KR101321322B1

KR101321322B1 - Conveyance device for substrate and conveyance method

Info

Publication number: KR101321322B1
Application number: KR1020120040830A
Authority: KR
Inventors: 유이치 사토; 사다토 우에하라
Original assignee: 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤
Priority date: 2011-04-22
Filing date: 2012-04-19
Publication date: 2013-10-23
Also published as: CN102760677B; CN102760677A; KR20120120046A

Abstract

본 발명은, 기판의 사이즈에 따라 기판을 반송하는 한 쌍의 가이드 레일의 간격을 기판을 지지하는 스테이지에 대하여 중심을 일치시켜 변경할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격을 설정하는 회전 구동원(9)과, 한 쌍의 가이드 레일에 의해 폭 방향 양단부가 지지된 기판의 하면을 지지하는 스테이지(3)와, 한 쌍의 가이드 레일 사이에 위치하는 스테이지의 폭 방향의 단부면에 대하여 정압 또는 부압의 기체압을 작용시키는 노즐체(19)와, 기판의 사이즈 변경에 수반하여 스테이지가 상이한 폭 치수의 스테이지로 교환되었을 때, 노즐체로부터 교환된 스테이지의 측면을 향해 기체압을 작용시키면서 노즐체가 설치된 가이드 레일을 스테이지의 측면에 접근하는 방향으로 구동함으로써, 노즐체와 스테이지의 측면 사이의 간격의 변화에 의해 생기는 기체의 압력 변화를 검출하는 압력 센서(24)와, 압력 센서가 검출하는 노즐체에 흐르는 기체의 압력 변화에 의해 회전 구동원의 구동을 제어하여 한 쌍의 가이드 레일의 간격을 설정하는 제어 장치를 포함한다. It is an object of the present invention to change the distance between a pair of guide rails for carrying a substrate in accordance with the size of the substrate so that the center of the pair supports the substrate.
A rotary drive source 9 for setting the distance between the pair of guide rails 1, a stage 3 for supporting the lower surface of the substrate supported by the pair of guide rails in the width direction, and a pair of guide rails When the nozzle body 19 which exerts the gas pressure of positive or negative pressure with respect to the end surface of the width direction of the stage located in between, and the stage was replaced with the stage of a different width dimension with the size change of a board | substrate, By detecting the pressure change of the gas caused by the change of the gap between the nozzle body and the side surface of the stage by driving the guide rail provided with the nozzle body toward the side surface of the stage while acting the gas pressure toward the side surface of the stage exchanged from the A pair of temporary sensors by controlling the driving of the rotational drive source by the pressure change of the gas flowing through the pressure sensor 24 and the nozzle body detected by the pressure sensor. And a control device for setting the distance de rail.

Description

Board conveying apparatus and conveying method {CONVEYANCE DEVICE FOR SUBSTRATE AND CONVEYANCE METHOD}

본 발명은, 기판을 한 쌍의 가이드 레일을 따라서 반송 위치 결정하는 기판 반송 장치 및 반송 방법에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD This invention relates to the board | substrate conveying apparatus and conveyance method which convey a position of a board | substrate along a pair of guide rails.

예컨대, 기판에 IC 칩 등의 전자부품을 실장하는 경우, 상기 기판을 가이드 레일을 따라, 실장용 스테이지가 설치된 실장 위치까지 반송하고, 이 실장 위치에서 상기 기판의 하면을 상기 스테이지로 지지했다면, 상기 기판의 상면에 상기 전자부품을 실장 툴에 의해 실장하는 것이 행해지고 있다.For example, when mounting an electronic component such as an IC chip on a substrate, the substrate is conveyed along a guide rail to a mounting position where a mounting stage is installed, and the lower surface of the substrate is supported by the stage at the mounting position. The electronic component is mounted on the upper surface of the substrate by a mounting tool.

상기 기판은 평행하게 이격 대향한 한 쌍의 가이드 레일에 의해 폭 방향의 양단부가 지지되어 있고, 상기 가이드 레일을 따라 예컨대 척 기구 등의 이송 기구에 의해 소정 거리씩 간헐적으로 반송되도록 되어 있다.The said board | substrate is supported at the both ends of the width direction by the pair of guide rails which oppose the space | interval parallel, and is conveyed intermittently by predetermined distance along the said guide rail by a conveyance mechanism, such as a chuck mechanism, for example.

상기 기판에 상기 전자부품을 실장하는 경우, 최근에는 기판에 대하여 전자부품의 실장 밀도를 높이기 위해서, 한 쌍의 가이드 레일의 이격 방향인, 상기 기판의 폭 방향에 대하여 소정 간격으로 상기 전자부품을 복수 개의 열로 실장하는 것이 행해지고 있다. 즉, 기판의 폭 방향에 대하여 쓸데없는 공간이 생기지 않도록 상기 전자부품이 실장된다.In the case where the electronic component is mounted on the substrate, in recent years, in order to increase the mounting density of the electronic component with respect to the substrate, a plurality of the electronic components are arranged at predetermined intervals with respect to the width direction of the substrate, which is a separation direction of a pair of guide rails. Mounting with two rows is performed. That is, the electronic component is mounted so that unnecessary space does not occur in the width direction of the substrate.

그 때문에, 상기 스테이지는, 상기 기판에 있어서 상기 가이드 레일에 의해 지지된 부분을 제외한 폭 치수의 거의 전체 길이 부분을 지지할 수 있는 폭 치수를 갖는 것이 이용되게 된다. 즉, 스테이지는, 한 쌍의 가이드 레일의 간격보다 약간 작은 폭 치수를 갖는 것이 이용된다. Therefore, the stage has a width dimension capable of supporting almost the entire length portion of the width dimension except for the portion supported by the guide rail in the substrate. That is, a stage having a width dimension slightly smaller than the distance between the pair of guide rails is used.

이와 같이 하여 기판에 전자부품을 실장하는 경우, 품종이 변경되었을 때 등에는 상기 기판의 사이즈가 전회(前回)일 때로 변경이 되는 경우가 있다. 즉, 기판이, 다른 폭 치수로 사이즈 변경되는 경우가 있다.In this way, when the electronic component is mounted on the board, when the variety is changed, the size of the board may be changed when the size of the board is the previous time. That is, a board | substrate may change size with another width dimension.

기판의 사이즈가 변경된 경우, 그 사이즈 변경에 따라 한 쌍의 가이드 레일의 간격을 설정하는 것이 행해진다. 그것과 동시에, 기판의 하면을 지지하는 스테이지도 기판의 사이즈 변경에 따라 상이한 사이즈의 것으로 교환되게 된다. 즉, 스테이지는 사이즈 변경된 기판의 폭 치수보다 약간 작은 폭 치수의 것으로 교환된다. When the size of a board | substrate is changed, setting the space | interval of a pair of guide rails is performed according to the size change. At the same time, the stage supporting the lower surface of the substrate is also replaced with ones of different sizes in accordance with the size change of the substrate. That is, the stages are exchanged with those of width dimensions slightly smaller than the width dimensions of the resized substrate.

기판의 사이즈 변경에 따라 스테이지를 다른 폭 치수의 것으로 변경하는 경우, 이 스테이지를 기판의 사이즈 변경에 따라 소정의 간격으로 설정된 한 쌍의 가이드 레일 사이의 중앙에 위치 결정하고, 가이드 레일에 지지된 기판의 하면을 폭 방향의 거의 전체 길이에 걸쳐 확실하게 지지할 수 있도록 하지 않으면 안된다.When the stage is changed to one having a different width according to the size change of the substrate, the stage is positioned at the center between the pair of guide rails set at predetermined intervals according to the size change of the substrate, and the substrate supported on the guide rail The lower surface must be reliably supported over almost the entire length of the width direction.

상기 스테이지는 가동체에 착탈 가능하게 부착된다. 이 가동체는, 구동원에 의해 수평 방향 및 상하 방향에 대하여 구동되도록 되어 있다. 그리고, 기판의 사이즈 변경에 대응하는 사이즈의 스테이지가 상기 가동체에 부착되게 된다.The stage is detachably attached to the movable body. This movable body is driven with respect to a horizontal direction and an up-down direction by a drive source. Then, a stage of a size corresponding to the size change of the substrate is attached to the movable body.

종래, 한 쌍의 가이드 레일의 간격을 설정하는 경우, 우선, 한 쌍의 가이드 레일을 충분히 큰 간격으로 이격시켜 두고, 이들 가이드 레일 사이에 위치하는 상기 가동체에 사이즈 변경된 스테이지를 부착한다.Conventionally, when setting the space | interval of a pair of guide rails, first, a pair of guide rails are spaced apart by a sufficiently large space | interval, and the size change stage is attached to the said movable body located between these guide rails.

이어서, 상기 스테이지를 폭 방향의 일측면이 한쪽 가이드 레일에 대하여 소정의 간격이 되도록 수평 방향에 대하여 위치 결정하면서, 상기 스테이지를 한 쌍의 가이드 레일의 중심에 위치하도록 위치 결정하는 것이 행해진다.Subsequently, positioning the stage so as to be positioned at the center of the pair of guide rails while positioning the stage with respect to the horizontal direction such that one side surface in the width direction becomes a predetermined interval with respect to one guide rail.

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 평성 제5-55787호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-55787

그런데, 종래에는 전술한 바와 같이 기판의 사이즈가 변경되었을 경우, 한 쌍의 가이드 레일의 간격을 조정하고, 이들 가이드 레일에 대하여 스테이지를 위치 결정 조정하는 것이 행해진다.By the way, conventionally, when the size of a board | substrate is changed as mentioned above, the space | interval of a pair of guide rail is adjusted and positioning adjustment of a stage with respect to these guide rail is performed.

그러나, 상기 한 쌍의 가이드 레일의 간격 조정과, 한 쌍의 가이드 레일에 대한 상기 스테이지의 위치 결정 조정을 행할 때, 작업 미스가 발생하는 경우가 있거나, 잘못된 사이즈의 스테이지를 부착해 버리는 경우가 있다.However, when performing the clearance adjustment of the pair of guide rails and the positioning adjustment of the stage with respect to the pair of guide rails, a work miss may occur or an incorrectly sized stage may be attached. .

잘못하여 상기 스테이지를 교환해야 할 사이즈보다 큰 것으로 했을 경우, 스테이지와 가이드 레일이 간섭하는 경우가 있고, 반대로 잘못하여 스테이지를 작은 것으로 하면, 스테이지의 폭 방향의 단부와 가이드 레일 사이의 간격이 너무 커져 기판의 폭 방향 전체를 확실하게 지지할 수 없게 되기 때문에, 기판의 폭 방향에 대하여 소정 간격으로 복수 개의 전자부품을 확실하게 실장할 수 없게 되는 경우가 있다.If the stage is larger than the size to be replaced by mistake, the stage and the guide rail may interfere with each other. On the contrary, if the stage is made small, the gap between the end of the stage in the width direction and the guide rail becomes too large. Since the whole width direction of a board | substrate cannot be reliably supported, some electronic components may not be mounted reliably at predetermined intervals with respect to the width direction of a board | substrate.

또한, 가이드 레일의 간격 조정시에 있어서의 상기한 작업 미스는, 기판의 사이즈가 변경된 경우에 한정되지 않고, 최초의 기판을 반송하기 위한 조정시에도 생길 가능성이 있다.In addition, the said operation miss at the time of adjusting the space | interval of a guide rail is not limited to the case where the size of a board | substrate is changed, and there exists a possibility also at the time of the adjustment for conveying an initial board | substrate.

본 발명은, 반송하는 기판의 사이즈에 따라 한 쌍의 가이드 레일의 간격과, 기판을 지지하는 스테이지의 사이즈를 설정할 때, 이들의 작업을 확실하고 또한 신속하게 행할 수 있고, 게다가 스테이지의 사이즈가 잘못되었을 때에는, 그것을 검지할 수 있도록 한 기판 반송 장치 및 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention can reliably and quickly perform these operations when setting the distance between a pair of guide rails and the size of the stage supporting the substrate according to the size of the substrate to be conveyed, and the size of the stage is wrong. When it does, it aims at providing the board | substrate conveyance apparatus and conveyance method which were able to detect it.

본 발명은, 평행하게 이격 대향하여 배치된 한 쌍의 가이드 레일에 의해 기판의 폭 방향의 양단부를 지지하여 반송하는 기판 반송 장치로서,This invention is a board | substrate conveying apparatus which supports and conveys the both ends of the width direction of a board | substrate with a pair of guide rail arrange | positioned so that it may mutually space | parallel in parallel,

상기 한 쌍의 가이드 레일 중 적어도 한쪽을 서로 접근하는 방향으로 구동하는 구동 수단과,Drive means for driving at least one of the pair of guide rails in a direction approaching each other;

상기 한 쌍의 가이드 레일 사이에 설치되어 상기 한 쌍의 가이드 레일에 의해 폭 방향 양단부가 지지된 기판의 하면을 지지하는 스테이지와,A stage provided between the pair of guide rails to support a lower surface of the substrate on which both ends of the width direction are supported by the pair of guide rails;

상기 구동 수단에 의해 구동되는 적어도 한쪽의 가이드 레일에 설치되어 한 쌍의 가이드 레일 사이에 위치하는 상기 스테이지의 폭 방향의 단부면에 대하여 정압 또는 부압의 기체압을 작용시키는 노즐체와, A nozzle body provided on at least one guide rail driven by the driving means to apply a positive or negative pressure gas pressure to an end face in the width direction of the stage located between a pair of guide rails;

상기 노즐체로부터 상기 스테이지의 측면에 대하여 정압 또는 부압의 기체압을 작용시키면서 상기 노즐체가 설치된 적어도 한쪽의 가이드 레일을 상기 구동 수단에 의해 상기 스테이지의 측면에 접근하는 방향으로 구동함으로써, 상기 노즐체와 상기 스테이지의 측면 사이의 간격의 변화에 의해 생기는 상기 노즐체에 흐르는 기체의 압력 변화를 검출하는 압력 센서와, The nozzle body is driven by driving at least one guide rail provided with the nozzle body in a direction approaching the side surface of the stage by the driving means while applying a gas pressure of positive pressure or negative pressure from the nozzle body to the side surface of the stage. A pressure sensor for detecting a change in pressure of the gas flowing through the nozzle body caused by a change in the distance between the side surfaces of the stage;

상기 압력 센서가 검출하는 상기 노즐체에 흐르는 상기 기체의 압력 변화에 의해 상기 구동 수단의 구동을 제어하여 상기 한 쌍의 가이드 레일의 간격을 설정하는 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치이다.And control means for controlling the driving of the driving means by a change in pressure of the gas flowing through the nozzle body detected by the pressure sensor to set a distance between the pair of guide rails. .

본 발명은, 평행하게 이격 대향하여 배치된 한 쌍의 가이드 레일에 의해 기판의 폭 방향의 양단부를 지지하여 반송하는 기판 반송 방법으로서,This invention is a board | substrate conveying method which supports and conveys the both ends of the width direction of a board | substrate with a pair of guide rail arrange | positioned so that it may be spaced apart and parallel in parallel,

상기 한 쌍의 가이드 레일 중 적어도 한쪽을 구동 수단에 의해 구동하여 한 쌍의 가이드 레일의 간격을 설정하는 공정과,Driving at least one of the pair of guide rails by a driving means to set a distance between the pair of guide rails;

상기 한 쌍의 가이드 레일 사이에 설치된 스테이지에 의해 상기 한 쌍의 가이드 레일에 의해 폭 방향 양단부가 지지된 기판의 하면을 지지하는 공정과,Supporting a lower surface of a substrate on which both ends in the width direction are supported by the pair of guide rails by a stage provided between the pair of guide rails;

상기 구동 수단에 의해 구동되는 적어도 한쪽의 가이드 레일에 설치된 노즐체로부터, 한 쌍의 가이드 레일 사이에 위치하는 상기 스테이지의 폭 방향의 단부면에 대하여 정압 또는 부압의 기체압을 작용시키는 공정과, A step of applying a gas pressure of positive pressure or negative pressure to an end face in the width direction of the stage positioned between a pair of guide rails from a nozzle body provided on at least one guide rail driven by the drive means;

상기 노즐체로부터 상기 스테이지의 측면에 대하여 정압 또는 부압의 기체압을 작용시키면서 상기 노즐체가 설치된 적어도 한쪽의 가이드 레일을 상기 구동 수단에 의해 상기 스테이지의 측면에 접근하는 방향으로 구동하여, 상기 노즐체와 상기 스테이지의 측면 사이의 간격의 변화에 의해 생기는 상기 노즐체에 흐르는 기체의 압력 변화를 압력 센서에 의해 검출하는 공정을 포함하고, The at least one guide rail provided with the nozzle body is driven in the direction approaching the side surface of the stage by the driving means while applying a gas pressure of positive pressure or negative pressure from the nozzle body to the side surface of the stage. Detecting a pressure change of a gas flowing in the nozzle body caused by a change in the interval between the side surfaces of the stage, by a pressure sensor,

상기 한 쌍의 가이드 레일의 간격을 설정하는 공정에서는, 상기 압력 센서가 검출하는 상기 노즐체에 흐르는 상기 기체의 압력 변화에 의해 상기 구동 수단을 구동 제어하여 한 쌍의 가이드 레일의 간격을 설정하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법이다.In the step of setting the distance between the pair of guide rails, the drive means is controlled by the change in pressure of the gas flowing through the nozzle body detected by the pressure sensor to set the distance between the pair of guide rails. It is a board | substrate conveyance method characterized by the above-mentioned.

본 발명에 따르면, 기판의 사이즈에 따른 가이드 레일의 간격 설정이나 스테이지의 설정을 용이하게, 아울러 확실하게 행할 수 있을 뿐만 아니라, 스테이지의 사이즈가 잘못된 경우에는 그것을 확실하게 검출할 수 있다.According to the present invention, not only can the distance between the guide rails and the stages be set easily and reliably according to the size of the substrate, but also if the size of the stage is wrong, it can be reliably detected.

도 1은 본 발명의 제1 실시형태를 나타낸 반송 장치의 개략적 구성의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 반송 장치의 측면도이다.
도 3은 전자부품이 행렬형으로 실장된 기판의 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 반송 장치의 제어 계통의 블록도이다.
도 5는 가동체로부터 스테이지를 떼어내고, 한 쌍의 가이드 레일을 최대의 간격으로 이격시킨 상태를 나타낸 반송 장치의 측면도이다.
도 6은 가동체에 새로운 스테이지를 부착하고, 한 쌍의 가이드 레일을 최대의 간격으로 이격시킨 상태로부터 접근 방향으로 구동한 상태를 나타낸 반송 장치의 측면도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시형태를 나타낸 반송 장치의 개략적 구성의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시형태를 나타낸 반송 장치의 개략적 구성의 평면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a top view of schematic structure of the conveying apparatus which showed 1st Embodiment of this invention.
FIG. 2 is a side view of the conveying apparatus shown in FIG. 1. FIG.
3 is a plan view of a substrate on which electronic components are mounted in a matrix form.
4 is a block diagram of a control system of the conveying apparatus shown in FIG. 1.
5 is a side view of the conveying apparatus showing a state where the stage is removed from the movable body and the pair of guide rails are spaced apart at the maximum interval.
It is a side view of the conveying apparatus which showed the state which attached the new stage to the movable body, and was driven in the approach direction from the state which separated the pair of guide rails at the largest space | interval.
It is a top view of the schematic structure of the conveying apparatus which showed 2nd Embodiment of this invention.
8 is a plan view of a schematic configuration of a conveying apparatus showing a third embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하면서 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1 내지 도 6은 본 발명의 제1 실시형태를 나타낸다. 도 1에 도시된 반송 장치는 직사각 형상의 베이스판(base board; 11)을 구비하고 있다. 이 베이스판(11) 상면의 폭 방향으로는 소정 간격으로 이격된 한 쌍의 가이드 레일(1)을 구비하고 있다. 한 쌍의 가이드 레일(1)의 이격 방향은 도 1에 도시된 X, Y 방향 중 Y 방향으로 한다. 한 쌍의 가이드 레일(1)의 상단에는, 도 2에 도시된 바와 같이 상면에 IC 칩 등의 전자부품(P)이 실장되는 기판(W)의 폭 방향의 양단부를 결합 지지하는 단차부(2)가 형성되어 있다. 1 to 6 show a first embodiment of the present invention. The conveying apparatus shown in FIG. 1 is provided with the base board 11 of rectangular shape. In the width direction of the upper surface of the base plate 11, a pair of guide rails 1 spaced apart by a predetermined interval is provided. The separation direction of the pair of guide rails 1 is taken as the Y direction among the X and Y directions shown in FIG. On the upper end of the pair of guide rails 1, as shown in Fig. 2, the stepped portion 2 which supports the both ends of the width direction of the substrate W on which the electronic component P such as an IC chip is mounted on the upper surface. ) Is formed.

폭 방향의 양단부가 상기 단차부(2)에 걸리게 배치된 기판(W)은 도시하지 않은 척 기구 등에 의해 상기 가이드 레일(1)을 따라 소정의 거리씩 피치 이송되도록 되어 있다.The board | substrate W arrange | positioned so that the both ends of the width direction may be caught by the said step part 2 is pitch-pitched by predetermined distance along the said guide rail 1 by the chuck mechanism etc. which are not shown in figure.

그리고, 상기 기판(W)이 소정의 위치, 예컨대 실장 위치에 위치 결정되면, 상기 기판(W)은, 상기 한 쌍의 가이드 레일(1)의 대향 간격보다 작은 폭 치수로 설정되고 평면 형상이 직사각 형상인 스테이지(3)에 의해 하면이 지지된 후, 그 상면에 상기 전자부품(P)이 폭 방향으로 소정 간격으로, 그리고 폭 방향과 직교하는 길이 방향에 대하여 복수 개의 전자부품(P)이 일렬로 실장된다. 즉, 기판(W)의 상면에는 도 3에 도시된 바와 같이 폭 방향과, 폭 방향과 직교하는 방향의 거의 전면에 걸쳐 복수 개의 전자부품(P)이 행렬형으로 실장된다.When the substrate W is positioned at a predetermined position, for example, a mounting position, the substrate W is set to a width dimension smaller than an opposing interval of the pair of guide rails 1 and the plane shape is rectangular. After the lower surface is supported by the stage 3 having a shape, the electronic component P is arranged on the upper surface at a predetermined interval in the width direction and in the longitudinal direction perpendicular to the width direction. It is mounted as. That is, as shown in FIG. 3, a plurality of electronic components P are mounted in a matrix form on the upper surface of the substrate W over almost the entire surface in the width direction and the direction orthogonal to the width direction.

상기 한 쌍의 가이드 레일(1)의 길이 방향의 양단부의 하단면에는 각각 결합 부재(5)가 마련되어 있다. 각 가이드 레일(1)의 각각 한 쌍의 결합 부재(5)는, 상기 베이스판(11)의 상기 한 쌍의 가이드 레일(1)의 대향 방향인 Y 방향과 직교하는 X 방향의 양단부에 배치된 한 쌍의 선형 가이드(6)에 이동 가능하게 결합되어 있다.Coupling members 5 are provided on the bottom surfaces of both end portions in the longitudinal direction of the pair of guide rails 1, respectively. Each pair of coupling member 5 of each guide rail 1 is arrange | positioned at the both ends of the X direction orthogonal to the Y direction which is the opposite direction of the said pair of guide rails 1 of the said base board 11 It is movably coupled to a pair of linear guides 6.

상기 한 쌍의 가이드 레일(1)의 길이 방향 중앙부에는 각각 암나사체(7)가 마련되어 있다. 한쪽의 가이드 레일(1)에 마련된 암나사체(7)와 다른 쪽의 가이드 레일(1)에 마련된 암나사체(7)는 역나사로 형성되어 있고, 각 암나사체(7)에는 나사축(8)의 상기 한 쌍의 암나사체(7)에 대응하는 방향의 역나사로 형성된 제1 수나사부(8a)와 제2 수나사부(8b)가 각각 나사 결합되어 있다. The female screw 7 is provided in the longitudinal center part of the pair of guide rails 1, respectively. The female screw body 7 provided on one guide rail 1 and the female screw body 7 provided on the other guide rail 1 are formed with reverse threads, and each female body 7 has a screw shaft 8 The first male screw portion 8a and the second male screw portion 8b formed by reverse threads in the direction corresponding to the pair of female screw bodies 7 are respectively screwed together.

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 나사축(8)은 회전 구동원(9)에 의해 회전 구동되도록 되어 있다. 상기 나사축(8)이 상기 회전 구동원(9)에 의해, 예컨대 시계 방향으로 구동되면, 한 쌍의 가이드 레일(1)은 상기 나사축(8)의 역방향으로 형성된 제1 수나사부(8a)와 제2 수나사부(8b)에 의해 접근하는 방향으로 동기하여 구동되고, 상기 나사축(8)이 반시계 방향으로 구동되면, 이격되는 방향으로 동기하여 구동되도록 되어 있다.As shown in FIG. 1, the screw shaft 8 is rotationally driven by the rotation drive source 9. When the screw shaft 8 is driven by the rotation drive source 9, for example clockwise, the pair of guide rails 1 and the first male screw portion 8a formed in the opposite direction of the screw shaft 8 and When the screw shaft 8 is driven in the counterclockwise direction, it is driven synchronously in the direction approached by the 2nd external threaded part 8b, and it is synchronously driven in the spaced direction.

즉, 한 쌍의 가이드 레일(1)은, 상기 회전 구동원(9)에 의해 이들 가이드 레일(1)의 대향 방향의 중심선, 즉 폭 방향의 중심선(0)(도 1에 도시함)에 대하여 접근하는 방향 또는 이격되는 방향으로 상기 나사축(8)의 회전에 대하여 동일한 거리로 구동되어 Y 방향을 따르는 간격을 조정할 수 있도록 되어 있다. That is, the pair of guide rails 1 approaches the center line in the opposite direction of the guide rails 1, that is, the center line 0 in the width direction (shown in FIG. 1) by the rotation drive source 9. It is driven at the same distance with respect to the rotation of the screw shaft 8 in the direction to be spaced or spaced apart so that the interval along the Y direction can be adjusted.

또한, 상기 회전 구동원(9), 상기 나사축(8)에 의해 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격을 설정하는 구동 수단을 구성하고 있다.Moreover, the drive means which sets the space | interval of a pair of guide rail 1 by the said rotation drive source 9 and the said screw shaft 8 is comprised.

상기 한 쌍의 가이드 레일(1) 사이에는 상기 스테이지(3)가 배치된다. 이 스테이지(3)는 X, Y 및 Z 방향으로 구동되는 가동체(13)의 상면에 착탈 가능하게 설치되어 있다. 상기 가동체(13)는 도 2에 도시된 바와 같이 XY 테이블(14) 및 Z 테이블(15)을 통해 수평 방향 및 상하 방향으로 구동 가능하게 설치되어 있다. 이들 테이블(14, 15)은 도 4에 도시된 XY 구동원(16) 및 Z 구동원(17)에 의해 각각 XY 방향 및 Z 방향으로 구동되도록 되어 있다.The stage 3 is arranged between the pair of guide rails 1. This stage 3 is detachably attached to the upper surface of the movable body 13 driven in the X, Y, and Z directions. As shown in FIG. 2, the movable body 13 is provided to be driven in the horizontal direction and the vertical direction through the XY table 14 and the Z table 15. These tables 14 and 15 are driven by the XY drive source 16 and the Z drive source 17 shown in FIG. 4 in the XY direction and the Z direction, respectively.

상기 가동체(13)는, 한 쌍의 가이드 레일의 이격 방향인 Y 방향을 따르는 폭 방향의 중심이 상기 한 쌍의 가이드 레일(1)의 이격 방향의 중심선(0)과 일치하게 위치 결정되도록 되어 있고, 이 가동체(13)에는 상기 스테이지(3)가 그 폭 방향의 중심이 상기 가동체(13)의 폭 방향 중심과 일치하도록 착탈 가능하게 부착된다.The movable body 13 is positioned such that the center in the width direction along the Y direction, which is the separation direction of the pair of guide rails, coincides with the center line 0 in the separation direction of the pair of guide rails 1. The stage 3 is detachably attached to the movable body 13 so that the center in the width direction thereof coincides with the center in the width direction of the movable body 13.

따라서, 상기 가동체(13)에 부착된 스테이지(3)의 폭 방향의 중심은, 한 쌍의 가이드 레일(1)의 이격 방향의 중심, 즉 중심선(0)과 일치하게 된다.Therefore, the center in the width direction of the stage 3 attached to the movable body 13 coincides with the center in the separation direction of the pair of guide rails 1, that is, the center line 0.

상기 한 쌍의 가이드 레일(1)의 한쪽 길이 방향의 중앙부에는, 노즐체(19)가 선단을 가이드 레일(1)의 내면측, 즉 한 쌍의 가이드 레일(1) 사이에 설치되는 상기 스테이지(3)의 폭 방향의 일측면을 향해 설치되어 있다.In the central portion in one longitudinal direction of the pair of guide rails 1, the nozzle body 19 is provided with a tip at an inner surface side of the guide rail 1, that is, between the pair of guide rails 1 It is provided toward one side of the width direction of 3).

상기 노즐체(19)에는 압축 공기 등의 가압 기체의 급기관(21)의 선단이 접속되어 있다. 이 급기관(21)의 기단은 급기원(22)에 압력 조정 밸브(23)를 통해 접속되어 있다. 또한, 상기 급기관(21)에는 도 1이나 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 압력 조정 밸브(23)보다 하류측에 상기 급기관(21) 내의 기체의 압력 변화를 검출하는 압력 센서(24)가 설치되어 있다.The tip end of the air supply pipe 21 of pressurized gas such as compressed air is connected to the nozzle body 19. The base end of the air supply pipe 21 is connected to the air supply source 22 via a pressure regulating valve 23. In addition, as shown in FIG. 1 or FIG. 4, the air supply pipe 21 has a pressure sensor 24 that detects a pressure change of gas in the air supply pipe 21 downstream of the pressure control valve 23. Is installed.

상기 압력 센서(24)가 검출하는 상기 급기관(21) 내의 기체의 압력은, 한쪽의 가이드 레일(1)에 설치된 노즐체(19)의 선단과, 이 선단이 대향하는 상기 스테이지(3)의 폭 방향의 일측면 사이의 간격이 작아지면 작아질수록 커진다. The pressure of the gas in the air supply pipe 21 detected by the pressure sensor 24 is determined by the front end of the nozzle body 19 provided on one guide rail 1 and the stage 3 facing the front end. The smaller the interval between one side of the width direction, the larger the smaller.

상기 압력 센서(24)가 상기 급기관(21) 내의 상기 압력 조정 밸브(23)보다 하류측의 가압 기체의 압력 변화를 검출하면, 그 검출 신호는 도 4에 도시된 바와 같이 제어 수단을 구성하는 제어 장치(25)에 출력된다.When the pressure sensor 24 detects a pressure change of the pressurized gas downstream from the pressure regulating valve 23 in the air supply pipe 21, the detection signal constitutes a control means as shown in FIG. It is output to the control apparatus 25.

상기 제어 장치(25)에서는, 상기 압력 센서(24)의 검출 신호를 도 4에 도시된 설정부(27)에 의해 미리 정해진 설정값(S)과 비교하도록 되어 있다. 이 설정값(S)은, 예컨대 상기 노즐체(19)의 선단과, 상기 스테이지(3)의 측면 사이의 간격이 수 ㎜ 정도의 소정 간격, 예컨대 N ㎜가 되었을 때, 상기 압력 센서(24)가 출력하는 검출 신호의 출력과 동등한 값으로 설정된다.In the said control apparatus 25, the detection signal of the said pressure sensor 24 is compared with the predetermined setting value S by the setting part 27 shown in FIG. This set value S is the pressure sensor 24, for example, when the space | interval between the front-end | tip of the said nozzle body 19 and the side surface of the said stage 3 became a predetermined space of several mm, for example, Nmm. Is set to a value equivalent to the output of the detection signal to be output.

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제어 장치(25)는 상기 회전 구동원(9), 상기 XY 구동원(16) 및 상기 Z 구동원(17)의 구동을 제어하도록 되어 있다. 이 제어 장치(25)에 접속된 상기 설정부(27)는, 상기 설정값(S) 이외에, 한 쌍의 가이드 레일(1)에 지지되어 반송되는 기판(W)의 폭 치수에 대응하는 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격 등의 여러 가지 설정을 행할 수 있도록 되어 있다. As shown in FIG. 4, the control device 25 is configured to control the driving of the rotation drive source 9, the XY drive source 16, and the Z drive source 17. The set part 27 connected to this control apparatus 25 is a pair corresponding to the width dimension of the board | substrate W supported and conveyed by a pair of guide rail 1 other than the said set value S. Various settings, such as the space | interval of the guide rail 1, can be performed.

상기 제어 장치(25)에는, 상기 압력 센서(24)에 의해 검출된 압력이 제어 장치(25)에 설정된 설정값(S)보다 커졌을 때에, 경보를 출력하는 버저(28)(도 4에 도시함)가 접속되어 있다. 또한, 상기 제어 장치(25)에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 회전 구동원(9)에 의한 상기 나사축(8)의 회전수를 검출하는 인코더(29)로부터의 검출 신호가 입력된다. 상기 제어 장치(25)는 상기 인코더(29)로부터의 검출 신호에 의해 상기 나사축(8)의 회전수, 즉 기판(W)의 폭 치수에 대응하는 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격을 검출할 수 있도록 되어 있다. The control device 25 has a buzzer 28 (shown in FIG. 4) which outputs an alarm when the pressure detected by the pressure sensor 24 becomes larger than the set value S set in the control device 25. ) Is connected. 4, the detection signal from the encoder 29 which detects the rotation speed of the said screw shaft 8 by the said rotation drive source 9 is input to the said control apparatus 25. As shown in FIG. The control device 25 adjusts the distance between the pair of guide rails 1 corresponding to the rotational speed of the screw shaft 8, that is, the width dimension of the substrate W, by the detection signal from the encoder 29. It can be detected.

상기 인코더(29)의 검출 신호는 제어 장치(25)에서, 상기 설정부(27)에 의해 설정된 기판(W)의 폭 치수와 대응하는 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격과 비교되며, 그 차가 거의 0, 즉 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격이 설정된 기판(W)을 지지하는 데에 최적의 간격이 되면, 상기 제어 장치(25)에 의한 상기 회전 구동원(9)의 구동이 정지되고, 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격 설정이 종료되도록 되어 있다. The detection signal of the encoder 29 is compared in the control device 25 with the distance of the pair of guide rails 1 corresponding to the width dimension of the substrate W set by the setting unit 27, and When the difference is almost zero, that is, the interval between the pair of guide rails 1 is optimal for supporting the set substrate W, the driving of the rotary drive source 9 by the control device 25 is stopped. The interval setting of the pair of guide rails 1 is completed.

이어서, 상기 구성의 반송 장치에 있어서, 기판(W)의 사이즈 변경에 따라 가이드 레일(1)과 스테이지(3A)의 위치 맞춤에 대해서 도 5와 도 6을 참조하면서 설명한다.Next, the conveyance apparatus of the said structure WHEREIN: The alignment of the guide rail 1 and the stage 3A with the size change of the board | substrate W is demonstrated, referring FIG. 5 and FIG.

우선, 도 5에 도시된 바와 같이 반송 장치의 한 쌍의 가이드 레일(1)을 미리 설정된 최대 간격으로 자동으로 개방한 후, 반송하는 기판(W)의 폭 치수, 즉 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격을 설정부(27)에 의해 제어 장치(25)에 입력 설정하고, 추가로 가동체(13)로부터 스테이지(3)를 떼어낸다.First, as shown in FIG. 5, the pair of guide rails 1 of the conveying apparatus are automatically opened at a predetermined maximum interval, and then the width dimension of the substrate W to be conveyed, that is, the pair of guide rails 1 The space | interval of () is input-set to the control apparatus 25 by the setting part 27, and the stage 3 is further removed from the movable body 13. As shown in FIG.

이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, 반송 장치에 공급되는 기판(W)의 폭 치수에 대응하는 폭 치수의 스테이지(3A)를 상기 가동체(13)에 부착한다. 이 실시형태에서는, 스테이지(3A)는 교환전의 스테이지(3A)보다 폭 치수가 큰 것으로 되어 있다.Next, as shown in FIG. 6, the stage 3A of the width dimension corresponding to the width dimension of the board | substrate W supplied to a conveying apparatus is affixed to the said movable body 13. As shown in FIG. In this embodiment, the stage 3A is larger in width than the stage 3A before replacement.

이와 같이 하여 스테이지(3A)의 교환이 종료되었으면, 급기원(22)으로부터 노즐체(19)에 압력 조정 밸브(23)에 의해 소정의 압력으로 설정된 가압 기체를 공급하면서, 상기 제어 장치(25)에 의해 반송 장치의 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격의 자동 설정을 시작한다. When the replacement of the stage 3A is completed in this manner, the control device 25 supplies the pressurized gas set by the pressure regulating valve 23 to the nozzle body 19 from the air supply source 22 to a predetermined pressure. The automatic setting of the space | interval of a pair of guide rail 1 of a conveying apparatus is started by this.

자동 설정이 시작되면, 회전 구동원(9)이 작동하여 나사축(8)이, 예컨대 시계 방1향으로 회전 구동된다. 이에 의해, 도 5에 도시된 바와 같이 최대 간격으로 이격된 한 쌍의 가이드 레일(1)이 선형 가이드(6)를 따라 도 6에 화살표 +Y와 -Y로 나타낸 바와 같이 서로 접근하는 방향으로 구동된다. When the automatic setting is started, the rotation drive source 9 is operated so that the screw shaft 8 is rotationally driven, for example clockwise. Thereby, the pair of guide rails 1 spaced apart at maximum intervals as shown in FIG. 5 is driven along the linear guide 6 in a direction approaching each other as indicated by arrows + Y and -Y in FIG. do.

그리고, 도 6에 도시된 바와 같이 한쪽의 선형 가이드(6)에 설치된 노즐체(19)의 선단과, 이 노즐체(19)의 선단이 대향하는 스테이지(3A)의 측면(3a) 사이의 간격이 점차로 작아지게 되면, 상기 노즐체(19)의 선단 개구로부터 분사되는 압력 기체의 저항이 증대하기 때문에, 상기 노즐체(19)에 접속된 급기관(21) 내의 상기 압력 조정 밸브(23)보다 하류측으로 흐르는 기체의 압력이 상승한다.And as shown in FIG. 6, the space | interval between the front end of the nozzle body 19 provided in one linear guide 6, and the side surface 3a of the stage 3A which the front end of this nozzle body 19 opposes. If this gradually decreases, the resistance of the pressure gas injected from the tip opening of the nozzle body 19 increases, so that the pressure regulating valve 23 in the air supply pipe 21 connected to the nozzle body 19 increases. The pressure of the gas flowing downstream flows up.

상기 급기관(21)에 흐르는 기체의 압력은 압력 센서(24)에 의해 검출되고, 그 검출 신호는 제어 장치(25)에 출력되며, 이 제어 장치(25)에 의해 검출 신호의 검출값과, 제어 장치(25)에 설정된 설정값(S)이 비교된다.The pressure of the gas flowing in the air supply pipe 21 is detected by the pressure sensor 24, the detection signal is output to the control device 25, and the detection value of the detection signal by the control device 25, The set value S set in the control device 25 is compared.

그리고, 압력 센서(24)가 검출하는 압력인 검출값이 제어 장치(25)에 설정된 설정값과 동등해지고, 아울러 상기 인코더(29)가 검출하는 상기 회전 구동원(9)에 의한 상기 나사축(8)의 회전수, 즉 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격이 제어 장치(25)에 미리 설정된 기판(W)의 폭 치수에 대응하는 한 쌍의 가이드 레일의 간격과 거의 동일해지면, 상기 제어 장치(25)에 의한 상기 회전 구동원(9)의 구동이 정지된다. 즉, 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격 설정이 종료되게 된다.And the detected value which is the pressure which the pressure sensor 24 detects becomes equal to the setting value set in the control apparatus 25, and the said screw shaft 8 by the said rotation drive source 9 which the said encoder 29 detects The rotational speed of a), i.e., the distance between the pair of guide rails 1, is approximately equal to the distance between the pair of guide rails corresponding to the width dimension of the substrate W preset in the control device 25, The drive of the rotation drive source 9 by 25 is stopped. That is, the space setting of the pair of guide rails 1 is completed.

이러한 구성에 있어서, 예컨대 기판(W)의 폭 치수에 따라 교환되는 스테이지(3)의 폭 치수를, 예컨대 작은 것으로 잘못 교환했을 경우, 한 쌍의 가이드 레일(1)이 설정된 간격이 되어도, 압력 센서(24)가 검출하는 압력은 설정값(S)보다 낮은 상태이다.In such a configuration, for example, when the width dimension of the stage 3 exchanged according to the width dimension of the substrate W is incorrectly changed, for example, by a small one, even if the pair of guide rails 1 are set at a predetermined interval, the pressure sensor The pressure detected by 24 is in a state lower than the set value S.

이러한 경우에는, 제어 장치(25)에 의해 스테이지(3)가 이상인 것을 검출하고, 그 검출에 기인하여 버저(28)가 울려 작업자에게 이상을 알리는 동시에, 한 쌍의 가이드 레일(1)의 구동이 정지된다.In this case, the control device 25 detects that the stage 3 is abnormal, the buzzer 28 rings to inform the operator of the abnormality due to the detection, and the driving of the pair of guide rails 1 Is stopped.

반대로, 기판(W)의 폭 치수에 따라 교환되는 스테이지(3A)의 폭 치수를 예컨대 큰 것으로 잘못 교환했을 경우, 한 쌍의 가이드 레일(1)이 설정된 간격이 되기 전에, 압력 센서(24)가 검출하는 압력은 설정값(S)보다 높아진다.On the contrary, when the width dimension of the stage 3A exchanged according to the width dimension of the board | substrate W is incorrectly replaced with a large thing, for example, before the pair of guide rails 1 become a predetermined space | interval, the pressure sensor 24 will be performed. The pressure to detect becomes higher than the set value S.

이러한 경우에도, 제어 장치(25)는 스테이지(3A)의 폭 치수가 이상인 것을 검출하고, 그 검출에 기인하여 버저(28)가 울려 작업자에게 이상을 알리는 동시에, 한 쌍의 가이드 레일(1)의 구동이 정지된다.Even in such a case, the control apparatus 25 detects that the width dimension of the stage 3A is abnormal, the buzzer 28 rings to inform the operator of the abnormality due to the detection, and the pair of guide rails 1 The drive is stopped.

즉, 상기 구성의 반송 장치에 따르면, 기판(W)의 폭 치수의 변경에 따라, 그 기판(W)의 하면을 지지하는 스테이지(3)를, 상기 기판(W)의 폭 치수보다 약간 작은 상이한 폭 치수의 것으로 교환하고, 상기 스테이지(3)에 대하여 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격을 기판(W)의 폭 치수에 따라 위치 결정하는 경우, 상기 한 쌍의 가이드 레일(1)의 위치 결정을 자동적으로, 또한 정확히 행할 수 있다. That is, according to the conveying apparatus of the said structure, with the change of the width dimension of the board | substrate W, the stage 3 which supports the lower surface of the board | substrate W differs slightly smaller than the width dimension of the said board | substrate W. The position of the pair of guide rails 1 when the width of the pair of guide rails 1 is positioned in accordance with the width dimension of the substrate W, and the width of the pair of guide rails 1 is changed. The decision can be made automatically and accurately.

나아가서는, 기판(W)의 폭 치수에 대하여 교환해야 할 스테이지(3)의 폭 치수를 작은 것이나 큰 것으로 잘못 교환해 버렸을 경우에는, 압력 센서(24)가 검출하는 노즐체(19)와 스테이지(3)의 측면의 간격 및 인코더(29)에 의해 검출되는 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격과, 제어 장치(25)에 설정된 기판(W)의 폭 치수에 대한 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격의 비교에 의해, 교환된 스테이지(3A)의 폭 치수가 기판(W)의 폭 치수에 적응하는 경우만, 한 쌍의 가이드 레일(1)이 소정의 간격이 되도록 위치 결정되고, 그렇지 않은 경우에는 그것이 검지된 시점에서 가이드 레일(1)의 구동이 정지되고, 아울러 버저(28)에 의해 이상 경보를 발하게 된다. Furthermore, when the width dimension of the stage 3 to be replaced with respect to the width dimension of the board | substrate W is incorrectly replaced with a small thing or a big thing, the nozzle body 19 and stage (which the pressure sensor 24 detects) 3 pairs of guide rails 1 with respect to the space | interval of the side of 3), the space | interval of the pair of guide rails 1 detected by the encoder 29, and the width dimension of the board | substrate W set to the control apparatus 25. By the comparison of the intervals), the pair of guide rails 1 is positioned so as to have a predetermined interval only when the width dimension of the exchanged stage 3A is adapted to the width dimension of the substrate W. If not, the drive of the guide rail 1 is stopped at the time when it is detected, and the abnormality alarm is issued by the buzzer 28.

따라서, 기판(W)의 폭 치수에 대하여 부적절한 폭 치수의 스테이지(3A)로 교환된 경우, 그것을 확실하게 검출할 수 있기 때문에, 잘못하여 폭 치수가 큰 스테이지(3A)로 했을 경우에 가이드 레일(1)이 스테이지(3A)에 부딪쳐 변형 등의 손상을 초래하거나, 잘못하여 폭 치수가 작은 스테이지(3A)로 했을 경우에 기판(W)의 폭 방향의 거의 전체 길이를 확실하게 지지할 수 없는 상태로 전자부품의 설치가 행해져 실장 불량을 초래하는 등의 문제를 확실하게 방지할 수 있다. Therefore, when it is exchanged with the stage 3A of the width dimension which is inappropriate with respect to the width dimension of the board | substrate W, since it can be detected reliably, when the guide rail (when the stage 3A of the width dimension is largely mistaken) 1) This state hits the stage 3A and causes damage such as deformation, or when the stage 3A has a small width dimension by mistake, it is not possible to reliably support almost the entire length of the substrate W in the width direction. The installation of the electronic parts can be reliably prevented such as a problem of mounting failure.

제1 실시형태에서는 스테이지(3)를 수평 방향 및 상하 방향으로 구동 위치 결정할 수 있는 구성을 예를 들어 설명하였지만, 상기 스테이지(3)를 가동체(13)에 부착했을 때, 스테이지(3)의 폭 방향의 중심이 한 쌍의 가이드 레일(1)의 대향 방향의 중심선(0)과 일치하고 있으면, 상기 스테이지(3)는 X, Y 방향에 대하여 구동하지 않고, Z 방향으로만 구동할 수 있는 구성으로 할 수도 있다. In the first embodiment, a configuration capable of driving positioning of the stage 3 in the horizontal direction and the vertical direction has been described by way of example. However, when the stage 3 is attached to the movable body 13, the stage 3 If the center in the width direction coincides with the center line 0 in the opposite direction of the pair of guide rails 1, the stage 3 can be driven only in the Z direction without driving in the X and Y directions. It can also be configured.

도 7은 본 발명의 제2 실시형태를 나타낸다. 제2 실시형태에서는, 한 쌍의 가이드 레일(1) 사이에 복수 개, 이 실시형태에서는 적어도 폭 방향(Y 방향)의 치수가 동일한 사이즈의 3개의 스테이지, 즉 제1 내지 제3 스테이지(3X∼3Z)가 설치되어 있다. 각 스테이지(3X∼3Z)는 수평 방향과 상하 방향 중, 적어도 상하 방향에 대하여 위치 결정 구동할 수 있도록 되어 있다.7 shows a second embodiment of the present invention. In the second embodiment, there are a plurality of stages between the pair of guide rails 1, and in this embodiment, three stages of the same size at least in the width direction (Y direction), that is, the first to third stages (3X to 3X). 3Z) is installed. Each stage 3X-3Z is able to drive positioning with respect to at least the up-down direction among a horizontal direction and an up-down direction.

한 쌍의 가이드 레일(1)을 따라 반송되는 기판(W)은, 제1 스테이지(3X)에 대응하는 위치에서는 예열되고, 제2 스테이지(3Y)에 대응하는 위치에서는 예열된 기판(W)에 전자부품(P)을 실장한다. 제3 스테이지(3Z)에 대응하는 위치에서는, 전자부품(P)이 실장된 기판(W)을 서냉하도록 되어 있다. The substrate W conveyed along the pair of guide rails 1 is preheated at a position corresponding to the first stage 3X, and to the substrate W preheated at a position corresponding to the second stage 3Y. The electronic component P is mounted. At the position corresponding to the third stage 3Z, the substrate W on which the electronic component P is mounted is slowly cooled.

한 쌍의 가이드 레일(1) 중 한쪽의, 예컨대 제2 스테이지(3Y)의 측면에 대응하는 지점에는 노즐체(19)가 설치되어 있다. 그리고, 한 쌍의 가이드 레일(1)은 상기 노즐체(19)가 검출하는 기체의 압력 변화에 의해 제1 실시형태와 마찬가지로, 간격 설정이 행해진다.The nozzle body 19 is provided in the point corresponding to the side surface of the 2nd stage 3Y of one of the pair of guide rails 1, for example. And a pair of guide rails 1 are set to space | interval similarly to 1st Embodiment by the pressure change of the gas which the said nozzle body 19 detects.

즉, 노즐체(19)를 이용하여 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격 설정을 행하도록 하면, 3개의 스테이지(3X∼3Z)를 갖는 반송 장치여도, 1개의 노즐체(19)로부터 제2 스테이지(3Y)의 측면을 향해 분사되는 기체의 압력 변화를 검출하는 1개의 압력 센서(24)의 검출 신호에 의해 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격을 설정할 수 있다. 즉, 스테이지(3X∼3Z)의 수에 따른 수의 압력 센서(24)를 이용하지 않고 끝나기 때문에, 구성의 간략화나 비용절감을 도모할 수 있다.That is, when the distance setting of a pair of guide rails 1 is performed using the nozzle body 19, even if it is a conveying apparatus which has three stages 3X-3Z, it is the second from one nozzle body 19. The space | interval of a pair of guide rail 1 can be set by the detection signal of the one pressure sensor 24 which detects the pressure change of the gas injected toward the side surface of the stage 3Y. That is, since it ends without using the number of pressure sensors 24 according to the number of stages 3X-3Z, the structure can be simplified and cost can be reduced.

상기 제2 실시형태에서는, 3개의 스테이지에 대하여 노즐체를 1개 설치하는 예를 들어 설명하였지만, 가이드 레일의 각 스테이지의 측면에 대응하는 지점에 각각 노즐체를 설치하도록 하여도 좋다.In the said 2nd Embodiment, although the example which provided one nozzle body with respect to three stages was demonstrated and demonstrated, you may make it install each nozzle body in the point corresponding to the side surface of each stage of a guide rail.

이와 같이 하면, 각 스테이지 중, 1개 혹은 2개 이상의 스테이지, 즉 적어도 1개의 스테이지에 대하여 사이즈가 상이한 스테이지가 부착된 경우여도, 3개의 노즐체 중 적어도 1개의 노즐체에 흐르는 기체의 압력이 변화되면, 그것을 급기관에 설치된 하나의 압력 센서에 의해 검출할 수 있다.In this way, even if a stage having a different size is attached to one or two or more stages, i.e., at least one of the stages, the pressure of the gas flowing through at least one of the three nozzle bodies changes. If so, it can be detected by one pressure sensor provided in the air supply pipe.

즉, 복수 개의 스테이지가 있는 경우, 스테이지의 수에 대응하는 수의 노즐체를 설치하도록 하면, 1개의 압력 센서에 의해 스테이지의 위치 결정을 용이하게, 아울러 잘못 부착된 사이즈의 스테이지의 검출을 확실하게 행할 수 있게 된다. That is, when there are a plurality of stages, if the number of nozzle bodies corresponding to the number of stages is provided, one stage pressure sensor facilitates positioning of the stages and reliably detects stages of incorrectly attached size. It becomes possible to do it.

예컨대, 노즐체 대신에 광학 센서를 설치한 경우, 각 광학 센서에 대하여 각각 제어용 증폭기가 필요하게 되지만, 노즐체로부터 기체를 분사시키도록 함으로써, 1개의 압력 센서를 이용하는 것만으로 검출할 수 있기 때문에, 전체의 구성을 간략화할 수 있게 된다.For example, when an optical sensor is provided in place of the nozzle body, a control amplifier is required for each optical sensor. However, since the gas can be injected from the nozzle body, it can be detected only by using one pressure sensor. The whole structure can be simplified.

또한, 제2 실시형태에서는, 제1 실시형태와 동일 부분에는 동일 기호를 붙이고 설명을 생략한다.In addition, in 2nd Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as 1st Embodiment, and description is abbreviate | omitted.

도 8은 본 발명의 제3 실시형태이다. 이 실시형태는 한 쌍의 가이드 레일(1) 중, 한쪽의 가이드 레일(1)이 선형 가이드(6)에 의해 Y 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 다른 쪽의 가이드 레일(1)이 베이스판(11)에 고정 설치되어 있다. 8 is a third embodiment of the present invention. In this embodiment, one of the pair of guide rails 1 is installed to be movable in the Y direction by the linear guide 6, and the other guide rail 1 is provided with a base plate ( 11) is fixedly installed.

상기 한쪽의 가이드 레일(1)의 일단부에는 암나사체(7)가 마련되고, 이 암나사체(7)에는 회전 구동원(9)에 의해 회전 구동되는 제1 나사축(31)이 나사 결합되어 있다. 이에 의해, 한쪽의 가이드 레일(1)은 베이스판(11)에 고정 배치된 다른 쪽 가이드 레일(1)에 대하여 접근 이격되는 방향으로 구동되도록 되어 있다. A female screw 7 is provided at one end of the one guide rail 1, and the female screw 7 is screwed with a first screw shaft 31 which is rotationally driven by the rotation drive source 9. . As a result, one guide rail 1 is driven in a direction spaced apart from the other guide rail 1 fixed to the base plate 11.

한편, 스테이지(3)가 교환 가능하게 배치되는 가동체(13)는 제1 실시형태와 마찬가지로 Z 테이블(15)에 설치되고, 이 Z 테이블(15)은 Z 구동원(17)에 의해 상하 방향으로 구동되도록 되어 있다. 도 8에서는 상기 가동체(13) 및 Z 테이블(15)은 생략하고 있다.On the other hand, the movable body 13 in which the stage 3 is arranged so that replacement is possible is provided in the Z table 15 similarly to 1st Embodiment, and this Z table 15 is moved up and down by the Z drive source 17. As shown in FIG. It is supposed to be driven. In FIG. 8, the movable body 13 and the Z table 15 are omitted.

상기 Z 테이블(15)은 한 쌍의 가이드 레일(1)의 대향 방향인 Y 방향을 따라 이동 가능한 Y 테이블(18) 상에 배치되어 있다. 이 Y 테이블(18)에는 상기 제1 나사축(31)과 축선을 평행하게 하여 배치된 제2 나사축(32)의 일단측이 나사 결합되어 있다. 상기 제2 나사축(32)의 타단은 상기 베이스판(11)에 설치된 베어링(30)에 회전 가능하게 지지되고, 중간부는 한쪽 가이드 레일(1)에 형성된 관통 구멍(37)에 삽입 관통되어 있다.The Z table 15 is disposed on the Y table 18 which is movable along the Y direction, which is the opposite direction of the pair of guide rails 1. One end side of the second screw shaft 32 arranged in parallel with the first screw shaft 31 and the axis line is screwed into the Y table 18. The other end of the second screw shaft 32 is rotatably supported by a bearing 30 provided in the base plate 11, and an intermediate portion thereof is inserted through a through hole 37 formed in one guide rail 1. .

상기 제2 나사축(32)은 상기 제1 나사축(31)과 마찬가지로, 상기 회전 구동원(9)에 의해 회전 구동되도록 되어 있다. 즉, 상기 제1 나사축(31)의 일단부에는 구동 스프로킷(33)이 장비되고, 제2 나사축(32)의 타단부에는 상기 구동 스프로킷(33)과 동일한 직경의 종동 스프로킷(34)이 장비되어 있다. 이들 스프로킷(33, 34)에는 체인(35)이 팽팽하게 설치되어 있다. 따라서, 제1 나사축(31)이 회전되면, 그 회전에 제2 나사축(32)이 연동하도록 되어 있다.Similarly to the first screw shaft 31, the second screw shaft 32 is rotatably driven by the rotation drive source 9. That is, one end of the first screw shaft 31 is equipped with a drive sprocket 33, and the other end of the second screw shaft 32 is driven sprocket 34 of the same diameter as the drive sprocket 33 is provided. Equipped These sprockets 33 and 34 are provided with a chain 35 in tension. Therefore, when the 1st screw shaft 31 rotates, the 2nd screw shaft 32 will cooperate with the rotation.

상기 제1 나사축(31)의 피치는 상기 제2 나사축(32)의 피치의 2배의 간격으로 설정되어 있다. 그 때문에, 제1, 제2 나사축(31, 32)이 회전 구동되면, 상기 제1 나사축(31)이 나사 결합된 한쪽의 가이드 레일(1)은, 상기 스테이지(3)가 설치된 가동체(13)보다 배의 거리로 다른 쪽의 가이드 레일(1)에 접근하는 방향 또는 이격되는 방향으로 구동되도록 되어 있다. The pitch of the first screw shaft 31 is set at an interval twice the pitch of the second screw shaft 32. Therefore, when the 1st, 2nd screw shaft 31 and 32 are rotationally driven, the one guide rail 1 by which the said 1st screw shaft 31 was screwed is the movable body in which the said stage 3 was provided. It is driven in the direction which approaches the other guide rail 1, or the direction spaced apart by the distance twice as much as (13).

또한, 제1 실시형태와 마찬가지로, 상기 한쪽의 가이드 레일(1)에는 노즐체(19)가 설치되고, 제1, 제2 나사축(31, 32)을 회전 구동하는 회전 구동원(9)의 회전은 인코더(29)에 의해 검출되어 제어 장치(25)에 출력된다. In addition, as in the first embodiment, the nozzle body 19 is provided on the one guide rail 1, and the rotation of the rotation drive source 9 that drives the first and second screw shafts 31 and 32 to rotate. Is detected by the encoder 29 and output to the control device 25.

또한, 이 제3 실시형태에 있어서, 제1 실시형태와 동일 부분에는 동일 기호를 붙이고 설명을 생략한다. In addition, in this 3rd Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as 1st Embodiment, and description is abbreviate | omitted.

한쪽의 가이드 레일(1)을 다른 쪽의 가이드 레일(1)에 대하여 개방 방향으로 최대한 이동시킨 초기 상태일 때, 상기 스테이지(3)는 폭 방향의 중심선이 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격의 중심선과 일치하도록 설정되어 있다.In the initial state in which one guide rail 1 is moved as far as possible in the open direction with respect to the other guide rail 1, the stage 3 has a center line in the width direction of the space between the pair of guide rails 1. It is set to coincide with the centerline of.

즉, 상기 초기 상태일 때, 다른 쪽의 가이드 레일(1)과 스테이지(3)의 한쪽 측면(3a) 사이의 간격을 d1로 하고, 한쪽의 가이드 레일(1)과 스테이지(3)의 다른 쪽의 측면(3b) 사이의 간격을 d2로 했을 때, d1=d2가 되도록 상기 스테이지(3)의 Y 방향의 위치가 설정된다. That is, in the initial state, the distance between the other guide rail 1 and one side 3a of the stage 3 is d1, and the other of the one guide rail 1 and the stage 3 is d1. When the interval between the side surfaces 3b of d is set to d2, the position in the Y direction of the stage 3 is set so that d1 = d2.

이러한 구성에 따르면, 노즐체(19)가 설치된 한쪽의 가이드 레일(1)이 완전 개방 위치로부터 회전 구동원(9)에 의해 회전 구동되는 제1 나사축(31)의 회전에 의해 스테이지(3)에 접근하는 방향으로 구동되면, 이 스테이지(3)는 제2 나사축(32)의 회전에 의해 다른 쪽의 가이드 레일(1)에 접근하는 방향으로, 한쪽의 가이드 레일(1)의 이동량의 절반의 이동량으로 이동한다. According to this structure, one guide rail 1 in which the nozzle body 19 is installed is provided to the stage 3 by rotation of the first screw shaft 31 which is rotationally driven by the rotation drive source 9 from the fully open position. When driven in the approaching direction, the stage 3 is half of the movement amount of one guide rail 1 in the direction approaching the other guide rail 1 by the rotation of the second screw shaft 32. Move to the moving amount.

한쪽의 가이드 레일(1)에 설치된 노즐체(19)로부터 기체가 분사된다. 그리고, 노즐체(19)가 스테이지(3)의 일측면에 접근하면, 이 노즐체(19)에 기체를 공급하는 급기관(21) 내의 압력이 상승하고, 이것이 압력 센서(24)에 의해 검출된다.Gas is injected from the nozzle body 19 provided in one guide rail 1. When the nozzle body 19 approaches one side of the stage 3, the pressure in the air supply pipe 21 for supplying gas to the nozzle body 19 increases, which is detected by the pressure sensor 24. do.

압력 센서(24)가 검출하는 압력이 제어 장치(25)에 설정된 설정값(S)이 되고, 아울러 인코더(29)에 의해 검출되는 한쪽의 가이드 레일(1)의 이동량이 제어 장치(25)에 설정된 이동량, 즉 한 쌍의 가이드 레일(1)의 간격이 사이즈 변경되는 기판(W)의 폭 치수에 대응하는 이동량이 되면, 상기 회전 구동원(9)에 의한 한쪽 가이드 레일(1)의 구동이 정지된다. 이것은 제1 실시형태와 동일하다. The pressure detected by the pressure sensor 24 becomes the set value S set in the control device 25, and the movement amount of one guide rail 1 detected by the encoder 29 is transmitted to the control device 25. When the set amount of movement, i.e., the amount of movement corresponding to the width dimension of the substrate W whose size is changed between the pair of guide rails 1, the driving of one of the guide rails 1 by the rotary drive source 9 is stopped. do. This is the same as in the first embodiment.

즉, 상기 구성의 반송 장치에 따르면, 한쪽의 가이드 레일(1)의 구동량에 대하여 스테이지(3)의 구동량을 2분의 1이 되도록 하였기 때문에, 한쪽의 가이드 레일(1)만을 구동하는 구성이라도, 기판(W)의 사이즈 변경에 따라 상기 스테이지(3)의 폭 방향의 중심을, 한 쌍의 가이드 레일(1) 사이의 대향 방향의 중심과 일치하도록 위치 결정할 수 있다. That is, according to the conveying apparatus of the said structure, since the drive amount of the stage 3 was made into 1/2 with respect to the drive amount of one guide rail 1, the structure which drives only one guide rail 1 is the structure. Even if it changes with the size of the board | substrate W, the center of the width direction of the said stage 3 can be positioned so that it may coincide with the center of the opposing direction between a pair of guide rails 1.

상기 각 실시형태에서는, 노즐체로부터 스테이지의 측면을 향해 기체를 분사시키는, 즉 정압(正壓)을 작용시키는 경우를 예를 들어 설명하였지만, 노즐체로부터 기체를 분사시키는 대신에 노즐체에 부압을 작용시켜, 노즐체와 스테이지의 측면 사이의 간격에 따라 변화하는 부압의 변화에 의해 압력 센서를 작동시키도록 하여도 좋다.In each of the above embodiments, a case where gas is injected from the nozzle body toward the side surface of the stage, that is, a positive pressure is applied has been described as an example, but instead of injecting gas from the nozzle body, a negative pressure is applied to the nozzle body. It may be made to operate a pressure sensor by the change of the negative pressure which changes with the space | interval between a nozzle body and the side surface of a stage.

이 경우, 가이드 레일이 폐쇄 방향으로 구동되어 노즐체의 선단이 스테이지의 측면에 가까워지면, 노즐체에 작용하는 부압이 커지기 때문에, 상기 압력 센서에 의해 노즐체의 선단과 스테이지의 측면 사이의 간격을 검출할 수 있다. In this case, when the guide rail is driven in the closing direction and the tip of the nozzle body approaches the side of the stage, the negative pressure acting on the nozzle body increases, so that the gap between the tip of the nozzle body and the side of the stage is adjusted by the pressure sensor. Can be detected.

또한, 잘못하여 스테이지를 정해진 폭 치수의 것보다 작은 것으로 교환했을 경우에는, 한 쌍의 가이드 레일의 간격이 설정 간격이 되어도, 노즐체에 작용하는 부압의 변화가 거의 없기 때문에, 노즐체에 정압을 작용시키는 경우와 마찬가지로, 그것을 검출할 수 있다.In addition, when the stage is replaced by a smaller one than the predetermined width dimension, even when the pair of guide rails is at a set interval, there is almost no change in the negative pressure acting on the nozzle body. As in the case of acting, it can be detected.

반대로 잘못하여 스테이지를 정해진 폭 치수의 것보다 큰 것으로 교환했을 경우에는, 한 쌍의 가이드 레일의 간격이 설정 간격이 되기 전에 노즐체에 작용하는 부압이 커지고 이것이 압력 센서에 의해 검출되기 때문에, 스테이지가 설정된 폭 치수의 것보다 큰 것임이 검출된다. On the contrary, if the stage is incorrectly replaced with one larger than the predetermined width dimension, since the negative pressure acting on the nozzle body increases before the interval between the pair of guide rails becomes the set interval, the stage is detected by the pressure sensor. It is detected that it is larger than that of the set width dimension.

또한, 상기 각 실시형태에서는, 한 쌍의 가이드 레일의 간격을 설정하는 경우에만, 노즐체에 정압 또는 부압을 작용시키기 때문에, 한 쌍의 가이드 레일의 간격 설정이 종료되면, 상기 노즐체에 대하여 정압 또는 부압을 작용시키지 않고 기판의 반송을 행할 수 있다.Moreover, in each said embodiment, since only positive pressure or negative pressure is applied to a nozzle body only when setting the space | interval of a pair of guide rails, when the space setting of a pair of guide rails is complete | finished, a positive pressure with respect to the said nozzle body Alternatively, the substrate can be conveyed without applying negative pressure.

따라서, 한 쌍의 가이드 레일의 간격 설정이 종료된 후에는, 노즐체에 작용하는 정압 또는 부압이 주위에 영향을 미치는 일이 없다. 예컨대, 제2 실시형태에 있어서 3개의 스테이지를 설치한 경우, 제1 스테이지의 예열 온도, 제2 스테이지의 실장 온도, 또는 제3 스테이지의 서냉 온도가 변동하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 스테이지 주위에서 먼지가 날아 올라가는 일이 없기 때문에, 기판이나 전자부품이 오염되는 것을 방지할 수 있다.Therefore, after the space setting of a pair of guide rails is complete | finished, the positive or negative pressure which acts on a nozzle body does not affect surroundings. For example, when three stages are provided in the second embodiment, fluctuations in the preheating temperature of the first stage, the mounting temperature of the second stage, or the slow cooling temperature of the third stage can be prevented. In addition, since dust does not rise around the stage, it is possible to prevent the substrate and the electronic components from being contaminated.

또한, 상기 실시형태에서는 노즐체를 한쪽의 가이드 레일에만 내장하도록 하였지만, 다른 쪽의 가이드 레일에도 내장하도록 하여도 좋다. 이와 같이 함으로써, 스테이지가 한 쌍의 가이드 레일에 대하여 대칭이 아닌 경우에도, 대응이 가능해진다. In addition, in the said embodiment, although the nozzle body was built in only one guide rail, you may be built in the other guide rail. By doing in this way, even if a stage is not symmetrical with respect to a pair of guide rail, correspondence is possible.

또한, 상기 실시형태에 있어서는, 기판의 사이즈가 변경된 경우에 있어서의 가이드 레일의 조정에 대해서 설명하였지만, 본 발명은, 최초의 기판을 반송하기 위한 조정시에도 적용할 수 있다. In addition, in the said embodiment, although adjustment of the guide rail in the case where the size of a board | substrate changed was demonstrated, this invention is applicable also at the time of adjustment for conveying an initial board | substrate.

1 : 가이드 레일, 3 : 스테이지, 8 : 나사축, 9 : 회전 구동원, 13 : 가동체, 19 : 노즐체, 21 : 급기관, 24 : 압력 센서, 25 : 제어 장치, 27 : 설정부, 28 : 버저, 29 : 인코더DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Guide rail, 3 stage, 8 screw shaft, 9 rotary drive source, 13 movable body, 19 nozzle body, 21 air supply pipe, 24 pressure sensor, 25 control device, 27 setting part, 28 : Buzzer, 29: encoder

Claims

A substrate transfer device for supporting and transporting both ends in the width direction of a substrate by a pair of guide rails disposed in parallel and spaced apart from each other,
Drive means for driving at least one of the pair of guide rails in a direction approaching each other;
A stage provided between the pair of guide rails to support a lower surface of the substrate on which both ends of the width direction are supported by the pair of guide rails;
A nozzle body provided on at least one guide rail driven by the driving means to apply a positive or negative pressure gas pressure to an end face in the width direction of the stage located between a pair of guide rails;
The nozzle body is driven by driving at least one guide rail provided with the nozzle body in a direction approaching the side surface of the stage by the driving means while applying a gas pressure of positive pressure or negative pressure from the nozzle body to the side surface of the stage. A pressure sensor for detecting a change in pressure of the gas flowing through the nozzle body caused by a change in the distance between the side surfaces of the stage;
Control means for setting the distance of the pair of guide rails by controlling the driving of the drive means by the pressure change of the gas flowing through the nozzle body detected by the pressure sensor
Substrate conveying apparatus comprising a.

The said control means stops the drive of the said guide rail by the said drive means when it is detected by the said pressure sensor that the pressure of the said gas which flows into the said nozzle body reached the predetermined setting value. The substrate conveyance apparatus characterized by the above-mentioned.

The method of claim 1, wherein the control means,
A setting unit for setting a size of the substrate;
When setting the space | interval of a pair of guide rails by driving the said guide rail in which the said at least one nozzle body was installed by the said drive means, the said pressure before a space | interval of a pair of guide rails becomes the space | interval of the board | substrate set by the said setting part When the pressure of the gas detected by the sensor reaches a set value, it informs that the size of the stage is larger than the size corresponding to the substrate, and the interval between the pair of guide rails corresponds to the substrate set by the setting unit. When the pressure of the gas detected by the pressure sensor does not become a set value even at intervals, an alarm means for informing that the size of the stage is smaller than the size corresponding to the substrate is provided. .

The substrate transfer apparatus of claim 1, wherein when the driving means drives a pair of guide rails, the pair of guide rails are driven in synchronization in a direction approaching the stage.

2. The drive according to claim 1, wherein when the driving means drives only one of the pair of guide rails, the stage is driven by one half of the one guide rail in the same direction as the one guide rail with respect to the driving of the guide rail. The substrate transfer apparatus characterized by driving at a distance of.

As a board | substrate conveying method which supports and conveys the both ends of the width direction of a board | substrate with a pair of guide rail arrange | positioned facing parallel and parallel,
Driving at least one of the pair of guide rails by a driving means to set a distance between the pair of guide rails;
Supporting a lower surface of a substrate on which both ends in the width direction are supported by the pair of guide rails by a stage provided between the pair of guide rails;
Applying a gas pressure of positive pressure or negative pressure to an end face in the width direction of the stage positioned between a pair of guide rails from a nozzle body provided on at least one guide rail driven by the drive means;
The at least one guide rail provided with the nozzle body is driven in the direction approaching the side surface of the stage by the driving means while applying a gas pressure of positive pressure or negative pressure from the nozzle body to the side surface of the stage. Detecting a pressure change of a gas flowing in the nozzle body caused by a change in the interval between the side surfaces of the stage, by a pressure sensor,
In the step of setting the distance between the pair of guide rails, the drive means is controlled by the change in pressure of the gas flowing through the nozzle body detected by the pressure sensor to set the distance between the pair of guide rails. A substrate conveyance method characterized by the above-mentioned.