JP2018165378A - 部分めっき用マスク部材、部分めっき装置および部分めっき方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】部分めっき用の上方から2列目より下方の列に形成された前記開口部のめっき液を供給される側の少なくとも下端部の周囲の厚さを、開口部周辺部の厚さより薄くすること、その部分に勾配を設けること、またはそれらを組み合わせた形状とした部分めっき用マスク部材を用いることにより、部分めっきのスポット内での良好なめっき膜厚分布を得ることができる。
【選択図】図3
Description
具体的には、ドラム治具内部にめっき液の噴流部と噴流手段を設け、被処理材と接触するドラム治具の外周面部に複数の開口部を有する部分めっき用のマスク治具を設け、前記めっき液の噴流部を介して前記マスク治具の開口部からめっき液を被処理材表面に供給し、前記めっき液の噴流部または前記マスク治具内周面側に配設したアノードとカソードである被処理材との間に電流を流して電解を行うことにより、被処理材の表面に前記マスク治具の開口部の形状に応じた部分めっきが形成される。なお、形成される部分めっきがスポット状の場合には、当該部分めっきをスポットめっきと呼ぶ場合がある。
これらの部分めっき装置において、帯状の被処理材とドラム状治具を同期させて部分めっきを行う方法としては、例えば、部分めっきに使用するマスク部材の外周部に複数の位置決め用ピンを設け、被処理材の外周部に複数の位置決め用の穿孔を設け、前記複数の位置決め用ピンと前記複数の穿孔を嵌合させることにより、被処理材を搬送する駆動力をドラム状治具に伝達し、被処理材の搬送速度とドラム治具の外周速度を同期させる方法等、多数の方法が実用に供されている。
そのため、連続式の部分めっき装置の生産性を向上させるために、被処理材の板幅方向に複数列の部分めっきを行った後、部分めっきを施した被処理材を、スリッター等の手段を用い、長手方向に沿って複数の金属帯に分割する方法が提案されている。
しかし、縦型形式の部分めっき装置において、図1に示す様な上下に複数列の開口部を配置した部分めっき用マスク部材を用いて部分めっきを行うと、下段の開口部(上方から2列目以降)に対応して得られる部分めっきにおいて、電気めっきの電解条件によってはめっきにヤケが発生したり、部分めっきされたスポット内で、めっき層の膜厚分布が悪化したりすることが判明した。
また、前記開口部のめっき液を供給される側の少なくとも下端部の開口部周辺部は、勾配を設けたもの、もしくは、下端部の周囲の厚さが、開口部周辺部の厚さより薄くなっており、さらにその外周部に勾配を設けたものであっても良い。
これらの部分めっき用マスク部材は、帯板状の金属材料と接する側に、前記帯板状の金属材料の通板経路となる凹部を設けることができ、その凹部の周縁部に、位置決め用の複数のピンが突出して形成しても良い。
本発明の部分めっき装置における部分めっき用マスク部材102、めっき液噴流部106およびアノード104の配置は、基本的には図1に示した従来用いられている部分めっき装置のそれと変わらないが、部分めっき用マスク部材102の下方側に配列された部分めっき用の開口部102cのめっき液を供給される側の少なくとも下端部の周囲の厚さを、開口部周辺部の他の部分よりも薄くしたことが特徴である。
図6に、本発明の部分めっき用マスク部材の開口部周囲の形状に関するさらに他の実施形態の断面図を示す。本実施形態は、図4に示す実施形態と図5に示す実施形態を組み合わせたものである。
図5および図6の実施形態では、開口部102cの下端部のみに加工が施されているが、同様の加工を開口部102cの全周に対して施しても構わない。また、本発明においては、上方側に配列された部分めっき用の開口部102cの形状は特に規定するものではないが、図5および図6に示す形状としても構わない。
(株)日立ハイテクサイエンス製蛍光X線膜厚計SFT−110Aを用い、部分めっきスポットの縦方向の中心線上のめっき膜厚を0.2mm間隔で測定し、部分めっきスポット内でのめっき膜厚分布を測定した。用いたコリメータ径は0.2mmφで、測定時間は一点につき10sである。
供試材として、DOWAメタルテック(株)社製銅合金板材NB109−EH材(Cu−Ni−Sn−P系銅合金)に、下地めっきとして厚さ1.2μmのNiめっきを被覆した帯状の板材(幅54.0mm×厚さ0.2mm)を用いた。
本比較例に用いた部分めっき用マスク部材102の開口部102c付近の断面図を図7に示す。開口部周辺部の厚さは1.2mmである。開口部102cのサイズは、幅方向2.0mm×円周方向1.2mmである(以下の実施例も同じ。)。
部分めっきには、Au濃度:10g/L、Co濃度:0.2g/Lの硬質Auめっき液を用い、液温:55℃、pH:4.25電流密度30A/dm2、目標めっき膜厚0.5μmで電気めっきを行うことにより、開口部102cに対向する部分の帯板状の金属材料10の表面にスポット状の部分Auめっきを形成した。
図8に、本比較例で得られた下方の列(上方から2列目)部分Auめっきのスポット内の幅方向のめっき膜厚分布を示す。本比較例の場合、上方の列の開口部102cに対応するAu部分めっきスポットのAuめっき膜厚は0.49±0.04μmであったが、下方のそれに対応するAuめっき膜厚は0.44±0.11μm(膜厚に対し±25.0%)であり、膜厚分布が悪化するとともに、ヤケ発生によるめっきの膜厚減少が観察された。
部分めっき用マスク部材102として、開口部102c付近の断面形状が図4に示すものを用い、目標めっき膜厚0.8μmで電気めっきを行った以外は比較例1と同じ条件で、開口部102cに対向する部分の帯板状の金属材料10の表面にスポット状の部分Auめっきを形成した。ここで、開口部102cの厚さdは0.7mmであり、開口部周辺部の他の部分よりも薄く加工される領域lの長さは1mmである。
本実施例で得られたAu部分めっきスポットのAuめっき膜厚は、上方の列において0.85±0.05μm、下方の列において0.80±0.15μm(膜厚に対し±18.8%)であり、下方の列の部分Auめっきの膜厚分布が上述の比較例よりも改良するとともに、ヤケ発生範囲が減少し、ヤケの程度が軽減された。
部分めっき用マスク部材102として、開口部102c付近の断面形状が図5に示すものを用いて電気めっきを行った以外は比較例1と同じ条件で、開口部102cに対向する部分の帯板状の金属材料10の表面にスポット状の部分Auめっきを形成した。ここで、開口部102cの厚さdは0.7mmであり、勾配の角度は45°である。
本実施例で得られたAu部分めっきスポットのAuめっき膜厚は、上方の列において0.55±0.02μm、下方の列において0.45±0.07μm(膜厚に対し±15.6%)であり、下方の列の部分Auめっきの膜厚分布が上述の比較例よりも改良するとともに、ヤケ発生範囲が減少し、ヤケの程度が軽減された。
部分めっき用マスク部材102として、開口部102c付近の断面形状が図6に示すものを用いて電気めっきを行った以外は比較例1と同じ条件で、開口部102cに対向する部分の帯板状の金属材料10の表面にスポット状の部分Auめっきを形成した。ここで、開口部102cの厚さdは0.7mmであり、領域lの長さは1mm、勾配角度は45°である。
図9に、本比較例で得られた下方の列(上方から2列目)部分Auめっきのスポット内の幅方向のめっき膜厚分布を示す。本比較例の場合、上方の列の開口部102cに対応するAu部分めっきスポットのAuめっき膜厚は0.50±0.02μm、下方の列のそれは0.47±0.04μm(膜厚に対し±12.0%)であり、下方の列においても良好な膜厚分布が得られ、めっきのヤケも発生しなくなった。
102 マスク部材
102a 凹部(金属板材の通板部)
102b 位置決めピン
102c 開口部
104 アノード
106 めっき液噴流部
106a スリット
108 入口側支持ロール
110 出口側支持ロール
Claims (7)
- 帯板状の金属材料に連続的に部分めっきを行う縦型の部分めっき装置に用いられる略円筒形の部分めっき用マスク部材であって、前記マスク部材の円周方向に互いに離間して形成された複数の開口部からなる列が前記マスク部材の幅方向に複数列形成されており、上方から2列目より下方の列に形成された前記開口部のめっき液を供給される側の少なくとも下端部の周囲の厚さが、開口部周辺部の厚さより薄くなっている、部分めっき用マスク部材。
- 帯板状の金属材料に連続的に部分めっきを行う縦型の部分めっき装置に用いられる略円筒形の部分めっき用マスク部材であって、前記マスク部材の円周方向に互いに離間して形成された複数の開口部からなる列が前記マスク部材の幅方向に複数列形成されており、上方から2列目より下方の列に形成された前記開口部のめっき液を供給される側の少なくとも下端部の開口部周辺部に勾配を設けた、部分めっき用マスク部材。
- 帯板状の金属材料に連続的に部分めっきを行う縦型の部分めっき装置に用いられる略円筒形の部分めっき用マスク部材であって、前記マスク部材の円周方向に互いに離間して形成された複数の開口部からなる列が前記マスク部材の幅方向に複数列形成されており、上方から2列目より下方の列に形成された前記開口部のめっき液を供給される側の少なくとも下端部の周囲の厚さが、開口部周辺部の厚さより薄くなっており、さらにその外周部に勾配を設けた、部分めっき用マスク部材。
- 帯板状の金属材料と接する側に、前記帯板状の金属材料の通板経路となる凹部を設けた、請求項1〜3のいずれか1項に記載の、部分めっき用マスク部材。
- 帯板状の金属材料の通板経路となる凹部の周縁部に、位置決め用の複数のピンが突出して形成された、請求項4に記載の、部分めっき用マスク部材。
- 請求項1〜5の何れか1項に記載の部分めっき用マスク部材が外周面部に設けられ、帯板状の金属材料が前記外周面部に沿って搬送される円筒状ドラム治具を有し、前記部分めっき用マスク部材の開口部を介して前記帯板状の金属材料にめっき液を供給しながら通電し、前記帯板上の金属材料の一部に連続的に電気めっきを行う、部分めっき装置。
- 請求項6に記載の部分めっき装置を用い、部分めっき用マスク部材の開口部を介して帯板状の金属材料にめっき液を供給しながら通電し、前記帯板状の金属材料の一部に連続的に電気めっきを行う、部分めっき方法。
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