KR102390143B1 - Hand of industrial robot and industrial robot - Google Patents

Hand of industrial robot and industrial robot Download PDF

Info

Publication number
KR102390143B1
KR102390143B1 KR1020200133904A KR20200133904A KR102390143B1 KR 102390143 B1 KR102390143 B1 KR 102390143B1 KR 1020200133904 A KR1020200133904 A KR 1020200133904A KR 20200133904 A KR20200133904 A KR 20200133904A KR 102390143 B1 KR102390143 B1 KR 102390143B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
hand
glass substrate
fork
pad
industrial robot
Prior art date
Application number
KR1020200133904A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20210052247A (en
Inventor
다카유키 야자와
요시키 시무라
요스케 다카세
위주 왕
Original Assignee
니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
니덱 산쿄 (저장) 코포레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤, 니덱 산쿄 (저장) 코포레이션 filed Critical 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Publication of KR20210052247A publication Critical patent/KR20210052247A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102390143B1 publication Critical patent/KR102390143B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0052—Gripping heads and other end effectors multiple gripper units or multiple end effectors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 유리 기판의 미끄럼을 방지하기 위해 유리 기판과의 마찰력을 증가시킬 수 있는 산업용 로봇의 핸드 및 상기 핸드를 구비하는 산업용 로봇을 제공한다. 유리 기판(2)을 운반하는 산업용 로봇의 핸드(3)는 핸드 포크(6)를 구비하고, 핸드 포크(6)의 제1 포크부(8), 제2 포크부(9) 및 포크 본체(7)의 기단에는 유리 기판(2)의 하면과 접촉하는 환형의 접촉면(12a)를 갖는, 고무 또는 수지로 제조된 패드(12)가 형성된다.The present invention provides a hand of an industrial robot capable of increasing friction with a glass substrate in order to prevent sliding of the glass substrate, and an industrial robot having the hand. The hand 3 of the industrial robot for carrying the glass substrate 2 is provided with a hand fork 6, and the first fork part 8, the second fork part 9 and the fork body ( At the base end of 7), a pad 12 made of rubber or resin having an annular contact surface 12a in contact with the lower surface of the glass substrate 2 is formed.

Description

산업용 로봇의 핸드 및 산업용 로봇{HAND OF INDUSTRIAL ROBOT AND INDUSTRIAL ROBOT}Industrial robot hand and industrial robot

본 발명은 유리 기판을 운반하는 산업용 로봇의 핸드에 관한 것이다. 또한 본 발명은 상기 핸드를 구비하는 산업용 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a hand of an industrial robot that carries a glass substrate. The present invention also relates to an industrial robot having the hand.

특허문헌 1 및 특허문헌 2에는 유리 기판을 운반하는 산업용 로봇의 핸드가 기재되어 있다. 이러한 핸드는 고무 또는 수지로 제조된 복수의 패드를 구비하고, 상기 패드에는 유리 기판의 하면과 접촉하는 구면 형상의 접촉면이 형성된다. Patent document 1 and patent document 2 describe the hand of the industrial robot which conveys a glass substrate. The hand includes a plurality of pads made of rubber or resin, and a spherical contact surface in contact with the lower surface of the glass substrate is formed on the pads.

선행기술 문헌prior art literature

특허문헌 Patent Literature

(특허문헌 1) 일본 특개2015―217509호 공보 (Patent Document 1) Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-217509

(특허문헌 2) 일본 특개2009―141091호 공보 (Patent Document 2) Japanese Patent Laid-Open No. 2009-141091

유리 기판의 미끄럼을 방지하기 위해, 유리 기판과 접촉하는 패드는 유리 기판과의 마찰력을 확보해야 한다. 마찰력 확보 관점에서 보면, 종래 기술의 패드 형상은 개선할 여지가 있다. In order to prevent the glass substrate from sliding, the pad in contact with the glass substrate must secure frictional force with the glass substrate. From the point of view of securing frictional force, the pad shape of the prior art has room for improvement.

본 발명은 상술한 상황을 감안하여 완성된 것으로, 본 발명의 목적은 유리 기판의 미끄럼을 방지하기 위해 유리 기판과의 마찰력을 증가시킬 수 있는 산업용 로봇의 핸드 및 상기 핸드를 구비하는 산업용 로봇을 제공하는 것이다.The present invention has been completed in view of the above situation, and an object of the present invention is to provide a hand of an industrial robot capable of increasing friction with a glass substrate in order to prevent sliding of the glass substrate, and an industrial robot having the hand will do

본 발명에 따른 산업용 로봇의 핸드는 유리 기판을 운반하는 산업용 로봇의 핸드로서, 고무 또는 수지로 제조된 패드를 구비하고, 상기 패드는 상기 유리 기판의 하면과 접촉하는 환형의 접촉면을 갖는다. The hand of the industrial robot according to the present invention is a hand of the industrial robot that transports a glass substrate, and includes a pad made of rubber or resin, and the pad has an annular contact surface in contact with the lower surface of the glass substrate.

본 발명에 따른 산업용 로봇은 상기 핸드를 구비한다.The industrial robot according to the present invention is provided with the hand.

본 발명에 따르면, 유리 기판의 미끄럼을 방지하기 위해 유리 기판과의 마찰력을 증가시킬 수 있는 산업용 로봇의 핸드 및 상기 핸드를 구비하는 산업용 로봇을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide an industrial robot having a hand and the hand of the industrial robot capable of increasing the frictional force with the glass substrate in order to prevent the sliding of the glass substrate.

도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 핸드의 일 실시형태의 핸드(3)를 나타내는 도면으로서, 도 1a는 평면도이고, 도 1b는 측면도이다.
도 2는 도 1a 및 도 1b에 도시된 유리 기판(2)의 구조를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1a의 E 부분의 확대도이다.
도 4는 도 3의 F―F 방향에서 핸드 포크(6)의 선단측 부분을 나타내는 도면이다.
도 5는 도 3의 G 부분의 확대도이다.
도 6은 도 4의 H 부분의 구조를 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 도 5의 VII―VII에 따른 단면도이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 다른 실시형태에 언급된 핸드의 평면도이다.1A and 1B are views showing a hand 3 of an embodiment of a hand according to the present invention, in which FIG. 1A is a plan view and FIG. 1B is a side view.
FIG. 2 is a plan view for explaining the structure of the glass substrate 2 shown in FIGS. 1A and 1B .
3 is an enlarged view of part E of FIG. 1A .
FIG. 4 is a view showing a front end portion of the hand fork 6 in the F-F direction of FIG. 3 .
FIG. 5 is an enlarged view of part G of FIG. 3 .
FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the structure of part H of FIG. 4 .
7 is a cross-sectional view taken along lines VII-VII of FIG. 5 .
8a and 8b are plan views of a hand referred to in another embodiment of the present invention;

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 언급된 실시형태를 설명한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments mentioned in the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 개략적 구조 및 핸드 구조)(Schematic structure and hand structure of industrial robot)

도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 핸드의 일 실시형태의 핸드(3)를 나타내는 도면으로서, 도 1a는 평면도이며, 도 1b는 측면도이다. 도 2는 도 1a 및 도 1b에 도시된 유리 기판(2)의 구조를 설명하기 위한 평면도이다. 도 3은 도 1a의 E 부분의 확대도이다. 도 4는 도 3의 F―F 방향에서 핸드 포크(6)의 선단측 부분을 나타내는 도면이다. 도 5는 도 3의 G 부분의 확대도이다. 도 6은 도 4의 H 부분의 구조를 설명하기 위한 단면도이다. 도 7은 도 5의 VII―VII에 따른 단면도이다. 1A and 1B are views showing a hand 3 of an embodiment of a hand according to the present invention, in which FIG. 1A is a plan view and FIG. 1B is a side view. FIG. 2 is a plan view for explaining the structure of the glass substrate 2 shown in FIGS. 1A and 1B . 3 is an enlarged view of part E of FIG. 1A . FIG. 4 is a view showing a front end portion of the hand fork 6 in the F-F direction of FIG. 3 . FIG. 5 is an enlarged view of part G of FIG. 3 . FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the structure of a portion H of FIG. 4 . 7 is a cross-sectional view taken along lines VII-VII of FIG. 5 .

본 실시형태의 산업용 로봇은 진공 상태에서 유기 EL(electro-luminescence: 전계 발광) 디스플레이용 유리 기판(2)을 운반하는 로봇으로, 유기 EL 디스플레이가 장착된 제조 시스템에 사용된다. 상기 제조 시스템에서는 진공 증착법으로 유기 EL 디스플레이를 제조한다. 산업용 로봇은 증착면이 하측을 향한 상태로 유리 기판(2)을 운반한다. The industrial robot of the present embodiment is a robot that transports a glass substrate 2 for an organic EL (electro-luminescence) display in a vacuum state, and is used in a manufacturing system equipped with an organic EL display. In the above manufacturing system, an organic EL display is manufactured by a vacuum deposition method. The industrial robot transports the glass substrate 2 with the deposition surface facing downward.

유리 기판(2)은 직사각형 판 형상으로 형성된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 유리 기판(2)의 하면은 증착을 진행하는 직사각형 증착 영역(2a)과 증착 영역(2a)의 주변을 둘러싸는 직사각형 프레임 형상의 프레임 영역(2b)(도 2의 사선 부분)으로 구성된다. 프레임 영역(2b)은 유리 기판(2)의 외주 단부의 하면을 구성한다.The glass substrate 2 is formed in a rectangular plate shape. As shown in FIG. 2 , the lower surface of the glass substrate 2 has a rectangular deposition region 2a in which deposition is performed and a rectangular frame-shaped frame region 2b surrounding the periphery of the deposition region 2a (in FIG. 2 ). part of the diagonal line). The frame region 2b constitutes the lower surface of the outer peripheral end of the glass substrate 2 .

또한, 본 실시형태의 산업용 로봇은 대형 유리 기판(2)을 운반하기에 적합한 로봇이다. 상기 산업용 로봇은 유리 기판(2)을 탑재하는 핸드(3), 선단측에 회동 가능하게 핸드(3)가 연결된 암(4)(도 1b 참조) 및 암(4)의 기단측에 회동 가능하게 연결되는 본체부(미도시)를 구비한다. 핸드(3) 및 암(4)은 본체부의 상측에 배치된다. 또한 핸드(3) 및 암(4)은 진공 상태에 배치된다. In addition, the industrial robot of this embodiment is a robot suitable for carrying the large glass substrate 2 . The industrial robot includes a hand 3 for mounting the glass substrate 2, an arm 4 (refer to FIG. 1b) to which the hand 3 is connected so as to be rotatably on the tip side, and a proximal side of the arm 4 rotatably. It has a main body (not shown) to be connected. The hand 3 and the arm 4 are disposed on the upper side of the body part. In addition, the hand 3 and the arm 4 are placed in a vacuum state.

핸드(3)는 암(4)에 연결되는 베이스부(5) 및 유리 기판(2)을 탑재하는 두개의 핸드 포크(6)를 구비한다. 핸드 포크(6)는 두개의 포크 본체(7)를 구비한다. 포크 본체(7)는 가늘고 긴 직선 막대 형상으로 이루어진다. 두개의 포크 본체(7)는 상호 규정된 간격으로 이격된 상태로 평행 배치된다. 또한, 포크 본체(7)의 기단은 베이스부(5)에 고정된다. The hand 3 has a base 5 connected to the arm 4 and two hand forks 6 on which the glass substrate 2 is mounted. The hand fork 6 has two fork bodies 7 . The fork body 7 is formed in the shape of an elongated straight bar. The two fork bodies 7 are arranged in parallel with each other spaced apart from each other at a prescribed interval. Further, the base end of the fork body 7 is fixed to the base portion 5 .

두개의 핸드 포크(6) 중 하나의 핸드 포크(6)의 두개의 포크 본체(7)는 베이스부(5)로부터 수평 방향의 일측으로 돌출된 방식으로 베이스부(5)에 고정되고, 다른 핸드 포크(6)의 두개의 포크 본체(7)는 수평 방향의 일측으로 돌출된 두개의 포크 본체(7)의 반대측을 향해 돌출되는 방식으로 베이스부(5)에 고정된다. The two fork bodies 7 of one hand fork 6 among the two hand forks 6 are fixed to the base part 5 in such a way that they protrude from the base part 5 to one side in the horizontal direction, the other hand The two fork bodies 7 of the fork 6 are fixed to the base part 5 in such a way that they protrude toward the opposite side of the two fork bodies 7 protruding to one side in the horizontal direction.

아래 설명에서, 상하 방향으로 보았을 때 포크 본체(7)의 장변 방향(도 1a의 X 방향)을 좌우 방향으로 설정하고, 상하 방향으로 보았을 때 좌우 방향과 직교하는 방향(도 1a의 Y 방향)을 전후 방향으로 설정한다. 핸드 포크(6)에 탑재되는 유리 기판(2)의 단면은 좌우 방향 또는 전후 방향과 대략 평행이다. In the description below, the long side direction (X direction in Fig. 1A) of the fork body 7 when viewed in the vertical direction is set to the left and right direction, and the direction perpendicular to the left and right direction when viewed in the vertical direction (Y direction in Fig. 1A) is selected Set in the forward and backward direction. The cross section of the glass substrate 2 mounted on the hand fork 6 is substantially parallel to the left-right direction or the front-rear direction.

또한, 핸드 포크(6)는 포크 본체(7)의 선단측에 고정된 복수의 제1 포크부(8) 및 제1 포크부(8)에 고정된 복수의 제2 포크부(9)를 구비한다. 유리 기판(2)은 핸드 포크(6)에서 제1 포크부(8) 및 제2 포크부(9)가 배치된 부분에 탑재된다. 핸드 포크(6)에서 제1 포크부(8) 및 제2 포크부(9)가 배치된 부분의 외형은 유리 기판(2)의 외형보다 약간 크다. In addition, the hand fork 6 includes a plurality of first fork portions 8 fixed to the tip side of the fork body 7 and a plurality of second fork portions 9 fixed to the first fork portion 8 . do. The glass substrate 2 is mounted on a portion of the hand fork 6 where the first fork portion 8 and the second fork portion 9 are disposed. In the hand fork 6 , the outer shape of the portion where the first fork portion 8 and the second fork portion 9 are disposed is slightly larger than that of the glass substrate 2 .

제1 포크부(8)는 두개의 포크 본체(7)로부터 전후 방향의 외측으로 연장되는 방식으로 포크 본체(7)에 고정된다. 또한, 복수의 제1 포크부(8)는 좌우 방향에서 규정 간격으로 이격된 상태로 평행되게 배치된다. 본 실시형태에서, 7개의 제1 포크부(8)는 좌우 방향에서 규정 간격으로 이격된 상태로 배치된다. 하나의 핸드 포크(6)를 구성하는 두개의 포크 본체(7)의 각각에 고정된 복수의 제1 포크부(8)는 각각 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치된다. The first fork portion 8 is fixed to the fork body 7 in such a way that it extends outwardly in the front-rear direction from the two fork bodies 7 . In addition, the plurality of first fork portions 8 are arranged in parallel in a state spaced apart from each other at a prescribed interval in the left-right direction. In the present embodiment, the seven first fork portions 8 are disposed in a state spaced apart from each other at a prescribed interval in the left-right direction. A plurality of first fork portions 8 fixed to each of the two fork bodies 7 constituting one hand fork 6 are respectively disposed at the same position in the left-right direction.

제1 포크부(8)는 평판 형상의 부재를 규정 형상으로 절곡시켜 형성된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 포크부(8)는 가늘고 긴 평판 형상의 기단부(8a), 평판 형상의 경사부(8b) 및 평판 형상의 선단부(8c)로 구성되고, 상기 기단부(8a)는 포크 본체(7)로부터 전후 방향의 외측을 향해 연장되며, 상기 경사부(8b)는 전후 방향의 기단부(8a)의 외측단에 연결되어 전후 방향의 외측으로 갈수록 상방을 향하는 방식으로 경사지고, 상기 선단부(8c)는 경사부(8b)의 상단에 연결되어 전후 방향의 외측을 향해 연장된다. The first fork portion 8 is formed by bending a plate-shaped member into a prescribed shape. As shown in Fig. 4, the first fork portion 8 is composed of a proximal end 8a in the shape of an elongated flat plate, an inclined portion 8b in the shape of a flat plate, and a tip portion 8c in the shape of a flat plate, and the base end 8a ) extends outward in the front-rear direction from the fork body 7, and the inclined portion 8b is connected to the outer end of the proximal end 8a in the front-rear direction and is inclined in an upward direction toward the outside in the front-rear direction. , the tip portion 8c is connected to the upper end of the inclined portion 8b and extends outward in the front-rear direction.

제2 포크부(9)는 가늘고 긴 평판 형상으로 형성된다. 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 포크부(9)는 하나의 핸드 포크(6)에서 좌우 방향의 최외측에 배치된 제1 포크부(8)로부터 좌우 방향의 외측을 향해 연장되는 방식으로 제1 포크부(8)에 고정된다. The second fork part 9 is formed in the shape of an elongated flat plate. As shown in FIG. 3 , the second fork part 9 extends outward in the left-right direction from the first fork part 8 disposed on the outermost side in the left-right direction in one hand fork 6 . It is fixed to the first fork part (8).

즉, 하나의 핸드 포크(6)에서, 제2 포크부(9)는 좌우 방향외 최외측에 배치된 4개의 제1 포크부(8) 각각에 고정된다. 구체적으로, 복수의 제2 포크부(9)는 4개의 제1 포크부(8) 각각에 고정된다. 또한, 4개의 제1 포크부(8) 각각에 고정된 복수의 제2 포크부(9)는 전후 방향에서 규정 간격으로 이격된 상태로 평행 배치된다. 본 실시형태에서, 4개의 제1 포크부(8) 각각에는 두개의 제2 포크부(9)가 고정된다. 하나의 핸드 포크(6)에서 좌우 방향의 최외측에 배치된 제1 포크부(8) 각각에 고정된 복수의 제2 포크부(9)는 전후 방향에서 각가 동일한 위치에 배치된다. That is, in one hand fork 6 , the second fork portion 9 is fixed to each of the four first fork portions 8 disposed outwardly in the left-right direction. Specifically, the plurality of second fork portions 9 are fixed to each of the four first fork portions 8 . In addition, a plurality of second fork portions 9 fixed to each of the four first fork portions 8 are arranged in parallel in a state spaced apart from each other at a predetermined interval in the front-rear direction. In this embodiment, two second fork portions 9 are fixed to each of the four first fork portions 8 . A plurality of second fork portions 9 fixed to each of the first fork portions 8 arranged on the outermost side in the left-right direction in one hand fork 6 are respectively arranged at the same position in the front-rear direction.

복수의 제1 포크부(8)의 선단부(8c)의 선단측(전후 방향의 외측단 측) 및 복수의 제2 포크부(9)의 선단측(좌우 방향의 외측단 측) 중 각측에는 패드(12)가 장착되고, 상기 패드(12)에는 유리 기판(2)의 하면과 접촉하는 접촉면(12a)(도 5, 6을 참조)이 형성된다. A pad is provided on each side of the tip side (outer end side in the front-rear direction) of the front end portion 8c of the plurality of first fork portions 8 and the front end side (outer side end side in the left-right direction) of the plurality of second fork portions 9 . 12 is mounted, and a contact surface 12a (refer to FIGS. 5 and 6 ) in contact with the lower surface of the glass substrate 2 is formed on the pad 12 .

구체적으로, 블록 형상으로 이루어진 패드 유지 부재(13)는 복수의 제1 포크부(8)의 선단부(8c)의 선단측 및 복수의 제2 포크부(9)의 선단측의 각 상면에 고정되고, 패드(12)는 상기 패드 유지 부재(13)에 고정된다. Specifically, the pad holding member 13 made of a block shape is fixed to each of the upper surfaces of the tip side of the tip portion 8c of the plurality of first fork portions 8 and the tip side of the plurality of second fork portions 9, and , the pad 12 is fixed to the pad holding member 13 .

즉, 복수의 제1 포크부(8)의 선단부(8c)의 선단측 및 복수의 제2 포크부(9)의 선단측의 각 상면에는, 패드 유지 부재(13)를 통해 패드(12)가 장착된다. 또한, 두개의 포크 본체(7) 각각의 상면에도, 패드 유지 부재(13)를 통해 패드(12)가 장착된다. 포크 본체(7)에 장착된 패드(12)는 전후 방향에서 제2 포크부(9)의 선단측에 장착된 패드(12)와 동일한 위치에 배치된다. That is, on each upper surface of the tip side of the tip portion 8c of the plurality of first fork portions 8 and the tip side of the plurality of second fork portions 9 , the pad 12 is provided via the pad holding member 13 . is mounted Also, on the upper surface of each of the two fork bodies 7 , the pad 12 is mounted through the pad holding member 13 . The pad 12 mounted on the fork body 7 is disposed at the same position as the pad 12 mounted on the tip side of the second fork part 9 in the front-rear direction.

(패드의 세부 구조)(Detailed structure of the pad)

패드(12)는 고무로 형성된다. 구체적으로, 패드(12)는 불소 고무로 형성된다. 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 패드(12)는 상기 접촉면(12a)이 형성된 접촉부(12b) 및 패드 유지 부재(13)에 의해 유지되는 유지부(12c)를 구비한다. The pad 12 is formed of rubber. Specifically, the pad 12 is formed of fluororubber. As shown in FIG. 6 , the pad 12 includes a contact portion 12b on which the contact surface 12a is formed and a holding portion 12c held by the pad holding member 13 .

도 5에 도시된 바와 같이, 접촉부(12b)의 평면 형상은 원형이다. 접촉부(12b)의 유리 기판(2) 측 표면은 곡면(12e), 접촉면(12a) 및 곡면(12f)으로 구성되고, 상기 곡면(12e)에서 중심에 형성된 평면 형상은 원형이며 또한 하방으로 볼록한 볼록 형상이고, 상기 접촉면(12a)은 곡면(12e)의 반경 방향 외측의 일단으로부터 연장되는 원환상의 평면으로 구성되며, 상기 곡면(12f)은 접촉면(12a)의 반경 방향 외측단과 접촉부(12b)의 반경 방향 외측의 측면을 연결한다. As shown in Fig. 5, the planar shape of the contact portion 12b is circular. The glass substrate 2 side surface of the contact portion 12b is composed of a curved surface 12e, a contact surface 12a, and a curved surface 12f, and the planar shape formed at the center of the curved surface 12e is circular and downwardly convex. shape, and the contact surface 12a is composed of an annular plane extending from the radially outer end of the curved surface 12e, and the curved surface 12f includes the radially outer end of the contact surface 12a and the contact portion 12b. Connect the radially outer sides.

이와 같이, 접촉부(12b)는 접촉부(12b)의 유리 기판(2) 측 표면에서 접촉면(12a)이 유리 기판(2) 측에 가장 근접된 구조가 된다. 따라서, 도 6에 도시된 바와 같이, 유리 기판(2)은 원환상의 접촉면(12a)과 접촉한 상태에서 패드(12)에 탑재된다. In this way, the contact portion 12b has a structure in which the contact surface 12a is closest to the glass substrate 2 side on the glass substrate 2 side surface of the contact portion 12b. Accordingly, as shown in Fig. 6, the glass substrate 2 is mounted on the pad 12 in a state in contact with the annular contact surface 12a.

접촉면(12a)의 표면은 텍스처 가공된다. 즉, 접촉면(12a)의 표면은 요철을 형성하는 패턴을 갖는 구조이다. 이로부터 유리 기판(2)과 패드(12) 사이의 마찰 계수가 비교적 크다. 이 밖에, 접촉면(12a)의 표면은 평탄면으로 텍스처 가공되지 않은 면일 수도 있다. The surface of the contact surface 12a is textured. That is, the surface of the contact surface 12a has a structure having a pattern for forming irregularities. From this, the coefficient of friction between the glass substrate 2 and the pad 12 is relatively large. In addition, the surface of the contact surface 12a may be a surface that is not textured as a flat surface.

도 5에 도시된 바와 같이, 접촉부(12b)의 유리 기판(2) 측의 표면에는 반경 방향으로 연장되는 3개의 슬롯(12s)이 형성된다. 3개의 슬롯(12s)은 접촉부(12b)의 원주 방향에서 등간격으로 배치된다. 각 슬롯(12s)은 곡면(12f)을 시작점으로 접촉면(12a)을 가로 질러 곡면(12e)으로 연장되는 직선 형상이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 각 슬롯(12s)은 유리 기판(2) 측의 표면에 형성되고 상하 방향에서 접촉부(12b)를 관통하지 않는다. 이 밖에, 본 실시형태에서, 접촉부(12b)에 형성된 슬롯 수는 3개이나 1개, 2개일 수도 있고, 4개 이상일 수도 있다. 또한, 슬롯(12s)도 곡면(12f) 또는 곡면(12e)에 설치되지 않을 수도 있으며, 적어도 접촉면(12a)에 형성되기만 하면 된다. As shown in Fig. 5, three slots 12s extending in the radial direction are formed on the surface of the contact portion 12b on the glass substrate 2 side. The three slots 12s are arranged at equal intervals in the circumferential direction of the contact portion 12b. Each slot 12s has a straight shape extending to the curved surface 12e across the contact surface 12a from the curved surface 12f as a starting point. As shown in Fig. 7, each slot 12s is formed on the surface of the glass substrate 2 side and does not penetrate the contact portion 12b in the vertical direction. In addition, in the present embodiment, the number of slots formed in the contact portion 12b may be three, one, two, or four or more. In addition, the slot 12s may not be provided on the curved surface 12f or the curved surface 12e, and may only be formed on the contact surface 12a at least.

도 6에 도시된 바와 같이, 유지부(12c)는 대략 원통 형상으로 형성되고, 접촉부(12b)는 유지부(12c)의 상단에 연결된다. 유지부(12c)는 패드 유지 부재(13)에 형성된 패드 유지홀(13a)로 가압된다. 유지부(12c)의 하단측에는, 유지부(12c)의 반경 방향 외측으로 확장되는 방식으로 패드(12)가 패드 유지홀(13a)로부터 이탈되는 것을 방지하는 이탈 방지부(12d)가 형성된다.As shown in FIG. 6 , the holding part 12c is formed in a substantially cylindrical shape, and the contact part 12b is connected to the upper end of the holding part 12c. The holding part 12c is pressed by the pad holding hole 13a formed in the pad holding member 13 . At the lower end of the holding part 12c, a separation preventing part 12d for preventing the pad 12 from being separated from the pad holding hole 13a is formed in a manner extending outward in the radial direction of the holding part 12c.

(본 실시형태의 주요 효과)(Main effect of this embodiment)

핸드(3)에 따르면, 패드(12) 중 유리 기판(2)과 접촉하는 접촉면(12a)은 원환상이다. 따라서, 유리 기판(2)과 접촉하는 접촉면의 형상이 구형 구조인 것에 비해, 패드(12)와 유리 기판(2)의 접촉 면적을 증가시킬 수 있으며, 그 결과 패드(12)와 유리 기판(2)의 마찰력을 증가시켜 유리 기판(2)의 미끄럼을 방지할 수 있다. 또한, 상기 접촉 면적을 증가시킬 수 있으므로 기존에 비해 핸드 포크(6)에 설치되는 패드(12)의 총 개수를 감소시킬 수 있어 제조 비용을 줄일 수 있다. According to the hand 3, the contact surface 12a of the pad 12 in contact with the glass substrate 2 is annular. Therefore, compared to the shape of the contact surface contacting the glass substrate 2 having a spherical structure, the contact area between the pad 12 and the glass substrate 2 can be increased, and as a result, the pad 12 and the glass substrate 2 can be increased. ) by increasing the friction force of the glass substrate 2 can be prevented from sliding. In addition, since the contact area can be increased, the total number of pads 12 installed on the hand fork 6 can be reduced compared to the conventional one, thereby reducing manufacturing cost.

또한, 핸드(3)에 따르면, 패드(12)의 접촉면(12a)은 텍스처 가공되며, 따라서 접촉면(12a)과 유리 기판(2) 사이에 많은 미세 공기층을 형성할 수 있다. 상기 공기층의 존재로 인해 패드(12)와 유리 기판(2)의 접착을 방지할 수 있다. Further, according to the hand 3 , the contact surface 12a of the pad 12 is textured, so that a large number of fine air layers can be formed between the contact surface 12a and the glass substrate 2 . Due to the presence of the air layer, adhesion between the pad 12 and the glass substrate 2 can be prevented.

또한, 핸드(3)에 따르면, 패드(12)의 접촉면(12a)에는 적어도 하나의 슬롯(12s)이 형성된다. 상기 슬롯(12s)을 통해 접촉면(12a)과 유리 기판(2) 사이에 공기층을 형성할 수도 있다. 따라서, 패드(12)와 유리 기판(2) 사이의 접착을 방지할 수 있다. Further, according to the hand 3 , at least one slot 12s is formed in the contact surface 12a of the pad 12 . An air layer may be formed between the contact surface 12a and the glass substrate 2 through the slot 12s. Accordingly, adhesion between the pad 12 and the glass substrate 2 can be prevented.

또한, 도 5의 예에서, 슬롯(12s)은 원주 방향에서 등간격으로 형성되므로 상기 공기층 역시 원주 방향에서 등간격으로 형성되어 유리 기판(2)의 접착 방지 효과를 향상시킬 수 있다. 또한, 슬롯(12s)은 접촉부(12b)의 표면에 형성되는데, 접촉부(12b)를 관통하지 않는다. 따라서, 패드(12)의 강도를 감소시키지 않으면서 상기 효과를 얻을 수 있다. In addition, in the example of FIG. 5 , since the slots 12s are formed at equal intervals in the circumferential direction, the air layers are also formed at equal intervals in the circumferential direction to improve the adhesion prevention effect of the glass substrate 2 . In addition, the slot 12s is formed on the surface of the contact portion 12b, but does not penetrate through the contact portion 12b. Accordingly, the above effect can be obtained without reducing the strength of the pad 12 .

(다른 실시형태)(Other embodiment)

상술한 실시형태는 본 발명에 따른 가장 바람직한 실시형태의 일례이나 이에 한정되지 않으며 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 실시를 실행할 수 있다. 예를 들어, 접촉면(12a)은 원환상이지만, 환형이기만 하면 동일한 효과를 획득할 수 있다. 예를 들어 접촉면(12a)은 타원형, 직사각형, 오각형 이상의 프레임 형상 등일 수 있다. 하지만, 접촉면(12a)을 원환상으로 설정함으로써 제조 비용의 증가를 방지할 수 있다. The above-described embodiment is an example of the most preferred embodiment according to the present invention, but it is not limited thereto, and various modifications can be made without changing the gist of the present invention. For example, although the contact surface 12a is annular, the same effect can be obtained as long as it is annular. For example, the contact surface 12a may have an elliptical, rectangular, or pentagonal or more frame shape. However, by setting the contact surface 12a in an annular shape, an increase in manufacturing cost can be prevented.

상기 실시형태에서, 핸드(3)는 베이스부(5), 두개의 포크 본체(7), 복수의 제1 포크부(8) 및 복수의 제2 포크부(9)로 구성된다. 이 밖에, 예를 들어, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 핸드(3)는 암(4)에 연결되는 베이스부(25) 및 베이스부(25)로부터 수평 방향의 일측으로 연장되는 복수의 포크(26)(예를 들어, 4개의 포크(26))로 구성될 수도 있다. 이 경우, 도 8a에 도시된 바와 같이, 유리 기판(2)의 전체 하면을 지지하도록, 복수의 패드(12)를 포크(26)의 상면에 장착할 수 있으며, 도 8b에 도시된 바와 같이, 유리 기판(2) 하면의 4개 모서리 부분을 지지하도록, 4개의 패드(12)를 포크(26)의 상면에 장착할 수도 있다. In the above embodiment, the hand 3 is composed of a base portion 5 , two fork bodies 7 , a plurality of first fork portions 8 and a plurality of second fork portions 9 . In addition, for example, as shown in FIGS. 8A and 8B , the hand 3 includes a base part 25 connected to the arm 4 and a plurality of base parts extending from the base part 25 to one side in the horizontal direction. It may consist of a fork 26 (eg, four forks 26). In this case, as shown in Fig. 8a, a plurality of pads 12 can be mounted on the upper surface of the fork 26 to support the entire lower surface of the glass substrate 2, and as shown in Fig. 8b, The four pads 12 may be mounted on the upper surface of the fork 26 so as to support the four corners of the lower surface of the glass substrate 2 .

상기 실시형태에서, 패드(12)는 고무로 형성되나, 패드(12)는 고무 이외의 재료로 형성될 수 있으며, 단지 유리 기판(2)의 표면을 커버하는 코팅제보다 부드러운 재료로 패드(12)를 형성하기만 하면(즉, 패드(12)가 유리 기판(2)의 표면 코팅층을 긁지 않으면) 된다. 예를 들어, 패드(12)는 폴리에텔에텔케톤(PEEK)과 같은 수지로 형성될 수 있다. In the above embodiment, the pad 12 is formed of rubber, however, the pad 12 may be formed of a material other than rubber, and the pad 12 is only made of a material softer than a coating agent covering the surface of the glass substrate 2 . (ie, the pad 12 does not scratch the surface coating layer of the glass substrate 2). For example, the pad 12 may be formed of a resin such as polyether ether ketone (PEEK).

상기 실시형태에서, 산업용 로봇은 유기 EL 디스플레이용 유리 기판(2)을 운반하나, 산업용 로봇은 액정 디스플레이용 유리 기판 등 다른 유리 기판도 운반할 수 있다. 또한, 상기 실시형태에서, 산업용 로봇은 진공 상태에서 유리 기판(2)을 운반하나, 산업용 로봇은 또한 대기 중에서 유리 기판(2)을 운반할 수도 있다. 대기 중에서 유리 기판(2)을 운반하는 경우, 유리 기판(2)을 흡착하는 흡착 패드를 핸드(3)의 상면에 설치할 수도 있다. In the above embodiment, the industrial robot transports the glass substrate 2 for organic EL display, but the industrial robot can also transport other glass substrates such as a glass substrate for liquid crystal display. Further, in the above embodiment, the industrial robot transports the glass substrate 2 in a vacuum state, but the industrial robot may also transport the glass substrate 2 in the atmosphere. When the glass substrate 2 is transported in the air, a suction pad for adsorbing the glass substrate 2 may be provided on the upper surface of the hand 3 .

또한, 본 발명에서, 유리 기판(2)에 대한 핸드 포크(6)의 유지력은 패드(12)의 작용에 의해 향상될 수 있으므로, 흡착 패드가 핸드(3)의 상면에 설치되는 경우에도, 흡착 패드의 수를 줄일 수 있다. Further, in the present invention, since the holding force of the hand fork 6 with respect to the glass substrate 2 can be improved by the action of the pad 12, even when the suction pad is installed on the upper surface of the hand 3, the suction The number of pads can be reduced.

상술한 바와 같이, 본 명세서에는 다음과 같은 사항이 개시된다.As described above, the present specification discloses the following.

(1) 유리 기판을 운반하는 산업용 로봇의 핸드로서, 상기 핸드는 고무 또는 수지로 제조된 패드를 구비하고, 상기 패드는 상기 유리 기판의 하면과 접촉하는 환형의 접촉면을 갖는다. (1) A hand of an industrial robot for transporting a glass substrate, wherein the hand has a pad made of rubber or resin, and the pad has an annular contact surface in contact with a lower surface of the glass substrate.

(1) 에 따르면, 유리 기판과 접촉하는 접촉면이 환형이므로 유리 기판과의 마찰력을 증가시킬 수 있고, 유리 기판의 미끄럼을 방지할 수 있다. 또한, 접촉면을 증가시킬 수 있으므로 패드의 수를 감소시켜 제조 비용을 줄일 수 있다. According to (1), since the contact surface in contact with the glass substrate is annular, the frictional force with the glass substrate can be increased, and the sliding of the glass substrate can be prevented. In addition, since the contact surface can be increased, the number of pads can be reduced, thereby reducing the manufacturing cost.

(2) (1)에 기재된 핸드에 따르면, 상기 접촉면은 텍스처 가공된다. (2) According to the hand described in (1), the contact surface is textured.

(2)에 따르면, 유리 기판과 접촉면 사이에 공기층이 형성되므로 유리 기판과 패드의 접착을 방지할 수 있다. According to (2), since an air layer is formed between the glass substrate and the contact surface, adhesion between the glass substrate and the pad can be prevented.

(3) (1)에 기재된 핸드에 따르면, 상기 접촉면에는 슬롯이 형성된다. (3) According to the hand described in (1), a slot is formed in the contact surface.

(3)에 따르면, 유리 기판과 접촉면 사이에 공기층이 형성되므로 유리 기판과 패드의 접착을 방지할 수 있다. According to (3), since an air layer is formed between the glass substrate and the contact surface, adhesion between the glass substrate and the pad can be prevented.

(4) (3)에 기재된 핸드에 따르면, 상기 접촉면에는 복수의 상기 슬롯이 형성된다. (4) According to the hand described in (3), a plurality of the slots are formed on the contact surface.

(4)에 따르면, 유리 기판과 패드의 접착을 더욱 강력하게 방지할 수 있다. According to (4), adhesion between the glass substrate and the pad can be prevented more strongly.

(5) (4)에 기재된 핸드에 따르면, 복수의 상기 슬롯은 상기 접촉면에서 등간격으로 형성된다. (5) According to the hand described in (4), a plurality of the slots are formed at equal intervals on the contact surface.

(5)에 따르면, 유리 기판과 접촉면 사이의 공기층을 등간격으로 형성함으로써 유리 기판과 패드의 접착을 더욱 강력하게 방지할 수 있다. According to (5), the adhesion between the glass substrate and the pad can be more strongly prevented by forming the air layer between the glass substrate and the contact surface at equal intervals.

(6) (3)에 기재된 핸드에 따르면, 상기 슬롯은 상기 접촉면의 표면에 형성된다. (6) According to the hand described in (3), the slot is formed in the surface of the contact surface.

(6)에 따르면, 패드의 내구성을 향상시킬 수 있다. According to (6), the durability of the pad can be improved.

(7) (1)에 기재된 핸드에 따르면, 상기 접촉면은 원환상이다. (7) According to the hand described in (1), the contact surface is annular.

(7)에 따르면, 쉽게 제조할 수 있다. According to (7), it can be easily manufactured.

(8) 산업용 로봇으로서, (1) 내지 (7) 중 어느 한 항에 따른 핸드를 구비한다. (8) An industrial robot, comprising the hand according to any one of (1) to (7).

(8)에 따르면, 고효율로 정확히 유리 기판의 운반을 진행할 수 있다.According to (8), it is possible to accurately convey the glass substrate with high efficiency.

2a: 증착 영역
2b: 프레임 영역
2: 유리 기판
3: 핸드
4: 암
5, 25: 베이스부
6: 핸드 포크
7: 포크 본체
8a: 기단부
8b: 경사부
8c: 선단부
8: 제1 포크부
9: 제2 포크부
12a: 접촉면
12b: 접촉부
12c: 유지부
12d: 방지부
12e, 12f: 곡면
12s: 슬롯
12: 패드
13a: 패드 유지홀
13: 패드 유지 부재
26: 포크2a: deposition area
2b: frame area
2: Glass substrate
3: hand
4: Cancer
5, 25: base part
6: hand fork
7: Fork body
8a: proximal end
8b: inclined part
8c: tip
8: first fork part
9: 2nd fork part
12a: contact surface
12b: contact
12c: holding part
12d: protection
12e, 12f: curved surface
12s: slot
12: pad
13a: pad holding hole
13: pad holding member
26: fork

Claims (8)

유리 기판을 운반하는 산업용 로봇의 핸드이며,
고무 또는 수지로 제조된 패드를 구비하고,
상기 패드는 상기 유리 기판의 하면과 접촉하는 환형의 접촉면을 갖고,
상기 접촉면에는 슬롯이 형성되고,
상기 슬롯은 상기 접촉면의 표면에 형성되고,
상기 슬롯은 상기 접촉면이 형성된 접촉부를 관통하지 않는 것을 특징으로 하는 핸드.It is the hand of the industrial robot that carries the glass substrate,
Provided with a pad made of rubber or resin,
The pad has an annular contact surface in contact with the lower surface of the glass substrate,
A slot is formed in the contact surface,
The slot is formed on the surface of the contact surface,
The hand, characterized in that the slot does not penetrate through the contact portion on which the contact surface is formed. 제1항에 있어서,
상기 접촉면은 텍스처 가공되는 것을 특징으로 하는 핸드.The method of claim 1,
The hand, characterized in that the contact surface is textured. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 접촉면에는 복수의 상기 슬롯이 형성되는 것을 특징으로 하는 핸드.The method of claim 1,
A hand, characterized in that the plurality of slots are formed on the contact surface. 제4항에 있어서,
복수의 상기 슬롯은 상기 접촉면에서 등간격으로 형성되는 것을 특징으로 하는 핸드.5. The method of claim 4,
A hand, characterized in that the plurality of slots are formed at equal intervals on the contact surface. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 접촉면은 원환상인 것을 특징으로 하는 핸드.The method of claim 1,
The hand, characterized in that the contact surface is annular. 산업용 로봇이며,
제1항, 제2항, 제4항, 제5항 및 제7항 중 어느 한 항에 따른 핸드를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.industrial robot,
An industrial robot comprising the hand according to any one of claims 1, 2, 4, 5 and 7.
KR1020200133904A 2019-10-30 2020-10-16 Hand of industrial robot and industrial robot KR102390143B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201921843460.5U CN211137181U (en) 2019-10-30 2019-10-30 Hand of industrial robot and industrial robot
CN201921843460.5 2019-10-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210052247A KR20210052247A (en) 2021-05-10
KR102390143B1 true KR102390143B1 (en) 2022-04-25

Family

ID=71772932

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200133904A KR102390143B1 (en) 2019-10-30 2020-10-16 Hand of industrial robot and industrial robot

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR102390143B1 (en)
CN (1) CN211137181U (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006510559A (en) * 2002-12-17 2006-03-30 アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド End effector assembly for substrate support
KR101251024B1 (en) 2011-03-02 2013-04-05 (주)에스에스이엔지 Adhesive pad and robot for moving the substrate having the same
KR101334595B1 (en) 2012-02-21 2013-11-29 (주)나린테크 Pad for transfer robot and transfer robot having the same

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090003979A1 (en) * 2007-06-29 2009-01-01 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Techniques for handling substrates
KR101441317B1 (en) * 2012-01-10 2014-09-18 씨에스텍 주식회사 Pick pad for wafer
JP6186124B2 (en) * 2012-12-14 2017-08-23 東京応化工業株式会社 Transfer arm, transfer device, and transfer method

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006510559A (en) * 2002-12-17 2006-03-30 アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド End effector assembly for substrate support
KR101251024B1 (en) 2011-03-02 2013-04-05 (주)에스에스이엔지 Adhesive pad and robot for moving the substrate having the same
KR101334595B1 (en) 2012-02-21 2013-11-29 (주)나린테크 Pad for transfer robot and transfer robot having the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210052247A (en) 2021-05-10
CN211137181U (en) 2020-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4873895B2 (en) Method and apparatus for transporting flat plate-like conveyed product
TWI716399B (en) Method for forming vapor deposition pattern, press-fitting part with integrated press plate, vapor deposition device and method for manufacturing organic semiconductor element
US10797029B2 (en) Structure with micro device
JP2007067334A (en) Manufacturing method of semiconductor device and manufacturing device used for executing the same
KR20140139667A (en) A side roller and substrate transport device comprising the same
KR102390143B1 (en) Hand of industrial robot and industrial robot
KR20190122281A (en) Method of attaching substrate and apparatus for attaching substatr
JPWO2017164294A1 (en) Peeling device
US10497605B2 (en) Substrate carrier
KR100968725B1 (en) Blade for transferring substrate and apparatus for transferring substrate
US20130199242A1 (en) Method of manufacturing a liquid crystal display element
CN105035761B (en) The transport method and carrying device of brittle material substrate
CN107799449A (en) Substrate transports clip and substrate transfer method adopted therein
CN201027061Y (en) Bearing structure of glass substrates
KR102294719B1 (en) Hand for industrial robot and industrial robot
JP2009256029A (en) Conveyance device for tabular member and conveyance method for tabular plate-like member
KR20190000145U (en) Blade for transferring wafer
WO2015174256A1 (en) Hand for industrial robot and industrial robot
KR100420177B1 (en) Vacuum pad for picking up ball grid array package
CN209775780U (en) Laminating device
JP2000133694A (en) Substrate transporting arm
TWM640890U (en) Substrate Alignment Device
TW201930167A (en) Substrate sucking device capable of sucking substrate with less leakage
JP2004179580A (en) Carrier for plate-shaped member
JP6275304B2 (en) Brittle material substrate transfer head

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant