KR100859631B1 - 결합 구조가 개선된 써모커플 홀더 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 결합 구조가 개선된 써모커플 홀더에 관한 것으로, 장방형으로 형성되며, 전후면을 관통하여 형성되며 써모커플(Thermocouple)이 수납되는 적어도 하나의 수납홀과, 상기 수납홀의 개수에 대응하여 형성되되 상하면을 관통하여 형성되며 내주면 일측이 상기 수납홀의 일측에 각각 연통되는 가이드 홀을 포함하는 본체; 및 상기 가이드 홀에 각각 삽입된 상태에서 외주면 일측이 상기 수납홀에 삽입된 써모커플의 외주면 일측을 가압하여 고정하는 가이드 핀과, 상기 가이드 핀에 삽입되어 상기 가이드 핀을 탄성적으로 지지하는 가이드 스프링과, 상기 가이드 핀을 상기 본체에 고정하는 고정구가 구비된 가이드 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 히터의 열에 의한 유격이 생기지 않으므로 써모커플이 홀더에 결합된 위치가 변경되는 일이 없어 온도 값을 정상적으로 측정할 수 있는 장점이 있다.
퍼니스 히터, 써모커플(Thermocouple), 써모커플 홀더, 본체, 수납홀, 가이드홀, 로킹홀, 로킹 핀, 가이드 부재, 가이드 핀, 가이드 스프링, 고정구

Description

결합 구조가 개선된 써모커플 홀더{Thermocouple holder improved mounting structure}
도 1은 종래의 써모커플 홀더가 장착된 퍼니스 히터를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 써모커플 홀더를 도시한 분해 사시도.
도 3은 도 2에 따른 써모커플 홀더의 결합 상태를 도시한 정면도.
도 4는 도 2에 따른 써모커플 홀더와 써모커플의 결합 상태를 도시한 측면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 써모커플 20 : 써모커플 홀더
200 : 본체 210 : 수납홀
220 : 가이드홀 230 : 로킹홀
240 : 로킹 핀 300 : 가이드 부재
310 : 가이드 핀 320 : 가이드 스프링
330 : 고정구 332 : 가이드 플레이트
334 : 결합핀
본 발명은 결합 구조가 개선된 써모커플 홀더에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 퍼니스 히터의 열에 영향을 받지 않고 써모커플과의 결합 상태를 견고하게 유지할 수 있는 결합 구조가 개선된 써모커플 홀더에 관한 것이다.
일반적으로 어닐링(Annealing) 공정, 확산 공정, 산화 공정 및 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 공정과 같은 반도체 제조 공정에서는 열처리를 위해 퍼니스(Furnace)를 사용하고 있다.
이러한 퍼니스에서 사용되는 퍼니스 히터는 700~1000℃로 가열되며, 히터의 내부 온도를 확인하기 위해 써모커플(Thermocouple, T/C)을 설치하여 사용한다.
첨부된 도 1은 종래의 써모커플 홀더가 장착된 퍼니스 히터를 도시한 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 써모커플(3)은 써모커플 홀더(5)에 형성된 홀에 삽입되며, 움직이지 않도록 위에서 고정 볼트(7)가 조이는 구조로 되어 있다. 그런데 이러한 종래의 써모커플 홀더(5) 구조는 퍼니스 히터(1)에서 발생되는 열에 의해 써모커플(3)을 고정하는 고정 볼트(7)가 느슨해지는 경우가 있다.
이렇게 고정 볼트가 느슨해지면 써모커플의 설치 위치가 변하면서 퍼니스 히터의 온도를 읽는 기준점이 틀려지게 된다. 기준점이 틀려지면 실제 온도는 점차 떨어지는 문제가 발생해도 장치에서 인식하는 온도는 정상이라고 판단되므로 정확한 온도 측정이 불가능해진다.
이를 방지하기 위해 고정 볼트를 꽉 조이는 경우 과도한 조임 토크에 의해 세라믹 보호막으로 보호되는 써모커플이 파손될 위험이 있다.
본 발명의 목적은 퍼니스 히터의 열에 영향을 받지 않고 써모커플과의 결합 상태를 견고하게 유지함으로써 온도 값을 정상적으로 측정할 수 있는 결합 구조가 개선된 써모커플 홀더를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 장방형으로 형성되며, 전후면을 관통하여 형성되며 써모커플(Thermocouple)이 수납되는 적어도 하나의 수납홀과, 상기 수납홀의 개수에 대응하여 형성되되 상하면을 관통하여 형성되며 내주면 일측이 상기 수납홀의 일측에 각각 연통되는 가이드 홀을 포함하는 본체; 및 상기 가이드 홀에 각각 삽입된 상태에서 외주면 일측이 상기 수납홀에 삽입된 써모커플의 외주면 일측을 가압하여 고정하는 가이드 핀과, 상기 가이드 핀에 삽입되어 상기 가이드 핀을 탄성적으로 지지하는 가이드 스프링과, 상기 가이드 핀을 상기 본체에 고정하는 고정구가 구비된 가이드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 결합 구조가 개선된 써모커플 홀더를 제공한다.
상기 가이드 핀은 단부에 관통 형성된 핀홀을 더 포함하며, 상기 고정구는 상기 가이드 핀의 단부에 삽입되며 고정홀이 관통 형성된 가이드 플레이트와, 상기 가이드 핀이 상기 가이드 플레이트에 결합된 상태에서 상기 고정홀 및 핀홀에 삽입되어 상기 가이드 핀과 가이드 플레이트를 결합시키는 결합핀을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 본체는 길이 방향의 양 측면에 각각 관통 형성되어 상기 수납홀에 연통되는 로킹홀과, 상기 로킹홀에 삽입되어 볼트로 상기 본체에 고정되고 상기 써모커플을 고정하는 'T'자 형태의 로킹 핀을 더 포함하며, 상기 써모커플은 상기 로킹 핀에 결합되는 세라믹 재질의 결합홀을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 가이드 핀은 상기 로킹홀의 위치에 대응하여 상기 로킹 핀이 관통 삽입되는 관통홀을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
첨부된 도 2는 본 발명의 써모커플 홀더를 도시한 분해 사시도이고, 도 3은 도 2에 따른 써모커플 홀더의 결합 상태를 도시한 정면도이며, 도 4는 도 2에 따른 써모커플 홀더와 써모커플의 결합 상태를 도시한 측면도이다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 써모커플(Thermocouple, 10)은 써모커플 홀더(20)에 의해 퍼니스 히터(1, 도 1 참조)에 고정되며, 퍼니스 히터(1)의 각부 온도를 측정하기 위해 복수 개가 사용된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 써모커플(10)에는 후술할 로킹 핀(240)이 삽입되는 세라믹 재질의 결합홀(100)이 관통 형성된다. 로킹 핀(240)이 써모커플(10)에 삽입됨으로써 써모커플(10)이 써모커플 홀더(20)에 고정되며, 이에 관해서는 후술하기로 한다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 써모커플 홀더(20)는 크게 장방형의 본체(200)와, 본체(200)에 고정되는 가이드 부재(300)로 구분된다.
본체(200)는 직육면체 형상으로, 전면으로부터 후면까지 관통 형성되어 써모커플(10)을 수납하는 복수의 수납홀(210)과, 써모커플(10)을 고정하기 위한 가이드 핀(310)이 삽입되는 가이드 홀(220)과, 써모커플(10)을 로킹하기 위한 로킹 핀(240)이 삽입되는 로킹홀(230) 및 로킹홀(230)에 삽입되는 로킹 핀(240)을 포함하여 구성된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 가이드 홀(220)은 본체(200)의 상면으로부터 하면까지 관통 형성되며, 내주면의 일측이 수납홀(210)의 일측에 일부 겹치는 구조를 갖는다. 즉, 내주면의 일측이 수납홀(210)의 일측에 연통된다. 가이드 홀(220)에는 후술할 가이드 핀(310)이 삽입되어 써모커플(10)을 가압해 고정시킨다.
로킹홀(230)은 본체(200)의 길이 방향 양 측면에 각각 관통 형성되어 로킹 핀(240)을 수납하며, 수납홀(210) 및 가이드 홀(220)에도 연통된다.
로킹홀(230)에 'T'자 형태의 로킹 핀(240)이 삽입되고 볼트(242)에 의해 본체(200)에 고정되면, 로킹 핀(240)은 가이드 핀(310)에 형성된 관통홀(314)을 지나 써모커플(10)에 형성된 결합홀(100)을 통과해 써모커플(10)을 고정시키고 본체(200)의 내측으로 삽입된다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 가이드 부재(300)는 본체(200)의 가이드 홀(220)에 삽입되는 가이드 핀(310)과, 가이드 핀(310)에 삽입되어 가이드 핀(310)을 탄성적으로 지지하는 가이드 스프링(320)과, 가이드 핀(310)을 본체(200)에 고정하는 고정구(330)를 포함하여 구성된다.
가이드 핀(310)에는 전술한 로킹 핀(240)이 삽입될 수 있도록 로킹 핀(240)의 삽입 위치에 대응하여 관통홀(314)이 형성되고, 단부에는 핀홀(312)이 관통 형성된다. 가이드 핀(310)에 가이드 스프링(320)이 삽입된 상태로 본체(200)의 가이 드 홀(220)에 삽입되고, 삽입된 가이드 핀(310)의 단부에 고정구(330)가 결합된다.
고정구(330)는 가이드 플레이트(332)의 단부에 결합되는 가이드 플레이트(332)와, 가이드 핀(310) 및 가이드 플레이트(332)를 관통하여 이들을 상호 결합시키는 결합핀(334)으로 구성된다.
가이드 플레이트(332)에는 결합핀(334)이 삽입될 수 있도록 고정홀(332a)이 형성된다. 결합핀(334)은 가이드 핀(310)과 가이드 플레이트(332)가 결합된 상태에서 가이드 플레이트(332)의 고정홀(332a)을 지나 가이드 핀(310)의 핀홀(312)을 통과해 다시 반대편 고정홀(332a)에 삽입됨으로써 가이드 플레이트(332)와 가이드 핀(310)을 고정시킨다.
이때 가이드 스프링(320)은 압축된 상태이며, 가이드 핀(310)의 외주면 일측은 써모커플(10)의 외주면 일측에 접촉해 써모커플(10)을 가압하는 상태이다. 고정구(330)는 가이드 스프링(320)의 복원력에 의해 가이드 핀(310)이 이탈하지 않도록 고정시키는 역할을 하며, 결과적으로는 스프링력에 의해 가이드 핀(310)이 써모커플(10)을 1차적으로 고정할 수 있도록 한다.
이러한 구성을 갖는 본 발명의 일 실시 예에 따른 결합 구조가 개선된 써모커플 홀더에 있어서, 써모커플이 조립 고정되는 과정을 정리하면 다음과 같다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 먼저 써모커플 홀더(20)의 본체(200)에 형성된 수납홀(210)에 써모커플(10)이 삽입된다.
써모커플(10)이 삽입된 상태에서 가이드 스프링(320)이 결합된 가이드 핀(310)이 본체(200)의 가이드 홀(220)에 삽입된다. 이때 가이드 홀(220)과 수납홀(210)은 일부가 겹치도록 연통되어 있으므로, 가이드 핀(310)의 외주면 일측이 써모커플(10)의 외주면 일측에 접촉하게 된다.
가이드 핀(310)이 써모커플(10)에 접촉하여 가압한 상태로 가이드 홀(220)에 완전히 삽입되면, 가이드 플레이트(332)를 가이드 핀(310)의 단부에 결합시키고 결합핀(334)으로 고정한다. 이 상태에서 써모커플(10)은 가이드 부재(300)에 의해 1차적으로 고정된다.
그 후 본체(200)의 로킹홀(230)에 로킹 핀(240)을 삽입하고 볼트(242)로 로킹 핀(240)을 본체(200)에 고정한다. 로킹 핀(240)은 본체(200)의 로킹홀(230)을 관통해 가이드 핀(310)의 관통홀(314)에 삽입되고, 관통홀(314)을 지나 써모커플(10)의 결합홀(100)에 삽입된다. 로킹 핀(240)은 결합홀(100)을 지나 본체(200)의 내측까지 삽입되어 2차적으로 써모커플(10)을 완전히 고정한다.
이러한 과정에 의해 써모커플이 써모커플 홀더에 견고하게 고정되므로, 퍼니스 히터의 열에도 결합 위치가 변경되지 않는다. 따라서 히터의 온도 값을 정상적으로 측정할 수 있어 작동 신뢰도가 향상되며, 볼트의 과도한 조임 토크에 의한 써모커플 보호막의 파손 역시 막을 수 있는 효과가 있다.
한편 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에서 청구된 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양하게 변형 실시할 수 있는 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 기재된 청구범위 내에 있게 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 결합 구조가 개선된 써모커플 홀더는 히터의 열에 의한 유격이 생기지 않으므로 써모커플이 홀더에 결합된 위치가 변경되는 일이 없어 온도 값을 정상적으로 측정할 수 있는 장점이 있다. 따라서 공정 진행시 온도 변화가 생기지 않아 써모커플의 보호막이 파손되는 문제 역시 해결할 수 있다.

Claims (4)

  1. 장방형으로 형성되며, 전후면을 관통하여 형성되며 써모커플(Thermocouple, 10)이 수납되는 적어도 하나의 수납홀(210)과, 상기 수납홀(210)의 개수에 대응하여 형성되되 상하면을 관통하여 형성되며 내주면 일측이 상기 수납홀(210)의 일측에 각각 연통되는 가이드 홀(220)을 포함하는 본체(200); 및
    상기 가이드 홀(220)에 각각 삽입된 상태에서 외주면 일측이 상기 수납홀(210)에 삽입된 써모커플(10)의 외주면 일측을 가압하여 고정하는 가이드 핀(310)과, 상기 가이드 핀(310)에 삽입되어 상기 가이드 핀(310)을 탄성적으로 지지하는 가이드 스프링(320)과, 상기 가이드 핀(310)을 상기 본체(200)에 고정하는 고정구(330)가 구비된 가이드 부재(300)를 포함하여 구성되며,
    상기 본체(200)는 길이 방향의 양 측면에 각각 관통 형성되어 상기 수납홀(210)에 연통되는 로킹홀(230)과, 상기 로킹홀(230)에 삽입되어 볼트(242)로 상기 본체(200)에 고정되고 상기 써모커플(10)을 고정하는 'T'자 형태의 로킹 핀(240)을 더 포함하며, 상기 써모커플(10)은 상기 로킹 핀(240)에 결합되는 세라믹 재질의 결합홀(100)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결합 구조가 개선된 써모커플 홀더.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가이드 핀(310)은 단부에 관통 형성된 핀홀(312)을 더 포함하며, 상기 고정구(330)는 상기 가이드 핀(310)의 단부에 삽입되며 고정홀(332a)이 관통 형성된 가이드 플레이트(332)와, 상기 가이드 핀(310)이 상기 가이드 플레이트(332)에 결합된 상태에서 상기 고정홀(332a) 및 핀홀(312)에 삽입되어 상기 가이드 핀(310)과 가이드 플레이트(332)를 결합시키는 결합핀(334)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결합 구조가 개선된 써모커플 홀더.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가이드 핀(310)은 상기 로킹홀(230)의 위치에 대응하여 상기 로킹 핀(240)이 관통 삽입되는 관통홀(314)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결합 구조가 개선된 써모커플 홀더.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108673411B (zh) * 2018-08-13 2023-09-22 安徽纽威吉新能源汽车技术有限公司 一种电动涡旋式压缩机端盖插销安装工装
CN112786494A (zh) * 2021-01-11 2021-05-11 北京北方华创微电子装备有限公司 热电偶固定装置、半导体工艺设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000025326A (ko) * 1998-10-10 2000-05-06 윤종용 열전대고정구
KR20050005981A (ko) * 2003-07-08 2005-01-15 삼성전자주식회사 히터 척의 온도감지센서 고정브라켓을 구비한 웨이퍼애싱설비

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000025326A (ko) * 1998-10-10 2000-05-06 윤종용 열전대고정구
KR20050005981A (ko) * 2003-07-08 2005-01-15 삼성전자주식회사 히터 척의 온도감지센서 고정브라켓을 구비한 웨이퍼애싱설비

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102072625B1 (ko) 2019-02-26 2020-02-03 김종현 단선방지 기능을 갖는 서모커플장치

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