KR101346936B1 - Insulation inspecting device and insulation inspecting method - Google Patents
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Abstract
회로 기판의 스파크에 관련하여, 더욱 정확히 검사할 수 있는 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법을 제공하는 것.
복수의 배선 패턴 (P) 이 형성되는 회로 기판 (CB) 의 절연 검사를 실시하는 절연 검사 장치 (1) 로서, 상기 복수의 배선 패턴으로부터 하나의 배선 패턴을 제 1 검사부 (도 2 의 T1) 로서 선출함과 함께, 그 제 1 검사부 이외의 모든 배선 패턴을 제 2 검사부 (동 T2) 로서 선출하는 선출 수단 (2) 과, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이에 소정의 전위차를 설정하기 위해서, 상기 제 2 검사부에 접속됨과 함께 그 제 2 검사부에 전압을 인가하는 전원 수단 (3) 과, 상기 제 1 검사부에 흐르는 전류를 검출하기 위하여 상기 제 1 검사부에 접속되는 제 1 전류 검출 수단 (4) 과, 상기 제 1 전류 검출 수단이 검출하는 전류치를 소정 기준치와 비교하고, 이 비교 결과에 의해 당해 회로 기판을 양품 또는 불량품으로서 판정하는 판정 수단 (7) 을 구비하고 있다.
배선 패턴, 선출 수단, 전원 수단, 전류 검출 수단, 판정 수단
With regard to the spark of the circuit board, to provide an insulation inspection apparatus and an insulation inspection method that can be more accurately inspected.
An insulation inspection apparatus 1 which performs insulation inspection of a circuit board CB on which a plurality of wiring patterns P are formed, wherein one wiring pattern is used as the first inspection unit (T1 in FIG. 2) from the plurality of wiring patterns. In order to select and to select a predetermined potential difference between the selection means 2 for selecting all wiring patterns other than the first inspection part as the second inspection part (T2) and the first inspection part and the second inspection part. Power supply means (3) connected to said second inspection section and applying voltage to said second inspection section, and first current detecting means (4) connected to said first inspection section for detecting a current flowing in said first inspection section; And a judging means (7) for comparing the current value detected by the first current detecting means with a predetermined reference value and determining the circuit board as a good or defective product based on the comparison result.
Wiring pattern, selection means, power supply means, current detection means, determination means
Description
본 발명은, 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 복수의 배선 패턴이 형성되어 있는 회로 기판의 절연 검사를 신속하고 또한 정확하게 실시할 수 있는 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an insulation inspection apparatus and an insulation inspection method, and more particularly, to an insulation inspection apparatus and an insulation inspection method capable of quickly and accurately performing insulation inspection of a circuit board on which a plurality of wiring patterns are formed. It is about.
종래, 복수의 배선 패턴을 갖는 회로 기판의 절연 검사는, 배선 패턴 사이에 있어서의 절연 상태의 양부 (良否) (충분한 절연성이 확보되어 있는지 여부) 판정을 실시함으로써, 이 회로 기판이 양품인지 불량품인지가 판정되고 있었다.Conventionally, insulation inspection of a circuit board having a plurality of wiring patterns is performed by determining whether the circuit board is good or defective by determining whether the insulation state between the wiring patterns is sufficient (whether sufficient insulation is ensured). Was being judged.
이러한 종래의 절연 검사 장치에서는, 검사 대상이 되는 2 개의 배선 패턴 사이에 비교적 높은 전압 (예를 들어, 200V) 을 인가함으로써, 배선 패턴 사이의 저항치를 산출하고, 이 저항치를 기초로 절연 상태의 양부를 판정하고 있었다.In such a conventional insulation inspection apparatus, by applying a relatively high voltage (for example, 200 V) between two wiring patterns to be inspected, the resistance value between the wiring patterns is calculated, and both parts of the insulation state are based on this resistance value. Was judging.
그러나, 이러한 종래의 절연 검사 장치에는, 소정 전압 인가 후에 소정 시간이 경과한 다음의 안정 상태가 되었을 때에 검사가 시작되기 때문에, 소정 전압이 인가되고 있는 동안에 스파크가 발생한 경우에는 부정확한 저항치를 산출하여, 절연 상태의 양부를 정확히 판정할 수 없다는 문제점을 가지고 있었다.However, in the conventional insulation inspection apparatus, the inspection is started when a stable time elapses after a predetermined time has been applied after the application of the predetermined voltage. Therefore, if a spark occurs while the predetermined voltage is being applied, an incorrect resistance value is calculated. The problem was that the quality of the insulation could not be determined accurately.
이러한 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명자는, 먼저 출원한 특허 문헌 1 에 개시되는 절연 검사 장치 및 방법을 창출하였다.In order to solve such a problem, this inventor created the insulation inspection apparatus and method disclosed by the
특허 문헌 1 : 일본국 특허개재공보 제3546046호 (발행일 : 2004 년 7 월 21일) 이 특허 문헌 l 에 개시되는 절연 검사 장치 및 방법에서는, 한 쌍의 배선 패턴 사이에 소정의 직류 전압을 인가하여, 인가 개시로부터 소정 전압치까지의 사이에 변화하는 전압을 검출함으로써 그 전압 변화로부터 스파크를 검출하고, 스파크 발생시의 전압 강하를 검출함으로써 스파크를 검출하고자 하는 것이다. 이와 같이, 인가 전압의 증가 기간의 전압 변화를 검출함으로써 스파크를 검출할 수 있어, 상기 문제점을 해결할 수 있었다.Patent Document 1: Japanese Patent Publication No. 3546046 (Issuance Date: July 21, 2004) In the insulation inspection apparatus and method disclosed in
발명의 개시DISCLOSURE OF INVENTION
발명이 해결하고자 하는 과제Problems to be solved by the invention
그러나, 이 특허 문헌 1 에는, 스파크의 상황 등에 관한 검사에 대해서는 기재가 되어 있지 않다.However, this
따라서, 스파크의 상황 등도 고려하여, 회로 기판의 스파크에 관련하여, 더욱 정확히 검사할 수 있는 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법의 창출이 요망되고 있었다.Therefore, in consideration of the situation of sparks, etc., the creation of the insulation inspection apparatus and insulation inspection method which can test more accurately with respect to the spark of a circuit board was calculated | required.
과제를 해결하기 위한 수단Means for solving the problem
본 발명은, 회로 기판의 스파크에 관련하여, 더욱 정확히 검사할 수 있는 절연 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of this invention is to provide the insulation inspection apparatus which can test | inspect more accurately regarding the spark of a circuit board.
또한, 본 발명은, 회로 기판의 스파크에 관련하여, 더욱 정확히 검사할 수 있는 절연 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Moreover, an object of this invention is to provide the insulation inspection method which can test | inspect more accurately regarding the spark of a circuit board.
상기 목적을 감안하여, 본 발명에 관련된 절연 검사 장치는, 복수의 배선 패턴이 형성되는 회로 기판의 절연 검사를 실시하는 절연 검사 장치로서, 상기 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴을 제 1 검사부로서 선출함과 함께, 그 제 1 검사부 이외의 검사 대상이 되는 모든 배선 패턴을 제 2 검사부로서 선출하는 선출 수단과, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이에 소정의 전위차를 설정하기 위해서, 상기 제 2 검사부에 접속됨과 함께 그 제 2 검사부에 전압을 인가하는 전원 수단과, 상기 제 1 검사부와 제 2 검사부 사이에 흐르는 전류를 검출하는 전류 검출 수단과, 상기 전류 검출 수단이 검출하는 전류치를 소정 기준치와 비교하고, 이 비교 결과에 의해 당해 회로 기판을 양품 또는 불량품으로서 판정하는 판정 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.In view of the above object, the insulation inspection apparatus according to the present invention is an insulation inspection apparatus for performing insulation inspection of a circuit board on which a plurality of wiring patterns are formed. Electing means for electing as the first inspection unit and selecting all wiring patterns to be inspected other than the first inspection unit as the second inspection unit, and setting a predetermined potential difference between the first inspection unit and the second inspection unit. In order to be connected to the second inspection unit, a power supply means for applying a voltage to the second inspection unit, current detection means for detecting a current flowing between the first inspection unit and the second inspection unit, and the current detection means detects Determination means for comparing the current value with a predetermined reference value and determining the circuit board as a good or defective product based on the comparison result And that the feature.
또한, 상기 절연 검사 장치에서는, 상기 제 2 검사부는, 상기 제 1 검사부의 배선 패턴 이외의 배선 패턴으로 이루어지고, 이들 배선 패턴이 모두 병렬 접속되어 있어도 된다.Moreover, in the said insulation inspection apparatus, the said 2nd inspection part may consist of wiring patterns other than the wiring pattern of the said 1st inspection part, and all these wiring patterns may be connected in parallel.
또, 상기 절연 검사 장치에서는 상기 전류 검출 수단이, 상기 제 1 검사부 또는 상기 제 2 검사부와 직렬로 접속되어 있어도 된다.In the insulation inspection apparatus, the current detecting means may be connected in series with the first inspection unit or the second inspection unit.
또, 상기 절연 검사 장치에서는, 상기 선출 수단은, 모든 상기 복수의 도체 패턴을 순차 제 1 검사부로서 선출하고, 상기 불량품의 판정은, 상기 전류치가 상기 기준치보다 큰 경우에, 당해 회로 기판을 불량품으로 판정해도 된다.Moreover, in the said insulation inspection apparatus, the said selection means selects all the said some conductor patterns sequentially as a 1st inspection part, and the determination of the said inferior goods makes the said circuit board into inferior goods when the said electric current value is larger than the said reference value. You may judge.
또한, 상기 절연 검사 장치에서는, 상기 전류 검출 수단은, 서로 다른 2 개의 레인지를 갖는 제 1 전류 검출 수단과 제 2 전류 검출 수단을 갖고, 상기 제 1 전류 검출 수단 및 상기 제 2 전류 검출 수단 각각은 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이에 흐르는 전류를 검출한다.In the insulation inspection apparatus, the current detecting means has a first current detecting means and a second current detecting means having two different ranges, and each of the first current detecting means and the second current detecting means includes: The current flowing between the first inspection unit and the second inspection unit is detected.
또, 상기 절연 검사 장치에서는, 추가로 상기 제 1 전류 검출 수단이 검출하는 전류치를 시계열로 표시하는 표시 수단을 구비하고 있어도 된다.The insulation inspection apparatus may further include display means for displaying the current value detected by the first current detection means in time series.
또, 상기 절연 검사 장치에서는, 상기 판정 수단은, 스파크 검출부와 전력 산출부를 갖고, 상기 스파크 검출부는, 상기 제 1 전류 검출 수단으로부터의 측정 전류치에 기초하여 스파크 발생을 검출하고, 상기 전력 산출부는, 상기 제 1 전류 검출 수단으로부터의 측정 전류치와 상기 제 1 검사부의 전압을 검출하는 전압 검출부로부터의 측정 전압치에 기초하여 스파크의 상황을 검출해도 된다.Moreover, in the said insulation inspection apparatus, the said determination means has a spark detection part and a power calculation part, The said spark detection part detects a spark generation based on the measured current value from the said 1st current detection means, The said power calculation part, The state of a spark may be detected based on the measured current value from said 1st current detection means, and the measured voltage value from the voltage detection part which detects the voltage of the said 1st inspection part.
또한, 상기 절연 검사 장치에서는, 상기 판정 수단은, 저항 산출부를 갖고, 상기 제 2 전류 검출 수단으로부터의 측정 전류치와 상기 제 1 검사부의 전압을 검출하는 전압 검출부로부터의 측정 전압치에 기초하여, 저항치를 산출해도 된다.Moreover, in the said insulation inspection apparatus, the said determination means has a resistance calculation part, and a resistance value is based on the measurement current value from the said 2nd current detection means, and the measurement voltage value from the voltage detection part which detects the voltage of the said 1st inspection part. May be calculated.
그리고, 본 발명에 관련된 절연 검사 방법은, 복수의 배선 패턴이 형성되는 회로 기판의 절연 검사를 실시하는 절연 검사 방법으로서, 상기 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴을 제 1 검사부로서 선출함과 함께, 그 제 1 검사부 이외의 검사 대상이 되는 모든 배선 패턴을 제 2 검사부로서 선출하는 단계와, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이에 소정 전위차를 발생시키기 위해서, 상기 제 2 검사부에 전압을 인가하는 단계와, 상기 제 2 검사부에 전압이 인가된 상태에서, 상기 제 1 검사부와 제 2 검사부 사이에 흐르는 전류를 검출하는 단계와, 상기 제 1 검사부에 흐르는 전류치를 소정 기준치와 비교하여, 이 비교 결과에 의해 당해 회로 기판을 양품 또는 불량품으로서 판정하는 단계를 포함한다.The insulation inspection method according to the present invention is an insulation inspection method for performing insulation inspection of a circuit board on which a plurality of wiring patterns are formed, wherein one wiring pattern to be inspected from the plurality of wiring patterns is used as the first inspection portion. In addition to electing, selecting all wiring patterns to be inspection targets other than the first inspection unit as the second inspection unit, and generating the predetermined potential difference between the first inspection unit and the second inspection unit, the second inspection unit Applying a voltage to the second inspecting unit, detecting a current flowing between the first inspecting unit and the second inspecting unit, and comparing a current value flowing through the first inspecting unit with a predetermined reference value The result of the comparison includes determining the circuit board as good or defective.
또한, 본 발명에 관련된 기록 매체는, 복수의 배선 패턴이 형성되는 회로 기판의 절연 검사를 실시하는 컴퓨터에, 상기 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴을 제 1 검사부로서 선출함과 함께, 그 제 1 검사부 이외의 검사 대상이 되는 모든 배선 패턴을 제 2 검사부로서 선출하는 단계와, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이에 소정 전위차를 발생시키기 위해서, 상기 제 2 검사부에 전압을 인가하는 단계와, 상기 제 2 검사부에 전압이 인가된 상태에서, 상기 제 1 검사부와 제 2 검사부 사이에 흐르는 전류를 검출하는 단계와, 상기 제 1 검사부에 흐르는 전류치를 소정 기준치와 비교하여, 이 비교 결과에 의해 당해 회로 기판을 양품 또는 불량품으로서 판정하는 단계를 실행시키기 위한 회로 기판의 절연 검사 방법 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체이다.In addition, the recording medium according to the present invention selects, as a first inspection unit, one wiring pattern to be inspected from the plurality of wiring patterns to a computer which performs insulation inspection of a circuit board on which a plurality of wiring patterns are formed. At the same time, selecting all wiring patterns to be inspected other than the first inspection unit as the second inspection unit, and in order to generate a predetermined potential difference between the first inspection unit and the second inspection unit, a voltage is applied to the second inspection unit. Applying a step, detecting a current flowing between the first test part and the second test part in a state where a voltage is applied to the second test part, comparing the current value flowing through the first test part with a predetermined reference value, Insulation inspection method program of the circuit board for performing the step of determining the circuit board as good or defective based on the comparison result A recording medium readable by a computer recorded.
발명의 효과Effects of the Invention
본 발명에 의하면, 회로 기판의 스파크에 관련하여, 더욱 정확히 검사할 수 있는 절연 검사 장치를 제공할 수 있다.According to this invention, the insulation inspection apparatus which can test | inspect more accurately with respect to the spark of a circuit board can be provided.
그리고, 본 발명에 의하면, 회로 기판의 스파크에 관련하여, 더욱 정확히 검사할 수 있는 절연 검사 방법을 제공할 수 있다.And according to this invention, the insulation inspection method which can test | inspect more accurately with respect to the spark of a circuit board can be provided.
도 1 은, 본 발명에 관련된 절연 검사 장치의 일례의 개략 구성도를 나타낸다.1 shows a schematic configuration diagram of an example of an insulation inspection apparatus according to the present invention.
도 2a 는, 도 1 의 선출 수단에 의한 제 1 검사부와 제 2 검사부의 조합의 일례를 나타내는 도면으로, 스위치군 (SWs) 중 가장 위의 배선 패턴 (P1) 이 제 1 검사부 (T1) 로서 선출되고, 배선 패턴 (P2∼P5) 이 제 2 검사부 (T2) 로서 선출되어 있는 모습을 나타내고 있다.FIG. 2A is a diagram showing an example of a combination of the first inspection unit and the second inspection unit by the election means of FIG. 1, wherein the uppermost wiring pattern P1 of the switch group SWs is elected as the first inspection unit T1. The wiring patterns P2 to P5 are selected as the second inspection unit T2.
도 2b 는, 도 1 의 선출 수단에 의한 제 1 검사부와 제 2 검사부의 조합의 일례를 나타내는 도면으로, 배선 패턴 (P4) 이 제 1 검사부 (T1) 로서 선출되고, 배선 패턴 (P1∼P3, P5) 이 제 2 검사부 (T2) 로서 선출되어 있는 모습을 나타내고 있다.FIG. 2B is a view showing an example of a combination of the first inspection unit and the second inspection unit by the selecting means of FIG. 1, wherein the wiring pattern P4 is selected as the first inspection unit T1, and the wiring patterns P1 to P3, P5) This state is selected as the second inspection unit T2.
도 3 은, 도 1 의 판정 수단의 기능을 나타내는 개략 구성도이다.3 is a schematic configuration diagram showing the function of the determination means of FIG. 1.
도 4 는, 양품 및 불량품 회로 기판에 있어서의 전류치의 변화를 나타내는 그래프이다. 여기서, 2점 파선은 기준치 A 를 나타내고 있다.4 is a graph showing changes in current values in good and defective circuit boards. Here, the two-dot broken line indicates the reference value A.
도 5a 는, 양품 및 불량품의 회로 기판에 있어서의 전류치의 변화를 나타내는 그래프이다.5A is a graph showing changes in current values in a circuit board of good and defective products.
도 5b 는, 도 5a 에서 나타내는 전류치의 차분을 나타내고 있다. 여기서, 2 개의 1점 파선은 허용 범위를 나타내고 있다.FIG. 5B has shown the difference of the electric current value shown in FIG. 5A. Here, two one-point dashed lines indicate an allowable range.
도 6 은, 양품 및 불량품의 회로 기판에 있어서의 전류치의 변화를 나타내는 그래프이다. 여기서, 시각 tl, t2 에 있어서의 변화의 모습을 나타낸다.6 is a graph showing changes in current values in a circuit board of good and defective products. Here, the state of the change in time tl, t2 is shown.
도 7 은, 도 1 의 절연 검사 장치에서 실행되는 검사 방법을 나타내는 플로 우차트이다.FIG. 7 is a flowchart showing an inspection method performed in the insulation inspection apparatus of FIG. 1.
(부호의 설명) (Explanation of Symbols)
1 : 절연 검사 장치1: insulation inspection device
2 : 선출 수단2: election means
3 : 전원 수단3: power means
4 : 제 1 전류 검출 수단4: first current detecting means
5 : 제 2 전류 검출 수단5: second current detecting means
6 : 전압 검출 수단6: voltage detection means
7 : 판정 수단7: determination means
8 : 표시 수단8 display means
9 : 제어 수단9: control means
10 : 기억 수단10: memory means
P : 배선 패턴P: wiring pattern
SW : 스위치SW: Switch
SWs : 스위치군SWs: Switch Group
T1 : 제 1 검사부T1: 1st inspection part
T2 : 제 2 검사부T2: 2nd inspection part
CP :컨택트 핀CP: Contact pin
발명을 실시하기Carrying out the invention 위한 최선의 형태 Best form for
이하, 본 발명에 관련된 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법의 실시형태에 관해서, 첨부한 도면을 참조하면서 설명한다. 또, 도면 중 동일한 요소에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of the insulation inspection apparatus and insulation inspection method which concern on this invention is described, referring an accompanying drawing. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the same element in drawing, and the overlapping description is abbreviate | omitted.
이 출원 서류에 기재되는 용어 「회로 기판」은, 프린트 배선 기판에 한정되지 않고, 예를 들어, 플렉시블 기판, 다층 배선 기판, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이용 전극판 및 반도체 패키지용의 패키지 기판이나 필름 캐리어 등 여러 가지 배선이 실시되는 기판을 총칭하고 있다. 즉, 회로 기판에는, 절연 검사의 대상이 될 수 있는 모든 기판이 포함된다.The term "circuit board" described in this application document is not limited to a printed wiring board, For example, a flexible board | substrate, a multilayer wiring board, the electrode board for liquid crystal displays or a plasma display, and the package substrate and film carrier for semiconductor packages The board | substrate to which various wiring etc. are performed is named generically. That is, the circuit board includes all the boards that can be subjected to insulation inspection.
[절연 검사 장치] [Insulation test device]
도 1 은, 본 발명에 관련된 절연 검사 장치 (1) 의 개략 구성의 일례를 설명하는 도면이다. 여기서, 절연 검사 장치 (1) 는, 도 1 에 도시된 요소로부터, 검사 대상인 회로 기판 (CB) 을 제외한 각 요소로 이루어진다. 즉, 절연 검사 장치 (1) 는, 제어 수단 (9) 과, 표시 수단 (모니터 : 8) 과, 스위치군 (SWs) 과, 전원 수단 (3) 과, 제 1 전류 검출 수단 (4) 과, 제 2 전류 검출 수단 (5) 과, 전압 검출 수단 (6) 을 구비하고 있다. 이 제어 수단 (9) 은, 선출 수단 (2 : 「SW 전환 제어 수단」이라고도 한다.) 과, 판정 수단 (7) 과, 기억 수단 (10) 을 갖고 있다. 제어 수단 (9) 은 통상의 컴퓨터로 구성되고, 선출 수단 (2) 및 판정 수단 (7) 은 그 CPU 로 이루어지며, 기억 수단 (10) 은, 이 절연 검사 방법을 실행하는 컴퓨터 프로그램을 기억하는 ROM 이나 작업 메모리 RAM 등으로 이루어진다. 스위치군 (SWs) 은, 한 쌍의 스위치 (SW1) 와 스위치 (SW2) 의 조 (組) 를 복수 조 갖고 있다.FIG. 1: is a figure explaining an example of schematic structure of the
한편, 검사 대상인 회로 기판 (CB) 에는, 도통 패턴 (P1∼P5) (「P」 로 총칭한다.) 이 형성되어 있다. 도면을 간단하게 하여 이해를 쉽게 하기 위해서, 도면에는 패턴 (P) 으로서, 직선상의 배선 패턴 P1, P2, T 자상의 배선 패턴 P3 및 십자상의 배선 패턴 P4, P5 의 5 종류의 배선 패턴만을 예시한다. 여기서, 양품인 회로 기판 (CB) 은, 각각의 패턴 (P1∼P5) 이 전기적으로 각각 독립 상태에 있고, 인접하는 패턴 사이에서 소정의 절연 저항을 유지하고 있다.On the other hand, conductive patterns P1 to P5 (generally referred to as "P") are formed in the circuit board CB to be inspected. In order to simplify the drawing and make it easier to understand, in the figure, only five kinds of wiring patterns of linear wiring patterns P1, P2, T-shaped wiring patterns P3 and cross wiring patterns P4, P5 are illustrated as a pattern P. FIG. . Here, in the circuit board CB which is a good article, each of the patterns P1 to P5 is in an electrically independent state, and maintains a predetermined insulation resistance between adjacent patterns.
절연 검사 장치 (1) 는, 스위치군 (SWs) 을 구성하는 각 SW1 과 SW2 의 조에 접속된 컨택트 핀 (CP) 을 복수 개 갖고, 각 컨택트 핀이 회로 기판 (CB) 의 각 배선 패턴 (P1∼P5) 에 대하여 각각 전기적으로 접촉하여, 각 배선 패턴의 절연 상태 또는 도통 상태의 검사를 가능하게 하고 있다.The
절연 검사 장치 (1) 가 실행하는 검사의 기본 원리는, 회로 기판 (CB) 의 패턴 (P) 을 소정의 규칙에 따라서 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 로서 선출하고, 제 2 검사부 (T2) 에 대하여 소정 전압을 인가하여 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 사이에 소정 전위차를 발생시킨 상태에서 제 1 검사부 (T1) 에 흐르는 전류를 검출함으로써, 스파크에 관련하여 한층 더 정확한 검사를 실행하는 것이다. 여기서, 제 1 검사부는, 회로 기판 (CB) 이 갖는 복수의 배선 패턴 (도면에서는, P1∼P5) 으로부터 선출된 검사 대상이 되는 하나의 (단일한) 배선 패턴 (「피검사 패턴」이라고도 한다) 으로 이루어진다. 제 2 검사부 (T2) 는, 제 1 검사부 (T1) 이외의 검사 대상이 되는 나머지 모든 배선 패턴 (「피검사 패턴 이외 의 전체 패턴」이라고도 한다) 으로 이루어진다. 검사는, 회로 기판 (CB) 이 갖는 복수의 배선 패턴을 제 1 검사부로서 순차 선출하고 그 때마다 제 2 검사부와의 사이에서 절연 검사를 실시하여, 모든 배선 패턴을 제 1 검사부로서 선출하여 검사하였을 때에 종료된다.The basic principle of the inspection performed by the
이하, 절연 검사 장치 (1) 를 구성하는 각 요소에 관해서 설명한다. 선출 수단 (2) 은, 회로 기판 (CB) 이 갖는 복수의 배선 패턴 중에서, 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴을 제 1 검사부 (피검사 패턴) (T1) 로서 선출한다. 동시에, 제 1 검사부 (T1) 인 배선 패턴 이외의 검사 대상이 되는 나머지 모든 배선 패턴을 제 2 검사부 (T2) 로서 선출한다. 이 상태에서, 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 사이에서 절연 검사를 실시한 후 , 아직 제 1 검사부 (T1) 로서 선출되어 있지 않은 패턴 중에서 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴을 제 1 검사부 (T1) 로서 선출하고, 검사 대상이 되는 나머지 모든 배선 패턴을 제 2 검사부 (T2) 로서 선출한다. 이하, 이러한 단계를 반복한다.Hereinafter, each element which comprises the
구체적인 선출 방법은, 복수의 스위치 소자 (SW1, SW2) 를 갖는 스위치군 (SWs) 과 각 스위치 소자를 전환 제어하는 선출 수단 (2 ; SW 전환 제어 수단) 을 사용하여, 선출 수단 (2) 에 의한 각 스위치 소자 (SW1, SW2) 의 온·오프 전환 동작에 의해서, 복수의 배선 패턴을 제 1 검사부 (T1) 또는 제 2 검사부 (T2) 중 어느 하나로 선출함으로써 실시하고 있다.A concrete selection method is performed by the selection means 2 using switch groups SWs having a plurality of switch elements SW1 and SW2 and selection means 2 (SW switching control means) for switching control of each switch element. The plurality of wiring patterns are selected by either the first inspection unit T1 or the second inspection unit T2 by the on / off switching operation of the respective switch elements SW1 and SW2.
예를 들어, 도 2a 에서는, 스위치군 (SWs) 중 가장 위의 배선 패턴 (P1) 이 제 1 검사부 (피검사 패턴) (T1) 로서 선출되고, 배선 패턴 (P1) 이외의 배선 패턴 (P2∼P5) 이 제 2 검사부 (피검사 패턴 이외의 모든 패턴) (T2) 로서 선출되어 있는 모습을 나타내고 있다. 도 2b 에서는, 배선 패턴 (P4) 이 제 1 검사부 (T1) 로서 선출되고, 배선 패턴 (P4) 이외의 배선 패턴 (P1∼P3, P5) 이 제 2 검사부 (T2) 로서 선출되어 있는 모습을 나타내고 있다.For example, in FIG. 2A, the wiring pattern P1 at the top of the switch group SWs is selected as the first inspection unit (inspection pattern) T1, and the wiring patterns P2 to other than the wiring pattern P1 are selected. P5) The state which was selected as this 2nd inspection part (all patterns other than a to-be-tested pattern) T2 is shown. In FIG. 2B, the wiring pattern P4 is selected as the first inspection unit T1, and the wiring patterns P1 to P3 and P5 other than the wiring pattern P4 are selected as the second inspection unit T2. have.
각 배선 패턴 (P) 에 전기적으로 접속된 각 컨택트 핀 (CP) 은, 스위치 (SW1) 를 통하여 전원 수단 (3) 에 접속 가능하고, 스위치 (SW2) 를 통하여 제 1 전류 검출 수단 (4), 제 2 전류 검출 수단 (5) 및 전압 검출 수단 (6) 에 접속 가능하게 되어 있다.Each contact pin CP electrically connected to each wiring pattern P can be connected to the power supply means 3 via the switch SW1, and the first current detection means 4, via the switch SW2, It is possible to connect to the second current detecting
도 2a 에서는, 제 1 검사부 (T1) 로서 선출된 배선 패턴 (P1) 은, 스위치 (SW2) 가 ON 이 됨으로써 제 1 전류 검출 수단 (4) 및 제 2 전류 검출 수단 (5) 에 접속되고, 또한 전압 검출 수단 (6) 에 접속된다. 제 2 검사부 (T2) 로서 선출된 배선 패턴 (P2∼P5) 은, 각각, 스위치 (SW1) 가 ON 이 됨으로써 전원 수단 (3) 에 접속된다. 제 1 전류 검출 수단 (4) 의 전단 (前段) 에 스위치 (SWa), 전압 검출 수단 (6) 의 전단에 스위치 (SWv) 를 형성하고, 제어 수단 (9) 의 제어 하에, 각각의 검출시에 당해 스위치를 ON 으로 하도록 해도 된다.In FIG. 2A, the wiring pattern P1 elected as the first inspection unit T1 is connected to the first current detecting
제 2 검사부 (T2) 로서 선출된 배선 패턴 (P2∼P5) 은, 각 SW1 을 통하여 서로 전기적으로 병렬 접속된다. 이와 같이 병렬 접속됨으로써, 제 2 검사부 (T2) 의 배선 패턴 (P2∼P5) 모두를 같은 전위로 할 수 있어, 복잡하고 큰 면적을 갖는 배선 패턴이라도 배선 패턴간의 스파크 발생을 방지할 수 있다.The wiring patterns P2 to P5 elected as the second inspection unit T2 are electrically connected in parallel to each other through the respective SW1s. By parallel connection in this manner, all of the wiring patterns P2 to P5 of the second inspection unit T2 can be set to the same potential, and spark generation between the wiring patterns can be prevented even with a wiring pattern having a large and complicated area.
이 선출 수단 (2) 의 제어 하에 행해지는 배선 패턴 (P) 의 선출은, 제 1 검 사부 (T1) 로서 한번 선출된 배선 패턴 (P1) 은, 그 이후의 제 1 검사부 (T1) 로서 재차 선출되는 일이 없도록 설정되어 있다. 이 때문에, 제 1 검사부 (T1) 는, 모든 배선 패턴 (P) 을 하나씩 순차적으로 선출하게 된다.Election of the wiring pattern P performed under the control of the
전원 수단 (3) 은, 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 사이에 소정의 전위차를 설정하기 위해서, 제 2 검사부 (T2) 에 각 SW1 을 통하여 소정 전압을 인가할 수 있도록 접속되어 있다. 이 전원 수단 (3) 에 의해 제 2 검사부 (T2) 의 전위를 변화시키게 되어, 제 2 검사부 (T2) 는 제 1 검사부 (T1) 와 서로 다른 전위를 갖게 된다.The power supply means 3 is connected to the second inspection unit T2 so that a predetermined voltage can be applied to each of the second inspection unit T2 through each SW1 in order to set a predetermined potential difference between the first inspection unit T1 and the second inspection unit T2. have. The power supply means 3 changes the potential of the second inspection unit T2, so that the second inspection unit T2 has a potential different from that of the first inspection unit T1.
이 전원 수단 (3) 은, 소정의 전위차가 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 사이에서 발생될 수 있으면 되고, 직류 전원이거나 교류 전원이거나 특별히 한정되는 것은 아니다. 그러나, 후술하는 제 1 전류 검출 수단 (4) 에 있어서의 전류치의 변화를 보다 정확히 검출하기 위해서, 가변 직류 전원인 것이 바람직하다.The power supply means 3 only needs to generate a predetermined potential difference between the first inspection unit T1 and the second inspection unit T2, and is not particularly limited to a direct current power source or an alternating current power source. However, in order to detect the change of the current value in the 1st current detection means 4 mentioned later more correctly, it is preferable that it is a variable DC power supply.
이 전원 수단 (3) 이 인가하는 소정의 전위차는 특별히 한정되지 않지만, 1∼10V/μS 의 전위차를 발생하도록 설정되는 것이 바람직하다. 이 범위의 전위차를 사용함으로써, 단시간에 그리고 정확히 스파크를 검출할 수 있게 되기 때문이다.The predetermined potential difference applied by the power supply means 3 is not particularly limited, but is preferably set to generate a potential difference of 1 to 10 V / µS. This is because by using the potential difference in this range, it is possible to detect the spark in a short time and accurately.
도 2a 에서 나타낸 바와 같이, 제 1 전류 검출 수단 (4) 은, 스위치 (SW2), 컨택트 핀 (CP) 을 통하여 제 1 검사부 (배선 패턴 (P1)) (T1) 에 직렬로 접속되고, 제 1 검사부 (T1) 의 전류를 검출한다. 제 1 전류 검출 수단 (4) 은, 전류치를 측정할 수 있는 전류계를 이용한다. 제 1 전류 검출 수단 (4) 이 검출하는 전류는, 제 2 검사부 (T2) 에 소정의 전압이 인가됨으로써 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 사이에 전위차가 발생하고, 이 전위차의 영향을 받아 제 1 검사부 (T1) 에 흐르는 전류이다.As shown in FIG. 2A, the first current detecting
이 때문에, 제 1 전류 검출 수단 (4) 에 있어서 측정되는 전류치가 소정치 이상의 전류치 또는 소정치 이상의 전류치의 변화를 나타낸 경우, 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 사이에서 스파크가 발생하였음을 나타내는 것이 된다. 즉, 이 제 1 전류 검출 수단 (4) 이 측정하는 전류치에 의해서, 양 검사부 사이의 스파크의 검출이 가능해진다.For this reason, when the electric current value measured by the 1st electric current detection means 4 showed the change of the electric current value more than predetermined value, or the electric current value more than predetermined value, a spark generate | occur | produces between 1st inspection part T1 and 2nd inspection part T2. It will be shown. In other words, the spark between the two inspection sections can be detected by the current value measured by the first current detection means 4.
제 1 전류 검출 수단 (4) 이 제 1 검사부 (피검사 패턴) (T1) 측에 접속되어 있기 때문에, 제 2 검사부 (피검사 패턴 이외의 모든 배선 패턴) (T2) 와 컨택트 핀 (CP) 의 접촉 불량에서 기인하는 스파크가 제 1 전류 검출 수단에서 검출되는 일은 없다. 또한, 제 1 검사부 (T1) 에는 전압의 인가가 없고, 또 컨택트 핀 (CP), 스위치 (SW2), 제 1 전류 검출 수단 (4), 제 2 전류 수단을 통하여 접지되어 있기 때문에, 제 1 검사부 (피검사 패턴) (T1) 와 컨택트 핀 (CP) 사이에서 접촉 불량에서 기인하는 스파크는 발생하지 않는다.Since the first current detecting
그리고, 소정의 전압이 인가된 제 2 검사부 (피검사 패턴 이외의 모든 배선 패턴) (T2) 와 이들 배선 패턴 근방의 금속 프레임 등의 사이에서 발생하는 스파크 (본 출원 서류에서는 「의사 (擬似) 스파크」라고도 한다.) 의 발생이 있던 경우라도, 제 1 검사부 (T1) 측에는 전류가 흐르지 않기 때문에, 절연 검사 장치 (1) 는 이러한 의사 스파크의 검출은 실시하지 않는다. 이와 같이, 절연 검사 장치 (1) 는, 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 사이 이외에서 발생하는 스파크의 발생을 방지하고, 또한 발생하였다고 해도 이것을 검출하는 일은 없다.And the spark which arises between the 2nd test part (all wiring patterns other than a to-be-tested pattern) T2 to which predetermined voltage was applied, and the metal frame etc. of these wiring patterns vicinity (in this application document, a "pseudo spark" Even if there is an occurrence of a current), since no current flows to the first inspection unit T1 side, the
이 제 1 전류 검출 수단 (4) 은, 스파크된 경우의 전류치를 측정할 수 있으면 그 측정 성능은 특별히 한정되지 않지만, 0.1∼10mA 의 전류치를 검출할 수 있는 것이 바람직하다. 한편, 이 제 1 전류 검출 수단 (4) 이 검출하는 전류치는, 후술하는 판정 수단 (7) 으로 보내지게 된다.Although the measuring performance is not specifically limited as long as this 1st electric current detection means 4 can measure the electric current value at the time of a spark, it is preferable that it can detect the electric current value of 0.1-10 mA. On the other hand, the current value detected by the first current detecting
제 2 전류 검출 수단 (5) 은, 제 1 검사부 (T1) 에 직렬로 접속되어 이것에 흐르는 전류를 검출한다. 제 2 전류 검출 수단 (5) 은, 상기한 제 1 전류 검출 수단 (4) 과 동일하게 제 1 검사부 (T1) 에 흐르는 전류를 측정할 수 있다는 점에 있어서 공통되지만, 제 1 전류 검출 수단 (4) 과 비교하여 보다 미소한 전류를 측정하는 성능을 가지고 있는 점에서 서로 다르다.The second current detection means 5 is connected in series with the first inspection unit T1 and detects a current flowing therein. Although the 2nd current detection means 5 is common in the point which can measure the electric current which flows in the 1st test | inspection part T1 similarly to the above-mentioned 1st current detection means 4, 1st current detection means 4 ) Are different in that they have the ability to measure smaller currents compared to
이 제 2 전류 검출 수단 (5) 을 가짐으로써 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 사이에 흐르는 전류치를 확실히 측정할 수 있기 때문에, 후술하는 전압 검출 수단 (6) 을 이용하여 제 1 검사부 (T1) 및 제 2 검사부 (T2) 사이의 저항치를 산출할 수 있다.Since the current value flowing between the first inspection unit T1 and the second inspection unit T2 can be reliably measured by having the second
이 제 2 전류 검출 수단 (5) 이 갖는 전류 측정 능력은, 상기와 같은 제 1 및 제 2 검사부 (Tl, T2) 사이의 저항치를 산출하기 위해서 필요한 전류치를 측정할 수 있으면 특별히 한정되지 않고, 0.1∼20μA 의 전류치를 검출할 수 있는 것이 바람직하다. 이 제 2 전류 검출 수단 (5) 이 측정하는 전류치는, 판정 수단 (7) 으로 보내진다.The current measuring capability of the second current detecting
제 1 전류 검출 수단 (4) 은, 주로, 제 1 검사부 (피검사 패턴) 에 관련된 스파크 발생을 검출하기 위해 형성되고, 제 2 전류 검출 수단 (5) 은 제 1 검사부와 제 2 검사부 사이의 절연 저항치를 측정하기 위해서 형성되어 있다. 그러나, 사용하는 전류계의 성능에 따라서는, 1 개의 전류계에 의해서 제 1 전류 검출 수단 (4) 과 제 2 전류 검출 수단 (5) 을 겸용할 수도 있음을 알아야 한다.The first current detecting
전압 검출 수단 (6) 은, 제 1 검사부 (T1) 에 접속되어 제 1 검사부 (T1) 의 전압을 검출한다. 이 전압 검출 수단 (6) 은, 제 1 검사부 (T1) 에 가해지는 전압치를 측정할 수 있는 전압계를 이용할 수 있다. 이 전압 검출 수단 (6) 이 측정하는 전압치는, 판정 수단 (7) 으로 보내진다.The voltage detection means 6 is connected to the 1st inspection part T1, and detects the voltage of the 1st inspection part T1. This voltage detection means 6 can use the voltmeter which can measure the voltage value applied to the 1st test | inspection part T1. The voltage value measured by this voltage detection means 6 is sent to the determination means 7.
판정 수단 (7) 은, 제 1 전류 검출 수단 (4) 및 제 2 전류 검출 수단 (5) 으로부터의 측정 전류치, 및 전압 검출 수단 (6) 으로부터의 측정 전압치를 각각 수취하고, 이들 측정치를 기초로 당해 회로 기판이 불량품인지를 판정한다. 도 3 은 판정 수단 (7) 의 기능을 나타내는 개략 구성도이다. 판정 수단 (7) 은, 스파크 검출부 (71) 와, 전력 산출부 (73) 와, 저항 산출부 (74) 와, 절연 판정부 (75) 와, 송신부 (72) 를 갖고 있다.The determination means 7 receives the measured current value from the 1st current detection means 4 and the 2nd current detection means 5, and the measured voltage value from the voltage detection means 6, respectively, and based on these measured values, It is determined whether the circuit board is defective. 3 is a schematic configuration diagram showing the function of the determination means 7. The determination means 7 has a
이 판정 수단 (7) 이 실시하는 판정은, 제 1 전류 검출 수단 (4) 으로부터의 전류치를 기초로 하여 미리 설정된 기준치와 비교하고, 그 비교 결과에 따라서 양품 또는 불량품을 판정하는 스파크 검출부 (71) 를 구비함으로써 이루어진다. 이 스파크 검출부 (71) 가 실시하는 구체적인 비교 방법으로서, 예를 들어 이하의 3 가지 방법을 들 수 있다.The determination performed by this determination means 7 compares with the reference value set in advance on the basis of the current value from the first current detection means 4, and determines the good or defective product according to the comparison result. It is made by having. As a specific comparative method which this
제 1 방법으로서, 제 1 전류 검출 수단 (4) 에서 검출되는 전류치와 기준치를 직접 비교하여, 검출된 전류치가 소정치보다 큰 경우에 스파크 발생으로서 판정하는 방법이다.As a first method, it is a method of directly comparing a current value detected by the first current detecting means 4 with a reference value, and determining as spark generation when the detected current value is larger than a predetermined value.
예를 들어, 도 4 에서는, 파선으로 나타내지는 전류치의 변화가 양품 회로 기판에 있어서의 변화를 나타내고, 실선으로 나타내는 전류치의 변화가 검사 대상인 불량 회로 기판에 있어서의 변화를 나타내고 있고, 기준치 A 를 초과한 부분이 스파크 발생 지점인 것을 나타내고 있다. 이 제 1 방법을 이용하는 경우의 기준치 A 는 특별히 한정되지 않지만, 0.1∼1.0mA 로 설정된다.For example, in FIG. 4, the change in the current value represented by the broken line represents the change in the good circuit board, and the change in the current value represented by the solid line represents the change in the defective circuit board which is the inspection target, and exceeds the reference value A. It shows that one part is a spark generation point. Although the reference value A in the case of using this 1st method is not specifically limited, It is set to 0.1-1.0 mA.
한편, 이 제 1 방법에 의해 판정하는 경우에는, 전원 수단 (3) 은 가변 전압 전원으로 하고, 적당한 회로를 형성하여, 전압을 인가한 순간의 전류치의 상승을 소정치보다 초과하지 않도록 제어하는 것이 바람직하다. 이 판정 수단 (7) 은, 예를 들어, 제 1 전류 검출 수단 (4) 및 제 2 전류 검출 수단 (5) 으로부터의 측정 전류치 (아날로그값) 를 디지털 전류 데이터로 축차 변환하는 A-D 변환 회로 (도시 생략) 와, 이 디지털 전류 데이터를 기준치 A 의 디지털 기준치 데이터와 입력하여, 측정 디지털 전류 데이터가 디지털 기준치 데이터를 초과하였을 때에 논리높이 (論理高) "1" 을 출력하는 비교 회로 (도시 생략) 로 구성할 수 있다.On the other hand, in the case of judging by this first method, the power supply means 3 is a variable voltage power supply, and forms an appropriate circuit so as to control the rise of the current value at the instant of applying the voltage not to exceed the predetermined value. desirable. This determination means 7 is, for example, an AD converter circuit for sequentially converting measured current values (analog values) from the first current detection means 4 and the second current detection means 5 into digital current data. And a comparison circuit (not shown) which inputs the digital current data with the digital reference data of the reference value A and outputs a logic height "1" when the measured digital current data exceeds the digital reference data. Can be configured.
제 2 방법으로서, 미리 양품 회로 기판을 사용하여 전류치의 변화를 기준 전류 변화치 (B) 로서 구해 두고, 검사 대상인 불량 회로 기판을 사용한 경우의 전류치와 기준 전류 변화치 (B) 와의 차분을 구하여, 그 차분이 미리 설정된 허용 범위 내에 없는 경우에 스파크로서 판정하는 방법이다.As a second method, a change in the current value is obtained as a reference current change value (B) using a non-defective circuit board in advance, and the difference between the current value and the reference current change value (B) when a defective circuit board as an inspection target is used is obtained, and the difference It is a method of judging as a spark when it is not in the preset allowable range.
예를 들어, 도 5a 에서는, 파선으로 나타내는 전류치의 변화가 양품인 회로 기판에 있어서의 전류치의 변화 (기준 전류 변화치 (B)) 를 나타내고, 실선으로 나타내는 전류치의 변화가 불량품인 회로 기판에 있어서의 전류치의 변화를 나타내고 있다. 도 5b 는, 도 5a 에서 나타내는 측정 전류치와 기준 전류 변화치 (B) 와의 차분을 나타내고 있으며, 허용 범위 (C) 를 초과하는 차분이 나타나는 지점 A 가 스파크 발생 지점을 나타내고 있다. 이 제 2 방법을 이용하는 경우의 허용 범위 (C) 는 특별히 한정되지 않지만, ±0.1∼1.0mA 로 설정된다.For example, in FIG. 5A, the change in the current value (reference current change value B) in the circuit board in which the change in the current value indicated by the broken line is a good product, and in the circuit board in which the change in the current value indicated by the solid line is defective The change in the current value is shown. FIG. 5B shows the difference between the measured current value and the reference current change value B shown in FIG. 5A, and the point A at which the difference exceeding the allowable range C is shown represents the spark occurrence point. The allowable range C in the case of using this second method is not particularly limited, but is set to ± 0.1 to 1.0 mA.
이 판정 수단 (7) 은, 예를 들어, 검사 대상인 회로 기판으로부터의 측정 전류치 (아날로그값) 를 축차 디지털 전류 데이터로 변환하는 A-D 변환 회로 (도시 생략) 와, 적당한 메모리 (도시 생략) 에 미리 축적해 놓은 기준 전류 변화치 (B) 의 디지털 기준 전류 변화치 데이터와, 디지털 전류 데이터와 메모리로부터 판독된 대응하는 디지털 기준 전류 변화치 데이터를 입력하여 그 차분 데이터를 출력하는 감산 회로 (도시 생략) 와, 이 감산 회로의 후단에 있어서, 차분 데이터가 디지털 허용 범위 (C) 데이터를 초과하였을 때에 논리높이 "1" 을 출력하는 비교 회로 (도시 생략) 를 사용하여 구성할 수 있다.This determining means 7 is stored in advance in, for example, an AD conversion circuit (not shown) and a suitable memory (not shown) for converting the measured current value (analog value) from the circuit board to be examined into sequential digital current data. A subtraction circuit (not shown) which inputs the digital reference current change value data of the reference current change value B and the corresponding digital reference current change value data read from the digital current data and the memory and outputs the difference data; In the latter stage of the circuit, a comparison circuit (not shown) that outputs a logic height " 1 " when the difference data exceeds the digital allowable range (C) data can be configured.
제 3 방법으로서는, 전원 수단 (3) 에 의해 제 1 검사부 (T1) 에 전압을 인가한 다음, 소정 시간마다 전류의 변화를 산출하여, 전류치의 감소 변화로부터 증가 변화 (전류의 변화의 기울기가 제로에서 플러스) 로 변화한 경우에, 스파크로서 판정하는 방법이다.In the third method, after the voltage is applied to the first inspection unit T1 by the power supply means 3, a change in the current is calculated every predetermined time, and the increase change (the slope of the change in the current is zero) from the change in the current value. Is a method of determining as a spark.
예를 들어, 도 6 에서는, 파선으로 나타내는 전류치의 변화가 양품 회로 기판에 있어서의 변화를 나타내고, 실선으로 나타내는 전류치의 변화가 검사 대상인 불량 회로 기판에 있어서의 변화를 나타내고 있다. 파선으로 나타내는 양품의 전류치의 변화는 우측 하강의 일로를 걷고 있지만, 실선으로 나타내는 불량품의 전류치의 변화는 전류치가 증가하는 시각 (t1) 이 보여, 이 지점 A 가 스파크 발생 지점인 것을 나타내고 있다.For example, in FIG. 6, the change of the current value shown by the broken line shows the change in the good circuit board, and the change in the current value shown by the solid line shows the change in the defective circuit board which is a test object. Although the change of the current value of the good product shown by the broken line walks on the right side descent, the change of the current value of the defective product shown by the solid line shows the time t1 at which the current value increases, and it shows that this point A is a spark generation point.
예를 들어, 시각 t1 과 시각 t2 사이에 있어서, 양품에서는 전류치가 감소 (직전 전류치에 대한 변화량이 마이너스) 의 일로를 걷고 있지만, 불량품 회로 기판에서는 시각 t1 에서 전류치가 증가 (직전 전류치에 대한 변화량이 플러스) 하여 스파크가 발생하였음이 이해된다. 이 제 3 방법을 이용하는 경우의 판단 기준은, 전류치가 증가하는 경우를 검출하기 위해서 전류치의 변화가 제로 이상이면 되고, 또는 급격한 전류치의 변화만을 검출하도록 특정한 플러스의 변화치로 설정해 두는 것도 가능하다.For example, between time t1 and time t2, the current value is reduced (negative change to current value) in the good product, but the current value increases at time t1 in the defective circuit board (the amount of change to the previous current value). It is understood that a spark has occurred. The criterion in the case of using this third method is that the change in the current value may be zero or more in order to detect the case where the current value increases, or it may be set to a specific positive change value so as to detect only a sudden change in the current value.
이 판정 수단 (7) 은, 예를 들어, 검사 대상인 회로 기판으로부터의 측정 전류치 (아날로그값) 를 디지털 전류 데이터로 축차 변환하는 A-D 변환 회로 (도시 생략) 와, 이 디지털 전류 데이터를 미분 처리하는 미분 회로 (도시 생략) 와, 미분 회로의 출력 데이터가 플러스 마이너스 또는 소정의 변화치를 초과하는지 여부를 판정하기 위한 판정 회로 또는 비교 회로 (도시 생략) 에 의해서 구성할 수 있다.This determination means 7 is, for example, an AD conversion circuit (not shown) for sequentially converting the measured current value (analog value) from the circuit board to be inspected into digital current data, and the derivative for differentially processing the digital current data. The circuit (not shown) and the determination circuit or comparison circuit (not shown) for determining whether the output data of a differential circuit exceed a positive minus or predetermined value can be comprised.
다시 도 3 를 참조하면, 판정 수단 (7) 은, 상기와 같은 스파크 검출부 (71) 가 스파크를 검출한 경우에 스파크 검출 신호를 송신하는 송신부 (72) 를 구비하고 있다. 이 송신부 (72) 는, 후술하는 표시 수단 (8) 에 있어서 스파크 검출을 육안으로 가능하도록 해도 되고, 알람음 등을 이용하여 청각으로 인식할 수 있도록 해도 된다.Referring to FIG. 3 again, the determination means 7 is equipped with the
판정 수단 (7) 은, 전력 산출부 (73) 를 구비하여, 제 1 전류 검출 수단 (4) 의 전류치와 전압 검출 수단 (6) 의 전압치로부터 스파크 발생시의 전력의 추이를 산출하고 있다. 이 전력 산출부 (73) 는 조작부를 형성하여, 미리 이용자에 의해서 그 산출 방법을 설정해 두어도 되고, 스파크를 검출하였을 때에 자동적으로 산출하도록 설정해도 된다.The determination means 7 is equipped with the electric
전력 산출부 (73) 는, 예를 들어, 적당한 메모리 용량의 선입 선출 (first-in, first-out) 메모리 FIFO (도시 생략) 를 사용하여, 적당한 A-D 변환기 (도시 생략) 를 통해서 얻어지는 제 1 전류 검출 수단 (4) 으로부터의 디지털 전류 데이터와 전압 검출 수단 (6) 으로부터의 디지털 전압 데이터를 축차 축적하고, 스파크 발생으로부터 소정 시간에 이들 데이터의 축적을 스톱하는 수단 (도시 생략) 을 형성함으로써, 스파크 발생 직후의 소정 시간의 전류 데이터 및 전압 데이터를 확보할 수 있다. 이 전력 산출부 (73) 를 구비함으로써, 스파크 발생 직후의 소정 시간의 전류 데이터 및 전압 데이터 그리고 선출 수단 (2) 이 어느 배선을 피검사 패턴으로서 선출하고 있었는지의 데이터 등을 이용하여, 스파크 검출 시각, 피검사 패턴, 전력의 시간적 추이, 스파크의 크기, 절연 파괴 등의 상황을 알 수 있다.The
또, 이 판정 수단 (7) 은 저항 산출부 (74) 를 구비하여, 제 2 전류 검출 수 단 (5) 과 전압 검출 수단 (6) 으로부터 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 사이의 저항치를 산출한다. 저항 산출부 (74) 는, 예를 들어, 제 2 전류 검출 수단 (5) 으로부터의 측정 전류치와 전압 검출 수단 (6) 으로부터의 측정 전압치를 적당한 A-D 변환기 (도시 생략) 에 의해 디지털 전류치와 디지털 전압치로 변환하고, 제산 (除算) 회로 (도시 생략) 를 이용하여 저항치 데이터를 구하는 것이 가능하다.Moreover, this determination means 7 is equipped with the
이와 같이 저항 산출부 (74) 와 절연 판정부 (75) 를 구비함으로써, 스파크 검출 검사를 실시함과 동시에 절연 저항 산출을 실시할 수 있다. 판정 수단 (7) 은, 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 가 절연 상태에 있는지 여부를 판정한다. 판정 수단 (7) 은, 예를 들어, 저항치 데이터와 기준 저항치 데이터를 입력하는 비교기 (도시 생략) 를 사용하여 판정할 수 있다.By providing the
한편, 이들 전력 산출부 (73), 저항 산출부 (74) 및 절연 판정부 (75) 의 산출 결과는 송신부 (72) 로 보내지고 표시 수단 (8) 에 의해 표시된다.On the other hand, the calculation results of these
표시 수단 (8) 은, 제 1 전류 검출 수단 (4), 제 2 전류 검출 수단 (5), 전압 검출 수단 (6), 전력 산출부 (73), 저항 산출부 (74) 및 절연 판정부 (75) 에 있어서 검출 또는 산출된 전류치, 전압치, 저항치, 전력치 등과, 스파크의 유무나 절연의 양부 판정 결과와 회로 기판의 양품이나 불량품 판정 결과를 화면 상에 표시할 수 있다. 또한, 이 표시 수단 (8) 은, 상기와 같은 수치나 상태를 시계열적으로 그래프나 표로 하여 표시할 수도 있다. 이와 같이 시계열적으로 표시함으로써, 절연 검사 장치 (1) 의 이용자가 육안으로 보아 스파크의 발생 상황이나 크기를 확인할 수 있게 되기 때문이다.The display means 8 includes a first current detecting
이상이 본 발명에 관련된 절연 검사 장치 (1) 의 실시형태의 구성에 대한 설명이다.The above is description of the structure of embodiment of the
[절연 검사 방법][Insulation test method]
도 7 은, 본 발명에 관련된 절연 검사 장치의 검사 방법의 일례를 나타내는 플로우차트이다. 이 검사 방법을 실행하는 컴퓨터 프로그램은, 예를 들어 기억 수단 (10) 에 축적되어 있고, 이 절연 검사는, 제어 수단 (9) 의 제어 하에서 실행된다.7 is a flowchart showing an example of the inspection method of the insulation inspection apparatus according to the present invention. A computer program for executing this inspection method is stored in the storage means 10, for example, and this insulation inspection is executed under the control of the control means 9.
우선, 검사 대상인 회로 기판을 본 절연 검사 장치 (1) 에 설치하고, 스파크를 검출하기 위한 소정치가 설정된다 (S1). 여기서는 스파크 검출 방법으로서 상술한 제 2 방법을 예시하여 설명하지만, 이 방법에 한정되는 것은 아니다. 한편, 제 2 방법을 이용하기 위해서, 양품에 의한 전류 변화치인 기준 전류 변화치 (B) 의 디지털 기준 전류 변화치 데이터 및 양품으로 판정하기 위한 디지털 허용 범위 (C) 데이터를 기억 수단 (10) 에 설정해 둔다.First, the circuit board which is a test object is provided in this
대상이 되는 회로 기판의 검사가 시작된다.Inspection of the target circuit board is started.
우선, 선출 수단 (2) 에 의해서, 검사 대상인 복수의 배선 패턴으로부터 제 1 검사부 (피검사 패턴) (T1) 가 되는 배선 패턴을 선출함과 함께, 나머지 배선 패턴을 제 2 검사부 (T2) 로서 선출한다 (S2). 제 1 검사부는, SW2 를 통해서 제 1 및 제 2 전류 검출 수단에 접속된다. 제 2 검사부를 구성하는 패턴은, SWl 을 통해서 전원 수단 (3) 에 각각 접속된다. 이 때, 제 2 검사부 (T2) 를 형성 하는 복수의 배선 패턴은 서로 병렬 접속되어 있다.First, the selection means 2 selects a wiring pattern to be the first inspection part (inspection pattern) T1 from a plurality of wiring patterns to be inspected, and selects the remaining wiring pattern as the second inspection part T2. (S2). The first inspection unit is connected to the first and second current detection means via SW2. The patterns constituting the second inspection unit are connected to the power source means 3 via SWl, respectively. At this time, the some wiring pattern which forms the 2nd test part T2 is connected in parallel with each other.
회로 기판의 배선 패턴이 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 의 2 개의 그룹으로 선출된 후, 전원 수단 (3) 에 의해 소정 전압이 제 2 검사부 (T2) 에 인가된다 (S3).After the wiring pattern of the circuit board is selected into two groups of the first inspection unit T1 and the second inspection unit T2, a predetermined voltage is applied to the second inspection unit T2 by the power supply unit 3 (S3). .
이 상태에서, 제 1 검사부 (T1) 에 접속되어 있는 제 1 전류 검출 수단 (4), 제 2 전류 검출 수단 (5) 및 전압 검출 수단 (6) 은, 제 1 검사부 (T1) 의 전류 및 전압을 각각 측정한다 (S4). 이들 제 1 전류 검출 수단 (4), 제 2 전류 검출 수단 (5) 및 전압 검출 수단 (6) 이 측정하는 전류치 및 전압치는 판정 수단 (7) 으로 보내진다.In this state, the first current detecting
판정 수단 (7) 의 스파크 검출부 (71) 는, 제 1 전류 검출 수단 (4) 에 의해 측정되는 전류치와 소정 기준치에 기초하여 그 차분 데이터를 산출한다 (S5).The
그 차분 데이터가 허용 범위 (C) 데이터에 존재하고 있는지 여부가 판정된다 (S6).It is determined whether the difference data exists in the allowable range (C) data (S6).
이 차분 데이터가 허용 범위 (C) 데이터 내인 경우, 스파크 없음 (스파크 검출되지 않음) 으로 판정되고 (S7), 한편, 차분 데이터가 허용 범위 (C) 데이터 밖인 경우, 스파크가 검출된 것으로 판정된다 (S8).When the difference data is within the allowable range (C) data, it is determined that there is no spark (no spark detection) (S7), while on the other hand, when the difference data is outside the allowable range (C) data, it is determined that a spark is detected ( S8).
단계 S8 에서, 스파크 있음으로 판정된 경우, 당해 회로 기판은 불량품으로서 판정된다 (S10). 스파크 발생의 경우에는, 송신부 (72) 에 의해 표시 수단 (8) 상에서 표시되게 된다.If it is determined in step S8 that there is a spark, the circuit board is determined as defective (S10). In the case of spark occurrence, it is displayed on the display means 8 by the
스파크가 검출되지 않은 경우에는, 절연 판정부 (75) 는, 제 2 전류 검출 수 단 (5) 으로부터 얻어진 전류치 데이터 및 전압 검출 수단 (6) 으로부터 얻어진 전압치 데이터에 근거하여, 절연 검사를 실시한다 (S9). 이 절연 검사에서는, 제 2 전류 검출 수단 (5) 과 전압 검출 수단 (6) 으로부터의 전류치와 전압치를 이용하여, 판정 수단 (7) 의 저항 산출부 (74) 에 의해서 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 사이의 저항이 산출된다. 한편, 이 플로우차트에서는, 스파크 검사의 종료마다 절연 검사를 실시하는 검사 공정을 나타내고 있지만, 절연 검사를 스파크 검사 전에 실시해도 되고, 스파크 검사와 절연 검사를 동시에 실시하는 검사 공정이어도 된다.When no spark is detected, the
이 저항 산출부 (74) 에 의해 산출된 저항치 데이터가 절연 판정부 (75) 로 보내진다. 이 절연 판정부 (75) 는, 산출된 저항치 데이터와 미리 설정되는 기준 저항치 데이터를 비교하여, 절연 상태를 판정한다. 산출된 저항치 데이터가 기준 저항치 데이터 이상이면 절연 상태인 것으로 판정하여, 당해 회로 기판은 양품으로 판정되고 (S11), 산출된 저항치 데이터가 기준 저항치 데이터 미만이면 절연 상태가 아닌 것으로 판정되어 (S12), 당해 회로 기판을 불량품으로서 판정한다 (S10).The resistance value data calculated by this
불량품으로 판정된 경우에는, 스파크 검출시와 동일하게, 송신부 (72) 에 의해 표시 수단 (8) 상에서 표시된다.When it is determined that the defective product is, it is displayed on the display means 8 by the transmitting
스파크 검사와 절연 검사의 양쪽이 완료되면, 다음의 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 가 선출 수단 (2) 에 의해 선출되고, 모든 배선 패턴이 제 1 검사부 (T1) 로서 검사가 실시될 때까지 반복해서 검사가 실시된다 (S13).When both the spark inspection and the insulation inspection are completed, the next first inspection portion T1 and the second inspection portion T2 are elected by the election means 2, and all the wiring patterns are inspected as the first inspection portion T1. Inspection is repeatedly performed until it is performed (S13).
한편, 표시 수단 (8) 상에서 스파크 발생에 의해 불량품이라는 내용이 통지되면, 이용자에 의해 또는 자동적으로, 제 1 전류 검출 수단 (4) 으로부터 얻어진 전류치 데이터와 전압 검출 수단 (6) 으로부터 얻어진 전압치 데이터로부터 판정 수단 (7) 의 전력 산출부 (73) 가 전력치 데이터를 산출한다. 이 때, 산출된 전력치 데이터는, 표시 수단 (8) 상에서 표시된다.On the other hand, when the content of defective goods is notified by spark generation on the display means 8, the current value data obtained from the first current detection means 4 and the voltage value data obtained from the voltage detection means 6 by the user or automatically. From the
이 때문에, 본 절연 검사 장치 (1) 의 이용자는, 스파크 발생시에 있어서 바로 스파크의 크기 등을 육안에 의해 확인하는 것이 가능해진다. 이상이, 본 발명에 관련된 절연 검사 방법의 실시형태에 대한 설명이다.For this reason, the user of this
[본 실시형태에 관련된 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법의 이점]Advantages of Insulation Testing Apparatus and Insulation Testing Method According to the Present Embodiment
(1) 종래의 절연 검사 장치에서는, 예를 들어, 배선 패턴과 이 배선 패턴에 접촉되는 프로브 (컨택트 핀 (CP)) 가 접속 불량이었던 경우, 이들 배선 패턴과 프로브 사이에서 스파크가 발생하여 전압 강하가 발생하였을 때에 회로 기판에 있어서의 배선 패턴 사이의 스파크로서 검출되는 경우가 있었다. 또, 배선 패턴과 이 배선 패턴 근방의 금속 프레임 사이에서 스파크가 발생되어 있던 경우에도 마찬가지로, 회로 기판에 있어서의 배선 패턴 사이의 스파크로서 검출되는 경우가 있었다. 즉, 회로 기판 상에서 발생하는 모든 스파크를 배선 패턴 사이에서 발생한 스파크로서 검출하고 마는 문제점을 갖고 있었다.(1) In the conventional insulation inspection apparatus, for example, when a wiring pattern and a probe (contact pin CP) in contact with the wiring pattern are poor in connection, sparks are generated between these wiring patterns and the probe and the voltage drops. Was detected as a spark between wiring patterns in a circuit board. Moreover, also when a spark generate | occur | produced between a wiring pattern and the metal frame of this wiring pattern vicinity, it detected similarly as a spark between the wiring patterns in a circuit board. That is, there was a problem in that all the sparks generated on the circuit board were detected as sparks generated between the wiring patterns.
본 실시형태의 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법에 의하면, 제 2 검사부에만 전압을 인가하게 되기 때문에, 전위차가 제 1 검사부와 제 2 검사부 사이에서만 발생하게 된다. 제 1 검사부에 접속되는 전류 검출 수단은, 이 제 1 검사부와 제 2 검사부 사이에 흐르는 전류만을 검출하게 되고, 제 1 검사부와 제 2 검사부 중 어느 하나의 배선 패턴과의 사이의 스파크만을 검출한다.According to the insulation inspection apparatus and insulation inspection method of this embodiment, since a voltage is applied only to a 2nd inspection part, a potential difference arises only between a 1st inspection part and a 2nd inspection part. The current detection means connected to the first inspection unit detects only the current flowing between the first inspection unit and the second inspection unit, and detects only the spark between the wiring pattern of any one of the first inspection unit and the second inspection unit.
(2) 종래의 절연 검사 장치에는, 예를 들어 장치를 형성하기 위한 회로 소자의 형편 상, 인가 전압의 급격한 변화에 동반하여 전압 강하를 검출하는 것이 불가능해지기 때문에, 반드시 인가 전압을 소정 전압치까지 증가시키는 검사 시간을 충분히 길게 설정할 필요가 있었다. 이 때문에, 결과적으로 스파크 검출을 실시하는 데 필요한 검사 시간이 길어지는 결과를 초래하고 있었다.(2) In the conventional insulation inspection apparatus, it is impossible to detect the voltage drop accompanying a sudden change in the applied voltage, for example, on the convenience of a circuit element for forming the device. It was necessary to set the inspection time to increase long enough. As a result, this has resulted in an increase in the inspection time required to perform spark detection.
본 실시형태의 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법에 의하면, 전류치가 소정치보다 큰 경우에 스파크가 발생하여, 불량품으로 판정하기 때문에, 보다 단시간에 효율적으로 판정하는 것을 가능하게 한다.According to the insulation inspection apparatus and insulation inspection method of this embodiment, when a current value is larger than predetermined value, a spark will generate | occur | produce and it will determine that it is a defective article, and it becomes possible to determine more efficiently in a short time.
또, 본 실시형태의 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법에 의하면, 절연 검사 장치가 제 1 전류 검출 수단과 상이한 레인지를 갖는 제 2 전류 검출 수단을 갖기 때문에, 제 1 전류 검출 수단에서 스파크를 검출하고, 제 2 전류 검출 수단에서 리크 전류를 검출하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 절연 검사와 스파크 검출 검사를 동시에 실시하는 것이 가능해져, 검사 시간을 더욱 더 단축할 수 있게 된다.Moreover, according to the insulation inspection apparatus and insulation inspection method of this embodiment, since an insulation inspection apparatus has the 2nd current detection means which has a range different from a 1st current detection means, a spark is detected by a 1st current detection means, The leak current can be detected by the second current detecting means. For this reason, insulation inspection and spark detection inspection can be performed simultaneously, and inspection time can be further shortened.
(3) 종래의 절연 검사 장치에는, 예를 들어, 스파크 검출 방법에 관하여, 전압 변화의 추이를 관찰하여 전압 강하를 검출함으로써 스파크 검출을 실시할 뿐으로, 발생한 스파크의 상황이나 크기를 해석하는 것은 불가능하였다.(3) In the conventional insulation inspection apparatus, for example, in the spark detection method, the spark detection is performed only by observing the change in the voltage change and detecting the voltage drop, and it is impossible to analyze the situation and magnitude of the generated spark. It was.
본 실시형태의 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법에 의하면, 절연 검사 장치가 전류 검출 수단, 전압 검출 수단 및 표시 수단을 갖기 때문에, 스파크를 검출한 경우의 전류 및 전압의 변화의 모습을 표시 장치로 표시하는 것이 가능해짐과 함께, 스파크의 크기 (전력) 를 산출하여 표시하는 것도 가능해진다. 이 때문에, 이용자에게 스파크의 상황을 시각적으로 표시할 수 있어, 스파크의 상태를 용이하게 파악시키는 것을 가능하게 한다.According to the insulation inspection apparatus and insulation inspection method of this embodiment, since an insulation inspection apparatus has a current detection means, a voltage detection means, and a display means, the state of the change of the electric current and voltage at the time of detecting a spark is displayed by a display apparatus. In addition to this, the size (power) of the spark can be calculated and displayed. For this reason, the state of a spark can be displayed visually to a user, and it becomes possible to grasp | ascertain the state of a spark easily.
(4) 특히 최근에서는, 회로 기판의 복잡화가 진행되어, 배선 패턴의 복잡화가 진행되고 있다. 이 배선 패턴의 복잡화에 동반하여 배선 패턴 자체의 면적 (네트의 크기) 이 증가하고 있다. 이것에 의해, 배선 패턴에 전압을 인가하면, 배선 패턴 스스로가 전하를 축적하여, 스파크를 발생하기 쉽게 되어 있었다. 또, 회로 기판 자체의 미세화로 인해, 회로 기판 자체에 내재하는 이물에 의한 스파크도 발생하기 쉽게 되어 있었다.(4) Especially in recent years, the complexity of a circuit board advances and the complexity of a wiring pattern is advanced. In connection with the complexity of the wiring pattern, the area (size of the net) of the wiring pattern itself is increasing. As a result, when a voltage is applied to the wiring pattern, the wiring pattern itself accumulates electric charges, and it is easy to generate sparks. In addition, due to the miniaturization of the circuit board itself, sparks due to foreign matter inherent in the circuit board itself tend to occur.
본 실시형태의 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법에 의하면, 배선 패턴이 복잡하더라도, 또한 배선 패턴 자체가 전하를 띠고 있었다고 해도 제 1 전류 검출 수단이 그 영향을 받는 일이 없고, 배선 패턴 사이의 전류만을 측정하게 된다.According to the insulation inspection apparatus and the insulation inspection method of this embodiment, even if the wiring pattern is complicated and the wiring pattern itself is charged, the first current detecting means is not affected by the current, and only the current between the wiring patterns is affected. Will be measured.
그리고, 본 실시형태의 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법에 의하면, 제 2 검사부는, 제 1 검사부의 배선 패턴 이외의 복수의 그 배선 패턴이 모두 병렬 접속되어 형성되어 있기 때문에, 제 2 검사부 사이에서 스파크가 발생하는 것을 방지한다. 이 때문에, 검사 대상 이외의 배선 패턴에 있어서의 스파크 발생을 방지하는 것을 가능하게 한다.And according to the insulation inspection apparatus and insulation inspection method of this embodiment, since all the wiring patterns other than the wiring pattern of the 1st inspection part are formed in parallel connection, the 2nd inspection part is sparked between 2nd inspection parts. To prevent it from happening. For this reason, it becomes possible to prevent the spark generation in wiring patterns other than a test object.
또한, 본 실시형태의 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법에 의하면, 제 2 검사부에만 전압을 인가하게 되기 때문에, 전위차가 제 1 검사부와 제 2 검사부 사이 에만 발생하게 된다. 이 때문에, 제 1 검사부에 접속되는 제 1 전류 검출 수단은, 이 제 1 검사부와 제 2 검사부 사이에 흐르는 전류만을 검출하게 되어, 제 1 검사부와 제 2 검사부 중 어느 하나의 배선 패턴과의 스파크 발생을 검출하는 것을 가능하게 한다. 이 때문에, 검사 대상이 되는 배선 패턴 사이 이외의 스파크 (의사 스파크) 가 발생하더라도 스파크로서 검출하는 것을 방지할 수 있음과 함께, 배선 패턴이 복잡하거나 배선 패턴 자체에서 전하를 띠더라도 영향을 받는 일이 없다.In addition, according to the insulation inspection apparatus and insulation inspection method of this embodiment, since voltage is applied only to a 2nd inspection part, a potential difference arises only between a 1st inspection part and a 2nd inspection part. For this reason, the 1st current detection means connected to a 1st inspection part detects only the electric current which flows between this 1st inspection part and a 2nd inspection part, and the spark generate | occur | produces with the wiring pattern of any one of a 1st inspection part and a 2nd inspection part. Makes it possible to detect. For this reason, even if a spark (pseudo spark) other than the wiring pattern to be inspected occurs, it can be prevented from being detected as a spark, and it is not affected even if the wiring pattern is complicated or the electric charge is generated in the wiring pattern itself. none.
이와 같이, 본 실시형태의 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법은, 복수의 배선 패턴이 형성되는 회로 기판의 절연 검사를 실시하는 장치와 방법으로서, 복잡한 배선 패턴이더라도 배선 패턴 사이의 스파크를 보다 정확하게 또한 그 스파크의 상황을 적확하게 검출할 수 있으며, 또, 종래에 비하여 검사 시간을 단시간으로 할 수 있다.Thus, the insulation inspection apparatus and insulation inspection method of this embodiment are apparatuses and methods for performing insulation inspection of a circuit board on which a plurality of wiring patterns are formed. The state of a spark can be detected correctly, and a test time can be made into a short time compared with the former.
[대체예 등][Alternative example]
이상, 본 발명에 관련된 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법의 실시형태를 설명하였는데, 본 발명은 이 실시형태에 구속되지 않는다. 당업자가 용이하게 달성할 수 있는 추가, 삭제, 개변 등이 본 발명에 포함됨을 알아야 한다.As mentioned above, although embodiment of the insulation inspection apparatus and insulation inspection method which concern on this invention was described, this invention is not restrained by this embodiment. It should be understood that additions, deletions, modifications, and the like, which can be easily accomplished by those skilled in the art, are included in the present invention.
(1) 회로 기판 (CB) 에 형성된 패턴 (P) 으로서 5 종류의 배선 패턴을 예시하고 있다. 그러나, 배선 패턴 (P) 은, 이들 5 종류에 한정되는 것은 아니고, 배선 패턴의 종류, 개수, 위치, 크기, 형상 등도 도시된 배선 패턴에 한정되지 않는다. 회로 기판 (CB) 은, 배선 패턴이 경유구멍 (비아홀) 을 경유하여 복수 층으로 넓어지는 다층 기판도 대상으로 한다.(1) Five types of wiring patterns are illustrated as the pattern P formed in the circuit board CB. However, wiring pattern P is not limited to these five types, The kind, number, position, size, shape, etc. of wiring pattern are not limited to the wiring pattern shown, either. The circuit board CB also targets a multilayer board in which the wiring pattern is widened into a plurality of layers via the via hole (via hole).
(2) 제어 수단 (9) 의 선출 수단 (2), 판정 수단 (7), 기억 수단 (10) 등에 있어서 각각의 구성 회로를 예시하였지만, 이들에 한정되는 것은 아니다. 개개의 수단의 목적을 달성할 수 있는 그 밖의 회로를 사용할 수 있다.(2) Although each constituent circuit was illustrated in the selection means 2, the determination means 7, the storage means 10, etc. of the control means 9, it is not limited to these. Other circuits can be used that can achieve the purpose of the individual means.
(3) 회로 기판 (CB) 에 형성된 패턴 (P) 을, 단일의 제 1 검사부 (피검사 패턴) 와 제 1 검사부 이외의 제 2 검사부 (피검사 패턴 이외의 모든 배선 패턴)) 로서 설명하였다. 그러나, 절연 검사 장치는, 피검사 패턴과, 이것에 인접하여 절연 불량을 발생하는 패턴 사이에서 실시하는 검사이다. 이 목적을 달성할 수 있는 범위에서, 「피검사 패턴 이외의 모든 배선 패턴」은 탄력적으로 해석해야 한다.(3) The pattern P formed in the circuit board CB was described as a single first inspection part (inspection pattern) and a second inspection part (all wiring patterns other than the inspection pattern) other than the first inspection part. However, an insulation inspection apparatus is an inspection performed between the to-be-tested pattern and the pattern which generate | occur | produces an insulation defect adjacent to this. In the range which can achieve this objective, "all wiring patterns other than the to-be-tested pattern" should be analyzed flexibly.
즉, 제 2 검사부를 「피검사 패턴 이외의 모든 배선 패턴」으로 하고 있지만, 피검사 패턴에 인접하여 절연 불량을 발생할 우려가 없는 패턴을 제 2 검사부로부터 제외시켰다고 해도, 본 발명의 대상임을 알아야 한다. 예를 들어, 회로 기판 (CB) 의 배선이 블록으로 분할되어 있고, 블록 사이에서는 패턴 상호가 분리되어 절연 불량을 발생할 우려가 없는 경우에는, 단일 블록 내에서 제 1 검사부 및 제 2 검사부가 정의된다.That is, although the second inspection unit is set to "all wiring patterns other than the inspection pattern", it should be understood that the present invention is the object of the present invention even if a pattern which is not likely to cause an insulation defect adjacent to the inspection pattern is excluded from the second inspection unit. . For example, when the wiring of the circuit board CB is divided into blocks, and the patterns are separated from each other and there is no fear of insulation failure, the first inspection unit and the second inspection unit are defined in a single block. .
마찬가지로, 인접 패턴에 접근할 우려가 없는 패턴을 제외하고, 절연 검사하는 경우에도 이들 패턴은, 제 1 검사부 및 제 2 검사부의 대상이 되지 않는다.Similarly, these patterns do not become a target of the 1st inspection part and a 2nd inspection part also in the case of insulation inspection except the pattern which does not approach the adjacent pattern.
또, 본 발명의 기술적 범위로부터 벗어나기 위해서, 아무런 목적 또는 효과없이 제 2 검사부로부터 몇가지 패턴을 빼도록 하더라도, 이러한 실시품은 본 발명 의 대상이다.Further, in order to depart from the technical scope of the present invention, even if some patterns are removed from the second inspection unit without any object or effect, such an embodiment is the object of the present invention.
(4) 또, 본 발명의 대상에는, 컴퓨터 (9) 에 이 절연 검사 방법을 실행시키는 컴퓨터 프로그램 및 이것을 기록한 기록 매체도 포함된다.(4) The object of the present invention also includes a computer program for causing the
(5) 각 검사 단계에서, 제 2 검사부 (T2) 에 대하여 전원 수단 (3) 으로부터 소정 전압이 인가된다. 따라서, 각 검사 단계에서, 제 2 검사부 (T2) 에 충전된 전하를 방전하는 단계를 형성해도 된다.(5) In each inspection step, a predetermined voltage is applied from the power supply means 3 to the second inspection unit T2. Therefore, in each inspection step, a step of discharging the electric charge charged in the second inspection unit T2 may be formed.
(6) 절연 검사 장치 (1) 가 실행하는 검사는, 회로 기판 (CB) 의 패턴 (P) 을 소정의 규칙에 따라서 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 로서 선출하고, 제 2 검사부 (T2) 에 대하여 소정 전압을 인가하여 제 1 검사부 (T1) 와 제 2 검사부 (T2) 사이에 소정 전위차를 발생시킨 상태에서 제 1 검사부 (T1) 에 흐르는 전류를 검출함으로써 절연 검사를 실행하고 있다. 여기서, 제 1 검사부는, 선출된 검사 대상이 되는 단일의 배선 패턴으로 이루어지고, 제 2 검사부 (T2) 는, 제 1 검사부 (T1) 이외의 모든 배선 패턴으로 이루어진다. 검사는, 각 배선 패턴을 제 1 검사부로서 순차 선출하여, 그 때마다 제 2 검사부와의 사이에서 절연 검사를 실시하고, 모든 배선 패턴을 제 1 검사부로서 선출하여 검사하였을 때에 종료된다.(6) The inspection performed by the
이 때문에, 단일의 배선 패턴으로 이루어지는 제 1 검사부 (T1) 에 흐르는 누설 전류를 검출하기 위해서, 도 1, 도 2a 및 도 2b 에서는, 단일의 배선 패턴 (T1) 과 접지 (어스) 지점과의 사이에, 제 1 전류 검출 수단 (4) 및 제 2 전류 검출 수단 (5) 을 접속시키고 있다.For this reason, in order to detect the leakage current which flows into the 1st test | inspection part T1 which consists of a single wiring pattern, in FIG. 1, FIG. 2A and FIG. 2B, between the single wiring pattern T1 and the ground (earth) point. The first current detecting
그러나, 제 1 전류 검출 수단 (4) 및 제 2 전류 검출 수단 (5) 의 접속 지점은 이것에 한정되지 않는다. 단일의 배선 패턴으로 이루어지는 제 1 검사부 (T1) 에 흐르는 누설 전류는, 전원 수단 (3) 으로부터 제 2 검사부 (T2) 에 대하여 소정의 전압이 인가되고, 제 1 검사부 (T1) 에 절연 불량이 있는 경우에 발생하는 누설 전류이다. 제 1 검사부 (T1) 에 절연 불량이 없는 경우에는, 전원 수단 (3) 으로부터 제 2 검사부 (T2) 에 대하여 소정의 전압이 인가되더라도 제 1 검사부 (T1) 에는 전류가 흐르지 않는다.However, the connection point of the 1st current detection means 4 and the 2nd current detection means 5 is not limited to this. As for the leakage current which flows into the 1st test | inspection part T1 which consists of a single wiring pattern, a predetermined voltage is applied to the 2nd test | inspection part T2 from the power supply means 3, and the 1st test part T1 has insulation failure. Leakage current that occurs in the case. If there is no insulation failure in the first inspection unit T1, no current flows to the first inspection unit T1 even if a predetermined voltage is applied from the power supply means 3 to the second inspection unit T2.
따라서, 제 1 전류 검출 수단 (4) 및 제 2 전류 검출 수단 (5) 중 어느 일방 또는 양방을 전원 수단 (3) 과 제 2 검사부 (T2) 사이에 접속하여, 제 2 검사부 (T2) 에 흐르는 전류를 검출함으로써 제 1 검사부 (T1) 의 절연 불량 유무를 검출할 수 있다. 즉, 제 1 전류 검출 수단 (4) 및 제 2 전류 검출 수단 (5) 중 어느 일방 또는 양방은, 도 1, 도 2a 및 도 2b 에서, 전원 수단 (3) 과 각 제 2 검사부 (T2) 의 분기점 사이에 접속해도 된다. 이 경우에도, 제 1 전류 검출 수단 (4) 및 제 2 전류 검출 수단 (5) 이 검출한 전류 데이터는 제어 수단 (9) 으로 보내진다.Therefore, any one or both of the first current detecting
본 발명의 기술적 범위는, 첨부하는 특허청구범위의 기재에 의해서 정해진다.The technical scope of the present invention is determined by the description of the appended claims.
Claims (10)
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JP6069884B2 (en) * | 2012-05-08 | 2017-02-01 | 日本電産リード株式会社 | Insulation inspection method and insulation inspection apparatus |
JP5727976B2 (en) * | 2012-07-31 | 2015-06-03 | ヤマハファインテック株式会社 | Printed circuit board insulation inspection apparatus and insulation inspection method |
TWI498571B (en) * | 2013-03-29 | 2015-09-01 | Nidec Read Corp | Method and apparatus of inspecting insulation |
JP6137536B2 (en) * | 2013-04-26 | 2017-05-31 | 日本電産リード株式会社 | Substrate inspection apparatus and substrate inspection method |
JP6182974B2 (en) * | 2013-05-20 | 2017-08-23 | 日本電産リード株式会社 | Board inspection method |
JP2015001470A (en) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | 日本電産リード株式会社 | Substrate testing device |
JP6229877B2 (en) * | 2013-08-27 | 2017-11-15 | 日本電産リード株式会社 | Inspection device |
JP6229876B2 (en) | 2013-08-27 | 2017-11-15 | 日本電産リード株式会社 | Inspection device |
JP6252106B2 (en) * | 2013-10-31 | 2017-12-27 | 日本電産リード株式会社 | Contact maintenance method and inspection device |
JP2015111082A (en) * | 2013-12-06 | 2015-06-18 | 富士通テレコムネットワークス株式会社 | Wiring tester, wiring test method and reference value measurement device |
CN103743954A (en) * | 2013-12-27 | 2014-04-23 | 北京天诚同创电气有限公司 | Insulation performance detecting device |
DE102014205918A1 (en) * | 2014-03-31 | 2015-10-01 | Robert Bosch Gmbh | Method for testing an isolation device |
JP6421463B2 (en) * | 2014-06-02 | 2018-11-14 | 日本電産リード株式会社 | Substrate inspection apparatus and substrate inspection method |
CN104749543B (en) * | 2015-03-26 | 2019-01-01 | 苏州朗博校准检测有限公司 | A kind of calibration method of plug comprehensive tester |
JP7009814B2 (en) * | 2017-07-27 | 2022-02-10 | 日本電産リード株式会社 | Insulation inspection equipment and insulation inspection method |
JP6907790B2 (en) * | 2017-08-07 | 2021-07-21 | トヨタ自動車株式会社 | Inspection method and manufacturing method of power storage device |
JP7517680B2 (en) * | 2020-04-15 | 2024-07-17 | ヤマハファインテック株式会社 | Inspection device and inspection method |
TWI779649B (en) * | 2021-06-07 | 2022-10-01 | 祁昌股份有限公司 | Testing system, judging device, testing method for testing insulation of a circuit board, and computer-readable recording medium thereof |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999028756A1 (en) | 1997-12-02 | 1999-06-10 | Advantest Corporation | Method of measuring current while applying a voltage and apparatus therefor |
JP2000346898A (en) | 1999-03-26 | 2000-12-15 | Fujitsu Ltd | Inspecting device for wiring board and its inspection method |
JP2003172757A (en) | 2001-09-26 | 2003-06-20 | Nidec-Read Corp | Insulation inspection device and insulation inspection method of circuit board |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2695687A (en) * | 1952-07-02 | 1954-11-30 | Warner Electric Brake & Clutch | Magnetic friction device with replaceable friction face |
KR20000070650A (en) * | 1999-07-30 | 2000-11-25 | 오우라 히로시 | Applied-voltage-based current measuring method and device |
KR100877243B1 (en) * | 2001-02-19 | 2009-01-07 | 니혼 덴산 리드 가부시끼가이샤 | A circuit board testing apparatus and method for testing a circuit board |
TWI221925B (en) * | 2002-05-17 | 2004-10-11 | Nihon Densan Read Kabushiki Ka | Apparatus and method for examining insulation of circuit board |
-
2006
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999028756A1 (en) | 1997-12-02 | 1999-06-10 | Advantest Corporation | Method of measuring current while applying a voltage and apparatus therefor |
JP2000346898A (en) | 1999-03-26 | 2000-12-15 | Fujitsu Ltd | Inspecting device for wiring board and its inspection method |
JP2003172757A (en) | 2001-09-26 | 2003-06-20 | Nidec-Read Corp | Insulation inspection device and insulation inspection method of circuit board |
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