KR101388878B1 - 논 배럴 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀 - Google Patents

논 배럴 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀 Download PDF

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Abstract

본 발명은 논 배럴 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 상,하 플런저(10)(20)사이에 적어도 하나 이상 교번되게 연결 형성하는 "〉" 형상의 제1경사연결부(31)와 "〈" 형상의 제2경사연결부(32)를 각각 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부(30)를 형성하는 논 배럴(Non Barrel) 구조로 직경 사이즈를 최소화하도록 제조하되, 상기 스프링 완충부(30)의 내부에 스프링 완충부의 상하 완충 작동시 스프링 완충부를 가이드 역할하는 가이드 핀(50)을 내장 설치하는 가이드 내장형과 상기 가이드 핀을 배제하여 초 소형 직경(0.08~0.15mm이하) 사이즈에 의해 프로브 카드용으로 사용되는 가이드 배제형을 제공하여 경제성과 함께 사용 효율성을 우수하게 제공하는데 그 특징이 있다.

Description

논 배럴 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀{A probe pin}
본 발명은 스프링 타입 일체형 프로브 핀에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 별도의 외부 몸통이 없는 논 배럴(Non Barrel) 구조로, 상,하 플런저(Plunger) 사이에 "〉" 형상의 제1경사연결부와 "〈" 형상의 제2경사연결부를 다수 연결하여 상기 제1,2 경사연결부를 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부를 형성하므로 직경 사이즈를 최소화하도록 제조하되, 상기 스프링 완충부 내부에 가이드 역할을 해주는 가이드 핀이 형성되는 가이드 내장형과 상기 가이드 핀을 배제하여 초 소형 직경(0.08~0.15mm이하) 사이즈에 의해 프로브 카드(Probe Card)용으로 사용되는 가이드 배제형을 제공하여 경제성과 함께 사용 효율성이 우수한 논 배럴 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼에 형성된 소자와 반도체칩 패키지를 테스트하기 위한 테스트 소켓 등과 같은 전기, 전자기계 부품에서 상하로 접점 구조를 갖는 스프링 타입 프로브 핀을 사용하고 있다.
이와 같은 스프링 타입 프로브 핀은 다양한 형태로 알려진 바 있는데, 특히 특허출원 제2008-46631호, 제2008-0156호에서와 같이 외부 몸통 내부에 상,하 플런저 사이로 스프링 완충부를 형성하여 상기 상,하 플런저로 압력(하중)이 인가될 때 상,하 플런저가 몸통 내부에서 안내되면서 탄발 완충 작동하는 것이다.
그러나 상기한 종래 스프링 타입 프로브 핀은 상,하 플런저와 스프링 완충부 외부로 외부 몸통이 결합된 이중 구조로만 제작이 가능하여 직경 사이즈를 최소화할 수 없는 한계를 갖고 있었다.
더우기, 직경 사이즈를 초 소형 직경(0.08~0.15mm 이하) 사이즈로 요구하는 프로브 카드용으로 사용할 수 없는 한계를 갖고 있었다.
한편, 종래 프로브 카드용 프로브 핀은 외부 몸통과 완충 스프링을 전주(電鑄)방식으로 제작하고, 상,하 플런저는 CNC선반으로 가공하여 상호 조립하는 방식으로 제조하기 때문에 제조 과정이 복잡할 뿐만 아니라 제조 코스트가 엄청 비싸고 수율이 현저히 떨어지는 문제점으로 관련 시장 형성이 지연되고 있었다.
본 발명은 상기한 종래 기술이 갖는 제반 문제점을 해결하고자 발명된 것으로서, 별도의 외부 몸통이 없는 논 배럴(Non Barrel) 구조로, 상,하 플런저(Plunger) 사이에 다수 연결 형성된 "〉" 형상의 제1경사연결부와 "〈" 형상의 제2경사연결부를 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부를 형성하므로 직경 사이즈를 최소화하도록 제조할 수 있어 경제성과 함께 사용 효율성을 우수하게 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 상기 스프링 완충부 내부에 가이드 역할을 해주는 가이드 핀이 형성되는 가이드 내장형으로 제조하거나 상기 스프링 완충부 내부에 가이드 핀을 배제하여 초 소형 직경(0.08~0.15mm이하) 사이즈에 의해 프로브 카드용으로 사용되는 가이드 배제형으로 제조할 수 있어 사용 효율성을 더 우수하게 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 상기 가이드 내장형의 경우, 가이드 핀이 상,하 플런저에 직접 접지되게 연결되어 가이드 역할 이외에 상,하 플런저를 전기적으로 연결하므로 고주파용으로 사용할 수 있어 사용 효율성을 더 우수하게 제공하는데 그 목적이 있다.
이러한 본 발명은 판 소재를 타발, 절곡 형성한 스프링 완충부에 의해 상하 완충 작동하되; 상,하 플런저사이에 적어도 하나 이상 교번되게 연결 형성하는 "〉" 형상의 제1경사연결부와 "〈" 형상의 제2경사연결부를 각각 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부를 형성하고, 상기 스프링 완충부의 내부에 스프링 완충부의 상하 완충 작동시 스프링 완충부를 가이드 역할하는 가이드 핀을 내장 설치함에 그 특징이 있다.
본 발명 상기 가이드 핀은 상,하 플런저의 어느 일측에 수직으로 연결 형성하여 상기 스프링 완충부의 내부에 절곡 설치하도록 함에 그 특징이 있다.
본 발명 상기 가이드 핀은 끝단으로 중앙 요홈에 의해 양측이 서로 분리되는 지지편을 형성하고 상기 지지편을 외측으로 대향되게 만곡 돌출되게 절곡한 탄발 접지부에 의해 상,하 플런저를 직접 접지 연결하도록 함에 그 특징이 있다.
본 발명 상기 가이드 핀은 스프링 완충부의 적어도 어느 하나 이상의 제1,2 경사연결부 외측 중앙 꼭지점 위치에 수직 상방향이나 수직 하방향 또는 수직 상하 방향으로 연결 형성하여 스프링 완충부의 내부에 절곡 설치하도록 함에 그 특징이 있다.
본 발명은 판 소재를 타발, 절곡 형성한 스프링 완충부에 의해 상하 완충 작동하되; 상,하 플런저사이에 적어도 하나 이상 교번되게 연결 형성하는 "〉" 형상의 제1경사연결부와 "〈" 형상의 제2경사연결부를 각각 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부를 형성함에 그 특징이 있다.
이러한 본 발명은 별도의 외부 몸통이 없는 논 배럴(Non Barrel) 구조로, 상,하 플런저(Plunger) 사이에 다수 연결 형성된 "〉" 형상의 제1경사연결부와 "〈" 형상의 제2경사연결부를 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부를 형성하므로 직경 사이즈를 최소화하도록 제조하되; 상기 스프링 완충부 내부에 가이드 역할을 해주는 가이드 핀이 형성되는 가이드 내장형으로 제조하거나 상기 스프링 완충부 내부에 가이드 핀을 배제하여 초 소형 직경(0.08~0.15mm이하) 사이즈에 의해 프로브 카드용으로 사용되는 가이드 배제형으로 제조할 수 있어 경제성과 함께 사용 효율성을 우수하게 제공하는 효과를 갖는 것이다.
또한 상기 가이드 내장형의 경우, 가이드 핀이 상,하 플런저에 직접 접지되게 연결되어 가이드 역할 이외에 상,하 플런저를 전기적으로 연결하므로 고주파용으로 사용할 수 있어 사용 효율성을 더 우수하게 제공하는 효과를 갖는 것이다.
도 1은 본 발명의 프로브 핀을 보여주는 전개 상태 정면도.
도 2는 도 1의 절곡 상태 정면도.
도 3은 도 2의 요부 확대 단면도.
도 4는 도 2의 평면도.
도 5는 도 1의 다른 실시 예를 보여주는 전개 상태 정면도.
도 6은 도 5의 절곡 상태 정면도.
도 7은 도 1의 또 다른 실시 예를 보여주는 전개 상태 정면도.
도 8은 도 7의 절곡 상태 정면도.
도 9는 본 발명의 프로브 핀 다른 실시 예를 보여주는 전개 상태 정면도.
도 10은 도 9의 절곡 상태 정면도.
이하, 상기한 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부 도면을 참조하여 구체적으로 살펴보기로 한다.
본 발명의 논 배럴(Non Barrel) 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀은 별도의 외부 몸통이 없는 논 배럴(Non Barrel) 구조로, 상,하 플런저(Plunger) 사이에 "〉" 형상의 제1경사연결부와 "〈" 형상의 제2경사연결부를 다수 연결하여 상기 제1,2 경사연결부를 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부를 형성하되, 상기 스프링 완충부 내부에 가이드 역할을 해주는 가이드 핀이 형성되는 가이드 내장형과 상기 가이드 핀을 배제하는 가이드 배제형을 제공하는 것이다.
즉, 상기 가이드 내장형은 도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이 판 소재를 타발 및 절곡하여 상,하 플런저(10)(20)사이에 적어도 하나 이상 교번되게 연결 형성하는 "〉" 형상의 제1경사연결부(31)와 "〈" 형상의 제2경사연결부(32)를 각각 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부(30)를 형성하고,
상기 스프링 완충부(30)의 내부에 스프링 완충부의 상하 완충 작동시 스프링 완충부를 가이드 역할하는 가이드 핀(50)을 내장 설치하여 이루어진다.
상기 가이드 핀(50)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 상,하 플런저(10)(20)의 어느 일측에 수직으로 연결 형성하여 상기 스프링 완충부(30)의 내부에 절곡 설치하도록 구성하거나, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 스프링 완충부(30)의 적어도 어느 하나 이상의 제1,2 경사연결부(31)(32) 외측 중앙 꼭지점 위치에 수직 상방향이나 수직 하방향으로 연결 형성하여 스프링 완충부(30)의 내부에 절곡 설치하도록 구성하거나, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 스프링 완충부(30)의 적어도 어느 하나 이상의 제1,2 경사연결부(31)(32) 외측 중앙 꼭지점 위치에 수직 상하 방향으로 연결 형성하여 스프링 완충부(30)의 내부에 절곡 설치하도록 구성하여 스프링 완충부의 상하 완충 작동시 스프링 완충부를 가이드 역할하도록 구성된다.
이때, 상기 상,하 플런저(10)(20)의 어느 일측에 수직으로 연결 형성되는 가이드 핀(50)은 상,하 플런저를 직접 접지 연결하도록 구성하되, 상기 가이드 핀의 끝단에 중앙 요홈(53)에 의해 양측이 서로 분리되는 지지편(52)(52')을 형성하고 상기 지지편을 외측으로 대향되게 만곡 돌출되게 절곡한 탄발 접지부(55)에 의해 타측 플런저에 탄발 접지 연결하도록 구성된다.
또한, 상기 스프링 완충부(30)의 제1,2 경사연결부(31)(32) 외측 중앙 꼭지점 위치에 수직 상방향이나 수직 하방향, 또는 수직 상,하방향으로 연결 형성하여 스프링 완충부(30)의 내부에 절곡 설치하는 가이드 핀(50)은 상,하 위치의 가이드핀이 스프링 완충부의 상하 완충 작동시 상하 접촉되지 않도록 스프링 완충부의 스트로크 간격 만큼 서로 이격되게 배열하여 형성하도록 구성된다.
미설명부호로서, 11,21은 상,하 플런저(10)(20)의 상,하단부에 형성되는 접점부를 각각 나타내는 것이다.
이러한 본 발명의 실시 예는 논 배럴(Non Barrel) 구조로 판 소재를 타발 및 절곡하여 상,하 플런저(10)(20)사이에 교번되게 연결 형성하는 "〉" 형상의 제1경사연결부(31)와 "〈" 형상의 제2경사연결부(32)를 각각 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형한 스프링 완충부(30) 내부에 가이드 핀(50)을 내장 설치하여 제조하기 때문에 별도의 외부 몸통이 없고 스프링 완충부(30)를 종래와 같이 나선형이 아닌 원형 형태로 성형하여 그 직경을 최소화하여 제작할 수 있음은 물론 상기 스프링 완충부(30) 내부의 가이드 핀이 상하 완충 작동시 가이드 역할을 해주므로 작동 신뢰성도 확보하게 되는 것이다.
이때, 상기 가이드 핀(50)은 다양한 형태로 형성할 수 있는데, 도 1 및 도 2에서와 같이 상,하 플런저(10)(20)의 어느 일측에 수직으로 연결 형성한 가이드 핀(50)을 스프링 완충부(30)의 내부에 절곡 설치하므로 하나의 가이드 핀에 의해 전체적으로 가이드 역할을 행할 수 있는 것이고, 도 5 내지 도 8에서와 같이 스프링 완충부(30)의 적어도 어느 하나 이상의 제1,2 경사연결부(31)(32) 외측 중앙 꼭지점의 다수 위치에 수직 상방향이나 수직 하방향, 또는 수직 상하 방향으로 연결 형성한 가이드 핀(50)을 스프링 완충부(30)의 내부에 절곡 설치하므로 다수의 가이드 핀에 의해 전체적으로 가이드 역할을 행할 수 있는 것이다.
특히, 상기 가이드 핀(50)을 도 1 및 도 2에서와 같이 상,하 플런저(10)(20)의 어느 일측에 수직으로 연결 형성하는 경우에 상기 가이드 핀의 끝단에 중앙 요홈(53)에 의해 양측이 서로 분리되는 지지편(52)(52')을 외측으로 대향되게 만곡 돌출되게 절곡한 탄발 접지부(55)를 형성하여 상기 탄발 접지부에 의해 타측 플런저를 탄발 접지 연결하므로 상,하 플런저(10)(20)가 전기적으로 직접 연결되어 통전성을 개선하므로 고주파 용도로 효과적으로 사용하게 되는 것이다.
또한, 본 발명의 가이드 배제형은 도 9 내지 도 10에 도시된 바와 같이 판 소재를 타발 및 절곡하여 상,하 플런저(10')(20')사이에 적어도 하나 이상 교번되게 연결 형성하는 "〉" 형상의 제1경사연결부(31')와 "〈" 형상의 제2경사연결부(32')를 각각 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부(30')를 형성하되, 상기 스프링 완충부(30')의 내부에 전술한 가이드 핀을 배제하여 스프링 완충부의 직경을 더욱 초 소형 직경(0.08~0.15mm이하) 사이즈로 제조하도록 이루어지는 것이다.
이러한 본 발명의 실시 예는 전술한 바와 동일하게 논 배럴(Non Barrel) 구조로 제조하되, 스프링 완충부(30') 내부에 전술한 가이드 핀을 배제하여 스프링 완충부의 직경을 더욱 초 소형 직경(0.08~0.15mm이하) 사이즈로 제조할 수 있기 때문에 종래 전주(電鑄)방식이 아닌 순송형 금형 방식에 의해 초 소형 직경 사이즈로 경제적으로 제조하여 프로브 카드(Probl Card)용으로 사용하게 되는 것이다.
10,10',20,20': 상,하 플런저
30,30': 스프링 완충부
31,31',32,32': 제1,2 경사연결부
50: 가이드 핀
52,52': 지지편
55: 탄발 접지부

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 판 소재를 타발, 절곡 형성한 스프링 완충부에 의해 상하 완충 작동하는 스프링 타입 프로브 핀의 상,하 플런저(10)(20)사이에 적어도 하나 이상 교번되게 연결 형성하는 "〉" 형상의 제1경사연결부(31)와 "〈" 형상의 제2경사연결부(32)를 각각 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부(30)를 형성하고,
    상기 스프링 완충부(30)의 내부에 스프링 완충부의 상하 완충 작동시 스프링 완충부를 가이드 역할하는 가이드 핀(50)을 내장 설치하며,
    상기 가이드 핀(50)은 상,하 플런저(10)(20) 중의 어느 일측에 수직으로 연결 형성하여 상기 스프링 완충부(30)의 내부로 절곡 설치되는 논 배럴 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀에 있어서,
    상기 가이드 핀(50)이 중앙 요홈(53)에 의해 양측이 서로 분리되는 지지편(52)(52')을 형성하고 상기 지지편(52)(52')을 외측으로 만곡 돌출되도록 대향되게 절곡한 탄발 접지부(55)에 의해 상,하 플런저를 직접 접지 연결하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 논 배럴 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀.
  4. 판 소재를 타발, 절곡 형성한 스프링 완충부에 의해 상하 완충 작동하는 스프링 타입 프로브 핀의 상,하 플런저(10)(20)사이에 적어도 하나 이상 교번되게 연결 형성하는 "〉" 형상의 제1경사연결부(31)와 "〈" 형상의 제2경사연결부(32)를 각각 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부(30)를 형성하고,
    상기 스프링 완충부(30)의 내부에 스프링 완충부의 상하 완충 작동시 스프링 완충부를 가이드 역할하는 가이드 핀(50)을 내장 설치한 논 배럴 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀에 있어서,
    상기 가이드 핀(50)이 스프링 완충부(30)의 적어도 어느 하나 이상의 제1,2 경사연결부(31)(32) 외측 중앙 꼭지점 위치에서 수직 상방향이나 수직 하방향으로 연결 형성하여 스프링 완충부(30)의 내부에 절곡 설치하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 논 배럴 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀.
  5. 판 소재를 타발, 절곡 형성한 스프링 완충부에 의해 상하 완충 작동하는 스프링 타입 프로브 핀의 상,하 플런저(10)(20)사이에 적어도 하나 이상 교번되게 연결 형성하는 "〉" 형상의 제1경사연결부(31)와 "〈" 형상의 제2경사연결부(32)를 각각 외측에서 중앙으로 원형 형태로 대향되게 성형하여 스프링 완충부(30)를 형성하고,
    상기 스프링 완충부(30)의 내부에 스프링 완충부의 상하 완충 작동시 스프링 완충부를 가이드 역할하는 가이드 핀(50)을 내장 설치한 논 배럴 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀에 있어서,
    상기 가이드 핀(50)이 스프링 완충부(30)의 적어도 어느 하나 이상의 제1,2 경사연결부(31)(32) 외측 중앙 꼭지점 위치에 수직 상하 방향으로 연결 형성하여 스프링 완충부(30)의 내부에 절곡 설치하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 논 배럴 구조를 갖는 스프링 타입 일체형 프로브 핀.
  6. 삭제
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