KR101325337B1 - 수평 전주장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전해반응에 의하여 금속박을 제조하는 수평 셀(cell) 전주장치에 관한 것으로서,
애노드 전극 및 상기 애노드 전극과 일정한 간격으로 이격되어 일 방향으로 수평 공급되며 캐소드 전극으로 기능하는 전도성 모판에 전류를 공급하는 전류 공급장치를 포함하며, 상기 애노드 전극은 상기 전도성 모판의 폭 방향에 대하여 중심부에서 가장자리를 향해 두께가 감소하는 구조를 갖는 것인 수평 전주장치를 제공한다.

Description

수평 전주장치{Metal Foil Manufacturing Apparatus Comprising Perpendicular Type Cell}

본 발명은 수평 전주장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 폭 방향으로 균일한 전류 밀도를 제공하기 위한 수평 전주장치에 관한 것이다.

전주 방법에 의해 금속박을 생산하는 가장 보편화된 방법은 드럼 셀을 이용하는 것이다. 상기 드럼 셀 전주장치는 회전하는 드럼상의 캐소드 전극과 상기 캐소드 전극의 원주 형상에 대향하여 굴곡지게 배치된 애노드 전극 및 상기 캐소드 전극과 애노드 전극 사이에 하방향에서 전해액을 공급하는 전해액 공급 수단을 구비하고, 전해액 중의 금속이온의 전해 석출에 의해 드럼 표면에 전착된 금속박을 회전 캐소드 전극으로부터 연속적으로 박리함으로써 금속박을 얻도록 구성되어 있다.

전주방법에 의해 금속박의 생산하는 프로세스의 효율성을 확보하기 위해서는 높은 전류 밀도를 갖는 것이 필요하다. 한편, 전류 밀도가 임계치에 도달하면 얻어지는 금속박은 검은 색을 갖게 되어 불량이 발생하게 된다. 따라서, 고품질의 금속박을 얻으면서 생산성을 향상시키기 위해서는 전류 밀도를 높이면서 금속 이온을 모판 표면에 고속으로 충분히 공급하는 것이 필요하다. 이와 같은 전해액의 고속 공급을 위해서는 강제 대류를 이용하여 용액의 공급 속도를 크게 할 필요가 있다.

캐소드 전극인 모판과 애노드 전극 사이에 인가된 전류에 의하여 두 전극 사이에 공급된 전해액의 금속이온이 전해반응에 의해 모판 표면에 전해 석출되는데, 이때 전해 석출량은 인가된 전류 밀도에 의하여 결정된다. 그러나, 전해액이 일부 영역에 집중됨으로 인해 국부적으로 높은 전류 밀도가 형성되는 경우, 전착된 금속박의 두께에 편차를 발생시켜 금속박의 품질을 저하시킨다.

상기의 문제점을 해결하기 위해서는 양극과 음극 사이의 전류 밀도를 균일하게 하는 것이 요구된다. 일본특허공개공보 제1992-036489호에는 캐소드 드럼의 원주 형상을 따라 폭 방향으로 다수개의 분할된 애노드 전극을 구비하고, 이들 분할 애노드 전극을 전극별로 개별 제어하여 드럼 폭 방향으로의 전류밀도 균일화를 도모하는 기술을 개시하고 있다.

그러나, 폭 방향 양 끝단에서 전류 밀도가 집적되어 과 전류 밀도를 형성하여 폭 방향 전체에 대한 전류 밀도 균일화를 얻기가 용이하지 않다. 또한, 위 특허문헌에서와 같이 폭 방향으로 분할된 애노드 전극에 공급하는 전류를 개별적으로 제어하는 경우, 장치적으로 복잡하며, 유지 및 보수 등에 많은 수고를 요구하여 경제적이지 않다.

본 발명의 각 구현예에 의해, 양극과 음극 사이에 형성되는 전류 밀도를 모판의 폭 방향으로 균일화시킴으로써 폭 방향으로 균일한 전해 석출 반응을 유도하여 균일한 조성, 균일한 표면 및 균일한 두께를 가지는 금속박을 제조할 수 있는 수평 전주장치를 제공하고자 한다.

본 발명의 다른 구현예에 따르면, 양극과 음극 사이에 형성되는 전류 밀도를 모판의 진행 방향으로 균일화시킴으로써 모판 진행 방향으로 균일한 전해 석출 반응을 유도하여, 균일한 조성, 균일한 표면 및 균일한 두께를 가지는 금속박을 제조할 수 있는 수평 전주장치를 제공하고자 한다.

본 발명은 상기 전도성 모판의 표면에 전해액에 포함된 금속이온이 전해 석출되어 형성된 전착층을 박리하여 금속박을 제조하는 수평 전주장치에 관한 것으로서, 애노드 전극 및 상기 애노드 전극과 일정한 간격으로 이격되어 일 방향으로 수평 공급되며 캐소드 전극으로 기능하는 전도성 모판에 전류를 공급하는 전류 공급장치를 포함하며, 상기 애노드 전극은 상기 전도성 모판의 폭 방향에 대하여 중심부에서 가장자리를 향해 두께가 감소하는 구조를 갖는다.

본 발명의 다른 구현예에 따르면, 상기 애노드 전극의 두께는 중심부에서 가장자리를 향해 연속적으로 감소하는 구조를 가질 수 있다.

본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 애노드 전극의 두께는 모판의 폭 방향에 대하여 중심부에서 가장자리를 향해 연속적으로 감소하되, 곡률을 갖는 것일 수 있다.

본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 애노드 전극은 모판의 폭 방향으로 복수로 분할되어 있는 분할 전극일 수 있다.

본 발명의 또 다른 일 구현예에 따르면, 상기 분할 전극은 각 전극별로 전극의 크기가 상이한 것일 수 있다.

나아가, 본 발명의 또 다른 구현예에 따르면, 상기 분할 전극은 각 전극별로 상이한 전류가 공급될 수 있다.

그리고, 본 발명의 다른 일 구현예에 따르면, 상기 애노드 전극은 모판의 진행 방향으로 복수로 분할되어 있는 분할 전극일 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 일 구현예에 따르면, 상기 모판 진행방향으로 복수로 분할되어 있는 분할 전극은 각 전극별로 전극의 크기가 상이한 것일 수 있다.

나아가, 본 발명의 다른 일 구현예에 따르면, 상기 모판 진행방향으로 복수로 분할되어 있는 분할 전극은 각 전극별로 상이한 전류가 공급될 수 있다.

본 발명의 일 구현예에 따른 수평 전주장치에 의해, 폭 방향으로 균일한 조성, 균일한 표면 및 균일한 두께를 가지는 금속박을 고속으로 생산할 수 있다.

또, 본 발명의 일 구현예에 따른 수평 전주장치에 의해, 폭 방향으로 형성되는 불균일 전류 밀도를 구조적으로 방지할 수 있어 우수한 품질의 금속박을 얻을 수 있으며, 동시에 생산성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 일 구현예에 따른 수평 전주장치에 의해, 폭 방향 가장자리에 발생하는 두께 불균일을 방지할 수 있어, 가장자리에 전착을 방지하기 위한 마스크(mask) 등의 설비를 불필요로 할 수 있다.

나아가, 본 발명의 일 구현예에 따르면, 모판의 진행 방향으로도 전류밀도를 제어할 수 있어, 전체적으로 균일한 전착층 형성을 도모할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 구현예에 따른 수평 전주장치의 수평 셀을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 구현예에 따른 애노드 전극을 나타내는 것으로서, 모판 폭 방향으로 분할되고, 중심부에서 가장자리 방향으로 두께가 감소하는 분할전극의 일 예를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 구현예에 따른 애노드 전극을 포함하는 수평 전주장치의 수평 셀을 개략적으로 나타낸 도면으로서, 애노드 전극이 모판 진행방향으로 분할되어 있는 분할전극을 포함하는 수평 전주장치에 대한 도면이다.
도 4는 도 2의 분할전극이 설치된 수평 셀을 포함하는 수평 전주장치와 종래의 드럼 셀을 포함하는 드럼형 전주장치를 사용하였을 때의 전류밀도 분포 변화를 나타내는 그래프이다.

본 발명은 전주방법에 의해 금속박을 제조하기 위한 수평 셀 전주장치에 관한 것이다. 특히, 수평 전주장치의 수평 셀 중 애노드 전극을 개선함으로써 모판 표면에 균일한 전착을 구현하고자 하는 것으로서, 본 발명의 일 구현예에 따른 수평 셀 전주장치는 도 1에 나타내는 바와 같이 애노드 전극 및 상기 애노드 전극과 수평방향으로 공급되는 전도성 모판에 전류를 공급하는 전류 공급장치를 포함한다.

이하, 본 발명의 각 구현예를 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

본 발명의 일 구현예에 따른 수평 전주장치에 사용되는 전주 셀은 전해 석출에 의해 전착층이 형성되는 모판(1)이 일정한 방향으로 수평 공급되는 수평 셀(20)이다.

상기와 같은 모판(1)은 상기 전주 셀 내로 연속적으로 공급하며, 일정한 방향으로 공급한다. 여기서 상기 '전주 셀'이라 함은 모판(1) 상에 전해액이 공급되어 금속 이온이 전해 석출반응에 의해 모판(1) 표면에 전착되어 금속층을 형성하는 반응이 일어나는 단위 전지라 정의할 수 있다. 그리고 '일정한 방향'이란, 모판(1)이 전주 셀 내로 공급된 후, 적어도 상기 전주 셀을 빠져나올 때까지 모판(1)의 진행방향이 변화됨이 없이 일 방향성으로 진행하는 것을 의미하는 것이다. 이와 같은 모판(1)의 진행 방향을 본 명세서에서는 경우에 따라서는 '수평 방향' 또는 단순히 '수평'이라고 표현되기도 하며, 나아가, 모판(1)이 전주 셀을 수평방향으로 진행하여 전해액 내의 금속 이온이 모판(1)에 전해 석출되는 것을 나타내기 위해 상기 전주 셀을 '수평 셀'이라고도 표현된다.

상기 수평 셀(20)로 공급되는 상기 모판(1)은 수평 셀(20) 내로 이송시키는 컨덕트 롤(3)을 통해 전류 공급장치(2)로부터 전류를 공급받아 수평 셀(20) 내에서 캐소드 전극으로 기능하는 것으로서, 가요성이고 전도성을 갖는 것이라면 특별한 제한없이 사용할 수 있다. 예를 들어, 스테인리스, 타이타늄 등을 적용할 수 있다.

본 발명은 금속박을 얻고자 하는 것으로서, 모판(1) 상에 전착에 의해 형성되는 전착층이 모판(1)과 견고한 결합을 갖는 경우, 그 전착층을 모판(1)으로부터 분리하여 금속박을 얻는 것이 용이하지 않으므로, 모판(1) 상에는 산화피막이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 모판(1) 상의 산화피막에 의해, 모판(1) 상에 전착층이 형성되더라도 모판(1) 표면에 대한 부착력이 약하기 때문에 모판(1)으로부터 전착층을 분리하여 금속박을 용이하게 박리시킬 수 있다.

상기 수평 셀(20)은 수평 셀(20) 내부로 공급되는 모판(1)의 표면에 대하여 일정한 간격으로 이격되어 배치되는 애노드 전극(4) 및 상기 모판(1)과 상기 애노드 전극(4)에 전류를 공급하는 전류 공급장치(2)를 포함한다.

상기 모판(1)은 모판(1)의 폭 방향 에지부와 접촉하여 모판(1)을 수평 셀(20) 내로 이송시키는 한 쌍의 컨덕트 롤(3)에 의해 수평 셀(20) 내로 수평방향으로 공급된다. 이때, 상기 수평 셀(20) 내로 공급된 모판(1)의 어느 한 면에 전해액을 공급하여 일면 전주를 행할 수 있음은 물론, 양면 모두에 전해액을 공급함으로써 모판(1)의 양면에 대해 금속을 전해 석출시킴으로써 금속박의 생산속도를 증대시킬 수 있다.

상기 애노드 전극(4)과 모판(1)은 일정한 간격으로 이격되어 있는데, 그 사이로 전해액이 공급되어 유통되는 유로로 제공된다. 상기한 바와 같이 캐소드 전극인 모판(11)과 애노드 전극의 작용에 의해 전해액 내의 금속이온을 모판(1) 표면에 전해 석출시키는 전해반응이 일어나게 된다. 전해액이 고속으로 공급되는 경우, 모판(1) 표면으로의 금속 이온의 전착속도를 증가시킬 수 있는데, 종래의 드럼 셀을 이용한 전주 방법의 경우에는 유로가 곡률을 형성하여 전해액의 유속을 점차 느리게 하여 전착 속도 저하를 초래하는 문제가 있었다. 그러나, 상기와 같이 본 발명에서는 수평 셀(20)을 포함하는 수평 전주장치로서 전해액의 유로가 평면으로 형성됨으로써 전해액의 공급에 대한 유동장의 속도 저하를 최소화할 수 있어 전착 속도를 증가시킬 수 있다.

본 발명의 일 구현예에 있어서, 상기 전해액 공급장치는 전해액 저장조(5)로부터 전해액 공급관(8)을 통해 전해액을 상기 모판(1)과 애노드 전극(4) 사이로 공급하게 된다. 이때, 모판(1) 상에 공급되는 전해액은 모판(1)의 폭 방향에 대하여 균일한 양으로 공급되어야 전류밀도의 균일화를 도모할 수 있으며, 나아가 균일한 두께를 갖는 금속박을 얻을 수 있다. 그러나, 전해액 공급관(8)으로부터 모판(1) 상에 전해액이 공급되는 경우, 전해액이 모판(1)의 폭 방향 가장자리 부분에 전해액이 집중되어 폭 방향에 대하여 균일한 전류밀도를 형성하지 못하는 경우가 발생하며, 이 경우 폭 방향으로 균일하지 않은 금속박이 얻어져 제품의 불량을 초래할 수 있다.

따라서, 모판(1)의 폭 방향으로 균일한 전류밀도를 갖도록 하는 것이 중요하다. 이에, 본 발명은 일 구현예로서 모판(1)의 폭 방향에 대하여 중심부에서 가장자리 방향으로 전극의 두께가 감소하는 구조를 갖는 애노드 전극(4)을 제안한다. 본 발명에서 제안하는 상기와 같은 가장자리로 갈수록 애노드 전극(4)의 두께가 감소하도록 구성함으로써 캐소드 전극으로 기능하는 모판(1)과의 간격이 연속적으로 변화하여 가장자리 방향으로 갈수록 커지기 때문에 전해액의 집중으로 인한 전류밀도 증대를 상쇄할 수 있으며, 따라서 모판(1)에 전착되는 전착량을 제어할 수 있다.

상기와 같은 구조의 애노드 전극(4)은 두께가 연속적으로 감소하는 구조를 가질 수 있으며, 예를 들면, 도 2에 나타낸 바와 같이, 모판(1) 폭 방향에 대하여 중심부에서 가장자리로 갈수록 연속적으로 전극의 두께가 감소하되, 곡률을 갖는 형태일 수 있다. 이와 같이 폭 방향으로 애노드 전극(4)의 두께를 변화시킴으로써 균일한 전류 밀도를 얻을 수 있으며, 이는 캐소드 전극인 모판(1)과 애노드 전극(4) 사이에서 금속이 석출하는 속도 및 조성을 균일하게 유지할 수 있도록 하여, 폭 방향으로 전류 밀도가 불균일함으로 인해 발생되는 금속박의 표면 결함을 방지할 수 있다.

상기와 같이 애노드 전극(4)이 두께가 중심부에서 가장자리 방향으로 감소하도록 형성됨으로 인해 전류밀도 균일화를 현저하게 개선할 수 있으나, 보다 정밀한 전류 밀도 균일화를 위해, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 애노드 전극(4)을 폭 방향으로 복수개로 분할된 분할 애노드 전극(단순히, '분할전극'이라고도 한다)(4')을 사용할 수도 있다. 상기 분할전극(4')은 전극의 크기가 동일할 수 있으며, 또는 서로 상이할 수 있다. 이때, 분할된 모든 전극의 크기가 서로 상이하여야 하는 것은 아니며, 필요에 따라 일부 전극의 크기만을 다르게 설정할 수도 있다. 이와 같이 함으로써 부분적으로 발생할 수 있는 전류밀도 차이를 균일하게 형성하도록 제어할 수 있다.

이와 같이 애노드 전극(4)이 분할되어 있음으로 인해, 분할된 각 애노드 전극(4')에 공급되는 전류를 개별적으로 제어할 수 있으므로, 보다 정밀한 전류 밀도 균일화를 도모할 수 있다. 즉, 전류 공급장치(2)로부터 분할 애노드 전극(4')에 공급되는 전류의 크기를 폭 방향의 전착량에 따라 개별적으로 제어함으로써 모판(1)에 전해 석출되는 금속의 전착량을 폭 방향에 대하여 균일하게 조절할 수 있어, 균일한 두께를 갖는 금속박을 얻을 수 있다.

이와 같이 폭 방향으로 균일한 두께로 전착할 수 있어, 가장자리 영역에서의 과전류밀도로 인한 전착 두께가 증대되는 현상을 억제할 수 있으며, 따라서 가장자리 영역에 과전류밀도로 인한 불균일한 두께의 전착층이 형성되는 것을 억제하기 위한 마스크 등을 설치할 필요가 없다.

한편, 상기 폭 방향으로 두께가 변화하는 애노드 전극(4)은 길이방향, 즉, 모판 진행방향으로 분할되어 있는 분할 애노드 전극(단순히 '분할전극'이라고도 한다)(4'')일 수 있다. 상기 길이 방향으로 분할된 애노드 전극(4'')은 폭 방향으로 분할된 분할전극(4')과 마찬가지로, 분할된 각각의 전극의 크기를 상이하게 구성할 수 있으며, 분할된 각각의 전극별로 전류의 크기를 다르게 공급할 수 있다.

모판(1)이 수평 셀(20)로 공급될 때 초기에 전착된 금속성분이 이후의 전착에 대한 전착 핵으로서 작용하여 수평 셀(20)을 통과하면서 계속적이고 안정적으로 신속한 전착 성능을 얻을 수 있으며, 나아가, 전해액을 고속으로 공급하더라도 전착층이 박리되어 탈락되는 현상을 억제할 수 있다.

또한, 전해액과 모판(1)의 이동속도와의 상대속도에 의해 전착속도에도 영향을 받는다. 따라서, 전해액이 모판(1)의 진행방향과 역방향으로 공급되는 영역에서는 상대적으로 전해액이 모판(1)과 접촉하는 시간이 짧아 전착성능이 저하할 수 있는바, 상기와 같이 모판(1) 진행방향에 따라 애노드 전극(4)을 분할하여 분할전극(4'')으로 형성하고, 각 분할 전극(4'')별로 전류량을 다르게 설정하여 공급함으로써 신속한 전착을 도모할 수 있다.

한편, 전해액이 모판(1) 진행방향에 대하여 순방향으로 공급되는 영역에서는 모판(1)과 전해액의 접촉시간이 상대적으로 길기 때문에 보다 빠른 전착속도를 얻을 수 있으나, 전해액 내의 금속이온 농도 감소로 인해 그 이전의 전착량에 비하여 전착량 저하를 초래할 수 있다. 따라서, 모판(1) 진행방향에 따라 애노드 전극(4)을 분할하고, 각 분할된 전극별로 전류량을 다르게 공급함으로써 전착속도 향상을 도모할 수 있다.

나아가, 상기 애노드 전극(4)은 필요에 따라 모판의 폭 방향에 대하여 중심부에서 가장자리 방향으로 전극의 두께가 감소하도록 구성하고, 나아가 폭 방향으로 분할된 전극(4') 및 길이 방향으로 분할된 전극(4'')을 동시에 구현될 수도 있다. 이 경우, 애노드 전극(4)을 복수의 영역에서 개별적으로 전류밀도를 제어할 수 있어 보다 균일한 두께를 갖는 금속박을 얻을 수 있다.

상기한 바와 같이, 전해액 공급관(8)은 도 1에 나타낸 바와 같이 모판(1)의 진행방향에 대하여 순방향 및 역방향으로 공급할 수 있도록 전해액 공급관(8)이 순방향 전해액 공급관(9) 및 역방향 전해액 공급관(10)으로 구분되어 있을 수 있다.

상기 전해액 공급관(8)은 그 내부에 허니콤(13)을 포함할 수 있다. 이와 같은 허니콤(13)을 포함함으로써, 전해액 공급관(8)을 통해 모판(1) 표면에 공급되는 전해액이 층류를 형성하도록 유도할 수 있다. 이와 같이 전해액이 층류로 공급되는 경우, 모판(1) 표면에서 전해액의 와류가 형성되어 유동장을 불안정하게 하는 현상을 최소화할 수 있으며, 나아가 전해액이 고속으로 공급되더라도 전해액이 모판(1) 표면과 부딪힐 때 발생하는 모판(1)의 진동을 억제할 수 있다.

더욱 바람직하게는 상기 전해액 공급관(8)은 모판(1)과 애노드 전극(4)과의 사이에 전해액을 공급할 수 있도록 모판(1)의 진행방향에 대하여 순방향 및 역방향으로 굴곡된 노즐(11)을 형성할 수 있다. 이러한 굴곡된 노즐(11)은, 예를 들어, 도 1에 나타낸 바와 같다.

본 발명에 있어서, 상기 전해액은 금속이온을 포함하며, 상기 금속이온은 전주법에 의해 전해 석출반응이 일어날 수 있는 것이라면 특별히 한정하지 않으며, 상기 금속이온의 금속은 예를 들어, Cu, Fe, Ni, Zn, Cr, Co, Ag, Pd, Al, Sn 또는 이들의 합금 등을 들 수 있다.

한편, 상기 전해액 저장조(5)는 전해액의 가열을 위한 전해액 가열기(미도시), 전해액에 포함된 슬러지 등의 불순물을 제거하기 위한 전해액 여과기(6), 전해액을 수평 셀(20)에 공급하기 위한 전해액 펌프(7) 등의 부속 설비를 더욱 포함할 수 있다.

상기와 같이 하여 전착층이 형성된 모판(15)을 출구측 컨덕트 롤(5)을 통해 배출한 후, 모판(1)과 전착층에 전단응력을 부여함으로써 분리하여 금속박을 얻을 수 있다.

실시예

이하, 실시예를 들어, 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.

폭 방향 전체적으로 균일한 두께를 갖는 수평 애노드 전극(수평 애노드 전극)과 본 발명의 일 구현예에 따라 도 2와 같은, 곡률을 갖는 애노드 전극(곡률 애노드 전극. 단, 분할전극은 아니다)을 사용한 것을 제외하고는, 동일한 설비를 사용하여 모판과 애노드 전극 사이에 전해액을 공급하는 조건으로 설정하여 시뮬레이션하였다.

이때, 모판의 폭은 전체 1000mm이며, 전해액은 레이놀즈 수로서 Re=1000의 층류로서 공급하는 조건이다.

실험 결과로부터 모판의 폭 방향에 대한 전류밀도 분포를 측정하여 도 4에 나타내었다. 도 4에서 위치는 전해액 공급관을 기준으로 한 위치이며, 모판의 반폭에 대한 결과를 나타낸 것이다.

도 4로부터, 수평 애노드 전극을 사용한 경우 모판의 중심부에서 가장자리 쪽으로 갈수록 전류밀도가 증가하며, 대략 30mm 지점을 통과하면서 급격히 전류 밀도가 증가함을 알 수 있다. 그러나, 곡률 애노드 전극을 사용한 경우에는 전류밀도가 모판 전체에 거의 일정하게 유지하며, 40mm 지점에 이르러서야 서서히 증가함을 알 수 있다.

또한, 곡률 애노드 전극을 사용한 경우에 가장자리 50cm 지점의 전류밀도가 수평 애노드 전극의 전류밀도에 비하여 35% 정도 감소하는 경향을 나타내며, 균일 분포를 나타내는 구간이 증가하는 결과를 나타냄을 알 수 있다.

이러한 결과로부터, 캐소드 전극과 애노드 전극 사이의 간격을 애노드 전극의 형상을 변화시킨 경우에 수평 애노드 전극을 사용한 경우에 비하여 전류 밀도 분포를 균일화시킬 수 있음을 알 수 있다.

1: 모판 2: 전류공급장치
3: 컨덕트 롤 4: 애노드 전극
4': 모판 폭 방향 분할 전극 4'': 모판 진행 방향 분할 전극
5: 전해액 저장조 6: 여과장치
7: 전해액 펌프 8: 전해액 공급관
9: 순방향 전해액 공급관 10: 역방향 전해액 공급관
11: 굴곡진 노즐 13: 허니콤
14: 전해액 회수관 15: 전착층이 형성된 모판
20: 수평 셀

Claims (9)

1. 애노드 전극 및 상기 애노드 전극과 일정한 간격으로 이격되어 일 방향으로 수평 공급되며 캐소드 전극으로 기능하는 전도성 모판에 전류를 공급하는 전류 공급장치를 포함하며, 상기 전도성 모판의 표면에 전해액에 포함된 금속이온이 전해 석출되어 형성된 전착층을 박리하여 금속박을 제조하는 수평 전주장치로서,
   상기 애노드 전극은 상기 전도성 모판의 폭 방향에 대하여 중심부에서 가장자리를 향해 두께가 감소하는 구조를 갖는 것인 수평 전주장치.
   
2. 제 1항에 있어서, 상기 애노드 전극의 두께는 중심부에서 가장자리를 향해 연속적으로 감소하는 구조를 갖는 것임을 특징으로 하는 수평 전주장치.
   
3. 제 1항에 있어서, 상기 애노드 전극의 두께는 모판의 폭 방향에 대하여 중심부에서 가장자리를 향해 연속적으로 감소하되, 곡률을 갖는 것임을 특징으로 하는 수평 전주장치.
   
4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 애노드 전극은 모판의 폭 방향으로 복수로 분할되어 있는 분할 전극인 것을 특징으로 하는 수평 전주장치.
   
5. 제 4항에 있어서, 상기 분할 전극은 각 전극별로 전극의 크기가 상이한 것을 특징으로 하는 수평 전주장치.
   
6. 제 4항에 있어서, 상기 분할 전극은 각 전극별로 상이한 전류가 공급되는 것임을 특징으로 하는 수평 전주장치.
   
7. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 애노드 전극은 모판의 진행 방향으로 복수로 분할되어 있는 분할 전극인 것을 특징으로 하는 수평 전주장치.
   
8. 제 7항에 있어서, 상기 분할 전극은 각 전극별로 전극의 크기가 상이한 것을 특징으로 하는 수평 전주장치.
   
9. 제 7항에 있어서, 상기 분할 전극은 각 전극별로 상이한 전류가 공급되는 것임을 특징으로 하는 수평 전주장치.

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