KR101374563B1

KR101374563B1 - 히터의 유격 방지용 지그

Info

Publication number: KR101374563B1
Application number: KR1020120049838A
Authority: KR
Inventors: 윤종덕
Original assignee: 주식회사 티씨케이
Priority date: 2012-05-10
Filing date: 2012-05-10
Publication date: 2014-03-13
Also published as: KR20130126069A

Abstract

본 발명은 히터의 유격 방지용 지그에 관한 것으로, 각각 독립된 제1몸체(10)와 제2몸체(20)와, 상기 제1몸체(10)의 저면에 음각되어 상기 제3동심원 구조부(130)의 일부가 삽입되는 호형의 제1삽입홈(11)과, 상기 제1몸체(10)의 저면에 음각되어 제1동심원 구조부(110)과 제2동심원 구조부(120)를 연결하는 제1연결부(111)가 삽입되는 제2삽입홈(12)과, 상기 제2몸체(20)의 저면에 음각되어 상기 제1동심원 구조부(110)의 일부가 삽입되는 호형의 제3삽입홈(21)과, 상기 제2몸체(20)의 저면에 음각되어 상기 제2동심원 구조부(120)와 제3동심원 구조부(130)를 연결하는 제2연결부(121)가 삽입되는 제4삽입홈(22)을 포함한다. 본 발명은 다수의 동심원 구조부와 각 동심원 구조부를 연결하는 연결부를 포함하는 히터를 시험할 때, 각 동심원 구조부 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있어, 히터의 특성 측정의 신뢰성을 향상시키고, 오차를 줄일 수 있는 효과가 있다.

Description

히터의 유격 방지용 지그{Jig for preventing seperation of the heater}

본 발명은 히터의 유격 방지용 지그에 관한 것으로, 보다 상세하게는 동심원 형의 히터의 특성을 측정할 때 동심원 구조간의 유격 변화에 의한 측정 오차의 발생을 방지하기 위한 히터의 유격 방지용 지그에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 또는 엘이디 제조공정에서 기판을 지지하는 서셉터는 기판을 승온시키기 위한 히터를 구비하게 된다.

이러한 히터의 종류로는 직접 가열히터나 유도가열 히터가 사용될 수 있다.

직접 가열형의 히터의 일종으로 공개특허 10-2007-0081078호에는 흑연, 내화성 금속 등의 산화물, 질화물, 탄화물, 탄화질화물 등으로 이루어진 C-C 히터에 대하여 기재되어 있다.

이러한 C-C 히터는 3개의 동심원 구조물이 상호 반대 부분에서 각각 연결된 형태이다. C-C 히터를 제작한 후에는 그 특성을 시험하게 되나 C-C 히터의 구조가 다수의 동심원 구조를 가지기 때문에 각 동심원 구조의 사이 간격이 변화될 수 있으며, 이와 같은 변화에 의해 시험 결과의 신뢰성이 저하되고 오차 범위가 큰 문제점이 있었다.

종래에는 C-C 히터를 특별히 고정하는 수단을 사용하지 않았으며, 작업자가 육안으로 각 동심원 구조물의 간격이 바른 간격인지 확인하는 정도였다. 종래 히터 분야에서 지그를 사용하는 예로는 히터 제작을 위한 지그로서 등록특허 10-0534083호에 기재된 바와 같이 열선을 성형 유지하는 지그가 공지되어 있다.

또한 히터를 검사하기 위하여 사용하는 지그의 예로는 공개특허 10-2005-0122412호가 있다. 그러나 공개특허 10-2005-0122412호는 전자렌지에 적용되는 쉬스 히터를 일괄적으로 검사하기 위한 지그의 구조로 그 기술분야가 본 발명과는 다르다.

상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 과제는, C-C 히터의 측정오차를 줄일 수 있는 히터의 유격 방지용 지그를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명 히터의 유격 방지용 지그는, 각각 독립된 제1몸체 및 제2몸체와, 상기 제1몸체의 저면에 음각되어 제3동심원 구조부의 일부가 삽입되는 호형의 제1삽입홈과, 상기 제1몸체의 저면에 음각되어 제1동심원 구조부과 제2동심원 구조부를 연결하는 제1연결부가 삽입되는 제2삽입홈과, 상기 제2몸체의 저면에 음각되어 상기 제1동심원 구조부의 일부가 삽입되는 호형의 제3삽입홈과, 상기 제2몸체의 저면에 음각되어 상기 제2동심원 구조부와 제3동심원 구조부를 연결하는 제2연결부가 삽입되는 제4삽입홈을 포함한다.

본 발명은, 다수의 동심원 구조부와 각 동심원 구조부를 연결하는 연결부를 포함하는 히터를 시험할 때, 각 동심원 구조부 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있어, 히터의 특성 측정의 신뢰성을 향상시키고, 오차를 줄일 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 히터의 유격 방지용 지그의 저면 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 히터의 유격 방지용 지그의 사용상태도이다.

이하, 본 발명의 실시예들에 따른 히터의 유격 방지용 지그의 구성을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 히터의 유격 방지용 지그의 저면도이고, 도 2는 도 1의 사용 상태도이다.

도 1과 도 2를 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 히터의 유격 방지용 지그는, 각각 독립된 제1몸체(10)와 제2몸체(20)와, 상기 제1몸체(10)의 저면에 음각되어 히터(100)의 제3동심원 구조부(130)의 일부가 삽입되는 호형의 제1삽입홈(11)과, 상기 제1몸체(10)의 저면에 음각되어 상기 히터(100)의 제1동심원 구조부(110)과 제2동심원 구조부(120)을 연결하는 제1연결부(111)가 삽입되는 제2삽입홈(12)과, 상기 제2몸체(20)의 저면에 음각되어 상기 히터(100)의 제1동심원 구조부(110)의 일부가 삽입되는 호형의 제3삽입홈(21)과, 상기 제2몸체(20)의 저면에 음각되어 상기 히터(100)의 제2동심원 구조부(120)와 제3동심원 구조부(130)를 연결하는 제2연결부(121)가 삽입되는 제4삽입홈(22)을 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 히터의 유격 방지용 지그의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 본 발명이 적용되는 히터(100)의 구성은 제1 내지 제3동심원 구조부(110,120,130)를 가지며, 그 내측의 제1동심원 구조부(110)와 중간의 제2동심원 구조부(120)를 연결하는 제1연결부(111)와, 상기 제1연결부(111)와는 반대편에서 상기 제2동심원 구조부(120)와 제3동심원 구조부(130)를 연결하는 제2연결부(121)를 포함하여 구성된다.

이러한 구조에서 상기 제1동심원 구조부(110)와 제2동심원 구조부(120)의 사이와 제2동심원 구조부(120)와 제3동심원 구조부(130)의 사이 공간은 일정한 폭으로 유지되어야 한다.

상기와 같은 히터(100)를 제조한 후 그 히터(100)를 평탄한 검사대에 올려 놓은 후, 제1몸체(10)와 제2몸체(20)를 각각 히터(100)의 상부에 올려놓으며, 제1몸체(10)의 제1삽입홈(11)과 제2삽입홈(12) 및 제2몸체(20)의 제3삽입홈(21)과 제4삽입홈(22)에 히터(100)의 각부가 삽입된 상태가 되도록 한다.

상기 제1몸체(10)와 제2몸체(20)는 각각 상기 히터(100)의 제1연결부(111)와 제2연결부(121)의 상부에 놓인 상태가 되며, 제1몸체(10)와 제2몸체(20)의 제1 내지 제4삽입홈(11,12,21,22)에 의해 제1동심원 구조부(110)와 제2동심원 구조부(120), 제2동심원 구조부(120)와 제3동심원 구조부(130) 사이 공간의 폭은 일정하게 유지될 수 있다.

상기 제1몸체(10)의 제1삽입홈(11)은 호 형상의 단일한 홈이나 상기 제1연결부(111)와 인접한 제3동심원 구조부(130)는 일부가 절단되어 외부로부터 전원이 공급되는 전원부를 형성하고 있으며, 그 전원부의 삽입을 위하여 제1삽입홈(11)은 이분할 된 홈이다.

또한 제1몸체(10)의 제2삽입홈(12)은 상기 제1삽입홈(11)보다 폭이 넓은 홈이며, 상기 히터의 제1연결부(111)와 그 제1연결부(111) 주변의 제1동심원 구조부(110)와 제2동심원 구조부(120)의 일부가 함께 삽입될 수 있다.

상기 제1몸체(10)의 제1삽입홈(11)과 제2삽입홈(12)에는 각각 제1 및 제2돌기부(13,14)가 마련된 것일 수 있으며, 제1돌기부(13)는 상기 제3동심원 구조부(130)의 전원부에 마련된 체결공(131)에 삽입되어 고정하는 역할을 하게 되며, 제2돌기부(14)는 상기 제1동심원 구조부(110)와 제2동심원 구조부(120)를 연결하는 제1연결부(111)의 측면에 위치하여 그 연결부(111) 부분이 벌어지거나 모아지는 것을 방지하여 고정하는 역할을 한다.

그리고 제2몸체(20)의 제3삽입홈(21)은 상기 제1동심원 구조부(110)의 일부가 삽입되는 호형의 홈이며, 단일한 구조를 가지고 있다.

상기 제2몸체(20)의 제4삽입홈(22)은 상기 제2동심원 구조부(120)와 제3동심원 구조부(130)를 연결하는 제2연결부(121)가 삽입되는 것으로, 그 제2연결부(121) 및 상기 제2연결부(121)와 인접한 상기 제2동심원 구조부(120)와 제3동심원 구조부(130)의 일부 형상과 동일한 형상으로 상호 분할되며 그 분할 부분을 기준으로 대칭되는 절곡된 구조를 가지고 있다.

따라서 상기 제3삽입홈(21)과 제4삽입홈(22)의 사이에 의하여 상기 제1동심원 구조부(110)와 제2동심원 구조부(120)의 사이 공간의 폭이 일정하게 유지될 수 있으며, 상기 제4삽입홈(22)에 의해 상기 제2동심원 구조부(120)와 제3동심원 구조부(130) 사이 공간의 폭이 일정하게 유지될 수 있다.

이와 같은 구조의 제1몸체(10)와 제2몸체(20)를 사용하여 히터(100)에 유격이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 정상적인 형태로 제작되었는지 검사할 때 오차를 최소화할 수 있게 된다.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.

10:제1몸체 11:제1삽입홈
12:제2삽입홈 13:제1돌기부
14:제2돌기부 20:제2몸체
21:제3삽입홈 22:제4삽입홈
100:히터 110:제1동심원 구조부
111:제1연결부 120:제2동심원 구조부
121:제2연결부 130:제3동심원 구조부
131:체결공

Claims

직경이 작은 순서대로 제1동심원 구조부(110)와, 제2동심원 구조부(120)와, 제3동심원 구조부(130)가 마련되며, 상기 제1동심원 구조부(110)와 제2동심원 구조부(120)를 연결하는 제1연결부(111)와, 상기 제2동심원 구조부(120)와 제3동심원 구조부(130)를 연결하는 제2연결부(121)를 포함하는 히터(100)를 고정하는 지그로서,
각각 독립된 제1몸체(10)와 제2몸체(20);
상기 제1몸체(10)의 저면에 음각되어 상기 제3동심원 구조부(130)의 체결공(131)에 삽입되는 제1돌기부(13)를 구비하는 호형의 제1삽입홈(11);
상기 제1몸체(10)의 저면에 음각되어 제1동심원 구조부(110)와 제2동심원 구조부(120)를 연결하는 제1연결부(111)가 삽입되는 제2삽입홈(12);
상기 제2몸체(20)의 저면에 음각되어 상기 제1동심원 구조부(110)의 일부가 삽입되는 호형의 제3삽입홈(21); 및
상기 제2몸체(20)의 저면에 음각되어 상기 제2동심원 구조부(120)와 제3동심원 구조부(130)를 연결하는 제2연결부(121)가 삽입되는 제4삽입홈(22)을 포함하는 히터의 유격 방지용 지그.
삭제
제1항에 있어서,
상기 제2삽입홈(12)은,
상기 제1연결부(111)를 외측에 밀착되어 제1연결부(111)를 고정하는 제2돌기부(14)가 마련된 것을 특징으로 하는 히터의 유격 방지용 지그.
제1항에 있어서,
상기 제3삽입홈(21)은,
상기 제2연결부(121)와 인접한 상기 제1동심원 구조부(110)의 일부가 삽입되는 단일 형상의 홈인 것을 특징으로 하는 히터의 유격 방지용 지그.
제1항에 있어서,
상기 제4삽입홈(22)은,
상기 제2연결부(121)와, 상기 제2연결부(121)와 인접한 제2동심원 구조부(120) 및 제3동심원 구조부(130)가 삽입될 수 있도록 분할된 구조이며, 그 분할부분을 기준을 대칭되도록 절곡된 것을 특징으로 하는 히터의 유격 방지용 지그.