DE3116789C2 - Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell - Google Patents
Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem ModellInfo
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- DE3116789C2 DE3116789C2 DE3116789A DE3116789A DE3116789C2 DE 3116789 C2 DE3116789 C2 DE 3116789C2 DE 3116789 A DE3116789 A DE 3116789A DE 3116789 A DE3116789 A DE 3116789A DE 3116789 C2 DE3116789 C2 DE 3116789C2
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Abstract
Beim Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell wird das Modell (2) und die Hauptelektrode (3) in einem Elektrolyten angeordnet. Zwischen dem Modell (2) und der Hauptelektrode (3) wird in demselben Elektrolyten eine zusätzliche Elektrode (4) in einem Abstand vom Modell (2) befestigt, der ihre gegenseitige Berührung während des Zyklus der Metallabscheidung am Modell (2) ausschließt. An jede Elektrode (3, 4) und an das Modell (2) wird eine elektrische Speisequelle (5) in der Zeitfolge τ ↓1 + τ ↓2 + τ ↓3 = T angeschlossen. Während des Zeitabschnitts τ ↓1 werden der Pluspol der elektrischen Speisequelle (5) an die Hauptelektrode (3) und der Minuspol an das Modell (2) angeschlossen, wobei Metallabscheidung auf dem Modell (2) erfolgt. In der Zeit τ ↓2 werden der Pluspol der elektrischen Speisequelle (5) an das Modell (2) und der Minuspol der Speisequelle (5) an die zusätzliche Elektrode (4) angeschlossen, wobei die selektive Metallauflösung am Modell (2) und die Metallabscheidung an der zusätzlichen Elektrode (4) stattfinden. In der Zeit τ ↓3 wird der Pluspol der Speisequelle (5) an die zusätzliche Elektrode (4) und der Minuspol der Speisequelle (5) an die Hauptelektrode (3) geschaltet. Hierbei wird das an der zusätzlichen Elektrode (4) ausgefällte Metall vollständig aufgelöst und an der Hauptelektrode (3) abgeschieden. Die zusätzliche Elektrode (4) ist aus einem bei der anodischen Polarisation passivierbaren Werkstoff hergestellt.
Description
k- a
ermittelt wird, wobei
10
15
20
vorgenommen wird, wobei
während der Zeit η der Pluspol der elektrischen
Speisequelle an die Hauptelektrode und der Minuspol an das Modell angeschlossen werden, und
die Metallabscheidung auf dem Modell erfolgt,
während der Zeit Τ2 der Pluspol der elektrischen Speisequelie an das Modell und der Minuspol an die zusätzliche Elektrode angeschlossen werden, und das Metall am Modell selektiv aufgelöst und auf die zusätzliche Elektrode ausgefällt wird und
während de- Zeit Γ3 der Pluspol der elektrischen Speisequelle an die zusätzliche Elektrode und der Minuspol der elektrischen Speisequelle an die Hauptelektrode geschaltet werden und in dieser Zeit die vollständige Auflösung des auf der zusätzlichen Elektrode abgeschiedenen Metalls erfolgt sowie das Metall auf der Hauptelektrode abgeschieden wird, wobei als zusätzliche Elektrode eine aus einem bei der anodischen Polarisation passivierbaren Werkstoff angewandt wird.
während der Zeit Τ2 der Pluspol der elektrischen Speisequelie an das Modell und der Minuspol an die zusätzliche Elektrode angeschlossen werden, und das Metall am Modell selektiv aufgelöst und auf die zusätzliche Elektrode ausgefällt wird und
während de- Zeit Γ3 der Pluspol der elektrischen Speisequelle an die zusätzliche Elektrode und der Minuspol der elektrischen Speisequelle an die Hauptelektrode geschaltet werden und in dieser Zeit die vollständige Auflösung des auf der zusätzlichen Elektrode abgeschiedenen Metalls erfolgt sowie das Metall auf der Hauptelektrode abgeschieden wird, wobei als zusätzliche Elektrode eine aus einem bei der anodischen Polarisation passivierbaren Werkstoff angewandt wird.
2. Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die selektive Metallauflösung am Modell und die Metallabscheidung an der
zusätzlichen Elektrode bei einem Abstand der letzteren vom Modell von dem 0,1 bis 03fachen der
Entfernung zwischen dem Modell und der Hauptelektrode erfolgen.
3. Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell nach Ansprüchen 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Dauer des Zeitabschnitts τι aus der Beziehung
55
a die Korngröße im abgeschiedenen Metall (μπι)
ist,
v die Geschwindigkeit der Metallabscheidung auf dem Modell (μπι/Stunde) und
k ein experimentell ermittelter Proportionalitätsfaktor ist, der die Bedingungen des Ablaufs der
Metallabscheidung auf dem Modell berücksichtigt.
und die Dauer des Zeitabschnitts T2 ungefähr gleich
dem 0,01 bis 0,1 fachen der Dauer des Zeitabschnitts Ti gewählt wird, während die Dauer des Zeitabschnitts
τι durch einen sprunghaften Abfall der
Stärke des von der elektrischen Speisequelle erzeugten Stromes begrenzt wird,
4. Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell nach Anspruch 1 bis 3,
gekennzeichnet durch die Anwendung von Titan als Werkstoff, der bei anodischer Polarisation passiviert
wird.
5. Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell nach Anspruch 1 bis 4,
gekennzeichnet durch die Anwendung einer zusätzlichen Elektrode, die ein zur Modellebene parallel
angeordnetes Gitter darstellt, dessen Flächeninhalt etwa zur Modellfläche kommensurabel ist, auf
welcher Metall abgeschieden wird.
6. Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell nach Anspruch 5. gekennzeichnet
durch äquidistante Anordnung des Gitters in bezug auf das Modell, auf welchem Metall
abgeschieden wird.
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell.
Die Erfindung kann besonders erfolgreich in der Galvanoplastik zur Herstellung von Metallformteilen,
ζ, B. von Düsen verschiedener Konfigurationen, von Verkleidungen, Reflektoren im Maschinenbau, von
Hohlleiterteilen in der Funktechnik, von formgebenden
Profilwerkzeugen wie Einsätzen für Preßwerkzeuge und Preßformen für Gummi und Kunststoffe, von
Gußformen für leichtschmelzende Legierungen, von Werkzeug-Elektroden für Elektroerosionsmaschinen
und Maschinen zur elektrochemischen Bearbeitung usw. benutzt werden.
Gegenwärtig wendet man die et'ttrolytische Metallabscheidung
auf Modelle in der Galvanotechnik zur Auftragung von Schutz- und Dekor-Metallüberzügen
und zur Nachbildung der Modellform an.
Der Vorgang der elektrolytischen Metallabscheidung ist aber durch niedrige Produktivität gekennzeichnet,
und die dabei erzeugten Metallschichten sind auf der Modelloberfläche unregelmäßig dick.
Die ungleichmäßige Verteilung der Metallschichtdikke ist vor allem durch unterschiedliche Widerstandswerte
von Strecken zwischen verschiedenen Abschnitten der Modelloberfläche und der Anode, folglich durch
unterschiedliche Stromdichte an diesen Abschnitten bedingt. Diese sogenannte Primärverteilung der Metallschichtdicke
ist nur beim Ausbleiben von kathodischer Polarisation möglich. Praktisch wird die elektrolytische
Metallabscheidung von kathodischer Polarisation, also von einer Änderung des Kathodenpotentials begleitet,
das von der Stromdichte an jedem Abschnitt der Modelloberfläche, von der Zusammensetzung des
Elektrolyten, von der Temperatur und der Durchmischung des Elektrolyten abhängig ist. Die dadurch
bedingte sogenannte Sekundärverteilung des Metalls auf der Modelloberfläche ist immer gleichmäßiger als
die Primärverteilung. Versuche, eine gleichmäßigere Metallverteilung auf der Modelloberfläche zu erreichen,
führten zur Entwicklung eines Verfahrens zur elektrolytischen Metallabscheidung auf Modelle unter Anwendung
der Stromumkehr (vgl. das Buch von W. I. Lainer
»Moderne Galvanotechnik«, Verlag »Metallurgie«, Moskau, 1967, S. 78). Dieses bekannte Verfahren wird
wie folgt durchgeführt Das Modell und die Elektrode werden in einem Elektrolyten angeordnet und an eine
elektrische Speisequelle angeschlossen. Der Anschluß des Modells und der Elektrode an die elektrische
Speisequelle wird in einer Zeitfolge von
T| +7T2= T
durchgeführt ι ο
Während der Zeit X\ schaltet man den Pluspol der
elektrischen Speisequelle an die Elektrode und den Minuspol an das Modell an, wobei Metallabscheidung
auf dem Modell erfolgt
Im Laufe von τι wird der Pluspol der elektrischen
Speisequelle an das Modell und der Minuspol der elektrischen Speisequelle an die Elektrode angeschlossen,
wobei Metallauflösung auf dem Modell erfolgt Die Dauer der Metallabscheidung auf dem Modell ist
gewöhnlich um ein Mehrfaches langer als die Dauer der
Metallauflösung. Eine gleichmäßigere Metallverteilung auf der Modelloberfläche wird dadurch erreicht, daß die
Metallauflösung auf den vorspringenden Abschnitten der Modelloberfläche im Anfangsmoment nach der
Umpolung der elektrischen Speisequelle schneller als die Auflösung des abgeschiedenen Metalls auf den tiefer
liegenden Abschnitten erfolgt Die Gleichmäßigkeit der Verteilung des abgeschiedenen Metalls wird durch die
Stromumkehr um nicht mehr als um 10% verbessert
Bei dem bekannten Verfahren bleiben die Nachteile jo einer niedrigen Leistungsfähigkeit und einer ungleichmäßigen
Metallabscheidung auf der Modelloberfläche bestehen. Eine Erhöhung der Produktivität der Metallabscheidung
durch Vergrößerung der Stromamplitude ist eben nicht möglich, da die Metallabscheidung dabei
in Form von Dendriten beginnt, die Geschwindigkeit des Dickenzuwachses bei der Metallschicht stark
abnimmt und die Ungleichmäßigkeit der Verteilung der Metallschichtdicke rapide ansteigt Außerdem ergibt
das bekannte Verfahren nicht die erforderliche Qualität der Metallschicht auf der Oberfläche von Modellen mit
schroffen Übergängen — scharfen Kanten, Vertiefungen mit steil abfallenden Wänden usw.
Es ist noch ein Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell bekannt bei dem
wenigstens eine zusätzliche Elektrode benutzt wird (vgl. das Buch von W. I. Lanier »Moderne Galvanotechnik«,
Moskau, Verlag »Metallurgia«, 1967, S. 97 - 98).
Bei diesem bekannten Verfahren werden das Modell und die Hauptelektrode in einen Elektrolyten gebracht, so
in dem zwischen dem Mode" und der Hauptelektrode noch eine zusätzliche Elektrode angeordnet wird,
worauf an jede Elektrode und an das Modell eine elektrische Speisequelle angeschlossen wird. Die zusätzliche
Elektrode wird in einem Abstand vom Modell befestigt, der ihre gegenseitige Berührung während des
ganzen Zyklus der Metallabscheidung auf dem Modell ausschließt. Den Pluspol der elektrischen Speisequelle
schaltet man an die Hauptelektrode und den Minuspol der elektrischen Speisequelle an das Modell an, das mit
der zusätzlichen Elektrode elektrisch verbunden ist. Das Modell wird von der Hauptelektrode möglichst weit
entfernt angeordnet, um die Gleichmäßigkeit der Metallverteilung auf der Modelloberfläche zu verbessern.
Die zusätzliche Elektrode befestigt man in der f>5 Nähe des Modells über den vorspringenden Abschnitten
seiner Oberfläche. Bei einer derartigen Anordnung der zusätzlichen Elektrode konr-jntrieren sich die Kraftlinien
des elektrischen Feldes darauf, und infolgedessen verringert sich die elektrische Feldstärke an dem unter
der zusätzlichen Elektrode liegenden Abschnitt der Modelloberfläche bis auf den Mittelwert der elektrischen
Feldstärke am Modell, wobei die Geschwindigkeit der Metallabscheidung auf solchen Modellabschnitten
nicht über der mittleren Geschwindigkeit der Metallabscheidung auf der ganzen Modelloberfläche liegt
Bei dem bekannten Verfahren ergibt sich eine höhere Gleichmäßigkeit der Verteilung der abgeschiedenen
Metalldicke auf der ganzen Modelloberfläche nur bei Benutzung einer großen Zahl von zusätzlichen Elektroden,
mit deren Hilfe die elektrischen Feldstärken und folglich die Geschwindigkeiten der Metallabscheidung
auf der ganzen Modelloberfläche ausgeglichen werden. Jede zusätzliche Elektrode muß einzeln hergestellt
werden, wobei sich ein höherer Arbeitsaufwand bei der Abscheidung einer Metallschicht von erforderlicher
Dicke ergibt Außerdem ist beim bekannten Verfahren die Kontrolle der Stromstärke am Modell erschwert da
die Ermittlung der Stromverteilung zwischen den zusätzlichen Elektroden und dem Moden Schwierigkeiten
bereitet Dadurch ergeben sich auch Schwierigkeiten bei der Wahl von optimalen Bedingungen der
Metallabscheidung auf einem Modell. Bei der nadi diesem bekannten Verfahren erfolgenden Metallabscheidung
auf einem Modell muß man auch einen höheren Verbrauch an Buntmetallen in Kauf nehmen,
die bei diesem Verfahren gewöhnlich zur Herstellung von Erzeugnissen benutzt werden, weil das Metall nicht
nur auf dem Modell, sondern auch auf zusätzlichen Elektroden abgeschieden wird.
Deshalb ist die Anwendung von zusätzlichen Elektroden nur bei Metallabscheidung auf größeren Serien von
Modellen gerechtfertigt da der Zeitaufwand für die Herstellung von besonderen Vorrichtungen und für die
Metallabscheidung auf ein einzelnes Modell zu groß ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf
einem Model! zu entwickeln, bei dem durch eine besondere Anschlußart der elektrischen Speisequelle an
jede Elektrode und an das Modell sowie durch Wahl eines geeigneten Werkstoffes für die zusätzliche
Elektrode eine bedeutende Erhöhung der Gleichmäßigkeit der Dicke der auf dem Modell abgeschiedenen
Metallschicht erreicht wird und durch Steigerung der Kathodenstromdichte sowie durch Erweiterung der
technologischen Möglichkeiten der Benutzung der Stromumkehr eine hohe Produktivität des Metallabscheidungsvorganges
erzielt wird.
Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell
gelöst, bei dem das Modell und die Hauptelektrode in einen Elektrolyten gebracht werden, und
in demselben Elektrolyten zwischen dem Modell und der Hauptelektrode eine zusätzliche Elektrode in einem Abstand vom Modell angeordnet wird, der ihre gegenseitige Berührung während des Zyklus der Metallabscheidung auf dein Modell ausschließt, worauf eine elektrische Speisequelle an jede Elektrode und an das Modell angeschlossen wird, indem
der Anschluß der elektrischen Speisequelle an jede Elektrode und an das Modell erfindungsgemäß iis einer Zeitfolge von
in demselben Elektrolyten zwischen dem Modell und der Hauptelektrode eine zusätzliche Elektrode in einem Abstand vom Modell angeordnet wird, der ihre gegenseitige Berührung während des Zyklus der Metallabscheidung auf dein Modell ausschließt, worauf eine elektrische Speisequelle an jede Elektrode und an das Modell angeschlossen wird, indem
der Anschluß der elektrischen Speisequelle an jede Elektrode und an das Modell erfindungsgemäß iis einer Zeitfolge von
vorgenommen wird, wobei
während der Zeit x\ der Pluspol der elektrischen
Speisequelle an die Hauptelektrode und der Minuspol an das Modell angeschlossen werden, und die
Metallabscheidung auf dem Modell erfolgt,
während der Zeit r> der Pluspol der elektrischen Speisequelle an das Modell und der Minuspol an die zusätzliche Elektrode angeschlossen werden, und das Metall am Modell selektiv aufgelöst und auf die zusatzliche F.lektrode ausgefällt wird, und
während der Zeit η der Pluspol der elektrischen Speisequelle an die zusätzliche Elektrode und der Minuspol der elektrischen Speisequelle an die Hauptelektrode gesi haltet werden, und in dieser /ei! die vollständige Auflösung des auf der zusätzlichen Elektrode abgeschiedenen Metalls erfolgt und das Metall auf der Hauptelektrode abgeschieden wird, wobei als zusätzliche Elektrode eine aus einem bei der anodischen Polarisation passnierbaren Werkstoff angewandt wird.
während der Zeit r> der Pluspol der elektrischen Speisequelle an das Modell und der Minuspol an die zusätzliche Elektrode angeschlossen werden, und das Metall am Modell selektiv aufgelöst und auf die zusatzliche F.lektrode ausgefällt wird, und
während der Zeit η der Pluspol der elektrischen Speisequelle an die zusätzliche Elektrode und der Minuspol der elektrischen Speisequelle an die Hauptelektrode gesi haltet werden, und in dieser /ei! die vollständige Auflösung des auf der zusätzlichen Elektrode abgeschiedenen Metalls erfolgt und das Metall auf der Hauptelektrode abgeschieden wird, wobei als zusätzliche Elektrode eine aus einem bei der anodischen Polarisation passnierbaren Werkstoff angewandt wird.
Bei diesem erfindungsgemäßen Verfahren wird eine
bedeutende Verbesserung der Gleichmäßigkeit der Dicke der auf dem Modell abgeschiedenen Metallschicht
durch entsprechende Wahl der Hauer der Zeitabschnitte Γι. T2. r, erreicht. Dabei bestimmen die
Zeitabschnitte r- und r- den Ablauf der unter
verschiedenen Bedingungen verlaufenden Prozess«.· der
Abscheidung bzw. der Auflösung, während die Dauer di_s Zeitabschnittes η den Vorgang der Wiederherstei
Ium» der Hetnebsfähigkeit der Elektroden bceinflul.lt.
Die verschiedenen Ablaufbcdingungen der Abseh<
'■ dung1·- und Auflösungsvortänge ergeben sich aus ucr
Entfernung der Elektroden vom Modell. Es besieh! eine
direkte Abhängigkeit der Gleichmäßigkeit der Metallabscheidung
(und der Meiallauflosung) be; der Elektrolyse
von der gegenseitigen Entfernung von Modell und Elektroden. Die »Primärverteilung« der Metallschichtdicke
auf der Modelloberfläche wim mit Vergrößerung des Abstandes /wischen dem Modell und den
Elektroden verbessert, lind umgekehrt, führt eine
\ orrinL'onmg des. Abstandes /wischen dem Modeil und
■ len Elektroden zur schlechteren Gleichmäßigkeit der \ ^-teilung der Metal'.schichtdicke bei der Metall.ib-.scheidung
auf dem Modell. Eine ähnliche Abhängigkeit siit auch bei der elekirolytischen Metallaufiosung an Je;"
Modelloberfläche. Da der Abstand des Modells \on der
Hauptelektrode größer ils der Abstand /wischen dem
Modell und der zusätzlichen Elektrode ist. so ist die
Gleichmäßigkeit der Dickenverteiiung bei der auf dem
Modell abgeschiedenen Metallschicht höher als die Gleichmäßigkeit der Metaliauflösung an der Modelloberfläche.
Bei kleinem Abstand /wischen dem Model' und der Elektrode erfolg; eine schar; ausgeprägte
selektive Auflösung der Metallschicht an den vorspringenden Abschnitten der Modelioberfläche. und dadurcn
wird eine effektive Benutzung der S:romumkehr
während des Zeitabschnitts T: möglich. Der Werkstoff
füt die zusätzliche Elektrode wurde mit der Absicht gewählt, die Bestimmung der Dauer des ZeitaDschnitts
T] 7xi vereinfachen.
Das Verfahren zur eleKtrolytischen Metallabscheidung
auf einem Modell wird zweckmäßigerweise so durchgeführt, daß die selektive Metallaufiosung am
Modell und die Metallabscheidung an der zusätzlichen Elektrode bei einem Abstand der letzteren vom Modell
von etwa O.i- bis 0.3fachen der Entfernung zwischen dem Model! und der Hauptelektrode erfolgen.
Dieses optimale Verhältnis der Abstände zwischen dem Modell und den Elektroden wurde experimentell
ermittelt. Bei einem Abstand der zusätzlichen Elektrode vom Modell von mehr als dem O.ifachen der Entfernung
des Modells von der Hauptelektrode wird die Effektivität der selektiven Metalhuiflösung stark herabgesetzt,
wobei das Wachstum von Dendriten nicht ' beseitigt wird, und die Dicke der auf dem Modell
abgeschiedenen Metallschicht nimmt nicht mehr zu. Die Dauer des Zeitabschnitts Τ\ ist aus der Beziehung
i 'JL
ν
zu bestimmen, in der
,( die Korngriii des abgeschiedenen Metalls (um).
ι die Geschwindigkeit der Metallabscheidung am
Modell ((im/Stunde) und
k ein experimentell ermittelter Proportionalitatsfaktor
ist. der die Bedingungen des Ablaufs der Metaliabscheidung auf den1 Model! berücksichtigt,
und ilie iJatu-r des Zeitabschnitts r.· soil ungefähr gleich
dem 0.01- bis O.ifachen eier Dauer des Zeitabschnitts τ-,
gewählt werden, während für die Dauer des Zeitabschnitts
rider sprunghafte Abfall der Stärke des von dielektrischen
Speisequelle erzeugter. Stromes rnaßge-■ bend ist.
Während des Zeitabschnitts r; wird auf dem Mode1!
Metall abgeschieden, bevor sich Dendriten bilden. Die
Entstehung von Dendriten ist durch Ände. iiimen in der
Struktur des Metaliniederschlags :hm Vergrößerung der
- Metallschichtdicke bedingt. Die Geschwindigkeit, mit
der die Größe der Kristallkörner im Metall bei seiner Abscheidung zunimmt, ist aber begrenzt. Die Geschwindigkeit
der elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell ist eine Gesamtgröße, die sich aus der
Geschwindigkeit des Kristallwachstums und der Geschwindigkeit der Bildung von Kristallisationszcntren
zusammensetzt. Eine Erhöhung der Geschwindigkeit der elektroly tischen Abscheidung hai zur Folge, daß die
Geschwindigkeit der Bildung von Knstallisaiions/entren
größer als die Geschwindigkeit des Kristallvvachstums
zu werden beginnt. Dies führt zu· \ ermindcrung
der Kornabmessungen im abgeschiedenen Metall. Es hängt die Korngröße in der abgeschiedenen Metallschicht
von der Geschwindigkeit der Metallabscheidune umgekehrt proportional ab. Die Geschwindigkeit der
Metallschichtabscheidung ist ihrerseits der Kathodenstromdichte
direkt proportional, im empirischen Proporronalitätsfaktor k berücksichtigt man konkrete
Bedingungen des jeweiligen Vorgangs der Metallabscheidung wie Temperatur. Zusammensetzung des
Elektrolyten. Vorhandensein von oberflächenaktiven Stoffen. Durchmischung, geometrische Abmessungen
der Anode, des Behälters, des Modells usw. Somit kennzeichnet der Proportionalitätsfaktor k die Wahrscheinlichkeit
der Entstehung von Dendriten.
Während des Zeitabschnitts η werden die Dendriten
an der Modeiioberfläche selektiv aufgelöst. Zur Metallauflösung an den vorspringenden Modellabschnitten,
d. h. zum Ausgleich der Metallschichtdicke an der Modelloberfläche muß die Dauer von Γ2 groß sein.
Experimentell wurde nachgewiesen, daß die Auflösung von Dendriten und der Ausgleich der Schichtdicke des
Niederschlags im Zeitintervall r^ vom etwa 0.01- bis
O.ifachen der Dauer von η erfolgt. Ist Γ2 kleiner als 0,01
Γι. so werden die Dendriten nicht genügend effektiv
aufgelöst, während bei η größer als 0.1 τ·, die
Produktivität des Vorganges der elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell stark herabgesetzt
wird. Während des Zeitabschnitts T2 erfolgt auch die
Abscheidung des an der Modelloberfläche aufgelösten Metalls an der zusätzlichen Elektrode. Infolgedessen
ändert sich die geometrische Form der zusätzlichen Elektrode, wobei ein Kurzschluß entstehen kann oder
die optimalen Bedingungen des Prozeßablaufs gestört werden.
Während des Zeitabschnitts r5 wird das an der
zusätzlichen Elektrode niedergeschlagene Metall vollständig im Elektrolyten aufgelöst und zur Hauptelektrode
übertragen. Da die zusätzliche Elektrode aus einem Werkstoff hergestellt ist. der bei der anodischen
Polarisation vollständig p;issivicrl wird, steigt der
Widerstand ties Kaunies zwischen der zusätzlichen Elektrode und der Hauptelektrode bei der Auflösung
ties auf tier zusatzlichen Elektrode abgeschiedenen Metalls spninphal! an. wobei die Stärke des von der
elektrischen Speisequelle erzeugten Stromes stark abtun 1H. Diese schnelle Abnahme der Stromstärke
man ais Signai für den übergang zur Beil ieusai i
des Zeitabschnittes r<.
Ms Werkstoff, der bei ,modischer Polarisation
passivicrt wird, ist vorteilhaft. Titan zu verwenden.
Hei Verwirklu hung des erfindungsgemäßen Verfahrens zur elek'roKtiichen Metallabseheidung auf einem
Modell ist zweckmäßig, s.;!·.'1 zusätzliche Elektrode in
Eorm eines zur Modelle· enc parallel angeordneten
Ciitters zu benutzen, dessen Flächeninhalt etwa zur
Modellflachi kommensurabel ist. auf der Metall
abgcschiedei, λ ird.
Hei dieser konstruktiv en Ausführung der zusätzlichen
Elekiiode wird tier Vorgang det Metallabseheidung auf
dem Modell während des Zeitabschnitts τ, nicht behindert, wobei auch die Dendriten am Modell
gleichmäßig aufgelöst werden. Bei Durchführung des elektrolvtischcn Ahscheidungsvorganges in einem gewöhnlichen
F.leki'.)lysiergefäß kann die zusätzliche
Elektrode als Nci/ ausgeführt werden, dessen Größe
dem Gefäßquerschnitt bei allen Modellabmessungen entspricht
Bei äquidistanter Anordnung des Gitters in bezug auf ti ο Modelloberfläche, auf der Metall abgeschieden wird,
erreicht man eine effektivere selektive Auflösung von Dendriten und einen besseren Ausgleich der Dicke der
auf dem Modell abgeschiedenen Metallschicht. Dies ist besonders bei intensiver Durchführung des elektrolytischen
Abscheidungsvorganges in turbulentem Elektrolyten wichtig.
Mit größtem Erfolg kann die Erfindung fur intensive
elektrolytische Metallabseheidung in turbulentem Elektrolyten sowie beim elektroiytischen Niederschlagen
von dicken Metallschichten in Galvanisiergefäßen und
-anlagen von beliebigem Aufbau angewandt werden. Die Erfindung erweitert die technologischen Möglichkeiten
von vorhandenen galvanischen pjnrichtungen und vereinfacht ihren Betrieb.
Weitere Ziele und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den nachstehenden Ausführungsbeispielen und
aus den beigefügten Zeichnungen. Hierbei zeigt
Fig. 1 ein schematisch dargestelltes Galvanisiergefäß
mit Hauptelektrode, zusätzlicher Elektrode und einem Modell für die Durchführung des Verfahrens zur
elektrolytischen Metallabseheidung gemäß der Erfindung:
Fig. 2 ein Diagramm der Polaritätsänderung bei der Hauptelektrode im Zeitabschnitt τ<;
Fig. 2a ein Diagramm der Polaritätsänderung bei der zusätzlichen Elektrode im Zeitabschnitt ττ2;
Fig. 2b ein Diagramm der Polaritätsänderung beim
Modell im Zeitabschnitt r j;
F i g. 3 einen schematisch dargestellten Teil des Anodenkopfes einer elektrochemischen Maschine als
". Beispiel der Anwendung des Verfahrens gemäß der Erfindung zur intensiven elektrolytischen Mciallabscheidung
auf einem Modell zwecks Herstellung einer kupfernen Werkzeugelektrode für die elektroerosive
Bearbeitung von Matrizen.
in Das erfindungsgemäße Verfahren zur elektrolytischen
Metallabseheidung auf einem Modell kann z. B. in einem ortsfesten CinlvanisiergefäB 1 (Fig. I) mit einem
.Sulfatelektrolyten angewendet werden. Ein Modell 2
und eine Hauptelektrode 3 werden im Elektrolyten
. angeordnet, /.wischen dem Modell 2 und der 1 lauptelektrode
3 wird eine zusätzliche Elektrode 4 befestigt, die
ein Gitter darstellt. Die zusätzliche Elektrode wird aus
einem bei anodischer Polarisation passivierbaren Werkstoff, z. B. aus Titan hergestellt. Der Flächeninhalt
~"> Cies Gliieis im ciWci iViii GCT ι tnCiiC CiCS iTimiCiiS t.
kommensurabel. Das Gitter steht parallel zur Modellebene. Der Abstand des Modells 2 von der Hauptelektrode
3 ist gleich //. Die zusätzliche Elektrode 4 liegt vom Motiell 2 im Abstand h. der ungefähr das 0.1- bis
. 0.3fachc der Entfernung // beträgt. Eine elektrische
Speisequellc 5 wird nut Hilfe eines Schalters β an jede
Elektrode 3 und 4 sowie an das Modell 2 angeschlossen. Der Anschluß der Speisequelle erfolgt in der Zeitfolge
ΤΊ + T>+T| = T
Während des Zeitabschnitts t\ (Fig. 2) wird der
Pluspol der elektrischen Speisequelle über den Schalter β und einen Stromleiter 7 an die Hauptelektrode 3
angeschlossen. Den Minuspol der Speisequelle 5 legt
i" man über Schalter 6 und einen Stromleiter 8 an das
Modell 2 an. Hierbei wird auf dem Modell 2 Metall 9 abgeschieden, bis Dendriten erscheinen. Das Erscheinen
von Dendriten ist durch ÄnJ --ungen ir dei Struktur des
Metallniederschlags bei Vergrößerung seiner Dicke
4n bedingt. Inder Zeit Tj(F ig .'(schaltet man den Pluspol
der elektrischen Speiscquciic 5 über den Schalter 6 und
den Stromleiter 8 an das Modell 2 an, während der Minuspol der Speisequelle 5 über den Schalter 6 und
einen anderen Stromleiter tO an die zusätzliche
i", Elektrode 4 angeschlossen wird. Hierbei werden
Dendriten und Metall 9 an vorspringenden Abschnitten der Modelloberfläche selektiv aufgelöst, wobei die
Dicke des abgeschiedenen Metalls ausgeglichen wird und Meiallabscheidung auf der zusätzlichen Elektrode 4
>" erfolgt. In der Zeit Ti(Fi g. 2b) schaltet man den Pluspol
der elektrischen Speisequelle 5 über den Schalter 6 und den Stromleiter 10 an die zusätzliche Elektrode 4 an.
Der Minuspol der Speisequelle 5 wird über den Schalter 6 und den Stromleiter 7 an die Hauptelektrode 3
)"> angeschlossen. Hierbei wird das an der zusätzlichen
Elektrode 4 abgeschiedene Metall vollständig aufgelöst und zur Hauptelektrode 3 übertragen. Bei der
Auflösung der an der zusätzlichen Elektrode 4 abgeschiedenen Metallschicht ändert sich der Widerstand
des Raumes zwischen dieser Elektrode 4 und der Hauptelektrode 3, und zwar steigt dieser Widerstand
schnell an, wobei die Stärke des von der elektrischen Speisequelle 5 erzeugten Stromes steil abfällt. Diesen
schnellen Abfall der Stromstärke benutzt man als Signal für den Obergang zur Betriebsart des Zeitabschnittes τ\
(Fig-2).
Die aktive Auflösung von Dendriten während des Zeitabschnitts τ-ι (F i g. 2a) ermöglicht die Durchführung
der elektrolytischen Metallabscheidung auf dem Modell 2 bei höheren Stromdichten am Modell, wobei die
Produktivität des Vorganges erhöht wird. Einen Beitrag zur Erhöhung der Produktivität des Vorganges leistet
auch die Verkürzung der Zeitabschnitte τ 2 während des ganzen Prozesses gegenüber der elektrolylischen
Metallabscheidung bei Benutzung von elektrischen Reversierspeiseauellen. Die Dauer des Zeitabschnitts ri
bestimmt man aus «der Beziehung
Γι =
in der
die Korngröße im abgeschiedenen Metall (μηι),
die Geschwindigkeit der Metallabscheidung auf dem Modell (um/Stunde) und
ein empirisch ermittelter Proportionalitätsfaktor ist, der die Bedingungen des Ablaufs der Metallab-
die Geschwindigkeit der Metallabscheidung auf dem Modell (um/Stunde) und
ein empirisch ermittelter Proportionalitätsfaktor ist, der die Bedingungen des Ablaufs der Metallab-
lflUUl,ll VJ V- I
Die Dauer des Zeitabschnitts Γ2 (F i g. 2a) wählt man
ungefähr gleich dem 0,01- bis etwa 0,1 fachen der Dauer
von η (Fig. 2). Bei τ2 (Fig. 2a) kleiner als 0,01 τ\
(F i g. 2) erfolgt die Auflösung von Dendriten nicht genügend effektiv, während bei τ 2 (Fig. 2a) größer als 0,1
Tt (Fig. 2) die Produktivität des Vorganges der elektrolytischen Metallabscheidung 9 auf einem Modell
2 stark herabgesetzt wird. Der Zeitabschnitt T3 (F i g. 2b)
wird bei sprunghaftem Abfall der Stärke des von der elektrischen Speisequelle 5 erzeugten Stromes beendet.
Bei praktischer Realisierung dieses Verfahrens in einem Galvanisie.gefäß 1 v/erden die Abmessungen der
als Gitter ausgeführten zusätzlichen Elektrode 4 durch die Querschnittsgröße des Gefäßes bestimmt und sind
von den Abmessungen des Modells 2 unabhängig.
Bei Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem
Modell mittels einer elektrochemischen Maschine zwecks Herstellung einer kupfernen Werkzeugelektrode
für elektroerosive Bearbeitung von Matrizen weist der Anodenkopf 11 (Fig. 3) dieser Maschine eine
Hauptelektrode 12 und eine zusätzliche Elektrode 13 auf, die im Gehäuse 14 des Anodenkopfes 11 befestigt
sind. Die Hauptelektrode 12 stellt einen Satz von kupfernen Stäben 12a dar, wobei jeder dieser Stäbe 12a
längs seiner Achse verschoben werden kann. Die zusätzliche Elektrode 13 ist in der Art eines Satzes von
hohlen Titanrohren 13a ausgeführt, durch die ein Sulfatelektrolyt hindurchgepumpt wird. Jedes von
diesen Rohren 13a kann auch längs seiner Achse verschoben werden. Das Modeil 2 wird auf dem
Maschinentisch 15 befestigt Die Stäbe 12a werden in Berührung mit der Oberfläche des Modells 2 gebracht
und in dieser Lage festgehalten. Dann hebt man die fixierten Stäbe 12a auf die Höhe H von der
Modelloberfläche. Die Hohlrohre 13a senkt man, bis sie die Oberfläche des Modells 2 berühren, und fixiert man
in dieser Lage. Die fixierten Rohre 13a werden nun von der Modelloberfläche um den Abstand h abgehoben, der
ungefähr 0,01 bis etwa 03 //beträgt Die Hauptelektrode
12 und die zusätzliche Elektrode 13 sind dabei voneinander elektrisch isoliert und über den Schalter 6
an die elektrische Speisequelle 5 angeschlossen. Durch die Rohre 13a wird der Elektrolyt hindurchgepumpt
dessen Flußrichtung mit Pfeilen angegeben ist Der Elektrolytspiegel gewährleistet die Umspülung des
Modells 2 sowie der Hauptelektrode 12 und der
zusätzlichen Elektrode 13.
Die elektrische Speisequelle 5 wird an die Hauptelektrode 12, an die zusätzliche Elektrode 13 und an das
Modell 2 in der Zeitfolge
T\+T2 + Tj- T
angeschlossen. Während des Zeitabschnitts v\ (Fig. 2)
wird der Pluspol der elektrischen Speisequelle S über den Schalter 6 an jeden Kupferstab 12a der Hauptelektrode
12 angeschlossen. Den Minuspol der Speisequelle 5 verbindet man über den Schalter 6 und den
Stromleiter IG mit dem Modell 2. Hierbei wird Metall 9 auf dem Modell 2 abgeschieden, bis die Dendriten
erscheinen. In der Zeit r> (Fig. 2a) schaltet man den
Pluspol der elektrischen Speisequelle 5 (Fig.3) über
den Schalter 6 und den Stromleiter 16 an das Modell 2 an, während der Minuspol der Speisequelle 5 über den
Schalter 6 mit jedem Titanhohlrohr 13a der zusätzlichen Elektrode 13 verbunden wird. Hierbei werden die
Dendriten und das Metal! 9 sr. den herausragenden
Abschnitten der Modelloberfläche selektiv aufgelöst. Dies führt zum Ausgleich der Dicke des abgeschiedenen
Metalls 9 und zur Metallabscheidung an der zusätzlichen Elektrode 13. Während des Zeitabschnitts η (Fig. 2b)
werden der Pluspol der elektrischen Speisequelle 5 (F i g. 3) über den Schalter 6 an die zusätzliche Elektrode
13 und der Minuspol der Speisequelle 5 über den Schalter 6 an die Hauptelektrode 12 angeschlossen.
Hierbei wird das an der zusätzlichen Elektrode 13 abgeschiedene Metall vollständig aufgelöst und zur
Hauptelektrode 12 übertragen. Die Zeitabschnitte η, T2
und T3 stehen in einem gegenseitigen Zusammenhang
und sind von der Geschwindigkeit der Metallabscheidung (Metallauflösung) an der Oberfläche des Modells 2
sowie von der Struktur der Metallschicht abhängig.
Die Dauer des Zeitabschnitts τι (F i g. 2) ermittelt man
aus der Beziehung
h =
k-a
in der
die Korngröße im abgeschiedenen Metall (μπι),
die Geschwindigkeit der Metallabscheidung auf dem Modell (μΐη/Stunde) und
ein empirischer Proportionalitätsfaktor ist, der die Bedingungen des Ablaufs der Metallabscheidung auf dem Modell berücksichtigt.
die Geschwindigkeit der Metallabscheidung auf dem Modell (μΐη/Stunde) und
ein empirischer Proportionalitätsfaktor ist, der die Bedingungen des Ablaufs der Metallabscheidung auf dem Modell berücksichtigt.
Die Dauer des Zeitabschnitts Ti (F i g. 2a) wählt man
ungefähr gleich 0,01 bis 0,1 der Dauer von n. Der Zeitabschnitt T3 (Fig.2b) wird bei einem schnellen
Abfall der Stärke des von der elektrischen Speisequelle 5 erzeugten Stromes abgeschlossen. Das experimentell
ermittelte optimale Verhältnis der Dauer der erwähnten Zeitabschnitte kann wie folgt erklärt werden. Die
Entstehung von Dendriten ist durch ungleichmäßiges Kristallwachstum bei der Elektrolyse bedingt Schon
eine geringe Erhöhung der Wachstumsgeschwindigkeit
μ bei einem einzelnen Kristall in bezug auf die Wachstumsgeschwindigkeit der benachbarten Kristalle
führt zu seinem »Hervorstechen« aus der Gesamtmenge von Kristallen. Infolgedessen steigen die an diesem
Kristall wirksame elektrische Feldstärke und die lokale Stromdichte am Kristall an, wobei der Kristall viel
schneller wächst d. h. ein Dendrit gebildet wird.
Die Gleichmäßigkeit der Metallabscheidung (Meiailauflösung)
ist bei der Elektrolyse von den Abständen
zw'sch;n den Elektroden 12,13 und dem Modell 2direkt
abhängig. Durch die Kombination der zwei Elektroden 12, 13, die in verschiedenen Abständen Wund h von der
Oberfläche des Modells 2 angeordnet sind, wird es möglich, Metall 9 auf der ganzen Oberfläche des
Modells 2 abzuscheiden und die dabei entstehenden Zentren der Dendritbildung periodisch zu beseitigen,
und wenn es erforderlich ist, auch das Glätten des Niederschlags an herausragenden Abschnitten des
Modells 2 und an seinen scharfen Kanten vorzunehmen. Experimentell wurde ein optimales Verhältnis der
Abstände des Modells 2 von den Elektroden 12 und 13 gefunden, das ungefähr 0,1 bis 0,3 beträgt. Die
Wahrscheinlichkeit der Entstehung von Dendriten ist der Geschwindigkeit der Metallabscheidung direkt
proportional, die Dauer des Zeitabschnitts ri ist also der
Abscheidungsgeschwindigkeit ν umgekehrt proportional. Die Abscheidungsgeschwindigkeit bestimmt auch
die Struktur des Niederschlags nämlich die Korngröße. Da die Wachstumsgeschwindigkeit eines einzelnen
Kristalls nicht über eine tür den betreitenden Werkstoff konstante Größe steigen kann, ergibt sich eine
Erhöhung der Metallabscheidungsgeschwindigkeit bei der Elektrolyse infolge einer Vergrößerung der Anzahl
gleichzeitig wachsender Kristalle, da die Niederschlagsstruktur kleinkörniger wird. Das Kleinerwerden der
Niederschlagskörner führt zur Erhöhung der Anzahl von Kristeilschichten in der erreichten Niederschlagsdicke,
wobei die Wahrscheinlichkeit der Dendritbildung bei dieser Niederschlagsdicke größer wird. Folglich ist
die Dauer des Zeitabschnitts τι eier mittleren Korngröbe
im Niederschlag direkt proportional. Die Dauer des T3-Zyklus gewährleistet die Rückkehr des Systems in
den Ausgangszustand. Die Entfernung des abgeschiedenen Metalls von der zusätzlichen Elektrode 13 muß
unbedingt erfolgen, da sonst die Konfiguration der zusätzlichen Elektrode 13 durch den Niederschlag
geändert wird und ein Kurzschluß im Zwisrhei.elektrcdenraum
h entsteht, womit weitere Durchführung dei Metallabscheidung unmöglich wird.
Da die zusätzliche Elektrode 13 aus einem bei der anodischen Polarisation im betreffenden Elektrolyten
nichtloslichen Werkstoff, z. B. aus Titan, hergestellt ist, weist der an der zusätzlichen Elektrode J3 in der
anodischen Zeitperiode nach der Metallauflösung entstehende passive Film einen hohen ohmschen
ίο Widerstand auf und verhindert dadurch den Stromdurchfluß
dieser Elektrode im ^-Zyklus, wenn das darauf abgeschiedene Metall vollständig aufgelöst ist.
Der Stromabfall im n-Zyklus dient als Signal zur
Umschaltung auf die Betriebsart des r ι-Zyklus.
Ii Bei der Prüfung der Erfindung wurde ein Labormu-Sicr
einer speziellen Spcisequelle benutzt, die den benötigten technologischen Strom lieferte. Dadurch
ergab sich die Möglichkeit, die Betriebsprüfung in einem breiten Bereich von Zeitintervallen und Impulsarnplituden
durchzuführen. Die Abscheidung von Kupfer auf ein aus nichtrostendem Stahl ais Platte und ais Formstück
hergestelltes Modell erfolgte in einem Sulfatelektrolyten folgender Zusammensetzung: H2SO4 50 g/l.
C11SO4 ■ 5 H2O 250 g/l. wobei der beschleunigte Ab-Scheidungsvorgang
bei Slromdichten am Modell von Γ bis 350 A/dm2 und bei Reynoldsscher Zahl von
Re-- 60 000 durchgeführt wurde. Die zusätzliche Elektrode war aus Titan und die Hauptelektrode aus Kupfer
hergestellt.
in Die Dauer der Zeitabschnitte η, τ 2. Γι und ihre
Stromamplituden wurden mit einem Schnellschreibgerät registriert. Die Dauer des η-Zyklus von 25 s wurde
entsprechend den Bedingungen des erwähnten beschleunigten Vorganges der Kupferabscheidung gewählt.
Die Ergebnisse der Experimente sind in der Tabelle 1 aufgeführt.
Lfd. | f| | Γ2 | '.1 | H | h | Minimale Abschei | am Profil | \ ntstchung \on | Dendriten und |
Nr. | S | S | S | mm | mm | dungsgeschwindigkeit | modell | Kurzschlüssen | |
(^.m/Stunde) | |||||||||
am flachen | - | am !lachen | am Profil- | ||||||
Modell | 250 | Modell | moQ ■·! | ||||||
1. | 25 | 0,2 | 0,2 | 40 | 5 | _ | 180 | Kurzschluß | Kurzschluß |
2. | 25 | 0,25 | 0.25 | 40 | 5 | 800 | 100 | keine | Kurzschluß |
3. | 25 | 2 | 2 | 40 | 5 | 350 | - | keine | keine |
4. | 25 | 2,5 | 2,5 | 40 | 5 | 180 | - | keine | keine |
5. | 25 | 4 | 4 | 40 | 5 | 100 | 200 | keine | keine |
6. | 25 | 2 | 2 | 40 | 3 | - | — | Kurzschiuß | Kurzschluß |
7. | 25 | 2 | 40 | 4 | 350 | keine | Kurzschluß | ||
8. | 25 | 2 | 2 | 40 | 12 | 350 | keine | keine | |
9. | 25 | 2 | 2 | 40 | 15 | 350 | keine | Kurzschluß |
Aus der Tabelle kann man ersehen, daß die optimale Dauer des Zeitintervails τι 0.25 bis 2,5 s, also das 0,01- bis
0,1 fache der Dauer des τι-Zyklus (vgl. Nr. 2, 3, 4 in der
Tabelle) beträgt. Bei τ2>0,1 η (Nr. 5 der Tabelle) wird
Metall nicht nur an den vorspringenden Abschnitten intensiv anodisch aufgelöst, sondern es verringert sich
merklich auch die mittlere Abscheidungsgeschwindigkeit, während bei T2
< 0,0! Ti(Nr. 1 der Tab.) die Zentren der Dendritbildung am Profilmodell nicht rechtzeitig
aufgelöst werden, wobei ein Kurzschluß entsteht und die Elektrolyse unterbrochen wird. Der optimale
Bereich der Abstände h liegt zwischen 4 und 12 mm (Nr. 7. 3, 8 der Tabelle), was dem 0,1- bis 0,3fachen der
Entfernung H der Hauptelektrode 12 vom Modell 2 entspricht. Ist der Abstand der zusätzlichen Elektrode
13 vom Modell 2 kleiner als das 0,1 fache der Entfernung H(Nr. 6 der Tabelle), so muß die Elektrolyse infolge von
Kurzschlüssen unterbrochen werden, deren Entstehung
Γ~
man durch Einwirkung der ungleichmäßigen elektrischen Feldstärke zwischen der zusätzlichen Elektrode
13 und dem Modell 2 und die sich daraus ergebende geringere Effektivität dieser Elektrode 13 erklären
kann. Wenn der Abstand größer als 03 H (Nr. 9 der
Tabelle) ist, wird die Effektivität der selektiven Metallauflösung an den vorspringenden Modellabschnitten
stark herabgesetzt, wobei die Dendriten weiter wachsen und Kurzschlüsse entstehen. Das
erfindungsgemäße Verfahren verhindert also das Wachstum von Dendriten (vgl, Nr. 3 der Tabelle) und
ermöglicht außerdem den Ausgleich des galvanischen Niederschlags (Nr. 4 der Tabelle).
Das Verfahren gestattet somit die beschleunigte Durchführung der Metallabscheidung an komplizierten
Profilmodellen, erhöht die Produktivität des Abscheidungsvorganges und verbessert die Gleichmäßigkeit
der Niederschlagsverteilung.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
1. Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung
auf einem Modell, bei dem
das Modell und die Hauptelektrode in einen Elektrolyten gebracht werden und
in demselben Elektrolyten zwischen dem Modell und der Hauptelektrode eine zusätzliche Elektrode in einem Abstand vom Modell angeordnet wird, der ihre gegenseitige Berührung während des Zyklus der Metallabscheidung auf dem Modell ausschließt, worauf
das Modell und die Hauptelektrode in einen Elektrolyten gebracht werden und
in demselben Elektrolyten zwischen dem Modell und der Hauptelektrode eine zusätzliche Elektrode in einem Abstand vom Modell angeordnet wird, der ihre gegenseitige Berührung während des Zyklus der Metallabscheidung auf dem Modell ausschließt, worauf
eine elektrische Speisequelle an jede Elektrode und an das Modell angeschlossen wird,
dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß der elektrischen Speisequelle an jede Elektrode und an das Modell in der nachstehenden Zeitfolge
dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß der elektrischen Speisequelle an jede Elektrode und an das Modell in der nachstehenden Zeitfolge
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3116789A DE3116789C2 (de) | 1981-04-28 | 1981-04-28 | Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3116789A DE3116789C2 (de) | 1981-04-28 | 1981-04-28 | Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3116789A1 DE3116789A1 (de) | 1982-11-11 |
DE3116789C2 true DE3116789C2 (de) | 1983-06-16 |
Family
ID=6130980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3116789A Expired DE3116789C2 (de) | 1981-04-28 | 1981-04-28 | Verfahren zur elektrolytischen Metallabscheidung auf einem Modell |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3116789C2 (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9689084B2 (en) * | 2014-05-22 | 2017-06-27 | Globalfounries Inc. | Electrodeposition systems and methods that minimize anode and/or plating solution degradation |
US11680330B2 (en) * | 2021-07-22 | 2023-06-20 | Fabric8Labs, Inc. | Electrochemical-deposition apparatuses and associated methods of electroplating a target electrode |
-
1981
- 1981-04-28 DE DE3116789A patent/DE3116789C2/de not_active Expired
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
NICHTS-ERMITTELT |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3116789A1 (de) | 1982-11-11 |
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