KR101341124B1 - 휘발성 이미다졸 및 그룹 ２ 이미다졸에 기초한 금속 전구체 - Google Patents

휘발성 이미다졸 및 그룹 ２ 이미다졸에 기초한 금속 전구체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 단량체 또는 이량체 휘발성 착체의 형성을 허용하는 에타-5 조정 모드에서 그룹 2 금속, 예컨대, 칼슘, 마그네슘, 스트론튬과 배위가능한, 입체장해된 이미다졸 리간드 및 이들의 합성에 관한 것이다.
상기 화합물은 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐, 칼슘 또는 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 금속과 배위된 하나 이상의 다치환된 이미다졸레이트 음이온을 포함할 수 있다. 다르게는, 하나의 음이온은 2차 비-이미다졸레이트 음이온으로 치환될 수 있다.
본 발명은 또한 신규 화합물의 합성 및 BST 필름 형성을 위한 이들의 용도에 관한 것이다.

Description

휘발성 이미다졸 및 그룹 ２ 이미다졸에 기초한 금속 전구체{Volatile Imidazoles and Group 2 Imidazole Based Metal Precursors}
본 출원에 관련된 교차 참조
본 특허출원은 2010년 2월 5일에 출원된 미국 가특허출원 제 61/301,824호 및 2010년 7월 30일에 출원된 제61/369,448호의 우선권의 이익을 주장한다.
본 발명은 신규 휘발성 이미다졸 및 그룹 2 이미다졸에 기초한 금속 전구체, 및 이들의 합성에 관한 것이다.
반도체 제조 산업은 금속-포함 전구체를 사용한 실리콘, 금속 질화물, 금속 옥사이드 및 다른 금속-포함 층과 같은 기판상에 등각 금속 포함 필름을 제조하기 위한 화학증기증착(CVD) 및 원자층 증착(ALD)을 포함한 증기 증착 방법을 위한 휘발성 금속 포함 전구체의 조달을 계속하여 필요로 한다.
바륨 및 스트론튬 포함 전구체는 개선된 메모리 장치 제조를 위한 스트론튬 티타네이트(STO) 및 바륨 스트론튬 티타네이트 옥사이드(BST)와 같은 얇은 바륨 및 스트론튬 옥사이드 포함 박막의 증착을 위해 특히 요구되고 있다. 스트론튬 전구체는 또한 비-휘발성 메모리를 위한 SrBi2Ta2O9 형의 강유전성 물질의 박막 증착, Bi2Sr2Can -1CunO5 +(2n-1)d 형의 박막 고온(Tc) 초전도체의 제조, 및 전자발광식표시장치를 위한 SrS:Ce 및 SrS:Cu 인광물질의 제조를 위해 유용한다. 비록 우수한 휘발성을 갖는 플루오르화 바륨 전구체가 있지만, 불소 이온이 옥사이드 필름내에서 형성될 수 있고, 이것은 옥사이드 필름의 유전상수를 저하시키는 대전입자로서 작용하기 때문에, BST 제조를 위한 이들의 용도는 사실상 배제된다. 스트론튬 옥사이드 및 스트론튬 티타네이트를 위한 다수의 스트론튬 소스가 존재하지만, 어느 것도 본 명세서의 전구체의 ALD 성능을 갖지 않는다.
이와 같이, 고 ALD 성능을 갖는 휘발성 비플루오르화 바륨 및 스트론튬 전구체 화합물이 매우 필요하지만, 이와 같은 화합물은 특히 바륨에 적용되기에 매우 드물다. 이것은 스트론튬 또는 바륨내에 단량체 또는 이량체인 화합물을 제공하기에 충분한 조절 환경을 제공할 수 있는 이온성 리간드를 필요로 하는 바륨 +2 및 스트론튬 +2 이온의 큰 이온 반경에 기인한다. 이와 같은 요건이 충족되지 않으면, 스트론튬, 및 특히 바륨화합물은 제한된 휘발성의 고 조합성 또는 폴리머성 구조를 형성하는 경향이다. 그러나, 단량체 또는 이량체 구조가 달성될 수 있다고 하여도, 이들의 증발에 필요한 고 승화 또는 증류 온도를 견디기 위하여 필요하고 ALD에서 단일층(monolayer)으로서 흡수될 때 이들의 열적 안정성을 유지하기 위해 필요한 열적 안정성을 계속 갖지 않는다. 이들 모든 이유때문에, 열에 안정하고 쉽게 휘발성이며 ALD 또는 CVD에 의한 BST 및 STO 제조에 최적인 단량체 또는 이량체인 비플루오르화 바륨 및 스트론튬 전구체가 극히 드물지만 매우 요청되어 진다. ALD에 고 증착 속도를 갖는 그룹 2 휘발성 전구체가 더욱 요청되어 진다.
선행기술은 하기에 기술되는 것과 같이, 이와 같은 적용을 위한 전구체를 제공하기 위해 시도하였다. 그러나, 선행기술내의 어느 금속 착체도 본 발명에서 개시된 착체의 특성을 갖지 못한다. 본 명세서에 개시된 화합물은 특별히 휘발성이고, 증발조건하에서 열적으로 안정하다. 또한 이들은 특별히 ALD 사이클당 금속 옥사이드의 1개의 단일층으로 성장가능하게 하는 고 ALD 증착 속도를 갖는다. 이것은 이들은 STO 및 BST 필름 성장을 위한 전구체로서 매우 유효하고, 바륨, 스트론튬, 마그네슘,라듐 또는 칼슘 전구체의 휘발성 소스를 필요하는 다른 적용에서 매우 유효하다.
바륨 및 다른 알칼리토금속 디케티미네이트는 문헌에 기재되어 있다. 베타-디케토네이트로서, 화합물 [Ba(THD)2]4(여기서, THD는 3,3,5,5-테트라메틸헵탄디오네이트)가 보고되었다. 비록 이것은 안정하고 휘발성 화합물이지만, 특히 더 작고, 보다 휘발성 화합물, 예컨대, 바로센(barocene) 및 특히 보다 깔끔하게 휘발성이고, 더 높은 ALD 증착속도 및 바로센에 비하여 낮은 용융점을 갖는 본 발명의 신규 화합물과 비교할 때, 이들의 2000 초과의 분자량은 ALD 또는 CVD 공정에서 이들의 유용성을 저해한다.
바륨을 포함하는 열에 안정하고 휘발성인 트리(피라조일)보레이트 알칼리 토류 착체가 보고되었다. 그러나, 이들 화합물은 산화 조건하에서 보론 옥사이드를 CVD 또는 ALD 공정의 금속 옥사이드로 증착시키는 원소 보론을 포함하므로 좋지 않다.
코어상에 디이민 질소 치환된 NMe2 그룹을 갖는 디케티미네이트 기초한 휘발성 바륨 및 스트론튬 착체가 보고되었다. 그러나, 이들 시리즈내의 바륨 분자는 승화되어 14wt% 비휘발성 잔기를 남기는 오직 79% 승화 회복을 제공하였다. 이 승화는 0.05 Torr에서 수행되었다. 만일 대기압에서 수행되었다면, 이것의 비휘발성 잔기는 현저하게 높을 것이다. 이 결과는 이 분자는 CVD 또는 ALD 공정을 위한 전구체로서 제한된 적합성을 갖는 것을 나타낸다.
"바로센(barocene)"으로 또한 알려진, 9개의 다른 바륨 시클로펜타디에닐 시리즈의 합성 및 열적 특성이 보고되었다. 이들 바로센으로부터 선택된 종, 특히 바륨 bis(트리-3차-부틸시클로펜타디에닐)은 열적 안정성 및 휘발성의 매력적인 조합을 갖는 '최첨단의' 전구체이다. 그러나, 본 발명의 신규 분자는 상기 2가지 주요 특성에 관해 이들보다 우수함을 나타낸다. 또한 본 발명의 신규 전구체는 이들의 특유한 분자 특성때문에, 또한 특별한 고 ALD 증착속도를 가져, 이들을 장치 제조 관점으로부터 보다 매력적으로 만든다.
다른 관련있는 참조들은 하기를 포함한다:
WO 2009/086263.
J. Norman, G. Pez, J. Chem. Soc. Chem. Commun., 971,(1991)
Harder, S. (2002); "Homoleptic beta Diketiminate Complexes of the Alkaline Earth Metals: Trends in the Series Mg, Ca, Sr, and Ba"; Organometallics 21(18), 3782-3787.
미국 특허 5,319,118
El-Kaderi, H. M. 및 M. J. W. Heeg, C. H.;(2004). "Sandwich Complexes of the Heavier Alkaline Earth Metals Containing 5-Diketiminato ligand Sets." Organometallics 23: 4995-5002.
M.J. Saly, M. J. Heeg 및 C. Winters, Inorganic Chemistry, publication date(Web)April 27, 2009.
B. Sedai, M. J. Heeg 및 C. Winter, Organometallics, 2009, 18(4)p 1032-1038.
Timo Hatanpaa, Marko Vehkamaki, Ilpo Mutikainen, Jarno Kansikas 및 Mikko Ritala "Synthesis and characterization of cyclopentadienyl complexes of barium: precursors for atomic layer deposition of BaTiO3" Dalton Trans., 2004, p.1181-1188.
J. Zhang, X.Chen, Chem Comm. 1689-1699(2006).
H. A. Every, T. A. Zawodzinski, Electrochemical Society Proceedings, 277-286, Volume 21(2001).
발명의 요약
본 발명에서는 그룹 2 금속과 착체화될 때 CVD, ALD 등 박막 증착 공정을 위한 전구체 분자로서 매우 유용한 고 휘발성이고 안정한 착체를 형성하는 입체장해된 이미다졸 리간드, 이들의 합성이 개시된다.
본 발명은 하기 식의 벌키 기(R)로 적어도 2,5-위가 치환된 이미다졸레이트를 생성할 수 있게 탈양성자화될 수 있는 이미다졸 분자에 관한 것이다.
Figure 112011008690032-pat00001
여기서, R1 및 R3은 독립적으로 에타-1, 에타-2, 에타-3, 에타-4 또는 에타-5 결합내에 금속과 결합하기 위한 이미다졸레이트에 특성을 부여하기 위해 충분한 3-차원 형상을 갖는 벌키 기이며; R2는 벌키 기 또는 벌키 기가 아닌 기일 수 있다.
바람직하게는, 상기 이미다졸레이트의 R1 및 R3은 독립적으로 3차-부틸, 이소프로필, 3차-아밀, 네오펜틸, 아다만틸, 헥실, 시클로헥실, 프로필, 부틸, 이소부틸, 펜틸, 이소펜틸, 네오펜틸, 노르보닐, 바이시클로[2.2.1]헵틸, 디메틸펜틸, 디메틸헥실, 에틸메틸프로필, 이소헥실, 이소펜틸 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된이다.
바람직하게는, 상기 이미다졸레이트의 R2는 벌키 기이다.
바람직하게는, 상기 이미다졸레이트는 2,4,5-tris-t-부틸이미다졸레이트를 포함한다.
다른 면에서, 본 발명은 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐, 칼슘 또는 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 금속과 배위된 하나 이상의 다치환된 이미다졸레이트 음이온을 포함하는 화합물을 개시한다. 다른 금속 착물과 결합된 신규 이미다졸레이트 금속 착체의 혼합물이 또한 고려되고, 추가적인 금속 착물이 이미다졸레이트 착체 또는 비-이미다졸레이트 착체일 수 있고, 상기 착체는 DLI 모드에서 사용된 용매 및 생성 조성물에서 용해될 수 있다. 특히 유용한 조합은 스트론튬 이미다졸이 단순한 혼합물로서 또는 STO ALD 또는 CVD를 위한 DLI 조성물로서 적합한 용매에 공-용해되어, 티타늄 착체와 결합된 것을 포함한다. 유사하게는 바륨 이미다졸레이트 착체는 BST 필름 성장을 위한 적합한 티타늄 착체에 결합될 수 있다.
다르게는, 하나의 이미다졸레이트 음이온은 2차 비-이미다졸레이트 음이온으로 치환될 수 있다. 또한 이미다졸레이트 음이온은 치환체를 포함할 수 있고, 탈양성자화되어 2음이온성 종을 생성할 수 있고, 이 2음이온은 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 칼슘 또는 라듐 또는 이들의 혼합물과 같은 금속에 배위될 수 있다.
바람직하게는, 2차 비-이미다졸레이트 음이온은 다치환된 이미다졸레이트 음이온, 폴리알킬화된 피롤릴 음이온, 베타-디케토네이트, 카르복실레이트, 아세테이트, 케토이미네이트, 디이민, 알콕사이드, 아마이드, 수소화물, 베타-케토에스테르, 아미디네이트, 구아니디네이트, 시클로펜타디에틸, 시아니드, 이소시아니드, 포름에이트, 옥살레이트, 말로네이트, 페녹사이드, 티오레이트, 설파이드, 니트레이트, 알킬, 시릴알킬, 플루오로알킬, 아릴, 이미다졸레이트, 히드라이드 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된다.
상기 신규 화합물 및 BST 필름 형성을 위한 이들의 용도가 또한 고려된다.
보다 바람직하게는, 이미다졸레이트는 하기에서 선택된다:
2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 및 their 바륨, 스트론튬, 마그네슘 및 칼슘 염.
본 발명의 일 구체예의 이미다졸레이트는 휘발성 티타늄 소스와 스트론튬 이미다졸레이트의 혼합물을 포함한다. 보다 바람직하게는, 이 구체예는 휘발성 티타늄 소소로서 이미다졸레이트에 기초한 티타늄 전구체를 포함한다.
다르게는, 이미다졸에서, R1, R2, R3는 함께 결합하여 환 구조를 형성한다.
다르게는, 이미다졸은 적어도 2개의 R1, R2 및 R3이 결합하여 2개 이상의 이미다졸 리간드가 함께 결합된 것을 갖는다.
바람직한 금속 이미다졸레이트는 하기를 포함한다; 디-바륨 테트라(2,4,5-tris-t-부틸이미다졸레이트); 디-바륨 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트); 디-바륨 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트); 및, 디-바륨 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트); 디-스트론튬 테트라(2,4,5-tris-t-부틸이미다졸레이트); 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트); 디-스트론튬 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트); 및, 디-스트론튬 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트).
바람직하게는, 본 발명의 금속 이미다졸레이트는 스테인레스 스틸 용기내에 포함된다. 보다 바람직하게는, 스테인레스 스틸 용기는 그의 내부가 전자 연마된다. 가장 바람직하게는, 스테인레스 스틸 용기는 고 순도, 낮은 사강(dead space) 서비스를 위해 주입 및 배출 밸브를 갖춘다.
도 1은 2,5-디-3차-부틸이미다졸의 X-선 구조를 나타낸다.
도 2는 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸(수소 원자는 N(1)상을 제외하고 명확성을 위해 나타내지 않았다)의 X-선 구조를 나타낸다.
도 3은 바륨 bis(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라히드로푸란) 구조를 나타낸다(수소 원자는 명확성을 위해 나타내지 않았다).
도 4는 디-바륨 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)를 나타낸다(수소 원자는 명확성을 위해 나타내지 않았다).
도 5는 디-바륨 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)에 대한 열무게 분석(TGA: thermogravimetric analysis)/시차주사 열량측정법(DSC: differential scanning calorimetry) 결과이며, 여기서, TGA은 직선이고, DSC은 점선이다.
도 6은 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)를 나타낸다(수소 원자는 명확성을 위해 나타내지 않았다).
도 7은 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)에 대한 TGA/DSC 결과이며, 여기서, TGA은 직선이고, DSC은 점선이다.
도 8은 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트를 나타낸다(수소 원자는 명확성을 위해 나타내지 않았다).
도 9는 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)에 대한 TGA/DSC 결과이며, 여기서, TGA은 직선이고, DSC은 점선이다.
도 10은 디-바륨 테트라(2-3차-부틸-4,5-디(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)를 나타낸다(수소 원자는 명확성을 위해 나타내지 않았다).
도 11은 디-바륨 테트라(2-3차-부틸-4,5-디(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)에 대한 DSC 결과이다..
도 12는 디-바륨 테트라(2-3차-부틸-4,5-디(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)에 대한 TGA 결과이다.
도 13는 디-스트론튬 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸)이미다졸레이트)를 나타낸다(수소 원자는 명확성을 위해 나타내지 않았다).
도 14는 디-스트론튬 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸)이미다졸레이트)에 대한 TGA/DSC 결과이며, 여기서, TGA은 직선이고, DSC은 점선이다.
도 15는 디-바륨 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸)이미다졸레이트)를 나타낸다(수소 원자는 명확성을 위해 나타내지 않았다).
도 16은 디-바륨 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸)이미다졸레이트)에 대한 TGA/DSC 결과이며, 여기서, TGA은 직선이고, DSC은 점선이다.
도 17은 디-바륨-테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)에 대한 TGA/DSC 결과이며, 여기서, TGA은 직선이고, DSC은 점선이다.
도 18은 오존과 반응한 전구체 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)에 대한 ALD 사이클 수의 함수로써 ALD 스트론튬 옥사이드 필름 두께를 나타낸다.
도 19는 350℃ 기판 온도에서 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)/오존 ALD 공정에 대한 ALD 포화 커브를 나타낸다.
도 20은 3.3nm의 티타늄 디옥사이드로 덮인, 375℃에서 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트로부터 ALD SrO 필름 성장의 투과전자현미경(TEM)을 나타낸다.
도 21은 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)/오존을 사용한 350℃에서 SrO 필름 성장의 X-선 광전자분광법(XPS) 분석을 나타낸다.
도 22는 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)의 열적 안정성을 나타낸다.
발명의 상세한 설명
현재, 반도체 산업에서 ALD의 주된 용도는 금속 옥사이드, 예컨대, 스트론튬 옥사이드, 바륨 옥사이드 및 회티탄석 옥사이드: 스트론튬 티타네이트(STO) 및 바륨 티타네이트(BST)의 성장이다. 종종, 이들 공정은 완전한 등각 필름을 깊이 뚫린 원통형 볼륨(vias)내로 또는 컬럼 구조(기둥)상에 성장시키는 것을 요구하며, 열적 분해 또는 점착성(conformality)를 손상시키는 CVD 구성물이 없는 것이 반드시 필요하다.
전구체의 열적 분해의 하나의 주된 메카니즘은 음이온성 리간드가 금속 배위를 분해하기 시작할 때이다. 이와 같이, 열적으로 안정한 음이온에 배위하는 금속 전구체의 제조는 매우 바람직하다. 본 명세서의 신규 이미다졸레이트 리간드 음이온은 높은 열적 안정성을 갖는 것이 입증되었다. 또한 증발상에서 음이온성 리간드가 낮은 휘발성 또는 비휘발성인 고 뉴클래러티(nuclearity)의 화합물, 예컨대, 테트라머 또는 폴리머를 형성하기 위한 다가 금속 센터에 배위하지 않는 것이 중요하다. 따라서, 요컨대, 음이온성 리간드는 1, 2 또는 3개와 같은 상대적으로 낮은 수의 금속 센터와 배위되는 것이 필요하고, 열적으로 분해에 대해 매우 회복력이 있다.
그러나, 고열 안정에 대한 이러한 필요에도 불구하고, 전구체는 또한 ALD 조건에서 화학적으로 매우 반응성일 것이 필요하다. 이러한 고 안정성 음이온성 리간드의 달성은 또한 이의 형식적 음전하가 리간드 구조에 의해 안정화되기 필요하다는 것을 의미한다. 본 명세서의 신규 이미다졸레이트 음이온은 2개의 질소 원자를 포함하는 5원환 방향족 음이온의 존재에 의해 이의 음전하를 안정화한다. 2개의 질소 원자의 전자생성능(electrogenativity)는 또한 형식적 음전하의 안정성을 증가시킨다. 본 명세서의 이미다졸레이트 음이온과 같이 안정하지는 않지만, 다른 5원환 방향족 음이온 예컨대, 시클로펜타디에닐 및 피롤릴(pyrrolyl)이 존재한다. 시클로펜타디에닐 환은 오직 5개의 탄소 원자를 포함하고, 피롤릴 환은 4개의 탄소 원자 및 1개의 질소 원자를 포함한다. 또한 리간드 시클로펜타디엔, 피롤 및 이미다졸의 상대적 산도는 각각 16.0, 16.45 및 14.5이며, 이미다졸이 3개중 가장 산성임을 나타내고, 이의 배위 염기, 즉, 이미다졸레이트 음이온은 3개중 가장 안정함을 나타낸다. 또한 치환되는 큰 벌키 기, 예컨대, 시클로펜타디에닐, 피롤릴 및 이미다졸레이트 음이온상의 3차-부틸의 실제적 입체 한계는 3이 되게 기대된다. 이것은 이와 같은 시클로펜타디에닐 환은 오직 수소로 치환된 남아있는 2개의 환 탄소를 가질 것이고, 피롤은 오직 수소로 치환된 1개의 환 탄소를 가질 것이다. 그러나, 유사한 삼-치환된 이미다졸레이트 환은 모든 3개의 이의 환 탄소가 3개의 3차-부틸 형태 치환기에 의해 치환되기 때문에, 오직 수소만을 갖는 이러한 환 탄소를 갖지 않는다.
이론에 한정되지 않고, 이미다졸레이트 음이온의 환상의 수소 치환체의 부재는 상대적으로 치환된 시클로펜타디에닐 또는 피롤릴 음이온 보다 더 이들에 열적 안정성을 부여한다. 또한 음이온성 리간드의 형태의 부피가 중요하며, 만일 이의 구조가 큰 벌키 기, 3차-부틸를 갖는다면, 리간드에 대한 결합 어세스가 3 이하 금속 센터에 제한되기 때문에, 이들은 생성 금속 착체의 뉴클래러티를 낮게하는 것을 보증할 수 있다. 본 명세서의 신규 이미다졸 리간드는 이와 같은 벌키 기로 쉽게 작용성화됨을 보여주며, 3개 이하 금속 센터에 결합하여 휘발성이고 전구체로서 매우 유용한 금속 착체를 제조할 수 있음을 증명하였다. 이들 특성 이외에도, 유기 리간드의 합성이 효율적이고 고 수율로 달성될 수 있고, 부반응 없이 순수한 생성물을 생성할 수 있는 것이 또한 바람직하다.
리간드의 합성이 다른 유기 기의 그의 구조로의 도입에 대한 정확한 조절을 허여하고, 이것이 본 명세서에 개시된 이미다졸 리간드로 쉽게 달성된다면 바람직하다. 이와 같이, 특히 3치환된 이미다졸 리간드가 표적된다면, 부생성물의 생성을 피하면서 순수한 형태로 쉽게 제조될 수 있고, 다른 치환기는 쉽게 무작위적으로 배분된다. 후자의 경우는 이들의 구성요소로 광범위한 분리가 필요한 이소머의 혼합물로 생성되는 시클로펜타디엔 및 피롤 리간드에서 보다 일반적이다.
본 발명의 신규 이미다졸 리간드는, 비대칭적으로 다른 벌키 기, 예컨대, 3차-부틸로 치환될 때, 고 수율로 합성될 수 있고, 오직 1 이소머로서 순수하게 합성될 수 있음이 확인되었다. 액체 전구체가 고상 전구체보다 증발시키기 보다 쉽고, 직접 액체 주입(DLI:direct liquid injection) 운반을 위한 용액을 제조하기 위한 용매내에 일반적으로 보다 용해될 수 있기 때문에, 낮은 용융점의 순수 금속 착체 또는 매우 바람직한 용액을 제조하는 관점에서 매우 중용하다.
금속 전구체의 결정 격자 팩킹 에너지를 저하시키는 비대칭때문에, 결국 낮은 용융점을 야기하는 비대칭성 금속 착체를 생성하기 때문에, 이와 같은 전구체의 합성은 일반적으로 대칭적으로 입체 보호기로 작용성화된 리간드를 만드는 것을 수반한다. 이와 같이, 리간드는, 바람직하게는, 조절되고 유효한 방식으로 효과적으로 비대칭적으로 작용성화될 수 있는 것이 바람직하다.
이것은 이미다졸 환의 4 및 5환 위치를 결국 차지할 수 있는 벌키 알킬 그룹로 치환된 알파-디케톤을 우선 합성하고, 암모니아 아세테이트의 존재하에 이미다졸 환의 2위치를 결국 차지할 수 있는 벌키 알킬 그룹으로 치환된 알데하이드로 고리화함에 의해 본 발명의 신규 이미다졸레이트 리간드의 합성을 쉽게 달성될 수 있다. 이와 같은 방법으로, 비대칭성 알칼화를 포함하는 이미다졸의 최종적으로 치환된 패턴을 쉽게 조절된다.
비대칭 알킬화의 예는 삼-치환된 이미다졸의 스트론튬 착체: 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸 및 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸을 각각 나타내는 도 6 및 8의 비교에서 확인된다. 앞의 이미다졸은 3개의 3차-부틸 기로 대칭적으로 치환되는 반면, 위의 이미다졸은 2위에서 1개의 3차-부틸 기로 치환되고, 2개의 3차-아밀기가 4 및 5위에서 치환되어, 대칭적이다.
도 7 및 9는 도 6 및 8의 구조에 대한 열무게 분석(TGA) 결과를 각각 나타내며, 도 6의 착체는 148℃에서 용해됨을 나타내고, 도 8의 구조의 용융점은 오직 103℃이다.
도 4 및 10에 나타낸 이들 2개의 이미다졸의 바륨 착체는 각각 151℃(도 5에 도시) 내지 65℃(도 11에 도시)의 용융점의 더욱 현저한 저하를 나타낸다.
이와 같이, 이미다졸 상의 비대칭성 삼-치환의 효과는 낮은 용융점의 금속 착체를 생산한다. 또한 각각의 3 치환체가 고유할 때, 더욱 낮은 용융점은 달성될 수 있다고 기대된다. 또한, 보다 큰 비대칭성 알킬 그룹은 또한 최종 전구체 용융점을 낮추기 위해 사용될 수 있다.
본 발명의 신규 화합물은 단량체 또는 이량체 화합물를 생산하기 위해 바륨 또는 스트론튬 또는 마그네슘, 라듐 또는 칼슘 이온과 배위될 수 있는 음이온성 작용성화된 이미다졸레이트 리간드와 함께, 특히 열적 안정성 및 깨끗한 증발 특성을 갖는 이들 화합물의 중성 리간드 부가물을 포함한다.
이들 신규 착체는 또한 사이클 당 > 2 옹스트롬의 금속 옥사이드 증착 속도를 갖는 특별한 ALD 성능을 나타냄에 의해 ALD 사이클 당 금속 옥사이드의 1 단일층의 성장을 허가하는 것이 증명되었다. 또한 이들 신규 전구체로부터 성장된 ALD 금속 옥사이드는 침적되어 결정이다. 일반적으로 ALD 금속 옥사이드 필름은 침적되어 결정화되지 않고, 따라서 이들의 충분한 유전율 가치를 나타내지 않는다. 따라서, 이들은 발생하는 결정화를 위한 증착 온도보다 더 높은 온도에서 열적으로 강화시킬 필요가 있다. 이것은 추가적인 공정 시간을 요구하고, 필름이 성장된 장치의 성능이 잠재적으로 손상될 수 있는 과도한 가열에 놓여질 것을 필요로 한다. 따라서, 침전되어 결정성 옥사이드 필름을 제공할 수 있는 것은 매우 우수한 제조 이점을 나타낸다. 실험적으로, 본 발명자들은 약 10-16 초의 전구체 펄스 후에, 충분한 스트론튬이 산화후에 SrO의 단일층을 달성하기 위해 제공되는 것을 확인하였다. 이와 같이, 초기 흡수된 층의 효과적인 포화상의 좋은 조절은 도 19에서 나타나는 것과 같이, 빨리 달성될 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 이미다졸레이트 금속 착체는 비교가능한 시클로펜타디에닐 또는 피롤릴 금속 전구체와 비교할 때, 매우 높은 ALD 증착 속도로 금속 옥사이드를 성장시키는 이들의 능력에 있어 독특하다. 도 20에 나타낸 바와 같이, 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 및 오존 시약을 사용한 375℃에서 ALD SrO 필름 성장의 TEM 분석은 순수(001) 스트론튬 옥사이드의 유니트 셀 치수에 정확히 상응하는 6.6nm = 66/24 = 2.75 옹스트롬 당 24 그레인 간격인 금속 옥사이드 원자의 규칙적인 어레이를 명백하게 나타낸다. 또한 만일 이 어레이 아래의 무정형 층이 결정상으로 강화된다면, SrO의 총 24 + 23 = 47 층을 제공하는 약 23개 층으로 얻어져야 한다. 실험적으로 50 ALD 사이클이 사용되어 SrO/사이클의 ~1 단일층의 효과적인 증착을 확인하였다.
상기 이미다졸레이트 환은 고 용해성이고 직접 액체 주입(DLI)에 매우 적합한 저 용융점 화합물을 생성하기 위해 또한 비대칭적으로 치환될 수 있다. 리간드 2,5-디-tert부틸이미다졸의 구조, 본 명세서에 따라 생성된 이미다졸 리간드, 실시예 1을 도 1에 나타내었다.
본 발명은 일 구체예에서, 하기 식의 벌키 기, R로 적어도 2,5-위가 치환된 이미다졸이다:
Figure 112011008690032-pat00002
여기서, R1 및 R3은 독립적으로 이미다졸레이트에 특성을 부여하기 위한 충분한 3-차원 형상을 갖는 벌키 기이며, 탈양성자화 후에 에타-5 결합, 에타-4, 에타-3, 에타-2 또는 에타-1 내에 금속과 결합할 수 있는 이미다졸레이트 음이온이 될 수 있고; R2는 벌키 기 또는 벌키 기가 아닌 기일 수 있다. R1, R2, R3는 또한 탄소-탄소 이중 결합 또는 탄소-탄소 삼중 결합과 같은 불포화를 포함하는 벌키 기일 수 있다.
바람직하게는, 이미다졸은 하기에서 선택된다:
2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)
2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸-이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸 이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4,5-트리(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸이미다졸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸이미다졸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸이미다졸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5--(1,1-디메틸프로필)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5--(1,1-디메틸프로필)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5--(1,1-디메틸프로필)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5--(1,1-디메틸부틸)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5--(1,1-디메틸펜틸)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5--(1,1-디메틸헥실)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)-이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸penyl)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5 ?(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-5 이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2,4-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
2,5-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸이미다졸
2,4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2,4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5(-1,2-디메틸프로필)-5이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필))이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필))이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5 ?(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
바람직하게는 이미다졸은 하기에서 선택된다.
2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)
2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸-이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸 이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
바람직하게는 이미다졸은 하기에서 서택된다.
2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-tert부틸-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4,5-트리(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-디-ter-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-디-ter-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1-메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-4-디(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-5-디(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
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2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
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2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
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2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-tert부틸-4,5-디(1-메틸프로필)이미다졸
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2,4,5-트리(1-메틸프로필)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1-메틸프로필)이미다졸
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2-(1-메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2,5-디(1-메틸프로필)-4-3차-부틸이미다졸
2,4-디(1-메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디(1-메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디(1-메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-tert부틸-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2,4,5-트리(1-메틸부틸)이미다졸
2,4-디-ter-부틸-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2,5-디-ter-부틸-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸부틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1-메틸부틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-4-디(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-5-디(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸에틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸에틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2,4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2,5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-3차-부틸이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
보다 바람직하게는, 이미다졸은 하기에서 선택된다:
2-tert부틸-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4,5-트리(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-디-ter-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-디-ter-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-4-디(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-5-디(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
이어서, 이들 이미다졸은 탈양성자화되어 이들의 각각의 이미다졸레이트 음이온을 생성이시키고, 이어서, 이들 음이온은 바륨, 스트론튬, 칼슘 또는 라듐 이온에 배위되어서 이들의 각각의 착물을 생성시킬 수 있다.
바람직하게는, 이미다졸레이트의 R1 및 R3은 독립적으로 3차-부틸, 이소프로필, 3차-아밀, 네오펜틸, 아다만틸, 헥실, 사이클로헥실, 프로필, 부틸, 이소부틸, 펜틸, 사이클로펜틸, 이소펜틸, 네오펜틸, 노르보르닐, 바이사이클로[2.2.1]헵틸, 프로필, 부틸, 이소부틸, 펜틸, 이소펜틸, 디메틸부틸, 디메틸펜틸, 디메틸헥실, sec-부틸, 에틸메틸프로필, 이소헥실, 이소펜틸로 이루어진 군으로부터 선택된다.
바람직하게는, 이미다졸레이트의 R2는 3차-부틸, 이소프로필, 3차-아밀, 네오펜틸, 아다만틸, 헥실, 헥실, 사이클로헥실, 프로필, 부틸, 이소부틸, 펜틸, 사이클로펜틸, 이소펜틸, 네오펜틸, 노르보르닐, 바이사이클로[2.2.1]헵틸, 프로필, 부틸, 이소부틸, 펜틸, 이소펜틸, 디메틸부틸, 디메틸펜틸, 디메틸헥실, sec 부틸, 에틸메틸프로필, 이소헥실, 이소펜틸로 이루어진 군으로부터 선택된 벌키 기(bulky group)이다.
가장 바람직하게는, 이미다졸레이트는
2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트 및 이들의 바륨, 스트론튬, 마그네슘 및 칼슘 염이다.
또 다른 양태로, 본 발명은 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 칼슘 또는 라듐 또는 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 금속에 배위된 하나 이상의 다치환 이미다졸레이트 음이온을 포함한 화합물을 교시하고 있다.
대안적으로, 하나의 이미다졸레이트 음이온은 제2 비-이미다졸레이트 음이온으로 치환될 수 있다. 또한, 이미다졸레이트 음이온은 또한 탈양성자화되어 이음이온 화학종을 생성시키는 치화체를 지닐 수 있으며, 이러한 이음이온(dianion)은 금속, 예컨대, 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 칼슘 또는 라듐 또는 이들의 혼합물에 배위된다.
신규한 화합물의 합성 및 BST 필름을 형성시키기 위한 이들의 용도가 또한 고려된다.
이들 리간드의 독특한 특성을 이해하기 위해서, 화학식(A)에 나타낸 바와 같이 비치환된 이미다졸의 구조 및 치환 넘버링(numbering) 체계를 고찰하는 것이 필요하다. 고리 넘버링 체계는 이미다졸 고리의 모든 세 개의 탄소 원자가 알킬로 치환되는 경우에, 생성되는 분자는 2,4,5-트리알킬이미다졸로 일컬어질 수 있음을 나타낸다는 것을 주지해야 한다.
Figure 112011008690032-pat00003
이미다졸의 N-H 기가 위치 1에서 탈양성자화되는 경우, 생성되는 음이온의 포말(formal) 음전하는 5원 고리 전체에 탈편재된다. 그러나, 그러한 음이온이 금속 양이온에 배위되는 경우, 그러한 배위는 전형적으로는 질소원자 둘 모두를 통해서 이루어지며, 고리중의 세 개의 탄소원자와는 관련되지 않을 것이다. 이러한 방식으로, 이미다졸 음이온은 가장 전형적으로는 금속 중심들 사이의 선형 "브리징 음이온"(bridging anion)"으로서 거동한다.
금속 양이온과 선형으로 브리징되는 이미다졸레이트의 이러한 아주 강한 경향은 종종 기초 착물을 형성시키기 위한 기술로서 이용되며, 그러한 착물에서, 이미다졸은 화학식(B)에 예시된 바와 같이 금속 양이온들을 함께 연결하기 위한 분자 스캐폴드(scaffold)로서 작용한다. 고도로 회합되면, 그러한 구조체는 비휘발성이다.
Figure 112011008690032-pat00004
본 발명의 신규한 이미다졸 리간드는 이들이 충분히 벌키 기, 예컨대, 3차 부틸을 사용함으로써 이미다졸 고리상의 적어도 2 및 5 위치에서, 더욱 바람직하게는, 2, 4 및 5 위치에서 치환되며, 이미다졸이 탈양성자화되어 이미다졸레이트 음이온을 생성시키는 경우, 화학식(B)에서와 같은 고로로 회합된 구조를 형성시키도록 금속에 배위되지 않고, 금속에 대한 다른 방식의 배위가 가능하게 됨에 특징이 있다. 한가지 가능한 배위 방식은 "에타-5(eta-5)" 방식이며, 그러한 에타-5 방식에서, 5원 고리의 평면은 금속 이온에 대한 측면으로 위치된다. 이러한 형태는, R이 벌키 알킬 유형의 기를 나타내는 화학식(C)에 나타낸 바와 같이, 금속이 이미다졸레이트 고리의 모든 5개의 원자와 결합되게 한다.
본 발명의 목적을 위한 벌키 기는 충분한 3-차원 공간 형태를 지녀 요구된 입체 장해(steric hindrance)를 생성시켜서, 본 발명의 이미다졸레이트와 결합하는 금속이 바람직하게는 각각 화학식(C) 및 화학식(D)의 "에타-5" 결합 또는 "엔드 온(end on)" "에타-1" 결합으로 결합되게 할 수 있는 기이다. 추가로, 이들 두 극단적 구조 사이의 결합 방식, 예컨대, 에타-2, 에타-3 및 에타-4가 또한 가능하다.
Figure 112011008690032-pat00005
더욱 바람직하게는, 본 발명의 목적을 위한 벌키 기는 충분한 입체 장해를 발생시키기 위한 충분한 3-차원 공간 형태를 지녀서, 본 발명의 이미다졸레이트와 결합하는 금속이 화학식(D)의 "에타-5" 결합으로 결합되게 할 수 있는 기이다.
Figure 112011008690032-pat00006
화학식(D)에 도시된 구조는 대부분의 이미다졸 음이온(즉, 이미다졸레이트)이 "에타-5" 또는 측면 방식으로 결합하지 않고, 화학식(B)에서와 같이, 질소원자를 통해서만 선형으로 결합한다는 점에서 예상치 못한 결과를 나타낸다.
캠브리지 결정학적 데이타 베이스(Cambridge crystallographic data base)에서, 에타-5 금속-투(to)-이미다졸레이트 이온 배위의 단지 한 가지 예가 존재하며(M. Tadokoro, T.Shiomi, K. Isob, K. Nakasuji. Inorganic Chem . 40 5476-5478 (2001)), 이러한 배위는 본 발명의 이산성 및 휘발성 금속 착물에서가 아니라 비휘발성의 혼합된 금속 폴리머 배위 화합물에서 발생되어, 본 발명의 신규한 이미다졸 리간드의 독특한 특성을 뒷받침한다.
추가로, 본 발명의 이미다졸레이트 음이온은 또한 벌키 치환체가 이미다졸레이트 질소중 단지 하나에 대한 금속의 결합을 허용하는 화학식(C)에서와 같이 신규의 "엔드 온" 방식으로 결합할 수 있다. 이는 도 8에 예시되어 있으며, 그러한 도 8에서, 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)의 두 말단 이미다졸레이트 음이온은 단지 하나의 질소에 의해서 스트론튬에 결합하는 것으로 도시되고 있다. 이론으로 한정하고자 하는 것은 아니지만, 이미다졸레이트 고리 원자중 단지 2, 3 또는 4개의 원자가 금속에 대한 결합에 관여하는 에타-5 및 에타-1의 두 예 사이에 다른 신규한 결합 방식이 존재함이 또한 고려된다.
벌키 기는 C3 -12 기, 바람직하게는 분지된 알킬, 사이클릭 또는 방향족을 포함하며, 임의로, 다른 작용기, 예컨대, 아민, 알콕시, 히드록실, 카르복실릭, 치환된 아민 및 이들과 유사한 유도체에 의해서 추가로 유도된다. 알칸, 알켄, 알킨, 및 이들의 고리형, 방향족, 및 이들의 유도체는 모두 벌키 기로 여겨지는데, 이들이 이미다졸의 금속과의 에타-4, 에타-3, 에타-2 또는 에타-1, 더욱 바람직하게는, "에타-5" 결합을 유도하도록 3-차원 공간 형태로 충분한 벌크(bulk)를 지니는 요건에 부합하는 한 그러하다. 다른 적합한 벌키 알킬 기는, 이로 한정되는 것은 아니지만, 이소프로필, 3차-아밀, 네오펜틸, 아다만틸, 헥실, 사이클로헥실, 프로필, 부틸, 이소부틸, 3차 부틸, 펜틸, 이소펜틸, 네오펜틸, 노르보르닐, 바이사이클로[2.2.1]헵틸, C9-C20 알킬페닐, C1-C10 알콕시; C1-C10 알킬아민; 이미다졸, 피롤, 피리딘, 푸란, 피리미딘, 피라졸로 이루어진 군으로부터 선택된 헤테로원자 치환된 고리 구조로 작용성화된 C1-C10알킬; 아미드 기로 작용성화된 C1-C10 알킬; 에스테르 기로 작용성화된 C1-C10 알킬 및 이들의 혼합물을 포함한다.
도 4, 6, 10, 13 및 15에서 알 수 있는 바와 같이, 벌키 기는 구조내에 존재하는 말단 이미다졸레이트 음이온에 의해서 예시된 "에타-5" 결합을 유도할 수 있다. 그러나, 중심 이미다졸레이트는 2개의 금속 중심과 함께 연결되는 "브리징" 음이온으로서 작용하고, 여기서, 금속-질소 결합의 축이 이미다졸레이트 고리의 평면에 있지 않으며, 둘 모두가 평면의 한 측에 집중된다. 어떠한 이론으로 한정하고자 하는 것은 아니지만, 벌키 기는 에타-4, 에타-3, 에타-2 또는 에타-1, 더욱 바람직하게는, 에타-5 결합을 선호하며, 그러한 결합이 충족되는 경우, 두 벌키 기 치환된 이미다졸이 금속에 결합된 후의 가능한 입체 장해 효과로 인해서, 추가의 선형 비-평면 결합이 또한 벌키 기에 의해서 허용된다. 따라서, 본 발명에서, 벌키 기가 에타-4, 에타-3, 에타-2 또는 에타-1, 더욱 바람직하게는, "에타-5 결합"으로 금속과 결합하도록 이미다졸레이트에 대한 성질에 영향을 줌을 언급함에 특징이 있는 경우에, 이는 "에타-5" 등에 추가로 선형 양상의 추가의 결합을 배제하지 않지만, 단지 선호되거나 바람직한 결합 형태를 설명하는 것이다. 벌키 기가 없이는, 이들 이미다졸레이트는 에타-4, 에타-3, 에타-2, 에타-1, 더욱 바람직하게는 에타-5, 즉, 비-평면 브리징 결합을 선호하는 성질을 나타내지 않을 것이다.
비치환된 페닐은, 이의 대체적인 평면형 3-차원 모양으로 인해서, 벌키 기의 정의에 포함되기에 충분한 벌키니스(bulkiness)를 나타내지 않지만, 사이클로헥산은 벌키 기를 구성하기에 충분한 결합 각을 지닌다.
또한, 이들 알킬 치환체는 또한 배위 기, 예컨대, 에테르, 크라운 에테르, 아민, 아미드, 시아노, 이소니트릴, 이민, 아미디닌, 에스테르, 피리딘, 이미다졸, 피롤, 피라졸, 옥사졸, 이소옥사졸, 푸란, 피리미딘, 푸르푸릴, 옥시란, 아지리딘, 옥솔란, 1,3-디옥솔란, 1,4-디옥산, 1,3,5-트리옥산, 피롤리딘, 피페리딘, 퀴누클리딘으로 작용성화될 수 있다. 이들은 또한 탈양성자화될 수 있는 기로 작용성화되어서, 이미다졸이 또한 탈양성자화되어, 이들이 이음이온(dianion)을 형성하고, 이어서, 이는 금속 중심에 배위될 수 있다. 그러한 기는, 이로 한정되는 것은 아니지만, 사이클로펜타디엔, 피롤, 베타-디케톤, 베타-케토이민, 베타-디이민, 알코올, 아민, 아미드, 피롤, 페놀, 카르복실레이트, 아미디네이트, 구아니디네이트를 포함한다.
휘발성 알칼리토 화합물을 생성시키는데 있어서 3차-부틸 및 이와 유사한 3차원 벌키 기 대 평면형 기, 예컨대, 페닐의 효과가 실시예 20에 기재된 R1=R2=R3= 페닐인 2,4,5-트리페닐이미다졸의 바륨 착물의 제조에 의해서 예시되고 있으며, 그러한 실시예에서, 휘발성 바륨 화학종은 반응 혼합물로부터 분리될 수 없다. 이는 각각 도 5 및 도 16에 예시된 예외적인 휘발성을 나타내는 각각 실시예 8 및 실시예 16에 기재된 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸 및 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸의 바륨 착물과 극명하게 대조된다.
ALD 및 CVD 적용을 위한 바륨 화합물의 가장 잘 공지된 패밀리중 하나는 바륨 이온이 두 개의 멀티 알킬 작용성화된 사이클로펜타디에닐 음이온, 예컨대, 트리-3차-부틸사이클로펜타디에닐(t-Bu3Cp)에 배위되는 "바로센(barocene)" 화합물이다. TGA는 이들 화합물의 휘발성/열적 안정성을 스크리닝하는데 사용되었다. 이러한 기술에서, 바륨 화합물의 샘플이 건조한 불활성 가스, 예컨대, 질소의 지속된 스트림 하에 지속적으로 상승하는 속도로 가열되는 미량 천칭 팬(microbalance pan)에 넣어진다. 샘플의 온도가 증가함에 따라서, 바륨 화합물은 증가하는 속도로 증발하며, 이러한 중량 손실이 미량 천칭에 의해서 검출된다. 종국적으로, 증발이 중지되며, 바륨의 경우, 전형적으로는 비휘발성 물질의 잔류물이 존재한다.
바륨이 ALD 또는 CVD 공정을 위한 공급 전구체 화합물로서 사용되는 경우, 낮은 수준의 잔류물이 아주 바람직한데, 그 이유는 낮은 수준의 잔류물이 가능한 바륨의 제어된 증발을 나타내기 때문이다. 또한, CVD 또는 ALD 공정의 경우에, 많은 금속 전구체, 예컨대, 바륨 전구체가 용매에 용해되며, 이러한 용액이 직접적인 액체 주입 (DLI) 시스템에서 증발된다. 기본적으로는, 이는 정밀하게 제어된 용액 흐름을 증발기 내로 전달함을 포함하고, 용액 및 이의 용해된 용질이 신속하게 가열되고 감압하에 증발된다. 이어서, 생성되는 증기는 CVD 또는 ALD 반응기에 전송된다. 전형적으로는, 용액이 증발되거나 간단히 증발 온도로 도입되는 지점에서 증발기 내의 사용된 축소된 노즐 및 좁은 구멍의 튜브가 존재한다. 용질이 완전히 증발되지 않고 비휘발성 잔류물이 형성되는 경우, 이들 미세 구멍의 튜브가 폐쇄될 수 있으며, 그에 의해서 용액의 어떠한 추가의 흐름을 방해한다.
이들 이유로 인해서, 가장 가능한 DLI 성능을 위해서, 방해 잔류물의 축적을 피하도록 TGA 실험에서 관찰된 비휘발성 잔류물이 가능한 한 적게 하는 것이 아주 바람직하다. 이는 장치의 고장이 아주 큰 비용을 요하는 상업적 제조 환경에서 특히 중요하다. 분자 디-바륨 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트) 및 디-바륨 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)에 대한 도 5 및 도 16에서의 TGA 결과는 각각 매우 낮은 단지 3.53 및 2.99중량%의 비휘발성 잔류물을 보여서, 이들의 바로센 동족체, 예컨대, Ba(tBu3C5H2)2(테트라하이드로푸란)에 비해서, 본 발명의 금속 이미다졸레이트 착물의 우수한 증발 특성 및 우수한 휘발성을 나타냄을 주지해야 한다. 이러한 바로센 동족체는 4.2중량%의 TGA 비휘발성 잔류물을 지니는 것으로 보고되어 있다(Timo Hatanpaa, Marko Vehkamaki, Ilpo Mutikainen, Jarno Kansikas and Mikko Ritala "Synthesis and characterization of cyclopentadienyl complexes of barium: precursors for atomic layer deposition of BaTiO3" Dalton Trans., 2004, p.1181-1188). 그러나, 이러한 TGA 결과는 순수한 바로센이 아닌 바로센의 테트라히드로푸란 부가물의 결과이기 때문에, 약간의 중량 손실이 단순히 테트라히드로푸란의 손실로부터 발생됨에 따라서 인위적으로 낮은 듯하다. 이러한 차이를 고려하면 675/603 X 4.2 = 4.7중량%의 보정된 값이 생성되며, 여기서, 675 및 603은 각각 바로센 테트라하이드로푸란 부가물 및 순수한 바로센의 분자량을 나타낸다.
디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디(1,1-디메틸프로필이미다졸레이트)의 우수한 열적 안정성이 실시예 22 및 도 22에 예시되어 있으며, 여기서, ALD 조건하에, 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디(1,1-디메틸프로필이미다졸레이트)의 펄스는 >350℃까지 기판 표면상에서 열적으로 분해되지 않는 것으로 나타났다.
바람직한 금속 이미다졸레이트는; 디-바륨 테트라(2,4,5-트리스-t-부틸이미다졸레이트); 디-바륨 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸레이트); 디-바륨 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트); 및 디-바륨 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트); 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리스-t-부틸이미다졸레이트); 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸레이트); 디-스트론튬 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트); 및, 디-스트론튬 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)를 포함한다.
본 발명은 새롭고 신규한 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐 및 칼슘 치환된 이미다졸레이트-기재 화합물의 합성법 및 그러한 화합물의 용도 및 직접적인 액체 주입시의 증기 전달을 위한 이들의 용액으로서, 이미다졸레이트 리간드 음이온의 치환된 기, 바람직하게는 알킬 기가 벌키 탄화수소, 예컨대, 3차-부틸, 3차-아밀, 아다만틸, 사이클로헥실, 네오펜틸 등이며; 질소 또는 산소 함유 알킬, 예컨대, 3차 아민 또는 에테르 기일 수 있는 새롭고 신규한 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐 및 칼슘 치환된 이미다졸레이트-기재 화합물의 합성법 및 그러한 화합물의 용도 및 직접적인 액체 주입시의 증기 전달을 위한 이들의 용액에 관한 것이다. 추가로, 이들 새로운 화합물은 또한 다른 중성 리간드, 예컨대, 에테르 또는 아민 또는 알콕시아민과 배위될 수 있다. 전자 끄는 기(Electron withdrawing group), 예컨대, 니트로 또는 아실이 또한 이미다졸레이트 고리 치환체로서 존재할 수 있다.
이론으로 한정하고자 하는 것은 아니지만, 기, 예컨대, 니트로는 이미다졸레이트 음이온이 바륨 또는 스트론튬 또는 다른 알칼리토금속에 더 적게 전자를 공여하게 함으로써 첨가된 중성 리간드, 예컨대, 테트라하이드로푸란 (THF), 디글라임(diglyme), 18-크라운-6 크라운 에테르의 배위를 향상시키고, 그에 따라서, 첨가된 리간드에 대한 금속의 루이스 산도를 증가시키고, 그에 따라서, 금속에 대한 이들의 친화성을 증가시킨다. 이러한 향상된 배위의 달성은 전체 바륨 또는 스트론튬 화합물이, 배위된 리간드, 예컨대, THF와 함께, 하나의 완전한 화합물로서 온전히 기화되게 하며, 이러한 배위된 리간드가 방출되게 하지 않는다.
본 발명은 금속 시약, 예컨대, 바륨 또는 스트론튬 헥사메틸디실라잔 또는 바륨 또는 스트론튬 하이드라이드를 사용하여 이미다졸레이트 리간드를 직접 금속화시킴으로써 표준 전이 유형의 반응의 이용에 대한 효율적인 대안을 제공하는, 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐 또는 칼슘 화합물을 합성하는 신규의 방법으로서, 이미다졸이 금속 하이드라이드, 예컨대, 소듐 하이드라이드로 먼저 처리되어 소듐 이미다졸레이트를 형성시키고, 이어서, 이는 바륨 또는 스트론튬 할라이드, 예컨대, 바륨 또는 스트론튬 요오다이드 등과 반응하는 방법을 포함한다.
이러한 새로운 화합물을 합성하는 다른 신규한 기술은, 이로 한정되는 것은 아니지만, 증기로서 또는 미세하게 분산된 분말로서 바륨, 스트론튬, 마그네슘 또는 칼슘 금속과의 이미다졸 리간드의 직접적인 반응, 암모니아의 존재하의 바륨 또는 스트론튬 금속 등과의 반응, 또는 이미다졸 리간드를, 암모니아와 함께, 아민, 예컨대, 헥사메틸디실라잔의 존재하에 바륨 금속과 반응시킴을 포함한다. 신규한 화합물은 또한 전기화학적 합성에 의해서 제조될 수 있다.
추가로, 광범위하게 다양한 금속 및 금속화제가 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐 또는 칼슘 공급원과 반응시키기 전에 이미다졸 리간드를 효과적으로 탈양성자화시키기 위해서 사용될 수 있다. 그러한 시약은, 이로 한정되는 것은 아니지만, 리튬 금속, n-부틸 리튬, n-헥실 리튬, sec-부틸 리튬, 3차-부틸 리튬, 리튬 디이소프로필아미드, 포타슘 하이드라이드, 포타슘 헥사메틸디실라잔, 소듐 하이드라이드, 소듐 금속, 소듐 헥사메틸디실라잔, 포타슘 금속, 바륨 금속, 소듐 t-부톡사이드, 포타슘 t-부톡사이드를 포함한다. 바륨 공급원은, 이로 한정되는 것은 아니지만, 바륨 요오다이드, 바륨 브로마이드, 바륨 트리플루오로아세테이트, 바륨 헥사플루오로아세틸아세톤, 바륨 트리플루오로아세틸아세토네이트, 바륨 아세틸아세토네이트, 바륨 디이민, 바륨 케토이민, 바륨 아미디네이트, 바륨 구아니디네이트, 바륨 아미드, 바륨 알콕시드, 바륨 아미드, 바륨 카르보네이트, 바륨 아세테이트, 바륨 카르보네이트, 바륨 포르메이트, 바륨 프로피오네이트, 바륨 페녹사이드, 바륨 히드록사이드, 바륨 플루오라이드, 바륨 아미디네이트, 바륨 아미디닌 및 바륨 공급원에 대한 스트론튬, 마그네슘, 라듐 및 칼슘 유사체를 포함한다.
본 발명의 신규한 다치환 이미다졸 바륨, 마그네슘, 칼슘, 라듐 또는 스트론튬 화합물은 하기 화학식(E), 화학식(F), 화학식(G) 및 화학식(H)의 구조식으로부터 선택되며, 그러한 화학식에서, R1, R2 및 R3은 각각 독립적으로 아실, 포르밀, 니트로, 아미도, H, C1-C10, 일차, 이차 또는 삼차 알킬, 일차, 이차 또는 삼차 알켄 또는 알킨 C1-C10 알콕시, C9-C20 알킬페닐, 알킬아민; 헤테로원자 치환되 고리 구조, 예컨대, 이미다졸, 피롤, 피리딘, 푸란, 피리미딘, 피라졸, 피롤로 작용성화된 C1-C10 알킬; 아미드 기로 작용성화된 C1-C10알킬; 및 에스테르 기로 작용성화된 C1-C10 알킬로부터 선택되고, 각각의 n은 독립적으로 0 내지 4이고, 바람직하게는, 각각의 n은 독립적으로는 0, 1 또는 2이다. 배위된 (L) 리간드가 없음을 나타내기 위한 (L)n에서 n이 0(제로)인 중성 리간드-없는 분자가 또한 기재됨을 주지해야 한다.
혼합된 착물이 또한 생성될 수 있는데, 그러한 착물에서, R1 -3은 이미다졸레이트 음이온들 사이에서 판이하게 다양하고, 그러한 혼합물이 바륨 또는 다른 알칼리토금속에 착물화되어서, 생성되는 바륨 또는 다른 알칼리토금속 착물이 혼합물을 나타내게 한다. 예를 들어, 두 개의 상이한 이미다졸레이트 음이온 I1 및 I2이 함께 혼합되고 바륨에 착물화되면, 3개의 독특한 바륨 착물, 즉, Ba(I1)2, Ba(I1I2) 및 Ba(I2)2이 생성될 수 있다. 세 가지의 상이한 이미다졸레이트 음이온 I1, I2 및 I3이 혼합되고 바륨에 착물화되는 경우, 여섯 가지의 착물, 즉, Ba(I1)2, Ba(I1I2), Ba(I1I3), Ba(I2)2, Ba(I2I3) 및 Ba(I3)2가 형성된다. 이들 혼합물은 DLI를 위한 액체 또는 높은 가용성 포뮬레이션(formulation)일 것이다. 또한, 하나의 이미다졸레이트 음이온의 R1 -3 기는 함께 결합될 수 있거나, 다른 이미다졸레이트 음이온의 R1 -3 기에 연결되어 두 음이온을 함께 연결할 수 있다. 중성 리간드(L)은 지방족 C1-C20 에테르 또는 폴리에테르, 크라운에테르, 예컨대, 18-크라운-6, 아민 또는 폴리아민, 알콕시아민 또는 폴리알콕시아민, 아미드 또는 폴리아미드, 에스테르 또는 폴리에스테르, 방향족 에테르, 방향족 에스테르, 방향족 아미드, 방향족 아민, 피리딘, 이미다졸, 피리딘, 피라진, 푸란, 알킬카르보네이트 또는 피롤로부터 선택된다. 추가로, R1, R2 및 R3기는 함께 연결되어 고리 구조를 형성할 수 있다. 이들 고리 구조가 또한 방향족일 수 있다.
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화학식(F), 화학식(G) 및 화학식(H)의 디머(dimeric) 화합물이 출발물질을 구성하고, 이러한 출발물질로부터 중성 리간드, 예컨대, 디글라림이 첨가되어 부가 착물을 생성시킴이 주목할 만하다.
화학식(E), 화학식(F), 화학식(G) 및 화학식(H)에서, M은 마그네슘, 칼슘, 스트론튬, 바륨, 라듐, 바람직하게는 스트론튬 및 바륨, 더욱 바람직하게는 바륨으로부터 선택된 2족 금속이다.
상기 착물에 추가로, 이론으로 한정하고자 하는 것은 아니지만, 하나의 폴리알킬화된 이미다졸레이트 음이온과 하나의 다른 유기 또는 무기 음이온이 바륨에 배위되어 완전한 착물을 형성하는, 혼합된 바륨 착물이 또한 제조될 수 있다. 그러한 대안적인 음이온의 예는, 이로 한정되는 것은 아니지만, 베타-디케토네이트, 아세테이트, 케토이미네이트, 디이민, 알콕사이드, 아미드, 하이드라이드, 베타-케토에스테르, 아미디네이트, 구아니디네이트, 사이클로펜타디에닐, 시아나이드, 이소시아나이드, 포르메이트, 옥살레이트, 말로네이트, 페녹사이드, 티올레이트, 설파이드, 니트레이트, 알킬, 실릴알킬, 플루오로알킬, 아릴, 이미다졸레이트를 포함한다. 상기 기재된 바와 같은 다른 알칼리토금속 착물이 또한 고려된다.
화학 기상 증착 또는 원자층 증착을 위한 전구체로서의 이들 금속-함유 폴리알킬화된 이미다졸을 통해서 몇 가지 이점이 달성될 수 있으며, 이러한 이점은 다음과 같다:
사이클당 하나의 단일층까지 또는 그 초과의 높은 성장 속도로 ALD 및 CVD 그속 옥사이드 및 혼합된 금속 옥사이드, 예컨대, STO 또는 BST를 성장시키는 능력.
직접적으로 ALD 또는 CVD 공정 조건하에, 결정상 금속 옥사이드 및 혼합된 금속 옥사이드 필름, 예컨대, STO 또는 BST를 성장시키는 능력.
비대칭적으로 알킬화된 이미다졸레이트의 금속 이미다졸 착물을 형성시켜서 저융점 또는 액체 전구체를 생성시키는 능력.
양호한 수율로 반응성 착물을 형성시키는 능력.
한 가지 종류 또는 혼합된 종류의 리간드와 배위된 모노머성의 열적 안정성 복합체, 특히 스트론튬 및 바륨 복합체를 형성시켜서, 공지된 스트론튬 및 바륨 전구체의 증기압보다 높은 증기압을 달성시키는 능력(여기서, 공지된 스트론튬 및 바륨 전구체는 낮은 열적 안정성 또는 비교적 높은 수준의 비휘발성 잔류물을 지니는 낮은 증기압 또는 모노머성 화합물과의 폴리머 착물이다);
마이크로전자 장치에 사용하기에 적합한 고도의 정각(conformal) 금속 옥사이드 박막을 형성시키는 능력;
착물의 높은 화학적 반응성에 기인하여 기판의 표면과 금속-함유 알킬화된 이미다졸레이트 음이온 사이의 표면 반응을 향상시키는 능력; 및
R1 -3 기에서의 변화를 통해서 이들 금속-함유 다치환 이미다졸레이트 음이온의 물리적인 성질을 조절하는 능력.
추가로, 금속 착물은 또한 두 가지의 상이한 다치환 이미다졸레이트 음이온을 금속 중심, 예컨대, 바륨과 배위시켜서, 두 리간드가 서로 최적의 "적합성(fit)" 및 "연결(interlock)"을 이루고, 안정한 모노머 착물을 생성시키도록 충분한 배위 공간을 제공하는 방식으로 금속을 둘러쌈으로써 제조될 수 있다.
이론으로 한정하고자 하는 것은 아니지만, 본 발명의 분자는 알칼리토금속 옥사이드 함유 막을 증착시키기 위한 CVD 또는 ALD 공정에 사용하기 위한 우수한 전구체이며, 그러한 전구체를 산화제, 예컨대, 물, 알코올, 산소, 오존, 아산화질소, 이산화질소, 과산화수소 또는 이들의 조합물과 적용된 플라즈마 방전의 존재 또는 부재하에 함께 순차적으로 도는 동시에 반응시킴으로써 알칼리토금속 옥사이드 함유 막을 증착시킨다. 추가로, 본 발명의 바륨 및 스트론튬 분자는 티타늄 전구체, 예컨대, 티타늄 알콕시/디케토네이트, 티타늄 알콕시/케토에스테르, 티타늄 알콕사이드, 티타늄 사이클로펜타디에닐, 티타늄 아미드 티타늄 이미다졸레이트 함유 전구체, 티타늄 피롤릴 함유 전구체 또는 이들의 조합물과 CVD, 펄스식 CVD 또는 ALD 방식 또는 하이브리드 펄스식(hydrid pulsed) CVD/ALD 공정으로 반응시켜 BST(바륨 스트론튬 티타네이트) 막을 증착시킬 수 있으며, 그러한 막은 이들의 높은 유전 상수로 인해서 아주 귀중이다. 추가로, 본 발명의 바륨 착물은 스트론튬 케토이미네이트 및 티타늄 전구체, 예컨대, 티타늄 알콕시/디케토네이트, 티타늄 알콕시/케토에스테르, 티타늄 알콕사이드, 티타늄 사이클로펜타디에닐, 티타늄 아미드 티타늄 이미다졸레이트 함유 전구체, 티타늄 피롤릴 함유 전구체 또는 이들의 조합물과 CVD, 펄스식 CVD 또는 ALD 또는 하이브리드 펄스식 CVD/ALD 방식으로 반응시켜 BST 막을 증착시킬 수 있다.
이들 새로운 전구체 분자는 고도의 신규한 방식의 표면 흡착 및 반응을 수행하는 이들의 능력으로 인해서 예외적인 높은 증착 속도로 전달될 수 있다. 따라서, 신규한 전구체를 사용하는 경우, 350℃에서 사이클당 >2.5 옹스트롬의 스트론튬 옥사이드의 증착 속도가 달성되어서, 전형적인 성장 속도의 약 5배의 성장 속도를 나타낸다. 사이클당 성장에서의 그러한 향상은 임계적으로 중요한데, 그 이유는 그러한 성장이 상업적 생산에서 단위 시간당 더 많은 웨이퍼 생산을 가능하게 하여, 실질적인 절약을 달성하기 때문이다. 추가로, 본 발명의 신규한 이미다졸레이트 리간드는 다른 금속 및 금속 함유 막의 성장 속도를 유사하게 향상시킬 수 있는 것으로 여겨진다.
본 발명의 전구체는, 반도체 유형의 마이크로전자 장치, 예컨대, 메모리 어플리케이션(memory application), 예컨대, DRAM 장치를 위한 마이크로커패시터 셀의 제조를 위한, ALD, CVD, 펄스식 CVD, 플라즈마 강화 ALD (PEALD) 또는 플라즈마 강화 CVD (PECVD)에 휘발성 전구체로서 사용하기에 아주 적합하다. 이들은 또한 열감지 장치(pyrodetector device)의 제조에 아주 유용하다.
본 출원의 전구체는 또한 광범위한 용매에 용이하게 용해될 수 있고, 생성된 용액은 ALD 또는 CVD 반응기로의 상기 전구체의 증기 스트림을 제공하는 DLI 모드에 사용된다. 저융점에서, 이들은 알킬에테르, 알킬아민, 알콕시아민, 방향족 에테르, 방향족 아민, 아미드, 에스테르 및 탄화수소 용매에서 용해되는 것을 포함하여 특히 가용성이다. 에스테르 및 탄화수소 용매 종이 특히 매력적인데, 이는 이들의 물의 ppm 수준 아래로 건조되는 능력 때문이다. 본 발명에 사용될 수 있는 예시적인 용매는 아미노 에테르, 예를 들어, BL-19, 글라임, 예를 들어, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 예를 들어, DPGDME, 펜타메틸-디에틸렌 트리아민, N,N-디메틸시클로헥실아민, N-메틸디시클로헥실아민, 디메틸-4-모르폴린 에타민, 아니솔(메톡시벤젠), 페네톨 (에톡시벤젠), 톨루엔, 메시틸렌, 큐멘 (이소프로필벤젠), p-시멘 (4-이소프로필 톨루엔), 1,3-디이소프로필벤젠, 옥탄, 도데칸, 1,2,4-트리메틸시클로헥산, n-부틸시클로헥산, 및 데카히드로나프탈렌 (데칼린)이다. 본 출원의 전구체는 또한 저장될 수 있고, 스테인레스 강철 용기에서 사용될 수 있다.
본 출원의 전구체는 또한 다른 적합한 금속 전구체와 혼합될 수 있고, 상기 혼합물은 2성분 금속 산화물 또는 질소화물 필름의 생성을 위해 둘 모두의 금속을 동시에 전달하는데 사용된다. 예를 들어, 본 출원의 스트론튬 전구체는 스트론튬 티타네이트(STO) 필름의 생성을 위해 이미다졸레이트 기반의 티타늄 전구체를 포함하는 적합한 티타늄 전구체와 혼합될 수 있다. 유사하게, 본 출원의 바륨 전구체는 바륨 스트론튬 티타네이트(BST) 필름의 생성을 위해, 이미다졸레이트 기반의 스트론튬 전구체를 포함하는 적합한 스트론튬 전구체, 및 이미다졸레이트 전구체를 포함하는 적합한 티타늄 전구체와 혼합될 수 있다. 유사하게, 본 출원의 바륨 전구체는 바륨 티타네이트(BTO) 필름의 생성을 위해 이미다졸레이트 기반의 티타늄 전구체를 포함하는 적합한 티타늄 전구체와 혼합될 수 있다.
본 발명은 또한 상기 기재된 본 발명의 금속 이미다졸레이트 구조의 사용을 포함하는 ALD 또는 CVD에 의한 금속 함유 필름을 증착시키는 방법에 관한 것이다.
바람직하게는, 본 발명은 0.001 내지 1000 Torr의 반응기 압력 및 0 내지 1000℃의 온도를 이용하여 바륨 산화물, 스트론튬 산화물, 마그네슘 산화물, 칼슘 산화물 또는 라듐 산화물 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 금속 함유 필름을 생성시키기 위해 본 발명의 금속 이미다졸레이트 구조와 물, 알코올, 산소, 오존, 아산화질소, 이산화질소, 과산화수소 또는 이의 조합물로 구성된 군으로부터 선택된 산화제와 반응시켜 금속 함유 필름을 증착시키는 방법을 포함한다.
더욱 특히, 본 발명의 방법은 주기당 >1 옹스트롬의 바륨 산화물의 증착을 발생시킨다. 더욱 바람직하게는, 바륨 산화물의 증착은 주기당 >1.5 옹스트롬이다. 더욱 더 바람직하게는, 바륨 산화물의 증착은 주기당 >2 옹스트롬이다.
대안적으로, 본 발명의 방법은 주기당 >1 옹스트롬의 스트론튬 산화물의 증착을 발생시킨다. 바람직하게는, 스트론튬 산화물의 증착은 주기당 >1.5 옹스트롬이다. 더욱 바람직하게는, 스트론튬 산화물의 증착은 주기당 >2 옹스트롬이다.
한 구체예에서, 본 발명의 방법은 BST 필름을 생성시키기 위해 ALD 또는 펄스화된 CVD 모드에서 본 발명의 Ba 및 Sr 이미다졸레이트 구조와 티타늄 알콕시드, 티타늄 알콕시드/디케토네이트, 티타늄 시클로펜타디에닐, 티타늄 아미드, 티타늄 이미다졸레이트 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 티타늄 전구체의 교대 펄스(alternating pulse)와 반응시키는 것을 포함한다.
또 다른 구체예에서, 본 발명의 방법은 STO 필름을 생성시키기 위해 ALD 또는 펄스화된 CVD 모드에서 본 발명의 Sr 이미다졸레이트 구조와 티타늄 알콕시드, 티타늄 알콕시드/디케토네이트, 티타늄 시클로펜타디에닐, 티타늄 아미드, 티타늄 이미다졸레이트 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 티타늄 전구체의 교대 펄스와 반응시키는 방법이다.
한 추가 구체예는 BTO 필름을 생성시키기 위해 ALD 또는 펄스화된 CVD 모드에서 본 발명의 Ba 이미다졸레이트 구조와 티타늄 알콕시드, 티타늄 알콕시드/디케토네이트, 티타늄 알콕시/케토에스테르, 티타늄 시클로펜타디에닐, 티타늄 아미드, 티타늄 이미다졸레이트 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 티타늄 전구체의 교대 펄스와 반응시키는 방법이다.
또 다른 추가 구체예는 BST 필름을 생성시키기 위해 ALD, CVD 또는 펄스화된 CVD에서 본 발명의 바륨 이미다졸레이트 구조와 스트론튬 케토이미네이트, 스트론튬 디케토네이트 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 스트론튬 화합물, 및 티타늄 알콕시드, 티타늄 알콕시드/디케토네이트, 티타늄 알콕시/케토에스테르, 티타늄 시클로펜타디에닐, 티타늄 아미드 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 티타늄 화합물을 반응시키는 방법이다.
또 다른 구체예는 ALD, CVD 또는 펄스화된 CVD 모드에서 MX2(여기서, X는 할라이드이고, M은 Ba, Sr, Mg, Ca, Ra 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택됨)를 생성시키기 위해 본 발명의 청구항 제13항의 이미다졸레이트 구조와 HCl, HF, SiCl4, HBr 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 할라이드 기체를 반응시키는 방법이다.
본 발명의 이미다졸레이트 구조를 합성하는 방법은 n-부틸 리튬, n-헥실 리튬, 세크-부틸 리튬, 3차-부틸 리튬, 리튬 디이소프로필아미드, 수소화칼륨, 수소화나트륨, 소듐 금속, 포타슘 금속, 소듐 t-부톡시드, 포타슘 t-부톡시드, 포타슘 헥사메틸디실라잔, 소듐 헥사메틸디실라잔으로 구성된 군으로부터 선택된 금속 시약을 이용한 이미다졸의 직접적인 금속화 후, 생성된 생성물을 알칼리토금속 요오드화물, 알칼리토금속 아세테이트, 알칼리토금속 카르복실레이트, 알칼리토금속 카르보네이트, 알칼리토금속 포르메이트, 알칼리토금속 브롬화물, 알칼리토금속 트리플루오로아세테이트, 알칼리토금속 헥사플루오로아세틸아세톤, 알칼리토금속 트리플루오로아세틸아세토네이트, 알칼리토금속 아세티아세토네이트, 알칼리토금속 디이민, 알칼리토금속 케토이민, 알칼리토금속 아미디네이트, 알칼리토금속 구아니디네이트 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 반응물을 반응시키는 것이다.
본 발명의 방법은 알칼리토금속 아미드, 알칼리토금속 페녹시드, 알칼리토금속 히드록시드, 알칼리토금속 알킬, 알칼리토금속 아릴 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 시약을 이용하여 폴리알킬화된 이미다졸을 반응시킴으로써 본 발명의 이미다졸레이트 구조를 직접적으로 합성하는 방법이다.
한 대안적 구체예에서, 본 발명의 방법은 암모니아의 존재하에서 이미다졸과 알칼리토금속의 반응에 의해 본 발명의 이미다졸레이트 구조를 합성하는 방법이다.
한 추가의 대안적 방법은 암모니아와 함께 아민의 존재하에서 이미다졸과 알칼리토금속을 반응시킴으로써 본 발명의 이미다졸레이트 구조를 합성하는 방법이다.
본 발명의 방법은 또한 동적 임의 액세스 메모리(dynamic random access memory, DRAM) 메모리 셀 및 파이로미터(pyrometric) 장치로 구성된 군으로부터 선택된 마이크로 전자공학 장치를 형성시키기 위해 본 발명의 금속 이미다졸레이트의 혼합물을 이용하여 STO 및 BST로 구성된 군으로부터 선택된 유전체 필름을 생성시키는 방법이다.
대안적으로, 본 발명의 방법은 본 발명의 이미다졸레이트 구조를 이용하여 비휘발성 강유전체 마이크로 전자공학 메모리 장치, 전계발광 디스플레이용 디스플레이 인광체, 높은 Tc의 초전도 장치로 구성된 군으로부터 선택된 마이크로 전자공학 장치를 제조하는 방법이다.
또 다른 구체예에서, 본 발명의 방법은 ALD 또는 CVD에 의해 금속 산화물 또는 질화물 필름을 생성시키기 위해 에테르, 아미노에테르, 아미드, 에스테르, 방향족 또는 탄화수소 용매로 구성된 군으로부터 선택된 용매 중에 용해된 티타늄 공급원과 함께 본 발명의 바륨 또는 스트론튬 이미다졸레이트 구조를 제공하고, 생성된 용액을 DLI 시스템까지 전달하는 것을 포함하여 ALD 또는 CVD에 의해 금속 산화물 또는 질화물 필름을 생성시키는 방법이다.
실시예
실시예 1
2,5-디-3차부틸이미다졸의 합성
5.44g(0.04 moles)의 2,2-디메틸프로판이미드아미드 히드로클로라이드를 16.0g의 디에틸포름아미드(DEF) 중의 7.2 g(0.04 moles)의 1-브로모피나콜론 및 11.2g의 트리에틸아민과 혼합시키고, 7일 동안 실온에서 교반하였다. 이후, 반응 혼합물을 물에 붓고, 50 ml 단위의 헥산으로 3회 추출하였다. 헥산 분획을 조합시키고, 50 ml 분취량의 물로 3회 세척하였다. 이후, 헥산층을 밤새 5g의 무수 황산마그네슘과 함께 교반하였다. 이후, 헥산을 진공에서 제거하여 5 ml의 부피로 낮추어 미세한 현탁액을 생성시켰다. 이를 여과시키고, 생성된 고체를 신선한 헥산으로 세척하여 4.22g(59%의 이론치)의 미세한 무색 결정 생성물을 생성시켰고, 기체 크로마토그래피 질량 분광법에 의한 99%의 순도는 180 amu의 모(parent) 이온을 제공하였다. 구조를 X-선 결정학으로 확인하였다(도 1 참조).
GCMS.
1H NMR : (500 MHz, D8 THF): δ = 1.23 (s, 9H), δ= 1.3 (s, 9H), δ= 6.48 (s,1H), δ= 10 (bs, 1H).
1H NMR : (500 MHz, D8 THF): δ= 30.3 (s, 3C), δ= 30.8 (s, 3C), δ= 32.1 (s, 1C), δ= 33.6 (s, 1C), δ= 111 (bs, 1C), δ= 148 (bs, 1C), δ= 155 (s, 1C).
X-선
실시예 2
2,2,5,5-테트라메틸-3-헥사논의 합성
2-클로로-2-메틸 프로판(75 g, 0.8 mol)을 800mL의 THF 중의 마그네슘 펠렛(19.5g, 0.8 mol)에 천천히 첨가하여 그리냐르 시약(Grignard reagent), tBuMgCl을 제조하였다. 이를 염화제1구리(49.5 g, 0.50 mol) 및 3차부틸아세틸클로라이드(67.25 g, 0.50 mol)의 혼합물에 천천히 첨가하고, 드라이아이스에서 -50℃로 냉각시켰다. 첨가 후, 혼합물을 밤새 실온으로 가온되도록 하였다. 압력을 감소시켜 대부분의 THF를 제거한 후, 500mL의 헥산 및 200mL의 2M HCl을 첨가하였다. 이러한 혼합물을 여과시켜 고체 부산물을 제거하였다. 수성층을 100mL의 헥산으로 3회 세척하고, 헥산층을 200mL의 2M HCl로 3회, 200mL의 NaHCO3/물로 2회, 200mL의 물로 1회, 최종적으로 200mL의 NaCl/물로 1회 세척하였다. 이후, 생성 혼합물을 MgSO4에서 1시간 동안 건조시키고, 이후에 이를 여과에 의해 제거하였다. 이후, 헥산을 대기 증류로 제거하였다.
수율= 61g (78%의 이론치).
생성물은 질량 스펙트럼에 의해 156mu의 모 이온으로 확인되었고, NMR은 문헌[D.P Bauer, J. Org. Chem., Vol. 40, No. 13, 1975, 1990-1992]와 일치하였다.
실시예 3
4-브로모-2,2,5,5-테트라메틸-3-헥사논의 합성
24g의 N-브로모숙신이미드(0.1344 mol)를 50mL의 트리메틸아세토니트릴 중의 10g의 2,2,5,5-테트라메틸-3-헥사논(0.064mol)에 첨가하였다. 이러한 혼합물에 10g의 암모늄 아세테이트(0.1344 mol)를 5분 이내에 첨가하였다. 이 혼합물을 밤새 환류시킨 후, 여과시켰다. 여과액에 24g의 N-브로모숙신이미드(0.1344 mol) 및 10g의 암모늄 아세테이트(0.1344 mol)를 첨가한 후, 5시간 동안 환류시켰다. 이후, 반응 혼합물 냉각시키고, 600mL의 물을 첨가한 후, 생성된 혼합물을 여과시켰다. 수성층을 50 ml의 헥산으로 3회 세척하였다. 이후, 헥산 분획을 조합시키고, 50ml의 물로 3회 세척한 후, 무수 황산마그네슘으로 건조시켰다. 생성물을 대기압에서 헥산을 증류시켜 수거하였다.
수율 11.6g (77%의 이론치)
생성물은 질량 스펙트럼에 의해 236 mu의 모 이온으로 확인되었고, NMR은 문헌[D.P Bauer, J. Org. Chem., Vol. 40, No. 13, 1975, 1990-1992; Procedure Reference: K.Tanemura, Chem Commun. 2004, 470-471]과 일치하였다.
실시예 4
4-히드록시-2,2,5,5-테트라메틸-3-헥사논의 합성
5g(0.125 mol)의 수산화나트륨 분말을 10g의 건조 디에틸포름아미드 중의 11.6g(.05 mol)의 4-브로모-2,2,5,5-테트라메틸-3-헥사논에 첨가하였다. 이러한 반응 혼합물을 2시간 동안 110℃로 가열하고, 실온으로 냉각시키고, 600mL의 물 및 200mL의 헥산을 첨가하였다. 헥산층을 수거하고, 수성층을 50 ml의 추가 헥산으로 3회 세척하였다. 이후, 헥산 분획을 조합시키고, 50 ml의 물로 3회 세척한 후, MgSO4로 건조시켰다. 생성물을 대기 증류에 의한 헥산 제거 후에 결정 고체로 수거하였다.
수율 = 5.2g (60%의 이론치).
생성물은 질량 스펙트럼에 의해 172 mu의 모 이온으로 확인되었다.
실시예 5
2,2,5,5-테트라메틸-3,4-헥산디온의 합성
7.8g(0.045moles)의 2,2,5,5-테트라메틸-4-히드록시-3-헥사논을 90ml의 헥산에 용해시키고, 1.8g(0.045 moles)의 수산화나트륨을 함유하는 157ml의 1M 과망간산칼륨 수용액과 함께 강하게 교반하였다. 이후, 이러한 혼합물을 밤새 환류시켰다. 이후, 혼합물을 실온으로 냉각시키고, 헥산층을 분리시켰다. 이후, 수성층을 50 ml의 헥산으로 3회 추출하였다. 이후, 헥산 용액을 조합시키고, 50 ml의 순수한 물로 3회 세척하고, 무수 황산마그네슘 상에서 건조시켰다. 이후, 혼합물을 여과시키고, 헥산을 대기압에서 증류시켜, 6.3 g의 2,2,5,5-테트라메틸-3,4-헥산디온(82%의 이론치)을 생성시켰다.
생성물은 GCMS에 의해 170 mu의 모 이온으로 확인되었고, 이는 문헌[G. A. Olah and A.Wu, J. Org. Chem., 56, 904-906 (1991)]의 결과와 일치하였다.
실시예 6
2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸의 합성
1.6g(0.0094 moles)의 2,2,5,5-테트라메틸-3,4-헥산디온을 2.9g(0.037 moles)의 아세트산 암모늄, 3.4g(0.057 moles)의 아세트산 및 1.6g(0.019 moles)의 피브알데히드와 혼합하고, 밀봉 용기 중에서 72시간 동안 130℃로 가열하였다. 이후, 이러한 혼합물을 냉각시키고, 과량의 포화 중탄산나트륨 수용액에 천천히 첨가하였다. 생성된 혼합물을 50 ml의 헥산으로 3회 추출하였다. 헥산 분획을 조합시키고, 20ml 분취량의 순수한 물로 3회 세척한 후, 무수 황산나트륨 상에서 건조시켰다. 헥산을 증발시켜 수화물로서 미정제 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸(물분자 당 2개 분자의 이미다졸)을 생성시켰다. 이후, 이러한 생성물을, 이를 48시간 동안 50 ml의 헥사메틸디실라잔 중에서 환류시킴으로써 건조시켰다. 이후, 헥사메틸디실라잔 및 헥사메틸디실록산(건조 과정으로부터 형성됨)을 증발시키고, 생성된 고체를 60℃에서 승화시켜 무색 결정을 생성시켰다, 수율 1.3g(58%의 이론치).
1H NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 1.24(s, 9H), δ= 1.26(s, 9H), δ= 1.65(s, 9H), δ= 8.07(bs, 1H).
13C NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 30.0 (s, 3C), δ= 31.70 (s, 1C), δ= 32.26 (s, 3C), δ= 32.87 (s, 1C), δ= 33.18 (s, 3C), δ= 34.07 (s, 1C), δ= 130.16(s, 1C), δ= 143.84 (s, 1C), δ= 149.21(s, 1C).
질량 스펙트럼: 236 mu(모 이온).
2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸의 구조를 또한 X-선 결정학으로 확인하였다, 도 2 참조.
입체 장애 이미다졸을 제조하는데 사용되는 본 명세서의 합성 경로 외에, 다수의 다른 경로가 예견된다. 이는 필요한 벌키 기를 갖는 단편을 생성시키기 위해 특정 고리 결합을 파괴함으로써 5원 이미다졸 고리를 분해시키는 것을 개념적으로 포함한다. 이후, 이러한 단편의 합성은 이들을 함께 커플링시켜 최종 이미다졸 생성물을 형성시킴으로써 생성된다.
실시예 7
바륨 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라히드로푸란)의 합성
질소 분위기 하에서, 0.292 g(0.00124 moles)의 건조 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸을 교반과 함께 5 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해시켰다. 여기에 5 ml의 테트라히드로푸란에 용해된 0.37g(0.00062 moles)의 바륨 비스(헥사메틸디실라잔)비스(테트라히드로푸란)의 용액을 첨가하였다. 이러한 혼합물을 실온에서 3시간 동안 교반하였다. 이후, 테트라히드로푸란 및 부산물인 헥사메틸디실라잔을 진공을 적용하여 증발시키고, 생성된 백색 고체를 1ml의 건조 헥산에 용해시켰다. 이후, 생성된 용액을 비등시켜 0.5ml로 농축시키고, 실온에서 방치시켰다. 이는 무색 프리즘으로서 0.3g(83%의 이론치)의 바륨 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라히드로푸란)을 생성시켰다. 구조를 단결정 X-선 회절로 확인하였다, 도 3 참조.
1H NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 1.29 (m, 4H), δ= 1.49 (s, 18H), δ= 1.59 (m, 36H), δ= 3.82 (m, 4H).
13C NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 25.72 (s, 2C), δ= 30.1 (s, 1C), δ= 31.5 (s, 3C), δ= 33.7 (s, 6C), δ= 34.26 (s, 2C), δ= 69.95 (s, 2C), δ= 147.75 (s, 1C), δ= 159.77 (s, 1C).
실시예 8
디-바륨 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)의 합성
질소 분위기 하에서, 1.18g(0.005moles)의 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸을 10ml의 건조 헥산 및 0.4g(0.0025 moles)의 비스[2-(N,N-디메틸아미노)에틸]에테르에 용해시켰다. 이러한 혼합물에 10 ml의 건조 헥산 중에 용해된 1.5g(0.0025moles)의 바륨 비스(헥사메틸디실라잔)비스(테트라히드로푸란)의 용액을 적가하고, 혼합물을 밤새 교반하였다. 이후, 용매를 진공하에서 제거하고, 생성된 고체를 160℃에서 2회 승화시켜, 0.6g(47%의 이론치)의 스노우 화이트(snow white)색의 고체를 생성시켰고, 이는 X-선 결정학에 의해 150℃의 융점(MPt)을 갖는 것으로 특성규명되었다, 도 4 참조.
디-바륨 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)의 증발 특성을 단지 3.5 중량%의 잔여물을 발생시키는 TGA에 의해 결정하였다, 도 5에 도시됨.
1H NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 1.46 (6, 36H), δ= 1.50 (s, 18H)
실시예 9
디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)의 합성
질소 분위기 하에서, 1.18g(0.005moles)의 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸을 10ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해시켰다. 이후, 1.38g(0.0025moles)의 스트론튬 비스(헥사메틸디실라잔)비스(테트라히드로푸란)을 10 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해시키고, 이러한 용액을 교반과 함께 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸 용액에 적가하고, 생성된 혼합물을 밤새 교반하였다. 이후, 용매를 진공하에서 제거하고, 생성된 고체를 150℃에서 2회 승화시켜, 0.5g(36%의 이론치)의 스노우 화이트 색의 고체를 생성시켰고, 이는 X-선 결정학에 의해 149℃의 MPt를 갖는 것으로 특성규명되었다, 도 6 참조.
실시예 10
3,3,6,6-테트라메틸-4,5-옥탄디온의 합성
질소 블랭킷(blanket) 하에서, 780ml의 테트라히드로푸란 중의 18.72g(0.78 moles)의 마그네슘 부스러기를 0.5ml의 1,2-디브로모에탄의 첨가에 의해 활성화시켰다. 이후, 2-클로로-2-메틸 부탄(96mL, 0.78 mol)을 천천히 첨가하여, 그리냐르 시약을 점진적으로 형성시켰고, 발열 반응이 수반되었다. 이후, 이러한 그리냐르 시약을 340mL의 테트라히드로푸란에 용해된 112g(0.78mol)의 브롬화구리 및 67g(0.78mol)의 브롬화리튬의 혼합물에 천천히 첨가하고, -65℃로 냉각시켰다. 모든 그리냐르를 첨가한 후, 온도를 -65℃에 안정시키고, 혼합물 온도를 -65℃로 유지시키면서 100mL의 테트라히드로푸란 중의 26mL(0.30mol)의 옥살릴 클로라이드를 천천히 첨가하였다. 생성된 혼합물을 -65℃에서 1시간 동안 교반한 후, 밤새 실온으로 가온시켰다. 이후, 90%의 테트라히드로푸란 THF를 진공하에서 제거하였다. 이후, 500ml의 헥산 및 300mL의 포화 염화암모늄 수용액을 생성된 슬러리에 첨가하고, 헥산층을 분리시켰다. 이후, 수성층을 200ml 로트(lot)의 헥산으로 3회 추가로 추출하였다. 이후, 조합된 헥산층을 200mL의 물로 세척한 후, 1시간 동안 10g의 무수 황산마그네슘 상에서 건조시켰다. 이후, 황산마그네슘을 여과시키고, 헥산을 대기압에서 증류시켜, 붉은 오렌지색 액체로서 미정제 생성물 디케톤을 생성시켰다. 수율 = 32.2g(54%의 이론치)
질량 스펙트럼: 198 mu(모 이온).
실시예 11
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸의 합성
32.3g(0.163mol)의 3,6,6-테트라메틸-4,5-옥탄디온, 50g(0.652mol)의 아세트산암모늄, 36mL(0.326mol)의 피브알데히드 및 56mL(0.978mol)의 아세트산의 혼합물을 3일 동안 밀봉 스테인레스 강철 용기 내에서 200℃로 가열하였다. 생성된 생성 혼합물을 중탄산나트륨 용액으로 중화시킨 후, 200ml 로트의 헥산으로 4회 추출하였다. 조합된 헥산층을 100mL의 물로 3회 세척한 후, 100ml의 포화 염화나트륨 용액으로 세척하였다. 10g의 무수 황산마그네슘을 첨가하고, 밤새 교반하였다. 여과 후, 진공하에서 헥산을 제거하여, 황색 오일로서 미정제 생성물을 생성시켰다. 수율 31.5g(73%의 이론치).
질량 스펙트럼: 264 mu(모 이온).
실시예 12
디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)의 합성
질소 블랭킷 하에서, 20 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 1.13g((0.002 moles)의 스트론튬 비스(헥사메틸디시일아미드)비스(테트라히드로푸란)을 실온에서 5분의 기간에 걸쳐 20 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 1.08g(0.004 moles)의 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸에 적가하고, 생성된 혼합물을 2시간 동안 교반하였다. 이후, THF 및 부산물인 헥사메틸디실라잔을 진공하에서 제거하였다. 이후, 생성된 미정제 생성물을 200℃에서 진공하에서 증류시켜, 0.5g의 무색 유리질 고체를 생성시켰다. 이를 헥산 중에서 재결정화시켜, 무색 프리즘을 생성시켰다, MPt 103℃.
수율 = 40%의 이론치.
1H NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 0.82(t, 12H), δ= 1.41(s, 24H), δ= 1.54(s, 18H), δ= 1.74(q, 8H). 구조를 단결정 X-선 분석으로 확인하였다, 도 8 참조.
실시예 13
디-바륨 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)의 합성
건조 질소 분위기 하에서, 15 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 6.0g(0.01 moles)의 바륨 비스(헥사메틸디실라잔)비스(테트라히드로푸란)의 용액을 30 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 5.28g(0.02 moles)의 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸에 적가하였다. 생성된 혼합물을 밤새 교반시킨 후, 진공하에서 용매 및 헥사메틸디실라잔을 제거하였다. 이후, 생성된 왁스 고체를 195℃에서 진공 증류시켜, 투명한 무색의 디-바륨 테트라(2-3차-부틸-4,5-디(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트) 액체 증류액을 생성시키고, 이를 밤새 방치시켜 고체화시켰다. 수율 4.8g (78%). 구조를 X-선에 의해 입증하였다, 도 10. MPt 65.3℃
1H NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 0.85 (t, 12H), δ= 1.39 (s, 24H), δ= 1.53 (s, 18H), δ= 1.76-1.81(q, 8H).
실시예 14
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
15g(0.09 moles)의 2,2,5,5-테트라메틸-3,4-헥산디온을 42g(0.55 moles)의 아세트산암모늄, 32g(0.53 moles)의 아세트산 및 20.52g(0.18 moles)의 2,2-디메틸발레르알데히드와 혼합시키고, 밀봉된 용기에서 48시간 동안 200℃로 가열하였다. 이후, 이러한 혼합물을 90℃로 냉각시키고, 감압하에서 약 90%의 아세트산을 증류시켰다. 이후, 잔여 미정제 생성물을 약 100 ml의 헥산으로 희석시키고, 강한 교반과 함께 포화 중탄산나트륨 수용액을 이용하여 pH 7로 중화시켰다. 생성된 혼합물을 200 ml의 헥산으로 3회 추출하였다. 헥산 분획을 조합시키고, 50ml 분취량의 순수한 물로 3회 세척한 후, 무수 황산나트륨 상에서 건조시켰다. 밤새 교반한 후, 용액을 황산마그네슘으로 옮긴 후, 밤새 분자체(molecular sieve) 상에 방치시켰다. 이후, 분자체를 제거하고, 헥산을 대기압에서 증류시킨 후, 생성된 생성물을 100mTorr의 압력하에서 150℃에서 증류시켰다. 수율 = 13.5g(57%의 이론치)의 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸.
1H NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 0.79(t, 3H), δ= 1.19-1.23(m, 2H), δ= 1.24(s, 9H), δ= 1.26(s, 9H), δ= 1.53-1.57(m, 2H), δ= 1.65(s, 6H).
실시예 15
디-스트론튬-테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)
건조 질소 분위기 하에서, 15 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 5.54g(0.01 moles)의 스트론튬 비스(헥사메틸디실라잔)비스(테트라히드로푸란)의 용액을 30 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 5.06g(0.019 moles)의 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸에 적가하였다. 생성된 혼합물을 실온에서 12일 동안 교반한 후, 용매 및 헥사메틸디실라잔을 진공하에서 제거하였다. 생성된 미정제 생성물을 100mTorr에서 진공 증류시키고, 150 내지 205℃에서 디-스트론튬-테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)의 주요 분획을 투명한 액체로 수거하고, 이를 밤새 천천히 결정화시켜 실온에서 유리로 고체화시켰다. 수율 3.5g(60%의 이론치). 구조를 헥산 용액으로부터 생성되는 결정을 이용하여 단결정 X-선 회절로 입증하였다, 도 13 참조. TGA/DSC는 99.8℃의 융점 및 8.17wt%의 비휘발성 잔여물을 나타내었다.
1H NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 0.91 (t, 6H), δ= 1.27-1.32 (m, 4H), δ= 1.45 (s, 36H), δ= 1.54 (s, 12H), 1.75-1.80 (m, 4H).
실시예 16
디-바륨-테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)
건조 질소 분위기 하에서, 15 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 6.03g(0.01 moles)의 바륨 비스(헥사메틸디실라잔)비스(테트라히드로푸란)의 용액을 30 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 5.28g(0.019 moles)의 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸에 적가하였다. 생성된 혼합물을 실온에서 7일 동안 교반한 후, 용매 및 헥사메틸디실라잔을 진공하에서 제거하였다. 생성된 미정제 생성물을 50mTorr에서 진공 증류시키고, 170 내지 180℃에서 디-스트론튬-테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)의 주요 분획을 투명한 액체로 수거하고, 이를 실온으로 냉각시켜 결정화시켰다. 수율 4.8g(72%의 이론치). 구조를 헥산 용액으로부터 생성되는 결정을 이용하여 단결정 X-선 회절로 입증하였다, 도 15 참조. TGA/DSC는 128℃의 융점 및 단지 2.99wt%의 비휘발성 잔여물을 나타내었다.
1H NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 0.92(t, 6H), δ=1.28-1.4(m, 4H), δ= 1.46(s, 36H), δ=1.5(s, 12H), δ=1.73-1.82(m, 4H).
실시예 17
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸의 합성
20g(0.1 moles)의 3,3,6,6-테트라메틸-4,5-옥탄디온을 46g(0.6 moles)의 아세트산암모늄, 30g(0.6 moles)의 아세트산 및 11.4g(0.1 moles)의 2,2-디메틸발레르알데히드와 혼합시키고, 밀봉 용기에서 48시간 동안 200℃로 가열하였다. 이후, 이러한 혼합물을 90℃로 냉각시키고, 약 90%의 아세트산을 감압하에서 증류시켰다. 이후, 잔여 미정제 생성물을 약 100 ml의 헥산으로 희석시키고, 강한 교반과 함께 포화 중탄산나트륨 수용액을 이용하여 pH 7로 중화시켰다. 생성된 혼합물을 200 ml의 헥산으로 3회 추출하였다. 헥산 분획을 조합시키고, 50ml 분취량의 순수한 물로 3회 세척한 후, 무수 황산나트륨 상에서 건조시켰다. 밤새 교반 후, 용액을 황산마그네슘으로 옮기고, 건조된 분자체를 첨가하였다. 밤새 방치시킨 후, 분자체를 제거하고, 헥산을 대기압에서 증류시킨 후, 생성된 생성물을 100mTorr의 압력하에서 150℃에서 증류시켰다. 수율 = 15g(51%의 이론치)의 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸.
1H NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 0.69(t, 3H), δ= 0.82(t, 3H), δ= 1.0(t, 3H), δ= 1.15-1.2(m, 2H). δ= 1.19(s, 6H), δ= 1.25(s, 6H), δ= 1.52-1.60(m, 4H), δ= 1.59(s, 6H), δ= 1.96-2.0(q, 2H), δ= 8.0(bs, 1H).
실시예 18
디스트론튬 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)의 합성
건조 질소 분위기 하에서, 50 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 7.46g(0.0135 moles)의 스트론튬 비스(헥사메틸디실라잔)비스(테트라히드로푸란)의 용액을 50 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 7.88g(0.0269 moles)의 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸에 적가하였다. 생성된 혼합물을 실온에서 2일에서 교반한 후, 용매 및 헥사메틸디실라잔을 진공하에서 제거하였다. 생성된 미정제 생성물을 50 mTorr에서 진공 증류시키고, 디-스트론튬-테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)의 주요 분획을 수거하였다.
1H NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 0.77(t, 12H), δ= 0.87(t, 6H), δ= 1.1-1.23(m, 4H), δ= 1.38 (s, 24H), δ= 1.51 (s, 12H), δ= 1.62-1.75 (m, 12H).
실시예 19
디바륨 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)의 합성
건조 질소 분위기 하에서, 50 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 7.0g(0.0116 moles)의 바륨 비스(헥사메틸디실라잔)비스(테트라히드로푸란)의 용액을 50 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 8.11g(0.0277 moles)의 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸(19% 과량)에 적가하였다. 생성된 혼합물을 실온에서 2일 동안 교반한 후, 용매 및 헥사메틸디실라잔을 진공하에서 제거하였다. 이후, 생성물 및 과량의 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸을 200℃/50mTorr에서 진공 증류시켜 미정제 반응 생성물을 생성시켰다. 이후, 과량의 이미다졸 리간드를 120℃에서 진공 증류에 의해 제거하여, 진한 점성의 황갈색 액체로서 디-바륨 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)를 생성시키고, 이를 방치시켜 천천히 결정화시켰다. Mpt 36℃, 수율 5.6g(62%). 헥산으로부터 재결정화시켜 무색의 결정을 생성시켰다, MPt 56.4℃, TGA 잔여물 6.77wt%. 1H NMR : (500 MHz, C6D6): δ= 0.84(t, 12H), δ=0.93(t, 6H), δ= 1.22-1.35(m, 4H), δ= 1.39(s, 24H), δ= 1.53(s, 12H), δ= 1.7-1.8 (m, 12H)
실시예 20
바륨 비스(2,4,5-트리-페닐릴이미다졸레이트)의 합성
건조 질소 분위기 하에서, 0.6g(0.002 moles)의 2,4,5-트리페닐이미다졸을 10 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해시켰다. 이후, 10 ml의 건조 테트라히드로푸란에 용해된 0.6g(0.001 moles)의 바륨 비스(헥사메틸디실라잔)비스(테트라히드로푸란)의 용액을 제조하고, 2,4,5-트리페닐이미다졸 용액에 첨가하고, 생성된 혼합물을 밤새 교반하였다. 이후, 용매 및 헥사메틸디실라잔을 진공하에서 제거하여, 진한 점성의 타르를 생성시키고, 이를 종국적으로 고체화시켰다. 진공 및 >200℃ 열의 적용은 임의의 휘발성 생성물을 방출하지 않았다.
실시예 21
디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)를 이용한 스트론튬 산화물의 ALD
질소 분위기 하에서, 50 g의 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)를 건조 스테인레스 강철 용기에 로딩하였다. 이후, 이러한 용기를 170℃로 가열하고, 아르곤 담체 기체를 100sccm의 속도로 간헐적으로 유동시켜 전구체의 ALD '펄스'를 달성하였고, 이는 6 내지 16초로 다양하였다. 이러한 전구체 펄스를 300-400℃로부터 가열된 실리콘 기질을 함유하는 ALD 챔버로 향하게 하였다. 각각의 전구체 펄스 후에, 아르곤 기체의 퍼징(purging)된 펄스 후, 오존의 펄스가 후속되었다. 도 18은 8 및 10초 전구체 펄스를 이용하여 350℃ 기질 온도에서 SrO 증착에 대해 달성된 결과를 나타내고, 이는 필름 생성과 전구체 펄스의 전체수 사이에서 선형 ALD 상관관계를 나타내며, 2.3A/SrO의 주기의 생성 속도를 발생시킨다. 상기 동일한 증착 과정을 이용하여, 375℃의 기질 온도에서 도 20에 도시된 SrO 필름을 생성시켰고, 이의 상단 부분은 투명한 결정체이고, 하단 부분은 무정형이다. 티타늄 산화물 보호층이 SrO의 상단에 증착되는 것을 인지하라. 결정체 영역에서, 66 옹스트롬 당 SrO의 24개 층이 존재하여 2.75 옹스트롬의 간격을 발생시키는 것이 관찰되고, 이는 (001) SrO와 일치한다. 도 21에 도시된 XPS는 필름이 실질적으로 순수한 스트론튬 산화물임을 나타낸다. 필름 전체에 걸친 탄소의 낮은 수준은 특히 대기 이산화탄소와의 증착후 반응에 기인하여 스트론튬 카르보네이트를 발생시킨다.
실시예 22
디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-3차-아밀이미다졸레이트)에 대한 ALD 열 안정성 입증
실시예 15에서와 같이 5초 전구체/아르곤을 이용한 10초의 아르곤 퍼지의 100주기가 흡착된 전구체를 산화시키는데 사용되었으나, 오존은 사용되지 않았다. 기질을 250-400℃로부터 처리하였다. 도 22에 도시되는 바와 같이, >350℃까지 현저한 열 증착이 없었고, 이는 ALD에 대한 우수한 안정성을 나타낸다.

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  13. 하기 화학식 E 내지 화학식 H로 구성된 군에서 선택된 구조를 포함하는 화합물:
    화학식 E
    Figure 112013070186123-pat00013

    화학식 F
    Figure 112013070186123-pat00014

    화학식 G
    Figure 112013070186123-pat00015
    및
    화학식 H
    Figure 112013070186123-pat00016

    여기서, R1, R2 및 R3는 각각 독립적으로 C4-C10 3차 알킬, C4-C10 3차 알콕시, C3-C10 3차 알킬아민, 헤테로원자로 치환된 환 구조로 작용성화된(functionalized) C4-C10 3차 알킬, 아미드 기로 작용성화된 C4-C10 3차 알킬, 및 에스테르 기로 작용성화된 C4-C10 3차 알킬로 구성된 군에서 선택된 벌키 기이고;
    (L)은 지방족 C3-C20 에테르 또는 폴리에테르, 크라운에테르, 아민, 폴리 아민, 아미드, 폴리 아미드, 에스테르, 폴리에스테르, 방향족 에테르, 방향족 에스테르, 방향족 아미드, 방향족 아민, 피리딘, 이미다졸, 피라진, 푸란, 피롤 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 중성 리간드이며;
    n = 0-4이고; M = Ba, Sr, Ca, Ra 또는 Mg이다.
  14. 제13항에 있어서, 이미다졸레이트 음이온이 에타-1, 에타-2, 에타-3, 에타-4 및 에타-5 모드로 구성된 군에서 선택된 방식으로 M과 배위된 화합물.
  15. 제13항에 있어서, 디-바륨 테트라(2,4,5-tris-t-부틸이미다졸레이트); 디-바륨 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트); 디-바륨 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트); 및, 디-바륨 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)로 구성된 군에서 선택된 화합물.
  16. 제13항에 있어서, 디-스트론튬 테트라(2,4,5-tris-t-부틸이미다졸레이트); 디-스트론튬 테트라(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트); 디-스트론튬 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트); 및, 디-스트론튬 테트라(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)로 구성된 군에서 선택된 화합물.
  17. 제13항에 있어서, 각각의 이미다졸레이트 음이온의 R1, R2 및 R3가 동일한 벌키 기인 화합물.
  18. 제13항에 있어서, 하나의 이미다졸레이트 음이온의 R1, R2 및 R3 중 하나 이상이, 2개의 이미다졸레이트 음이온을 연결하는 또 다른 이미다졸레이트 음이온의 R1, R2 및 R3 중의 하나 이상과 결합된 화합물.
  19. 제13항의 이미다졸레이트 구조의 사용을 포함하는, ALD 또는 CVD에 의해 금속을 포함하는 필름을 증착시키는 방법.
  20. 0.001-1000 Torr 압력 및 0-1000℃의 온도의 반응기를 사용하여, 제13항의 이미다졸레이트 구조와 물, 알콜, 산소, 오존, 아산화질소, 질소 디옥사이드, 히드로겐 퍼옥사이드 또는 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 산화제를 반응시켜 바륨 옥사이드, 스트론튬 옥사이드, 마그네슘 옥사이드, 칼슘 옥사이드 또는 라듐 옥사이드 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 금속을 포함하는 필름을 성장시키는, 금속을 포함하는 필름을 증착시키는 방법.
  21. 제20항에 있어서, 바륨 옥사이드의 증착이 사이클 당 >1 옹스트롬인 방법.
  22. 제21항에 있어서, 바륨 옥사이드의 증착이 사이클 당 >1.5 옹스트롬인 방법.
  23. 제22항에 있어서, 바륨 옥사이드의 증착이 사이클 당 >2 옹스트롬인 방법.
  24. 제20항에 있어서, 스트론튬 옥사이드의 증착이 사이클 당 >1 옹스트롬인 방법.
  25. 제24항에 있어서, 스트론튬 옥사이드의 증착이 사이클 당 >1.5 옹스트롬인 방법.
  26. 제25항에 있어서, 스트론튬 옥사이드의 증착이 사이클 당 >2 옹스트롬인 방법.
  27. 제13항의 바륨 및 스트론튬 이미다졸레이트 구조를, ALD 또는 펄스식 CVD 모드에서 티타늄 알콕사이드, 티타늄 알콕사이드/디케토네이트, 티타늄 시클로펜타디에닐, 티타늄 아미드, 티타늄 이미다졸레이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 티타늄 전구체의 교류 펄스(alternating pulse)와 반응시켜 BST 필름을 성장시키는 방법.
  28. 제13항의 스트론튬 이미다졸레이트 구조를, ALD 또는 펄스식 CVD 모드에서 티타늄 알콕사이드, 티타늄 알콕사이드/디케토네이트, 티타늄 시클로펜타디에닐, 티타늄 아미드 티타늄 이미다졸레이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 티타늄 전구체의 교류 펄스와 반응시켜 STO 필름을 성장시키는 방법.
  29. 제13항의 바륨 이미다졸레이트 구조를, ALD 또는 펄스식 CVD 모드에서 티타늄 알콕사이드, 티타늄 알콕사이드/디케토네이트, 티타늄 시클로펜타디에닐, 티타늄 아미드 티타늄 이미다졸레이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 티타늄 전구체의 교류 펄스와 반응시켜 BTO 필름을 성장시키는 방법.
  30. 제13항의 바륨 이미다졸레이트 구조를, ALD, CVD 또는 펄스식 CVD에서 스트론튬 케토이미네이트, 스트론튬 디케토네이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 스트론튬 화합물 및 티타늄 알콕사이드, 티타늄 알콕사이드/디케토네이트, 티타늄 시클로펜타디에닐, 티타늄 아미드, 티타늄 이미다졸레이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 티타늄 화합물과 반응시켜 BST 필름을 성장시키는 방법.
  31. ALD, CVD 또는 펄스식 CVD 모드에서 MX2(여기서 X = 할라이드이고, M은 Ba, Sr, Mg, Ca, Ra 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택됨) 성장시키기 위해, HCl, HF, SiCl4, HBr 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 할라이드 가스와 제13항의 이미다졸레이트 구조를 반응시키는 방법.
  32. n-부틸 리튬, n-헥실 리튬, sec-부틸 리튬, 3차-부틸 리튬, 리튬 디이소프로필아미드, 포타슘 수소화물, 소듐 수소화물, 소듐 금속, 포타슘 금속, 소듐 t-부톡사이드, 포타슘 t-부톡사이드로 구성된 군에서 선택된 금속 시약과 이미다졸을 직접 금속화한 후, 생성물을 알칼리토금속 요오다이드, 알칼리토금속 아세테이트, 알칼리토금속 카르복실레이트, 알칼리토금속 카보네이트, 알칼리토금속 포름에이트, 알칼리토금속 브로마이드, 알칼리토금속 트리플루오로아세테이트, 알칼리토금속 헥사플루오로아세틸아세톤, 알칼리토금속 트리플루오로아세틸아세토네이트, 알칼리토금속 아세틸아세토네이트, 알칼리토금속 디이민, 알칼리토금속 케토이민, 알칼리토금속 아미디네이트, 알칼리토금속 구아니디네이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 반응제와 반응시켜 제13항의 이미다졸레이트 구조를 합성하는 방법.
  33. 알칼리토금속 아미드, 알칼리토금속 페녹사이드, 알칼리토금속 히드록사이드, 알칼리토금속 알킬, 알칼리토금속 아릴 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 시약을 사용하여 폴리알킬화된 이미다졸을 반응시켜 제13항의 이미다졸레이트 구조를 직접 합성하는 방법.
  34. 암모니아의 존재 하에서 알칼리토금속과 이미다졸을 반응시켜 제13항의 이미다졸레이트 구조를 합성하는 방법.
  35. 암모니아와 함께 아민의 존재 하에서 알칼리토금속과 이미다졸을 반응시켜 제13항의 이미다졸레이트 구조를 합성하는 방법.
  36. 삭제
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  39. 제13항의 이미다졸레이트 구조를 사용한, 비-휘발성 강유전성 마이크로전자공학 메모리 장치, 전자발광식표시장치를 위한 인광장치 및 고 Tc 초전도 장치로 구성된 군에서 선택된 마이크로전자공학 장치의 제조방법.
  40. 에테르, 아미노에테르, 아미드, 에스테르, 방향족 또는 탄화수소 용매로 구성된 군에서 선택된 용매에 용해된 티타늄 소스와 함께 제13항의 바륨 또는 스트론튬 이미다졸레이트 구조를 제공하고, ALD 또는 CVD에 의해 금속 산화물 또는 질화물 필름을 성장시키기 위해 DLI 시스템에 의해 생성된 용액을 전달하여 생성된 용액의 증기 스트림을 제공하는 것을 포함하는, ALD 또는 CVD에 의해 금속 산화물 또는 질화물 필름을 성장시키는 방법.
  41. 스테인레스 스틸 용기 내의 제13항의 화합물.
  42. 삭제
  43. 제13항에 있어서, 다치환된 이미다졸레이트 음이온, 폴리알킬화된 피롤릴 음이온, 베타-디케토네이트, 카르복실레이트, 아세테이트, 케토이미네이트, 디이민, 알콕사이드, 아마이드, 수소화물, 베타-케토에스테르, 아미디네이트, 구아니디네이트, 시클로펜타디에닐, 시아니드, 이소시아니드, 포름에이트, 옥살레이트, 말로네이트, 페녹사이드, 티오레이트, 설파이드, 니트레이트, 알킬, 시릴알킬, 플루오로알킬, 아릴, 이미다졸레이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 2차 음이온을 추가로 포함하는 화합물.
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