KR102264676B1 - 복수 대상체 검사 장치 - Google Patents

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KR102264676B1
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최병규
슌이치 무토
šœ이치 무토
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최병규
šœ이치 무토
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Abstract

본 발명의 실시예에 따르는 복수 대상체 검사 장치는 상호 측면을 대면하여 연결되어 전체적으로 수평을 이루어 배치되는 복수의 열전소자, 및 상부 면은 상기 복수의 열전소자의 하부에 접촉 결합되고, 하부 면은 상기 복수의 대상체 각각을 균일하게 가압하며 열 전달하는 복수의 검사블록을 구비하는 열 전달 부재를 포함하고, 상기 복수의 검사블록은, 상기 복수의 열전소자 간의 연결지점에 근접하여 상기 열 전달 부재의 내측에서 제1 이격부를 두고 하향 돌출되는 복수의 제1 검사블록, 및 상기 복수의 제1 검사블록 각각으로부터 상기 열 전달 부재의 외측으로 제2 이격부를 두고 하향 돌출되는 복수의 제2 검사블록을 포함하며, 상기 제1 이격부는, 상기 제2 이격부보다 작은 크기로 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

복수 대상체 검사 장치{Multiple object inspection device}
본 발명의 실시예들은 복수 대상체 검사 장치에 관한 것이다.
검사 대상체 중에는 반도체 등과 같이 저온 또는 고온 하의 환경에서 전기적인 특성을 유지해야 하는 경우가 있는데, 이들은 저온 또는 고온의 환경에서 전기적인 특성 검사를 거친 후 출하된다.
도 1은 종래의 복수 대상체 검사 장치를 간략히 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 복수 대상체 검사 장치에 따른 검사 대상체의 열 분포를 해석한 도면이며, 도 3은 일반적인 열전소자의 P 형, N 형 반도체 배치 구조를 도시한 모식도이다.
도시된 바와 같이, 종래의 복수 대상체 검사 장치 중에는 복수 개, 예를 들어 2개의 열전소자(100)를 사용하며, 하나의 열 전달 부재(30, pusher)에서 선단(즉, 검사블록)(31)이 복수 개, 예를 들어 4개로 나누어 구비되며, 각 선단(즉, 검사블록)(31)을 통해 대상체(10) 4 개를 동시에 같은 온도로 검사하는 장치가 있다.
그런데 2개의 열전소자(100)에서 동일한 열을 전달했을 때, 도 2에 도시된 바와 같이 열 전달 부재(30)의 선단(31) 중 안쪽에 위치한 2개가 바깥쪽에 위치한 2개에 비해 낮은 온도를 나타내는 현상이 발생되고 있다.
열전소자(100)는 도 3에 도시된 바와 같이 열전소자(100)의 내부에 P형, N형 반도체가 교대 배치되어 있으며, 회로 패턴에 의해 연결되어 있다.
그런데 복수의 열전소자(100) 간의 연결부위(도 3의 "A"참조)에는 반도체가 배치되지 않는 부분이 존재하여, 열 전달 부재(30)의 선단(31) 중 안쪽에 위치한 2개 사이 영역에서 온도가 상대적으로 낮아지는 문제를 유발한다.
이로 인해, 복수의 대상체(10)에 대해 동시에 같은 온도로 검사하는데 어려움이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2003-0028070호
본 발명의 목적은, 복수의 열전소자로부터 열을 전달 받는 열 전달 부재를 이용하여 복수의 대상체에 대해 동시에 동일 온도로 검사를 수행할 수 있는 복수 대상체 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
상기 하나의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 복수 대상체 검사 장치는 설정 온도로 가열되며, 상호 측면을 대면하여 연결되어 전체적으로 수평을 이루어 배치되는 복수의 열전소자; 및 상부 면은 상기 복수의 열전소자의 하부에 접촉 결합되고, 하부 면은 상기 복수의 대상체 각각을 균일하게 가압하여 열을 전달하는 복수의 검사블록을 구비하는 열 전달 부재;를 포함하고, 상기 복수의 검사블록은, 상기 복수의 열전소자 간의 연결지점에 근접하여 상기 열 전달 부재의 내측에서 제1 이격부를 두고 하향 돌출되는 복수의 제1 검사블록과, 상기 복수의 제1 검사블록 각각으로부터 상기 열 전달 부재의 외측으로 제2 이격부를 두고 하향 돌출되는 복수의 제2 검사블록을 포함하며, 상기 제1 이격부는, 상기 제2 이격부보다 작은 크기로 형성될 수 있다.
이때, 복수의 열전소자 간의 연결지점은, 상기 열 전달 부재의 상부 면에서 좌우 폭 중앙부에 위치하고, 상기 제1 이격부는, 상기 복수의 열전소자 간의 연결지점에 대응하는 위치에 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 이격부는, 상기 복수의 제1 검사블록의 사이에서, 제1 설정길이를 갖는 틈새 형상으로 형성되고, 상기 제2 이격부는, 상기 복수의 제1 검사블록 각각과 상기 복수의 제2 검사블록 각각의 사이에서, 상기 제1 설정길이보다 긴 제2 설정길이를 갖는 틈새 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 이격부의 상단부는, 상기 복수의 제1 검사블록의 상단부에서 중앙부 사이에 위치하고, 상기 제1 이격부의 하단부는, 상기 복수의 제1 검사블록의 하단부에 대응하는 위치에 형성되며, 상기 제2 이격부의 상단부는, 상기 복수의 제1, 2 검사블록의 상단부에 대응하는 위치에 형성되고, 상기 제2 이격부의 하단부는, 상기 복수의 제1, 2 검사블록의 하단부에 대응하는 위치에 형성될 수 있다.
또한, 상기 복수의 제1 검사블록 각각의 상, 하단부는, 동일한 단면크기를 가질 수 있다.
또한, 상기 복수의 제2 검사블록 각각의 하단부는, 상기 복수의 제1 검사블록 각각의 하단부와 동일한 단면크기를 가지며, 상기 복수의 제2 검사블록 각각의 상단부는, 상기 복수의 제2 검사블록 각각의 하단부에 비해 축소된 단면크기를 가질 수 있다.
또한, 상기 복수의 제2 검사블록 각각은, 하단부에서 상단부로 갈수록 단면크기가 점진적으로 축소될 수 있다.
또한, 상기 복수의 제2 검사블록 각각의 상단부는, 상기 제2 이격부의 반대편에서 상기 열 전달 부재의 하부 면과 제1 설정각도로 경사지게 연결되는 제1 경사부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 복수의 제2 검사블록 각각의 상단부는, 상기 제2 이격부의 반대편에서 상기 열 전달 부재의 하부 면과 제1 설정각도로 경사지게 연결되는 제1 경사부와, 상기 제2 이격부의 형성 부위에서 상기 열 전달 부재의 하부 면과 제2 설정각도로 경사지게 연결되는 제2 경사부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제1 경사부의 제1 설정각도는, 상기 제2 경사부의 제2 설정각도보다 작게 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면 복수의 열전소자로부터 열을 전달 받는 열 전달 부재를 이용하여 복수의 대상체에 대해 동시에 동일 온도로 검사를 수행할 수 있는 복수 대상체 검사 장치를 제공하는 것이다. 구체적으로는 복수의 열전소자 간의 연결부위에 반도체가 배치되지 않는 점을 감안하여, 열 전달 부재에 구비된 복수의 검사블록의 형상을 위치 별로 다르게 조정하여 복수의 대상체에 대해 동시에 동일 온도로 검사할 수 있다.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
도 1은 종래의 복수 대상체 검사 장치를 간략히 도시한 구성도이다.
도 2는 도 1의 열 전달 부재에 따른 대상체의 열 분포를 해석한 도면이다.
도 3은 복수의 열전소자의 구조를 간략히 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 복수 대상체 검사 장치를 간략히 도시한 구성도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 대상체 열 분포를 해석한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 복수 대상체 검사 장치를 간략히 도시한 구성도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 대상체 열 분포를 해석한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 복수 대상체 검사 장치를 간략히 도시한 구성도이다.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 대상체 열 분포를 해석한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다. 또한, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.
본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성 요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
복수 대상체 검사 장치의 제1 실시예
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 복수 대상체 검사 장치를 간략히 도시한 구성도이다.
본 발명의 제1 실시예에 따르는 복수 대상체 검사 장치(1000)는 복수의 열전소자(100)와, 열 전달 부재(300)를 포함한다.
복수의 열전소자(100)는 적어도 2개 이상의 열전소자(100)를 포함한다.
복수의 열전소자(100)는 상호 측면을 대면하여 직렬 형태로 좌우 폭 방향으로 연결 가능한데, 전체적으로 수평을 이루어 배치될 수 있다.
열 전달 부재(300)는 복수의 열전소자(100)에 접촉되도록 결합되어 열전소자(100)에서 발생된 열을 복수의 대상체 (10)까지 전달하는 역할을 한다. 여기서, 대상체(10)는 반도체 소자 등을 의미할 수 있는데, 반드시 이에 한정되지는 않는다.
구체적으로는 열 전달 부재(300)는 평탄한 상부 면(301)을 구비한다.
열 전달 부재(300)의 상부 면(301)은 복수의 열전소자(100)의 하부에 밀착하여 결합된다.
예를 들어, 2개의 열전소자(100)가 좌우로 연결되는 경우, 열 전달 부재(300)는 2개의 연결소자(100)에 접촉 가능한 크기로 이루어지고 열 전달 부재(300)의 중앙에서 2개의 열전소자(100) 간의 연결지점(105)이 위치하게 될 수 있다.
열 전달 부재(300)의 하부 면(303)은 상부 면(301)과 달리 복수의 대상체(10) 각각을 균일하게 가압하면서 열을 전달하도록 하향 돌출된 복수의 검사블록(310)을 구비할 수 있다.
다시 말해, 복수의 검사블록(310)은 복수의 대상체(10)에 대응하는 개수를 가지며, 복수의 검사블록(310) 각각의 하단부는 복수의 대상체(10) 각각의 크기에 대응하는 면적을 가질 수 있다.
구체적으로 살펴보면, 복수의 검사블록(310)은 복수의 제1 검사블록(320)과 제2 검사블록(330)을 포함하여 형성될 수 있다.
복수의 제1 검사블록(320)은 복수의 열전소자(100) 간의 연결지점(105)에 근접하여 위치한다.
예를 들어, 복수의 제1 검사블록(320)은 2개의 제1 검사블록(320)을 포함하여 구성될 수 있다. 이 경우 2개의 제1 검사블록(320)은 열 전달 부재(300)의 내측에서 제1 이격부(410)을 사이에 두고 하향 돌출되는 형상을 가질 수 있다.
복수의 제2 검사블록(330)은 열 전달 부재(300)의 외측에 위치할 수 있다.
예를 들어, 복수의 제2 검사블록(330)은 2개의 제2 검사블록(330)을 포함하여 구성될 수 있다. 이 경우 2개의 제2 검사블록(330)은 복수의 제1 검사블록(320) 각각으로부터 제 이격부(420)를 사이에 두고 열 전달 부재(300)의 외측에서 제1 검사블록(320)의 돌출 길이와 동일한 길이로 하향 돌출될 수 있다.
본 발명의 제1 실시예에 따르면 제1 이격부(410)는 제2 이격부(420)보다 작은 크기로 형성될 수 있다.
만일, 제1 이격부(410)가 제2 이격부(420)와 동일하게 형성될 경우(도 1 참조), 복수의 열전소자(100)를 통해 동일하게 열이 전달되어도 제1 검사블록(320)을 통해 전달되는 열이 제2 검사블록(330)을 통해 전달되는 열보다 낮은 온도일 수 있다.
그 원인으로, 복수의 열전소자(100) 각각의 내부에는 P 형, N 형 반도체가 교대로 배치되는데, 복수의 열전소자(100)의 연결지점(105)에는 반도체가 배치되지 않는 부분(도 3의 A 부분 참조)이 존재하기 때문이다. 이 때문에, 복수의 열전소자(100)의 연결지점(105)에서는 온도가 낮게 형성된다.
본 발명의 제1 실시예에 따르면 복수의 열전소자(100)의 연결지점(105)은 열 전달 부재(300)의 상부 면(301)에서 좌우 폭 중앙에 위치한다. 그리고 제1 이격부(410)는 복수의 열전소자(100) 간의 연결지점(105)에 대응하는 위치에 형성된다.
이때, 제1 이격부(410)는 복수의 제1 검사블록(320)의 사이에서, 제1 설정길이(L1)를 갖는 틈새 형상으로 형성될 수 있다.
그리고 제2 이격부(420)는 복수의 제1 검사블록(320) 각각과 복수의 제2 검사블록(330) 각각의 사이에서, 제1 설정길이(L1)보다 긴 제2 설정길이(L2)를 갖는 틈새 형상으로 형성될 수 있다.
이와 같이, 제1 이격부(410)의 크기가 제2 이격부(420)의 크기에 비해 작은 크기로 형성되어, 복수의 제1 검사블록(320) 각각의 상단부(321)는 복수의 제2 검사블록(330)과 달리 제1 이격부(410)의 상부에서 일정 길이로 연결되어 서로 간에 열 전달이 이루어질 수 있다. 따라서, 복수의 열전소자(100) 간의 연결지점(105)에 대응하는 위치에서 온도가 낮게 형성되는 것을 억제할 수 있다.
제1 이격부(410)와 제2 이격부(420)의 틈새 폭 사이즈는 일정하게 형성될 수 있으며, 단지 제1 이격부(410)가 제2 이격부(420)에 비해 짧은 길이로 형성될 수 있는데, 이들의 길이 차이는 사용자의 선택에 따라 적절히 조절 가능하다.
구체적인 예로서, 제1 이격부(410)의 상단부는 복수의 제1 검사블록(320)의 상단부(321)에서 중앙부(322) 사이에 위치할 수 있다. 제1 이격부(410)의 하단부(413)는 복수의 제1 검사블록(320)의 하단부(323)에 대응하는 위치에 형성될 수 있다.
이때, 제2 이격부(420)의 상단부(421)는 복수의 제1, 2 검사블록(320, 330)의 상단부(321, 331)에 대응하는 위치에 형성될 수 있다. 제2 이격부(420)의 하단부(423)는 복수의 제1, 2 검사블록(320, 330)의 하단부(323, 333)에 대응하는 위치에 형성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 대상체 열 분포를 해석한 도면이다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 복수 대상체 검사 장치(1000, 도 4 참조)를 이용하여 복수의 열전소자(100)에서 설정 온도의 열이 발생된다.
그리고 열 전달 부재(300)에 구비된 복수의 제1, 2 검사블록(320, 330)을 통해 4개의 대상체(10)가 균일하게 가압되며, 복수의 열전소자(100)에서 발생된 열이 4개의 대상체(10)로 전달되어 검사가 실시될 수 있다. 도 5를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따르면 종래의 경우에 비해 대상체(10)에서의 온도 편차가 줄어들었음을 확인할 수 있다.
복수 대상체 검사 장치의 제2 실시예
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 복수 대상체 검사 장치를 간략히 도시한 구성도이다.
본 발명의 제2 실시예에 따르는 복수 대상체 검사 장치(1000)는 복수의 열전소자(100)와, 열 전달 부재(300)를 포함한다. 복수의 열전소자(100)는 적어도 2개 이상의 열전소자(100)를 포함한다. 복수의 열전소자(100)는 상호 측면을 대면하여 직렬 형태로 좌우 폭 방향으로 연결 가능한데, 전체적으로 수평을 이루어 배치될 수 있다.
열 전달 부재(300)의 상부 면(301)은 복수의 열전소자(100)의 하부에 밀착하여 결합되고, 열 전달 부재(300)의 하부 면(303)은 상부 면(301)과 달리 복수의 대상체(10) 각각을 균일하게 가압하면서 열을 전달하도록 하향 돌출된 복수의 검사블록(310)을 구비한다.
복수의 검사블록(310)은 복수의 제1 검사블록(320)과 제2 검사블록(330)을 포함한다. 복수의 제1 검사블록(320)은 복수의 열전소자(100) 간의 연결지점(105)에 근접하여 위치한다. 복수의 제2 검사블록(330)은 열 전달 부재(300)의 외측에 위치할 수 있다.
그리고 본 발명의 제2 실시예에 따르는 복수 대상체 검사 장치(1000)에서는 전술한 본 발명의 제1 실시예(도 4 참조)와 같이 제1 이격부(410)가 제2 이격부(420)보다 작은 길이를 갖는 틈새 형상으로 형성될 수 있다.
특히, 본 발명의 제2 실시예에 따르는 복수 대상체 검사 장치(1000)는 열 전달 부재(300)의 내측에 위치한 복수의 제1 검사블록(320)과 열 전달 부재(300)의 외측에 위치한 복수의 제2 검사블록(330)이 서로 다른 형상 및 구조로 형성될 수 있다.
예컨대, 복수의 제1 검사블록(320)은 정사각형 또는 직삭각형 형상을 가질 수 있다. 구체적으로는 복수의 제1 검사블록(320) 각각은 상, 하단부(321, 323)가 동일한 형상 및 단면 크기를 가질 수 있다. 이에 따라, 열 전달 부재(300)를 거쳐 전달된 열이 상단부(321)에서 하단부(323)로 그대로 전달되어 전체적으로 균일한 온도의 열 전달이 가능한 장점이 있다.
이와 달리, 복수의 제2 검사블록(330)은 사다리꼴 형상을 가질 수 있다.
구체적으로는 복수의 제2 검사블록(330) 각각의 하단부(333)는 대상체(10)와 밀착하도록 형성되므로 복수의 제1 검사블록(320) 각각의 하단부(323)와 동일한 단면크기를 가질 수 있다. 하지만, 복수의 제2 검사블록(330) 각각의 상단부(331)는 복수의 제2 검사블록(330) 각각의 하단부(333)에 비해 축소된 단면크기를 가질 수 있다. 이에 따라, 열 전달 부재(300)를 거쳐 열이 전달되는 면적이 복수의 제1 검사블록(320)의 상단부(321)에 비해 줄어들어 제1, 2 검사블록(320, 330) 간의 온도 편차를 줄일 수 있는 장점이 있다.
예를 들면, 복수의 제2 검사블록(330) 각각은 하단부(333)에서 상단부(331)로 갈수록 단면크기가 점진적으로 축소되는 형상을 가질 수 있다.
이때, 복수의 제2 검사블록(330) 각각의 상단부(331)는 제2 이격부(420)의 반대편에서 열 전달 부재(300)의 하부 면(303)과 제1 설정각도(a1)로 경사지게 연결되는 제1 경사부(431)를 구비할 수 있다. 이때, 제1 경사부(431)의 설정각도(a1)는 변경이 가능한데, 제1 경사부(431)의 형상을 변경함으로써 제1, 2 검사블록(320, 330) 간의 온도 편차를 정밀하게 줄여 균일한 온도를 제공할 수 있다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 대상체 열 분포를 해석한 도면이다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 복수 대상체 검사 장치(1000, 도 6 참조)를 이용하여 복수의 열전소자(100)에서 설정 온도의 열이 발생된다. 이때, 열 전달 부재(300)에 구비된 복수의 제1, 2 검사블록(320, 330) 각각의 상단부(321, 331)의 형상을 변경함으로써, 열 전달 부재(300)를 통해 4개의 대상체(10)까지 제공되는 열 전달을 균일하게 해줄 수 있다. 이로써, 복수의 열전소자(100)에서 발생된 설정 온도의 열은 4개의 대상체(10)로 균일하게 전달되어 복수의 대상체에 대한 온도 검사를 실시할 수 있다. 도 7을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따를 경우 도 5에 도시된 본 발명의 제1 실시예에 보다 대상체(10)에서의 온도 편차가 대폭 줄어들어 거의 균일한 온도 분포를 보여주는 것을 확인할 수 있다.
복수 대상체 검사 장치의 제3 실시예
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 복수 대상체 검사 장치를 간략히 도시한 구성도이다.
본 발명의 제3 실시예에 따르는 복수 대상체 검사 장치(1000)는 복수의 열전소자(100)와, 열 전달 부재(300)를 포함한다. 복수의 열전소자(100)는 적어도 2개 이상의 열전소자(100)를 포함한다. 복수의 열전소자(100)는 상호 측면을 대면하여 직렬 형태로 좌우 폭 방향으로 연결 가능한데, 전체적으로 수평을 이루어 배치될 수 있다.
열 전달 부재(300)의 상부 면(301)은 복수의 열전소자(100)의 하부에 밀착하여 결합되고, 열 전달 부재(300)의 하부 면(303)은 상부 면(301)과 달리 복수의 대상체(10) 각각을 균일하게 가압하면서 열을 전달하도록 하향 돌출된 복수의 검사블록(310)을 구비한다.
복수의 검사블록(310)은 복수의 제1 검사블록(320)과 제2 검사블록(330)을 포함한다. 복수의 제1 검사블록(320)은 복수의 열전소자(100) 간의 연결지점(105)에 근접하여 위치한다. 복수의 제2 검사블록(330)은 열 전달 부재(300)의 외측에 위치할 수 있다.
이때, 제1 이격부(410)는 제2 이격부(420)보다 작은 길이를 갖는 틈새 형상으로 형성된다.
그리고 복수의 제1 검사블록(320)과 복수의 제2 검사블록(330)은 서로 다른 형상을 가진다.
예컨대, 복수의 제1 검사블록(320) 각각은 상, 하단부(321, 323)가 동일한 형상 및 단면 크기를 가지며, 열 전달 부재(300)를 거쳐 전달된 열이 상단부(321)에서 하단부(323)로 그대로 전달되는 구조를 가진다.
한편, 본 발명의 제3 실시예에 따르는 복수 대상체 검사 장치(1000)에서는 복수의 제2 검사블록(330)이 사다리꼴 형상을 가진다.
복수의 제2 검사블록(330) 각각의 하단부(333)는 복수의 제1 검사블록(320) 각각의 하단부(323)와 동일한 단면크기를 가진다. 이와 달리, 복수의 제2 검사블록(330) 각각의 상단부(331)는 복수의 제2 검사블록(330) 각각의 하단부(333)에 비해 축소된 단면크기를 가진다. 이에 따라, 열 전달 부재(300)를 거쳐 열이 전달되는 면적이 복수의 제1 검사블록(320)의 상단부(321)에 비해 줄어들어 제1, 2 검사블록(320, 330) 간의 온도 편차를 줄일 수 있다.
예를 들면, 복수의 제2 검사블록(330) 각각은 하단부(333)에서 상단부(331)로 갈수록 단면크기가 점진적으로 축소되는 형상을 가진다.
이때, 복수의 제2 검사블록(330)은 전술한 본 발명의 제2 실시예(도 6 참조)와 달리, 제1 경사부(431)와 함께 제2 경사부(432)를 구비한다.
제1 경사부(431)는 복수의 제2 검사블록(330) 각각의 상단부(331)에 형성되는데, 제2 이격부(420)의 반대편에서 열 전달 부재(300)의 하부 면(303)과 제1 설정각도(a1)로 경사지게 연결되는 경사부위를 말한다.
제2 경사부(432)는 제2 이격부(420)의 형성 부위에서 열 전달 부재(300)의 하부 면(303)과 제2 설정각도(a2)로 경사지게 연결되는 경사부위를 말한다.
이와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따르는 복수 대상체 검사 장치(1000)는 제1, 2 경사부(431, 432)를 동시에 구비함으로써, 제1, 2 검사블록(320, 330) 간의 열 전달에 따른 온도 편차를 정밀하게 조절하여 대상체(10)에 균일한 온도를 제공할 수 있다.
이때, 제1 경사부(431)의 제1 설정각도(a1)는 제2 경사부(432)의 제2 설정각도(a2)보다 작게 형성되는 것이 좋다. 이는 제2 경사부(432)는 상대적으로 온도가 낮은 복수의 제1 검사블록(320)의 영향을 더 받을 수 있기 때문인데, 제1 경사부(431)의 제1 경사각도(a1)를 제2 경사부(432)의 제2 경사각도(a2)보다 작게 형성함으로써, 제1 검사블록(320)에서 먼 위치에서의 제2 검사블록(330)의 상단부 접촉 면적을 줄여 전체적으로 제1, 2 검사블록(330) 간의 온도 편차를 최대한 줄일 수 있다.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 대상체 열 분포를 해석한 도면이다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 복수 대상체 검사 장치(1000, 도 8 참조)를 이용하여 복수의 열전소자(100)에서 설정 온도의 열이 발생된다. 이때, 열 전달 부재(300)에 구비된 복수의 제1, 2 검사블록(320, 330) 각각의 상단부(321, 331)의 형상을 변경함으로써, 열 전달 부재(300)를 통해 4개의 대상체(10)까지 제공되는 열 전달을 균일하게 해줄 수 있다. 이로써, 복수의 열전소자(100)에서 발생된 설정 온도의 열은 4개의 대상체(10)로 균일하게 전달되어 복수의 대상체에 대한 온도 검사를 실시할 수 있다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따를 경우 도 7에 도시된 본 발명의 제2 실시예에 보다 대상체(10)에서의 온도 편차가 대폭 줄어들어 더 균일한 온도 분포를 보여주는 것을 확인할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.
10: 대상체
100: 열전소자
105: 열전소자 연결지점
300: 열 전달 부재
301: 열 전달 부재의 상부 면
303: 열 전달 부재의 하부 면
310: 검사블록
320: 제1 검사블록
321: 제1 검사블록의 상단부
322: 제1 검사블록의 중앙부
323: 제1 검사블록의 하단부
330: 제2 검사블록
331: 제2 검사블록의 상단부
333: 제2 검사블록의 하단부
410: 제1 이격부
420: 제2 이격부
431: 제1 경사부
432: 제2 경사부
1000: 복수 대상체 검사 장치

Claims (9)

  1. 상호 측면이 대면하도록 배치되는 복수의 열전소자; 및
    상부 면은 상기 복수의 열전소자의 하부에 접촉 결합되고, 하부 면은 복수의 대상체 각각을 균일하게 가압하며 열 전달하는 복수의 검사블록을 구비하는 열 전달 부재;를 포함하고,
    상기 복수의 검사블록은
    상기 복수의 열전소자 간의 연결지점에 근접하여 상기 열 전달 부재의 내측에서 제1 이격부를 두고 하향 돌출되는 복수의 제1 검사블록; 및
    상기 복수의 제1 검사블록 각각으로부터 상기 열 전달 부재의 외측으로 제2 이격부를 두고 하향 돌출되는 복수의 제2 검사블록을 포함하며,
    상기 제1 이격부는 상기 복수의 열전소자 간의 연결지점에 대응하는 위치에 형성되고,
    상기 제1 이격부는 상기 제2 이격부보다 작은 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는
    복수 대상체 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 열전소자 간의 연결지점은,
    상기 열 전달 부재의 상부 면에서 좌우 폭 중앙부에 위치하는 것을 특징으로 하는
    복수 대상체 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 이격부는,
    상기 복수의 제1 검사블록의 사이에서, 제1 설정길이를 갖는 틈새 형상으로 형성되고,
    상기 제2 이격부는,
    상기 복수의 제1 검사블록 각각과 상기 복수의 제2 검사블록 각각의 사이에서, 상기 제1 설정길이보다 긴 제2 설정길이를 갖는 틈새 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는
    복수 대상체 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 이격부의 상단부는,
    상기 복수의 제1 검사블록의 상단부에서 중앙부 사이에 위치하고,
    상기 제1 이격부의 하단부는,
    상기 복수의 제1 검사블록의 하단부에 대응하는 위치에 형성되며,
    상기 제2 이격부의 상단부는, 상기 복수의 제1, 2 검사블록의 상단부에 대응하는 위치에 형성되고,
    상기 제2 이격부의 하단부는,
    상기 복수의 제1, 2 검사블록의 하단부에 대응하는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는
    복수 대상체 검사 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 복수의 제1 검사블록 각각의 상, 하단부는,
    동일한 단면크기를 갖는 것을 특징으로 하는
    복수 대상체 검사 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 복수의 제2 검사블록 각각의 하단부는,
    상기 복수의 제1 검사블록 각각의 하단부와 동일한 단면크기를 가지며,
    상기 복수의 제2 검사블록 각각의 상단부는,
    상기 복수의 제2 검사블록 각각의 하단부에 비해 축소된 단면크기를 갖는 것을 특징으로 하는
    복수 대상체 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 복수의 제2 검사블록 각각은,
    하단부에서 상단부로 갈수록 단면크기가 점진적으로 축소되는 것을 특징으로 하는
    복수 대상체 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 제2 검사블록 각각의 상단부는,
    상기 제2 이격부의 반대편에서 상기 열 전달 부재의 하부 면과 제1 설정각도로 경사지게 연결되는 제1 경사부를 구비하는 것을 특징으로 하는
    복수 대상체 검사 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 제2 검사블록 각각의 상단부는,
    상기 제2 이격부의 반대편에서 상기 열 전달 부재의 하부 면과 제1 설정각도로 경사지게 연결되는 제1 경사부와,
    상기 제2 이격부의 형성 부위에서 상기 열 전달 부재의 하부 면과 제2 설정각도로 경사지게 연결되는 제2 경사부를 구비하는 것을 특징으로 하는
    복수 대상체 검사 장치.
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