KR20230089427A - Insulation inspection device and method - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an insulation inspection device and may comprise: switching means for selecting a wiring pattern to be inspected from a plurality of wiring patterns as a first measurement unit and selecting a wiring pattern having an insulation defect with the first measurement unit as a second measurement unit; power means for supplying a predetermined electrical signal between the first measurement unit and the second measurement unit; measurement means for measuring electrical characteristics when an electric signal is supplied between the first measurement unit and the second measurement unit by power means; and calculation means for calculating electrical characteristics of an insulation defective part of the first measurement unit and the second measurement unit based on the electrical signal supplied by the power means and the measurement value measured by the measurement means. Accordingly, the resistance value of only the insulation defective part can be calculated.

Description

절연 검사 장치 및 절연 검사 방법{Insulation inspection device and method}Insulation inspection device and method

본 발명은 복수의 회로 패턴이 형성되는 회로 기판에 대한 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법에 관한 것일 수 있다. The present invention may relate to an insulation inspection device and an insulation inspection method for a circuit board on which a plurality of circuit patterns are formed.

최근에는 기판의 미세화에 수반하여, 기판에 형성되는 배선 패턴의 미세화나 복잡화가 진행되어, 배선 패턴 사이의 피치가 짧아짐과 함께, 그 제조 공정이 복잡화되고 있고, 종래의 절연 검사 수법에서는 발견할 수 없는 절연 불량이 문제가 되고 있다.In recent years, along with the miniaturization of substrates, the miniaturization and complexity of wiring patterns formed on substrates have progressed, the pitch between wiring patterns has been shortened, and the manufacturing process has become complicated, which cannot be found in conventional insulation inspection techniques. Insulation failure is becoming a problem.

단락 불량을 갖는 기판은 그대로 폐기 처리되는 것이 보통이지만, 최근 배선 패턴의 선폭이나 그 피치폭이 짧게 형성됨으로써, 불량의 발생 확률이 오르고 있고, 불량품률이 기판 제조의 비용에 영향을 미치는 문제가 발생하고 있다. 이 때문에, 기판의 제조 메이커에서는 양품률을 어떻게 향상시킬지가 큰 문제로 되고 있어, 불량의 해석을 실시하는 것은 중요한 요소로 되고 있다.Boards with short-circuit defects are usually discarded as they are, but in recent years, as the line width and pitch width of wiring patterns have been shortened, the probability of occurrence of defects has increased, resulting in a problem that the defective product rate affects the cost of manufacturing the board. are doing For this reason, how to improve the yield rate is a big problem for manufacturers of substrates, and it is an important factor to analyze defects.

본 발명은 절연 검사 장치는, 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 배선 패턴을 제1 측정부로서 선출하고, 상기 제1 측정부와 절연 불량을 갖는 배선 패턴을 제2 측정부로서 선출하는 스위칭 수단; 제1 측정부와 상기 제2 측정부 사이에 소정의 전기 신호를 공급하는 전원 수단; 전원 수단에 의해 상기 제1 측정부와 상기 제2 측정부 사이에 전기 신호가 공급되었을 때의 전기 특성을 측정하는 측정 수단; 전원 수단이 공급하는 전기 신호와 상기 측정 수단이 측정하는 측정값을 기초로 상기 제1 측정부와 상기 제2 측정부의 절연 불량부의 전기적 특성을 산출하는 산출 수단; 을 포함할 수 있다. According to the present invention, the insulation inspection device includes switching means for selecting a wiring pattern to be inspected from a plurality of wiring patterns as a first measurement unit, and selecting a wiring pattern having an insulation defect with the first measurement unit as a second measurement unit. ; a power supply means for supplying a predetermined electrical signal between the first measurement unit and the second measurement unit; measuring means for measuring electrical characteristics when an electrical signal is supplied between the first measuring unit and the second measuring unit by a power supply unit; Calculation means for calculating electrical characteristics of the insulation failure part of the first measurement unit and the second measurement unit based on the electrical signal supplied by the power supply unit and the measured value measured by the measurement unit; can include

전원 수단의 일단은 상기 제1 측정부의 일단에 연결되고, 상기 전원 수단의 타단은 상기 제2 측정부에 연결될 수 있다.One end of the power source may be connected to one end of the first measuring unit, and the other end of the power source may be connected to the second measuring unit.

측정 수단은 상기 전원 수단에 의해 상기 제1 측정부의 일단과 상기 제2 측정부의 일단의 사이에 상기 전기 신호가 공급되었을 때의 상기 제1 측정부의 일단과 상기 제2 측정부의 일단의 사이의 전기 특성을 측정할 수 있다. The measuring unit includes electrical characteristics between one end of the first measurement unit and one end of the second measurement unit when the electric signal is supplied between one end of the first measurement unit and one end of the second measurement unit by the power supply unit. can measure

측정 수단은 상기 제1 측정부의 일단 및 상기 제2 측정부의 일단 사이에 상기 전원 수단과 함께 마련될 수 있고, 제1 측정부의 타단 및 상기 제2 측정부의 타단 사이에는 상기 측정 수단이 연결되지 않을 수 있다. The measuring means may be provided together with the power source between one end of the first measuring unit and one end of the second measuring unit, and the measuring unit may not be connected between the other end of the first measuring unit and the other end of the second measuring unit. there is.

복수의 회로 패턴중 어느 하나의 회로 패턴, 상기 전원 수단, 상기 측정 수단을 포함하는 폐회로가 형성될 수 있고, 제1 측정부 및 상기 제2 측정부간의 절연 검사 전에, 상기 모든 회로 패턴에 대하여 상기 폐회로의 도통 여부를 검사할 수 있다. A closed circuit including any one of a plurality of circuit patterns, the power supply unit, and the measurement unit may be formed, and before the insulation test between the first measurement unit and the second measurement unit, the above circuit patterns are described above for all the circuit patterns. The continuity of the closed circuit can be checked.

검사 대상이 되는 상기 제1 측정부는 상기 전원 수단의 상류측 단자에 접속되고, 상기 제1 측정부를 제외한 상기 제2 측정부는 상기 전원 수단의 하류측 단자에 접속될 수 있다. The first measurement unit to be inspected may be connected to an upstream terminal of the power source, and the second measurement unit excluding the first measurement unit may be connected to a downstream terminal of the power source.

본 발명의 절연 검사 방법은, 복수의 배선 패턴 각각에 대하여 전원 수단 및 측정 수단을 연결하고 상기 각각의 배선 패턴의 도통 여부를 검사하며, 상기 각각의 배선 패턴의 통전시 정상, 비통전시 오픈 불량으로 판단하는 오픈 검사 단계;The insulation inspection method of the present invention connects a power supply unit and a measuring unit to each of a plurality of wiring patterns, inspects whether each wiring pattern is conducting, and determines whether each wiring pattern is normal when energized and open when not energized. an open inspection step of judging;

상기 오픈 검사 단계에서 상기 모든 배선 패턴이 정상으로 판단되면, 상기 복수의 배선 패턴 중 검사 대상이 되는 배선 패턴을 제1 측정부로서 선출하고, 상기 제1 측정부를 제외한 배선 패턴을 제2 측정부로서 선출하는 스위칭 단계;When all the wiring patterns are determined to be normal in the open inspection step, a wiring pattern to be inspected from among the plurality of wiring patterns is selected as a first measurement unit, and a wiring pattern excluding the first measurement unit is used as a second measurement unit. Switching step to elect;

상기 제1 측정부 및 제2 측정부 사이에 전원 수단으로 소정의 전기 신호를 공급하고, 상기 전원 수단에 의해 상기 제1 측정부와 상기 제2 측정부 사이에 전기 신호가 공급되었을 때의 전기 특성을 측정하는 쇼트 검사 단계; Electrical characteristics when a predetermined electrical signal is supplied between the first measurement unit and the second measurement unit by a power supply unit, and the electrical signal is supplied between the first measurement unit and the second measurement unit by the power supply unit Short inspection step of measuring ;

상기 쇼트 검사 단계에서 저항값을 포함한 상기 전기 특성이 기준값보다 작은 경우 상기 제1 측정부 및 상기 제2 측정부의 절연 불량을 판단하는 판단 단계;a determination step of determining insulation failure of the first measurement unit and the second measurement unit when the electrical characteristics, including the resistance value, are less than a reference value in the short test step;

상기 제1 측정부 및 상기 제2 측정부가 절연 불량으로 판단되면, 상기 제1 측정부 및 상기 제2 측정부 사이의 전기적 특성을 산출하는 산출 단계; 를 포함할 수 있다.a calculation step of calculating electrical characteristics between the first measurement unit and the second measurement unit when it is determined that the first measurement unit and the second measurement unit have poor insulation; can include

상기 산출 단계에서, 상기 제1 측정부의 일단 및 상기 제2 측정부의 일단 사이에 상기 전기적 특성을 측정하는 측정 수단 및 상기 전원 수단이 함께 마련되고, 상기 제1 측정부의 타단 및 상기 제2 측정부의 타단 사이에는 상기 측정 수단이 연결되지 않을 수 있다.In the calculating step, a measuring unit for measuring the electrical characteristics and a power supply unit are provided between one end of the first measuring unit and one end of the second measuring unit, and the other end of the first measuring unit and the other end of the second measuring unit are provided. The measuring means may not be connected between them.

전원 수단의 일단은 제1 측정부의 일단에 연결될 수 있고, 전원 수단의 타단은 제2 측정부의 일단에 연결될 수 있다. 이때, 측정 수단은 상기 제1 측정부의 일단 및 제2 측정부의 일단 사이에 구비될 수 있고, 측정 수단은 상기 제1 측정부의 타단 및 제2 측정부의 타단 사이에는 접속되지 않을 수 있다.One end of the power source may be connected to one end of the first measurement unit, and the other end of the power source unit may be connected to one end of the second measurement unit. In this case, the measuring means may be provided between one end of the first measuring part and one end of the second measuring part, and the measuring means may not be connected between the other end of the first measuring part and the other end of the second measuring part.

전원 수단과 측정 수단을 접속시킴으로써, 각각의 프로브의 접촉 저항값이나, 제1 측정부와 제2 측정부의 배선 자체의 저항값을 제거하여 절연 불량부만의 저항값을 산출할 수 있다. By connecting the power source means and the measuring means, the contact resistance value of each probe or the resistance value of the wiring itself of the first measurement part and the second measurement part can be removed, and the resistance value of only the insulation defective part can be calculated.

도 1은 본 발명의 절연 검사 장치의 일 실시 예이다.
도 2는 본 발명의 절연 검사 장치가 절연 검사전 도통 검사를 실시하는 경우로서, 제1 배선 패턴(P1)에 관한 도통 검사를 나타낸 것일 수 있다.
도 3는 본 발명의 절연 검사 장치가 절연 검사전 도통 검사를 실시하는 경우로서, 제2 배선 패턴(P2)에 관한 도통 검사를 나타낸 것일 수 있다.
도 4는 본 발명의 절연 검사 장치의 절연 검사의 개략적인 일 실시 예이다.1 is an embodiment of an insulation inspection device of the present invention.
FIG. 2 is a case in which the insulation test apparatus of the present invention performs a conduction test before the insulation test, and may show a conduction test for the first wiring pattern P1.
FIG. 3 is a case in which the insulation test apparatus of the present invention performs a conduction test before the insulation test, and may show a conduction test for the second wiring pattern P2.
Figure 4 is a schematic embodiment of the insulation test of the insulation test device of the present invention.

기판에 형성되는 복수의 배선 패턴은, 여러 가지 다양한 크기나 형상을 갖고 형성된다. 이와 같이 형성된 배선 패턴(P)이, 각각의 배선 패턴(P)이 원하는 형상 등으로 형성되어 있는지의 여부를 검사하기 위해, 소정의 두 점사이의 저항값을 산출하는 도통 검사 또는 소정의 두 점 사이의 절연성을 산출하는 절연 검사가 실시될 수 있고, 이를 통해 양호한 상태의 배선 패턴(P)이 형성된지 여부를 알 수 있다. A plurality of wiring patterns formed on a substrate are formed having various sizes and shapes. In order to test whether or not each wiring pattern P formed in this way is formed in a desired shape or the like, a conduction test for calculating a resistance value between two predetermined points or two predetermined points An insulation test may be performed to calculate insulation between the two layers, and through this, it may be known whether the wiring pattern P in a good state is formed.

기판의 절연 검사를 실시하기 위해, 각 배선 패턴상에 설정되는 검사점에 각각 컨택트 프로브가 도통 접촉될 수 있다. 상기 프로브는 각각 스위치에 접속될 수 있다. 절연 검사를 실시하기 위한 전원 수단(2)과 측정 수단이 배치될 수 있고, 전원 수단(2)에 의해 공급되는 전력값과 측정 수단이 측정하는 전기 신호값을 기초로 절연 상태가 산출될 수 있다. In order to test the insulation of the board, each contact probe can be brought into conductive contact with each test point set on each wiring pattern. Each of the probes may be connected to a switch. A power supply means 2 and a measuring means for conducting an insulation test may be disposed, and an insulation state may be calculated based on a power value supplied by the power supply means 2 and an electrical signal value measured by the measuring means. .

전원 수단(2)으로서 가변 전압원이 사용될 수 있지만, 특별히 이것에 한정되는 것은 아니고, 절연 검사를 실시하기 위해 소정 전위를 부여하는 전압을 적절히 조정하여 공급할 수 있으면 충분할 수 있다. Although a variable voltage source can be used as the power source means 2, it is not particularly limited to this, and it may be sufficient if a voltage that gives a predetermined potential can be properly adjusted and supplied in order to conduct an insulation test.

측정 수단으로서 전류계를 사용할 수 있지만, 특별히 이것에 한정되는 것은 아니고, 검사 대상 사이의 전기적 특성을 검출할 수 있으면 충분할 수 있다. Although an ammeter can be used as a measuring means, it is not particularly limited to this, and it may be sufficient as long as it can detect electrical characteristics between inspection objects.

검사 대상 사이에 절연 검사를 실시하기 위한 소정의 전위차가 부여되어 있는 것을 확인하는 전압계가 구비될 수 있다. A voltmeter may be provided to confirm that a predetermined potential difference for performing an insulation test is applied between the objects to be inspected.

기판에 형성되는 복수의 배선 패턴(P)의 각각의 절연 검사가 실시될 수 있다. 이 절연 검사는, 소정의 배선 패턴(P)이 검사 대상인 제1 측정부(100)로 설정된 경우, 제1 측정부(100)와 연결된 스위치만 ON으로 전환하여 제1 측정부(100)와 전원 수단(2)이 접속될 수 있고, 나머지 배선 패턴(P)인 제2 측정부(200)과 연결된 스위치를 ON 으로 전환하여 제1 측정부(100)를 제외한 나머지 배선 패턴(P)인 제2 측정부(200)의 각각이 측정 수단과 직렬이 되도록 접속될 수 있다. 또한, 전원 수단(2)에 의해 공급되는 전력값과 측정 수단이 측정하는 전기 신호에 의해 절연 상태가 판정되면, 제1 측정부(100)는 제2 측정부(200)와 절연 상태가 양호한 것으로 판정될 수 있다. 이와 같이 특정 배선 패턴이 검사 대상으로서 제1 측정부(100)로 설정될 수 있고, 모든 배선 패턴이 검사 대상으로서 선출되어 기판의 절연 검사가 실시될 수 있다. Insulation tests for each of the plurality of wiring patterns P formed on the substrate may be performed. In this insulation test, when a predetermined wiring pattern P is set as the first measurement unit 100 to be inspected, only the switch connected to the first measurement unit 100 is turned ON, and the first measurement unit 100 and the power supply are switched on. The means 2 can be connected, and a switch connected to the second measurement unit 200, which is the remaining wiring pattern P, is turned ON to turn on the second measurement unit 200, which is the remaining wiring pattern P except for the first measurement unit 100. Each of the measurement units 200 may be connected in series with the measurement means. In addition, when the insulation state is determined by the power value supplied by the power supply unit 2 and the electrical signal measured by the measurement unit, the first measurement unit 100 is considered to be in a good insulation state from the second measurement unit 200. can be judged. In this way, a specific wiring pattern may be set to the first measuring unit 100 as an inspection target, and all wiring patterns may be selected as an inspection target and insulation inspection of the substrate may be performed.

기판에는 절연 불량부(Rx)가 마련될 수 있고, 특정 배선 패턴(제1 측정부)이 검사 대상으로서 선택된 경우, 절연 불량이 검출될 수 있다. An insulation defect part Rx may be provided on the substrate, and when a specific wiring pattern (first measurement part) is selected as an inspection target, an insulation defect may be detected.

전원 수단(2)의 일단은 제1 측정부(100)의 일단에 연결될 수 있고, 전원 수단(2)의 타단은 제2 측정부(200)의 일단에 연결될 수 있다. 이때, 측정 수단은 상기 제1 측정부(100)의 일단 및 제2 측정부(200)의 일단 사이에 구비될 수 있고, 측정 수단은 상기 제1 측정부(100)의 타단 및 제2 측정부(200)의 타단 사이에는 접속되지 않을 수 있다. One end of the power source 2 may be connected to one end of the first measurement unit 100 and the other end of the power source 2 may be connected to one end of the second measurement unit 200 . At this time, the measuring means may be provided between one end of the first measuring part 100 and one end of the second measuring part 200, and the measuring means may be provided between the other end of the first measuring part 100 and the second measuring part. It may not be connected between the other ends of (200).

제1 측정부(100)에 절연 불량이 존재하는 것이 판정되면, 다음으로 제1 측정부(100)와 제2 측정부(200)의 어느 배선 패턴이 절연 불량을 갖는지 측정될 수 있다. 제1 측정부(100)는 전원 수단(2)에 접속된 채로, 나머지 배선을 1개씩 라운드 로빈으로 측정 수단이 측정하는 전기 신호로부터 절연 불량부(Rx)의 존재를 찾아낼 수 있다. When it is determined that the first measurement unit 100 has an insulation defect, it may be next measured which wiring pattern of the first measurement unit 100 and the second measurement unit 200 has an insulation defect. The first measurement unit 100 may find the existence of the insulation failure part Rx from the electric signal measured by the measurement unit in a round-robin manner for the remaining wires one by one while being connected to the power supply unit 2 .

기판의 경우, 절연 불량부(Rx)에 의해 제1 측정부(100) 및 제2 측정부(200)중 어느 하나의 배선 패턴은 도통 상태가 될 수 있고, 측정 수단이 절연 불량부(Rx)의 영향을 받은 전기 신호를 측정할 수 있다. 이런 방식으로, 제1 측정부(100)와 절연 불량이 있는 배선 패턴간에 절연 불량부(Rx)가 있는 것을 알 수 있다. In the case of the board, the wiring pattern of any one of the first measurement unit 100 and the second measurement unit 200 may be in a conductive state due to the insulation failure area Rx, and the measuring unit may be in an insulation failure area Rx. The electrical signal affected by can be measured. In this way, it can be seen that there is an insulation defect part Rx between the first measuring unit 100 and the wiring pattern having insulation defect.

제1 측정부(100)와 제2 측정부(200)의 어느 한 배선 패턴이 절연 불량부(Rx)를 갖는 것을 알면, 다음으로 이 절연 불량부(Rx)의 저항값을 산출할 수 있다. If it is known that either one of the wiring patterns of the first measurement unit 100 and the second measurement unit 200 has an insulation failure region Rx, the resistance value of the insulation failure region Rx can be calculated.

전원 수단(2)의 일단이 제1 측정부(100)와 접속될 수 있고, 전원 수단(2)의 타단이 제2 측정부(200)와 접속될 수 있다. 전원 수단(2)으로서 정전류원을 사용하는 것이 바람직할 수 있고, 또 측정 수단으로서 전압계가 사용되는 것이 바람직할 수 있다. 이것은 절연 불량부(Rx)의 저항값을 산출하기 위한 것일 수 있다. One end of the power source 2 may be connected to the first measurement unit 100 and the other end of the power source 2 may be connected to the second measurement unit 200 . It may be preferable to use a constant current source as the power supply means 2, and it may be preferable to use a voltmeter as the measuring means. This may be for calculating the resistance value of the insulation failure part Rx.

전원 수단(2)으로부터 공급되는 전력은, 프로브를 통하여 제1 측정부(100)의 일부, 절연 불량부(Rx), 제2 측정부(200)의 일부, 그리고 프로브를 경유하는 폐회로에서 전류가 흐를 수 있다. 측정 수단은 제1 측정부(100)와 제2 측정부(200)를 경유하여 절연 불량부(Rx) 양단의 전위차를 측정할 수 있다.The power supplied from the power source means 2 is a current in a closed circuit passing through a part of the first measuring unit 100, an insulation defective part Rx, a part of the second measuring unit 200, and the probe through the probe. can flow The measuring means may measure the potential difference between both ends of the insulation failure part Rx via the first measuring unit 100 and the second measuring unit 200 .

전원 수단(2)으로부터의 전력값과 측정 수단의 전압값을 기초로 절연 불량부(Rx)의 저항값을 산출할 수 있다.The resistance value of the insulation failure part Rx can be calculated based on the power value from the power supply unit 2 and the voltage value of the measuring unit.

전원 수단(2)과 측정 수단을 접속시킴으로써, 각각의 프로브의 접촉 저항값이나, 제1 측정부(100)와 제2 측정부(200)의 배선 자체의 저항값을 제거하여 절연 불량부(Rx)만의 저항값을 산출할 수 있다.By connecting the power supply unit 2 and the measurement unit, the contact resistance value of each probe or the resistance value of the wiring itself of the first measurement unit 100 and the second measurement unit 200 is removed, and the insulation failure part (Rx) is removed. ) can only calculate the resistance value.

절연 검사 장치에는 기판에 형성되는 배선 패턴상에 설정되는 복수의 검사점에 각각 전기적으로 접속되는 컨택트 프로브가 사용될 수 있다. 프로브를 통하여, 소정의 검사점에 대해 소정의 전기 신호를 송수신할 수 있다.Contact probes each electrically connected to a plurality of inspection points set on a wiring pattern formed on a substrate may be used in the insulation inspection apparatus. Through the probe, a predetermined electrical signal may be transmitted and received for a predetermined inspection point.

전원 수단(2)은, 검사 대상 사이의 소정의 전기 신호를 공급할 수 있다. 이 전원 수단(2)은, 검사 대상 사이의 절연 검사를 실시하는 경우의 소정 전위차를 발생시키는 경우와, 절연 불량부(Rx)의 저항값을 산출하는 경우에 소정의 전기 신호를 공급할 수 있다. The power supply unit 2 can supply a predetermined electrical signal between inspection subjects. This power source means 2 can supply a predetermined electrical signal when a predetermined potential difference is generated in the case of conducting an insulation test between objects to be inspected, and in the case of calculating the resistance value of the insulation defective portion Rx.

검사 대상 사이의 절연 검사를 실시하는 경우에는 가변 전압원을 사용할 수 있고, 절연 불량부(Rx)를 산출하는 경우에는 정전류원을 사용할 수 있다.A variable voltage source may be used when an insulation test is performed between test subjects, and a constant current source may be used when an insulation defect Rx is calculated.

전원 수단(2)은 도통 검사를 실시하는 경우, 절연 검사를 실시하는 경우, 절연 불량부(Rx)의 저항값을 산출하는 경우중 적어도 어느 하나의 경우에 있어 사용하는 전압을 적절히 변경하여 사용할 수 있다. The power supply means 2 can be used by appropriately changing the voltage used in at least one of the cases of performing a continuity test, performing an insulation test, and calculating a resistance value of the insulation defective portion Rx. there is.

절연 불량부(Rx)는, 큰 전압값으로 절연 검사가 실시된 경우에 소손되는 경우가 일어날 수 있다. 이 때문에, 절연 불량부(Rx)가 소손되지 않는 정도의 전압인 1v 이하의 전압값으로의 절연 검사가 실시될 수 있다. 또한, 이 저전압의 절연 검사가 실시된 후, 고전압의 절연 검사가 실시될 수 있다. The insulation failure part Rx may be burnt out when an insulation test is performed with a large voltage value. For this reason, the insulation test can be performed with a voltage value of 1v or less, which is a voltage at which the insulation defective portion Rx is not burned. Further, after this low-voltage insulation test is performed, a high-voltage insulation test may be performed.

측정 수단은 접속되는 장소의 전기 신호를 측정할 수 있고, 제1 측정 수단(31)과 제2 측정 수단(32)을 포함할 수 있다. The measuring unit may measure an electrical signal at a connected place and may include a first measuring unit 31 and a second measuring unit 32 .

제1 측정 수단(31)은 제1 측정 수단(31)이 갖는 양 단자 사이의 전위차를 측정할 수 있고, 제1 측정 수단(31)은, 예를 들어, 전압계를 사용할 수 있다.The first measuring means 31 can measure the potential difference between both terminals of the first measuring means 31, and the first measuring means 31 can use, for example, a voltmeter.

제2 측정 수단(32)은, 제2 측정 수단(32)을 통과하는 전기 신호의 크기를 측정할 수 있고, 예를 들어, 전류계를 사용할 수 있다.The second measuring unit 32 may measure the magnitude of the electric signal passing through the second measuring unit 32, and may use, for example, an ammeter.

산출 수단은, 측정 수단으로부터의 측정값과, 전원 수단(2)으로부터의 전기 신호값을 기초로 전기 특성을 산출할 수 있다. 보다 구체적으로는, 산출 수단은 측정값과 전기 신호값이 입력되면 저항값이 산출되도록 설정될 수 있다. 또한, 이 산출 수단이 산출하는 저항값은, 기억 수단에 송신될 수 있다. The calculating means can calculate the electrical characteristics based on the measured value from the measuring means and the electrical signal value from the power supply means 2 . More specifically, the calculator may be set to calculate the resistance value when the measured value and the electrical signal value are input. In addition, the resistance value calculated by this calculation unit can be transmitted to the storage unit.

산출 수단은, 절연 검사시에 제1 측정부(100)와 제2 측정부(200)의 절연 상태를 산출하고, 절연 불량부(Rx)의 부위가 특정되었을 때에 절연 불량부(Rx)의 저항값을 산출할 수 있다. The calculation means calculates the insulation state of the first measurement unit 100 and the second measurement unit 200 during the insulation test, and when the region of the insulation failure region Rx is identified, the resistance of the insulation failure region Rx. value can be calculated.

판정 수단은, 검사 대상 사이의 절연 검사가 실시되고, 산출 수단이 산출하는 저항값을 기초로 검사 대상 사이의 절연 상태를 판정할 수 있다. 판정 수단이 실시하는 판정은, 미리 양품인 경우의 저항값을 기준값으로서 설정해 두고, 이 산출 결과와 기준값을 비교함으로써, 그 양부를 판정할 수 있다.The determination means can determine the insulation state between the inspection subjects based on the resistance value calculated by the calculation means after the insulation inspection is performed between the inspection subjects. The judgment performed by the judgment means can determine whether the product is good or bad by setting the resistance value in the case of a good product in advance as a reference value and comparing the calculation result with the reference value.

절연 검사의 경우, 검사 대상 사이의 절연성이 확실하게 유지되고 있는지의 여부가 문제이기 때문에, 기준값보다 산출 결과가 큰 경우에는 절연 상태가 양호하고, 기준값보다 산출 결과가 작은 경우에는 절연 상태가 불량한 것으로 판단될 수 있다. 상기 기준값은 검사 대상 사이마다 다르게 설정될 수 있다. 또한, 이 판정 수단이 기판에 대해 양품·불량품의 판정을 실시한 후에는, 표시 수단에 양품 또는 불량품의 표시될 수 있다. In the case of insulation inspection, since the question is whether or not the insulation between inspection objects is reliably maintained, if the calculation result is greater than the reference value, the insulation state is considered good, and if the calculation result is smaller than the reference value, the insulation state is considered poor. can be judged The reference value may be set differently for each test subject. In addition, after the determination unit determines whether the substrate is a good product or a defective product, the display unit can display a good product or a defective product.

도 2 및 도 3은 본 발명의 배선 패턴에 대하여 도통 검사를 시행하는 일 실시 예일 수 있고, 도 2는 제1 배선 패턴(P1)에 도통 검사를 실시하는 것일 수 있으며, 도 3은 제2 배선 패턴(P2)에 도통 검사를 실시하는 것일 수 있다. 2 and 3 may be one embodiment of performing a conduction test on the wiring pattern of the present invention, FIG. 2 may be performing a conduction test on the first wiring pattern P1, and FIG. 3 may be a second wiring pattern P1. A conduction test may be performed on the pattern P2.

본 발명의 절연 검사 장치는 절연 검사 전에 도통 검사를 먼저 시행할 수 있다. 도통 검사는 각각의 모든 배선 패턴(P)에 대하여 실시될 수 있고, 동일한 배선 패턴(P)에 대하여, 배선 패턴의 일단은 전원 수단(2) 및 측정 수단에 연결될 수 있고, 동일한 배선 패턴의 타단은 접지될 수 있다. 상기 측정 수단은 제1 측정 수단(31) 또는 제2 측정 수단(32)을 포함할 수 있고, 제1 측정 수단(31)은 전압계일 수 있으며, 제2 측정 수단(32)은 전류계일 수 있다.In the insulation test apparatus of the present invention, a continuity test may be performed before an insulation test. The continuity test can be performed for each and every wiring pattern P, and for the same wiring pattern P, one end of the wiring pattern can be connected to the power source means 2 and the measuring means, and the other end of the same wiring pattern can be grounded. The measuring means may include a first measuring means 31 or a second measuring means 32, the first measuring means 31 may be a voltmeter, and the second measuring means 32 may be an ammeter. .

본 발명의 절연 검사 장치는 도통 검사 및 절연 검사를 모두 실시할 수 있게 설계될 수 있고, 이는 각 배선 패턴과 스위치의 연결로 각 검사가 서로 전환될 수 있다. The insulation test apparatus of the present invention can be designed to perform both a continuity test and an insulation test, and each test can be switched by connecting each wiring pattern and a switch.

예를 들어, 각 배선 패턴의 타단은 제3 스위치(SW3)에 의해 접지와 연결될 수 있다. 각 배선 패턴의 일단은 제1 스위치(SW1)에 의해서 전원 수단(2), 제1 측정 수단(31), 제2 측정 수단(32) 중 적어도 하나와 연결될 수 있다. For example, the other end of each wiring pattern may be connected to ground through the third switch SW3. One end of each wiring pattern may be connected to at least one of the power supply unit 2, the first measurement unit 31, and the second measurement unit 32 by the first switch SW1.

제2 스위치(SW2)는 전원 수단(2) 또는 측정 수단과 연결된 각 배선 패턴의 일단과 연결될 수 있고, 접지와 연결될 수 있다. The second switch SW2 may be connected to one end of each wiring pattern connected to the power supply unit 2 or the measuring unit, and may be connected to ground.

따라서, 예를 들어 도통 검사의 경우, 제1 배선 패턴(P1)의 도통 검사시 제1 배선 패턴(P1)의 타단과 연결된 제3 스위치(SW3)가 on 되어 접지될 수 있다. 제1 배선 패턴(P2)의 일단에 연결된 제1 스위치(SW1)이 on 되어 제1 배선 패턴(P1)의 일단은 전원 수단(2) 및 측정 수단과 연결될 수 있다. Therefore, for example, in the case of a continuity test, when the continuity test of the first wiring pattern P1 is performed, the third switch SW3 connected to the other end of the first wiring pattern P1 may be turned on and grounded. When the first switch SW1 connected to one end of the first wiring pattern P2 is turned on, one end of the first wiring pattern P1 may be connected to the power supply unit 2 and the measuring unit.

제2 스위치(SW2)는 도통 검사시에만 on될 수 있고, 절연 검사시에는 항상 off 상태일 수 있다. 그러나, 도통 검사의 대상이 되는 배선 패턴과 연결된 제2 스위치(SW2)는 off일 수 있고, 도통 검사의 대상이 아닌 배선 패턴에 연결된 제2 스위치(SW2)가 on일 수 있다. The second switch SW2 may be turned on only during a continuity test, and may always be in an off state during an insulation test. However, the second switch SW2 connected to the wiring pattern subject to the continuity test may be off, and the second switch SW2 connected to the wiring pattern not subject to the continuity test may be turned on.

예를 들어, 제1 배선 패턴(P1)을 도통 검사하는 경우, 제1 배선 패턴(P1)의 일단과 연결된 제2 스위치(SW2)는 off일 수 있고, 제2 배선 패턴(P2)의 일단과 연결된 제2 스위치(SW2)는 on일 수 있다. 복수의 배선 패턴이 마련되는 경우, on 상태로 되는 제2 스위치(SW2)가 연결되는 배선 패턴은 검사 대상이 되는 배선 패턴을 제외한 배선 패턴일 수 있다. For example, when conducting a conductivity test for the first wiring pattern P1, the second switch SW2 connected to one end of the first wiring pattern P1 may be off, and the second switch SW2 connected to one end of the second wiring pattern P2 The connected second switch SW2 may be turned on. When a plurality of wiring patterns are provided, a wiring pattern to which the second switch SW2 in an on state is connected may be a wiring pattern excluding a wiring pattern to be inspected.

마찬가지로, 제2 배선 패턴(P2)을 도통 검사하는 경우, 제2 배선 패턴(P2)의 일단과 연결된 제2 스위치(SW2)는 off일 수 있고, 제1 배선 패턴(P1)의 일단과 연결된 제2 스위치(SW2)는 on일 수 있다. Similarly, when the second wiring pattern P2 is tested for conductivity, the second switch SW2 connected to one end of the second wiring pattern P2 may be off, and the second switch SW2 connected to one end of the first wiring pattern P1 may be off. 2 The switch SW2 may be on.

도 4는 본 발명의 절연 검사시 구성을 나타낸 것일 수 있다. 4 may show a configuration during insulation inspection of the present invention.

절연 검사시, 절연 검사의 대상인 제1 측정부(100)와 나머지 배선 패턴을 제2 측정부(200)로 구분할 수 있고, 이 경우 설명의 편의상 제1 측정부(100) 및 제2 측정부(200)는 단수일 수 있고, 제1 측정부(100)는 제1 배선 패턴(P1)일 수 있으며, 제2 측정부(200)는 제2 배선 패턴(P2)일 수 있다. During the insulation test, the first measuring unit 100, which is the object of the insulation test, and the remaining wiring patterns may be divided into the second measuring unit 200. In this case, for convenience of description, the first measuring unit 100 and the second measuring unit ( 200) may be singular, the first measurement unit 100 may be the first wiring pattern P1, and the second measurement unit 200 may be the second wiring pattern P2.

제1 배선 패턴(P1) 및 제2 배선 패턴(P2)의 타단은 접지와 연결될 수 있다. 따라서, 도통 검사와 달리 절연 검사시에는 절연 검사에 관련하는 배선 패턴의 타단과 연결된 제3 스위치는 모두 on될 수 있다. Other ends of the first wiring pattern P1 and the second wiring pattern P2 may be connected to ground. Therefore, unlike the continuity test, during the insulation test, all of the third switches connected to the other end of the wiring pattern related to the insulation test can be turned on.

또한, 제1 배선 패턴(P1) 및 제2 배선 패턴(P2)과 연결된 제1 스위치(SW1)는 모두 on될 수 있고, 제2 스위치(SW2)는 모두 off될 수 있다. Also, all of the first switch SW1 connected to the first wiring pattern P1 and the second wiring pattern P2 may be turned on, and both of the second switch SW2 may be turned off.

따라서, 절연 검사시 불량이 존재하는 경우 절연 불량부(Rx)에 의한 저항 성분에 영향이 측정될 수 있고, 이로 인해 두 배선 패턴간의 절연 불량 여부를 판단할 수 있다. 절연 불량부(Rx)의 존재에 의한 전류의 흐름을 명확히 알기 위해, 검사 대상이 되는 제1 측정부(100) 또는 제2 측정부(200)의 타단에 연결되는 제3 스위치(SW3)는 적어도 어느 하나만 on 상태일 수 있다. Therefore, when there is a defect during the insulation test, the effect of the insulation defect part Rx on the resistance component can be measured, and it is possible to determine whether or not there is an insulation defect between the two wiring patterns. In order to clearly know the flow of current due to the existence of the insulation failure part Rx, the third switch SW3 connected to the other end of the first measurement unit 100 or the second measurement unit 200 to be inspected is at least Either one can be on.

2... 전원 수단 31... 제1 측정 수단
32... 제2 측정 수단 100... 제1 측정부
200... 제2 측정부 P... 배선 패턴
P1... 제1 배선 패턴 P2... 제2 배선 패턴
Rx... 절연 불량부 SW... 스위치
SW1... 제1 스위치 SW2... 제2 스위치
SW3... 제3 스위치2... power supply means 31... first measuring means
32... second measuring means 100... first measuring unit
200... 2nd measurement part P... wiring pattern
P1... 1st wiring pattern P2... 2nd wiring pattern
Rx... insulation defect SW... switch
SW1... 1st switch SW2... 2nd switch
SW3... 3rd switch

Claims (8)

복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 배선 패턴을 제1 측정부로서 선출하고, 상기 제1 측정부와 절연 불량을 갖는 배선 패턴을 제2 측정부로서 선출하는 스위칭 수단;
상기 제1 측정부와 상기 제2 측정부 사이에 소정의 전기 신호를 공급하는 전원 수단;
상기 전원 수단에 의해 상기 제1 측정부와 상기 제2 측정부 사이에 전기 신호가 공급되었을 때의 전기 특성을 측정하는 측정 수단;
상기 전원 수단이 공급하는 전기 신호와 상기 측정 수단이 측정하는 측정값을 기초로 상기 제1 측정부와 상기 제2 측정부의 절연 불량부의 전기적 특성을 산출하는 산출 수단; 을 포함하고,
상기 전원 수단 및 상기 측정 수단은 상기 제1 측정부 및 상기 제2 측정부의 일측에 연결되는 절연 검사 장치.
switching means for selecting a wiring pattern to be inspected from a plurality of wiring patterns as a first measurement unit, and selecting a wiring pattern having an insulation defect with the first measurement unit as a second measurement unit;
a power supply means for supplying a predetermined electrical signal between the first measurement unit and the second measurement unit;
measuring means for measuring electrical characteristics when an electrical signal is supplied between the first measuring unit and the second measuring unit by the power supply unit;
calculation means for calculating electrical characteristics of the insulation failure part of the first measurement unit and the second measurement unit based on the electrical signal supplied by the power supply unit and the measured value measured by the measurement unit; including,
The power supply unit and the measuring unit are connected to one side of the first measuring unit and the second measuring unit.
 제1 항에 있어서,
상기 측정 수단은 상기 제1 측정부의 일단 및 상기 제2 측정부의 일단 사이에 상기 전원 수단과 함께 마련되고,
상기 제1 측정부의 타단 및 상기 제2 측정부의 타단 사이에는 상기 측정 수단이 연결되지 않는 절연 검사 장치.
According to claim 1,
The measuring means is provided with the power supply means between one end of the first measuring part and one end of the second measuring part,
The insulation test device in which the measuring means is not connected between the other end of the first measuring unit and the other end of the second measuring unit.
 제1 항에 있어서,
상기 전원 수단의 일단은 상기 제1 측정부의 일단에 연결되고, 상기 전원 수단의 타단은 상기 측정 수단에 연결되며,
상기 측정 수단의 일단은 상기 전원 수단에 연결되고, 상기 측정 수단의 타단은 상기 제2 측정부의 일단에 연결되며,
상기 제1 측정부의 타단 및 상기 제2 측정부의 타단은 접지되는 절연 검사 장치.
According to claim 1,
One end of the power supply means is connected to one end of the first measuring unit, and the other end of the power supply means is connected to the measuring means,
One end of the measuring means is connected to the power supply means, the other end of the measuring means is connected to one end of the second measuring unit,
The other end of the first measuring unit and the other end of the second measuring unit are grounded.
 제1 항에 있어서,
상기 복수의 회로 패턴중 어느 하나의 회로 패턴, 상기 전원 수단, 상기 측정 수단을 포함하는 폐회로가 형성되는 절연 검사 장치.
According to claim 1,
An insulation test device in which a closed circuit including any one of the plurality of circuit patterns, the power source means, and the measuring means is formed.
 제1 항에 있어서,
검사 대상이 되는 상기 제1 측정부는 상기 전원 수단의 상류측 단자에 접속되고, 상기 제1 측정부를 제외한 상기 제2 측정부는 상기 전원 수단의 하류측 단자에 접속되는 절연 검사 장치.
According to claim 1,
The first measurement unit to be inspected is connected to an upstream terminal of the power supply means, and the second measurement unit excluding the first measurement unit is connected to a downstream terminal of the power supply unit.
 제1 항에 있어서,
상기 제1 측정부 및 상기 제2 측정부간의 절연 검사 전에, 상기 모든 회로 패턴에 대하여 오픈 여부를 검사하는 절연 검사 장치.
According to claim 1,
Before the insulation test between the first measurement unit and the second measurement unit, the insulation inspection device for checking whether all the circuit patterns are open.
 복수의 배선 패턴 각각에 대하여 전원 수단 및 측정 수단을 연결하고 상기 각각의 배선 패턴의 도통 여부를 검사하며, 상기 각각의 배선 패턴의 통전시 정상, 비통전시 오픈 불량으로 판단하는 오픈 검사 단계;
상기 오픈 검사 단계에서 상기 모든 배선 패턴이 정상으로 판단되면, 상기 복수의 배선 패턴 중 검사 대상이 되는 배선 패턴을 제1 측정부로서 선출하고, 상기 제1 측정부를 제외한 배선 패턴을 제2 측정부로서 선출하는 스위칭 단계;
상기 제1 측정부 및 제2 측정부 사이에 전원 수단으로 소정의 전기 신호를 공급하고, 상기 전원 수단에 의해 상기 제1 측정부와 상기 제2 측정부 사이에 전기 신호가 공급되었을 때의 전기 특성을 측정하는 쇼트 검사 단계;
상기 쇼트 검사 단계에서 저항값을 포함한 상기 전기 특성이 기준값보다 작은 경우 상기 제1 측정부 및 상기 제2 측정부의 절연 불량을 판단하는 판단 단계;
상기 제1 측정부 및 상기 제2 측정부가 절연 불량으로 판단되면, 상기 제1 측정부 및 상기 제2 측정부 사이의 전기적 특성을 산출하는 산출 단계; 를 포함하는 절연 검사 방법.
an open test step of connecting a power supply unit and a measuring unit to each of a plurality of wiring patterns, inspecting whether each of the wiring patterns is conductive, and determining that each of the wiring patterns is normal when energized and an open defect when not energized;
When all the wiring patterns are determined to be normal in the open inspection step, a wiring pattern to be inspected from among the plurality of wiring patterns is selected as a first measurement unit, and a wiring pattern excluding the first measurement unit is used as a second measurement unit. Switching step to elect;
Electric characteristics when a predetermined electrical signal is supplied between the first measurement unit and the second measurement unit by a power supply unit, and the electrical signal is supplied between the first measurement unit and the second measurement unit by the power supply unit Short inspection step of measuring ;
a determination step of determining insulation failure of the first measurement unit and the second measurement unit when the electrical characteristics, including the resistance value, are less than a reference value in the short test step;
a calculation step of calculating electrical characteristics between the first measurement unit and the second measurement unit when it is determined that the first measurement unit and the second measurement unit have poor insulation; Insulation inspection method comprising a.
 제7 항에 있어서,
상기 산출 단계에서, 상기 제1 측정부의 일단 및 상기 제2 측정부의 일단 사이에 상기 전기적 특성을 측정하는 측정 수단 및 상기 전원 수단이 함께 마련되고,
상기 제1 측정부의 타단 및 상기 제2 측정부의 타단 사이에는 상기 측정 수단이 연결되지 않는 절연 검사 방법.According to claim 7,
In the calculating step, a measuring means for measuring the electrical characteristics and the power supply means are provided together between one end of the first measuring unit and one end of the second measuring unit,
The insulation inspection method in which the measuring means is not connected between the other end of the first measuring unit and the other end of the second measuring unit.
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