缩件121的运动。例如，在坩埚20需要被冷却时，可以通过波纹管116向冷却通道112中通入冷却液，同时，支撑块122驱动伸缩件121向上运动，推进冷却件11向上移动至坩埚20的下表面处，从而通过接触传导和热辐射的方式加快冷却件11对坩埚20的冷却速度，进而减少坩埚的降温时长、PM时间以及提升了产品产能；在坩埚20被加热时，支撑块122可以驱动伸缩件121向下运动，牵引冷却件11远离坩埚20的下表面还原至图4中的位置处，从而起到与隔热件13类似的作用。

隔热件13可以包括隔热板111和冷却通道112(图4中未示出)，隔热件13可以围绕坩埚20设置于距离坩埚20的外周面处，也可以设置于喷嘴21处，其中，设置于距离坩埚20的外周面处的隔热件与冷却件11可以滑动连接。在坩埚20被加热时，可以在隔热件13的冷却通道中通入冷却液，冷却液的流通可以带走坩埚的一部分热量，从而保证坩埚的热量不会传导至隔热件13之外，而且，为了使得坩埚20保持恒定的温度对蒸镀材料进行加热，可以将隔热件13设置在远离坩埚20一定的预设距离处，例如，预设距离可以为1cm至10cm。

支撑杆14与支撑块122的上表面固定连接，且通过通孔115与坩埚20的下表面固定连接，其中，支撑杆14和支撑块122可以用于支撑坩埚20处于合适的位置。

本发明的实施例还提供了一种蒸发源装置，包括：坩埚20和以上的蒸发源的冷却装置10。进一步地，如图4所示，设置于坩埚20侧面的隔热件的内侧可以设置限位部件，限位部件可以分布于设置于坩埚20侧面的隔热件的底端所在的平面和与坩埚20的下表面处于同一平面的位置，当冷却件11运动至限位部件所在的位置处时，冷却件11就会停止运动。可替代地，如图4所示，也可以在以上所述限位部件的位置、冷却件11的上表面或者坩埚20的下表面等位置处设置压力传感器来控制冷却件11的停止时间。

基于本发明的实施例，冷却装置可以通过接触传导和/或热辐射的方式对坩埚进行冷却，从而可以加快坩埚的降温速度，减少坩埚的降温时长，进而减少PM时间，提升产品产能。

本发明的实施例还提供了一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室和至少一个以上所述的蒸发源装置，其中，蒸发源装置，设置于蒸镀腔室中。

图5为本发明一实施例提供的蒸发源装置的降温方法的流程示意图。

本发明的实施例还提供了一种蒸发源装置的降温方法，其中，蒸发源装置包括坩埚20、以上所述的蒸发源的冷却装置10和控制器。

蒸发源装置的降温方法包括：

510，控制器接收到为坩埚降温的指令。

520，控制器控制驱动装置驱动冷却件移动至坩埚处。

具体地，控制器可以设置于支撑块122内，也可以设置于支撑块122之外的位置，本发明实施例对此不作限制。当控制器接收到为坩埚20降温的指令时，控制器可以控制支撑块122中的液压系统或者气压系统驱动伸缩件121带动冷却件11运动至坩埚20处，从而使得冷却件11靠近坩埚20或者与坩埚20面接触，坩埚20通过接触传导和/或热辐射的方式将热量传导至冷却件11中，进而加快了坩埚20的降温速度、减少了坩埚20的降温时长，减少了PM时间、提升了产品产能。

根据本发明的实施例，上述方法还可以包括：控制器接收到坩埚完成冷却的指令；控制器控制驱动装置将冷却件牵引远离坩埚处。具体地，当控制器接收到坩埚20完成冷却的指令时，控制器可以控制支撑块122中的液压系统或者气压系统驱动伸缩件121牵引冷却件11远离坩埚20处。当然，以上操作不仅可以在控制器接收到坩埚20完成冷却的指令时进行，在坩埚20完成冷却之后开始加热之前都可以进行以上操作，本发明的实施例对此不作限制。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种蒸发源的冷却装置，其特征在于，包括：

冷却件，用于冷却所述蒸发源的坩埚；以及

驱动装置，与所述冷却件连接，用于驱动所述冷却件移动至所述坩埚处。

2.根据权利要求1所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，还包括：

控制器，用于在所述控制器接收到为所述坩埚降温的指令时控制所述驱动装置驱动所述冷却件移动至所述坩埚处。

3.根据权利要求1所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述驱动装置包括伸缩件，设置于所述冷却件下方，与所述冷却件的所述坩埚所在侧的相反侧连接。

4.根据权利要求3所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却件设置于所述坩埚下，所述驱动装置设置于所述冷却件下方。

5.根据权利要求4所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却件上设置有通孔，所述驱动装置还包括支撑块，设置于所述伸缩件下方，所述伸缩件设置在所述冷却件与所述支撑块之间，

所述蒸发源的冷却装置还包括：支撑杆，设置在所述支撑块上，且通过所述通孔与所述坩埚连接，以支撑所述坩埚。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却件包括隔热板和至少一个冷却通道，所述至少一个冷却通道设置于所述隔热板中，所述至少一个冷却通道中通有冷却液。

7.根据权利要求6所述的蒸发源的冷却装置，其中，所述至少一个冷却通道包括入口和出口，

所述冷却件还包括至少一个波纹管，设置于所述冷却件的所述坩埚所在侧的相反侧上，与所述入口或出口连接。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的蒸发源的冷却装置，其中，还包括：

隔热件，围绕所述坩埚与所述冷却件共同形成一个具有上部开口的空腔。

9.一种蒸发源装置，其特征在于，包括：

坩埚；

权利要求1至8中任一项所述的蒸发源的冷却装置。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

蒸镀腔室；

至少一个权利要求8所述的蒸发源装置，设置于所述蒸镀腔室中。