KR101375974B1 - 입계확산처리용 도포장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, NdFeB계 소결자석의 제조에 있어서 입계(粒界)확산처리를 행할 때에, R_H분말을 소결체의 소정의 면에, 소정의 두께, 소정의 패턴으로, 과부족없이 균일하게 도포할 수 있어, 자동화나 다수의 소결체에 대한 도포처리가 용이한 입계확산처리용 도포장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명에 관한 입계확산처리용 도포장치는, 워크로더(work loader)(10)와, 워크로더(10)보다도 상측에 설치된 인쇄헤드(20)로 이루어진다. 워크로더(10)는, 횡방향으로 이동 가능한 베이스(11)와, 베이스(11)에 대하여 상하방향으로 이동 가능한 리프트(12)와, 리프트(12) 상에 착탈 가능하게 재치되는 프레임(13)과, 프레임(13) 상에 착탈 가능하게 재치되는 트레이(14)와, 트레이(14)의 상면에 설치된 서포터(15)와, 상하작동 가능한 자석클램프(16)를 가진다. 인쇄헤드(20)는, 투과부(211)가 마련된 스크린(21)과, 스크린(21)의 상면에 접하면서 이동 가능한 스퀴지(squeegee)(22) 및 리턴 스크레이퍼(23)를 가진다.

Description

입계확산처리용 도포장치{Coating apparatus for grain-boundary diffusion treatment}

본 발명은, NdFeB(네오디뮴·철·붕소)계 소결자석의 제조에 있어서 입계(粒界; grain boundary)확산처리를 행할 때, 소결체에 R_H(Dy 및/또는 Tb) 또는 R_H의 화합물의 분말을 도포하는 도포장치에 관한 것이다.

NdFeB(네오디뮴·철·붕소)계의 소결자석은, 1982년에 사가와(佐川)(본원 발명자)들에 의하여 발견된 것인데, 그때까지의 영구자석을 훨씬 능가하는 특성을 가지며, Nd(희토류의 일종), 철 및 붕소라는 비교적 풍부하고 염가인 원료로부터 제조할 수 있다는 특장(特長)을 가진다. 그로 인하여, NdFeB계 소결자석은 하드디스크 등의 보이스 코일 모터, 하이브리드 자동차나 전기자동차의 구동용 모터, 전동보조형 자전거용 모터, 산업용 모터, 고급 스피커, 헤드폰, 영구자석식 자기공명 진단장치 등, 다양한 제품에 사용되고 있다.

최근, 환경문제에의 대응 등으로 시장이 급속히 확대되기 시작한 자동차 용도를 중심으로, 100℃ 이상의 환경온도에서 사용가능한 박(薄)형 형상(자화(磁化)방향에 대한 자석의 두께가 작은 형상)의 NdFeB계 소결자석에의 기대가 높아지고 있다. 그러나, NdFeB계 소결자석은 온도상승에 의한 자기특성의 저하가 크고, 100℃ 이상이라는 환경온도에서는 불가역적 감자(減磁)가 생기기 쉽다는 문제가 있다. 이 문제를 피하기 위해서는, 보자력(保磁力)(H_cJ)(자화곡선에 있어서, 자장(H)을 감소시켜 갔을 때의 자화(J)가 0이 되는 자장(H)의 값)이 소정의 값(예컨대 15kOe≒1.2MA/m) 이상인 NdFeB계 소결자석을 제조할 필요가 있다. 이는 보자력이 높으면 감자되기 어렵고, 불가역적 감자도 생기기 어렵기 때문이다.

NdFeB계 소결자석의 보자력을 높이는 방법의 하나로서, Nd의 일부를 R_H로 치환하는 것이 행하여지고 있다(치환법). 그러나, 치환법에서는, 보자력이 높아지는 한편, 잔류 자속밀도 및 최대 에너지적(積)이 저하되어 버린다는 문제가 있다.

이에 대하여, 특허문헌 1에는 입계확산법을 이용한 NdFeB계 소결자석의 제조방법이 기재되어 있다. 입계확산법이란, 각 입자의 결정 축을 일정한 방향으로 배향시킨 NdFeB계 합금분말을 소정의 소결온도에서 소결하여 소결체를 제작한 후, 이 소결체의 표면에 R_H 또는 R_H의 화합물의 분말(이하, 「R_H분말」이라 칭함)을 도포하고, R_H가 확산하는 온도에서 가열하는 방법이다. 이 확산온도는 물론 소결온도보다도 낮다. 이로써, 소결체 속에 존재하는 Nd₂Fe₁₄B 결정립의 입계를 통하여 R_H가 소결체 내부에 들어가서, 결정립 표면에 R_H가 확산한다. 입계확산법을 이용하면, 높은 보자력이 얻어짐과 함께, 잔류 자속밀도 및 최대 에너지적의 저하를 억제시킬 수 있다. 또한, 치환법보다도 레어메탈(rare metal)인 R_H의 사용량을 적게 할 수 있어, 소결자석의 제조비용을 저하시킬 수 있다.

국제공개 WO2006/043348호 공보 일본국 특허공개 2008-061333호 공보 일본국 특허공개 2009-170541호 공보

상기한 바와 같이 Dy 및 Tb은 레어메탈이고, 공급량이 적고 고가이므로, 입계확산법에 의한 처리를 행할 때의 소결체에의 R_H분말의 도포는 필요 최소한으로 그치는 것이 요구된다. 예컨대 특허문헌 2에는, 모터나 발전기 등의 회전기(回轉機)에서 사용되는 NdFeB계 소결자석을 제조할 때, 소결체의 일부에만 R_H분말을 도포하고, 입계확산법에 의하여 국소적으로, 필요한 부분만 보자력을 높이는 것이 기재되어 있다.

영구자석을 이용한 회전기는, 코일과 영구자석이 마주 본 구조를 가지고 있고, 영구자석의 자화의 방향과 역방향인 자계(磁界)를 코일로부터 발생시킴으로써, 회전축을 회전시킨다. 회전기에서 사용되는 영구자석은, 통상, 자화방향의 두께가 만곡(灣曲)한 형상을 가지고 있지만, 이와 같은 형상의 영구자석은, 코일로부터 자화방향과 역방향의 자계가 인가되었을 때, 두께가 얇은 부분에서 감자되기 쉽게 되어, 구동토크가 저하되어 버린다.

특허문헌 2에서는, NdFeB계 소결자석을 제조할 때, 제작한 소결체의 두께가 얇은 부분에 R_H분말을 도포하고, 입계확산법에 의하여 부분적으로 보자력을 높임으로써, 전체의 감자의 정도가 똑같은 정도가 되도록 하고 있다. 이와 같이 자석의 사용용도나 형상에 근거하여, R_H분말의 도포 패턴을 변경하는 것은, Dy 및 Tb의 사용량을 절감하여, 비용을 삭감할 수 있다는 점에서 유용하다.

또한, R_H분말을 균일하게, 필요로 하는 양만큼 도포하는 것도, Dy 및 Tb의 사용량을 삭감하는 것과 동시에 중요하다. 또한 공업적인 이유로부터, 다수의 소결체에 대하여 동시에 도포처리를 행할 수 있도록 할 것, 자동화가 용이할 것, 등도 요구된다.

특허문헌 1 및 2에는, 입계확산법에 의한 처리를 행할 때에 소결체의 표면에 R_H분말을 도포하는 방법으로서, 물 또는 유기용제에 R_H분말을 분산시킨 슬러리 속에 소결체를 침지(浸漬)시키는 방법(침지법)이나, 슬러리를 스프레이로 분사하는 방법(스프레이법)이 기재되어 있다.

그러나, 침지법에서는 R_H분말의 사용량을 조정하는 것이나, R_H분말을 균일하게 도포하는 것이 어렵다. 스프레이법은 R_H분말의 사용량의 조정이 비교적 용이하지만, R_H분말이 도포대상인 소결체 이외의 방향으로도 비산하여, 제조수율이 저하한다는 문제가 있다. 또한, 이들의 방법은 다수의 소결체에 대하여 동시에, 소정의 패턴으로 R_H분말을 도포하는 것이 어렵다.

또한, 특허문헌 3에는 입계확산처리를 행할 때에, 배럴(barrel) 페인팅법에 의한 도포방법을 사용하는 것이 기재되어 있다. 배럴 페인팅법이란, 피(被)처리부재(여기서는 「소결체」)에, 점착물질이 도포된 점착층 형성매체를 충돌시킴으로써 피처리부재 표면에 점착층을 형성하고, 다음으로 점착층이 형성된 피처리부재에 분체(粉體)(여기서는 「R_H분말」)가 부착된 분체 피막 형성매체를 충돌시킴으로써 피처리부재에 분체 피막을 형성하는 방법이다.

배럴 페인팅법에서는, R_H분말을 비산시키지 않고, 소결체의 모든 면에 균일한 분말층을 형성할 수 있다. 그러나, 이 방법에서는, R_H분말을 소결체의 소정의 면에, 소정의 두께, 소정의 패턴으로 도포하는 것이 어렵다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, NdFeB계 소결자석의 제조에 있어서 입계확산법에 의한 처리를 행할 때에, R_H분말을 소결체의 소정의 면에, 소정의 두께, 소정의 패턴으로, 과부족없이 균일하게 도포할 수 있어서, 자동화나 다수의 소결체에 대한 도포처리가 용이한 입계확산처리용 도포장치를 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 본 발명에 관한 입계확산처리용 도포장치는,

NdFeB계 합금분말의 소결체의 표면에, R_H(Dy 또는/및 Tb) 또는 R_H의 화합물의 분말을 슬러리형상으로 한 도포물을 도포하는 장치로서,

a) 상기 소결체를 지지하는 소결체 지지수단과,

b) 상기 소결체의 표면에 도포되는 도포물의 패턴에 대응한, 상기 도포물을 투과하는 투과부를 가지는 스크린과,

c) 상기 소결체 지지수단에 지지된 상기 소결체와 상기 스크린을 접촉시키고, 또한, 접촉한 상기 소결체와 상기 스크린을 분리시키도록, 상기 소결체 지지수단 또는/및 상기 스크린을 이동시키는 이동수단과,

d) 상기 소결체와 상기 스크린이 접촉한 상태에서, 상기 투과부를 통과하여 상기 소결체의 표면에 상기 도포물을 공급하는 도포물 공급수단

을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기한 스크린을 이용한 방법(이하, 「스크린법」이라 함)은, 이하의 점에서 입계확산처리를 행할 때의 R_H분말의 도포방법으로 적합하다.

ㆍ소결체가 다수 개이더라도, 이들을 스크린의 밑에 평행하게 나열하는 것만으로도 동시에 R_H분말을 도포할 수 있다.

ㆍR_H분말을 소결체의 소정의 면에 균일하게 도포할 수 있다. 또한 도포를 복수 회 반복함으로써, 두께(즉 R_H분말의 사용량)를 조정할 수 있다.

ㆍ소결체의 소정의 영역에, 소정의 패턴으로 도포하는 경우이더라도, 이 패턴에 따라서 스크린에 투과부를 마련하는 것만으로도 좋고, 또한 같은 스크린을 반복하여 이용할 수 있다.

ㆍ소결체가 대향하는 2개의 주(主)면에 도포하는 경우이더라도, 일방의 주(主)면을 스크린측으로 향하게 하여, 스크린법에 의하여 소정의 두께로 분말을 도포한 후, 또 다른 일방의 주(主)면을 스크린측으로 향하게 하여 마찬가지로 도포하기만 하면 된다.

ㆍ자동화가 용이하다.

이와 같이 스크린법은, R_H분말의 사용량을 삭감한다는 점에 있어서도, 대량생산이나 자동화 등이라는 공업적인 점에 있어서도, 뛰어난 도포방법인 것을 알 수 있다. 따라서, 본 발명에 관한 도포장치를 사용함으로써, 희소하고 또한 고가인 R_H분말을 낭비없이 사용하면서, 용이하게 고(高)보자력의 NdFeB계 소결자석을 제조하는 것이 가능하게 된다.

[도 1] 본 발명에 관한 입계확산처리용 도포장치의 일 실시예를 나타내는 개략 종단면도.
[도 2] 본 실시예의 입계확산처리용 도포장치의 일부인 트레이(a) 및 프레임(b)의 일례를 나타내는 평면도.
[도 3] 본 실시예의 입계확산처리용 도포장치에 의한 도포처리의 순서를 나타내는 도면.
[도 4] 본 실시예의 입계확산처리용 도포장치의 일부인 스크린의 예를 나타내는 평면도.
[도 5] 본 실시예에 있어서 NdFeB계 합금분말의 소결체의 표면에 도포하는 도포물의 패턴의 예를 나타내는 평면도.
[도 6] 본 실시예에 있어서 NdFeB계 합금분말의 소결체의 2개의 주(主)면에 도포하는 도포물의 패턴의 예를 나타내는 종단면도.
[도 7] 소결체를 재치(載置; 올려놓음)하는 트레이의 변형예를 나타내는 종단면도.

도 1∼도 7을 이용하여, 본 발명의 실시예를 설명한다.

실시예

본 실시예에서는, 도 1에 나타낸 입계확산처리용 도포장치를 이용하여, NdFeB계 합금분말의 소결체에 대하여 입계확산처리를 행함으로써, NdFeB계 소결자석을 제조하는 예를 설명한다. 다만, 본 발명에서는 소결체를 제조하는 방법은 특별히 묻지 않지만, 예컨대 일본국 특허공개 2006-019521호 공보에 기재된 방법을 이용함으로써, 자기특성이 높은 소결체를 니어 넷 쉐이프(near-net-shape)로 제조할 수 있다.

먼저, 도 1 및 도 2를 이용하여, 입계확산처리용 도포장치의 구성을 설명한다. 입계확산처리용 도포장치는 크게 나누어, 워크로더(work loader)(10)와, 워크로더(10)보다도 상측(上側)에 설치된 인쇄헤드(20)로 이루어진다. 워크로더(10)는, 횡방향으로 이동 가능한 베이스(11)와, 베이스(11)에 대하여 상하방향으로 이동 가능한 리프트(12)와, 리프트(12) 상에 착탈 가능하게 재치되는 프레임(13)과, 프레임(13) 상에 착탈 가능하게 재치되는 트레이(14)와, 트레이(14)의 상면(上面)에 설치된 서포터(15)와, 상하작동 가능한 자석클램프(16)를 가진다. 인쇄헤드(20)는, 스크린(21)과, 스크린(21)의 상면에 접하면서 이동 가능한 스퀴지(squeegee)(22) 및 리턴 스크레이퍼(return-scraper)(23)를 가진다.

스크린(21)에는 투과부(211)가 설치되어 있고, 본 실시예에서는 이 투과부(211)를 통과하여 도포물(R)을 소결체(S)의 표면에 도포한다. 도포물(R)로서는, 예컨대 R_H의 산화물 또는 불화물(fluoride)의 미분말을 유기용제에 분산시켜서 슬러리상태로 한 것을 이용할 수 있다.

다만, 스크린(21)에 폴리에스테르제(製)의 것을 이용하면, 도포물(R)을 소결체(S)에 도포할 때에 소결체(S)의 표면에 융합되기 쉬워지기 때문에, 도포의 마무리를 좋게 할 수 있다. 한편, 스크린(21)의 내구성을 중시하는 경우에는, 예컨대 스텐레스강제의 것을 이용할 수 있다.

트레이(14)와 서포터(15)는, 소결체(S)를 재치하여 위치를 고정하기 위한 치구(治具)이다. 트레이(14)에는, 도 2 (a)에 나타내는 바와 같이, 소결체(S)를 수용하기 위한 구멍(141)이 세로로 6개, 가로로 4개 마련되어 있다. 구멍(141)의 하면(下面)에는 지지부(142)가 마련되어 있고, 소결체(S)는 트레이(14)의 상면으로부터 각 구멍(141)에 하나씩, 지지부(142)에 걸쳐져서 재치된다. 이 트레이의 위에 서포터(15)를 재치함으로써, 소결체(S)의 위치를 고정한다. 다만, 서포터(15)는, 소결체(S)와 트레이(14)의 단차(段差)를 메우고, 스크린(21)에 상처가 나지 않도록 하기 위한 것이다. 또한, 소결체(S)에 도포물을 도포할 때의 방해가 되지 않도록, 서포터(15)의 두께는, 그 상면이 트레이(14)에 재치되는 소결체(S)의 상면보다도 약간(0.1∼0.2㎜ 정도) 하측(下側)이 되도록 설정되어 있다.

프레임(13)은 트레이(14)가 휘는 것을 방지하기 위한 것으로서, 프레임(13) 상에 재치되는 트레이(14)의 구멍(141)의 위치에 대응하여 개구(開口)(131)가 마련되어 있다(도 2 (b)). 프레임(13)의 상면의 네 모서리에는 제1 오목부(132)가 마련되고, 제1 오목부(132)의 위치에 대응하여, 트레이(14)의 하면의 네 모서리에 제1 볼록부(143)가 마련되어 있다. 프레임(13)의 제1 오목부(132)에 트레이(14)의 제1 볼록부(143)를 끼워 넣음으로써, 트레이(14)는 프레임(13)의 소정의 위치에 재치된다. 마찬가지로, 프레임(13)의 하면의 네 모서리와 리프트(12)의 상면의 네 모서리에는 각각 제2 볼록부(133)와 제2 오목부(121)(도 3 (a))가 마련되어 있고, 제2 오목부(121)에 제2 볼록부(133)를 끼워 넣음으로써, 프레임(13)은 리프트(12)의 소정의 위치에 재치된다.

다음으로, 도 3을 이용하여 본 실시예의 입계확산처리용 도포장치에 의한 도포처리의 순서를 설명한다.

먼저, 트레이(14)의 구멍(141)에 소결체(S)를 하나씩 재치하고, 서포터(15)를 트레이(14)에 씌운 후, 트레이(14)를 프레임(13) 상에 고정한다. 그리고, 프레임(13)의 제2 볼록부(133)를 리프트(12)의 제2 오목부(121)에 끼워 넣어서, 프레임(13)을 리프트(12) 상에 고정한다(도 3 (a)). 그리고, 자석클램프(16)를 상승시켜서, 자기흡인에 의하여 소결체(S)를 지지한다.

계속하여, 베이스(11)를 인쇄헤드(20)의 바로 아래로 이동시키고(도 3 (b)), 소결체(S)의 상면이 스크린(21)의 하면의 닿을락말락한 위치에 도달할 때까지 리프트(12)를 상승시킨다(c). 그리고, 스크린(21)의 상면에 도포물(R)을 올려놓고, 스퀴지(22)를 스크린(21)의 상면에 접촉시키면서 이동시킨다(c). 이로써, 도포물(R)이 스크린(21)의 투과부(211)를 투과하여, 소결체(S)의 상면에 도포된다.

도포물(R)을 소결체(S)의 상면에 도포한 후, 리프트(12)를 하강시키는 한편, 리턴 스크레이퍼(23)를 스크린(21)의 상면에 닿을락말락하게 슬라이드시킴으로써, 스크린(21)의 상면 전체에 도포물(R)을 분산시키고, 다음 도포를 준비한다. 도포를 종료하는 경우, 스크린(21)의 상면에 남은 도포물(R)은 회수한다(d). 회수한 도포물(R)은 고가인 R_H를 함유하고 있기 때문에, 재이용함으로써 비용을 삭감할 수 있다.

리프트(12)를 하강시킨 후는, 인쇄헤드(20)로부터 벗어나도록 베이스(11)를 이동시킴과 함께, 자석클램프(16)를 하강시킨다(e). 소결체(S)의 다른 면에도 도포물(R)을 도포하는 경우에는, 이 후, 그 면을 위로 향하게 하여 소결체(S)를 트레이(14) 상에 재치하고, 여기까지 서술한 공정을 다시 실행한다. 다만, NdFeB계 소결자석의 사용용도에 따라서는, 도포면이 한 면만이더라도 좋다.

소결체(S)에의 도포물(R)의 도포가 종료된 후는, 소결체(S)를 가열로(加熱爐)에서 가열시킨다. 이로써, 도포물 속의 R_H를 소결체(S) 속의 입계를 통하여 소결체 내부에 확산시킬 수 있기 때문에, 보자력이 높은 NdFeB계 소결자석을 얻을 수 있다.

다만, 투과부(211)의 패턴으로서는, 도 4로 나타내는 바와 같은 것을 이용할 수 있다. 예컨대 도 4 (a)에 나타내는 스크린(21)을 이용하면, 소결체(S) 상에 도포되는 도포물(R)의 패턴은 도 5 (a)와 같이 된다. 도 5 (a)는, 소결체(S)가 마주 보는 2개의 단부(端部)에 도포물(R)을 도포한 예이다. 예컨대, 모터 등의 회전기에 이용되는 영구자석은, 시동시에 회전방향의 단부에 자화방향과 반대방향인 자계가 가하여져서 감자되어 경시적(經時的)으로 출력이 저하되는 경향에 있다. 이로 인하여, 이와 같은 용도에 이용되는 NdFeB계 소결자석을 제조하는 경우, 단부의 보자력을 높이는 것이 효과적이다.

또한, 스크린(21)으로서 도 4의 (b), (c), (d)의 것을 이용한 경우의 도포 패턴은 각각 도 5 (b), (c), (d)와 같이 된다. 이와 같이 본 실시예의 도포장치에서는, 투과부(211)가 상이한 스크린(21)을 자석의 용도에 따라서 바꾸기만 하면, 용이하게 다양한 패턴으로 균일하게 도포물(R)을 소결체(S) 상에 도포할 수 있다. 물론, 소결체(S)의 전체 표면에 도포물(R)을 도포할 수도 있다. 또한, 소결체(S)의 도포(인쇄)면이 평면 이외의 것이더라도, 도포면의 형상에 맞춰서 스크린을 가공함으로써, 용이하게 대응할 수 있다.

또한, 도 4의 (a)와 (b)의 스크린을 순서대로 사용함으로써, 성분이나 비율 등이 다른 도포물(R₁, R₂)을, 도 5 (e)와 같이 각각 별도의 영역에 도포할 수도 있다. 상기한 바와 같이, 모터 등에서는 단부의 보자력을 특히 향상시킬 필요가 있지만, 단부의 도포물(R₂)에는 보자력 향상의 효과가 높은 Tb을 함유시키고, 중앙부의 도포물(R₁)에는 Tb보다도 저렴한 Dy을 함유시킴으로써, 비용의 상승을 가능한 한 억제하면서 전체의 보자력을 향상시킬 수 있다. 또한, Tb이나 Dy의 함유량을 각각의 영역에서 변화시킬 수도 있다. 마찬가지로, 도 4의 (c)와 (d)의 스크린을 조합시킴으로써, 도 5 (f)와 같은 도포도 가능하다.

다만, 소결체(S)에의 도포를 대향하는 2개의 주(主)면(면적이 최대인 면)에서 행하였을 경우, 도포물(R)이 트레이(14)에 부착되어 버리는 경우가 있다. 이를 피하기 위해서는, 예컨대 먼저 도 4 (b)의 스크린을 이용하여 도 5 (b)와 같이 일방의 주(主)면의 도포를 행한 후, 소결체(S)를 뒤집어, 도 5 (b)의 도포되어 있지 않은 부분을 트레이(14)의 지지부(142)에 걸고, 또 다른 일방의 주(主)면의 도포를 행하면 좋다(도 6). 이와 같이 함으로써, 트레이(14)에 소결체(S)를 재치한 채 입계확산법의 가열을 행할 수 있기 때문에, NdFeB계 소결자석을 제조하면서 동시에 작업효율을 향상시키는 것이 가능하게 된다.

또한, 각각의 주(主)면의 전체 면에 도포물(R)을 도포하는 경우, 예컨대 도 7과 같은 뾰족한 형상의 지지부(142A)에서 소결체(S)를 지지하도록 하여도 좋다. 이로써, 소결체(S)의 도포면과 트레이(14A)의 접촉 부위를 작게 할 수 있기 때문에, 트레이(14A)에 도포물(R)이 부착되는 것에 의한 도포물(R)의 낭비를 삭감할 수 있다. 또한, 도포물(R)을 양면을 도포한 후는, 이 트레이(14A)에 소결체(S)를 재치한 채 가열처리를 행할 수도 있다.

10…워크로더
11…베이스
12…리프트
121…제2 오목부
13…프레임
131…개구
132…제1 오목부
133…제2 볼록부
14, 14A…트레이
141…구멍
142, 142A…지지부
143…제1 볼록부
15…서포터
16…자석클램프
20…인쇄헤드
21…스크린
211…투과부
22…스퀴지
23…리턴 스크레이퍼
R, R₁, R₂…도포물
S…소결체

Claims (14)

1. NdFeB계 합금분말의 소결체의 표면에, R_H(Dy 또는/및 Tb) 또는 R_H의 화합물의 분말을 슬러리상태로 한 도포물을 도포하는 장치로서,
   a) 상기 소결체를 지지하는 소결체 지지수단과,
   b) 상기 소결체의 표면에 도포되는 도포물의 패턴에 대응한, 상기 도포물을 투과하는 투과부를 가지는 스크린과,
   c) 상기 소결체 지지수단에 지지된 상기 소결체와 상기 스크린을 접촉시키고, 또한, 접촉한 상기 소결체와 상기 스크린을 분리시키도록, 상기 소결체 지지수단 또는/및 상기 스크린을 이동시키는 이동수단과,
   d) 상기 소결체와 상기 스크린이 접촉한 상태에서, 상기 투과부를 통과하여 상기 소결체의 표면에 상기 도포물을 공급하는 도포물 공급수단
   을 구비하는 것을 특징으로 하는 입계확산처리용 도포장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 소결체에의 도포물의 도포가, 상기 소결체가 대향하는 2개의 주(主)면에 대한 것이고, 일방의 주(主)면에 도포물을 도포한 후, 이들의 주(主)면의 방향을 반대로 하여 또 다른 일방의 주(主)면에 도포물을 도포하는 것
   을 특징으로 하는 입계확산처리용 도포장치.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 소결체 지지수단이, 상기 소결체의 주(主)면을 지지하는 뾰족한 형상의 지지부를 가지는 것
   을 특징으로 하는 입계확산처리용 도포장치.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 소결체에의 도포물의 도포가, 상기 소결체가 대향하는 2개의 주(主)면에 대한 것이고, 일방의 주(主)면에 도포물을 도포하지 않는 비(非)도포 영역을 마련하고, 이들의 주(主)면의 방향을 반대로 하여 또 다른 일방의 주(主)면에 도포물을 도포할 때에, 상기 소결체 지지수단이 상기 비도포 영역을 지지하는 것
   을 특징으로 하는 입계확산처리용 도포장치.
5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 소결체 지지수단이, 상기 소결체를 재치(載置; 올려놓음)하는 치구(治具)와, 상기 소결체를 비접촉으로 지지하는 자석을 가지는 것
   을 특징으로 하는 입계확산처리용 도포장치.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 치구를 상기 소결체 지지수단으로부터 착탈 가능하게 함으로써, 상기 도포물이 도포된 소결체를 상기 치구째로 가열처리할 수 있도록 하고 있는 것
   을 특징으로 하는 입계확산처리용 도포장치.
7. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 도포물이 복수 종류 있고, 각각을 소결체의 표면이 다른 영역에 도포하는 것
   을 특징으로 하는 입계확산처리용 도포장치.
8. NdFeB계 합금분말의 소결체의 표면에, R_H(Dy 또는/및 Tb) 또는 R_H의 화합물의 분말을 슬러리상태로 한 도포물을 도포하고, 상기 소결체를 상기 도포물째로 가열함으로써, NdFeB계 소결자석을 제조하는 제조방법에 있어서,
   상기 도포물을 투과시킬 수 있는 투과부가 소정의 패턴으로 설치된 스크린을 이용함으로써, 상기 투과부를 통과하여 상기 소결체의 표면에 상기 도포물을 상기 패턴으로 도포하는 것
   을 특징으로 하는 NdFeB계 소결자석의 제조방법.
9. 청구항 8에 있어서,
   상기 소결체에의 도포물의 도포가, 상기 소결체가 대향하는 2개의 주(主)면에 대한 것이고, 일방의 주(主)면에 도포물을 도포한 후, 이들의 주(主)면의 방향을 반대로 하여 또 다른 일방의 주(主)면에 도포물을 도포하는 것
   을 특징으로 하는 NdFeB계 소결자석의 제조방법.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 소결체를 재치하는 치구가, 상기 소결체의 주(主)면을 뾰족한 형상의 지지부에 의하여 지지하는 것
    을 특징으로 하는 NdFeB계 소결자석의 제조방법.
11. 청구항 8에 있어서,
    상기 소결체에의 도포물의 도포가, 상기 소결체가 대향하는 2개의 주(主)면에 대한 것이고, 일방의 주(主)면에 도포물을 도포하지 않는 비도포 영역을 마련하고, 이들의 주(主)면의 방향을 반대로 하여 또 다른 일방의 주(主)면에 도포물을 도포할 때에, 소결체를 재치하는 치구가 이 비도포 영역에만 접촉하는 것
    을 특징으로 하는 NdFeB계 소결자석의 제조방법.
12. 청구항 10 또는 청구항 11에 있어서,
    상기 소결체에 도포물을 도포할 때, 상기 치구에 재치된 소결체를 자석에 의하여 비접촉으로 지지하는 것
    을 특징으로 하는 NdFeB계 소결자석의 제조방법.
13. 청구항 10 또는 청구항 11에 있어서,
    상기 가열이, 상기 치구째로 행하여지는 것
    을 특징으로 하는 NdFeB계 소결자석의 제조방법.
14. 청구항 8 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도포물이 복수 종류 있고, 각각을 소결체의 표면의 상이한 영역에 도포하는 것
    을 특징으로 하는 NdFeB계 소결자석의 제조방법.

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