KR101334595B1 - Pad for transfer robot and transfer robot having the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이송로봇에 교체작업이 용이한 이송 로봇용 패드 및 이를 구비한 이송 로봇을 제공함에 있다.
이를 위해 본 발명은 결합홀이 형성된 지지부와 상기 결합홀에 삽입되어 로봇암에 고정되는 결합부재 및 상기 지지부의 적어도 일부분을 감싸는 마찰부;를 포함하고, 상기 결합부재는 상기 마찰부로 커버되는 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드 및 이를 구비한 이송 로봇을 개시한다.The present invention is to provide a transfer robot pad and a transfer robot having the same easy replacement operation to the transfer robot.
To this end, the present invention includes a support portion having a coupling hole and a coupling member inserted into the coupling hole and fixed to the robot arm, and a friction portion surrounding at least a portion of the support portion, wherein the coupling member is covered with the friction portion. Disclosed are a transfer robot pad and a transfer robot having the same.

Description

이송 로봇용 패드 및 이를 구비한 이송 로봇{Pad for transfer robot and transfer robot having the same}Pad for transfer robot and transfer robot having same

본 발명은 이송 로봇용 패드 및 이를 구비한 이송 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a transfer robot pad and a transfer robot having the same.

일반적으로 액정표시(Liquid crystal Display) 장치, 플라즈마 패널 표시(Plasma Panel Display)장치, 유기 전계 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode) 표시장치, 전계 효과 표시(Field Emission Display) 장치 등에 사용되는 패널은 유리기판(G)을 사용한다. In general, a panel used for a liquid crystal display device, a plasma panel display device, an organic light emitting diode display device, and a field emission display device is a glass substrate. Use (G).

상기 유리기판(G)은, 도1에 도시된 바와 같이, 화학 기상 증착, 스퍼터링, 포토리소그래피, 식각, 이온주입, 화학적/기계적 연마 등과 같은 단위 공정들의 순차적 반복적인 수행을 위해 이송로봇(10)을 이용하여 이송한다. 상기 이송로봇(10)은 기판공급챔버(1)에서 프로세싱챔버(5)로 유리기판(G)을 이송한다. 상기 기판공급챔버(1) 및 프로세싱챔버(5)는 필요에 따라 복수 개일 수 있다. As illustrated in FIG. 1, the glass substrate G may include a transfer robot 10 for sequentially performing unit processes such as chemical vapor deposition, sputtering, photolithography, etching, ion implantation, chemical / mechanical polishing, and the like. Transfer using. The transfer robot 10 transfers the glass substrate G from the substrate supply chamber 1 to the processing chamber 5. The substrate supply chamber 1 and the processing chamber 5 may be a plurality, if necessary.

상기 이송로봇(10)은 바디(12), 로봇 암(Robot arm, 14)을 포함한다. 상기 로봇 암(14)은 바디(12)의 일측에 설치되고, 상기 바디(12)에 대해 회전한다. 상기 로봇 암(14)은 기판(G)의 하면을 떠받쳐 로딩한 후 기판(G)를 이송한다. The transfer robot 10 includes a body 12 and a robot arm 14. The robot arm 14 is installed on one side of the body 12 and rotates with respect to the body 12. The robot arm 14 supports and loads the lower surface of the substrate G and then transfers the substrate G.

상기 로봇 암(14)에는 복수개의 패드(20)가 설치되어 있다. 상기 패드(20)는, 도2a 및 도2b를 참조하면, 플레이트부(21), 마찰패드부(22), 체결홀(23) 및 체결부재(30)를 포함한다. The robot arm 14 is provided with a plurality of pads 20. 2A and 2B, the pad 20 includes a plate portion 21, a friction pad portion 22, a fastening hole 23, and a fastening member 30.

상기 플레이트(21)는 사각형의 금속 바(bar)형상이고, 로봇 암(14)에 고정되기 위한 체결홀(23)이 양측에 형성된다. 상기 플레이트(21)는 체결홀(23)의 사이가 마찰패드부(22)를 통해 커버된다. The plate 21 has a rectangular metal bar shape, and fastening holes 23 for fixing to the robot arm 14 are formed at both sides. The plate 21 is covered between the fastening holes 23 through the friction pad part 22.

상기 마찰패드부(22)는 고무재질로 형성되어 유리기판(G)의 하부면과 접촉하여 안정적으로 지지한다. 상기 마찰패드부(22)는 유리기판(G)과의 마찰력으로 마모될 수 있다. 상기 마찰패드부(22)는 마모되면 유리기판(G)에 스크레치 등의 파손이 발생할 위험이 있기 때문에 패드(20)가 교체되어야 한다. The friction pad part 22 is formed of a rubber material and stably contacts the lower surface of the glass substrate G. The friction pad part 22 may be worn by the friction force with the glass substrate (G). When the friction pad part 22 is worn, the pad 20 needs to be replaced because there is a risk of damage such as scratching on the glass substrate G.

그러나, 상기 패드(20)는 각 체결홀(23)에 체결부재(30)를 삽입하여 로봇 암(14)에 결합하고, 각 체결부재(30)를 해제하여 로봇 암(14)에셔 패드(20)를 분리해야 되기 때문에 교체작업의 능률이 저하되는 문제점이 있다. However, the pad 20 is coupled to the robot arm 14 by inserting the fastening member 30 in each fastening hole 23, and releases the fastening member 30 to the robot arm 14 in the pad pad 20 ), There is a problem that the efficiency of the replacement operation is deteriorated.

또한, 상기 패드(20)는 체결부재(30)가 노출되어 있기 때문에, 상기 노출된 체결부재(30)가 유리기판(G)을 손상시킬 수 있다. 그렇기 때문에 상기 패드(20)는 체결부재(30)가 돌출되지 않게 로봇 암(14)에 결합시키기 위해서는 작업자의 숙련도가 요구되는 문제점이 있다.In addition, since the fastening member 30 is exposed to the pad 20, the exposed fastening member 30 may damage the glass substrate G. Therefore, the pad 20 has a problem that requires the skill of the operator in order to couple to the robot arm 14 so that the fastening member 30 does not protrude.

본 발명은 이송로봇에 교체작업이 용이한 이송 로봇용 패드를 제공함에 있다. The present invention provides a transfer robot pad that is easy to replace the transfer robot.

또한, 본 발명은 패드에서 마찰부만 교체가 가능한 이송 로봇용 패드를 제공함에 있다. In addition, the present invention provides a pad for a transfer robot that can replace only the friction portion in the pad.

또한, 본 발명은 패드를 로봇 암에 고정하는 고정부재를 노출시키지 않는 이송 로봇용 패드 및 이를 구비한 이송 로봇을 제공함에 있다.The present invention also provides a transfer robot pad that does not expose the fixing member for fixing the pad to the robot arm and a transfer robot having the same.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇용 패드는 결합홀이 형성된 지지부와, 상기 결합홀에 삽입되어 로봇암에 고정되는 결합부재 및 상기 지지부의 적어도 일부분을 감싸는 마찰부를 포함하고, 상기 결합부재는 상기 마찰부로 커버되는 것을 특징으로 형성될 수 있다.In order to achieve the above object, a transfer robot pad according to an embodiment of the present invention includes a support having a coupling hole, a coupling member inserted into the coupling hole and fixed to the robot arm, and a friction portion surrounding at least a portion of the support. And the coupling member may be covered with the friction part.

상기 지지부는 원형으로 형성된 플레이트인 것으로 형성될 수 있다.The support portion may be formed to be a plate formed in a circular shape.

상기 지지부는 상기 로봇암에 안착되는 하부면의 지름이 상부면의 지름보다 짧은 것으로 형성될 수 있다. The support portion may be formed such that the diameter of the lower surface seated on the robot arm is shorter than the diameter of the upper surface.

상기 지지부는 원형의 중심에 상기 결합홀이 형성된 것으로 형성될 수 있다.The support portion may be formed such that the coupling hole is formed at the center of the circle.

상기 지지부는 상기 로봇암에 안착되는 안착부 및 상기 안착부의 상부에 형성된 연장 지지부를 포함하고, 상기 연장 지지부의 지름은 상기 안착부의 지름 보다 긴 것으로 형성될 수 있다.The support part may include a seating part seated on the robot arm and an extended support part formed on an upper part of the seating part, and the diameter of the extended support part may be longer than that of the seating part.

상기 연장 지지부는 상부면 끝단이 모따기 된 것으로 형성될 수 있다.The extended support may be formed by chamfering the upper surface end.

상기 마찰부는 상기 연장 지지부의 상부면과 대응되는 제1마찰부와, 상기 제1마찰부에서 절곡되어 연장되고, 상기 연장 지지부의 측면에 대응되는 제2 마찰부 및 상기 제2마찰부에서 상기 안착부의 중심방향으로 절곡되는 제3마찰부를 포함하는 것으로 형성될 수 있다.The friction part may include a first friction part corresponding to an upper surface of the extended support part, a second friction part corresponding to a side surface of the extended support part, and a second friction part corresponding to a side surface of the extended support part. It may be formed to include a third friction portion bent in the direction of the center of the portion.

상기 제3 마찰부는 끝단이 상기 안착부의 측면에 인접한 것으로 형성될 수 있다.The third friction portion may be formed such that an end thereof is adjacent to a side of the seating portion.

상기 연장 지지부는 외주연이 상기 제1마찰부 및 제3 마찰부의 사이에 끼워진 것으로 형성될 수 있다.The extended support part may be formed such that an outer circumference is sandwiched between the first friction part and the third friction part.

상기 지지부는 상기 로봇암에 안착되는 안착부와, 상기 안착부의 외주연에서 상부로 연장된 연장부 및 상기 연장부의 끝단이 서로 마주하도록 절곡된 고정부를 포함하는 것으로 형성될 수 있다.The support part may include a seating part seated on the robot arm, an extension part extending upward from the outer periphery of the seating part, and a fixing part bent so that the ends of the extension part face each other.

상기 고정부는 상부 끝단이 모따기 된 것으로 형성될 수 있다. The fixing portion may be formed by chamfering the upper end.

상기 마찰부는 상기 안착부의 상부면과 상기 연장부에 인접하게 형성되는 제4마찰부 및 상기 제4마찰부에서 연장되는 제5마찰부를 포함하고, 상기 제5마찰부의 지름은 제4마찰부의 지름보다 짧은 것으로 형성될 수 있다.The friction part includes a fourth friction part that is formed adjacent to the upper surface of the seating part and the extension part, and a fifth friction part that extends from the fourth friction part, wherein the diameter of the fifth friction part is larger than the diameter of the fourth friction part. It can be formed short.

상기 제5마찰부는 상기 고정부 보다 돌출된 것으로 형성될 수 있다.The fifth friction part may be formed to protrude more than the fixing part.

상기 제5마찰부는 상기 고정부를 커버하는 제6마찰부를 더 포함하는 것으로 형성될 수 있다.The fifth friction part may be formed to further include a sixth friction part covering the fixing part.

상기 지지부는 금속인 것으로 형성될 수 있다. The support portion may be formed of a metal.

상기 마찰부는 과불소 고무(FFKM), 불소 고무(FKM), 폴리 이미드(PI) 수지 및 실리콘으로 이루어진 군에서 적어도 하나를 포함하는 것으로 형성될 수 있다.The friction part may be formed of at least one selected from the group consisting of perfluoro rubber (FFKM), fluorine rubber (FKM), polyimide (PI) resin, and silicone.

상기와 같이 하여, 본 발명에 의한 이송 로봇용 패드는 지지부의 중심에 형성된 결합홀에 결합부재가 삽입되어 로봇 암에 고정되고. 상기 지지부가 마찰부로 덮이는 구조로 형성되기 때문에 로봇 암에 패드를 설치하는 작업이 용이한 효과가 있다. As described above, the transfer robot pad according to the present invention is inserted into the coupling hole formed in the center of the support is fixed to the robot arm. Since the support part is formed in a structure in which the friction part is covered, there is an effect of easily installing a pad on the robot arm.

또한, 본 발명에 의한 이송 로봇용 패드는 마찰부가 손상되었을 때, 마찰부만 교체할 수 있으므로 교체 작업이 용이한 효과가 있다. 또한, 상기 마찰부만 교체하는 구조이므로 재료비 절감의 효과가 있다.In addition, when the friction part is damaged, the transfer robot pad according to the present invention can replace only the friction part, so that the replacement operation is easy. In addition, there is an effect of reducing the material cost because only the friction portion replacement structure.

또한, 본 발명에 의한 이송 로봇용 패드를 구비한 이송 로봇은 결합부재가 마찰부로 덮여지기 때문에 유리기판(G)을 손상시키지 않고 이송시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the transfer robot having a pad for a transfer robot according to the present invention has an effect that can be transferred without damaging the glass substrate (G) because the coupling member is covered with a friction portion.

도 1은 종래의 이송 로봇을 계략적으로 도시한 사시도이다.
도 2a는 도 1의 패드를 도시한 사시도이다.
도 2b는 도 2a에서 2b-2b의 수직 단면을 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 로봇을 계략적으로 도시한 단면도이다.
도 4는 도 3에서 4-4의 수직 단면을 도시한 단면도이다.
도 5a 내지 도 5b는 도 4에서 지지부의 정면도, 배면도 및 단면도이다.
도 6a 내지 도 6b는 도 4에서 마찰부의 정면도, 배면도 및 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마찰부의 고정강도를 실험한 사진이다.
도 8은 도 4에서 체결부재를 도시한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 로봇용 패드를 도 4에 대응되도록 도시한 단면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송 로봇용 패드를 도 4에 대응되도록 도시한 단면도이다.
도 11는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송 로봇용 패드를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a conventional transfer robot.
FIG. 2A is a perspective view of the pad of FIG. 1. FIG.
2B is a cross-sectional view illustrating a vertical cross section of 2b-2b in FIG. 2A.
3 is a cross-sectional view schematically showing a transfer robot according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view illustrating a vertical cross section of 4-4 in FIG.
5A to 5B are front, rear and cross-sectional views of the support of FIG. 4.
6A to 6B are front, rear and cross-sectional views of the friction part in FIG. 4.
Figure 7 is a photograph experimenting the fixed strength of the friction portion according to an embodiment of the present invention.
8 is a perspective view illustrating the fastening member in FIG. 4.
9 is a cross-sectional view showing a pad for a transfer robot according to another embodiment of the present invention so as to correspond to FIG. 4.
10 is a cross-sectional view of a pad for a transfer robot according to another embodiment of the present invention to correspond to FIG. 4.
11 is a perspective view showing a pad for a transfer robot according to another embodiment of the present invention.

본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, so that those skilled in the art can easily carry out the present invention.

이하에서는 본 발명에 일 실시예에 따른 이송 로봇용 패드(100)의 구성을 설명하도록 한다. Hereinafter will be described the configuration of the transfer robot pad 100 according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 로봇을 계략적으로 도시한 단면도이다. 도 4는 도 3에서 4-4의 수직 단면을 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view schematically showing a transfer robot according to an embodiment of the present invention. 4 is a cross-sectional view illustrating a vertical cross section of 4-4 in FIG.

본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇용 패드(100)는 지지부(110), 마찰부(120) 및 결합부재(130)를 포함한다. The pad 100 for a transfer robot according to an embodiment of the present invention includes a support 110, a friction part 120, and a coupling member 130.

상기 이송 로봇용 패드(100)는 지지부(110)의 결합홈(113)에 결합부재(130)가 삽입되어 로봇 암(14)에 고정되고, 상기 지지부(110)를 마찰부(120)로 덮어씌우는 구조로 형성된다. The transfer robot pad 100 is fixed to the robot arm 14 by inserting a coupling member 130 into the coupling groove 113 of the support 110, and covers the support 110 with a friction part 120. It is formed of a covering structure.

도 5a 내지 도 5b는 도 4에서 지지부(110)의 정면도, 배면도 및 단면도이다. 5A through 5B are front, rear and cross-sectional views of the support 110 in FIG. 4.

상기 지지부(110)는 원형으로 형성된 금속 플레이트로 형성된다. 상기 지지부(110)는 로봇 암(14)에 안착되는 하부면의 지름이 상부면의 지름보다 짧게 형성된다. The support 110 is formed of a metal plate formed in a circular shape. The support 110 has a diameter of the lower surface seated on the robot arm 14 is shorter than the diameter of the upper surface.

또한, 상기 지지부(110)는 로봇 암(14)에 안착되는 안착부(112)와 상기 안착부(112)의 상부에 형성된 연장 지지부(111)를 포함한다. 상기 연장 지지부(111)는 지름이 안착부(112)의 지름 보다 긴 것을 특징으로 한다. In addition, the support part 110 includes a seating part 112 seated on the robot arm 14 and an extended support part 111 formed on the seating part 112. The extended support 111 is characterized in that the diameter is longer than the diameter of the seating portion (112).

상기 지지부(110)는 중심에 결합홀(113)이 형성된다. 상기 결합홀(113)은, 도5c에 도시된 바와 같이, 결합부재(130)의 형상에 대응된다. The support 110 has a coupling hole 113 is formed in the center. The coupling hole 113, as shown in Figure 5c, corresponds to the shape of the coupling member 130.

도 6a 내지 도 6b는 도 4에서 마찰부(120)의 정면도, 배면도 및 단면도이다. 6A to 6B are front, rear and cross-sectional views of the friction part 120 in FIG. 4.

상기 마찰부(120)는 유리기판(G)의 하부면과 접촉하여 안정적으로 지지한다.The friction part 120 is in contact with the lower surface of the glass substrate (G) to support it stably.

상기 마찰부(120)는 제1마찰부(121), 제2마찰부(122) 및 제3마찰부(123)을 포함한다. 상기 제1마찰부(121)는 연장 지지부(111)의 상부면을 커버한다. 상기 제2마찰부(122)는 제1마찰부(121)에서 절곡되어 연장되고, 연장 지지부(111)의 측면에 대응된다. 또한, 상기 제3마찰부(123)는 제2마찰부(122)에서 연장되고, 상기 안착부(112)의 중심방향으로 절곡된다. 이 경우, 상기 제3마찰부(123)는 제1마찰부(121)와 평행하게 형성된다. The friction part 120 includes a first friction part 121, a second friction part 122, and a third friction part 123. The first friction part 121 covers the upper surface of the extension support 111. The second friction part 122 is bent and extended from the first friction part 121 and corresponds to the side surface of the extension support part 111. In addition, the third friction part 123 extends from the second friction part 122 and is bent in the center direction of the seating part 112. In this case, the third friction part 123 is formed in parallel with the first friction part 121.

상기 마찰부(120)는 제3 마찰부(123) 끝단이 안착부(112)의 측면에 인접하게 형성된다. 상기 제1마찰부(121)와 제3마찰부(123)의 사이에 형성된 공간에는 연장 지지부(111)의 외주연이 삽입된다. 또한, 상기 제3마찰부(123)는 연장 지지부(111)가 돌출된 길이에 대응되도록 형성되어 지지부(110)로부터 탈착이 용이하다.The friction part 120 has an end portion of the third friction part 123 adjacent to a side of the seating part 112. The outer periphery of the extension support 111 is inserted into the space formed between the first friction portion 121 and the third friction portion 123. In addition, the third friction portion 123 is formed to correspond to the length of the extension support 111 is protruded, it is easy to detach from the support 110.

상기 마찰부(120)는 과불소 고무(FFKM), 불소 고무(FKM), 폴리 이미드(PI) 수지 및 실리콘으로 이루어진 군에서 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다.
The friction part 120 may include at least one of perfluoro rubber (FFKM), fluorine rubber (FKM), polyimide (PI) resin, and silicon.

실험예1 내지 7은 실리콘으로 형성된 마찰부(120)에 대하여 내열성을 실험한 것이다. Experimental Examples 1 to 7 test the heat resistance of the friction part 120 formed of silicon.

Furnace 내부에 설치된 TC온도계를 외부 컨트롤로온도와 실제 내부의 온도를 calibration하여 온도편차를 없앤다. 그 다음 상기 Furnace 내부에 유리기판(G)을 바닥 쪽으로 놓고, 그 위에 상기 실험예1 내지 7의 마찰부(120)를 배열한다. 각 실험예에 따라 Furnace 온도를 상승시킨 후 1시간 동안 예열 후 각 실험의 온도에 도달하면 12시간 온도를 유지시킨다. 이 경우, 각 실험예의 마찰부(120)에는 1kg의 하중을 주어 실제 공정조건과 유사하게 한다. The TC thermometer installed inside the furnace is calibrated with external controls to eliminate the temperature deviation. Then, the glass substrate G is placed on the bottom of the furnace, and the friction part 120 of Experimental Examples 1 to 7 is arranged thereon. After increasing the Furnace temperature according to each experimental example, after preheating for 1 hour, the temperature is maintained for 12 hours when the temperature of each experiment is reached. In this case, the friction portion 120 of each experimental example is given a load of 1kg to be similar to the actual process conditions.

하기 표1은 마찰부(120)의 내열성 실험결과이다.Table 1 below shows the heat resistance test results of the friction part 120.

온도(℃)Temperature (℃) 경도
(hardness)Hardness
(hardness) 인장강도
(MPa)The tensile strength
(MPa) 색깔
(color)Color
(color) 사용가능여부availability 실험예1Experimental Example 1 23℃23 ℃ 6060 8.58.5 다갈색Dark brown 사용use 실험예2Experimental Example 2 200℃200 ℃ 6060 8.58.5 다갈색Dark brown 사용use 실험예3Experimental Example 3 250℃250 ℃ 6060 8.58.5 다갈색Dark brown 사용use 실험예4Experimental Example 4 270℃270 ℃ 6060 8.58.5 다갈색Dark brown 사용use 실험예5Experimental Example 5 300℃300 ° C 6060 8.58.5 다갈색Dark brown 사용use 실험예6Experimental Example 6 330℃330 ℃ 60 ~ 6560 to 65 7.5 ~ 8.57.5-8.5 다갈색Dark brown 사용use 실험예7Experimental Example 7 350℃350 ℃ 65 ~ 8565 to 85 5.6 ~ 7.55.6 to 7.5 적갈색/다갈색Maroon / dark brown 사용use

실험예1 내지 6은 실험 전/후에서 마찰부(120)의 변형이 없으므로 사용이 가능하다. 그러나, 실험예7은 마찰부(120)의 일부분이 유리기판(G)에 붙는 현상이 발생하기 때문에 단시간 사용은 가능하나, 장시간 사용이 불가능하게 된다. Experimental Examples 1 to 6 can be used since there is no deformation of the friction part 120 before and after the experiment. However, in Experimental Example 7, since a phenomenon in which a part of the friction part 120 adheres to the glass substrate G occurs, a short time can be used, but a long time cannot be used.

바람직하게는, 실험예1 내지 6과 같이, 상기 마찰부(120)가 고내열성 실리콘으로 형성되어 200℃ 내지 330℃의 온도에서 동일한 경도와, 90% 이상의 인장강도를 유지하는 것으로 형성될 수 있다.
Preferably, as in Experimental Examples 1 to 6, the friction part 120 may be formed of high heat-resistant silicon to maintain the same hardness and tensile strength of 90% or more at a temperature of 200 ℃ to 330 ℃ .

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마찰부(120)의 고정강도를 실험한 사진이다. 7 is a photograph of the test of the fixed strength of the friction portion 120 according to an embodiment of the present invention.

실험예8 내지 10은 고정판에 지지부(110)를 고정한 후, 구멍을 낸 제1마찰부(121)로 지지부(110)를 덮었다. 그 다음 구멍난 제1마찰부(121)에 저울추를 연결하고 고정판을 뒤접어서 고정강도를 실험하였다. 상기 고정강도는 저울추의 무게를 500g에서 1.5kg까지 변경하여 마찰부(120)가 지지부(110)에서 벗겨지는지를 실험한 것이다. In Experimental Examples 8 to 10, the support 110 was fixed to the fixing plate, and then the support 110 was covered with the first friction portion 121 having a hole. Then, the balance weight was connected to the first rubbing friction portion 121 and the fixing plate was folded up to test the fixed strength. The fixed strength is to test whether the friction portion 120 is peeled off the support 110 by changing the weight of the balance weight from 500g to 1.5kg.

무게weight 결과result 실험예8Experimental Example 8 500g500g PASSPASS 실험예9Experimental Example 9 1.0kg1.0 kg PASSPASS 실험예10Experimental Example 10 1.5kg1.5kg PASSPASS

실험예8 내지 10은 최대 1.5 kg의 무게에도 마찰부(120)가 지지부(110)에서 벗겨지지 않는 결과를 얻었다. 즉, 본원발명의 이송 로봇용 패드(100)는 마찰부(120)의 탈착이 용이할 뿐만 아니라, 마찰부(120)가 쉽게 지지부(110)에서 벗겨지지 않는 효과가 있다. In Experimental Examples 8 to 10, the friction part 120 was not peeled off the support part 110 even when the weight of the maximum 1.5 kg. That is, the transfer robot pad 100 of the present invention is not only easy to detach the friction portion 120, but also has an effect that the friction portion 120 is not easily peeled off the support 110.

도 8은 도 4에서 체결부재(130)를 도시한 사시도이다. 상기 채결부재(130)는 볼트머리(131) 및 체결몸체(132)를 포함한다. 8 is a perspective view illustrating the fastening member 130 in FIG. 4. The binding member 130 includes a bolt head 131 and the fastening body 132.

상기 볼트머리(131)는 로봇 암(14)에 결합성을 향상시키기 위하여 육각형의 체결홈(134)이 형성될 수 있다.The bolt head 131 may be formed with a hexagonal fastening groove 134 to improve the bondability to the robot arm (14).

상기 체결몸체(132)에는 나사산(133)이 형성된다. 상기 체결몸체(132)는 나사산(133)이 형성된 길이가 로봇 암(14)의 두께와 같거나 로봇 암(14)의 두께보다 짧게 형성될 수 있다. 또한, 상기 로봇 암(14)에는 나사산(133)과 맞물리도록 체결요소를 포함하는 홈이 형성된다. 상기 체결부재(130)는 지지부(110)와 로봇 암(14)의 결합력을 향상시킨다. The fastening body 132 has a thread 133 is formed. The fastening body 132 may have a length in which the thread 133 is formed is equal to the thickness of the robot arm 14 or shorter than the thickness of the robot arm 14. In addition, the robot arm 14 is formed with a groove including a fastening element to engage the thread 133. The fastening member 130 improves the coupling force between the support 110 and the robot arm 14.

상기 체결부재(130)는 마찰부(120)를 교체할 때에도 지지부(110)에서 분리되지 않는다. 또한, 상기 체결부재(130)는 마찰부(120)에 의하여 커버되어 노출되지 않기 때문에 유리기판(G)을 손상시키지 않는 효과가 있다.The fastening member 130 is not separated from the support 110 even when the friction unit 120 is replaced. In addition, since the fastening member 130 is covered by the friction part 120 and is not exposed, there is an effect of not damaging the glass substrate G.

상기 본 발명의 일실시예인 이송 로봇용 패드(100)는 마찰부(120)가 마모되어 교체가 필요한 경우에 마찰부(120)만 지지부(110)에서 분리시켜 교체할 수 있다. 상기 마찰부(120)는 탈부착이 용이하기 때문에 교체 작업이 용이하고 마찰부(120)만 교체가 가능하기 때문에 재료비가 절감되는 효과가 있다.
The transfer robot pad 100 according to the embodiment of the present invention may replace and replace only the friction part 120 at the support part 110 when the friction part 120 is worn and needs replacement. Since the friction part 120 is easy to attach and detach, the replacement operation is easy, and only the friction part 120 may be replaced, thereby reducing the material cost.

다음은 본 발명의 다른 실시예인 이송 로봇용 패드(200)에 대하여 설명한다. Next, a description will be given of a transfer robot pad 200 which is another embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 로봇용 패드(200)를 도4에 대응되도록 도시한 단면도이다.9 is a cross-sectional view of the transfer robot pad 200 according to another embodiment of the present invention to correspond to FIG. 4.

상기 이송 로봇용 패드(200)는 도 4에 도시된 이송 로봇용 패드(100)와 비교하여 지지부(210)가 차이가 있을 뿐 동일한 구성을 가지며, 동일한 작용을 한다. 이에 따라, 동일한 구성에 대한 도시 및 중복된 설명은 생략하기로 하며, 지지부(210)에 대해서 설명하기로 한다.The transfer robot pad 200 has the same configuration as the support 210 is different from the transfer robot pad 100 shown in FIG. 4, and functions the same. Accordingly, illustration and overlapping description of the same configuration will be omitted, and the support 210 will be described.

상기 지지부(210)는 로봇 암(14)에 안착되는 안착부(212)와 상기 안착부(212)의 상부에 형성된 연장 지지부(211)를 포함한다. 상기 지지부(210)는 중심에 결합홀(213)이 형성된다.The support part 210 includes a seating part 212 seated on the robot arm 14 and an extended support part 211 formed on the seating part 212. The support portion 210 has a coupling hole 213 is formed in the center.

상기 연장 지지부(211)는 상부면 끝단이 모따기 된 라운드부(210R)를 포함한다. 상기 라운드부(210R)는 마찰부(120)가 지지부(210)에서 쉽게 탈착이 되도록 한다. The extended support portion 211 includes a round portion 210R whose chamfered top surface is chamfered. The round part 210R allows the friction part 120 to be easily detached from the support part 210.

또한, 상기 마찰부(120)는 제3마찰부(123)의 끝단이 모따기 된 라운드부(120R)을 더 포함할 수 있다. 상기 마찰부(120)에 형성된 라운드부(120R)는 마찰부(120)가 지지부(210)에서 쉽게 탈착이 되도록 한다.In addition, the friction part 120 may further include a round part 120R having a chamfered end of the third friction part 123. The round part 120R formed in the friction part 120 allows the friction part 120 to be easily detached from the support part 210.

상기 이송 로봇용 패드(200)는 마찰부(120)가 마모되어 교체가 필요한 경우에 마찰부(120)만 지지부(210)에서 쉽게 분리시켜 교체할 수 있다. 그 결과, 상기 로봇용 패드(200)는 마찰부(120)의 교체 작업이 용이한 효과가 있다. 상기 마찰부(120)는 탈부착이 용이하기 때문에 교체 작업이 용이하고 마찰부(120)만 교체가 가능하기 때문에 재료비가 절감되는 효과가 있다.
When the friction part 120 is worn out and needs to be replaced, the transfer robot pad 200 may easily replace only the friction part 120 from the support part 210. As a result, the robot pad 200 has an effect of easily replacing the friction part 120. Since the friction part 120 is easy to attach and detach, the replacement operation is easy, and only the friction part 120 may be replaced, thereby reducing the material cost.

다음은 본 발명의 또 다른 실시예인 이송 로봇용 패드(300)에 대하여 설명한다.Next, a description will be given of a transfer robot pad 300 which is another embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송 로봇용 패드(300)를 도4에 대응되도록 도시한 단면도이다. 10 is a cross-sectional view of the transfer robot pad 300 according to another embodiment of the present invention to correspond to FIG. 4.

상기 이송 로봇용 패드(300)는 도 4에 도시된 휴대용 단말기(100)와 비교하여 지지부(310) 및 마찰부(320)의 차이가 있을 뿐 동일한 구성을 가지며, 동일한 작용을 한다. 이에 따라 동일한 구성에 대한 도시 및 중복된 설명은 생략하기로 하며, 상기 지지부(310) 및 마찰부(320)에 대해서 설명하기로 한다. The pad 300 for the transfer robot has the same configuration as that of the support 310 and the friction unit 320 as compared to the portable terminal 100 illustrated in FIG. 4, and performs the same function. Accordingly, the description and overlapping description of the same configuration will be omitted, and the support part 310 and the friction part 320 will be described.

상기 지지부(310)는 로봇 암(14)에 안착되는 안착부(311)와, 상기 안착부(311)의 외주연에서 상부로 연장된 연장부(312) 및 상기 연장부(312)의 끝단이 서로 마주하도록 절곡된 고정부(314)를 포함한다. 상기 고정부(314)는 상부 끝단이 모따기 된 라운드부(314R)를 포함한다. 상기 라운드부(314R)는 마찰부(320)가 지지부(310)에서 쉽게 탈착이 되도록 한다. The support part 310 has a seating portion 311 seated on the robot arm 14, an extension portion 312 extending upward from the outer periphery of the seating portion 311 and the ends of the extension portion 312 are And a fixing part 314 that is bent to face each other. The fixing part 314 includes a round part 314R whose upper end is chamfered. The round part 314R allows the friction part 320 to be easily detached from the support part 310.

상기 마찰부(320)는 제4마찰부(321) 및 제5마찰부(322)를 포함한다. The friction part 320 includes a fourth friction part 321 and a fifth friction part 322.

상기 제4마찰부(321)는 안착부(311)의 상부면과 연장부(312)에 인접하게 형성된다. 상기 제4마찰부(321)는 지름이 제5마찰부(322)보다 길게 형성되기 때문에, 상기 제4마찰부(321)의 외주연이 돌출된다. 이 경우, 상기 제4마찰부(321)의 외주연은 안착부(311)와 연장부(312)의 사이에 위치된다. The fourth friction part 321 is formed adjacent to the upper surface and the extension part 312 of the seating portion 311. Since the diameter of the fourth friction part 321 is longer than that of the fifth friction part 322, the outer circumference of the fourth friction part 321 protrudes. In this case, the outer circumference of the fourth friction part 321 is located between the seating part 311 and the extension part 312.

상기 제5마찰부(322)는 제4마찰부(321)에서 연장된다. 이때, 상기 제5마찰부(322)는 고정부(314)보다 상측으로 더 돌출되도록 연장된다. 상기 제5마찰부(322)는 유리기판(G)의 하면을 지지하기 때문에 유리기판(G)을 손상시키지 않는 효과가 있다.The fifth friction part 322 extends from the fourth friction part 321. In this case, the fifth friction part 322 extends to protrude upward more than the fixing part 314. Since the fifth friction part 322 supports the lower surface of the glass substrate G, the fifth friction part 322 does not damage the glass substrate G.

또한, 상기 마찰부(320)는 제4마찰부(321)의 끝단이 모따기 된 라운드부(321R)을 더 포함할 수 있다. 상기 마찰부(320)에 형성된 라운드부(321R)는 마찰부(320)가 지지부(310)에서 쉽게 탈착이 되도록 한다.In addition, the friction part 320 may further include a round part 321R in which the end of the fourth friction part 321 is chamfered. The round part 321R formed in the friction part 320 allows the friction part 320 to be easily detached from the support part 310.

상기 마찰부(320)는 교체될 때에 체결부재(130)가 지지부(110)에서 분리되지 않는다. 또한, 상기 체결부재(130)는 마찰부(320)에 의하여 커버되어 노출되지 않기 때문에 유리기판(G)을 손상시키지 않는 효과가 있다.When the friction part 320 is replaced, the fastening member 130 is not separated from the support part 110. In addition, since the fastening member 130 is covered by the friction part 320 and is not exposed, there is an effect of not damaging the glass substrate G.

상기 이송 로봇용 패드(300)는 마찰부(320)가 마모되어 교체가 필요한 경우에 마찰부(320)만 지지부(310)에서 쉽게 분리시켜 교체할 수 있다. 그 결과, 상기 로봇용 패드(300)는 마찰부(320)의 교체 작업이 용이한 효과가 있다. 상기 마찰부(320)는 탈부착이 용이하기 때문에 교체 작업이 용이하고 마찰부(320)만 교체가 가능하기 때문에 재료비가 절감되는 효과가 있다.
When the friction part 320 is worn out and needs to be replaced, the transfer robot pad 300 may easily replace only the friction part 320 from the support part 310. As a result, the robot pad 300 has an effect of easily replacing the friction part 320. Since the friction part 320 is easy to attach and detach, the replacement operation is easy and only the friction part 320 is replaceable, thereby reducing the material cost.

다음은 본 발명의 또 다른 실시예인 이송 로봇용 패드(400)에 대하여 설명한다.Next, a description will be given of a transfer robot pad 400 according to another embodiment of the present invention.

도 11는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송 로봇용 패드(400)를 도시한 사시도이다. 11 is a perspective view showing a pad 400 for a transfer robot according to another embodiment of the present invention.

상기 이송 로봇용 패드(400)는 도 10에 도시된 이송 로봇용 패드(300)와 비교하여 마찰부(420)의 차이가 있을 뿐 동일한 구성을 가지며, 동일한 작용을 한다. 이에 따라 동일한 구성에 대한 도시 및 중복된 설명은 생략하기로 하며, 상기 마찰부(420)에 대해서 설명하기로 한다. The transfer robot pad 400 has the same configuration as the friction part 420 as compared with the transfer robot pad 300 shown in FIG. 10, and performs the same function. Accordingly, the description and overlapping description of the same configuration will be omitted, and the friction unit 420 will be described.

상기 마찰부(420)는 제4마찰부(421) 및 제5마찰부(422)를 포함한다. 상기 마찰부(420)는 고정부(314)를 커버하는 제6마찰부(423)를 더 포함한다. The friction part 420 includes a fourth friction part 421 and a fifth friction part 422. The friction part 420 further includes a sixth friction part 423 covering the fixing part 314.

상기 제4마찰부(421)는 안착부(311)의 상부면과 연장부(312)에 인접하게 형성된다. 상기 제4마찰부(421)는 지름이 제5마찰부(422)보다 길게 형성되기 때문에, 상기 제4마찰부(421)의 외주연이 돌출된다. 이 경우, 상기 제4마찰부(421)의 외주연은 안착부(311)와 연장부(312)의 사이에 위치된다.The fourth friction part 421 is formed adjacent to the upper surface of the seating part 311 and the extension part 312. Since the diameter of the fourth friction part 421 is longer than that of the fifth friction part 422, an outer circumference of the fourth friction part 421 protrudes. In this case, an outer circumference of the fourth friction part 421 is located between the seating part 311 and the extension part 312.

상기 제5마찰부(422)는 제4마찰부(321)에서 연장된다. 또한, 상기 제5마찰부(422)는 제4마찰부(421)와 제5마찰부(423) 사이를 연결한다. The fifth friction part 422 extends from the fourth friction part 321. In addition, the fifth friction part 422 connects between the fourth friction part 421 and the fifth friction part 423.

상기 제6마찰부(423)는 고정부(314)의 상부면을 커버한다. 즉, 상기 제6마찰부(423)는 지지부(320)의 상부를 커버하게 된다. 이 경우, 상기 제6마찰부(423)는 지름이 제4마찰부(421)의 지름보다 길게 형성된다. The sixth friction part 423 covers the upper surface of the fixing part 314. That is, the sixth friction part 423 covers the upper portion of the support part 320. In this case, the sixth friction portion 423 has a diameter longer than the diameter of the fourth friction portion 421.

또한, 상기 마찰부(420)는 제4마찰부(421)의 끝단이 모따기 된 라운드부(421R)을 더 포함할 수 있다. 상기 마찰부(420)에 형성된 라운드부(421R)는 마찰부(420)가 지지부(310)에서 쉽게 탈착이 되도록 한다.In addition, the friction part 420 may further include a round part 421R having the end of the fourth friction part 421 chamfered. The round part 421R formed in the friction part 420 allows the friction part 420 to be easily detached from the support part 310.

상기 마찰부(420)는 교체될 때에 체결부재(130)가 지지부(310)에서 분리되지 않는다. 또한, 상기 체결부재(130)는 마찰부(420)에 의하여 커버되어 노출되지 않기 때문에 유리기판(G)을 손상시키지 않는 효과가 있다.When the friction part 420 is replaced, the fastening member 130 is not separated from the support part 310. In addition, since the fastening member 130 is covered by the friction part 420 and is not exposed, there is an effect of not damaging the glass substrate G.

상기 이송 로봇용 패드(400)는 마찰부(420)가 마모되어 교체가 필요한 경우에 마찰부(420)만 지지부(310)에서 쉽게 분리시켜 교체할 수 있다. 그 결과, 상기 로봇용 패드(400)는 마찰부(420)의 교체 작업이 용이한 효과가 있다. 상기 마찰부(420)는 탈부착이 용이하기 때문에 교체 작업이 용이하고 마찰부(420)만 교체가 가능하기 때문에 재료비가 절감되는 효과가 있다.
When the friction part 420 is worn out and needs to be replaced, the transfer robot pad 400 may easily replace only the friction part 420 from the support part 310. As a result, the robot pad 400 has an effect of easily replacing the friction portion 420. Since the friction part 420 is easy to attach and detach, the replacement operation is easy and only the friction part 420 may be replaced, thereby reducing the material cost.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형의 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 특허청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.As described above, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and any person skilled in the art may apply the present invention without departing from the gist of the present invention. It is to be understood that various changes and modifications may be practiced within the scope of the appended claims.

1: 기판공급챔버 5: 프로세싱챔버
10: 이송로봇 14: 로봇 암
20: 종래기술의 패드
100, 200, 300, 400: 이송 로봇용 패드
110, 210, 310: 지지부
111, 211, 311: 연장 지지부 112, 212, 312: 안착부
113, 213, 313: 결합홀
120, 320, 420: 마찰부
121: 제1마찰부 122: 제2마찰부
123: 제3마찰부
130: 결합부재1: Substrate Supply Chamber 5: Processing Chamber
10: transfer robot 14: robot arm
20: pad of the prior art
100, 200, 300, 400: Pad for transfer robot
110, 210, 310: support
111, 211, 311: Extension support 112, 212, 312: Seating part
113, 213, 313: mating holes
120, 320, 420: friction part
121: first friction unit 122: second friction unit
123: third friction unit
130: coupling member

Claims (17)

원형으로 형성된 플레이트이며, 결합홀이 형성된 지지부;
상기 결합홀에 삽입되어 로봇암에 고정되는 결합부재; 및
상기 지지부의 적어도 일부분을 감싸는 마찰부;를 포함하고,
상기 결합부재는 상기 마찰부로 커버되며,
상기 지지부는 상기 로봇암에 안착되는 안착부 및
상기 안착부의 상부에 형성된 연장 지지부를 포함하고,
상기 연장 지지부의 지름은 상기 안착부의 지름 보다 긴 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.A plate formed in a circular shape and having a coupling hole formed therein;
A coupling member inserted into the coupling hole and fixed to the robot arm; And
A friction part surrounding at least a portion of the support;
The coupling member is covered with the friction portion,
The support portion is a seating portion to be seated on the robot arm and
An extension support formed on the seating portion,
The diameter of the extended support is a pad for a transfer robot, characterized in that longer than the diameter of the seating portion. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 지지부는 상기 로봇암에 안착되는 하부면의 지름이 상부면의 지름보다 짧은 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.The method of claim 1,
The support portion pad for a transfer robot, characterized in that the diameter of the lower surface seated on the robot arm is shorter than the diameter of the upper surface. 제 1 항에 있어서,
상기 지지부는 원형의 중심에 상기 결합홀이 형성된 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.The method of claim 1,
The support portion pad for a transfer robot, characterized in that the coupling hole is formed in the center of the circle. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 연장 지지부는 상부면 끝단이 모따기 된 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.The method of claim 1,
The extended support is a pad for a transfer robot, characterized in that the upper surface end is chamfered. 제 1 항에 있어서,
상기 마찰부는
상기 연장 지지부의 상부면과 대응되는 제1마찰부;
상기 제1마찰부에서 절곡되어 연장되고, 상기 연장 지지부의 측면에 대응되는 제2 마찰부; 및
상기 제2마찰부에서 연장되고, 상기 안착부의 중심방향으로 절곡되는 제3마찰부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.The method of claim 1,
The friction part
A first friction part corresponding to an upper surface of the extended support part;
A second friction part bent from the first friction part and extended to correspond to a side surface of the extension support part; And
And a third friction part extending from the second friction part and bent toward the center of the seating part. 제 7 항에 있어서,
상기 제3 마찰부는 끝단이 상기 안착부의 측면에 인접한 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.The method of claim 7, wherein
And the third friction portion has an end adjacent to a side of the seating portion. 제 7 항에 있어서,
상기 연장 지지부는 외주연이 상기 제1마찰부 및 제3 마찰부의 사이에 끼워진 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.The method of claim 7, wherein
The extended support portion is a pad for a transfer robot, characterized in that the outer circumference is sandwiched between the first friction portion and the third friction portion. 원형으로 형성된 플레이트이며, 결합홀이 형성된 지지부;
상기 결합홀에 삽입되어 로봇암에 고정되는 결합부재; 및
상기 지지부의 적어도 일부분을 감싸는 마찰부;를 포함하고,
상기 결합부재는 상기 마찰부로 커버되며,
상기 지지부는 상기 로봇암에 안착되는 안착부;
상기 안착부의 외주연에서 상부로 연장된 연장부; 및
상기 연장부의 끝단이 서로 마주하도록 절곡된 고정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.A plate formed in a circular shape and having a coupling hole formed therein;
A coupling member inserted into the coupling hole and fixed to the robot arm; And
A friction part surrounding at least a portion of the support;
The coupling member is covered with the friction portion,
The support portion is mounted to the robot arm;
An extension part extending upward from an outer circumference of the seating part; And
And a fixed part bent such that the ends of the extension part face each other. 제 10 항에 있어서,
상기 고정부는 상부 끝단이 모따기 된 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드. 11. The method of claim 10,
The fixing portion pad for the transfer robot, characterized in that the upper end is chamfered. 제 10 항에 있어서,
상기 마찰부는 상기 안착부의 상부면과 상기 연장부에 인접하게 형성되는 제4마찰부; 및
상기 제4마찰부에서 연장되는 제5마찰부를 포함하고,
상기 제5마찰부의 지름은 제4마찰부의 지름보다 짧은 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.11. The method of claim 10,
The friction part includes a fourth friction part formed adjacent to an upper surface of the seating part and the extension part; And
A fifth friction part extending from the fourth friction part,
The diameter of the fifth friction portion is shorter than the diameter of the fourth friction portion pad for the robot. 제 12 항에 있어서,
상기 제5마찰부는 상기 고정부 보다 돌출된 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.13. The method of claim 12,
The fifth friction part protrudes from the fixing part, characterized in that the transfer robot pad. 제 12 항에 있어서,
상기 제5마찰부는 상기 고정부를 커버하는 제6마찰부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.13. The method of claim 12,
The fifth friction part further comprises a sixth friction part covering the fixing part. 제 1 항에 있어서,
상기 지지부는 금속인 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드. The method of claim 1,
The support robot pad, characterized in that the support portion is a metal. 제 1 항에 있어서,
상기 마찰부는 과불소 고무(FFKM), 불소 고무(FKM), 폴리 이미드(PI) 수지 및 실리콘으로 이루어진 군에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드. The method of claim 1,
The friction part pad for transfer robot, characterized in that it comprises at least one from the group consisting of perfluoro rubber (FFKM), fluorine rubber (FKM), polyimide (PI) resin and silicone. 바디의 일측에 설치되고, 상기 바디에 대해 회전하는 로봇 암에 있어서,
상기 로봇 암에는 제 1 항, 제 3 항, 제 4 항 또는 제 6 항 내지 제 16 항 중 선택된 어느 한 항의 이송 로봇용 패드가 결합된 것을 특징으로 하는 이송 로봇.In the robot arm is installed on one side of the body, and rotates with respect to the body,
The robotic arm is coupled to the robot arm pad of any one of claims 1, 3, 4 or 6 to 16, characterized in that coupled to the robot arm.
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