KR20110090854A - Pad for transfer robot and method of menufacturing the same - Google Patents

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KR20110090854A
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Abstract

PURPOSE: A pad for a transporting robot and a manufacturing method thereof are provided to improve productivity by providing a strong pad for a transporting robot and safety by preventing damage of a wafer and to reduce manufacturing costs. CONSTITUTION: Joint holes(110,120) are formed in order to be coupled with arm of a transporting robot and openings in a metal plate. A rubbing cover(300) partly covers up the upper side and the lower side of the metal plate. The joint holes are nearly formed in the side of the metal plate. The rubbing cover exposes one part of the metal plate in which the joint holes are formed from the side. The upper side of the rubbing cover is convexly formed from the metal plate. The lower side of the rubbing cover is formed after eliminated the part in which the rubbing cover is formed.

Description

이송 로봇용 패드 및 이의 제조 방법{PAD FOR TRANSFER ROBOT AND METHOD OF MENUFACTURING THE SAME} PAD FOR TRANSFER ROBOT AND METHOD OF MENUFACTURING THE SAME}

본 발명은 이송 로봇용 패드 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 견고하고 제조 과정이 간편한 이송 로봇용 패드 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a transfer robot pad and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a transfer robot pad and a manufacturing method thereof.

일반적으로, 액정 표시(Liquid Crystal Display; LCD) 장치, 플라즈마 패널 표시(Plasma Panel Display, PDP) 장치, 유기 전계 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED) 표시 장치, 전계 효과 표시(Field Emission Display, FED) 장치 등에 사용되는 패널은 유리기판을 사용한다. In general, a liquid crystal display (LCD) device, a plasma panel display (PDP) device, an organic light emitting diode (OLED) display device, a field emission display (FED) ) Panels used in equipment, etc. use glass substrates.

또한, 반도체 장치는 반도체 기판으로서 실리콘 웨이퍼를 사용한다. 이러한 유리기판 및 웨이퍼는 화학 기상 증착, 스퍼터링, 포토리소그래피, 식각, 이온주입, 화학적/기계적 연마 등과 같은 단위 공정들의 순차적 반복적인 수행을 위해 이송하는데, 이때 이송 로봇을 이용한다. In addition, the semiconductor device uses a silicon wafer as the semiconductor substrate. Such glass substrates and wafers are transferred for sequential iteration of unit processes such as chemical vapor deposition, sputtering, photolithography, etching, ion implantation, chemical / mechanical polishing, etc., using a transfer robot.

상기 이송 로봇은 암(arm)에 로딩된 유리기판 또는 웨이퍼를 흡착시켜 정확한 위치로 이송하고, 보다 안전하게 이송하는 것이 요구된다. 이를 위해 이송 로봇의 암과 유리기판 또는 웨이퍼를 흡착시키기 위해 흡착 패드가 사용된다. The transfer robot is required to adsorb the glass substrate or wafer loaded on the arm, transfer it to the correct position, and transport more safely. To this end, adsorption pads are used to adsorb the arms of the transfer robot and glass substrates or wafers.

상기 흡착 패드는 고무 등을 이용하여 유리기판과의 마찰력을 일으켜, 유리기판 또는 웨이퍼가 상기 이송 로봇의 암으로부터 미끄러지는 것을 방지한다. 일반적으로, 이러한 흡착 패드는 알루미늄 플레이트와 고무를 접착제로 본딩하여 사용한다. The suction pad generates a friction force with the glass substrate using rubber or the like to prevent the glass substrate or the wafer from slipping from the arm of the transfer robot. In general, such an adsorption pad is used by bonding an aluminum plate and rubber with an adhesive.

그러나, 고온에서 공정이 이루어지는 경우, 상기 접착제가 녹아 상기 알루미늄 플레이트와 고무가 분리될 수 있다. 따라서, 상기 알루미늄에 의해 유리기판 또는 웨이퍼에 스크레치(scratch) 등의 파손이 발생할 위험이 있고, 흡착 패드를 자주 교체해야 하므로 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
However, when the process is performed at a high temperature, the adhesive may melt to separate the aluminum plate and the rubber. Therefore, there is a risk that scratches, such as scratches, occur on the glass substrate or the wafer due to the aluminum, and the adsorption pads need to be frequently replaced, resulting in a decrease in productivity.

본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 견고하고 제조 과정이 간편한 이송 로봇용 패드를 제공하는 것이다. The technical problem of the present invention was conceived in this respect, and an object of the present invention is to provide a pad for a transfer robot that is robust and easy to manufacture.

본 발명의 다른 목적은 상기 이송 로봇용 패드의 제조 방법을 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing the transfer robot pad.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 이송 로봇용 패드는 금속 플레이트 및 마찰커버를 포함한다. 상기 금속 플레이트는 개구부들 및 이송 로봇의 암(arm)과 체결되기 위한 체결홀들이 형성된다. 상기 마찰커버는 상기 금속 플레이트의 상면 및 하면을 부분적으로 커버하고, 상기 금속 플레이트에 형성된 상기 개구부들을 채우며 일체로 형성된다. 상기 체결홀들은 상기 금속 플레이트의 측면에 가깝게 형성되고, 상기 마찰커버는 상기 체결홀들이 형성된 상기 금속 플레이트의 측면으로부터 일정부분을 노출하며, 상기 마찰커버의 상면은 상기 금속 플레이트로부터 볼록하게 형성되며, 상기 금속 플레이트의 하면은 상기 마찰커버가 형성되는 부분이 제거되어 형성되며, 제거되지 않은 금속 플레이트의 하면과 제거된 금속 플레이트 상에 형성된 마찰커버의 하면은 동일 선상에 형성된다.The transfer robot pad according to the embodiment for realizing the object of the present invention includes a metal plate and a friction cover. The metal plate is formed with openings and fastening holes for fastening with the arm of the transfer robot. The friction cover partially covers the upper and lower surfaces of the metal plate, and fills the openings formed in the metal plate and is integrally formed. The fastening holes are formed close to the side of the metal plate, the friction cover exposes a portion from the side of the metal plate on which the fastening holes are formed, the upper surface of the friction cover is formed convex from the metal plate, The lower surface of the metal plate is formed by removing the portion where the friction cover is formed, and the lower surface of the metal plate that is not removed and the lower surface of the friction cover formed on the removed metal plate are formed on the same line.

본 발명의 실시예에서, 상기 개구부들 및 상기 체결홀들은 일렬로 형성될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the openings and the fastening holes may be formed in a line.

본 발명의 실시예에서, 상기 마찰커버의 상면은 일정한 곡률에 의해 정의되는 곡면을 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the upper surface of the friction cover may include a curved surface defined by a constant curvature.

본 발명의 실시예에서, 상기 금속 플레이트는 알루미늄(Al)을 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the metal plate may include aluminum (Al).

본 발명의 실시예에서, 상기 마찰커버는 과불소 고무(FFKM), 불소 고무(FKM), 폴리 이미드(PI) 수지 및 실리콘으로 이루어진 군에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the friction cover may include at least one from the group consisting of perfluoro rubber (FFKM), fluorine rubber (FKM), polyimide (PI) resin and silicon.

상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 이송 로봇용 패드의 제조 방법은, 금속 플레이트에 개구부들 및 상기 금속 플레이트의 측면에 가깝게 형성되는 체결홀들을 형성하는 단계; 상기 금속 플레이트의 하면의 일부를 제거하는 단계; 상기 금속 플레이트의 상면 및 하면에 커버용 물질을 상기 금속 플레이트의 측면으로부터 일정부분 이격하여 도포하는 단계; 및 상기 금속 플레이트의 상면 및 하면을 부분적으로 커버하고, 동시에 상기 금속 플레이트에 형성된 상기 개구부들을 채우며 일체로 형성되는 마찰커버를 형성하기 위해 상기 금속 플레이트 상에 커버용 물질을 성형하는 단계를 포함한다. 상기 커버용 물질을 성형하는 단계는, 상기 마찰커버가 상기 체결홀들이 형성된 상기 금속 플레이트의 측면으로부터 일정부분을 노출하며, 상기 마찰커버의 상면이 상기 금속 플레이트로부터 볼록하게 형성되며, 제거되지 않은 금속 플레이트의 하면과 제거된 금속 플레이트 상에 형성된 마찰커버의 하면은 동일 선상에 형성되도록 제작된 금형을 이용한다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a pad for a transfer robot, the method including: forming openings and fastening holes formed near a side of the metal plate in a metal plate; Removing a portion of the bottom surface of the metal plate; Applying a cover material to the upper and lower surfaces of the metal plate at a predetermined distance from the side of the metal plate; And forming a cover material on the metal plate to partially cover the top and bottom surfaces of the metal plate, and simultaneously form a friction cover integrally filled with the openings formed in the metal plate. The forming of the cover material may include: the friction cover exposing a portion from the side of the metal plate on which the fastening holes are formed, and the upper surface of the friction cover is formed convexly from the metal plate, and the metal is not removed. The lower surface of the plate and the lower surface of the friction cover formed on the removed metal plate use a mold manufactured to be formed on the same line.

본 발명에 따르면, 견고한 이송 로봇용 패드를 제공하므로 생산성이 향상되며, 이송되는 유리기판 또는 웨이퍼의 파손이 방지되므로 안전성이 향상될 수 있다. 또한, 제조가 간편하므로 제조 비용을 낮출 수 있다.According to the present invention, since a pad for a rigid transfer robot is provided, productivity is improved, and safety of the glass substrate or wafer to be transferred can be prevented from being damaged. In addition, since the manufacturing is simple, the manufacturing cost can be lowered.

또한, 마찰커버의 상면을 볼록하게 형성하는 경우, 상기 마찰커버와 접촉하는 유리기판 등과의 접촉면적을 넓힐 수 있고, 이에 따라 더욱 안정적으로 상기 유리기판 등을 지지할 수 있다.
In addition, when the upper surface of the friction cover is formed convexly, it is possible to widen the contact area with the glass substrate and the like in contact with the friction cover, thereby supporting the glass substrate and the like more stably.

도 1은 이송 로봇의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇용 패드의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 I-I' 선을 따라 절단한 이송 로봇용 패드의 단면도이다.
도 4는 도 2의 금속 플레이트의 평면도이다.
도 5a 및 도 5c는 도 2의 이송 로봇용 패드의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 로봇용 패드의 사시도이다.
도 7은 도 6에 도시된 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절단한 이송 로봇용 패드의 단면도이다.
도 8은 도 6에 도시된 Ⅲ-Ⅲ' 선을 따라 절단한 이송 로봇용 패드의 단면도이다.
도 9a 및 도 9c는 도 6의 이송 로봇용 패드의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 1 is a schematic view of a transfer robot.
2 is a perspective view of a pad for a transfer robot according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a pad for a transfer robot cut along the line II ′ shown in FIG. 2.
4 is a plan view of the metal plate of FIG. 2.
5A and 5C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the transfer robot pad of FIG. 2.
6 is a perspective view of a pad for a transfer robot according to another embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a cross-sectional view of the transfer robot pad cut along the line II-II ′ of FIG. 6.
FIG. 8 is a cross-sectional view of the transfer robot pad taken along line III-III ′ of FIG. 6.
9A and 9C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the transfer robot pad of FIG. 6.

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 고안의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structure is shown in an enlarged scale than actual for clarity of the present invention. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 위에 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 아래에 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 바로 아래에 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. In addition, when a part of a layer, a film, an area, a plate, etc. is said to be above another part, this includes not only the case where it is directly over another part but also another part in the middle. Conversely, if a part of a layer, film, region, plate, etc. is under another part, this includes not only the part directly under another part but also another part in the middle.

도 1은 본 발명에 따른 이송 로봇용 패드(100)를 포함하는 이송 로봇(10)의 개략도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇용 패드(100)의 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 I-I' 선을 따라 절단한 이송 로봇용 패드의 단면도이다. 1 is a schematic diagram of a transfer robot 10 comprising a transfer robot pad 100 according to the present invention. 2 is a perspective view of a transfer robot pad 100 according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view of the transfer robot pad cut along the line II 'shown in FIG.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 이송 로봇(10)은 몸체부(12)와 상기 몸체부(12)의 일측에 마련되어 유리기판(G)을 로딩(loading)하는 암(arm, 14)을 갖는다. 일반적으로, 상기 유리기판(G)은 그 면적이 실질적으로 매우 크기 때문에 상기 이송 로봇(10)의 암(14)은 마치 사람의 양 팔과 같이, 상기 유리기판(G)의 하면을 떠받쳐 로딩한 후, 유리기판(G)을 이송한다. 도 1에서는 상기 암(14)을 두 개로 도시하였으나, 상기 암(14)은 필요에 따라 하나 또는 2개 이상일 수 있다. 1 to 3, the transfer robot 10 has a body portion 12 and an arm 14 provided on one side of the body portion 12 to load a glass substrate G. . In general, since the glass substrate G has a substantially large area, the arm 14 of the transfer robot 10 supports and loads the lower surface of the glass substrate G as if both arms of a person. After that, the glass substrate G is transferred. In FIG. 1, the arm 14 is illustrated in two, but the arm 14 may be one or two or more as necessary.

따라서, 상기 암(14)은 몸체부(12)에 대해 회전 가능함은 물론, 정위치에서 그 길이가 연장 및 수축 가능하게 형성되어 있다. 또한, 상기 암(14)이 상기 몸체부(12)에 대해 회전한 후, 상기 몸체부(12)가 일방향으로 이동하면서 유리기판(G)을 이송하는 것도 가능하다. Therefore, the arm 14 is rotatable with respect to the body portion 12, as well as its length is formed to extend and contract in place. In addition, after the arm 14 is rotated with respect to the body portion 12, it is also possible to transfer the glass substrate (G) while the body portion 12 moves in one direction.

상기 유리기판(G)이 이송되는 공정 라인에는 복수의 공정 챔버들(Chamber, 1, 5)이 갖춰질 수 있다. 도 1에서는 두 개의 공정 챔버들(1, 5)이 마련되어 있는 것으로 도시 하였으나, 상기 공정 챔버들(1, 5)은 필요에 따라 2개 이상일 수 있다. In the process line through which the glass substrate G is transferred, a plurality of process chambers 1 and 5 may be provided. In FIG. 1, two process chambers 1 and 5 are illustrated, but two or more process chambers 1 and 5 may be provided as necessary.

상기 유리기판(G)은 스크래치(Scratch)에 매우 민감하기 때문에 공정 챔버들(1, 5) 내에는 유리기판(G)을 지지하는 슬릿(S)이 형성될 수 있다. 상기 두 개의 공정 챔버들(1, 5) 중 하나의 내부에 마련된 이송 대상의 유리기판(G)은 상기 이송 로봇(10)에 의해 다른 하나를 향해 이송된다. Since the glass substrate G is very sensitive to scratches, slits S supporting the glass substrate G may be formed in the process chambers 1 and 5. The glass substrate G to be transferred provided in one of the two process chambers 1 and 5 is transferred toward the other by the transfer robot 10.

상기 이송 로봇(10)의 암(14)에 상기 유리기판(G)이 올려진 후, 상기 이송 로봇(10)이 이동하거나 회전하면 상기 유리기판(G)이 미끄러져 낙하하거나 주변 구조물에 부딪혀 파손될 수 있다. After the glass substrate G is placed on the arm 14 of the transfer robot 10, when the transfer robot 10 moves or rotates, the glass substrate G may slide and fall or be damaged by hitting the surrounding structure. Can be.

따라서, 상기 이송 로봇(10)의 암(14)에는 후술하는 바와 같이, 다수의 패드(100)들이 형성되어 상기 유리기판(G)을 보다 안정적으로 지지한다. 상기 이송 로봇(10)의 암(14)에는 복수개의 패드(100)들이 형성될 수 있다. 약 2200 x 2500 mm의 유리기판을 사용하는 8세대 LCD 라인을 예로 들면, 하나의 암(14)에 28 개의 패드(100)들이 형성될 수 있다. Therefore, as described below, a plurality of pads 100 are formed on the arm 14 of the transfer robot 10 to support the glass substrate G more stably. A plurality of pads 100 may be formed on the arm 14 of the transfer robot 10. As an example of an 8th generation LCD line using a glass substrate of about 2200 x 2500 mm, 28 pads 100 may be formed on one arm 14.

본 발명에 의한 패드(100)는 금속 플레이트(200)와 상기 금속 플레이트(200)를 커버하는 마찰커버(300)를 포함한다. 상기 금속 플레이트(200)는 상기 마찰커버(300)에 의해 커버되어 외부에서 보이지 않을 수 있다.The pad 100 according to the present invention includes a metal plate 200 and a friction cover 300 covering the metal plate 200. The metal plate 200 may be covered by the friction cover 300 and may not be visible from the outside.

상기 패드(100)는 상기 이송 로봇(10)의 암(14)에 부착되어 있다. 상기 패드(100)는 상기 이송 로봇(10)의 암(14)에 고정되기 위한 체결홀들(110, 120)을 더 포함할 수 있다. 상기 체결홀들(110, 120)은 상기 패드(100)의 중심보다 측면에 가깝게 형성될 수 있다.The pad 100 is attached to the arm 14 of the transfer robot 10. The pad 100 may further include fastening holes 110 and 120 to be fixed to the arm 14 of the transfer robot 10. The fastening holes 110 and 120 may be formed closer to the side than the center of the pad 100.

상기 패드(100)는 상기 체결홀들(110, 120)을 관통하는 나사 등의 체결수단을 통해 상기 이송 로봇(10)의 암(14)에 고정될 수 있다. 본 발명에서는 상기 체결홀(110, 120)을 두 개로 도시하였으나 필요에 따라 하나 또는 두 개 이상이 형성될 수 있다. The pad 100 may be fixed to the arm 14 of the transfer robot 10 through a fastening means such as a screw penetrating the fastening holes 110 and 120. In the present invention, the fastening holes 110 and 120 are illustrated as two, but one or two or more may be formed as necessary.

상기 금속 플레이트(200)는 다수개의 개구부들(250)이 형성된 금속 조각으로서, 상기 개구부들(250)에는 상기 마찰커버(300)가 채워져 있다. 상기 금속 플레이트(200)는 금속으로 형성되어, 상기 패드(100)를 상기 이송 로봇(10)의 암(14)에 견고하게 고정하는 역할을 한다. 상기 금속 플레이트(200)는 티타늄(Ti) 등의 금속으로 형성될 수 있고, 바람직하게 재료비가 저렴하고, 가공이 용이한 알루미늄(Al)으로 형성될 수 있다.The metal plate 200 is a piece of metal having a plurality of openings 250 formed therein, and the friction cover 300 is filled in the openings 250. The metal plate 200 is formed of metal, and serves to firmly fix the pad 100 to the arm 14 of the transfer robot 10. The metal plate 200 may be formed of a metal such as titanium (Ti). Preferably, the metal plate 200 may be formed of aluminum (Al) having a low material cost and easy processing.

상기 마찰커버(300)는 상기 금속 플레이트(200)를 커버한다. 상기 마찰커버(300)는 상기 금속 플레이트(200)의 상면 및 하면을 커버하며, 상기 금속 플레이트(200)에 형성된 다수개의 개구부들(250)에도 형성된다. 상기 마찰커버(300)는 상기 금속 플레이트(200)의 측면들을 더 커버할 수도 있다. The friction cover 300 covers the metal plate 200. The friction cover 300 covers the upper and lower surfaces of the metal plate 200, and is formed in the plurality of openings 250 formed in the metal plate 200. The friction cover 300 may further cover side surfaces of the metal plate 200.

상기 마찰커버(300)는 이송되는 상기 유리기판(G)에 접촉하여 마찰력을 제공한다. 따라서, 상기 마찰력에 의해 상기 유리기판(G)이 상기 이송 로봇(10)의 암(14)으로부터 미끄러지는 것을 방지할 수 있다. The friction cover 300 is in contact with the glass substrate (G) to be transferred to provide a friction force. Therefore, it is possible to prevent the glass substrate G from sliding off the arm 14 of the transfer robot 10 by the frictional force.

상기 마찰커버(300)는 과불소 고무(FFKM), 불소 고무(FKM), 폴리 이미드(PI) 수지, 실리콘 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독 또는 혼합하여 사용할 수 있다. 예를 들어, 상기 마찰커버(300)는 ISO 1629에 따라 FMQ 및 FVMQ로 정의된 불소(F) 실리콘 고무로 형성될 수 있다. The friction cover 300 may include perfluororubber (FFKM), fluororubber (FKM), polyimide (PI) resin, silicone, and the like. These may be used alone or in combination. For example, the friction cover 300 may be formed of fluorine (F) silicone rubber defined as FMQ and FVMQ according to ISO 1629.

도 4는 도 2의 금속 플레이트(200)의 평면도이다.4 is a plan view of the metal plate 200 of FIG. 2.

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 금속 플레이트(200)에 형성된 개구부들(250)은 직사각형 형상일 수 있고, 서로 동일한 모양을 가질 수 있다. 상기 개구부들(250)은 일렬로 형성될 수 있으며, 서로 일정한 간격으로 이격될 수 있다. As shown in FIG. 4, the openings 250 formed in the metal plate 200 may have a rectangular shape and may have the same shape. The openings 250 may be formed in a line and spaced apart from each other at regular intervals.

그러나, 상기 개구부들(250)은 이에 한정되지 않고 두 개 이상 형성될 수 있고, 상기 개구부들(250)은 규칙적으로 형성되거나 또는 불규칙적으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 개구부들(250)의 형상은 원형, 사각형 등 필요에 따라 다양하게 변형이 가능하다. However, the openings 250 are not limited thereto, but two or more openings may be formed, and the openings 250 may be formed regularly or irregularly. In addition, the shape of the openings 250 may be variously modified as necessary, such as a circle, a square.

상기 금속 플레이트(200)는 체결홀들(110, 120)을 더 포함할 수 있다.The metal plate 200 may further include fastening holes 110 and 120.

도 5a 내지 도 5c는 도 2의 이송 로봇용 패드(100)의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 5A to 5C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the transfer robot pad 100 of FIG. 2.

도 2 내지 4 및 도 5a를 참조하면, 금속 플레이트(200)에 다수개의 개구부들(250)을 형성한다. 이때, 상기 개구부들(250)들과 함께 상기 체결홀들(110, 120)을 함께 형성할 수 있다. 상기 금속 플레이트(200)에 대하여는 상기 도 4에서 설명하였다.2 to 4 and 5A, a plurality of openings 250 are formed in the metal plate 200. In this case, the fastening holes 110 and 120 may be formed together with the openings 250. The metal plate 200 has been described with reference to FIG. 4.

도 2 내지 4 및 도 5b를 참조하면, 상기 금속 플레이트(200)의 상면 및 하면에 커버용 물질(310)을 도포한다.2 to 4 and 5B, the cover material 310 is coated on the upper and lower surfaces of the metal plate 200.

상기 커버용 물질(310)은 상기 금속 플레이트(200)의 측면을 커버하기 위해 상기 금속 플레이트(200)의 측면보다 외부로 더 돌출되게 형성될 수 있다. 상기 커버용 물질(310)은 과불소 고무(FFKM), 불소 고무(FKM), 폴리 이미드(PI) 수지, 실리콘 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독 또는 혼합하여 사용할 수 있다. 예를 들어, 상기 커버용 물질(310)은 ISO 1629에 따라 FMQ 및 FVMQ로 정의된 불소(F) 실리콘 고무일 수 있다. The cover material 310 may be formed to protrude outward from the side of the metal plate 200 to cover the side of the metal plate 200. The cover material 310 may include perfluororubber (FFKM), fluororubber (FKM), polyimide (PI) resin, silicone, or the like. These may be used alone or in combination. For example, the cover material 310 may be a fluorine (F) silicone rubber defined as FMQ and FVMQ in accordance with ISO 1629.

도 2 내지 4 및 도 5c를 참조하면, 상기 금속 플레이트(200)의 상면 및 하면에 도포된 커버용 물질(310)을 압축 성형한다. 2 to 4 and 5C, the cover material 310 applied to the upper and lower surfaces of the metal plate 200 is compression molded.

상기 커버용 물질(310)은 고온에서 성형되어, 상기 금속 플레이트(200)의 상면 및 하면을 커버하는 동시에 상기 개구부들(250)을 채운다. 상기 커버용 물질(310)은 상기 금속 플레이트(200)의 측면들을 더 커버할 수 있다. The cover material 310 is molded at a high temperature to cover the upper and lower surfaces of the metal plate 200 and to fill the openings 250. The cover material 310 may further cover side surfaces of the metal plate 200.

이때, 금형을 이용하여 상기 커버용 물질(310)을 필요한 모양으로 성형할 수 있다. 이 경우, 상기 금형은 상기 체결홀들(110, 120)에 상기 커버용 물질(310)이 채워지지 않도록 미리 제작될 수 있다.In this case, the cover material 310 may be molded into a required shape using a mold. In this case, the mold may be manufactured in advance so that the cover material 310 is not filled in the fastening holes 110 and 120.

상기 금속 플레이트(200)에 형성된 개구부들(250)은 상기 마찰커버(300)에 의해 채워지므로, 외부에서 볼 때, 상기 금속 플레이트(200)에 형성된 개구부들(250)은 보이지 않는다.Since the openings 250 formed in the metal plate 200 are filled by the friction cover 300, the openings 250 formed in the metal plate 200 are not visible when viewed from the outside.

본 발명에서, 상기 커버용 물질(310)은 한번의 성형으로 상기 금속 플레이트(200)의 상면 및 하면을 커버하는 동시에 상기 개구부들(250)을 채운다. 따라서, 상기 패드(100)는 본딩 없이 용이하게 제조될 수 있다. In the present invention, the covering material 310 covers the upper and lower surfaces of the metal plate 200 in one molding and simultaneously fills the openings 250. Thus, the pad 100 can be easily manufactured without bonding.

또한, 접착제를 사용하지 않으므로, 고온의 공정에서도 상기 금속 플레이트(200)와 상기 마찰커버(300)가 분리될 가능성이 낮으므로 내구성이 강한 패드(100)를 제공할 수 있다. In addition, since the adhesive is not used, since the metal plate 200 and the friction cover 300 are unlikely to be separated even at a high temperature process, the pad 100 having high durability may be provided.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 로봇용 패드(500)의 사시도이다. 도 7은 도 6에 도시된 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절단한 이송 로봇용 패드(500)의 단면도이다. 도 8은 도 6에 도시된 Ⅲ-Ⅲ' 선을 따라 절단한 이송 로봇용 패드(500)의 단면도이다.6 is a perspective view of a transfer robot pad 500 according to another embodiment of the present invention. FIG. 7 is a cross-sectional view of the transfer robot pad 500 cut along the line II-II ′ of FIG. 6. FIG. 8 is a cross-sectional view of the transfer robot pad 500 cut along the line III-III ′ of FIG. 6.

도 6 내지 도 8을 참조하면, 본 발명에 의한 패드(500)는 금속 플레이트(600)와 상기 금속 플레이트(600)를 커버하는 마찰커버(700)를 포함한다. 본 실시예에서는, 도 2에 도시된 패드(100)와 달리 상기 마찰커버(700)가 상기 금속 플레이트(600)를 부분적으로 커버할 수 있다. 또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 마찰커버(700)의 상면은 상기 금속 플레이트(600)로부터 볼록한 곡면 형상을 가질 수 있다.6 to 8, the pad 500 according to the present invention includes a metal plate 600 and a friction cover 700 covering the metal plate 600. In the present exemplary embodiment, unlike the pad 100 illustrated in FIG. 2, the friction cover 700 may partially cover the metal plate 600. In addition, as shown in FIG. 7, the upper surface of the friction cover 700 may have a convex curved shape from the metal plate 600.

상기 패드(500)는 상기 이송 로봇(10)의 암(14)에 고정되기 위한 체결홀들(510, 520)을 더 포함할 수 있다. 상기 체결홀들(510, 520)은 상기 패드(500)의 중심보다 측면에 가깝게 형성될 수 있다.The pad 500 may further include fastening holes 510 and 520 to be fixed to the arm 14 of the transfer robot 10. The fastening holes 510 and 520 may be formed closer to the side than the center of the pad 500.

상기 금속 플레이트(600)는 다수개의 개구부들(650)이 형성된 금속 조각으로서, 상기 개구부들(650)에는 상기 마찰커버(700)가 채워져 있다. 따라서, 외부에서 볼 때, 상기 금속 플레이트(600)에 형성된 개구부들(650)은 보이지 않는다.The metal plate 600 is a piece of metal in which a plurality of openings 650 are formed, and the friction cover 700 is filled in the openings 650. Therefore, when viewed from the outside, the openings 650 formed in the metal plate 600 are not visible.

상기 금속 플레이트(600)의 하면은 상기 마찰커버(700)가 형성되는 부분에 대응하는 부분이 제거될 수 있다. 상기 금속 플레이트(600)의 평면도는 도 4에 도시된 바와 같다.The lower surface of the metal plate 600 may be removed a portion corresponding to the portion where the friction cover 700 is formed. The top view of the metal plate 600 is as shown in FIG.

상기 금속 플레이트(600)는 금속으로 형성되어, 상기 패드(500)를 상기 이송 로봇(10)의 암(14)에 견고하게 고정하는 역할을 한다. 상기 금속 플레이트(600)는 티타늄(Ti) 등의 금속으로 형성될 수 있고, 바람직하게 재료비가 저렴하고, 가공이 용이한 알루미늄(Al)으로 형성될 수 있다.The metal plate 600 is formed of metal, and serves to firmly fix the pad 500 to the arm 14 of the transfer robot 10. The metal plate 600 may be formed of a metal such as titanium (Ti). Preferably, the metal plate 600 may be formed of aluminum (Al) having a low material cost and easy processing.

상기 마찰커버(700)는 상기 금속 플레이트(600)를 부분적으로 커버한다. 상기 금속 플레이트(600)의 상면 및 하면을 커버하며, 상기 금속 플레이트(600)에 형성된 다수개의 개구부들(650)에도 형성된다. 본 실시예에서, 상기 마찰커버(700)는 상기 금속 플레이트(600)의 측면으로부터 일정부분을 커버하지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 금속 플레이트(600)는 상기 체결홀들(510, 520)을 노출하며 형성될 수 있다.The friction cover 700 partially covers the metal plate 600. The top and bottom surfaces of the metal plate 600 are covered, and are also formed in the plurality of openings 650 formed in the metal plate 600. In the present embodiment, the friction cover 700 may not cover a portion from the side of the metal plate 600. For example, the metal plate 600 may be formed while exposing the fastening holes 510 and 520.

또한, 상기 마찰커버(700)는 상기 금속 플레이트(600)로부터 일정한 곡률에 의해 정의되는 곡면을 포함할 수 있다. 일반적으로, 표시장치의 제조에는 약 0.2 내지 약 0.3 mm의 두께를 갖는 얇은 유리기판(G)이 사용된다. 상기 유리기판(G)이 상기 패드(500)에 접촉될 때, 상기 유리기판(G)과 상기 패드(500) 사이의 접촉면적이 좁아질 수 있다. 즉, 상기 유리기판(G)이 얇아서 휘어지는 현상이 발생하여, 상기 유리기판(G)은 상기 패드(500)의 측면에만 접촉할 수 있다.In addition, the friction cover 700 may include a curved surface defined by a predetermined curvature from the metal plate 600. In general, a thin glass substrate G having a thickness of about 0.2 to about 0.3 mm is used for the manufacture of a display device. When the glass substrate G is in contact with the pad 500, the contact area between the glass substrate G and the pad 500 may be narrowed. That is, the glass substrate G is thin and may be bent, such that the glass substrate G may contact only the side surface of the pad 500.

본 실시예에 의한 상기 마찰커버(700)는 상기 유리기판(G)과 접촉하는 상면이 볼록하게 형성되어, 상기 유리기판(G)과의 접촉면적을 넓힐 수 있다. 따라서, 상기 유리기판(G)에 접촉하여 마찰력을 제공할 때, 더욱 안정적으로 상기 유리기판(G)을 지지할 수 있다. In the friction cover 700 according to the present exemplary embodiment, an upper surface of the friction cover 700 which contacts the glass substrate G may be convex, thereby increasing a contact area with the glass substrate G. Therefore, when the frictional force is provided in contact with the glass substrate G, the glass substrate G may be more stably supported.

상기 마찰커버(700)의 하면은 상기 금속 플레이트(600)의 제거된 부분에 형성되어, 제거되지 않은 상기 금속 플레이트(600)의 하면과 동일 선상에 형성될 수 있다.The lower surface of the friction cover 700 may be formed on the removed portion of the metal plate 600, and may be formed on the same line as the lower surface of the metal plate 600 which is not removed.

상기 마찰커버(700)는 과불소 고무(FFKM), 불소 고무(FKM), 폴리 이미드(PI) 수지, 실리콘 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독 또는 혼합하여 사용할 수 있다. 예를 들어, 상기 마찰커버(700)는 ISO 1629에 따라 FMQ 및 FVMQ로 정의된 불소(F) 실리콘 고무로 형성될 수 있다. The friction cover 700 may include perfluoro rubber (FFKM), fluorine rubber (FKM), polyimide (PI) resin, silicon, and the like. These may be used alone or in combination. For example, the friction cover 700 may be formed of fluorine (F) silicone rubber defined as FMQ and FVMQ according to ISO 1629.

도 9a 내지 도 9c는 도 6의 이송 로봇용 패드(100)의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.9A to 9C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the transfer robot pad 100 of FIG. 6.

도 6 내지 도 8 및 도 9a를 참조하면, 금속 플레이트(600)에 다수개의 개구부들(650)을 형성한다. 이때, 상기 개구부들(650)들과 함께 상기 체결홀들(510, 520)을 함께 형성할 수 있다. 상기 금속 플레이트(600)의 하면은 후에 마찰커버(700)가 형성될 부분에 대응하는 부분이 제거될 수 있다.6 to 8 and 9A, a plurality of openings 650 are formed in the metal plate 600. In this case, the fastening holes 510 and 520 may be formed together with the openings 650. The lower surface of the metal plate 600 may be removed a portion corresponding to a portion where the friction cover 700 will be formed later.

도 6 내지 도 8 및 도 9b를 참조하면, 상기 금속 플레이트(600)의 상면 및 하면에 커버용 물질(710)을 부분적으로 도포한다.6 to 8 and 9B, the cover material 710 is partially applied to the upper and lower surfaces of the metal plate 600.

상기 커버용 물질(710)은 상기 금속 플레이트(600)를 부분적으로 커버하기 위해 상기 금속 플레이트(600)의 측면으로부터 일정부분 이격되어 도포될 수 있다. 예를 들어, 상기 금속 플레이트(600)는 상기 체결홀들(510, 520)을 노출하도록 도포될 수 있다.The cover material 710 may be applied to be spaced apart from a side of the metal plate 600 to partially cover the metal plate 600. For example, the metal plate 600 may be coated to expose the fastening holes 510 and 520.

도 6 내지 도 8 및 도 9c를 참조하면, 상기 금속 플레이트(600)의 상면 및 하면에 부분적으로 도포된 커버용 물질(710)을 압축 성형한다. 6 to 8 and 9C, the cover material 710 partially applied to the upper and lower surfaces of the metal plate 600 is compression molded.

상기 커버용 물질(710)은 고온에서 성형되어, 상기 금속 플레이트(600)의 상면 및 하면을 부분적으로 커버하는 동시에 상기 개구부들(650)을 채운다.The cover material 710 is molded at a high temperature to partially cover the top and bottom surfaces of the metal plate 600 and simultaneously fill the openings 650.

또한, 상기 마찰커버(700)는 상기 금속 플레이트(600)로부터 일정한 곡률에 의해 정의되는 곡면을 포함할 수 있다. 상기 마찰커버(700)의 상면은 볼록하게 형성될 수 있으며, 상기 마찰커버(700)의 하면은 상기 금속 플레이트(600)의 하면과 동일 선상에 형성될 수 있다.In addition, the friction cover 700 may include a curved surface defined by a predetermined curvature from the metal plate 600. The upper surface of the friction cover 700 may be convex, and the lower surface of the friction cover 700 may be formed on the same line as the lower surface of the metal plate 600.

이때, 금형을 이용하여 상기 커버용 물질(710)을 필요한 모양으로 성형할 수 있다. 이 경우, 상기 금형은 상기 마찰커버(700)가 곡면을 포함하고, 상기 체결홀들(510, 520)에 상기 커버용 물질(310)이 채워지지 않도록 미리 제작될 수 있다.In this case, the cover material 710 may be molded into a required shape by using a mold. In this case, the mold may be manufactured in advance such that the friction cover 700 includes a curved surface, and the cover material 310 is not filled in the fastening holes 510 and 520.

본 발명에서, 상기 커버용 물질(710)은 한번의 성형으로 상기 금속 플레이트(600)의 상면 및 하면을 커버하는 동시에 상기 개구부들(650)을 채운다. 따라서, 상기 패드(500)는 본딩 없이 용이하게 제조될 수 있다. In the present invention, the covering material 710 covers the upper and lower surfaces of the metal plate 600 in one molding and simultaneously fills the openings 650. Thus, the pad 500 can be easily manufactured without bonding.

또한, 접착제를 사용하지 않으므로, 고온의 공정에서도 상기 금속 플레이트(600)와 상기 마찰커버(700)가 분리될 가능성이 낮으므로 내구성이 강한 패드(500)를 제공할 수 있다. 또한, 상기 마찰커버(700)는 상기 유리기판(G)과 접촉하는 상면이 곡면으로 형성되어, 더욱 안정적으로 상기 유리기판(G)을 지지할 수 있다.
In addition, since the adhesive is not used, it is unlikely that the metal plate 600 and the friction cover 700 are separated even at a high temperature process, thereby providing a pad 500 having high durability. In addition, the friction cover 700 is formed in a curved upper surface in contact with the glass substrate (G), it can support the glass substrate (G) more stably.

본 발명에 따르면, 금속 플레이트와 마찰커버의 본딩 없이, 마찰커버가 상기 금속 플레이트에 형성된 개구부들을 채우며 성형되므로, 상기 금속 플레이트와 상기 마찰커버의 분리 가능성이 낮아진다. According to the present invention, since the friction cover is formed by filling the openings formed in the metal plate without bonding the metal plate and the friction cover, the possibility of separation of the metal plate and the friction cover is lowered.

따라서, 견고한 이송 로봇용 패드를 제공하므로, 패드의 교체주기가 길어져 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 이송되는 유리기판 또는 웨이퍼의 파손이 방지되므로 안전성이 향상될 수 있다. Therefore, since the pad for a rigid transfer robot is provided, the pad replacement cycle becomes long and productivity can be improved. In addition, since damage to the glass substrate or wafer to be transported is prevented, safety may be improved.

또한, 제조가 간편하므로 제조 비용을 낮출 수 있다. In addition, since the manufacturing is simple, the manufacturing cost can be lowered.

나아가, 유리기판과 접촉하는 마찰커버의 상면을 곡면으로 형성하여, 유리기판과의 접촉면적을 넓혀 유리기판을 보다 안정적으로 지지할 수 있다.Furthermore, the upper surface of the friction cover in contact with the glass substrate may be formed in a curved surface to increase the contact area with the glass substrate, thereby supporting the glass substrate more stably.

이상에서는 본 발명의 이송 로봇용 패드는 유리기판을 이송하는 이송 로봇에 적용되는 것으로 설명하였으나, 웨이퍼를 이송하는 이송 로봇에도 역시 적용될 수 있으며, 반도체나 표시 패널의 제조공정에 사용되는 이송 로봇에 널리 적용될 수 있다. In the above description, the pad for the transfer robot of the present invention has been described as being applied to a transfer robot for transferring a glass substrate. However, the transfer robot pad may also be applied to a transfer robot for transferring a wafer. Can be applied.

이상에서는 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
Although described above with reference to the embodiments, those skilled in the art can be variously modified and changed within the scope of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below. I can understand.

1, 5: 공정 챔버 10: 이송 로봇
12: 몸체부 14: 암
100, 500: 패드 110, 120, 510, 520: 체결홀들
200, 600: 금속 플레이트 300, 700: 마찰커버
250, 650: 개구부 310, 710: 커버용 물질 1, 5: process chamber 10: transfer robot
12: body 14: arm
100, 500: pads 110, 120, 510, 520: fastening holes
200, 600: metal plate 300, 700: friction cover
250, 650: opening 310, 710: material for cover

Claims (6)

개구부들 및 이송 로봇의 암(arm)과 체결되기 위한 체결홀들이 형성된 금속 플레이트; 및
상기 금속 플레이트의 상면 및 하면을 부분적으로 커버하고, 상기 금속 플레이트에 형성된 상기 개구부들을 채우며 일체로 형성되는 마찰커버를 포함하며,
상기 체결홀들은 상기 금속 플레이트의 측면에 가깝게 형성되고, 상기 마찰커버는 상기 체결홀들이 형성된 상기 금속 플레이트의 측면으로부터 일정부분을 노출하며, 상기 마찰커버의 상면은 상기 금속 플레이트로부터 볼록하게 형성되며, 상기 금속 플레이트의 하면은 상기 마찰커버가 형성되는 부분이 제거되어 형성되며, 제거되지 않은 금속 플레이트의 하면과 제거된 금속 플레이트 상에 형성된 마찰커버의 하면은 동일 선상에 형성되는 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.
A metal plate in which openings and fastening holes for fastening with the arm of the transfer robot are formed; And
And a friction cover integrally covering the upper and lower surfaces of the metal plate, filling the openings formed in the metal plate, and integrally formed.
The fastening holes are formed close to the side of the metal plate, the friction cover exposes a portion from the side of the metal plate on which the fastening holes are formed, the upper surface of the friction cover is formed convex from the metal plate, The lower surface of the metal plate is formed by removing the portion where the friction cover is formed, and the lower surface of the non-removed metal plate and the lower surface of the friction cover formed on the removed metal plate are formed on the same line. Pad.
제1항에 있어서, 상기 개구부들 및 상기 체결홀들은 일렬로 형성되는 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.
The pad of claim 1, wherein the openings and the fastening holes are formed in a line.
제1항에 있어서, 상기 마찰커버의 상면은 일정한 곡률에 의해 정의되는 곡면을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.
The pad of claim 1, wherein the upper surface of the friction cover includes a curved surface defined by a constant curvature.
제1항에 있어서, 상기 금속 플레이트는 알루미늄(Al)을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.
The transfer robot pad of claim 1, wherein the metal plate comprises aluminum (Al).
제1항에 있어서, 상기 마찰커버는 과불소 고무(FFKM), 불소 고무(FKM), 폴리 이미드(PI) 수지 및 실리콘으로 이루어진 군에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드.
The pad of claim 1, wherein the friction cover comprises at least one selected from the group consisting of perfluoro rubber (FFKM), fluorine rubber (FKM), polyimide (PI) resin, and silicone.
금속 플레이트에 개구부들 및 상기 금속 플레이트의 측면에 가깝게 형성되는 체결홀들을 형성하는 단계;
상기 금속 플레이트의 하면의 일부를 제거하는 단계;
상기 금속 플레이트의 상면 및 하면에 커버용 물질을 상기 금속 플레이트의 측면으로부터 일정부분 이격하여 도포하는 단계; 및
상기 금속 플레이트의 상면 및 하면을 부분적으로 커버하고, 동시에 상기 금속 플레이트에 형성된 상기 개구부들을 채우며 일체로 형성되는 마찰커버를 형성하기 위해 상기 금속 플레이트 상에 커버용 물질을 성형하는 단계를 포함하며,
상기 커버용 물질을 성형하는 단계는, 상기 마찰커버가 상기 체결홀들이 형성된 상기 금속 플레이트의 측면으로부터 일정부분을 노출하며, 상기 마찰커버의 상면이 상기 금속 플레이트로부터 볼록하게 형성되며, 제거되지 않은 금속 플레이트의 하면과 제거된 금속 플레이트 상에 형성된 마찰커버의 하면은 동일 선상에 형성되도록 제작된 금형을 이용하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇용 패드의 제조 방법. Forming openings in the metal plate and fastening holes formed close to side surfaces of the metal plate;
Removing a portion of the bottom surface of the metal plate;
Applying a cover material to the upper and lower surfaces of the metal plate at a predetermined distance from the side of the metal plate; And
Forming a cover material on the metal plate to partially cover the top and bottom surfaces of the metal plate and at the same time to form a friction cover integrally filled with the openings formed in the metal plate;
The forming of the cover material may include: the friction cover exposing a portion from the side of the metal plate on which the fastening holes are formed, and the upper surface of the friction cover is formed convexly from the metal plate, and the metal is not removed. The lower surface of the plate and the lower surface of the friction cover formed on the removed metal plate is a manufacturing method of the pad for transfer robot, characterized in that using a mold manufactured to be formed on the same line.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20190108932A (en) 2018-03-16 2019-09-25 김동용 Detachable Glass Seating Pad

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