KR101324470B1 - Device for alignment of a display panel - Google Patents

Device for alignment of a display panel Download PDF

Info

Publication number
KR101324470B1
KR101324470B1 KR1020130036259A KR20130036259A KR101324470B1 KR 101324470 B1 KR101324470 B1 KR 101324470B1 KR 1020130036259 A KR1020130036259 A KR 1020130036259A KR 20130036259 A KR20130036259 A KR 20130036259A KR 101324470 B1 KR101324470 B1 KR 101324470B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
pin
stopper
tray
move
Prior art date
Application number
KR1020130036259A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
차도갑
Original Assignee
주식회사 트레이스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 트레이스 filed Critical 주식회사 트레이스
Priority to KR1020130036259A priority Critical patent/KR101324470B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101324470B1 publication Critical patent/KR101324470B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates

Abstract

PURPOSE: A display substrate aligning apparatus with a touch screen panel is provided to reduce installation expenses by using only one device to align any standards of substrates. CONSTITUTION: A middle plate (110) is installed inside a body in the transverse direction. Multiple first pins (118) are fixed on a first pin-fixing plate (114). Multiple second pins are fixed on a second pin-fixing plate. The first and the second pins move a substrate. A tray (130) aligns the substrate.

Description

디스플레이 기판 정렬장치{DEVICE FOR ALIGNMENT OF A DISPLAY PANEL}Display Board Aligner {DEVICE FOR ALIGNMENT OF A DISPLAY PANEL}

본 발명은 디스플레이 기판 정렬장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 터치스크린 패널을 포함한 디스플레이 기판에 라미네이팅 등의 가공을 하기 위해서 기판을 이송하는 장치에서, 기판의 크기에 관계없이 정확한 위치에 기판을 정렬시킬 수 있도록 양측면에서 서로 직각방향으로 이동이 가능한 핀을 구비하여 모든 규격의 기판을 정렬시킬 수 있도록 하는 디스플레이 기판 정렬장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display substrate alignment device. More particularly, the present invention relates to a display substrate aligning apparatus, and more particularly, in a device for transferring a substrate for laminating or the like to a display substrate including a touch screen panel, the substrate may be aligned at an accurate position regardless of the size of the substrate. The present invention relates to a display substrate aligning apparatus having pins that are movable at right angles to each other so that the substrates of all sizes can be aligned.

평판 디스플레이 장치에 사용되는 디스플레이 기판을 생산하거나, 터치스크린 패널을 기판에 부착하는 공정에서는 기판을 정확한 위치에 정렬시키고, 순차적인 공정에 투입하기 위해 이송하는 장치들이 사용되고 있다.In the process of producing a display substrate used for a flat panel display device or attaching a touch screen panel to the substrate, devices for aligning the substrate at an accurate position and transferring the same to a sequential process are used.

도 1은 종래기술에 따른 기판 반송 및 도포 장치의 구조를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing the structure of a substrate transfer and coating apparatus according to the prior art.

기판(90)에 약품을 분사하는 도포 장치(1)는, 기판(90)을 반송하는 기판 반송 장치(2)와 기판(90)을 아래쪽으로부터 지지하는 스테이지(3)와 스테이지(3)에 유지된 기판(90)에 노즐(40)로부터 레지스트를 토출하는 도포하는 도포부(4)와, 도포부(4)가 주행할 때에 가이드로서 기능을 가지는 도포부 주행 지지부(5)와, 노즐(40)의 메인터넌스(maintenance)를 행하기 위한 메인터넌스부(6)와, 도포 장치(1)를 구성하는 각부의 제어를 행하는 제어부(8)로 대별된다. 또한, 도포 장치(1)는, 액정 표시 장치의 화면 패널을 제조하기 위한 각형 유리 기판을 피처리 기판으로 하고, 기판(90)의 표면에 형성된 전극층 등을 선택적으로 에칭하는 프로세스에 있어서, 기판(90)의 표면에 처리액으로서의 레지스트를 도포하도록 구성되어 있다. 따라서, 이 실시 형태에서는, 노즐(40)은, 레지스트(도포액)를 토출하도록 되어 있다. 또한, 도포 장치(1)는, 액정 표시 장치용의 유리 기판뿐만이 아니라, 일반적으로 플랫 패널 디스플레이용의 여러 가지의 기판에 처리액을 도포하는 장치로서 변형 이용할 수도 있다.The coating apparatus 1 which inject | pours a chemical | medical agent to the board | substrate 90 is hold | maintained at the stage 3 and the stage 3 which support the board | substrate conveying apparatus 2 which conveys the board | substrate 90, and the board | substrate 90 from below. The application part 4 which apply | coats the resist from the nozzle 40 to the formed board | substrate 90, the application part running support part 5 which has a function as a guide when the application part 4 runs, and the nozzle 40 It is divided into the maintenance part 6 for performing maintenance of (), and the control part 8 which controls each part which comprises the coating device 1. As shown in FIG. In addition, the coating device 1 uses a rectangular glass substrate for manufacturing a screen panel of a liquid crystal display device as a substrate to be processed, and selectively processes an electrode layer or the like formed on the surface of the substrate 90. It is comprised so that the resist as a process liquid may be apply | coated to the surface of 90). Therefore, in this embodiment, the nozzle 40 is to discharge a resist (coating liquid). In addition, the coating device 1 can also be modified and used as a device which apply | coats a processing liquid to not only the glass substrate for liquid crystal display devices, but also various board | substrates for flat panel displays generally.

기판 반송 장치(2)는, 주로, 반송 롤러(20)와, 반송 롤러 구동부(21)와, 반송 보조 롤러(22)와, 스테이지(3)에 설치되는 수평 반송 롤러(23)와, 얼라인먼트부(24)로 구성된다. 기판 반송 장치(2)는, 기판(90)의 반송 방향((+X) 방향)을 향해 연장 설치되어 있고, 반송 라인을 형성함으로써, (-X)방향 (상류)측으로부터 (+X)방향 (하류)측을 향해 기판(90)을 반송하는 것이 가능하다.The substrate conveyance apparatus 2 mainly has the conveyance roller 20, the conveyance roller drive part 21, the conveyance auxiliary roller 22, the horizontal conveyance roller 23 provided in the stage 3, and the alignment part. It consists of 24. The board | substrate conveying apparatus 2 is extended toward the conveyance direction ((+ X) direction) of the board | substrate 90, and forms a conveyance line, and is (+ X) direction from the (-X) direction (upstream) side. It is possible to convey the board | substrate 90 toward the (downstream) side.

반송 롤러(20)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 스테이지(3) 및 도포부 주행 지지부(5)를 사이에 끼고 (-X)방향측에 설치되는 복수의 상류측 반송 롤러(20a)와 (+X)방향측에 설치되는 복수의 하류측 반송 롤러(20b)로 구성된다. 반송 롤러(20)는, 반송 방향에 대해 직각에 교차하는 방향(Y축 방향)으로 그 길이 방향을 가지고, 각각 축심(201)을 가진다. 축심(201)은, 반송 롤러 구동부(21)에 접속되어 있고 이 반송 롤러 구동부(21)를 구동함으로써 그 동력이 축심(201)에 전달되어 반송 롤러(20)를 축심(201)을 중심으로 회전시킬 수 있다. 따라서, 반송 롤러(20)는 기판(90)을 아래쪽으로부터 지지하면서, 기판(90)을 (+X)방향으로 반송할 수 있다.As shown in FIG. 1, the conveying roller 20 includes a plurality of upstream conveying rollers 20a and a plurality of upstream conveying rollers 20a provided on the (-X) direction with the stage 3 and the applicator traveling support 5 interposed therebetween ( It consists of the several downstream conveyance roller 20b provided in the + X) direction side. The conveyance roller 20 has the longitudinal direction in the direction (Y-axis direction) which cross | intersects perpendicularly with respect to a conveyance direction, and has the axial center 201, respectively. The shaft center 201 is connected to the conveying roller drive part 21, and by driving this conveying roller drive part 21, the power is transmitted to the shaft center 201, and the conveyance roller 20 is rotated about the shaft center 201. You can. Therefore, the conveyance roller 20 can convey the board | substrate 90 to (+ X) direction, supporting the board | substrate 90 from below.

반송 보조 롤러(22)는, 기판 반송 방향의 상류측에 설치되는 상류측 반송 보조 롤러(22a)와 하류측에 설치되는 하류측 반송 보조 롤러(22b)로 구성된다.The conveyance auxiliary roller 22 is comprised from the upstream conveyance auxiliary roller 22a provided in the upstream of the board | substrate conveyance direction, and the downstream conveyance auxiliary roller 22b provided in the downstream.

얼라인먼트부(24)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 대략 직방체 형상으로 깎아진 스테이지(3)의 상면측에 있어서, (-X)방향측에 설치되는 상류측 얼라인먼트부(24a)와 (+X)방향측에 설치되는 하류측 얼라인먼트부(24b)로 형성된다.As shown in FIG. 1, the alignment part 24 is an upstream side alignment part 24a and (+ X) provided in the (-X) direction side on the upper surface side of the stage 3 shaved | substrate in substantially rectangular parallelepiped shape. It is formed by the downstream side alignment part 24b provided in the direction direction.

도포 장치(1)에 의한 기판(90)의 스테이지(3) 상으로의 반입 동작이 개시되면, 우선, 상류측 얼라인먼트부(24a)의 접촉부가 수납위치에 퇴피한다. 그리고 다음에, 하류측 얼라인먼트부(24b)의 접촉부를 얼라인먼트 위치에 이동시켜, 반송로에서 위쪽으로 돌출시킨다. 또한, 상류측 반송보조 롤러(22a)의 실린더부를 구동함으로써, 상류측 반송 보조 롤러(22a)를 퇴피 위치로부터 반송 위치로 돌출시킨다.When the carrying-in operation | movement of the board | substrate 90 on the stage 3 by the coating device 1 is started, the contact part of the upstream alignment part 24a will first be retracted to a storage position. Then, the contact portion of the downstream alignment portion 24b is moved to the alignment position to protrude upward from the transport path. Moreover, by driving the cylinder part of the upstream conveyance auxiliary roller 22a, the upstream conveyance auxiliary roller 22a protrudes from a retracted position to a conveyance position.

다음에, 반송 롤러(20)의 회전을 개시시킨다. 이에 의해, 상류측 반송 롤러(20a)의 위치(바깥쪽 위치)에 지지되어 있는 기판(90)의, 스테이지(3) 위쪽을 향한 수평 반송이 개시된다.Next, rotation of the conveyance roller 20 is started. Thereby, the horizontal conveyance toward the stage 3 upper side of the board | substrate 90 supported by the position (outer position) of the upstream conveyance roller 20a is started.

기판(90)이 부상한 상태에서 스테이지(3)에 반입되면, 수평 반송 롤러(23)의 각 실린더부(235)를 구동함으로써, 각 수평 반송 롤러(23)의 롤러부가 접촉 위치로 이동하여, 기판(90)의 단부와 접촉한다(단계 S26, 도 4 참조).When the substrate 90 is brought up to the stage 3 in the state of floating, by driving each cylinder portion 235 of the horizontal conveying roller 23, the roller portion of each horizontal conveying roller 23 moves to the contact position, In contact with the end of the substrate 90 (step S26, see FIG. 4).

롤러부(231)가 기판(90)에 접촉한 상태에서, 각 수평 반송 롤러(23)의 모터부를 구동함으로써, 롤러부를 소정의 방향으로 회전시켜 수평 반송 롤러(23)의 회전 동작을 개시시킨다. 이 동작에 의해, 스테이지(3)에 대해 부상되어 있는 기판(90)이 (+X)방향(즉, 스테이지(3)로부터 멀어지는 방향)을 향해 수평 반송된다.In the state where the roller part 231 is in contact with the board | substrate 90, by driving the motor part of each horizontal conveyance roller 23, a roller part is rotated in a predetermined direction, and the rotation operation | movement of the horizontal conveyance roller 23 is started. By this operation, the substrate 90 floating on the stage 3 is horizontally conveyed toward the (+ X) direction (that is, the direction away from the stage 3).

기판(90)의 단부가 돌출된 하류측 얼라인먼트부(24b)의 접촉부와 접촉된 시점에서, 수평 반송 롤러(23)의 회전 동작을 정지시킨다. 그리고, 상류측 반송 보조 롤러(22a)를 반송 위치로부터 퇴피 위치로 퇴피시킨다.When the edge part of the board | substrate 90 contacts the contact part of the downstream alignment part 24b which protruded, the rotation operation of the horizontal conveyance roller 23 is stopped. And the upstream conveyance auxiliary roller 22a is retracted from a conveyance position to a retracted position.

이와 같은 구성을 갖는 종래의 반송 장치는 기판을 정확한 위치로 정렬시키는 기능은 수행할 수 있지만, 하나의 반송 장치가 정렬시킬 수 있는 기판의 크기가 정해져 있을 수밖에 없다. 즉, 다른 크기의 기판을 이송하여 정렬시키기 위해서는 새로운 규격으로 만들어진 반송 장치를 사용할 수밖에 없는 문제점이 있었다.The conventional conveying apparatus having such a configuration can perform the function of aligning the substrate to the correct position, but the size of the substrate that one conveying apparatus can align is bounded. That is, in order to transfer and align substrates of different sizes, there is a problem that a conveying device made of a new standard cannot be used.

KRKR 10-2009-002513910-2009-0025139 AA

전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 하나의 정렬장치를 이용하여 다양한 규격의 기판을 이송 및 정렬시킬 수 있도록 수평 이동이 가능한 핀을 구비하여 기판을 2개의 축 방향으로 밀어서 이동시키는 디스플레이 기판 정렬장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention for solving the above problems is a display substrate aligning device for moving the substrate by pushing the substrate in two axial directions with a pin that can be moved horizontally to transport and align the substrate of various specifications using a single alignment device The purpose is to provide.

또한 본 발명은 기판을 이동시키는 핀이 상하 방향으로 움직이도록 함으로써 기판이 트레이 위에 안착되는 과정과 트레이에서 출발하여 다음 단계로 이동하는 과정에서 핀에 의해 기판이 손상되지 않도록 하는 디스플레이 기판 정렬장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In another aspect, the present invention provides a display substrate alignment device for preventing the substrate from being damaged by the pin during the process of the substrate is seated on the tray and starting from the tray to the next step by moving the pin to move the substrate in the vertical direction It aims to do it.

전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은 기판(10)의 가공을 하기 위해서 상기 기판(10)을 이송하면서 상기 기판(10)이 놓여있는 각도와 방향을 정렬하는 장치로서, 받침판(102)과; 몸체 실린더(106)에 의해 상기 받침판(120) 위에서 상하 방향으로 움직이게 설치되며, 내부에 구동수단이 설치되는 공간이 형성되는 몸체(104)와; 상기 몸체(104)의 내부에 가로 방향으로 설치되며, 상기 몸체(104) 내부의 밑면에 설치되는 중간판 실린더(112)에 의해 상하 방향으로 움직이게 설치되는 중간판(110)과; 상기 중간판(110) 위에서 지면에 대해서 평행이면서 상기 기판(10)의 이송방향에 대하여 직각 방향으로 움직이도록 설치되는 제1핀 고정판(114)과; 상기 중간판(110) 위에서 지면에 대해서 평행이면서 상기 기판(10)의 이송방향과 나란하게 움직이도록 설치되는 제2핀 고정판(116)과; 상기 제1핀 고정판(114)에 고정되어, 상기 제1핀 고정판(114)의 움직임에 따라 상기 기판(10)의 한 측면과 접촉하면서 상기 기판(10)을 이동시키는 다수 개의 제1핀(118)과; 상기 제2핀 고정판(116)에 고정되어, 상기 제2핀 고정판(116)의 움직임에 따라 상기 기판(10)의 다른 측면과 접촉하면서 상기 기판(10)을 이동시키는 다수 개의 제2핀(120)과; 윗면에 상기 기판(10)을 안착한 상태에서 컨베이어(300)를 따라 이송되는 트레이(130);를 포함한다.The present invention devised to solve the above-described problem is a device for aligning the angle and direction in which the substrate 10 is placed while transferring the substrate 10 in order to process the substrate 10, the support plate 102 and; A body (104) installed by the body cylinder (106) to move upward and downward on the support plate (120) and having a space in which a driving means is installed; An intermediate plate 110 installed in the horizontal direction in the body 104 and installed to move in a vertical direction by an intermediate plate cylinder 112 installed on a bottom surface of the body 104; A first pin fixing plate (114) installed on the intermediate plate (110) to be parallel to the ground and to move in a direction perpendicular to the conveying direction of the substrate (10); A second pin fixing plate 116 installed on the intermediate plate 110 so as to be parallel to the ground and move in parallel with the transfer direction of the substrate 10; A plurality of first pins 118 fixed to the first pin fixing plate 114 to move the substrate 10 while contacting one side of the substrate 10 according to the movement of the first pin fixing plate 114. )and; A plurality of second pins 120 fixed to the second pin fixing plate 116 to move the substrate 10 while contacting the other side of the substrate 10 according to the movement of the second pin fixing plate 116. )and; And a tray 130 transported along the conveyor 300 in a state where the substrate 10 is seated on an upper surface thereof.

상기 트레이(130)는 가운데 면에 상하 방향으로 관통 형성되어 상기 제1핀(118)의 말단부가 노출되며, 상기 제1핀(118)의 이동 방향과 대응되게 형성되는 제1핀 이동홈(130a)과; 가운데 면에 상하 방향으로 관통 형성되어 상기 제2핀(120)의 말단부가 노출되며, 상기 제2핀(120)의 이동 방향과 대응되게 형성되는 제2핀 이동홈(130b)과; 윗면 가운데에 오목하게 형성되는 직사각형의 기판 안착홈(130c)과; 가운데 면에 관통 형성되며, 진공펌프와 연결되는 다수 개의 흡착공(130d);을 포함한다.The tray 130 has a first pin moving groove 130a which is formed through the center surface in the vertical direction to expose the distal end of the first pin 118 and is formed to correspond to the moving direction of the first pin 118. )and; A second pin moving groove 130b formed through the center surface in a vertical direction to expose an end portion of the second pin 120 and corresponding to a moving direction of the second pin 120; A rectangular substrate seating groove 130c formed concave in the center of the upper surface thereof; It is formed through the center surface, a plurality of adsorption holes (130d) connected to the vacuum pump; includes.

상기 몸체(104)의 측면에서 스토퍼 실린더(128)에 의해 상하 방향으로 움직이도록 설치되는 두 개의 스토퍼(126);를 추가로 포함하며, 상기 스토퍼(126)가 제일 위쪽으로 올라온 상태에서 상기 스토퍼(126)의 말단부는 상기 몸체(104)의 윗면 보다 더 높은 곳에 위치하며, 상기 스토퍼(126)가 제일 아래쪽으로 내려간 상태에서 상기 스토퍼(126)의 말단부는 상기 몸체(104)의 윗면 보다 더 낮은 곳에 위치하는 것을 특징으로 한다.Two stoppers 126 which are installed to move in the vertical direction by the stopper cylinder 128 on the side of the body 104; further comprising, the stopper 126 in the state in which the stopper (up) The distal end of 126 is located higher than the upper surface of the body 104, and the distal end of the stopper 126 is lower than the upper surface of the body 104 with the stopper 126 lowered to the bottom. It is characterized in that the location.

상기 트레이(130)는 상기 기판(10)의 진행방향 앞쪽 측면에 오목하게 들어간 두 개의 스토퍼 안착홈(130e);을 추가로 포함하며, 상기 두 개의 스토퍼 안착홈(130e) 사이의 간격은 상기 두 개의 스토퍼(126) 사이의 간격과 동일한 것을 특징으로 한다.The tray 130 further includes two stopper seating grooves 130e recessed into the front side of the substrate 10 in the advancing direction of the substrate 10, and the gap between the two stopper seating grooves 130e is two. It is characterized by the same spacing between the two stoppers (126).

본 발명에 따르면 소형 전자기기나 대형 전자기기에 들어가는 어떠한 규격의 기판도 하나의 장치로 이송 및 정렬이 가능해지므로, 반도체 제조설비를 별도로 설치하는 비용을 줄일 수 있으며, 하나의 공정라인에서 다양한 형태의 디스플레이 패널의 생산이 가능해지는 효과가 있다.According to the present invention, since the substrate of any standard that enters a small electronic device or a large electronic device can be transported and aligned in a single device, the cost of installing a semiconductor manufacturing facility can be reduced, and various types of processes can be performed in one process line. There is an effect that the production of the display panel can be made.

도 1은 종래기술에 따른 기판 반송 및 도포 장치의 구조를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 정렬장치가 적용된 기판 이송장치의 구조를 나타낸 사시도.
도 3과 4는 정렬장치의 구조를 나타낸 사시도.
도 5는 정렬장치의 내부 구조를 나타낸 사시도.
도 6은 컨베이어를 타고 트레이가 이송되어 오는 과정을 나타낸 단면도.
도 7은 정렬장치가 상승하면서 트레이를 윗면에 안착시키는 과정을 나타낸 단면도.
도 8은 중간판이 상승하면서 트레이를 관통하는 과정을 나타낸 단면도.
도 9는 기판이 트레이 위에서 어긋난 상태로 놓여진 상태를 나타낸 평면도.
도 10은 핀이 이동하면서 기판을 트레이 위의 정해진 위치에 정렬시키는 과정을 나타낸 평면도.
도 11은 도 10에서 중간판이 이동한 상태를 나타낸 사시도.
도 12는 정렬이 끝난 기판을 다음 공정을 위해서 이동시키는 과정을 나타낸 단면도.1 is a perspective view showing the structure of a substrate transfer and coating apparatus according to the prior art.
Figure 2 is a perspective view showing the structure of the substrate transfer apparatus to which the alignment device of the present invention is applied.
3 and 4 are perspective views showing the structure of the alignment device.
Figure 5 is a perspective view showing the internal structure of the alignment device.
6 is a cross-sectional view showing a process that the tray is transported by the conveyor.
7 is a cross-sectional view showing a process of seating the tray on the upper surface while the alignment device is raised.
8 is a cross-sectional view showing a process of penetrating the tray while the intermediate plate is raised.
Fig. 9 is a plan view showing a state in which the substrate is placed in a state of being shifted on the tray;
FIG. 10 is a plan view illustrating a process of aligning a substrate at a predetermined position on a tray while moving pins. FIG.
FIG. 11 is a perspective view illustrating a state in which an intermediate plate is moved in FIG. 10. FIG.
12 is a cross-sectional view showing a process of moving the aligned substrate for the next process.

이하에서 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 "디스플레이 기판 정렬장치"(이하, '정렬장치'라 함)를 설명한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described "display substrate alignment device" (hereinafter referred to as "aligning device") according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 정렬장치가 적용된 기판 이송장치의 구조를 나타낸 사시도이며, 도 3과 4는 정렬장치의 구조를 나타낸 사시도, 도 5는 정렬장치의 내부 구조를 나타낸 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing the structure of the substrate transfer apparatus to which the alignment device of the present invention is applied, Figures 3 and 4 are perspective views showing the structure of the alignment device, Figure 5 is a perspective view showing the internal structure of the alignment device.

본 발명의 정렬장치(100)는 도 2와 같은 기판 이송장치에 설치되어 이송수단(컨베이어, 이송로봇 등)에 의해 이송되어 안착된 기판(10)이 정확한 각도와 방향으로 배열되도록 정렬시킨다.The alignment apparatus 100 of the present invention is installed in the substrate transfer apparatus as shown in FIG. 2 and aligned so that the substrate 10, which is transferred and seated by a transfer means (conveyor, transfer robot, etc.), is arranged at an accurate angle and direction.

정렬장치(100)는 평판 형상의 받침판(102) 위에 몸체(104)가 이동가능하게 설치된 구조를 갖는다.The alignment device 100 has a structure in which the body 104 is movably installed on the plate-shaped support plate 102.

몸체(104)는 일반적으로 직육면체 형상을 가지지만, 이송장치의 형상에 따라서는 다양한 형상으로 만들어질 것이다.The body 104 generally has a cuboid shape, but will be made in various shapes depending on the shape of the conveying device.

몸체(104)는 내부가 비어있는 것이 바람직하며, 내부의 공간에 여러 가지 종류의 구동수단이 설치된다.The body 104 is preferably empty inside, various kinds of driving means are installed in the interior space.

몸체(104)는 받침판(102) 위에서 상하 방향으로 움직이는데, 몸체(104)를 움직이도록 하기 위해서 몸체 실린더(106)가 설치된다. 몸체 실린더(106)는 받침판(102) 위에 설치되며, 구동 로드(ROD)가 몸체(104)의 밑면에 결합된다. 몸체 실린더(106)의 동작에 의해 몸체(104)가 상하로 움직인다.The body 104 moves up and down on the support plate 102, and a body cylinder 106 is installed to move the body 104. Body cylinder 106 is installed on the base plate 102, the drive rod (ROD) is coupled to the bottom of the body (104). The body 104 moves up and down by the operation of the body cylinder 106.

받침판(102)과 몸체(104) 사이에는 여러 개의 몸체 가이드(108)가 설치된다. 몸체 가이드(108)는 받침판(102)의 외곽 모서리 근처에 하나씩 설치되어 몸체(104)가 상하 방향으로 움직일 때, 몸체(104)가 틀어지지 않도록 안내하는 역할을 한다.Several body guides 108 are installed between the base plate 102 and the body 104. Body guide 108 is installed one by one near the outer edge of the base plate 102 serves to guide the body 104 is not twisted when the body 104 moves in the vertical direction.

몸체(104)의 내부에는 가로 방향으로 중간판(110)이 설치된다. 중간판(110)은 몸체(104) 내부에서 상하 방향으로 움직인다. 중간판(110)을 상하 방향으로 움직이기 위해서 몸체(104) 내부의 밑면에는 중간판 실린더(112)가 설치된다. 중간판 실린더(112)의 구동 로드는 중간판(110)의 밑면에 결합되어 중간판(110)을 상하 방향으로 움직인다.The intermediate plate 110 is installed in the horizontal direction in the body 104. The intermediate plate 110 moves up and down in the body 104. In order to move the intermediate plate 110 in the vertical direction, the intermediate plate cylinder 112 is installed on the bottom surface of the body 104. The driving rod of the intermediate plate cylinder 112 is coupled to the bottom of the intermediate plate 110 to move the intermediate plate 110 in the vertical direction.

중간판(110)의 윗면에는 두 개의 고정판(114, 116)이 지면에 대해서 평행한 상태로 이동 가능하게 설치된다. 본 발명에서는 기판(10)의 이송방향에 대하여 직각 방향으로 움직이도록 설치되는 것을 제1핀 고정판(114)이라 하고, 기판(10)의 이송방향과 나란하게 움직이도록 설치되는 것을 제2핀 고정판(116)이라고 정의한다. 그러나 이와 반대로 정의하여 설명하는 것도 가능할 것이다.Two fixing plates 114 and 116 are installed on the upper surface of the intermediate plate 110 so as to be movable in parallel with the ground. In the present invention, the first pin fixing plate 114 is installed to move in a direction perpendicular to the transfer direction of the substrate 10, and the second pin fixing plate is installed to move in parallel with the transfer direction of the substrate 10. 116). However, it would be possible to define the opposite.

제1핀 고정판(114)에는 다수 개의 제1핀(118)이 고정되며, 제2핀 고정판(116)에는 역시 다수 개의 제2핀(120)이 고정된다. 제1핀(118)과 제2핀(120)은 각각 제1핀 고정판(114)과 제2핀 고정판(116)과 함께 수평 이동한다. 본 발명에서 정의한 바와 같이, 제1핀(118)은 기판(10)의 이송방향에 대하여 직각 방향으로, 제2핀(120)은 이송방향과 나란하게 움직이게 된다.A plurality of first pins 118 are fixed to the first pin fixing plate 114, and a plurality of second pins 120 are also fixed to the second pin fixing plate 116. The first pin 118 and the second pin 120 move horizontally together with the first pin fixing plate 114 and the second pin fixing plate 116, respectively. As defined in the present invention, the first pin 118 moves in a direction perpendicular to the transfer direction of the substrate 10, and the second pin 120 moves in parallel with the transfer direction.

제1핀 고정판(114)과 제2핀 고정판(116)은 각각 제1핀 고정판 실린더(122)와 제2핀 고정판 실린더(124)에 의해 움직인다. 제1핀 고정판 실린더(122)와 제2핀 고정판 실린더(124)는 모두 중간판(110) 위에 설치되며, 구동 로드가 기판(10)의 이송방향에 대하여 직각 방향과 나란한 방향으로 각각 설치된다.The first pin fixing plate 114 and the second pin fixing plate 116 are moved by the first pin fixing plate cylinder 122 and the second pin fixing plate cylinder 124, respectively. Both the first pin fixing plate cylinder 122 and the second pin fixing plate cylinder 124 are installed on the intermediate plate 110, and the driving rods are respectively installed in a direction parallel to the direction perpendicular to the transfer direction of the substrate 10.

몸체(104)의 윗면의 일측에는 두 개의 스토퍼(126)가 나란하게 설치된다. 스토퍼(126)는 중심축이 지면에 대해 수직 방향으로 세워져 있는 막대로서, 축방향 단면의 모양이 원형인 것이 일반적이지만, 삼각형이나 타원형 등 다른 형상을 가질 수도 있다. Two stoppers 126 are installed side by side on one side of the upper surface of the body 104. The stopper 126 is a rod whose central axis is erected in the vertical direction with respect to the ground. The stopper 126 is generally circular in shape, but may have other shapes such as a triangle or an ellipse.

몸체(104)의 측면에는 스토퍼 실린더(128)가 설치되어 구동 로드에 결합된 스토퍼(126)를 상하 방향으로 움직인다. 스토퍼(126)와 스토퍼 실린더(128)는 몸체(104)에서 기판(10)이 이송되어 가는 방향(하류방향)에 설치된다. 그리고 스토퍼(126)의 말단부는 제일 위쪽에 올라온 상태에서는 몸체(104)의 윗면 보다 더 높은 곳에 위치하며, 제일 아래쪽에 내려간 상태에서는 몸체(104)의 윗면 보다 더 낮은 곳에 위치한다. 따라서 스토퍼(126)가 위로 올라온 상태에서 트레이(130)가 이송되어 오면, 트레이(130)의 이송방향으로 앞쪽이 스토퍼(126)에 접촉하면서 트레이(130)가 멈추게 되고, 스토퍼(126)가 아래로 내려간 상태에서는 트레이(130)가 다음 공정을 위해 움직일 수 있게 된다.A stopper cylinder 128 is installed on the side of the body 104 to move the stopper 126 coupled to the driving rod in the vertical direction. The stopper 126 and the stopper cylinder 128 are installed in the direction (downstream direction) in which the substrate 10 is transferred from the body 104. In addition, the distal end of the stopper 126 is located at a higher position than the upper surface of the body 104 in the state where it is raised to the top, and is located at a lower position than the upper surface of the body 104 in the state where it is lowered to the bottom. Therefore, when the tray 130 is conveyed while the stopper 126 is raised upward, the tray 130 stops while the front side contacts the stopper 126 in the conveying direction of the tray 130, and the stopper 126 is lowered. In the lowered state, the tray 130 can move for the next process.

일반적으로 스토퍼(126)는 몸체(104)의 윗면 보다 높이 올라온 상태를 유지하며, 기판(10)의 정렬이 끝난 상태에서 트레이(130)가 다음 단계로 이송될 때에만 내려가 있을 것이다.In general, the stopper 126 is maintained higher than the upper surface of the body 104, and will be lowered only when the tray 130 is transferred to the next step in the alignment of the substrate 10 is completed.

트레이(130)는 기판(10)을 실은 상태에서 컨베이어를 따라 이송하는 장치로서, 기판(10)의 모양과 비슷하게 만들어지는 것이 일반적이다. 트레이(130)의 크기는 다양한 규격의 기판(10)을 수용할 수 있도록 공정 대상이 되는 최대 크기의 기판(10) 보다 조금 더 크게 만드는 것이 바람직하다.The tray 130 is a device for transporting along the conveyor in a state where the substrate 10 is loaded, and is generally made to have a shape similar to that of the substrate 10. The size of the tray 130 is preferably made a little larger than the substrate 10 of the largest size to be processed to accommodate the substrate 10 of various specifications.

트레이(130)의 가운데 면에는 상하 방향으로 다수 개의 이동홈(130a, 130b)이 관통하여 형성된다. 이동홈(130a, 130b)에는 제1핀(118)과 제2핀(120)의 말단부가 관통하여 노출된다. 제1핀(118)과 제2핀(120)은 최고 높이로 돌출된 상태에서 말단부가 트레이(130)의 가운데 면 보다 높이 올라온 상태가 된다.A plurality of moving grooves 130a and 130b penetrate through the center surface of the tray 130 in the vertical direction. The distal ends of the first pin 118 and the second pin 120 are exposed through the moving grooves 130a and 130b. The first pin 118 and the second pin 120 is in a state where the distal end is raised higher than the center surface of the tray 130 in the state protruding to the highest height.

제1핀 이동홈(130a)에는 제1핀(118)이, 제2핀 이동홈(130b)에는 제2핀(120)이 관통하여 노출된다. 또한 제1핀 이동홈(130a)을 따라 제1핀(118)이 움직이며, 제2핀 이동홈(130b)을 따라 제2핀(120)이 움직인다. 따라서 제1핀 이동홈(130a)은 기판(10)의 이송방향에 대하여 직각 방향으로 형성되며, 제2핀 이동홈(130b)은 기판(10)의 이송방향과 나란한 방향으로 형성된다.The first pin 118 penetrates the first pin moving groove 130a and the second pin 120 penetrates the second pin moving groove 130b. In addition, the first pin 118 moves along the first pin moving groove 130a, and the second pin 120 moves along the second pin moving groove 130b. Therefore, the first pin movement groove 130a is formed in a direction perpendicular to the transfer direction of the substrate 10, and the second pin movement groove 130b is formed in a direction parallel to the transfer direction of the substrate 10.

트레이(130)의 윗면 가운데에는 전체적으로 기판 안착홈(130c)이 형성된다. 기판 안착홈(130c)은 대략 직사각형의 홈으로서, 트레이(130)의 윗면 보다 오목하게 형성된다. 기판 안착홈(130c)의 테두리에 기판(10)의 측면이 맞닿으면서 기판(10)이 직각으로 정렬된다.The substrate seating groove 130c is formed in the center of the upper surface of the tray 130 as a whole. The substrate seating groove 130c is a substantially rectangular groove and is formed more concave than the upper surface of the tray 130. The substrate 10 is aligned at a right angle while the side surface of the substrate 10 abuts against the edge of the substrate seating groove 130c.

트레이(130)의 가운데 면에는 다수 개의 흡착공(130d)이 형성된다. 흡착공(130d)은 트레이(130)의 윗면까지 연통된 구멍으로서, 반대쪽은 별도의 진공펌프(도면 미도시) 등에 연결된다. 기판(10)이 트레이(130)에 정렬되어 안착된 상태에서 진공펌프가 구동되면, 흡착공(130d)에 형성된 흡입력에 의해 기판(10)이 트레이(130)의 윗면에 밀착된다. 이렇게 밀착된 상태에서 다음 공정으로 기판(10)이 이송되기 때문에 기판(10)의 정렬상태가 그대로 유지된다.A plurality of adsorption holes 130d are formed in the center surface of the tray 130. Adsorption hole (130d) is a hole communicated to the upper surface of the tray 130, the other side is connected to a separate vacuum pump (not shown). When the vacuum pump is driven while the substrate 10 is aligned and seated on the tray 130, the substrate 10 is in close contact with the upper surface of the tray 130 by the suction force formed in the suction hole 130d. Since the substrate 10 is transferred to the next process in such a close state, the alignment state of the substrate 10 is maintained as it is.

트레이(130)의 진행방향 앞쪽 측면에는 오목하게 들어간 두 개의 스토퍼 안착홈(130e)이 형성된다. 스토퍼 안착홈(130e)은 대략 원형이나 타원형의 단면으로 만들어지는데, 두 개의 스토퍼 안착홈(130e)에 두 개의 스토퍼(126)가 각각 삽입되어 밀착된다. 이를 위해서 두 개의 스토퍼 안착홈(130e) 사이의 간격은 두 개의 스토퍼(126) 사이의 간격과 동일하게 만들어야 한다.Two stopper seating recesses 130e recessed in the forward direction side of the tray 130 are formed. The stopper seating groove 130e is made of a substantially circular or elliptical cross section, and two stoppers 126 are inserted into and close to the two stopper seating grooves 130e, respectively. To this end, the spacing between the two stopper seating grooves 130e should be equal to the spacing between the two stoppers 126.

만약 스토퍼(126)가 하나인 경우에는 트레이(130)가 스토퍼(126)를 중심으로 좌우로 회전하면서 위치가 틀어질 수 있는데, 두 개의 스토퍼(126)를 사용함으로써 별도의 정렬 수단이 없어도 트레이(130)가 몸체(104) 위에 어느 정도 정확하게 안착될 수 있다.If there is only one stopper 126, the tray 130 may be rotated left and right about the stopper 126, and the position may be displaced. By using two stoppers 126, the tray (126) may be used without a separate alignment means. 130 may be seated on the body 104 to some degree.

본 발명에서는 스토퍼(126)와 스토퍼 안착홈(130e)이 각각 두 개인 것으로 설명하지만, 세 개 또는 그 이상일 수도 있다. 그리고 스토퍼 안착홈(130e)의 수는 트레이(130)의 크기에 따라서는 스토퍼(126)의 수보다 더 많을 수도 있을 것이다.In the present invention, the stopper 126 and the stopper seating groove 130e are described as two, but three or more may be provided. The number of stopper seating grooves 130e may be greater than the number of stoppers 126 depending on the size of the tray 130.

도 6은 컨베이어를 타고 트레이가 이송되어 오는 과정을 나타낸 단면도이며, 도 7은 정렬장치가 상승하면서 트레이를 윗면에 안착시키는 과정을 나타낸 단면도, 도 8은 중간판이 상승하면서 트레이를 관통하는 과정을 나타낸 단면도, 도 9는 기판이 트레이 위에서 어긋난 상태로 놓여진 상태를 나타낸 평면도, 도 10은 핀이 이동하면서 기판을 트레이 위의 정해진 위치에 정렬시키는 과정을 나타낸 평면도, 도 11은 도 10에서 중간판이 이동한 상태를 나타낸 사시도, 도 12는 정렬이 끝난 기판을 다음 공정을 위해서 이동시키는 과정을 나타낸 단면이다.Figure 6 is a cross-sectional view showing the process of conveying the tray by the conveyor, Figure 7 is a cross-sectional view showing the process of seating the tray on the upper surface while the alignment device is raised, Figure 8 shows a process of penetrating the tray while the intermediate plate is raised. 9 is a plan view showing a state in which the substrate is placed on the tray displaced, FIG. 10 is a plan view showing the process of aligning the substrate in a predetermined position on the tray while the pin is moved, FIG. 12 is a cross-sectional view showing a process of moving the aligned substrate for the next process.

도 1 내지 12를 참조하여 본 발명의 정렬장치(100)가 기판(10)을 정위치에 정렬시키는 방법을 설명한다.A method of aligning the substrate 10 in position by the alignment device 100 of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 12.

먼저 도 6과 같이, 컨베이어(300)를 따라 트레이(130)가 이송된다. 트레이(130)의 윗면에는 기판(10)이 올려진 상태인데, 기판(10)의 위치는 정렬되지 않은 무작위 상태가 된다.First, as shown in FIG. 6, the tray 130 is transferred along the conveyor 300. Although the substrate 10 is placed on the upper surface of the tray 130, the position of the substrate 10 is in an unaligned random state.

이때 몸체 실린더(106)와 중간판 실린더(112)는 최소의 길이로 줄어든 상태로서, 몸체(104)와 중간판(110)은 제일 낮은 높이에 위치해 있다. 그리고 컨베이어(300)는 몸체(104)의 윗면 보다 더 높은 곳에 설치되어 있기 때문에 트레이(130)는 아무런 방해를 받지 않고 움직일 수 있다.At this time, the body cylinder 106 and the intermediate plate cylinder 112 is reduced to the minimum length, the body 104 and the intermediate plate 110 is located at the lowest height. And because the conveyor 300 is installed higher than the upper surface of the body 104, the tray 130 can move without any interference.

트레이(130)가 정해진 위치로 접근하면, 도 7과 같이, 몸체 실린더(106)가 늘어나면서 몸체(104)가 함께 위쪽으로 올라간다. 몸체(104)는 윗면이 트레이(130)의 밑면과 접촉할 수 있는 높이까지 올라가서 멈추는데, 이때 스토퍼(126)는 제일 위쪽으로 돌출된 상태가 된다. 따라서 트레이(130)는 스토퍼(126)에 의해 이동이 중단된다.When the tray 130 approaches the predetermined position, as shown in FIG. 7, the body 104 is extended upward while the body cylinder 106 is extended. The body 104 stops by going up to a height at which the top surface can contact the bottom surface of the tray 130, where the stopper 126 is protruded upward. Therefore, the tray 130 is stopped by the stopper 126.

트레이(130)의 이동이 멈춘 상태에서 몸체(104)는 약간 더 상승하는데, 이러한 상승에 의해 트레이(130)가 컨베이어(300)로부터 떨어지면서 몸체(104)의 윗면에 안착된다.The body 104 is slightly raised in a state where the movement of the tray 130 is stopped. As a result, the tray 130 falls from the conveyor 300 and is seated on the upper surface of the body 104.

다음으로 도 8과 같이, 트레이(130)가 몸체(104)에 안착된 상태에서 중간판 실린더(112)가 늘어나면서 중간판(110)이 상승한다. 중간판(110)이 상승하면 제1핀(118)과 제2핀(120)도 함께 위로 올라가면서 말단부가 제1핀 이동홈(130a)과 제2핀 이동홈(130b)을 각각 관통하여 노출된다.Next, as shown in FIG. 8, the intermediate plate cylinder 112 rises while the intermediate plate cylinder 112 is extended in a state in which the tray 130 is seated on the body 104. When the intermediate plate 110 is raised, the first pin 118 and the second pin 120 also move up together, and the distal end penetrates through the first pin moving groove 130a and the second pin moving groove 130b, respectively. do.

도 9에는 제1핀(118)과 제2핀(120)의 말단부가 제1핀 이동홈(130a)과 제2핀 이동홈(130b)을 각각 관통하여 노출되는 상태가 도시되어 있다. 이때에도 기판(10)은 아직 정확한 위치에 정렬되어 있지 않은 상태이다.9 illustrates a state in which end portions of the first pin 118 and the second pin 120 are exposed through the first pin moving groove 130a and the second pin moving groove 130b, respectively. At this time, the substrate 10 is still not aligned at the correct position.

기판(10)을 정위치에 정렬시키기 위해서 제1핀(118)가 제2핀(120)이 가운데 방향으로 움직이는데, 이러한 동작은 도 10에 도시되어 있다. 제1핀 고정판 실린더(122)와 제2핀 고정판 실린더(124)가 구동되면서 각각의 핀(118, 120)을 움직이는데, 바람직하게는 기판 안착홈(130c)의 어느 일측 모서리로 기판(10)이 이동하도록 움직인다. 직사각형의 기판(10)이 직사각형의 기판 안착홈(130c)의 모서리로 이동하면, 기판(10)의 인접한 두 개의 변은 기판 안착홈(130c)의 인접한 두 개의 변에 의해 지지되면서, 다른 두 개의 변은 제1핀(118)과 제2핀(120)에 의해 정확한 위치에 정렬된다.In order to align the substrate 10 in place, the first pin 118 moves the second pin 120 in the center direction, which is shown in FIG. 10. The first pin fixing plate cylinder 122 and the second pin fixing plate cylinder 124 are driven to move the respective pins 118 and 120. Preferably, the substrate 10 is moved to one side edge of the substrate seating groove 130c. Move to move When the rectangular substrate 10 moves to the edge of the rectangular substrate seating groove 130c, two adjacent sides of the substrate 10 are supported by two adjacent sides of the substrate seating groove 130c, and the other two sides are separated. The sides are aligned in the correct position by the first pin 118 and the second pin 120.

제1핀(118)과 제2핀(120)이 이동하는 거리는 기판(10)의 크기에 따라 미리 정해진 만큼만 움직이도록 제어된다. 기판(10)의 크기가 작을 때에는 핀(118, 120)이 움직이는 거리가 클 것이고, 기판(10)의 크기가 클 때에는 핀(118, 120)이 조금만 움직일 것이다. 핀(118, 120)은 기판(10)이 기판 안착홈(130c)의 모서리에 닿을 때까지 움직인 다음, 다시 원래의 위치(도 9에 도시된 위치)로 돌아간다.The distance that the first pin 118 and the second pin 120 moves is controlled to move only a predetermined amount according to the size of the substrate 10. When the size of the substrate 10 is small, the distance that the pins 118 and 120 move will be large, and when the size of the substrate 10 is large, the pins 118 and 120 will move slightly. The pins 118, 120 move until the substrate 10 touches the edge of the substrate seating groove 130c, and then back to its original position (the position shown in FIG. 9).

도 11에 도시된 바와 같이, 제1핀(118) 및 제2핀(120)은 각각 제1핀 고정판(114) 및 제2핀 고정판(116)이 움직이는 동작에 의해 함께 움직이게 된다.As shown in FIG. 11, the first pin 118 and the second pin 120 are moved together by the movement of the first pin fixing plate 114 and the second pin fixing plate 116, respectively.

기판(10)이 정위치에 정렬되면 진공펌프가 동작하면서 기판(10)을 트레이(130)에 밀착시키게 된다. 이렇게 밀착된 상태에서 도 12와 같이, 중간판(110)과 스토퍼(126)가 아래로 내려간다. 중간판(110)이 내려가면서 제1핀(118)과 제2핀(120)이 트레이(130)의 아래로 내려가고, 스토퍼(126)가 내려가면서 트레이(130)의 앞부분을 고정시키던 힘이 없어진다.When the substrate 10 is aligned in position, the vacuum pump operates to bring the substrate 10 into close contact with the tray 130. In such a close state, as shown in FIG. 12, the intermediate plate 110 and the stopper 126 are lowered. As the intermediate plate 110 descends, the first pin 118 and the second pin 120 descend below the tray 130, and the stopper 126 descends to fix the front portion of the tray 130. Disappear.

이 상태에서 트레이(130)가 컨베이어(300) 또는 이송로봇 등에 의해 하류방향으로 움직여서 다음 공정으로 투입된다. 트레이(130)가 몸체(104)로부터 완전히 이격되면 몸체(104)가 아래쪽으로 내려가고, 스토퍼(126)가 다시 상승한다. 그 상태에서 새로운 트레이(130)가 들어오면 이전과 동일한 공정이 진행되면서 기판(10)에 대한 가공이 이루어진다.In this state, the tray 130 is moved in the downstream direction by the conveyor 300 or the transfer robot and the like is introduced into the next process. When the tray 130 is completely separated from the body 104, the body 104 is lowered downward and the stopper 126 is raised again. When the new tray 130 enters in the state, the same process as the previous process is performed, and the substrate 10 is processed.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, As will be understood by those skilled in the art. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive, the scope of the invention being indicated by the appended claims rather than the foregoing description, It is intended that all changes and modifications derived from the equivalent concept be included within the scope of the present invention.

10 : 기판 100 : 정렬장치
102 : 받침판 104 : 몸체
106 : 몸체 실린더 108 : 몸체 가이드
110 : 중간판 112 : 중간판 실린더
114 : 제1핀 고정판 116 : 제2핀 고정판
118 : 제1핀 120 : 제2핀
122 : 제1핀 고정판 실린더 124 : 제2핀 고정판 실린더
126 : 스토퍼 128 : 스토퍼 실린더
130 : 트레이 130a : 제1핀 이동홈
130b : 제2핀 이동홈 130c : 기판 안착홈
130d : 흡착공 130e : 스토퍼 안착홈
300 : 컨베이어10: substrate 100: alignment device
102: base plate 104: body
106: body cylinder 108: body guide
110: intermediate plate 112: intermediate plate cylinder
114: first pin fixing plate 116: second pin fixing plate
118: first pin 120: second pin
122: first pin fixing plate cylinder 124: second pin fixing plate cylinder
126: stopper 128: stopper cylinder
130: tray 130a: first pin moving groove
130b: second pin moving groove 130c: substrate seating groove
130d: Suction hole 130e: Stopper seating groove
300: conveyor

Claims (4)

기판(10)의 가공을 하기 위해서 상기 기판(10)을 이송하면서 상기 기판(10)이 놓여있는 각도와 방향을 정렬하는 장치로서,
받침판(102)과;
몸체 실린더(106)에 의해 상기 받침판(102) 위에서 상하 방향으로 움직이게 설치되며, 내부에 구동수단이 설치되는 공간이 형성되는 몸체(104)와;
상기 몸체(104)의 내부에 가로 방향으로 설치되며, 상기 몸체(104) 내부의 밑면에 설치되는 중간판 실린더(112)에 의해 상하 방향으로 움직이게 설치되는 중간판(110)과;
상기 중간판(110) 위에서 지면에 대해서 평행이면서 상기 기판(10)의 이송방향에 대하여 직각 방향으로 움직이도록 설치되는 제1핀 고정판(114)과;
상기 중간판(110) 위에서 지면에 대해서 평행이면서 상기 기판(10)의 이송방향과 나란하게 움직이도록 설치되는 제2핀 고정판(116)과;
상기 제1핀 고정판(114)에 고정되어, 상기 제1핀 고정판(114)의 움직임에 따라 상기 기판(10)의 한 측면과 접촉하면서 상기 기판(10)을 이동시키는 다수 개의 제1핀(118)과;
상기 제2핀 고정판(116)에 고정되어, 상기 제2핀 고정판(116)의 움직임에 따라 상기 기판(10)의 다른 측면과 접촉하면서 상기 기판(10)을 이동시키는 다수 개의 제2핀(120)과;
윗면에 상기 기판(10)을 안착한 상태에서 컨베이어(300)를 따라 이송되어 와서 상기 몸체(104)의 윗면의 정해진 위치에 놓여지며, 윗면에 안착된 상기 기판(10)이 상기 제1핀(118)과 상기 제2핀(120)에 의해 움직이면서 정렬되도록 받쳐주는 트레이(130);를 포함하는, 디스플레이 기판 정렬장치.An apparatus for aligning an angle and a direction in which the substrate 10 is placed while transferring the substrate 10 to process the substrate 10,
A support plate 102;
A body 104 installed by the body cylinder 106 to move upward and downward on the support plate 102 and having a space in which a driving means is installed;
An intermediate plate 110 installed in the horizontal direction in the body 104 and installed to move in a vertical direction by an intermediate plate cylinder 112 installed on a bottom surface of the body 104;
A first pin fixing plate (114) installed on the intermediate plate (110) to be parallel to the ground and to move in a direction perpendicular to the conveying direction of the substrate (10);
A second pin fixing plate 116 installed on the intermediate plate 110 so as to be parallel to the ground and move in parallel with the transfer direction of the substrate 10;
A plurality of first pins 118 fixed to the first pin fixing plate 114 to move the substrate 10 while contacting one side of the substrate 10 according to the movement of the first pin fixing plate 114. )and;
A plurality of second pins 120 fixed to the second pin fixing plate 116 to move the substrate 10 while contacting the other side of the substrate 10 according to the movement of the second pin fixing plate 116. )and;
The substrate 10 is transported along the conveyor 300 in a state in which the substrate 10 is seated on the upper surface, and is placed at a predetermined position of the upper surface of the body 104. And a tray (130) supporting the alignment by moving the second pin (120). 제1항에 있어서,
상기 트레이(130)는
가운데 면에 상하 방향으로 관통 형성되어 상기 제1핀(118)의 말단부가 노출되며, 상기 제1핀(118)의 이동 방향과 대응되게 형성되는 제1핀 이동홈(130a)과;
가운데 면에 상하 방향으로 관통 형성되어 상기 제2핀(120)의 말단부가 노출되며, 상기 제2핀(120)의 이동 방향과 대응되게 형성되는 제2핀 이동홈(130b)과;
윗면 가운데에 오목하게 형성되는 직사각형의 기판 안착홈(130c)과;
가운데 면에 관통 형성되며, 진공펌프와 연결되는 다수 개의 흡착공(130d);을 포함하는, 디스플레이 기판 정렬장치.The method of claim 1,
The tray 130 is
A first pin moving groove 130a formed through the center surface in a vertical direction to expose an end portion of the first pin 118 and corresponding to a moving direction of the first pin 118;
A second pin moving groove 130b formed through the center surface in a vertical direction to expose an end portion of the second pin 120 and corresponding to a moving direction of the second pin 120;
A rectangular substrate seating groove 130c formed concave in the center of the upper surface thereof;
And a plurality of suction holes 130d formed through the center surface and connected to the vacuum pump. 제2항에 있어서,
상기 몸체(104)의 측면에서 스토퍼 실린더(128)에 의해 상하 방향으로 움직이도록 설치되는 두 개의 스토퍼(126);를 추가로 포함하며,
상기 스토퍼(126)가 제일 위쪽으로 올라온 상태에서 상기 스토퍼(126)의 말단부는 상기 몸체(104)의 윗면 보다 더 높은 곳에 위치하며, 상기 스토퍼(126)가 제일 아래쪽으로 내려간 상태에서 상기 스토퍼(126)의 말단부는 상기 몸체(104)의 윗면 보다 더 낮은 곳에 위치하는 것을 특징으로 하는, 디스플레이 기판 정렬장치.3. The method of claim 2,
It further comprises; two stoppers 126 which are installed to move in the vertical direction by the stopper cylinder 128 on the side of the body 104,
The distal end of the stopper 126 is located higher than the upper surface of the body 104 in the state where the stopper 126 is raised upward, and the stopper 126 is in the state where the stopper 126 is lowered downward. Distal end portion is located lower than the upper surface of the body (104). 제3항에 있어서,
상기 트레이(130)는
상기 기판(10)의 진행방향 앞쪽 측면에 오목하게 들어간 두 개의 스토퍼 안착홈(130e);을 추가로 포함하며,
상기 두 개의 스토퍼 안착홈(130e) 사이의 간격은 상기 두 개의 스토퍼(126) 사이의 간격과 동일한 것을 특징으로 하는, 디스플레이 기판 정렬장치.The method of claim 3,
The tray 130 is
And two stopper seating recesses 130e recessed into the front side of the substrate 10 in the advancing direction.
And the spacing between the two stopper seating grooves (130e) is the same as the spacing between the two stoppers (126).
KR1020130036259A 2013-04-03 2013-04-03 Device for alignment of a display panel KR101324470B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130036259A KR101324470B1 (en) 2013-04-03 2013-04-03 Device for alignment of a display panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130036259A KR101324470B1 (en) 2013-04-03 2013-04-03 Device for alignment of a display panel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101324470B1 true KR101324470B1 (en) 2013-11-01

Family

ID=49856507

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130036259A KR101324470B1 (en) 2013-04-03 2013-04-03 Device for alignment of a display panel

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101324470B1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101720012B1 (en) * 2016-02-22 2017-04-10 (주)소닉스 Suction jig
KR20170080753A (en) * 2015-12-30 2017-07-11 삼성디스플레이 주식회사 Substrate aligning apparatus and the aligning method using the same
KR101901421B1 (en) * 2018-04-11 2018-09-21 (주)휴인텍 Align apparatus for manufacturing bath ceiling panel
KR20210142827A (en) * 2020-05-19 2021-11-26 (주)에스티아이 Uv curing apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200291814Y1 (en) 2002-06-24 2002-10-11 박종수 Groove pattern forming system of light guide panel for Liquid Crystal Display
JP2006066747A (en) 2004-08-30 2006-03-09 Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd Positioning apparatus and method of substrate
JP2008277478A (en) 2007-04-27 2008-11-13 Fujifilm Corp Board clamp mechanism and drawing system
KR20100048582A (en) * 2008-10-31 2010-05-11 (주)리드 Soldering apparatus and soldering method for manufacturing solar cell module

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200291814Y1 (en) 2002-06-24 2002-10-11 박종수 Groove pattern forming system of light guide panel for Liquid Crystal Display
JP2006066747A (en) 2004-08-30 2006-03-09 Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd Positioning apparatus and method of substrate
JP2008277478A (en) 2007-04-27 2008-11-13 Fujifilm Corp Board clamp mechanism and drawing system
KR20100048582A (en) * 2008-10-31 2010-05-11 (주)리드 Soldering apparatus and soldering method for manufacturing solar cell module

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170080753A (en) * 2015-12-30 2017-07-11 삼성디스플레이 주식회사 Substrate aligning apparatus and the aligning method using the same
KR102293733B1 (en) 2015-12-30 2021-08-27 삼성디스플레이 주식회사 Substrate aligning apparatus and the aligning method using the same
KR101720012B1 (en) * 2016-02-22 2017-04-10 (주)소닉스 Suction jig
KR101901421B1 (en) * 2018-04-11 2018-09-21 (주)휴인텍 Align apparatus for manufacturing bath ceiling panel
KR20210142827A (en) * 2020-05-19 2021-11-26 (주)에스티아이 Uv curing apparatus
KR102394525B1 (en) * 2020-05-19 2022-05-06 (주)에스티아이 Uv curing apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101324470B1 (en) Device for alignment of a display panel
JP5152469B2 (en) Substrate transfer device
KR101424017B1 (en) Substrate inspection apparatus
KR100923629B1 (en) Substrate transfer coating apparatus
KR101999439B1 (en) Substrate alignment apparatus, substrate processing apparatus, substrate arrangement apparatus, substrate alignment method, substrate processing method, and substrate arrangement method
TWI653917B (en) Substrate separation equipment
KR101286283B1 (en) Substrate transfer apparatus and substrate transfer method
JP4313284B2 (en) Substrate processing equipment
KR102310157B1 (en) Scribing apparatus
KR20140021832A (en) Substrate transfer module
KR200472760Y1 (en) Apparatus for supporting a tray
KR101859279B1 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
WO2016074173A1 (en) Substrate calibration method and device
JP2008260604A (en) Board carrying device
US20110278779A1 (en) Test jig structure
KR20160038245A (en) Floating coater apparatus with high accuracy of substrate alignment
JP2016040099A (en) Removal method, removal device and printing system
KR102222263B1 (en) Substrate processing apparatus
JP6550932B2 (en) Breaker, break system and break unit
KR101580554B1 (en) The apparatus for changing the pitch between the wafers
KR20180035660A (en) Substrate arrangement apparatus and substrate arrangement method
JP4711771B2 (en) Conveying device and vacuum processing device
KR20140021831A (en) Substrate transfer module
KR20140021316A (en) Substrate transfer module
KR20160099356A (en) Apparatus and method for grinding edge of substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161013

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee