KR20150116430A - 직접적인 액체 주입을 위한 ２족 이미다졸레이트 포뮬레이션 - Google Patents

직접적인 액체 주입을 위한 ２족 이미다졸레이트 포뮬레이션 Download PDF

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KR20150116430A
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KR1020150135455A
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존 안토니 토마스 노르만
멜라니 케이. 페레즈
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에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
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Abstract

본 발명은 적합한 중성 공여 리간드 분자에 배위되어 탄화수소 용매에 매우 가용성인 2족 금속 착화합물을 제공하는 2족 이미다졸레이트 화합물을 포함하는 조성물을 개시하고 있다. 한 가지 구체예에서, 조성물은 2족 함유 박막, 예컨대, STO 및 BST 막의 증착을 위한 ALD 또는 CVD 챔버로의 2족 전구체의 직접적인 액체 주입 전달을 위해서 사용된다.

Description

직접적인 액체 주입을 위한 ２족 이미다졸레이트 포뮬레이션 {GROUP ２ IMIDAZOLATE FORMULATIONS FOR DIRECT LIQUID INJECTION}
관련 출원의 상호 참조
본 특허 출원은 2012년 3월 30일자 출원된 미국 가출원 번호 제61/618,019호를 우선권으로 주장한다.
본원에서는 2족 원소 함유 막, 예컨대 STO 및 BST의 기상 증착 공정, 예컨대 원자층 증착(ALD) 및 화학적 기상 증착(CVD)에 이러한 전구체들의 DLI 전달에 유용한, 고도로 입체적으로 장애된 이미다졸 리간드를 지닌 2족 착화합물을 포함하는 조성물이 기술된다.
반도체 제조 산업은 휘발성 금속 함유 전구체를 사용하여, 기판 상의 금속 함유 균일막, 예컨대, 실리콘, 금속 니트라이드, 금속 옥사이드, 및 그 밖의 금속 함유 층을 제조하기 위해, 화학적 기상 증착 (CVD) 및 원자층 증착 (ALD)을 포함하는 기상 증착 공정을 위한 이들 금속 함유 전구체를 계속해서 구하고자 한다.
주기율표의 2족 금속(예를 들어, 베릴륨(Be), 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca), 스트론(Sr), 바륨 (Ba), 및 라듐(a))을 함유하는 전구체가 반도체 산업에서 요구되고 있다. 진보된 메모리 소자 제조를 위한 얇은 바륨 및 스트론튬 옥사이드 함유 박막을 증착시키기 위해 예를 들어, 바륨 및 스트론튬 함유 전구체, 예컨대 스트론튬 티타네이트 (STO) 및 바륨 스트론튬 티타네이트 옥사이드 (BST)가 요구된다. 또한, 스트론튬 전구체는 휘발성 메모리 용의 타입 SrBi2Ta2O9의 강유전체의 박막 증착에, 타입 Bi2Sr2Can - 1CunO5 +(2n- 1)d의 박막 고온(Tc) 초전도체의 제조에, 그리고 전계발광 디스플레이용 SrS:Ce 및 SrS:Cu 인광체의 제조에 유용하다. 우수한 휘발성을 지닌 플루오르화된 바륨 전구체가 있기는 하지만, BST 제조에 대해서는 이들의 사용이 배제되는 것이 효과적인데, 왜냐하면 플루오라이드 이온이 옥사이드 막 중에서 형성되어 전하 캐리어로서 작용할 수 있고, 이것이 옥사이드 막의 유전 상수(dielectric constant)를 저하시킬 수 있기 때문이다. 스트론튬 옥사이드 및 스트론튬 티타네이트에 대한 다수의 스트론튬 공급원이 존재하지만, 이들 공급원중 어느 것도 이러한 박을 증착시키기 위해 사용되는 원자층 증착(ALD) 공정에 대해 효과적으로 사용될 수 있는 것은 없다.
앞서 언급된 바와 같이, 높은 ALD 성능을 지닌 휘발성 비플루오르화된 바륨 및 스트론튬 전구체 화합물이 당 분야에 강력하게 요구되나, 이러한 화합물, 특히 바륨은 흔하지 않다. 이는 스트론튬 또는 바륨의 모노머 또는 다이머인 화합물을 제공하기에 충분한 배위결합 환경을 제공할 수 있는 이온성 리간드를 요구하는, 바륨 +2 및 스트론튬 +2 이온의 큰 이온 반경에서 기인한다. 이러한 요건이 부합되지 않으면, 스트론튬, 및 특히 바륨 화합물은 제한된 휘발성의 고도로 결합된 구조 또는 고분자 구조를 형성하는 경향이 있다. 그러나, 모노머 또는 다이머 구조가 달성될 수 있다고 하더라도, 이러한 구조는 여전히 ALD 공정에서 단일층으로서 흡착되는 경우에 구조의 열적 안정성을 유지하고, 기화에 요구되는 높은 승화 또는 증류 온도를 견디어 내는데 필요한 열적 안정성을 지니지 않을 수 있다. 이들 반응 모두에 대해, 모노머 또는 다이머이고, 열적으로 안정하고, 용이하게 휘발가능하고, ALD 또는 CVD에 의한 BST 및 STO 제조에 매우 적합한, 비플루오르화된 바륨 및 스트론튬 전구체는 극히 드물지만, 매우 요구되고 있다.
미국 공개 제2012/0035351호는 BST 막을 형성시키는데 사용되는 2족 금속 및 이를 포함하는 전구체에 배위결합할 수 있는 입체적으로 장애된 이미다졸 리간드의 예를 제시하고 있다. 웨이퍼 처리량 최대화 및 신속한 ALD 사이클링을 위해 직접 액체 주입(Direct Liquid Injection(DLI))에 의해 2족 전구체의 증기를 전달하는 것이 매우 바람직하기 때문에, 이들 전구체가 DLI 전달에 적합한 포뮬레이션을 생성하도록 고농도로 용이하게 용해될 수 있는 것이 중요하다. 또한, 이들 포뮬레이션은 탄화수소 용매를 사용하여 제조될 수 있는데, 이는 이들 특별한 용매가 ppm 미만의 물 수준으로 용이하게 건조될 수 있기 때문에 특히 중요하다. 또한, 탄화수소 용매는 -OH와 같은 표면 반응 자리와 잠재적으로 상호작용할 수 있는 산소 및 질소 함유 용매와 비교하여 ALD 또는 CVD 공정에서 기판에 대해 상대적으로 불활성이어서, 전구체의 유효 반응성을 낮춘다. 참고 문헌(발명의 명칭: "2족 금속 옥사이드의 증착을 위한 신규의 휘발성 스트론튬 및 바륨 이미다졸레이트 착화합물", J. A. T. Norman et al., Inorganic Chemistry, Vol. 50 (2011), pp. 12396-98)은 트리-3차-부틸 치환된 이미다졸을 기재로 하는, 휘발성 2족 이미다졸레이트를 기술하고 있다. ALD 또는 CVD 증착 공정에 유용하게 되기 위해서는, DLI 전달을 위해 탄화수소 용매 중에 매우 용해성인 이러한 착화합물의 특정 기가 부여될 수 있는 것이 중요하다. 최종 사용자에게는 반응 챔버에 용이하게 전달될 수 있는 전구체를 갖는 것이 중요하다. 이와 관련하여, 웨이퍼 처리량 최대화 및 신속한 ALD 사이클링을 위해 직접 액체 주입(DLI)에 의해 2족 전구체의 증기를 전달하는 것이 매우 바람직하다.
발명의 요약
본원에서는 2족 원소 함유 막, 예컨대 STO 및 BST의 기상 증착 공정, 예컨대 원자층 증착(ALD) 및 화학적 기상 증착(CVD)에 이러한 전구체들의 DLI 전달에 유용한, 고도로 입체적으로 장애된 이미다졸 리간드를 지닌 2족 착화합물을 포함하는 조성물이 기술된다. 이들 전구체가 DLI를 통해 전달되기 위해서, 이들 전구체는 또한 DLI 전달에 적합한 조성물을 형성하도록 충분히 높은 농도로 용이하게 용해되어야 한다. 또한, 이들 조성물은 탄화수소 용매를 사용하여 제조될 수 있는데, 이는 이들 특별한 용매가 ppm 미만의 물 수준으로 용이하게 건조될 수 있기 때문에 특히 중요하다. 또한, 탄화수소 용매는 하이드록실 (-OH)과 같은 표면 반응 자리와 잠재적으로 상호작용할 수 있는 산소 및 질소 함유 용매와 비교하여 ALD 또는 CVD 공정에서 기판에 대해 상대적으로 불활성이어서, 전구체의 유효 반응성을 낮춘다. 본원에 기술된 2족 이미다졸레이트 화합물의 조성물은 기화 조건 하에서 휘발성 및 열적 안정성 둘 모두를 나타낸다. 또한, 이들 조성물은 STO 및 BST 막 성장을 위한, 그리고 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐 또는 칼슘 전구체의 휘발성 공급원을 필요로 하는 어떠한 다른 적용을 위한 전구체로서 매우 효과적이다.
일 양태에서, 푸란, 피롤, 이미다졸, 피라졸, 테트라졸, 피라졸, 옥사졸, 이속사졸, 티아졸, 이소티아졸, 피라진, 피리미딘, 피리디다진, 및 피리딘으로 이루어진 군으로부터 선택된 중성 공여 리간드를 2족 트리-3차-알킬이미다졸레이트 착화합물에 배위결합시켜서, 이미다졸레이트 음이온을 포함하는 부가 착화합물을 제공하는 방법으로서, 부가 착화합물 중의 이미다졸레이트 음이온이 비스-에타 5로 이루어지고, 조성물을 제공하도록 탄화수소 용매에 용해성인 방법이 제공된다.
추가의 양태에서, 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트; 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 및 2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는 이미다졸레이트; 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐, 및 칼슘으로부터 선택된 2족 금속; 및 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물에 배위결합하는 리간드를 포함하는 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물; 및 탄화수소 용매를 포함하는 조성물로서, 리간드는 질소-함유 한자리 C4 내지 C12 시클릭 분자, 산소-함유 한자리 C4 내지 C12 시클릭 분자, 질소-함유 C4 내지 C12 두자리 리간드, 산소-함유 C4 내지 C12 두자리 리간드, 및 질소 및 산소를 포함하는 두자리 리간드로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상인 조성물이 제공된다.
또 다른 양태에서는, 기판 상에 소정 두께를 포함하는 2족 금속 옥사이드 막을 형성시키는 방법으로서,
a. 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트; 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 및 2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는 이미다졸레이트; 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐, 및 칼슘으로부터 선택된 2족 금속; 및 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물에 배위결합하는 리간드를 포함하는 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물; 및 탄화수소 용매를 포함하는, 2족 금속 함유 조성물을 도입시키는 단계;
b. 2족 금속 함유 조성물을 기판 상에 화학흡착시키는 단계;
c. 퍼어지 가스(purge gas)를 사용하여 미반응된 2족 금속 함유 조성물을 퍼어징시키는 단계;
d. 2족 금속 함유 조성물에 대한 산소 공급원을 가열된 기판 상에 제공하여 흡착된 2족 금속 함유 조성물과 반응시키는 단계; 및
e. 임의로, 어떠한 미반응된 산소 공급원을 퍼어징시키는 단계를 포함하는 방법이 제공된다.
도 1은 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란)의 X-선 구조식을 도시한 것이다.
도 2는 스트론튬 디(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란)을 도시한 것이다.
도 3은 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란)의 구조식을 도시한 것이다.
도 4는 스트론튬 디(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(1,2-디메톡시프로판)을 도시한 것이다.
도 5는 스트론튬 디(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(1,1-디메톡시에탄)을 도시한 것이다.
도 6은 스트론튬 디(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라메틸에틸렌디아민)을 도시한 것이다.
도 7은 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란)에 대한 열중량분석 (TGA)/시차주사열량계 (DSC)에 대한 결과이며, TGA는 실선이고, DSC는 점선이다.
본원에는 먼저 조성물을 푸란과 같은 특이적 중성 리간드 또는 그 밖의 작은 헤테로시클릭 리간드와 배위결합시킴으로써 탄화수소 용매 중에서의 트리-3차-부틸 이미다졸 전구체의 고유의 낮은 용해도를 극복하는 조성물이 기술된다. 이에 따라 형성되는, 본원에서 기술되는 2족 이미다졸레이트 화합물의 조성물은 그러한 조성물을 증착 공정, 더욱 특히, 원자층 증착 공정에 대해 휘발성이게 하면서, 또한 기화 조건 하에서 열적으로 안정되게 한다. 상술된 것 이외에, 상기 화합물 또는 착화합물, 및 이를 포함하는 조성물은 STO 및 BST 막 성장을 위한, 그리고 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐 또는 칼슘 전구체의 휘발성 공급원을 필요로 하는 어떠한 다른 적용을 위한 전구체로서 유용하다.
본원에서는 구조식 1에서 기재된 타입의, 2족 금속 이미다졸레이트 다이머에 중성 리간드를 배위결합시켜서 구조식 2, 3 또는 4에 기재된 타입의 모노머성 착화합물을 얻는 것이 기재된다. 구조식 2에서, L1은 금속 중심에 배위결합되어, 5원 이미다졸레이트 음이온 둘 모두의 각각 세개의 탄소 원자 및 각각 두개의 질소 원자가 금속에 결합되어 있는, 두개의 에타-5 배위결합된 이미다졸레이트 음이온을 함유하는 착화물을 생성한다. 중성 리간드 L1의 예는 질소 또는 산소 함유 한자리 C4-C12 시클릭 분자, 예컨대 테트라하이드로푸란, 3-메틸테트라하이드로푸란, 2,5-디하이드로푸란, 2,3-디하이드로푸란, 피리딘, N-메틸이미다졸, 및 피롤을 포함하나, 이로 제한되는 것은 아니다. 구조식 3에서, L2는 금속 중심과 배위결합되어 하나의 에타-1 이미다졸레이트를 함유하는 착화합물을 생성하는데, 여기서 금속으로의 결합은 단지 하나의 이미다졸레이트 음이온 질소 원자, 및 하나의 에타-5 이미다졸레이트 음이온을 통해서만 일어난다. 중성 리간드 L2의 예는 C4-C12 질소 또는 산소 함유 두자리 리간드, 예컨대 1,1-디메톡시에탄, 1,2-디메톡시프로판을 포함하나, 이로 제한되는 것은 아니다. 구조식 4에서, L3는 금속 중심과 배위결합하여 두개의 에타-1 이미다졸레이트 음이온을 함유하는 착화합물을 생성한다. 중성 리간드 L3의 예는 C4-C12 두자리 질소 함유 리간드, 예컨대 테트라메틸에틸렌디아민을 포함하나, 이로 제한되는 것은 아니다. 예상밖으로, 탄화수소 용매에서의 증진된 용해도가 구조식 2로 예시된 타입의 비스 에타-5 배위결합의 경우에서만 관찰되는 것으로 나타났다. 이론에 결부되고자 바라지 않지만, 금속-이미다졸레이트 결합이 보다 이온성이고 덜 공유적인, 이마다졸레이트 음이온 중 하나(구조식 3) 또는 둘 모두(구조식 4)가 에타-1인 경우에 비해, 비스 에타-5 배위결합 경우에서의 금속-이미다졸레이트 결합이 보다 공유적이고 덜 이온성인 것으로 여겨진다. 탄화수소 용매에서의 용해도가 이온성 분자에 비해 공유적 분자에 대해 증진되기 때문에, 비스-에타-5 부가 착화합물 전구체가 하나의 에타-1 또는 두개의 에타-1 이미다졸레이트 음이온을 갖는 것들에 비해 증진된 용해도를 갖는다. 이와 관련하여, 비스 에타-5 부가 착화합물 전구체의 용해도 증진은 모 전구체(예를 들어, 구조식 1을 갖는 2족 금속 이미다졸레이트 다이머)의 용해도의 약 8 내지 10배이다. 하기 기재되는 구조식 1, 2, 3 및 4에서, 이미다졸레이트 음이온의 세 개의 고리 탄소 원자 상의 벌키(bulky) 알킬 치환기(R1, R2 및 R3, 여기서 R1, R2, 및 R3은 독립적으로 C3-12 분지형 알킬로부터 선택됨)는 명료성을 위해 생략되었다. 이미다졸레이트 음이온의 각각의 세개의 탄소 원자 상의 이들 벌키 알킬기는 3차 기, 바람직하게는 3차-부틸 기이다.
구조식 1
Figure pat00001
구조식 2
Figure pat00002
구조식 3
Figure pat00003
Figure pat00004
용매 사이클로옥탄 및 메시틸렌에서의 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(L) 부가물의 용해도가 하기 표 1 및 2에 각각 제시되어 있다. 실온에서 칭량된 양의 용매에 금속 착화합물을 증가량으로 첨가하고, 더 이상 용해될 수 없을때까지 혼합한 후, 생성된 용액을 다시 칭량하여 용해되는 금속 착화합물의 중량 백분율을 계산함으로써 용해도를 결정하였다. 이후, 고정된 부피의 용액을 칭량하였다. 이러한 중량으로부터, 금속 착화합물의 중량 및 이에 따른 용해된 금속 착화합물의 몰이 계산된다. 이후, 금속 착화합물의 몰은 리터로 칭량된 용액의 부피에 의해 나누어져 용액의 몰 농도가 생성된다. 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물의 몰 농도가 0.1M 내지 1M의 범위, 또는 0.1M 내지 0.5M의 범위일 수 있다. 표 1 및 2를 참조하면, 모두 구조식 2에 제시된 유형의 이미다졸레이트의 비스 에타-5 배위를 갖는 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 및 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란)은 이들의 모 착화합물 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)보다 용매 메시틸렌에서 9 내지 13배 더 가용성이나, 착화합물 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란)은 예외이며, 이는 또한 이의 모 착화합물보다 사이클로옥탄에서 11 내지 12배 더 가용성이다. 구조식 3으로 표현되는 다른 예는 모 착화합물보다 약간 더 가용성이며, 구조식 4의 예는 모 착화합물보다 약간 덜 가용성이다. 또한, 디-n-부틸에테르와 같은 간단한 에테르는 본원에 기재된 실시예 7에 예시된 바와 같이 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)와 함께 착화합물을 형성하지 않는 것으로 나타나며, 이는 모든 중성 리간드 분자가 배위되어 착화합물을 형성할 수는 없고, 단독으로 비스-에타 5 이미다졸레이트 착화합물을 형성한다는 사실을 뒷받침한다. 따라서, 단지 선택적 유형의 중성 리간드가 2족 이미다졸레이트에 배위되어 착화합물을 형성할 것이며, 중성 리간드의 상기 족 내에서, 단지 선택적 족이 2족 금속에 대한 비스 에타-5 이미다졸레이트 배위를 갖는 착화합물을 형성하여 탄화수소 용매 내에서 가장 높은 용해도를 발생시킬 것이다.
표 1: 사이클로옥탄 내에서의 스트론튬 이미다졸레이트 부가물의 용해도.
Figure pat00005
표 2: 메시틸렌에서의 스트론튬 이미다졸레이트 부가물의 용해도.
Figure pat00006
표 1 및 2에 나열된 착화합물의 열중량분석(TGA)을 일정한 속도 하에서 가열하면서 질소의 안정된 스트림 하에서 수행하고 이에 따른 샘플을 미량천칭 팬에 걸었다. 시차 주사 열량계로 발열(분해) 또는 흡열(상 변화/용해 또는 증발 냉각)을 모니터하면서 중량 손실이 온도/시간의 함수로 측정된다. 상기 부가물 착화합물 전구체로부터의 TGA 결과는 배위된 중성 리간드의 증발로 인한 최초 중량 손실이 리간드 자체의 비등점보다 현저히 높은 온도에서 시작하는 것을 나타낸다. 대표적 예에 대해, 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란)의 경우(도 7), 테트라하이드로푸란의 손실과 관련된 중량 손실에서의 최초 감소가 순수한 테트라하이드로푸란에 대한 65℃의 비등점에 비해 약 100℃ 또는 그 초과의 온도에서 현저히 시작한다. 따라서, 이론으로 제한하고자 하는 것은 아니지만, 배위된 리간드가 이들이 상기 TGA 조건하에서 스트론튬 전구체와 적어도 부분적으로 공동증발할 수 있기에 충분한 친화성으로 배위됨에 따라, 사이클로옥탄 또는 메시틸렌과 같은 탄화수소 용매에 용해된 상기 전구체의 조성물, 바람직하게는 구조식 2에 제시된 유형의 전구체를 이용하여 동등한 성능이 DLI 시스템에서 예상될 수 있는 것으로 생각된다.
다른 실험에서, 본 발명자는 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)가 실온에서 이의 0.03M의 포화된 농도에 비해 사이클로옥탄에서 70℃에서 0.3M 용액을 용이하게 형성할 수 있는 것을 발견하였다. 따라서, 배위된 테트라하이드로푸란 모두가 증발기에서 용액이 70℃에 도달함에 따라 DLI 증발 동안 사이클로옥탄 중 0.3M의 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란)으로부터 증발 손실되더라도, 이에 따라 형성된 잔여 디-스트론튬 테트라((2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)가 용액으로 남아있을 것이다. 그러나, 도 7에서의 TGA는 테트라하이드로푸란이 사이클로옥탄 중에서의 디-스트론튬 테트라((2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)의 용해도가 0.3M을 초과하는 것으로 예상되는 지점인 약 100℃까지 손실되지 않는 것을 나타낸다. 이론으로 제한하고자 하는 것은 아니지만, 상기 결과는 전구체가 침전되지 않고, 오히려 탄화수소 용매와의 공동증발 동안 용해된 채로 유지되는 것을 나타낸다.
또 다른 양태에서, 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 칼슘 또는 라듐 또는 이들의 혼합물로 구성되는 군으로부터 선택된 금속에 배위된 하나 이상의 다중치환된 이미다졸레이트 음이온을 갖는 화합물을 포함하는 조성물이 본원에 기재된다. 이후, 생성된 착화합물은 중성 공여 리간드, 예를 들어, 에테르 또는 아민 또는 본원에 정의된 다른 리간드 중 임의의 리간드에 배위되어 신규한 더욱 가용성인 착화합물이 형성되고, 이는 이후에 적합한 용매에 용해되고, 생성된 조성물이 DLI에 대해 사용된다. 다른 금속 착화합물과 조합된 본원에 기재된 조성물은 또한, 착화합물이 또한 용매에 용해되고 생성된 조성물이 DLI 모드에서 사용되는 경우를 포함하는 추가 금속 착화합물이 티타늄 이미다졸레이트 착화합물 또는 비-이미다졸레이트 착화합물일 수 있는 경우에 고려된다. 특히 유용한 조합물은 스트론튬 이미다졸이 티타늄 착화합물과 조합되어 상기 조성물을 제공하거나 적합한 용매 중에 공동 용해되는 경우에 박막 금속 침착물을 함유하는 2족 ALD 또는 CVD 박막에 의해 STO, BST 또는 BTO에 대한 DLI 조성물로 사용하기에 적합한 조성물을 형성하는 것을 포함한다. 유사하게, 스트론튬 및 바륨 이미다졸레이트 착화합물을 포함하는 조성물이 BST 막 성장을 위해 적합한 티타늄 착화합물과 조합될 수 있다.
대안적으로, 상기 조성물에서, 하나의 이미다졸레이트 음이온은 제 2 비-이미다졸레이트 음이온으로 치환될 수 있다. 또한, 이미다졸레이트 음이온은 또한 탈양성자화되어 2음이온(dianionic) 종을 발생시키는 치환기를 가질 수 있고, 상기 2음이온은 금속, 예를 들어, 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 칼슘 또는 라듐 또는 이들의 혼합물에 배위된다.
바람직하게는, 제 2 비-이미다졸레이트 음이온은 다중치환된 이미다졸레이트 음이온, 폴리알킬화된 피롤릴 음이온, 베타-디케토네이트, 아세테이트, 케토이미네이트, 디이민, 알콕사이드, 아미드, 하이드라이드, 베타-케토에스테르, 아미디네이트, 구아니디네이트, 사이클로펜타디에닐, 시아니드, 이소시아니드, 포르메이트, 옥살레이트, 말로네이트, 페녹사이드, 티올레이트, 설피드, 니트레이트, 알킬, 실릴알킬, 플루오로알킬, 아릴, 이미다졸레이트, 하이드라이드 및 이들의 혼합물로 구성되는 군으로부터 선택된다.
이미다졸 리간드가 배위 공여 리간드 화합물의 존재하에서 DLI 용매 중에서 2족 소스 시약과 반응되는 경우에 본원에 개시된 신규한 DLI 제형의 직접 합성이 또한 고려된다.
본원에 개시된 바륨 및 스트론튬 이미다졸레이트 기반 DLI 제형의 사용이 BST 및 STO 막의 제조에 고려된다.
가장 바람직하게는, 이미다졸레이트는 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트; 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트; 및 이들 각각의 2족 또는 바륨, 스트론튬, 마그네슘 및 칼슘 화합물로 구성되는 군으로부터 선택된 것 중 적어도 하나이다.
DLI에 대한 바람직한 조성물은 칼슘 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란) 칼슘 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란),스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)( 2,3-디하이드로푸란)을 포함하는 금속 이미다졸레이트를 함유한다.
DLI에 대한 바람직한 조성물은 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)을 포함하는 금속 이미다졸레이트를 함유한다.
DLI에 대한 바람직한 조성물은 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)을 포함하는 금속 이미다졸레이트를 함유한다.
DLI에 대한 바람직한 조성물은 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란) , 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트 (2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)l이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸) 이미다졸레이트) (2,3-디하이드로푸란)을 포함하는 금속 이미다졸레이트를 함유한다.
DLI에 대한 바람직한 조성물은 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트) (테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디--(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필))이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필))이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트 (3-메틸 테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)을 포함하는 금속 이미다졸레이트를 함유한다.
DLI에 대한 바람직한 조성물은 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)) (테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트) (테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트) (테트라하이드로푸란),,칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란),스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트) (2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)을 포함하는 금속 이미다졸레이트를 함유한다.
DLI에 대한 바람직한 조성물은 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)을 포함하는 금속 이미다졸레이트를 함유한다.
DLI에 대한 바람직한 조성물은 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)-이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)-이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)을 포함하는 금속 이미다졸레이트를 함유한다.
DLI에 대한 바람직한 조성물은 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트로늄 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트로늄 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)을 포함하는 금속 이미다졸레이트를 함유한다.
바람직하게는, 본 발명의 금속 이미다졸레이트 조성물은 스테인레스 강철 용기에 함유된다. 더욱 바람직하게는, 스테인레스 강철 용기는 이의 내부에서 전해 연마된다. 가장 바람직하게는, 스테인레스 강철 용기는 고순도 및 낮은 사강 서비스(dead space service)에 대해 입구 및 출구 밸브가 공급된다.
현재, 반도체 산업에서의 ALD의 주요한 용도는 스트론튬 옥사이드, 바륨 옥사이드 및 페로브스카이트(perovskite) 옥사이드: 스트론튬 티타네이트(STO) 및 바륨 티타네이트(BST)와 같은 금속 옥사이드 막의 성장이다. 종종, 상기 과정은 깊이 구멍이 난 원통형 부피(바이어(via))로 또는 원주 구조(기둥) 상으로 완전하게 입체조형적 막을 성장시키는데 필요하며, 여기서 입체조형성(conformality)을 붕괴시키는 열 분해 또는 CVD 성분이 존재하지 않는 것이 필요하다.
CVD에 의한 증착을 배제시키기 위해 DLI에 의해 전달되는 2족 이미다졸레이트 전구체가 열적으로 안정적이게 되는 필요조건 외에, 이들은 또한 ALD 조건하에서 높은 화학적 반응성을 유지하는 것이 필요하다. 표면 -OH와 같은 ALD 기질 상의 반응 부위가 산소 및 질소 함유 용매와 상호작용할 수 있으므로, 상기 용매는 전구체의 유효 반응성을 낮추는 잠재성을 갖는다. 이러한 시각으로부터, 탄화수소 용매를 사용하는 것이 매우 요망되고, 이는 탄화수소에서 고도로 가용성인 전구체를 사용할 필요성을 뒷받침한다. 또한, 탄화수소 용매는 DLI 시스템 전달의 미세하게 구멍이 난 증발 노즐을 막고 차단할 수 있는 불용성 부산물을 형성시킬 수 있는 것으로부터 전구체의 임의의 가수분해를 방지시키기 위해 물의 수준을 서브 ppm(sub ppm)으로 용이하게 건조될 수 있다.
바람직하게는, 상기 개시의 DLI 포뮬레이션이 제조될 수 있는 2족 이미다졸레이트를 제조하는데 사용될 수 있는 이미다졸은 하기 중 적어도 하나이다:
2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)
2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)l이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)l이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸-이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸 이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸 프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸 부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸 펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸 헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸 부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸 펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸 부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4,5-트리(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸이미다졸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸이미다졸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸이미다졸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5--(1,1-디메틸프로필)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5--(1,1-디메틸프로필)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5--(1,1-디메틸프로필)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5--(1,1-디메틸부틸)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5--(1,1-디메틸펜틸)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5--(1,1-디메틸헥실)-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)-이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
*2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸penyl)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5 ?(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-5 이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5 ?(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸) 이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2,4-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
2,5-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸이미다졸
2,4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4,5-디-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2,4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-5-이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5(-1,2-디메틸프로필)-5이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필))이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필))이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5 ?(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,5-디(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
특정의 구체예에서, 이미다졸은 하기 화합물로부터 선택된 이미다졸이다:
2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)
2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)l이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디-(1,1-디메틸헥실)l이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4,5-트리-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸-이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸 이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸 프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸 부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸 펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 펜틸)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸 헥실)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 헥실)-5-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸 부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸 펜틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸 부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸 부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
바람직하게는, 이미다졸은 다음과 같다:
2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸
2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-3차부틸-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4,5-트리(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1-메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
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2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-4-디(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-5-디(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
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2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
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2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
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2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
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2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
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2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸펜틸)이미다졸
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2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
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2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1-메틸에틸)이미다졸
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2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
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2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
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2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
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2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
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2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차부틸-4,5-디(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1-메틸프로필)이미다졸
2,4,5-트리(1-메틸프로필)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1-메틸프로필)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1-메틸프로필)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
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2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
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2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-4-디(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-5-디(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
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2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸에틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸에틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
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2-(1,2-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸프로필)이미다졸
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2-(1,2-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸프로필)이미다졸
2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸프로필)이미다졸
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2,4-디(1-메틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
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2,4-디(1-메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-3차부틸-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1-메틸부틸)이미다졸
2,4,5-트리(1-메틸부틸)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
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2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
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2-3차-부틸-4-(1-메틸부틸)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
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2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1-메틸부틸)이미다졸
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2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸-4-(1-메틸부틸)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸부틸)이미다졸
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2-(1-메틸에틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
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2-(1,2-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸부틸)이미다졸
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2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-3차-부틸이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-3차-부틸이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1-메틸에틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1-메틸에틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸부틸)-5-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸부틸)-4-(1,2-디메틸프로필)이미다졸
더욱 바람직하게는, 이미다졸은 하기 화합물 중 하나이다:
2-3차부틸-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸에틸)-4,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4,5-트리(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-디-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-디-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸에틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸에틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-4-(1,2-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-디(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-디(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸부틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-4-디(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-5-디(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-3차-부틸-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-3차-부틸-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸프로필)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸부틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸부틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-4-(1,1-디메틸펜틸)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1,1-디메틸헥실)-5-(1,1-디메틸펜틸)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,4-(1,1-디메틸헥실)-5-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2,5-(1,1-디메틸헥실)-4-(1-메틸-1-에틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸펜틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)-5-(디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(디메틸펜틸)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2-(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(디메틸펜틸)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-3차-부틸이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-3차-부틸이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸프로필)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸부틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸펜틸)이미다졸
2,4-디(1-메틸-1-에틸프로필)-5-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
2,5-디(1-메틸-1-에틸프로필)-4-(1,1-디메틸헥실)이미다졸
이러한 이미다졸은 이후 탈프로톤화되어 각각의 이미다졸레이트 음이온이 수득될 수 있고, 이들은 이후 바륨, 스트론튬, 칼슘 또는 라듐 이온에 배위되어, 결과적으로 각각의 착화합물을 수득할 수 있다. 본원에 기재된 부가 착화합물은 공여 리간드의 존재하에서 금속 착화합물을 형성시킴으로써 이러한 단계에서 직접적으로 합성될 수 있다.
바람직하게는, 아미다졸레이트의 R1 및 R3은 3차-부틸, 이소프로필, 3차-아밀, 네오펜틸, 단호하게는, 헥실, 사이클로헥실, 프로필, 부틸, 이소부틸, 펜틸, 사이클로펜틸, 이소펜틸, 네오펜틸, 노르보르닐, 바이사이클로[2.2.1]헵틸, 프로필, 부틸, 이소부틸, 펜틸, 이소펜틸, 디메틸부틸, 디메틸펜틸, 디메틸헥실, 이차 부틸, 에틸메틸프로필, 이소헥실, 이소펜틸로 이루어진 군으로부터 독립적으로 선택된다.
바람직하게는, 이미다졸레이트의 R2는 3차-부틸, 이소프로필, 3차-아밀, 네오펜틸, 단호하게는, 헥실, 사이클로헥실, 프로필, 부틸, 이소부틸, 펜틸, 사이클로펜틸, 이소펜틸, 네오펜틸, 노르보르닐, 바이사이클로[2.2.1]헵틸, 프로필, 부틸, 이소부틸, 펜틸, 이소펜틸, 디메틸부틸, 디메틸펜틸, 디메틸헥실, 이차 부틸, 에틸메틸프로필, 이소헥실, 이소펜틸로 이루어진 군으로부터 선택된 거대 기(bulky group)이다.
특정 구체예에서, 이미다졸레이트는 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트; 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 및 이들의 바륨, 스트론튬, 마그네슘 및 칼슘 화합물로 이루어진 군으로부터 선택된 것이다.
또 다른 측면에서, 본 발명은 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 칼슘 또는 라듐 또는 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 금속에 배위된 하나 이상의 다가치환된 이미다졸레이트 음이온을 포함하는 화합물을 교시한다.
다르게는, 하나의 이미다졸레이트 음이온은 제 2 비-이미다졸레이트 음이온으로 치환될 수 있다. 추가로, 이미다졸레이트 음이온은 또한 탈프로톤화되어 이중 음이온성 화학종이 수득되는 치환체를 지닐 수도 있고, 이러한 이중 음이온은 금속, 예컨대, 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 칼슘 또는 라듐 또는 이들의 혼합물에 배위된다.
신규한 화합물 또는 착화합물의 합성 및 BST 필름을 형성시키는 이의 용도가 또한 고려된다.
본원에 기재된 2족 금속 함유 조성물은 메모리 용도, 예컨대, DRAM 장치를 위한 마이크로캐패시터 전지와 같은 반도체형 마이크로전자 장치의 제조용 ALD, CVD, 펄스 CVD (pulsed CVD), 플라즈마 강화 ALD (PEALD) 또는 플라즈마 강화 CVD (PECVD)를 위한 휘발성 전구체를 사용하기에 매우 적합하다. 이들은 또한 파이로디텍터 (pyrodetector) 장치의 제조에 매우 유용하다. 금속-함유 필름 또는 코팅을 형성시키는데 이용되는 방법은 증착 공정이다. 본원에 기재된 방법에 적합한 증착 공정의 예에는 주기적 CVD (cyclic CVD: CCVD), MOCVD (Metal Organic CVD: 금속 유기 CVD), 열 화학적 기상 증착, 플라즈마 강화 화학적 기상 증착 ("PECVD"), 고밀도 PECVD (high density PECVD), 프로톤 보조 CVD (photon assisted CVD), 플라즈마-프로톤 보조 CVD (Plasma-photon assisted CVD: "PPECVD"), 극저온 화학적 기상 증착 (cryogenic chemical vapor deposition), 화학적 보조 기상 증착 (chemical assisted vapor deposition), 핫-필라멘트 화학적 기상 증착 (hot-filament chemical vapor deposition), 액형 폴리머 전구체의 CVD, 초임계 유체로부터의 증착, 및 저에너지 CVD(low energy CVD: LECVD)가 포함되지만, 이로 제한되지 않는다. 특정 구체예에서, 금속 함유 필름은 원자층 증착 (atomic layer deposition: ALD), 플라즈마 강화 ALD (PEALD) 또는 플라즈마 강화 주기적 CVD (PECCVD) 공정을 통해 증착된다. 본원에 사용된 바와 같은 용어 "화학적 기상 증착 공정"은 기판 표면 상에 반응하고/거나 분해되어 요망되는 증착을 생성시키는, 기판이 하나 이상의 휘발성 전구체에 노출되는 어떠한 공정을 일컫는다. 본원에 사용된 바와 같은 용어 "원자층 증착 공정"은 자기 제한적(self-limiting)(예, 각각의 반응 사이클에서 증착되는 필름 물질의 양이 일정함)인, 다양한 조성물의 기판 상에서 물질의 필름을 증착시키는 연속적인 계면 화학을 일컫는다. 본원에 사용되는 전구체, 시약 및 공급원이 흔히 "기체"로서 기재될 수 있지만, 전구체는 직접적인 증발, 버블링(bubbling) 또는 승화를 통해 반응기 내에서 불활성 기체의 존재 또는 부재하에 전달되는 액체 또는 고체일 수 있음이 이해된다. 일부 경우에, 증발된 전구체는 플라즈마 발생기에 통과할 수 있다. 한 가지 구체예에서, 금속-함유 필름은 ALD 공정을 이용하여 증착된다. 또 다른 구체예에서, 금속-함유 필름은 CCVD 공정을 이용하여 증착된다. 추가의 구체예에서, 금속-함유 필름은 열적 CVD 공정을 이용하여 증착된다. 본원에 사용된 바와 같은 용어 "반응기"에는 반응 챔버 또는 증착 챔버가 제한 없이 포함된다.
특정 구체예에서, 본원에 기재된 방법은 반응기에 도입하기 전 및/또는 동안 전구체를 분리하는 ALC 또는 CCVD 방법을 이용함으로써 금속 전구체의 예비-반응을 피한다. 이러한 이유로, 증착 기술, 예컨대, ALD 또는 CCVD 공정은 유전 필름을 증착시키는데 사용된다. 한 가지 구체예에서, 필름은 대안적으로 하나 이상의 2족 금속 함유 조성물, 산소 공급원, 또는 그 밖의 전구체 또는 시약에 기판 표면을 노출시킴으로써 ALC 공정을 통해 증착된다. 필름 성장은 표면 반응, 각각의 전구체 또는 시약의 길이, 및 증착 온도의 자기-제한적 제어에 의해 진행된다. 그러나, 기판의 표면이 포화되면, 필름 성장은 중단된다.
증착 방법에 좌우하여 특정 구체예에서는 하나 이상의 2족 금속 전구체가 소정의 몰부피, 또는 약 0.1 내지 약 1000 μmol로 반응기 내에 도입될 수 있다. 이러한 또는 다른 구체예에서, 2족 금속 전구체는 소정 기간 동안 반응기 내에 도입될 수 있다. 특정 구체예에서, 그러한 기간은 약 0.001 내지 약 500 초의 범위이다.
특정 구체예에서, 본원에 기재된 방법을 이용하여 증착된 필름은 산소 공급원, 산소를 포함하는 시약 또는 전구체를 사용하여 산소의 존재하에서 형성된다. 산소 공급원은 하나 이상의 산소 공급원의 형태로 반응기 내에 도입될 수 있고/거나 증착 공정에서 사용되는 다른 전구체에 부수적으로 존재할 수 있다. 적합한 산소 공급원 가스에는, 예를 들어, 물 (H2O) (예, 탈이온수, 정제수, 및/또는 증류수), 산소 (O2), 산소 플라즈마, 오존 (O3), NO, NO2, 일산화탄소 (CO), 이산화탄소 (CO2) 및 이들의 조합물이 포함될 수 있다. 특정 구체예에서, 산소 공급원은 약 1 내지약 2000 표준 세제곱 센티미터(sccm) 또는 약 1 내지 약 1000 sccm 범위의 유속으로 반응기 내에 도입되는 산소 공급원 가스를 포함한다. 산소 공급원은 약 0.1 내지 약 100 초 범위의 시간 동안 도입될 수 있다. 한 가지 특정 구체예에서, 산소 공급원은 10 ℃ 또는 그 초과의 온도를 지니는 물을 포함한다. 필름이 ALD 또는 주기적 CVD 공정에 의해 증착되는 구체예에서, 전구체 펄스는 0.01 초 초과의 펄스 지속 시간을 지닐 수 있고, 산소 공급원은 0.01 초 미만의 펄스 지속 시간을 지닐 수 있지만, 물 펄스 지속 시간은 0.01 초 미만인 펄스 지속 시간을 지닐 수 있다. 추가의 또 다른 구체예에서, 0초만큼 적을 수 있는 펄스간 퍼지 지속 시간은 이들 사이에 퍼지 없이 연속적으로 펄스화된다.
본원에 기재된 증착 방법은 하나 이상의 퍼지 가스를 수반할 수 있다. 소비되지 않은 반응물 및/또는 반응 부산물을 제거하는데 사용되는 퍼지 가스는 전구체와 반응하지 않는 불활성 가스이다. 예시적인 퍼지 가스에는 아르곤 (Ar), 질소 (N2), 헬륨 (He), 네온, 수소 (H2), 및 이들의 혼합물이 포함되지만, 이로 제한되지 않는다. 특정 구체예에서, 퍼지 가스, 예컨대, Ar은 약 10 내지 약 2000 sccm 범위의 유속으로 약 0.1 내지 1000 초 동안 반응기 내에 공급되어, 반응기 내에 남아있을 수 있는 미반응된 물질 및 어떠한 부산물을 제거한다.
전구체, 산소 공급원, 및/또는 그 밖의 전구체, 공급 가스, 및/또는 시약을 공급하는 각각의 단계는 생성된 필름의 화학량론적 조성을 변화시키기 위해 이들을 공급하는 시간을 변화시킴으로써 수행될 수 있다.
에너지는 하나 이상의 전구체, 산소-함유원, 환원제, 그 밖의 전구체 또는 이들의 조합물을 적용하여 반응을 유도하고, 기판 상에 금속-함유 필름 또는 코팅을 형성시킨다. 그러한 에너지는 비제한적으로 열 플라즈마, 펄스 플라즈마, 헬리콘 플라즈마, 고밀도 플라즈마, 유도 결합 플라즈마, X-선, 전자-빔, 프로톤, 원격 플라즈마 방법, 및 이들의 조합에 의해 제공될 수 있다. 특정 구체예에서, 2차 RF 주파수 공급원이 기판 표면에서 플라즈마 성질을 변형시키는데 사용될 수 있다. 증착이 플라즈마와 연루되어 있는 구체예에서, 플라즈마-발생 공정은 플라즈마가 반응기에서 직접적으로 발생하는 직접적인 플라즈마-발생 공정, 또는 대안적으로 플라즈마가 반응기의 외부에서 발생하고 반응기 내에 공급되는 원격 플라즈마-발생 공정을 포함할 수 있다.
2족 금속 전구체는 다양한 방식으로 반응 챔버, 예컨대, CVD 또는 ALD 반응기에 전달될 수 있다. 한 가지 구체예에서, 액체 전달 시스템이 활용될 수 있다. 대안적인 구체예에서, 예를 들어, 낮은 휘발성 물질을 용적측정으로 전달되게 하는 MSP Corporation(쇼어뷰, MN)에 의해 제조된 터보 증발기(turbo vaporizer)와 같이 조합된 액체 전달과 플래쉬 증발 공정 유닛이 사용될 수 있으며, 이는 재현가능한 운반 및 전구체의 열 분해 없는 증착을 야기한다. 본 출원에 기재된 전구체 조성물은 ALD 또는 CVD 반응기 내에 이러한 2족 이미다졸레이트 전구체의 증기 스트림을 제공하기 위해 DLI 방식에서 공급원 시약으로서 효과적으로 사용될 수 있다. 이러한 조성물은 서브 피피엠(sub-ppm) 수준의 물로 건조시키는 능력으로 인해 특히 바람직한 탄화수소 용매를 사용하는 조성물을 포함한다. 본 발명에 사용될 수 있는 예시적인 탄화수소 용매에는 톨루엔, 메시틸렌, 쿠멘 (이소프로필벤젠), p-시멘 (4-이소프로필 톨루엔), 1,3-디이소프로필벤젠, 옥탄, 도데칸, 1,2,4-트리메틸사이클로헥산, n-부틸사이클로헥산, 및 데카하이드로나프탈렌 (데칼린)이 포함되지만, 이로 제한되지 않는다. 본 출원의 전구체 조성물은 또한 스테인리스 강 용기에 저장되고 사용될 수 있다. 특정 구체예에서, 조성물 중의 탄화수소 용매는 고비점 용매이거나, 100℃ 또는 그 초과의 비점을 지닌다. 본 출원의 2족 이미다졸레이트 DLI 전구체 조성물은 이원계 금속 옥사이드 또는 니트라이드 필름의 성장을 위해서 두 금속을 동시에 전달시키는데 사용되는 그 밖의 금속 전구체, 및 혼합물과 혼합될 수 있다. 예를 들어, 본 개시내용의 스트론튬 전구체는 스트론튬 티타네이트 (STO) 필름의 성장을 위해서 이미다졸레이트 기반 티타늄 전구체를 포함하는 적합한 티타늄 전구체와 혼합될 수 있다. 유사하게는, 본 개시내용의 바륨 전구체는 바륨 스트론튬 티타네이트 (BST) 필름의 성장을 위해서 이미다졸레이트 기반 스트론튬 전구체를 포함하는 적합한 스트론튬 전구체와 혼합된 후, 이미다졸레이트 전구체를 포함하는 적합한 티타늄 전구체와 혼합될 수 있다. 유사하게는, 본 개시 내용의 바륨 전구체는 바륨 티타네이트 (BTO) 박막의 성장을 위해서 이미다졸레이트 기반 티타늄 전구체를 포함하는 적합한 티타늄 전구체와 혼합될 수 있다.
특정 구체예에서, 전구체 조성물의 순도는 신뢰할만한 반도체 제조에 허용가능하도록 충분히 높다. 특정 구체예에서, 본원에 기재된 2족 금속-함유 전구체 및 이를 포함하는 조성물은 유리 아민, 유리 할라이드 또는 할로겐 이온, 및 더 높은 분자량의 화학종의 불순물 중 하나 이상을 2중량% 미만, 또는 1중량% 미만, 또는 0.5중량% 미만 포함한다. 본 원에 기재된 2족 금속-함유 전구체의 더 높은 순도는 정제, 흡착, 및/또는 증류의 공정 중 하나 이상을 통해 얻어질 수 있다.
특정 구체예에서, 전구체 통(canister)으로부터 반응 챔버로 연결되는 가스 라인은 공정 요건에 따라 하나 이상의 온도로 가열되고, 조성물을 포함하는 용기는 버블링을 위해 하나 이상의 온도에서 유지된다. 다른 구체예에서, 2족 금속-함유 전구체를 포함하는 조성물은 직접적인 액체 주입을 위해 하나 이상의 온도에서 유지되는 증발기 내에 주입된다.
아르곤 및/또는 그 밖의 가스의 흐름은 전구체 펄스화 동안 하나 이상의 2족 금속-함유 전구체의 증기를 반응 챔버 내에 전달하는 것을 돕는 캐리어 가스로서 사용될 수 있다. 특정 구체예에서, 반응 챔버 공정 압력을 약 1 Torr이다.
전형적인 ALD 또는 CCVD 공정에서, 기판, 예컨대, 실리콘 옥사이드 기판은 초기에 2족 금속-함유 전구체에 노출되는 반응 챔버내 가열기 스테이지 상에서 가열되어 착화합물이 기판의 표면 상에서 화학적으로 흡착되게 한다.
퍼지 가스, 예컨대, 아르곤은 공정 챔버로부터 흡착되지 않은 과량의 착화합물을 제거한다. 충분한 퍼지 후, 질소-함유원은 반응 챔버 내에 도입되어 흡착된 표면, 이후 또 다른 가스 퍼지와 반응하여 챔버로부터 반응 부산물을 제거할 수 있다. 공정 사이클은 요망되는 필름 두께에 도달하기 위해 반복될 수 있다.
특정 구체예에서, 공정에는 환원제가 사용된다. 환원제는 전형적으로 기체 형태로 도입된다. 적합한 환원제의 예에는 수소 가스, 소소 플라즈마, 원격 수소 플라즈마, 실란 (즉, 디에틸실란, 에틸실란, 디메틸실란, 페닐실란, 실란, 디실란, 아미노실란, 클로로실란), 보란 (즉, 보레인, 디보레인), 아레인, 게르만, 하이드라진, 암모니아, 또는 이들의 혼합물이 포함되지만, 이로 제한되지 않는다. 한 가지 특정 구체예, 예컨대, 비정질 규소의 증착에서, 환원제가 사용된다.
이러한 또는 다른 구체예에서, 본원에 기재된 방법의 단계들을 다양한 순서로 수행될 수 있고, 순차적으로 또는 동시에(예, 또 다른 단계의 적어도 일부 동안), 그리고 이들의 어떠한 조합으로 수행될 수 있다. 전구체 및 질소-함유원 가스를 공급하는 각각의 단계는 생성된 유전 필름의 화학량론적 조성을 변화시키기 위해 이들을 공급하는 기간을 달리함으로써 수행될 수 있다.
본원에 기재된 방법의 또 다른 구체예에서, 유전 필름은
반응기에 기판을 제공하는 단계;
2족 금속 함유 전구체를 포함하는 함유 조성물을 반응기 내에 도입하는 단계;
기판 상에서 2족 금속 함유 전구체를 화학 흡착하는 단계;
퍼지 가스를 사용하여 미만응된 2족 금속 함유 전구체를 제거하는 단계;
가열된 기판 상에서 2족 금속 함유 전구체에 산소 공급원을 제공하여 흡착된 하나 이상의 2족 금속 함유 전구체와 반응시키는 단계; 및
임의로, 어떠한 미반응된 산소 공급원을 제거하는 단계를 포함하는 ALD 증착 방법을 이용하여 형성된다.
상기 단계들은 본원에 기재된 방법을 위한 하나의 사이클을 나타내며; 그러한 사이클은 필름의 요망되는 두께가 얻어질 때까지 반복될 수 있다. 이러한 그리고 다른 구체예에서, 본원에 기재된 방법의 단계들은 다양한 순서로 수행될 수 있고, 순차적으로 또는 동시에(예, 또 다른 단계의 적어도 일부 동안), 그리고 이들의 어떠한 조합으로 수행될 수 있다. 전구체 및 산소 공급원을 공급하는 각각의 단계들은 생성된 유전 필름의 화학량론적 조성을 변화시키기 위해 이들을 공급하는 기간을 달리하지만 항상 이용가능한 규소에 대한 화학량론적 양 미만의 산소를 사용함으로써 수행될 수 있다.
다중-성분 필름의 경우, 그 밖의 전구체, 예컨대, 규소-함유 전구체, 질소-함유 전구체, 환원제, 또는 그 밖의 시약이 대안적으로 반응기 챔버 내에 도입될 수 있다.
본원에 기재된 방법의 추가 구체예에서, 유전 필름은 열적 CVD 공정을 이용하여 증착된다. 이러한 구체예에서, 본 발명의 방법은
주위 온도 내지 약 700℃의 온도 범위로 가열되고, 1 Torr 또는 그 미만의 압력에서 유지되는 반응기 내에 하나 이상의 기판을 위치시키고;
2족 금속 함유 전구체를 포함하는 조성물을 도입하고;
반응기 내에 산소 공급원을 제공하여 2족 금속 함유 전구체와 적어도 부분적으로 반응시키고 하나 이상의 기판 상에 2족 금속 필름을 증착시킴을 포함한다. CVD 방법의 특정 구체예에서, 반응기는 도입 단계 동안 100 mTorr 내지 600 mTorr의 범위의 압력에서 유지된다.
상기 단계들은 본원에 기재된 방법에 대한 하나의 사이클을 정의하며; 상기 사이클은 요망되는 필름 두께가 얻어질 때까지 반복될 수 있다. 상기 또는 그 밖의 구체예에서, 본원에 기재된 방법의 단계들은 다양한 순서로 수행될 수 있고, 순차적으로 또는 동시에(또 다른 단계의 적어도 일부 동안), 그리고 이들의 어떠한 조합으로 수행될 수 있는 것으로 이해된다. 전구체 및 산소 공급원을 공급하는 개개의 단계들은 생성된 필름의 화학량론적 조성을 변화시키기 위해 이들을 공급하는 시간의 지속기간을 다양하게 함으로써 수행될 수 있다.
다중-성분 필름의 경우, 그 밖의 전구체, 예컨대, 규소-함유 전구체, 질소-함유 전구체, 산소 공급원, 환원제, 및/또는 그 밖의 시약이 대안적으로 반응기 챔버 내에 도입될 수 있다.
상기 기재된 본 발명의 금속 이미다졸레이트 전구체를 포함하는 조성물을 이용하는 것을 포함하여, ALD 또는 CVD에 의해 금속 함유 필름을 증착시키는 방법이 본원에 기재된다. 특정 일 구체예에서, 2족 이미다졸레이트(부가물) 전구체 및 상용가능한 용매를 포함하는 조성물을 DLI 전달에 의해 반응 챔버에 전달시킨 다음, 이것을 물, 알코올, 산소, 오존, 아산화질소, 이산화질소, 과산화수소 또는 이들의 조합물로 구성된 군으로부터 선택된 산소 공급원과 반응시켜, 0.001-1000 Torr의 반응기 압력 및 0-1000℃의 온도를 이용하여, 바륨 옥사이드, 스트론튬 옥사이드, 마그네슘 옥사이드, 칼슘 옥사이드 또는 라듐 옥사이드 및 이들의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 금속 함유 필름의 성장에 의해 금속 함유 필름을 증착시키는 방법이 제공된다. 2족 금속의 아이덴티티에 따라, 이러한 방법은 사이클 당 약 1 옹스트롬(Å) 또는 그 초과의 바륨 옥사이드 또는 스트론튬 옥사이드의 증착을 초래한다.
본원에 기재된 Ba 및 Sr 이미다졸레이트 구조를 티타늄 알콕사이드, 티타늄 알콕사이드/디케토네이트, 티타늄 사이클로펜타디에닐, 티타늄 아미드, 티타늄 이미다졸레이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 교호 펄스의 티타늄 전구체와 ALD 또는 펄싱된 CVD 방식으로 반응시켜 BST 필름을 성장시키는 것을 포함하는, ALD 또는 CVD에 의해 필름을 증착시키는 방법이 또한 본원에 기재된다.
또 다른 구체예에서, 본 발명의 Sr 이미다졸레이트 전구체를 티타늄 알콕사이드, 티타늄 알콕사이드/디케토네이트, 티타늄 사이클로펜타디에닐, 티타늄 아미드 티타늄 이미다졸레이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 교호 펄스의 티타늄 전구체와 ALD 또는 펄싱된 CVD 방식으로 반응시켜 STO 필름을 성장시키는 방법이 제공된다.
추가의 구체예는 본 발명의 Ba 이미다졸레이트 전구체를 티타늄 알콕사이드, 티타늄 알콕사이드/디케토네이트, 티타늄 알콕시/케토에스테르, 티타늄 사이클로펜타디에닐, 티타늄 아미드 티타늄 이미다졸레이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 교호 펄스의 티타늄 전구체와 ALD 또는 펄싱된 CVD 방식으로 반응시켜 BTO 필름을 성장시키는 방법이다.
여전히 추가의 구체예는 본 발명의 바륨 이미다졸레이트 전구체를 스트론튬 케토이미네이트, 스트론튬 디케토네이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 스트론튬 화합물 및 티타늄 알콕사이드, 티타늄 알콕사이드/디케토네이트, 티타늄 알콕시/케토에스테르, 티타늄 사이클로펜타디에닐, 티타늄 아미드 및 이들의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 티타늄 화합물과 ALD, CVD 또는 펄싱된 CVD로 반응시켜 BST의 필름을 성장시키는 방법이다.
여전히 또 다른 구체예는 본 발명의 이미다졸레이트 전구체를 HCl, HF, SiCl4, HBr 및 이들의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 할라이드-함유 가스와 반응시켜, ALD, CVD 또는 펄싱된 CVD 방식으로, X = 할라이드이고 M은 Ba, Sr, Mg, Ca , Ra 및 이들의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택되는 MX2를 성장시키는 방법이다.
또한 이미다졸을 n-부틸 리튬, n-헥실 리튬, sec-부틸 리튬, 3차-부틸 리튬, 리튬 디이소프로필아미드, 포타슘 하이드라이드, 소듐 하이드라이드, 소듐 금속, 포타슘 금속, 소듐 t-부톡사이드, 포타슘 t-부톡사이드, 포타슘 헥사메틸디실라잔, 소듐 헥사메틸디실라잔으로 구성된 군으로부터 선택된 금속 시약으로 직접 금속화시킨 다음, 얻어진 생성물을 알칼리토금속 아이오다이드, 알칼리토금속 아세테이트, 알칼리토금속 카르복실레이트, 알칼리토금속 카르보네이트, 알칼리토금속 포르메이트, 알칼리토금속 브로마이드, 알칼리토금속 트리플루오로아세테이트, 알칼리토금속 헥사플루오로아세틸아세톤, 알칼리토금속 트리플루오로아세틸아세토네이트, 알칼리토금속 아세틸아세토네이트, 알칼리토금속 디이민, 알칼리토금속 케토이민, 알칼리토금속 아미디네이트, 알칼리토금속 구아니디네이트 및 이들의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 시약과 도너 배위결합 리간드의 존재 또는 부재하에 반응시킴에 의해 본원에 기재된 전구체를 합성하는 방법이 제공된다. 후자의 경우, 공여 리간드는 이미다졸레이트 착화합물의 분리 후에 첨가될 수 있다.
폴리알킬화된 이미다졸을 알칼리토금속 아미드, 알칼리토금속 페녹사이드, 알칼리토금속 하이드록사이드, 알칼리토금속 알킬, 알칼리토금속 아릴 및 이들의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택된 시약을 이용하여 도너 배위결합 리간드의 존재 또는 부재하에 반응시킴에 의해 본 발명의 이미다졸레이트 구조를 직접 합성하는 방법이 제공된다. 후자의 경우, 공여 리간드는 이미다졸레이트 착화합물의 분리 후에 첨가될 수 있다.
대안적인 구체예에서, 본 발명은 이미다졸을 암모니아의 존재하에 알칼리토금속과 도너 배위결합 리간드의 존재 또는 부재하에 반응시킴에 의해 본 발명의 이미다졸레이트 구조를 합성시키는 방법이다. 후자의 경우, 공여 리간드는 이미다졸레이트 착화합물의 분리 후에 첨가될 수 있다.
추가의 대안은 이미다졸을 암모니아와 함께 아민의 존재하에 알칼리토금속과 도너 배위결합 리간드의 존재 또는 부재하에 반응시킴에 의해 본 발명의 이미다졸레이트 구조를 합성시키는 방법이다. 후자의 경우, 공여 리간드는 이미다졸레이트 착화합물의 분리 후에 첨가될 수 있다.
본 발명은 또한 본 발명의 금속 이미다졸레이트의 혼합물을 이용하여 STO 및 BST로 구성된 군으로부터 선택된 유전 필름을 성장시킴으로써 다이나믹 랜덤 액세스 메모리 (DRAM) 메모리 셀 및 고온측정 디바이스로 구성된 군으로부터 선택된 마이크로전자 장치를 형성하는 방법이다.
대안적으로, 본 발명은 본 발명의 이미다졸레이트 구조를 이용하여 비휘발성 강유전성 마이크로전자 메모리 디바이스, 전자발광식 표시용 디스플레이 형광체, 고 Tc 초전도 디바이스로 구성된 군으로부터 선택된 마이크로전자 디바이스를 제조하는 방법이다.
여전히 또 다른 구체예에서, 본 발명은 본 발명의 바륨 또는 스트론튬 이미다졸레이트 구조를 에테르, 아미노에테르, 아미드, 에스테르, 방향족 또는 탄화수소 용매로 구성된 군으로부터 선택된 용매에 용해된 티타늄원과 함께 제공하고 생성된 조성물을 DLI 시스템에 의해 전달시켜 생성된 조성물의 증기류를 제공함으로써 ALD 또는 CVD에 의해 금속 옥사이드 또는 니트라이드 필름을 성장시키는 것을 포함하는, ALD 또는 CVD에 의해 금속 옥사이드 또는 니트라이드 필름을 성장시키는 방법이다.
실시예
실시예 1: 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란)
2.79g (0.0025 moles)의 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)를 50 밀리리터 (ml)의 건조 헥산에서 질소 대기하에 교반시켰다. 이어서 0.36g (0.005 moles) 양의 테트라하이드로푸란을 5분에 걸쳐 첨가시켜 스트론튬 착화합물을 서서히 용해시켰다. 생성된 용액을 밤새 교반시킨 다음 진공에 의해 헥산을 제거하였다. 수율은 2.8g이었다. 최종 생성물의 구조를 X-선 결정학에 의해 측정하였고, 도 1에 도시된 구조식 2의 유형을 갖는 것으로 나타났다. 1H NMR : (500 MHz, D8 톨루엔): δ= 1.34(m, 4H), δ=1.41(s, 18H), δ= 1.57 (s, 36H), δ= 3.96(m, 4H)
실시예 2: 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란)
2.79g (0.0025mol)의 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)를 50ml의 건조 헥산에서 질소 대기하에 교반시켰다. 이어서 0.50mL, (0.005mol)의 3-메틸THF를 첨가하고 혼합물을 밤새 교반시켰다. 그 후 헥산을 진공에 의해 제거시켜 백색 고형물을 수득하였다. 최종 생성물의 구조를 X-선 결정학에 의해 측정하였고, 도 2에 도시된 구조식 2의 유형을 갖는 것으로 나타났다. 수율: 2.74g, 85%. 1H NMR : (500 MHz, D8 톨루엔): δ= 0.72 (d, 3H), δ=1.43 (s, 18H), δ= 1.53(m, 1H), δ= 1.58 (s,36H), δ= 1.87 (m, 2H), δ= 3.25 (t, 1H), δ= 4.0035 (m, 2H), δ= 4.3456 (t, 1H).
실시예 3: 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란)
2.79g (0.0025mol)의 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)를 50ml의 건조 헥산에서 질소 대기하에 교반시켰다. 이어서 0.35g, (0.005mol)의 2,5-디하이드로푸란을 첨가하고 혼합물을 밤새 교반시켰다. 그 후 헥산을 진공에 의해 제거시켜 백색 고형물을 수득하였다. 최종 생성물의 구조를 X-선 결정학에 의해 측정하였고, 도 3에 도시된 구조식 2의 유형을 갖는 것으로 나타났다. 1H NMR : (500 MHz, D8 톨루엔): δ= 1.43(s, 18H), δ=1.56(s, 36H), δ= 4.47 (s, 4H), δ= 5.24(s, 2H). 수율 = 2.51 g, 80%. TGA: 나머지 질량 8.09%
실시예 4: 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(1,2-디메톡시프로판)
2.79g (0.0025 moles)의 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)를 50ml의 건조 헥산에서 질소 대기하에 교반시켰다. 이어서 0.52g (0.005 moles)의 디메톡시프로판을 5분에 걸쳐 첨가시켜 스트론튬 착화합물을 서서히 용해시켰다. 추가 20분의 교반 후에, 혼합물이 탁해졌고 추가 10분 내에 백색 침전물이 형성되었다. 그 후 혼합물을 밤새 교반시켰다. 이어서 헥산을 진공에 의해 제거시켜 백색 고형물을 수득하였다. 수율은 2.83g이었다. 1H NMR : (500 MHz, D8 톨루엔): δ= 0.47(d, 3H), δ=1.47(s, 18H), δ= 1.62 (s, 36H), δ= 2.25(m, 1H), δ= 2.4(m, 1H), δ= 2.64(m, 1H), δ= 2.86(s, 3H), δ= 3.02(s, 3H). 최종 생성물의 구조를 X-선 결정학에 의해 측정하였고, 도 4에 도시된 구조식 3의 유형을 갖는 것으로 나타났다.
실시예 5: 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(1,1-디메톡시에탄)
2.79g (0.0025mol)의 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)를 30ml의 건조 헥산에서 질소 대기하에 교반시켰다. 이어서 0.53mL, (0.005mol)의 1,1-디메톡시에탄을 첨가하고 혼합물을 밤새 교반시켰다. 그 후 헥산을 진공에 의해 제거시켜 백색 고형물을 수득하였다. 수율 = 3.05g, 94% 1H NMR : (500 MHz, D8 톨루엔): δ= 0.61(d, 3H), δ=1.48(s, 18H), δ= 1.58 (s, 36H), δ= 2.73(s, 6H), δ= 3.58(q, 1H). 최종 생성물의 구조를 X-선 결정학에 의해 측정하였고, 도 5에 도시된 구조식 3의 유형을 갖는 것으로 나타났다.
실시예 6: 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라메틸에틸렌디아민)
2.79g (0.0025 moles)의 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)를 50ml의 건조 헥산에서 질소 대기하에 교반시켰다. 이어서 0.58g (0.005 moles)의 테트라메틸에틸렌디아민을 5분에 걸쳐 첨가시켜 스트론튬 착화합물을 서서히 용해시켰다. 추가 20분의 교반 후에, 혼합물이 탁해졌고 추가 10분 내에 백색 침전물이 형성되었다. 그 후 혼합물을 밤새 교반시켰다. 이어서 헥산을 진공에 의해 제거시켜 백색 고형물을 수득하였다. 수율 = 2.8g. 1H NMR : (500 MHz, D8 톨루엔): δ= 1.50(s, 18H), δ=1.59(s, 36H), δ= 1.68 (t, 4H), δ= 1.79(s, 12H). 최종 생성물의 구조를 X-선 결정학에 의해 측정하였고, 도 6에 도시된 구조식 4의 유형을 갖는 것으로 나타났다.
실시예 7: 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(디-n-부틸에테르)의 합성 시도
2.79g (0.0025 moles)의 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)를 50ml의 건조 헥산에서 질소 대기하에 교반시켰다. 이어서 0.65g, (0.005mol)의 디-n-부틸에테르를 첨가하고 혼합물을 밤새 교반시켰다. 진공을 가하여 헥산을 제거함으로써 백색 고형물을 수득하였다. 백색 고형물의 NMR은 이것이 디-스트론튬 테트라(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)임을 나타내었고, 이는 디-n-부틸에테르도 진공에 의해 제거되었고 스트론튬 이미다졸레이트와 착화합물을 형성하지 않았음을 나타내는 것이다.
실시예 8: 시클로옥탄 중 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란)의 0.37M 용액의 제조
0.29g (0.46 mmoles)의 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란)을 0.91g의 시클로옥탄에 실온에서 건조 질소의 대기하에 용해시켜 중량이 1.2g이고 최종 부피가 1.25 ml인 용액을 수득하였다.
스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란)의 최종 몰농도는 0.00046/0.00125 = 0.37M으로 계산되었다.
스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란)의 최종 wt%는 0.29/1.2 = 24 wt%로 계산되었다.
실시예 9: 메시틸렌 중 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란)의 0.64M 용액의 제조
0.33g (0.53 mmoles)의 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란)을 0.53g의 메시틸렌에 실온에서 건조 질소의 대기하에 용해시켜 중량이 0.86g이고 최종 부피가 0.81 ml인 용액을 수득하였다.
스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란)의 최종 몰농도는 0.00053/0.00081 = 0.65M으로 계산되었다.
스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란)의 최종 wt%는 0.33/0.86 = 38 wt%로 계산되었다.
실시예 10: 메시틸렌 중 0.3M 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란)의 직접 액체 주입
메시틸렌 중 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로하이드로푸란)의 0.3M 용액을 200℃로 설정된 증발기를 통해 500sccm의 아르곤 흐름을 이용하여, 0.5g/분으로 모델 2830HT DLI 시스템 (MSP Corp, USA)에 공급하고, 생성된 증기류를 1 Torr 압력으로 설정된 ALD 반응 챔버 내에 공급하였다. 30초 액체 흐름 제어기 (LFC) 전구체 펄스의 반복 사이클에 이어서 90초 아르곤 퍼지를 가동시켰다. 200분의 기간 동안, 사이클 당 LFC 흐름 속도를 0.5g/분으로 한결같이 유지하였는데, 이는 증발기의 막힘 및 그에 따른 전구체 흐름의 어떠한 제한도 일어나지 않았음을 설명한다. 이것은 다시 전구체 용액의 깨끗한 증발을 강조한다. 메시틸렌 및 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로하이드로푸란)을 포함하는 증기 혼합물을 Quadrupole 질량 분광계 (QMS)에 의해 동일한 200분 기간에 걸쳐 샘플링하였다. 이어서 조성물에 존재하는 메시틸렌을 대표하는 분자 단편 77 및 79 mu의 이온 전류 세기를 시간의 함수로서 플롯팅하였다. QMS 판독은, 77 및 79 질량 단위 (mu) 단편이 1 X 10e-10 (액체 흐름 OFF) 내지 1X 10e-07 (액체 흐름 ON) 사이에서 일관되게 사이클링되므로 이들의 반응이 효과적으로 겹쳐짐을 나타낸다. 또한, QMS 압력은, 질량 분광계 이온 전류 사이클에 일치하여, 3.5 X 10e-06 Torr (액체 흐름 OFF) 내지 5.5 X 1-e-06 Torr (액체 흐름 ON) 사이에서 일관되게 사이클링되는 것이 관찰되었다. 더불어, 이러한 결과는 QMS 압력 및 메시틸렌의 플럭스가 LFC 전구체 펄스와 일관되게 사이클링됨을 설명한다. 이러한 결과는 또한 증발기의 막힘 및 그에 따른 전구체 흐름의 어떠한 제한도 일어나지 않았고 전구체 용액이 깨끗하게 증발되었음을 추가로 설명하였다.

Claims (22)

  1. 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물; 및 탄화수소 용매를 포함하는 조성물로서,
    상기 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트; 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 및 2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 이미다졸레이트를 포함하는 이미다졸레이트; 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐, 및 칼슘으로부터 선택된 2족 금속; 및 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물에 배위되며, 질소-함유 한자리 C4 내지 C12 고리형 분자, 산소-함유 한자리 C4 내지 C12 고리형 분자, 질소-함유 C4 내지 C12 두자리 리간드, 산소-함유 C4 내지 C12 두자리 리간드, 및 질소 및 산소를 포함하는 C4 내지 C12 두자리 리간드로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 리간드인 리간드를 포함하는 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이고,
    상기 탄화수소 용매가 100℃ 또는 그 초과의 비점을 지니는 조성물.
  2. 제 1항에 있어서, 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물의 농도가 0.1 내지 1M 범위인 조성물.
  3. 제 2항에 있어서, 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물의 농도가 0.1 내지 0.5M 범위인 조성물.
  4. 제 1항에 있어서, 조성물이 두 가지 상이한 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물을 포함하는 조성물.
  5. 제 1항에 있어서, 탄화수소 용매가 사이클로옥탄을 포함하는 조성물.
  6. 제 1항에 있어서, 탄화수소 용매가 메시틸렌을 포함하는 조성물.
  7. 제 1항에 있어서, 조성물이 2족 함유 박막의 ALD 또는 CVD 증착을 위한 DLI 전달에 사용되는 조성물.
  8. 제 7항에 있어서, 조성물이 ALD 또는 CVD에 의한 STO 및 BST 박막의 증착을 위한 휘발성 티타늄 공급원과 함께 사용되는 조성물.
  9. 제 1항에 있어서, 리간드가 질소-함유 한자리 C4 내지 C12 고리형 분자 및 산소-함유 한자리 C4 내지 C12 고리형 분자로 이루어진 군으로부터 선택된 리간드를 포함하는 조성물.
  10. 제 9항에 있어서, 리간드가 테트라하이드로푸란, 3-메틸테트라하이드로푸란, 2,5-디하이드로푸란, 2,3-디하이드로푸란, 피리딘, N-메틸이미다졸, 및 피롤로 이루어진 군으로부터 선택된 리간드인 조성물.
  11. 제 10항에 있어서, 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이 칼슘 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)으로부터 선택된 하나 이상의 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물인 조성물.
  12. 제 10항에 있어서, 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)으로부터 선택된 하나 이상의 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물인 조성물.
  13. 제 10항에 있어서, 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)으로부터 선택된 하나 이상의 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물인 조성물.
  14. 제 10항에 있어서, 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)으로부터 선택된 하나 이상의 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물인 조성물.
  15. 제 10항에 있어서, 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디--(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필))이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필))이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트 (3-메틸 테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)으로부터 선택된 하나 이상의 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물인 조성물.
  16. 제 10항에 있어서, 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트))(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸 테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)으로부터 선택된 하나 이상의 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물인 조성물.
  17. 제 10항에 있어서, 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)으로부터 선택된 하나 이상의 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물인 조성물.
  18. 제 10항에 있어서, 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)- 이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)- 이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)으로부터 선택된 하나 이상의 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물인 조성물.
  19. 제 10항에 있어서, 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(3-메틸테트라하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,5-디하이드로푸란), 칼슘 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 스트론튬 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란), 및 바륨 비스(2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트)(2,3-디하이드로푸란)으로부터 선택된 하나 이상의 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물인 조성물.
  20. 일정 두께를 지니는 2족 금속 옥사이드 막을 기판상에 형성시키는 방법으로서,
    a. 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물; 및 탄화수소 용매를 포함하는 2족 금속 함유 조성물을 도입하는 단계;
    b. 2족 금속 함유 조성물을 기판 상에 화학흡수시키는 단계;
    c. 퍼지 가스를 사용하여 미반응된 2족 금속 함유 조성물을 퍼징시키는 단계;
    d. 2족 금속 함유 조성물에 대한 산소 공급원을 가열된 기판 상으로 제공하여 흡수된 2족 금속 함유 조성물과 반응시키는 단계; 및
    e. 미반응된 산소 공급원을 퍼징시키는 단계를 포함하며,
    상기 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이 2,4,5-트리-3차-부틸이미다졸레이트; 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸프로필) 이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸부틸)-4,5-디-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 2-3차-부틸-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 2,4,5-트리-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 2,4,5-트리-(1,1-디메틸프로필)이미다졸레이트; 2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-(1,1-디메틸부틸)이미다졸레이트; 및 2-(1,1-디메틸프로필)-4,5-디-3차-부틸이미다졸레이트로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 이미다졸레이트를 포함하는 이미다졸레이트; 바륨, 스트론튬, 마그네슘, 라듐, 및 칼슘으로부터 선택된 2족 금속; 및 2족 금속을 착화합물 내의 이미다졸레이트에 배위시키며, 질소-함유 한자리 C4 내지 C12 고리형 분자, 산소-함유 한자리 C4 내지 C12 고리형 분자, 질소-함유 C4 내지 C12 두자리 리간드, 산소-함유 C4 내지 C12 두자리 리간드, 및 질소와 산소 둘 모두를 함유하는 C4 내지 C12 두자리 리간드로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 리간드인 리간드를 포함하는 2족 금속 이미다졸레이트 착화합물이고,
    상기 탄화수소 용매가 100℃ 또는 그 초과의 비점을 지니는 방법.
  21. 제 20항에 있어서, 단계 a 내지 단계 e가 원하는 두께의 막이 달성될 때까지 반복되는 방법.
  22. 제 20항에 있어서, 방법이 원자층 증착 공정인 방법.
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