JP2012129254A - Electronic component mounting device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the increase in transportation time of substrates.SOLUTION: An electronic component mounting device 100 mounts electronic components on substrates. The electronic component mounting device 100 has multiple stages 3FI, 3RI, 3FE, 3RE. These stages mount and support substrates on which electronic components are mounted. Each substrate on which the electronic components are to be mounted is transported from a substrate supply part 1 to a substrate carrying out part 2. Two stages, 3FI and 3RI, are arranged in a direction that intersects the transportation direction of the substrates and move in the direction. Further, two stages, 3FE and 3RE, are also arranged in the direction that intersects the transportation direction of the substrates and move in the direction.

Description

本発明は、基板上に電子部品を実装する電子部品実装装置に関する。   The present invention relates to an electronic component mounting apparatus for mounting electronic components on a substrate.

基板上に電子部品を実装する装置として、多数のノズルを備えるヘッドを有し、当該ノズルで電子部品を吸着して基板上に搭載する電子部品実装装置がある。ここで、ヘッドは、ノズルを基板の表面に直交する方向に移動させることで、吸着した電子部品を基板上に実装する。このような電子部品実装装置は、電子部品を搭載する領域に位置決めされた基板に対する電子部品の搭載が終了した場合、この基板を下流側へ搬出した後、新たな基板を前記領域へ搬入するようになっている(例えば、特許文献1)。   As an apparatus for mounting an electronic component on a substrate, there is an electronic component mounting device that has a head having a number of nozzles and sucks the electronic component with the nozzle and mounts it on the substrate. Here, the head mounts the sucked electronic component on the substrate by moving the nozzle in a direction perpendicular to the surface of the substrate. In such an electronic component mounting apparatus, when mounting of the electronic component on the substrate positioned in the region where the electronic component is mounted is completed, the substrate is unloaded and then a new substrate is loaded into the region. (For example, Patent Document 1).

特開2001−189595号公報JP 2001-189595 A

特許文献1に記載された技術は、生産位置に基板を搬入又は搬出する際に、基板を搬入レール又は搬出レールの位置で一度停止させ、その後、基板の搬送方向と直交する方向に基板を移動しなければならない場合がある。前記停止によって、基板を搬送する際の時間を増加させてしまうという問題がある。一回の停止は短くても、回数が多くなると基板を搬送する際の時間は大幅に増加し、生産効率の低下を招いてしまう。本発明は、電子部品を基板に搭載する際において、基板を搬送する時間の増加を抑制することを目的とする。   The technique described in Patent Document 1 stops the substrate once at the position of the carry-in rail or the carry-out rail when carrying the substrate into or out of the production position, and then moves the substrate in a direction orthogonal to the substrate conveyance direction. You may have to do that. Due to the stop, there is a problem that the time for transporting the substrate is increased. Even if a single stop is short, if the number of times increases, the time for transporting the substrate significantly increases, leading to a decrease in production efficiency. An object of the present invention is to suppress an increase in time for transporting a substrate when an electronic component is mounted on the substrate.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、基板に電子部品を実装する電子部品実装装置において、前記基板を支持する支持部及び前記支持部への前記基板の搬入と前記支持部からの前記基板の搬出とを行う基板搬送機構を含み、前記基板搬送機構が前記基板を搬送する方向と直交する方向に配列された少なくとも2つのステージと、前記少なくとも2つのステージを、前記基板搬送機構が前記基板を搬送する方向と直交する方向に移動させるステージ移動機構と、前記ステージが支持する前記基板に前記電子部品を搭載するヘッドと、を含み、前記少なくとも2つのステージ及びこれらを移動させる前記ステージ移動機構を含むステージ段を、前記基板が搬送される方向に向かって少なくとも2段有することを特徴とする電子部品実装装置である。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention provides an electronic component mounting apparatus for mounting an electronic component on a substrate, a support portion that supports the substrate, and loading the substrate into the support portion, and Including a substrate transport mechanism for carrying out the substrate from a support unit, wherein the substrate transport mechanism is arranged in a direction orthogonal to a direction in which the substrate is transported, and the at least two stages are A stage moving mechanism for moving the substrate in a direction orthogonal to a direction in which the substrate is transferred; and a head for mounting the electronic component on the substrate supported by the stage; and the at least two stages and these There are at least two stage stages including the stage moving mechanism to be moved in a direction in which the substrate is conveyed. It is a component mounting apparatus.

本発明の望ましい態様としては、前記ヘッドは少なくとも2つであることが好ましい。   As a desirable mode of the present invention, it is preferable that there are at least two heads.

本発明の望ましい態様としては、前記支持部は、前記ステージに前記基板を固定又は前記固定の解除を行う基板固定・解除機構を有し、前記基板固定・解除機構は、前記ステージが移動している最中に、前記基板の固定又は前記固定の解除を行うことが好ましい。   As a desirable aspect of the present invention, the support unit has a substrate fixing / releasing mechanism for fixing the substrate to the stage or releasing the fixing, and the substrate fixing / releasing mechanism is configured such that the stage moves. It is preferable that the substrate is fixed or the fixing is released during the operation.

本発明の望ましい態様としては、前記ステージ移動機構は、前記少なくとも2つのステージを連動して移動させることが好ましい。   As a desirable aspect of the present invention, it is preferable that the stage moving mechanism moves the at least two stages in conjunction with each other.

本発明の望ましい態様としては、前記少なくとも2つのステージ及びこれらを移動させる前記ステージ移動機構を含むステージ段を、前記基板が搬送される方向に向かって少なくとも2段有することが好ましい。   As a desirable mode of the present invention, it is preferable that at least two stages including the at least two stages and the stage moving mechanism for moving the at least two stages are provided in the direction in which the substrate is conveyed.

本発明の望ましい態様としては、それぞれの前記ステージ移動機構は、隣接する前記ステージ段同士を互いに反対方向に移動させる第1の生産モードと、隣接する前記ステージ段同士を同じ方向に連動して移動させる第2の生産モードとを有することが好ましい。   As a desirable aspect of the present invention, each of the stage moving mechanisms moves in the same direction in the first production mode in which the adjacent stage stages are moved in opposite directions and the adjacent stage stages are moved in the same direction. It is preferable to have a second production mode.

本発明は、電子部品を基板に搭載する際において、基板を搬送する時間の増加を抑制できる。   According to the present invention, when an electronic component is mounted on a substrate, an increase in time for transporting the substrate can be suppressed.

図1は、本実施形態に係る電子部品実装装置を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an electronic component mounting apparatus according to this embodiment. 図2は、本実施形態に係る電子部品実装装置を図1の矢印A方向から見た正面図である。FIG. 2 is a front view of the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment as viewed from the direction of arrow A in FIG. 図3は、本実施形態に係る電子部品実装装置が有する基板搬送部の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a board transfer unit included in the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment. 図4は、基板搬送部が有するステージを基板が搬送される方向から見た図である。FIG. 4 is a view of the stage of the substrate transport unit as viewed from the direction in which the substrate is transported. 図5は、図4のB−B矢視図である。5 is a BB arrow view of FIG. 図6は、基板支持搬送装置の平面図である。FIG. 6 is a plan view of the substrate supporting and conveying apparatus. 図7は、基板支持搬送装置が有する搬送ベルトの駆動機構を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a driving mechanism of a transport belt included in the substrate support transport apparatus. 図8は、基板固定装置を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating the substrate fixing device. 図9は、基板固定装置を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating a substrate fixing device. 図10は、基板搬送部が有する各種のセンサの位置及び機能を説明するための模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram for explaining the positions and functions of various sensors included in the substrate transport unit. 図11は、本実施形態に係る電子部品実装装置が有する部品搭載部の平面図である。FIG. 11 is a plan view of a component mounting portion included in the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment. 図12は、本実施形態に係る電子部品実装装置が有するヘッドの説明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram of a head included in the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment. 図13は、本実施形態に係る電子部品実装装置が有する部品供給部の平面図である。FIG. 13 is a plan view of a component supply unit included in the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment. 図14は、本実施形態に係る電子部品実装装置を制御する制御装置の構成図である。FIG. 14 is a configuration diagram of a control device that controls the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment. 図15は、本実施形態に係る電子部品実装装置が基板に電子部品を搭載する際における第1の生産モードの手順を示すフローチャートである。FIG. 15 is a flowchart showing the procedure of the first production mode when the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment mounts the electronic component on the board. 図16は、第1の生産モードの説明図である。FIG. 16 is an explanatory diagram of the first production mode. 図17は、第1の生産モードの説明図である。FIG. 17 is an explanatory diagram of the first production mode. 図18は、第1の生産モードの説明図である。FIG. 18 is an explanatory diagram of the first production mode. 図19は、第1の生産モードの説明図である。FIG. 19 is an explanatory diagram of the first production mode. 図20は、第1の生産モードの説明図である。FIG. 20 is an explanatory diagram of the first production mode. 図21は、第1の生産モードの変形例を示す説明図である。FIG. 21 is an explanatory diagram showing a modification of the first production mode. 図22は、第1の生産モードの変形例を示す説明図である。FIG. 22 is an explanatory diagram showing a modification of the first production mode. 図23は、第1の生産モードの変形例を示す説明図である。FIG. 23 is an explanatory diagram showing a modification of the first production mode. 図24は、基板供給部と基板搬出部とが移動し、基板に電子部品を搭載する際に前記基板を保持するステージを固定した電子部品実装装置を示す模式図である。FIG. 24 is a schematic diagram showing an electronic component mounting apparatus in which a stage for holding the substrate is fixed when the substrate supply unit and the substrate carry-out unit move and the electronic component is mounted on the substrate. 図25は、本実施形態に係る電子部品実装装置が基板に電子部品を搭載する際における第2の生産モードの手順を示すフローチャートである。FIG. 25 is a flowchart showing the procedure of the second production mode when the electronic component mounting apparatus according to this embodiment mounts the electronic component on the board. 図26は、第2の生産モードの説明図である。FIG. 26 is an explanatory diagram of the second production mode. 図27は、第2の生産モードの説明図である。FIG. 27 is an explanatory diagram of the second production mode. 図28は、第2の生産モードの説明図である。FIG. 28 is an explanatory diagram of the second production mode. 図29は、第2の生産モードの説明図である。FIG. 29 is an explanatory diagram of the second production mode. 図30は、第2の生産モードの説明図である。FIG. 30 is an explanatory diagram of the second production mode. 図31は、第2の生産モードの変形例を示す説明図である。FIG. 31 is an explanatory diagram showing a modification of the second production mode. 図32は、第2の生産モードの変形例を示す説明図である。FIG. 32 is an explanatory diagram showing a modification of the second production mode. 図33は、第2の生産モードの変形例を示す説明図である。FIG. 33 is an explanatory diagram showing a modification of the second production mode.

本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the constituent elements described below can be appropriately combined.

図1は、本実施形態に係る電子部品実装装置を示す平面図である。図2は、本実施形態に係る電子部品実装装置を図1の矢印A方向から見た正面図である。電子部品実装装置100は、基板の表面に電子部品を搭載(実装)する装置である。電子部品実装装置100は、基板搬送部101と、部品搭載部102と、部品供給部103と、制御部104とを含む。電子部品実装装置100は、電子部品を搭載しようとする基板を基板搬送部101が部品搭載部102へ搬送し、電子部品を搭載した後の基板を基板搬送部101が部品搭載部102から搬送する。基板が搬送される方向を図1、図2中のX方向とし、基板が搬送される方向と直交する方向をY方向とし、X方向及びY方向及び基板の板面と直交する方向をZ方向とする。電子部品実装装置100は、基板の板面が水平になる(鉛直方向、すなわち重力の作用する方向と直交する)ように配置されるのが一般的である。このため、通常は、Z方向は、鉛直方向と平行になる。   FIG. 1 is a plan view showing an electronic component mounting apparatus according to this embodiment. FIG. 2 is a front view of the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment as viewed from the direction of arrow A in FIG. The electronic component mounting apparatus 100 is an apparatus for mounting (mounting) electronic components on the surface of a substrate. The electronic component mounting apparatus 100 includes a board transfer unit 101, a component mounting unit 102, a component supply unit 103, and a control unit 104. In the electronic component mounting apparatus 100, the substrate transport unit 101 transports a substrate on which an electronic component is to be mounted to the component mounting unit 102, and the substrate transport unit 101 transports the substrate after mounting the electronic component from the component mounting unit 102. . The direction in which the substrate is transported is the X direction in FIGS. 1 and 2, the direction orthogonal to the direction in which the substrate is transported is the Y direction, and the direction orthogonal to the X direction and the Y direction and the plate surface of the substrate is the Z direction. And The electronic component mounting apparatus 100 is generally arranged so that the board surface of the board is horizontal (in the vertical direction, that is, orthogonal to the direction in which gravity acts). For this reason, normally, the Z direction is parallel to the vertical direction.

基板搬送部101は、電子部品が実装される基板を部品搭載部102へ搬送し、また、電子部品が搭載された基板を部品搭載部102から搬送するものである。基板搬送部101は、基板供給部1と、複数のステージ3FI、3RI、3FE、3REと、基板搬出部2とを含む。基板供給部1は、電子部品を搭載しようとする基板をそれぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REへ搬送するものである。基板供給部1は、それぞれのステージ3FI、3RIよりも、基板が搬送される方向の進行方向反対側(上流側)に配置される。   The substrate transport unit 101 transports a substrate on which electronic components are mounted to the component mounting unit 102 and transports a substrate on which electronic components are mounted from the component mounting unit 102. The substrate transport unit 101 includes a substrate supply unit 1, a plurality of stages 3FI, 3RI, 3FE, 3RE, and a substrate carry-out unit 2. The substrate supply unit 1 conveys a substrate on which electronic components are to be mounted to the respective stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE. The substrate supply unit 1 is disposed on the opposite side (upstream side) of the traveling direction of the substrate in the direction in which the substrate is transported from the respective stages 3FI and 3RI.

それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REは、部品搭載部102の下方(鉛直方向側)に配置されている。2つのステージ3FI、3RIは、2つのステージ3FE、3REよりも基板供給部1側に配置される。それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REは、電子部品が基板に搭載される間、基板供給部1から搬送された基板を支持する。また、それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REは、電子部品が搭載された基板を基板搬出部2へ搬送する。それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REは、ステージ移動機構4I、4Eによって、基板が搬送される方向と直交する方向に移動する。より具体的には、基板が搬送される方向と直交する方向に配列された2つのステージ3FI、3RIは、ステージ移動機構4Iによって移動する。また、基板が搬送される方向と直交する方向に配列された2つのステージ3FE、3REは、ステージ移動機構4Eによって移動する。   Each of the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE is disposed below (vertical direction side) the component mounting unit 102. The two stages 3FI and 3RI are arranged closer to the substrate supply unit 1 than the two stages 3FE and 3RE. Each stage 3FI, 3RI, 3FE, 3RE supports the substrate conveyed from the substrate supply unit 1 while the electronic component is mounted on the substrate. In addition, each of the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE conveys the substrate on which the electronic component is mounted to the substrate carry-out unit 2. Each of the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE is moved by the stage moving mechanisms 4I and 4E in a direction orthogonal to the direction in which the substrate is transported. More specifically, the two stages 3FI and 3RI arranged in the direction orthogonal to the direction in which the substrate is conveyed are moved by the stage moving mechanism 4I. Further, the two stages 3FE and 3RE arranged in a direction orthogonal to the direction in which the substrate is conveyed are moved by the stage moving mechanism 4E.

基板搬出部2は、それぞれのステージ3FE、3REよりも、基板が搬送される方向の進行方向側に配置される。基板搬出部2は、それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REから搬送された、電子部品が搭載された基板を受け取る。そして、基板搬出部2は、受け取った前記基板を、次工程(例えば、リフロー工程)に用いられる装置へ搬送する。   The substrate carry-out unit 2 is arranged on the traveling direction side in the direction in which the substrate is transported from the respective stages 3FE and 3RE. The board carry-out unit 2 receives the board on which electronic components are carried that are transported from the respective stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE. And the board | substrate carrying-out part 2 conveys the received said board | substrate to the apparatus used for the following process (for example, reflow process).

部品搭載部102は、複数(本実施形態では2個)のヘッド6F、6Rと、複数のヘッド6F、6Rを別個に移動させるヘッド移動装置5とを含む。ヘッドは少なくとも1つあればよいが、少なくとも2つとすることがより好ましい。このようにすれば、製造効率が向上する。ヘッド6F、6Rは、電子部品を吸着する複数のノズルを有している。ヘッド6F、6Rは、前記ノズルに電子部品を吸着し、吸着した電子部品を基板の表面に搭載する装置である。ヘッド移動装置5は、ヘッド6F、6RをX方向及びY方向に移動させる装置である。すなわち、ヘッド移動装置5は、ヘッド6F、6RをXY平面内で移動させる。ヘッド移動装置5は、ヘッド6F、6RをXY方向に移動させることで、ヘッド6F、6Rを基板と対面する位置又は後述する部品供給装置8と対面する位置に移動させることができる。また、ヘッド移動装置5は、ヘッド6F、6Rを移動させることで、ヘッド6F、6Rと基板との相対位置を調整する。このような機能により、ヘッド移動装置5は、ヘッド6F、6Rが保持した電子部品を基板の表面の任意の位置に移動させることができる。その結果、ヘッド6F、6Rは、電子部品を基板の表面の任意の位置に搭載することができる。   The component mounting unit 102 includes a plurality (two in the present embodiment) of heads 6F and 6R and a head moving device 5 that moves the plurality of heads 6F and 6R separately. At least one head may be used, but at least two heads are more preferable. In this way, manufacturing efficiency is improved. The heads 6F and 6R have a plurality of nozzles that suck electronic components. The heads 6F and 6R are devices that adsorb electronic components to the nozzles and mount the adsorbed electronic components on the surface of the substrate. The head moving device 5 is a device that moves the heads 6F and 6R in the X direction and the Y direction. That is, the head moving device 5 moves the heads 6F and 6R within the XY plane. The head moving device 5 can move the heads 6F and 6R in the XY directions to move the heads 6F and 6R to a position facing the substrate or a position facing a component supply device 8 described later. The head moving device 5 adjusts the relative positions of the heads 6F and 6R and the substrate by moving the heads 6F and 6R. With such a function, the head moving device 5 can move the electronic component held by the heads 6F and 6R to an arbitrary position on the surface of the substrate. As a result, the heads 6F and 6R can mount electronic components at arbitrary positions on the surface of the substrate.

部品供給部103は、基板に電子部品を搭載するヘッド6F、6Rに電子部品を供給するものである。本実施形態において、電子部品実装装置100は、複数(本実施形態では2つ)の部品供給部103F、103Rを有する。それぞれの部品供給部103F、103Rは、基板が搬送される方向、すなわちX方向と直交する方向(Y方向)における、2つのステージ3FI、3RI(2つのステージ3FE、3REも同様)の両側に、それぞれ配置される。   The component supply unit 103 supplies the electronic components to the heads 6F and 6R that mount the electronic components on the substrate. In the present embodiment, the electronic component mounting apparatus 100 includes a plurality (two in the present embodiment) of component supply units 103F and 103R. Each of the component supply units 103F and 103R is provided on both sides of two stages 3FI and 3RI (the same applies to the two stages 3FE and 3RE) in the direction in which the substrate is conveyed, that is, the direction orthogonal to the X direction (Y direction). Each is arranged.

このようにすることで、ヘッド6F、6Rは、より近い位置の部品供給部103F、103Rから基板に搭載する電子部品の供給を受けることができるので、電子部品を基板に搭載する時間を短縮することができる。部品供給部103F、103Rは、支持台7と、支持台7に搭載されて支持される部品供給装置8とを有する。支持台7は、複数の部品供給装置8を搭載したり、部品供給装置8の他の装置(例えば、計測装置やカメラ等)を搭載したりすることができる。   In this way, the heads 6F and 6R can receive the supply of the electronic components to be mounted on the substrate from the component supply units 103F and 103R at a closer position, so that the time for mounting the electronic components on the substrate is shortened. be able to. The component supply units 103 </ b> F and 103 </ b> R include a support base 7 and a component supply device 8 that is mounted on and supported by the support base 7. The support base 7 can be mounted with a plurality of component supply devices 8 or other devices (for example, a measurement device, a camera, etc.).

制御部104は、制御装置105と、入力装置105Cと、表示装置105Mとを有する。制御装置105は、電子部品実装装置100のそれぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REの動作、ステージ移動機構4I、4Eの動作、それぞれのヘッド6F、6Rの動作及びヘッド移動装置5の動作等を制御する。入力装置105Cは、作業者が制御装置105に電子部品の吸着位置をティーチングさせたり、電子部品の配置及び種類等のデータを入力したりする際に、作業者の操作を受け付けて、必要な情報を制御装置105へ入力する装置である。表示装置105Mは、生産工程の進捗状況を表示したり、前記ティーチングの際に必要な情報を表示したりする。   The control unit 104 includes a control device 105, an input device 105C, and a display device 105M. The control device 105 performs operations of the respective stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE of the electronic component mounting apparatus 100, operations of the stage moving mechanisms 4I and 4E, operations of the respective heads 6F and 6R, operations of the head moving device 5, and the like. Control. The input device 105C accepts the operator's operation when the operator causes the control device 105 to teach the suction position of the electronic component or inputs data such as the arrangement and type of the electronic component. Is input to the control device 105. The display device 105M displays the progress status of the production process and displays information necessary for the teaching.

表示装置105M及び入力装置105Cが電子部品実装装置100へ取り付けられる位置は、作業者の操作性及び視認性を考慮して、作業者が操作でき、かつ視認できる位置になる。本実施形態においては、表示装置105M及び入力装置105Cが取り付けられている側を、電子部品実装装置100の前面とし、表示装置105M及び入力装置105Cが取り付けられていない側を、電子部品実装装置100の背面とする。   The positions at which the display device 105M and the input device 105C are attached to the electronic component mounting apparatus 100 are positions that can be operated and visually recognized by the operator in consideration of the operability and visibility of the operator. In the present embodiment, the side on which the display device 105M and the input device 105C are attached is the front surface of the electronic component mounting apparatus 100, and the side on which the display device 105M and the input device 105C are not attached is the electronic component mounting apparatus 100. The back side.

電子部品実装装置100は、ステージ3FI、3RI、3FE、3REが配置され、かつこれらがY方向に移動可能な領域が、電子部品を基板に搭載することのできる領域である。以下において、この領域を生産領域という。電子部品実装装置100は、Y方向、すなわち、基板が搬送される方向であるX方向と直交する方向において、生産領域は3つに分割されている。本実施形態において、電子部品実装装置100の前面側の生産領域を前面側領域MAf、背面側の生産領域を背面側領域MAr、前面側領域MAfと背面側領域MArとの間の生産領域を中間領域MAmという。本実施形態において、Y方向に隣接して配列されたステージ3FI、3RI及びステージ3FE、3REは、Y方向に移動する。このため、Y方向における生産領域の分割数は、Y方向におけるステージ3FI、3RI等の配列数よりも大きければよい。このようにすることで、Y方向に隣接して配列されたステージ3FI、3RI等は、Y方向に移動することができる。次に、基板搬送部101と、部品搭載部102と、部品供給部103と、制御部104が有する制御装置105との各部について、より詳細に説明する。   In the electronic component mounting apparatus 100, the regions where the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE are arranged and are movable in the Y direction are regions where the electronic components can be mounted on the substrate. Hereinafter, this area is referred to as a production area. In the electronic component mounting apparatus 100, the production area is divided into three in the Y direction, that is, the direction orthogonal to the X direction, which is the direction in which the substrate is conveyed. In the present embodiment, the front-side production area MAf is the front-side production area MAf, the rear-side production area is the rear-side area MAr, and the production area between the front-side area MAf and the rear-side area MAr is intermediate. This is called area MAm. In the present embodiment, the stages 3FI and 3RI and the stages 3FE and 3RE arranged adjacent to each other in the Y direction move in the Y direction. For this reason, the number of divisions of the production area in the Y direction may be larger than the number of arrangements of the stages 3FI, 3RI, etc. in the Y direction. In this way, the stages 3FI, 3RI and the like arranged adjacent to each other in the Y direction can move in the Y direction. Next, each part of the board | substrate conveyance part 101, the component mounting part 102, the component supply part 103, and the control apparatus 105 which the control part 104 has is demonstrated in detail.

図3は、本実施形態に係る電子部品実装装置が有する基板搬送部の平面図である。図4は、基板搬送部が有するステージを基板が搬送される方向から見た図である。図5は、図4のB−B矢視図である。それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REは、いずれも同じ構造なので、次の説明においては、必要に応じてそれぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REを単にステージ3というものとする。   FIG. 3 is a plan view of a board transfer unit included in the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment. FIG. 4 is a view of the stage of the substrate transport unit as viewed from the direction in which the substrate is transported. 5 is a BB arrow view of FIG. Since the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE have the same structure, in the following description, the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE are simply referred to as the stage 3 as necessary.

基板搬送部101は、対向して配置された一対のフレームFL、FLの間に配置される。フレームFLは、図1に示す電子部品実装装置100のフレームである。一対のフレームFL、FLの間には、ステージ3FI、3RI、3FE、3REを案内する案内部材として、複数のガイドレール43I、43I、43E、43Eが掛け渡されている。複数のガイドレール43I、43I、43E、43Eは、棒状の構造体であり、それぞれの長手方向はY方向と平行である。このような構成により、複数のガイドレール43I、43I、43E、43Eは、一対のフレームFL、FLに支持される。   The substrate transport unit 101 is disposed between a pair of frames FL and FL that are disposed to face each other. The frame FL is a frame of the electronic component mounting apparatus 100 shown in FIG. A plurality of guide rails 43I, 43I, 43E, 43E are spanned between the pair of frames FL, FL as guide members for guiding the stages 3FI, 3RI, 3FE, 3RE. The plurality of guide rails 43I, 43I, 43E, and 43E are rod-shaped structures, and their longitudinal directions are parallel to the Y direction. With such a configuration, the plurality of guide rails 43I, 43I, 43E, 43E are supported by the pair of frames FL, FL.

一対のガイドレール43I、43Iは、Y方向に配列されたステージ3FI、3RIを貫通している。ステージ3FI、3RIとそれぞれのガイドレール43I、43Iとの間には、滑り軸受31が設けられる。また、一対のガイドレール43E、43Eは、Y方向に配列されたステージ3FE、3REを貫通している。ステージ3FE、3REとそれぞれのガイドレール43E、43Eとの間には、滑り軸受31が設けられる。このような構成により、ステージ3FI、3REはガイドレール43I、43Iに案内され、ステージ3FE、3RIはガイドレール43E、43Eに案内されて、Y方向に移動する。   The pair of guide rails 43I and 43I penetrates the stages 3FI and 3RI arranged in the Y direction. Sliding bearings 31 are provided between the stages 3FI and 3RI and the respective guide rails 43I and 43I. Further, the pair of guide rails 43E and 43E pass through the stages 3FE and 3RE arranged in the Y direction. Sliding bearings 31 are provided between the stages 3FE and 3RE and the guide rails 43E and 43E. With such a configuration, the stages 3FI and 3RE are guided by the guide rails 43I and 43I, and the stages 3FE and 3RI are guided by the guide rails 43E and 43E and move in the Y direction.

ステージ移動機構4I、4Eは、それぞれ電動機40と、電動機40によって回転させられるねじ41とを含む。このように、ねじ41は、ステージ移動機構4I、4Eの構成部材の1つである。それぞれのステージ移動機構4I、4Eのねじ41は、それぞれのフレームFL、FLに設けられた軸受42F、42Rによって回転可能に支持される。ねじ41は、その軸方向がY方向と平行である。また、それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REは、ねじ41と噛み合うナット32が固定されている。   Each of the stage moving mechanisms 4I and 4E includes an electric motor 40 and a screw 41 rotated by the electric motor 40. Thus, the screw 41 is one of the constituent members of the stage moving mechanisms 4I and 4E. The screws 41 of the stage moving mechanisms 4I and 4E are rotatably supported by bearings 42F and 42R provided on the respective frames FL and FL. The axial direction of the screw 41 is parallel to the Y direction. In addition, a nut 32 that meshes with the screw 41 is fixed to each of the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE.

このような構成により、電動機40によってねじ41が回転すると、ねじ41の軸方向(ねじ41の進行方向)におけるナット32とねじ41との相対的な位置が変化する。ナット32はステージ3FI、3RI、3FE、3REに固定されているので、電動機40によってねじ41が回転すると、ステージ3FI、3RI、3FE、3REはY方向に移動する。   With this configuration, when the screw 41 is rotated by the electric motor 40, the relative position of the nut 32 and the screw 41 in the axial direction of the screw 41 (the traveling direction of the screw 41) changes. Since the nut 32 is fixed to the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE, when the screw 41 is rotated by the electric motor 40, the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE move in the Y direction.

ステージ移動機構4Iは、Y方向に配列されたステージ3FI、3RIをY方向に移動させ、ステージ移動機構4Eは、Y方向に配列されたステージ3FE、3REをY方向に移動させる。ステージ3FI、3FEは、図1に示す電子部品実装装置100の前面側に配置され、ステージ3RI、3REは、電子部品実装装置100の背面側に配置される。また、Y方向に配列されたステージ3FI、3RIは、基板供給部1側に配置され、Y方向に配列されたステージ3FE、3REは、基板搬出部2側に配置される。このため、ステージ移動機構4Iは、基板供給部1側に配置され、ステージ移動機構4Eは、基板搬出部2側に配置される。   The stage moving mechanism 4I moves the stages 3FI and 3RI arranged in the Y direction in the Y direction, and the stage moving mechanism 4E moves the stages 3FE and 3RE arranged in the Y direction in the Y direction. The stages 3FI and 3FE are arranged on the front side of the electronic component mounting apparatus 100 shown in FIG. 1, and the stages 3RI and 3RE are arranged on the rear side of the electronic component mounting apparatus 100. The stages 3FI and 3RI arranged in the Y direction are arranged on the substrate supply unit 1 side, and the stages 3FE and 3RE arranged in the Y direction are arranged on the substrate carry-out unit 2 side. For this reason, the stage moving mechanism 4I is disposed on the substrate supply unit 1 side, and the stage moving mechanism 4E is disposed on the substrate carry-out unit 2 side.

本実施形態において、ねじ41は、電動機40によって直接回転させられるが、減速装置によって電動機40の回転速度を減速してねじ41を回転させてもよい。このようにすれば、トルクの小さい電動機を用いた場合でも、ステージ移動機構4I、4Eは、ステージ3FI、3RI等を移動させることができる。その結果、電動機の小型化、軽量化を図ることができる。ねじ41とナット32との種類は特に限定されるものではないが、ボールねじを用いると、ステージ3FI、3RI、3FE、3REの位置決め精度を向上させることができるので好ましい。なお、ねじ41及びナット32及び電動機40を用いたステージ移動機構4I、4Eの代わりに、エアシリンダや油圧シリンダを用いてもよい。   In the present embodiment, the screw 41 is directly rotated by the electric motor 40, but the screw 41 may be rotated by reducing the rotation speed of the electric motor 40 by a reduction device. In this way, the stage moving mechanisms 4I, 4E can move the stages 3FI, 3RI, etc. even when an electric motor with a small torque is used. As a result, the electric motor can be reduced in size and weight. The types of the screw 41 and the nut 32 are not particularly limited, but it is preferable to use a ball screw because the positioning accuracy of the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE can be improved. An air cylinder or a hydraulic cylinder may be used instead of the stage moving mechanisms 4I and 4E using the screw 41, the nut 32, and the electric motor 40.

Y方向に配列されたステージ3FI、3RI及びこれらを移動させるステージ移動機構4Iは、第1ステージ段3Iを構成する。また、Y方向に配列されたステージ3FE、3RE及びこれらを移動させるステージ移動機構4Eは、第2ステージ段3Eを構成する。第1ステージ段3Iと第2ステージ段3Eとは、基板が搬送される方向、すなわちX方向に向かって配列されており、互いに隣接している。Y方向におけるステージの配列数及びX方向におけるステージ段の配列数は、ともに2以上であればよい。なお、X方向におけるステージ段の配列数は、後述する電子部品実装装置100の制御を簡単にできることから、偶数であることが好ましい。このように、基板搬送部101は、少なくとも2つのステージ及びこれらを移動させるステージ移動機構4E、4Iを含むステージ段を、前記基板が搬送される方向に向かって少なくとも2段配列することが好ましい。このようにすれば、より多くの基板をステージで支持して、電子部品を基板に搭載できるので、電子部品を搭載した基板の生産効率が向上する。また、このようにしても、X方向に向かって基板供給部1と複数のステージと基板搬出部2とを一列に配列できるので、一度に多くのステージに基板を搬送でき、また、多くのステージから基板を搬出できる。この場合でも、基板供給部1又は基板搬出部2は、ステージの位置に移動する必要はないので、これらが停止する機会はない。その結果、基板供給部1又は基板搬出部2が停止することに起因する基板の搬送時間の増加を抑制できるので、電子部品を搭載した基板の生産効率が向上する。   The stages 3FI and 3RI arranged in the Y direction and the stage moving mechanism 4I for moving them constitute the first stage stage 3I. Further, the stages 3FE and 3RE arranged in the Y direction and the stage moving mechanism 4E for moving them constitute the second stage stage 3E. The first stage stage 3I and the second stage stage 3E are arranged in the direction in which the substrate is transported, that is, in the X direction, and are adjacent to each other. The number of stages arranged in the Y direction and the number of stage stages arranged in the X direction may both be two or more. Note that the number of stages arranged in the X direction is preferably an even number because the control of the electronic component mounting apparatus 100 described later can be easily performed. Thus, it is preferable that the substrate transport unit 101 arranges at least two stages including at least two stages and stage moving mechanisms 4E and 4I for moving them in the direction in which the substrate is transported. In this way, more substrates can be supported on the stage, and electronic components can be mounted on the substrate, so that the production efficiency of the substrate on which the electronic components are mounted is improved. Even in this case, since the substrate supply unit 1, the plurality of stages, and the substrate carry-out unit 2 can be arranged in a row in the X direction, the substrate can be transferred to many stages at a time, and many stages can be transported. The board can be taken out from Even in this case, the substrate supply unit 1 or the substrate carry-out unit 2 does not need to move to the position of the stage, so there is no opportunity to stop them. As a result, it is possible to suppress an increase in the substrate transport time resulting from the stop of the substrate supply unit 1 or the substrate carry-out unit 2, thereby improving the production efficiency of the substrate on which electronic components are mounted.

Y方向に配列されたステージ3FI、3RI及びステージ3FE、3REは、前面側領域MAfと、中間領域MAmと、背面側領域MArとの間を移動する。図3に示す例では、ステージ3FI、3FEが中間領域MAmに存在し、ステージ3RI、3REが背面側領域MArに存在する。この場合、図1に示した部品搭載部102は、中間領域MAm及び背面側領域MArで、それぞれに存在するステージ3FI、3FE及びステージ3RI、3REがそれぞれ支持した基板に電子部品を搭載する。   The stages 3FI and 3RI and the stages 3FE and 3RE arranged in the Y direction move between the front side region MAf, the intermediate region MAm, and the back side region MAr. In the example shown in FIG. 3, stages 3FI and 3FE are present in the intermediate area MAm, and stages 3RI and 3RE are present in the back side area MAr. In this case, the component mounting unit 102 shown in FIG. 1 mounts electronic components on the substrates respectively supported by the stages 3FI and 3FE and the stages 3RI and 3RE existing in the intermediate region MAm and the back region MAr.

本実施形態においては、Y方向に配列された2つのステージ3FI、3RI(又はステージ3FE、3RE)は、連動して移動する。このようにすれば、電子部品実装装置100の構造を簡単にできるので好ましい。また、Y方向に配列された2つのステージ3FI、3RI(又はステージ3FE、3RE)を連動して移動させることにより、制御も簡単にすることができる。   In the present embodiment, the two stages 3FI and 3RI (or stages 3FE and 3RE) arranged in the Y direction move in conjunction with each other. This is preferable because the structure of the electronic component mounting apparatus 100 can be simplified. Also, the control can be simplified by moving the two stages 3FI, 3RI (or stages 3FE, 3RE) arranged in the Y direction in conjunction with each other.

なお、Y方向に配列された2つのステージ3FI、3RI(又はステージ3FE、3RE)は、別個独立に移動するようにしてもよい。この場合、2つのステージ3FI、3RIをそれぞれ独立のステージ移動機構で移動させる。このようにすると、電子部品実装装置100の構造は複雑になるが、制御の自由度は向上する。例えば、前面側領域MAfと、背面側領域MArとにそれぞれステージ3FI、3RIを配置して、電子部品を基板に搭載することもできる。この場合には、ステージ3FI、3RIは、それぞれ部品供給部103F、103Rに接近するので、ヘッド6F、6Rが部品供給部103F、103Rとステージ3FI、3RIとの間を移動する距離を小さくできる。その結果、ヘッド6F、6Rは速やかに電子部品の供給を受けることができるので、電子部品を基板に搭載する時間を短縮できる。   Note that the two stages 3FI and 3RI (or stages 3FE and 3RE) arranged in the Y direction may be moved separately and independently. In this case, the two stages 3FI and 3RI are moved by independent stage moving mechanisms. In this way, the structure of the electronic component mounting apparatus 100 is complicated, but the degree of freedom of control is improved. For example, the electronic components can be mounted on the substrate by arranging the stages 3FI and 3RI in the front side region MAf and the back side region MAr, respectively. In this case, since the stages 3FI and 3RI approach the component supply units 103F and 103R, respectively, the distance that the heads 6F and 6R move between the component supply units 103F and 103R and the stages 3FI and 3RI can be reduced. As a result, since the heads 6F and 6R can receive the supply of the electronic component quickly, the time for mounting the electronic component on the substrate can be shortened.

図4、図5に示すように、それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REは、基板支持搬送装置10及び基板固定装置20を含んでいる。基板支持搬送装置10は、基板供給部1及び基板搬出部2にも設けられる。基板支持搬送装置10は、基板を支持する支持部及び支持部への基板の搬入と支持部からの基板の搬出とを行う基板搬送機構を含んでいる。また、それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REが有する基板固定装置20は、それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REに基板を固定又は前記固定の解除を行う。   As shown in FIGS. 4 and 5, each of the stages 3 </ b> FI, 3 </ b> RI, 3 </ b> FE, and 3 </ b> RE includes a substrate support transport device 10 and a substrate fixing device 20. The substrate support / conveyance device 10 is also provided in the substrate supply unit 1 and the substrate carry-out unit 2. The substrate support / transport apparatus 10 includes a support unit that supports a substrate and a substrate transport mechanism that carries the substrate into and out of the support unit. Further, the substrate fixing device 20 included in each of the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE fixes the substrate to each of the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE, or releases the fixing.

図4に示すように、ステージ3は、対向して配置される一対の枠部材30、30を有している。そして、一対の枠部材30、30の一方の端部には、一対の基板押さえ部材34、34が取り付けられている。図4、図5に示すように、一対の枠部材30、30には、ガイドレール43I(又はガイドレール43E)が貫通している。一対の枠部材30の間には、基板支持搬送装置10と基板固定装置20とが配置されている。   As illustrated in FIG. 4, the stage 3 includes a pair of frame members 30 and 30 that are arranged to face each other. A pair of substrate pressing members 34, 34 are attached to one end of the pair of frame members 30, 30. As shown in FIGS. 4 and 5, a guide rail 43I (or a guide rail 43E) passes through the pair of frame members 30 and 30. Between the pair of frame members 30, the substrate support transport device 10 and the substrate fixing device 20 are disposed.

基板支持搬送装置10は、基板を搬送する基板搬送手段としての一対の搬送ベルト11、11と、一対の搬送ベルト11、11を介して基板を支持する支持部としての、対向して配置される一対の基板支持部材12、12と、一対の搬送ベルト11、11を駆動するための動力源としての搬送用電動機13と、を含む。一対の搬送ベルト11、11は、いずれも無端のベルトである。基板支持搬送装置10の搬送ベルト11の外周面は、ステージ3の一対の枠部材30、30に取り付けられている基板押さえ部材34、34と対向している。一対の搬送ベルト11、11の外周面に基板が接した状態で一対の搬送ベルト11、11が駆動されると、基板が一対の搬送ベルト11、11によって搬送される。また、基板は、一対の搬送ベルト11、11を介して一対の基板支持部材12、12に支持される。   The substrate support / conveyance device 10 is disposed so as to face each other as a pair of conveyance belts 11 and 11 as substrate conveyance means for conveying a substrate, and as a support unit that supports the substrate via the pair of conveyance belts 11 and 11. A pair of substrate support members 12 and 12 and a transport motor 13 as a power source for driving the pair of transport belts 11 and 11 are included. The pair of transport belts 11 and 11 are both endless belts. The outer peripheral surface of the transport belt 11 of the substrate support transport device 10 faces the substrate pressing members 34 and 34 attached to the pair of frame members 30 and 30 of the stage 3. When the pair of transport belts 11, 11 is driven in a state where the substrate is in contact with the outer peripheral surfaces of the pair of transport belts 11, the substrate is transported by the pair of transport belts 11, 11. The substrate is supported by the pair of substrate support members 12 and 12 via the pair of transport belts 11 and 11.

図5に示すように、基板支持部材12は、一方が基板支持部材12の外周部に開口した長孔14、14を有している。長孔14、14は、ステージ3の枠部材30に設けられている位置決め部材33、33と係り合う。このような構成により、基板支持搬送装置10は、ステージ3の一対の枠部材30、30に取り付けられ、支持される。また、長孔14、14と位置決め部材33、33とが係り合うので、基板支持搬送装置10は、一対の基板押さえ部材34、34へ向かう動きが許容される。また、基板支持搬送装置10は、長孔14、14と位置決め部材33、33とが係り合うまでにおいては、一対の基板押さえ部材34、34から離れる動きも許容される。このように、基板支持搬送装置10は、ステージ3の一対の枠部材30、30に対して相対移動が許容された状態で支持される。   As shown in FIG. 5, the substrate support member 12 has long holes 14, 14 that are open to the outer periphery of the substrate support member 12. The long holes 14 and 14 are engaged with positioning members 33 and 33 provided in the frame member 30 of the stage 3. With such a configuration, the substrate supporting and conveying apparatus 10 is attached to and supported by the pair of frame members 30 and 30 of the stage 3. Further, since the long holes 14 and 14 and the positioning members 33 and 33 are engaged with each other, the substrate supporting and conveying apparatus 10 is allowed to move toward the pair of substrate pressing members 34 and 34. Further, the substrate supporting and conveying apparatus 10 is allowed to move away from the pair of substrate pressing members 34 and 34 until the long holes 14 and 14 and the positioning members 33 and 33 are engaged with each other. As described above, the substrate supporting and conveying apparatus 10 is supported in a state in which relative movement is allowed with respect to the pair of frame members 30 and 30 of the stage 3.

基板支持搬送装置10が有する一対の基板支持部材12、12は、搬送ベルト11が配置されている側とは反対側に、複数の脚部15を有する。それぞれの脚部15は、基板支持部材12に対して片持ち構造で取り付けられている。したがって、それぞれの脚部15は、基板支持部材12側が固定端、固定端とは反対側が開放端となる。   The pair of substrate support members 12, 12 included in the substrate support / conveyance apparatus 10 has a plurality of leg portions 15 on the side opposite to the side where the conveyance belt 11 is disposed. Each leg 15 is attached to the substrate support member 12 in a cantilever structure. Therefore, each leg portion 15 has a fixed end on the substrate support member 12 side and an open end on the opposite side to the fixed end.

基板固定装置20は、ステージ3に基板を固定し、また、ステージ3に対する基板の固定を解除する。基板固定装置20は、基板支持搬送装置10を一対の基板押さえ部材34、34に向かって押し付けるテーブル21と、基板固定装置20をステージ3に取り付けるためのフレーム22とを含む。フレーム22は、ステージ3の一対の枠部材30、30に取り付けられる。このような構成により、基板固定装置20はステージ3に取り付けられて支持される。基板固定装置20は、テーブル21が基板支持搬送装置10を一対の基板押さえ部材34、34に向かって押し付けることにより、基板支持搬送装置10の搬送ベルト11と一対の基板押さえ部材34、34との間に基板を挟持する。ステージ3は、このような基板固定装置20を用いた基板固定・解除機構を有している。なお、基板固定・解除機構は、ステージ3が有していなくてもよい。次に、基板支持搬送装置10が一対の搬送ベルト11、11を駆動する機構について、より詳細に説明する。   The substrate fixing device 20 fixes the substrate to the stage 3 and releases the substrate from the stage 3. The substrate fixing device 20 includes a table 21 that presses the substrate supporting and conveying device 10 toward the pair of substrate pressing members 34 and 34, and a frame 22 for attaching the substrate fixing device 20 to the stage 3. The frame 22 is attached to the pair of frame members 30 and 30 of the stage 3. With such a configuration, the substrate fixing device 20 is attached to and supported by the stage 3. In the substrate fixing device 20, the table 21 presses the substrate support / transport device 10 toward the pair of substrate pressing members 34, 34, whereby the transport belt 11 of the substrate support / transport device 10 and the pair of substrate pressing members 34, 34. The substrate is sandwiched between them. The stage 3 has a substrate fixing / releasing mechanism using such a substrate fixing device 20. Note that the stage 3 may not have the substrate fixing / releasing mechanism. Next, a mechanism in which the substrate supporting and conveying device 10 drives the pair of conveying belts 11 and 11 will be described in more detail.

図6は、基板支持搬送装置の平面図である。図7は、基板支持搬送装置が有する搬送ベルトの駆動機構を示す図である。搬送用電動機13は、一対の基板支持部材12、12に掛け渡された支持板16に固定される。搬送用電動機13の出力軸13Sには、出力プーリー24Aが取り付けられている。図7に示すように、搬送ベルト11は、駆動プーリー18Cと、複数の案内プーリー18Dと、基板支持部材12に設けられた搬送ベルト支持部12Sの位置で搬送ベルト11を張架する一対の張架プーリー18E、18Eに掛け回されている。このような構造により、一対の搬送ベルト11、11の内周面側には、両方の基板支持部材12、12、より具体的には一対の搬送ベルト支持部12S、12Sが配置される。基板支持搬送装置10は、一対の基板支持部材12、12を有するが、一対の搬送ベルト11、11は、両方の基板支持部材12、12に同様な構造で取り付けられている。   FIG. 6 is a plan view of the substrate supporting and conveying apparatus. FIG. 7 is a diagram illustrating a driving mechanism of a transport belt included in the substrate support transport apparatus. The transfer motor 13 is fixed to a support plate 16 that spans the pair of substrate support members 12 and 12. An output pulley 24A is attached to the output shaft 13S of the electric motor 13 for conveyance. As shown in FIG. 7, the conveyor belt 11 includes a pair of tension belts that stretch the conveyor belt 11 at positions of a drive pulley 18 </ b> C, a plurality of guide pulleys 18 </ b> D, and a conveyor belt support portion 12 </ b> S provided on the substrate support member 12. It is wound around the pulleys 18E and 18E. With such a structure, both the substrate support members 12, 12, more specifically, the pair of transport belt support portions 12 </ b> S, 12 </ b> S are arranged on the inner peripheral surface side of the pair of transport belts 11, 11. The substrate support / conveyance apparatus 10 includes a pair of substrate support members 12, 12. The pair of transport belts 11, 11 are attached to both the substrate support members 12, 12 with the same structure.

図6に示すように、一対の駆動プーリー18C、18Cは、駆動軸17に取り付けられている。駆動軸17は、一対の基板支持部材12、12によって回転可能に支持されている。また、駆動軸17には入力プーリー18Bが取り付けられている。搬送用電動機13の出力軸13Sに取り付けられた出力プーリー24Aと駆動軸17に取り付けられた入力プーリー18Bとには、無端の伝達ベルト19が掛け回されている。このような構成により、搬送用電動機13の動力は、出力プーリー24Aと、伝達ベルト19と、入力プーリー18Bとを介して駆動軸17に入力される。駆動軸17に入力された前記動力は、駆動軸17に取り付けられた一対の駆動プーリー18C、18Cを介して一対の搬送ベルト11、11を駆動する。   As shown in FIG. 6, the pair of drive pulleys 18 </ b> C and 18 </ b> C are attached to the drive shaft 17. The drive shaft 17 is rotatably supported by the pair of substrate support members 12 and 12. An input pulley 18 </ b> B is attached to the drive shaft 17. An endless transmission belt 19 is wound around an output pulley 24A attached to the output shaft 13S of the conveying motor 13 and an input pulley 18B attached to the drive shaft 17. With such a configuration, the power of the transport motor 13 is input to the drive shaft 17 via the output pulley 24A, the transmission belt 19, and the input pulley 18B. The power input to the drive shaft 17 drives the pair of transport belts 11 and 11 via the pair of drive pulleys 18C and 18C attached to the drive shaft 17.

一対の搬送ベルト11、11が駆動され、一対の基板支持部材12、12の搬送ベルト支持部12S、12Sの位置で回転すると、一対の搬送ベルト11、11の外周面と接する基板CBが一対の搬送ベルト支持部12S、12S上を移動する。基板支持搬送装置10は、このような構成により一対の搬送ベルト11、11を駆動して、基板CBを一対の基板支持部材12、12に搬入する。基板CBが一対の搬送ベルト支持部12S、12S上で停止すると、一対の搬送ベルト支持部12S、12Sは基板CBを支持する。すなわち、一対の基板支持部材12、12はプラテンとして基板CBを支持する。この状態で、さらに一対の搬送ベルト11、11が駆動されると、基板CBは基板支持部材12、12から搬出される。このように、基板支持搬送装置10は、基板CBを支持する支持部としての一対の基板支持部材12、12及び一対の基板支持部材12、12への基板CBの搬入と一対の基板支持部材12、12からの基板CBの搬出とを行う基板搬送機構を含んでいる。この基板搬送機構が基板CBを搬送する方向は、図1のY方向であり、ステージ3FI、3RI及びステージ3FE、3REが配列される方向である。次に、基板固定装置20について、より詳細に説明する。   When the pair of transport belts 11 and 11 are driven and rotated at the positions of the transport belt support portions 12S and 12S of the pair of substrate support members 12 and 12, the substrate CB in contact with the outer peripheral surfaces of the pair of transport belts 11 and 11 is paired. It moves on the conveyor belt support parts 12S and 12S. With such a configuration, the substrate support transport device 10 drives the pair of transport belts 11 and 11 to carry the substrate CB into the pair of substrate support members 12 and 12. When the substrate CB stops on the pair of transport belt support portions 12S and 12S, the pair of transport belt support portions 12S and 12S supports the substrate CB. That is, the pair of substrate support members 12 and 12 support the substrate CB as a platen. In this state, when the pair of transport belts 11 and 11 are further driven, the substrate CB is unloaded from the substrate support members 12 and 12. As described above, the substrate support / conveyance apparatus 10 includes the pair of substrate support members 12 and 12 serving as support portions for supporting the substrate CB, the loading of the substrate CB into the pair of substrate support members 12 and 12, and the pair of substrate support members 12. , 12 includes a substrate transfer mechanism for carrying out the substrate CB. The direction in which the substrate transport mechanism transports the substrate CB is the Y direction in FIG. 1, and is the direction in which the stages 3FI and 3RI and the stages 3FE and 3RE are arranged. Next, the substrate fixing device 20 will be described in more detail.

図8、図9は、それぞれ基板固定装置を示す図である。両図ともに、基板CBが搬送される方向と直交する方向から基板固定装置20を見た状態を示している。図8は、ステージ3に対する基板CBの固定を解除した状態を示し、図9はステージ3に対して基板CBを固定した状態を示している。いずれの図においても、基板CBは、ステージ3の基板押さえ部材34と、基板支持搬送装置10の搬送ベルト11との間に存在している。   8 and 9 are diagrams showing the substrate fixing device, respectively. Both drawings show a state in which the substrate fixing device 20 is viewed from a direction orthogonal to the direction in which the substrate CB is conveyed. FIG. 8 shows a state where the substrate CB is released from the stage 3, and FIG. 9 shows a state where the substrate CB is fixed to the stage 3. In any of the figures, the substrate CB exists between the substrate pressing member 34 of the stage 3 and the transport belt 11 of the substrate support transport device 10.

基板固定装置20は、基板支持搬送装置10の基板支持部材12が有する脚部15の開放端と対向して配置される。基板固定装置20は、テーブル21によって基板支持搬送装置10を基板押さえ部材34に向かって移動させて押し付けるものである。このため、基板固定装置20は、テーブル21を駆動するための動力源として基板固定用電動機23を有する。また、基板固定装置20は、前記動力をテーブル21に伝達するための動力伝達機構を有する。この動力伝達機構は、基板固定用電動機23の回転を直線運動に変換する機能を有する。図8、図9に示すように、基板固定用電動機23は、フレーム22に取り付けられる。基板固定用電動機23の出力軸23Sには、出力プーリー24Aが取り付けられている。   The substrate fixing device 20 is disposed to face the open end of the leg portion 15 included in the substrate support member 12 of the substrate support transport device 10. The substrate fixing device 20 is configured to move and press the substrate supporting and conveying device 10 toward the substrate pressing member 34 by the table 21. For this reason, the board fixing device 20 includes a board fixing motor 23 as a power source for driving the table 21. The board fixing device 20 has a power transmission mechanism for transmitting the power to the table 21. This power transmission mechanism has a function of converting rotation of the substrate fixing motor 23 into linear motion. As shown in FIGS. 8 and 9, the board fixing motor 23 is attached to the frame 22. An output pulley 24 </ b> A is attached to the output shaft 23 </ b> S of the board fixing motor 23.

前記動力伝達機構として、本実施形態では、雄ねじを有するねじシャフト28と、このねじシャフト28と噛み合う雌ねじを有する回転体26とを用いる。このようなねじシャフト28と回転体26とは、両者が相対的に回転すると、軸方向(ねじの進行方向)におけるねじシャフト28と回転体26との相対的な位置が変化する。これを利用して、基板固定用電動機23の回転を直線運動に変換する。   In the present embodiment, a screw shaft 28 having a male screw and a rotating body 26 having a female screw that meshes with the screw shaft 28 are used as the power transmission mechanism. When the screw shaft 28 and the rotating body 26 are relatively rotated, the relative positions of the screw shaft 28 and the rotating body 26 in the axial direction (screw traveling direction) change. Using this, the rotation of the substrate fixing motor 23 is converted into a linear motion.

回転体26は、筒状の構造体である。回転体26の一方の端部には、入力プーリー24Bが取り付けられる。回転体26は、軸受27を介してフレーム22に取り付けられる。このような構成により、フレーム22が回転体26を回転可能に支持する。本実施形態において、基板固定装置20は、複数の回転体26を備える。ねじシャフト28は、それぞれの回転体26にねじ込まれている。ねじシャフト28の一方の端部は、テーブル21の基板支持搬送装置10とは反対側における面に設けられた取付部材21Bに取り付けられる。   The rotating body 26 is a cylindrical structure. An input pulley 24 </ b> B is attached to one end of the rotating body 26. The rotating body 26 is attached to the frame 22 via a bearing 27. With such a configuration, the frame 22 supports the rotating body 26 in a rotatable manner. In the present embodiment, the substrate fixing device 20 includes a plurality of rotating bodies 26. The screw shaft 28 is screwed into each rotating body 26. One end of the screw shaft 28 is attached to an attachment member 21 </ b> B provided on the surface of the table 21 on the side opposite to the substrate support transport device 10.

複数の回転体26が有する入力プーリー24Bと、基板固定用電動機23の出力軸23Sに取り付けられた出力プーリー24Aと、エンコーダ24Cとには、無端の駆動ベルト25が掛け回されている。このような構成により、基板固定用電動機23の動力は、出力プーリー24Aと、駆動ベルト25と、入力プーリー24Bと、を介してそれぞれの回転体26に伝達される。エンコーダ24Cの出力を用いて、基板固定用電動機23の動作が制御される。前記動力によってそれぞれの回転体26が回転すると、それぞれの回転体26にねじ込まれたねじシャフト28は、テーブル21に固定されているため、軸方向におけるねじシャフト28と回転体26との相対的な位置が変化する。より具体的には、ねじシャフト28が回転体26から突出したり、回転体26に進入したりする。回転体26は、フレーム22に固定されているので、基板固定用電動機23の動力により回転体26が回転すると、フレーム22とテーブル21との距離が変化する。   An endless drive belt 25 is wound around the input pulley 24B of the plurality of rotating bodies 26, the output pulley 24A attached to the output shaft 23S of the board fixing motor 23, and the encoder 24C. With such a configuration, the power of the board fixing motor 23 is transmitted to each rotating body 26 via the output pulley 24A, the drive belt 25, and the input pulley 24B. The operation of the substrate fixing motor 23 is controlled using the output of the encoder 24C. When the respective rotating bodies 26 are rotated by the power, the screw shafts 28 screwed into the respective rotating bodies 26 are fixed to the table 21, so that the relative relationship between the screw shaft 28 and the rotating body 26 in the axial direction is reached. The position changes. More specifically, the screw shaft 28 protrudes from the rotating body 26 or enters the rotating body 26. Since the rotating body 26 is fixed to the frame 22, the distance between the frame 22 and the table 21 changes when the rotating body 26 rotates by the power of the board fixing motor 23.

上述したように、フレーム22は、ステージ3の一対の枠部材30、30に固定されている(図4参照)。また、基板支持搬送装置10は、ステージ3の一対の枠部材30、30に対して相対移動が許容された状態で支持される。また、基板固定装置20のテーブル21は、フレーム22と基板支持搬送装置10との間に配置される。このため、テーブル21がフレーム22から離れると、テーブル21と基板支持搬送装置10との距離が小さくなって、両者は接触する。本実施形態においては、テーブル21が有する緩衝部材29と基板支持部材12が有する脚部15とが接触する。緩衝部材29は、ゴムや樹脂等の弾性部材である。緩衝部材29は必須ではないが緩衝部材29が脚部15と接触することにより、両者の接触時における騒音及び衝撃を抑制できる。   As described above, the frame 22 is fixed to the pair of frame members 30 and 30 of the stage 3 (see FIG. 4). Further, the substrate support / conveyance device 10 is supported in a state in which relative movement is allowed with respect to the pair of frame members 30, 30 of the stage 3. Further, the table 21 of the substrate fixing device 20 is disposed between the frame 22 and the substrate support transport device 10. For this reason, when the table 21 is separated from the frame 22, the distance between the table 21 and the substrate support transport device 10 becomes small, and both come into contact with each other. In the present embodiment, the buffer member 29 included in the table 21 and the leg portion 15 included in the substrate support member 12 are in contact with each other. The buffer member 29 is an elastic member such as rubber or resin. Although the buffer member 29 is not essential, when the buffer member 29 comes into contact with the leg portion 15, noise and impact at the time of contact between the two can be suppressed.

両者が接触した後もテーブル21がフレーム22から離れると、基板支持搬送装置10は、基板押さえ部材34に向かって移動する。このような構成により、基板固定装置20は、基板支持搬送装置10の搬送ベルト11を基板押さえ部材34に押し付けることができるので、図9に示すように、搬送ベルト11を介して基板支持搬送装置10の基板支持部材12とステージ3の基板押さえ部材34との間で基板CBを挟持することができる。その結果、基板CBは、ステージ3に固定される。この固定は、基板固定装置20がテーブル21をフレーム22に接近させることにより解除される。基板固定装置20によって実現されるこのような機構が、ステージ3に基板CBを固定又は前記固定の解除を行う基板固定・解除機構である。   When the table 21 moves away from the frame 22 even after both contact, the substrate support transport device 10 moves toward the substrate pressing member 34. With such a configuration, the substrate fixing device 20 can press the transport belt 11 of the substrate support transport device 10 against the substrate pressing member 34, so that the substrate support transport device is interposed via the transport belt 11 as shown in FIG. The substrate CB can be held between the ten substrate support members 12 and the substrate pressing member 34 of the stage 3. As a result, the substrate CB is fixed to the stage 3. This fixing is released when the substrate fixing device 20 brings the table 21 close to the frame 22. Such a mechanism realized by the substrate fixing device 20 is a substrate fixing / releasing mechanism for fixing the substrate CB to the stage 3 or releasing the fixing.

回転体26及びねじシャフト28の数は限定されるものではないが、基板支持搬送装置10を安定して移動させるために、回転体26及びねじシャフト28の数は3以上、好ましくは4以上とすることが望ましい。このようにすれば、基板固定装置20は、基板支持搬送装置10を安定して支持することができる。この作用によって、基板固定装置20は、基板CBをより均一に基板押さえ部材34に押し付けることができるので、基板CBの位置ずれも抑制できる。次に、基板搬送部101が有するセンサについて説明する。   The numbers of the rotators 26 and screw shafts 28 are not limited, but in order to stably move the substrate support transport apparatus 10, the numbers of the rotators 26 and screw shafts 28 are 3 or more, preferably 4 or more. It is desirable to do. If it does in this way, the board | substrate fixing apparatus 20 can support the board | substrate support conveyance apparatus 10 stably. By this action, the substrate fixing device 20 can press the substrate CB more uniformly against the substrate pressing member 34, and therefore, it is possible to suppress the displacement of the substrate CB. Next, the sensor which the board | substrate conveyance part 101 has is demonstrated.

図10は、基板搬送部が有する各種のセンサの位置及び機能を説明するための模式図である。基板に電子部品を実装するにあたって、基板供給部1からそれぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REに基板が搬送される際、ステージ3FI、3RI、3FE、3REから基板搬出部2へ基板が搬送される際には、基板を停止させたり、基板を搬入出させたりする必要がある。このため、基板搬送部101は、基板の位置を検出するセンサを有する。搬入センサ90は、基板供給部1へ基板が搬入されたことを検出する。搬出センサ91は、基板搬出部2から基板が搬出されたことを検出する。待機センサ92は、基板供給部1で基板が待機する位置に前記基板が存在するか否かを検出する。停止センサ93は、それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REにおいて、基板に電子部品が搭載される位置(部品搭載位置)に、前記基板が存在するか否かを検出する。搬送センサ94は、それぞれのステージ3FI、3RI、3FE、3REの部品搭載位置から基板が搬出されたことを検出する。ステージ検出センサ95は、ステージ3FI、3RI、3FE、3REのY方向における位置を検出する。この機能を利用して、基板供給部1とステージ3FI、3RI、3FE、3REとの位置及び基板搬出部2とステージ3FI、3RI、3FE、3REとの位置を合わせることができる。ステージ検出センサ95は、図1に示すMAfの位置に設けられる。搬入センサ90、搬出センサ91、待機センサ92、停止センサ93、搬送センサ94及びステージ検出センサ95は、特に方式が限定されるものではないが、例えば、光学式の非接触センサを用いることができる。図1に示す制御装置105は、搬入センサ90、搬出センサ91等が検出した基板の位置に関する情報を取得して、基板を搬送する際の制御に用いる。次に、部品搭載部102(図1参照)について説明する。   FIG. 10 is a schematic diagram for explaining the positions and functions of various sensors included in the substrate transport unit. When an electronic component is mounted on the substrate, when the substrate is transferred from the substrate supply unit 1 to the respective stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE, the substrate is transferred from the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE to the substrate unloading unit 2. It is necessary to stop the substrate or to carry the substrate in and out. For this reason, the board | substrate conveyance part 101 has a sensor which detects the position of a board | substrate. The carry-in sensor 90 detects that a substrate has been carried into the substrate supply unit 1. The carry-out sensor 91 detects that the substrate has been carried out from the substrate carry-out unit 2. The standby sensor 92 detects whether or not the substrate is present at a position where the substrate is waiting in the substrate supply unit 1. The stop sensor 93 detects whether or not the substrate is present at a position (component mounting position) where the electronic component is mounted on the substrate in each of the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE. The conveyance sensor 94 detects that the board has been unloaded from the component mounting positions of the respective stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE. The stage detection sensor 95 detects the positions of the stages 3FI, 3RI, 3FE, 3RE in the Y direction. Using this function, the positions of the substrate supply unit 1 and the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE and the positions of the substrate carry-out unit 2 and the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE can be matched. The stage detection sensor 95 is provided at the position of MAf shown in FIG. The carry-in sensor 90, the carry-out sensor 91, the standby sensor 92, the stop sensor 93, the carry sensor 94, and the stage detection sensor 95 are not particularly limited in system, but for example, an optical non-contact sensor can be used. . The control device 105 shown in FIG. 1 acquires information on the position of the substrate detected by the carry-in sensor 90, the carry-out sensor 91, and the like, and uses it for control when the substrate is transported. Next, the component mounting part 102 (refer FIG. 1) is demonstrated.

図11は、本実施形態に係る電子部品実装装置が有する部品搭載部の平面図である。部品搭載部102が有するヘッド移動装置5は、2つのX方向移動装置50F、50Rと、2つのY方向移動装置54I、54Eとを含む。本実施形態において、これらはいずれもリニアモータであるが、ヘッド移動装置5はこれに限定されるものではない。例えば、ラックアンドピニオンを利用して回転運動を直線運動に変換する機構、ボールねじを用いて回転運動を直線運動に変換する機構又はベルトを用いて回転運動を直線運動に変換する機構等をヘッド移動装置5として用いることもできる。しかし、リニアモータをヘッド移動装置5に用いる場合、回転運動を直線運動に変換する必要はないので、変換によるロスを低減できる。その結果、リニアモータをヘッド移動装置5に用いた場合は、ヘッド移動装置5を駆動するエネルギーを抑制できる。   FIG. 11 is a plan view of a component mounting portion included in the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment. The head moving device 5 included in the component mounting unit 102 includes two X-direction moving devices 50F and 50R and two Y-direction moving devices 54I and 54E. In the present embodiment, these are all linear motors, but the head moving device 5 is not limited to this. For example, a mechanism that converts a rotational motion into a linear motion using a rack and pinion, a mechanism that converts a rotational motion into a linear motion using a ball screw, or a mechanism that converts a rotational motion into a linear motion using a belt, etc. It can also be used as the moving device 5. However, when a linear motor is used for the head moving device 5, it is not necessary to convert the rotational motion into a linear motion, so that loss due to the conversion can be reduced. As a result, when a linear motor is used for the head moving device 5, energy for driving the head moving device 5 can be suppressed.

X方向移動装置50F、50Rは、支持体51と、支持体51に取り付けられて支持された固定子52と、ヘッド6F、6Rが取り付けられるとともに、固定子52との間で発生する電磁力によって支持体51に沿って移動する可動子53とを有する。Y方向移動装置54I、54Eは、支持体55と、支持体55に取り付けられて支持された固定子56と、固定子56との間で発生する電磁力によって支持体55に沿って移動する可動子57とを有する。   The X-direction moving devices 50F and 50R are provided with a support 51, a stator 52 attached to and supported by the support 51, and heads 6F and 6R, and electromagnetic force generated between the stator 52 and the X-direction moving devices 50F and 50R. And a movable element 53 that moves along the support body 51. The Y-direction moving devices 54 </ b> I and 54 </ b> E are movable that move along the support body 55 by the electromagnetic force generated between the support body 55, the stator 56 attached to and supported by the support body 55, and the stator 56. And a child 57.

一方のX方向移動装置50Fは、図1に示す電子部品実装装置100の前面側に配置され、他方のX方向移動装置50Rは背面に配置される。一方のY方向移動装置54Iは、図1に示す電子部品実装装置100の基板供給部1側に配置され、他方のY方向移動装置54Eは基板搬出部2側に配置される。一対のX方向移動装置50F、50Rは、それぞれが対向するとともに、長手方向がX方向と平行になるように配置される。また、一対のY方向移動装置54I、54Eは、それぞれが対向するとともに、長手方向がY方向と平行になるように配置される。X方向移動装置50F、50RとY方向移動装置54I、54Eとは、それぞれ直交して矩形形状に組み合わされる。一対のY方向移動装置54I、54Eが有する一対の可動子57、57はX方向移動装置50Fを支持し、他の一対の可動子57、57はX方向移動装置50Rを支持する。このような構成により、ヘッド移動装置5は、それぞれのヘッド6F、6Rを独立に、X方向とY方向との少なくとも一方へ移動させることができる。なお、ヘッド6F、6Rは2個に限定されるものではなく、3個以上であってもよい。   One X-direction moving device 50F is arranged on the front side of the electronic component mounting apparatus 100 shown in FIG. 1, and the other X-direction moving device 50R is arranged on the back side. One Y-direction moving device 54I is arranged on the substrate supply unit 1 side of the electronic component mounting apparatus 100 shown in FIG. 1, and the other Y-direction moving device 54E is arranged on the substrate carry-out unit 2 side. The pair of X-direction moving devices 50F and 50R are arranged so that they face each other and the longitudinal direction is parallel to the X direction. Further, the pair of Y-direction moving devices 54I and 54E are arranged so that they face each other and the longitudinal direction is parallel to the Y direction. The X-direction moving devices 50F and 50R and the Y-direction moving devices 54I and 54E are combined in a rectangular shape so as to be orthogonal to each other. The pair of movers 57 and 57 included in the pair of Y-direction moving devices 54I and 54E supports the X-direction moving device 50F, and the other pair of movers 57 and 57 supports the X-direction moving device 50R. With such a configuration, the head moving device 5 can independently move the heads 6F and 6R in at least one of the X direction and the Y direction. The heads 6F and 6R are not limited to two, and may be three or more.

図12は、本実施形態に係る電子部品実装装置が有するヘッドの説明図である。ヘッド6F、6Rは、同一の構造なので、次の説明においてはヘッド6Fについて説明する。ヘッド6Fは、X方向移動装置50Fによって駆動される。ヘッド6Fは、制御基板60と、Z軸モータ61と、θモータ62と、エア制御弁63と、基板認識カメラ64と、レーザアラインセンサ65と、電子部品を吸着するノズル(吸着ノズル)とを含む。制御基板60は、Z軸モータ61、エア制御弁63及びθモータ62等を駆動するための駆動回路を有している。   FIG. 12 is an explanatory diagram of a head included in the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment. Since the heads 6F and 6R have the same structure, the head 6F will be described in the following description. The head 6F is driven by the X-direction moving device 50F. The head 6F includes a control board 60, a Z-axis motor 61, a θ motor 62, an air control valve 63, a board recognition camera 64, a laser alignment sensor 65, and a nozzle (suction nozzle) that sucks electronic components. Including. The control board 60 has a drive circuit for driving the Z-axis motor 61, the air control valve 63, the θ motor 62, and the like.

Z軸モータ61は、吸着ノズルをZ軸方向に移動させる。この機能により、Z軸モータ61は、吸着ノズルを基板に接近させ、また、基板に接近させた吸着ノズルを基板から遠ざける。Z軸モータ61は、電子部品を吸着した吸着ノズルを基板に接近させ、電子部品を基板の端子電極に接触させることにより、電子部品を基板に搭載する。θモータ62は、Z軸を中心として吸着ノズルを、回転させる。Z軸は、XY平面に直交するが、XY平面は電子部品が搭載される基板の表面と平行であるため、θモータ62は、前記基板の表面と直交する軸を中心として前記ノズルを回転させる。θモータ62は、この機能により、電子部品と基板との位置関係を調整することができる。   The Z-axis motor 61 moves the suction nozzle in the Z-axis direction. With this function, the Z-axis motor 61 moves the suction nozzle closer to the substrate and moves the suction nozzle closer to the substrate away from the substrate. The Z-axis motor 61 mounts the electronic component on the substrate by bringing the suction nozzle that has attracted the electronic component closer to the substrate and bringing the electronic component into contact with the terminal electrode of the substrate. The θ motor 62 rotates the suction nozzle around the Z axis. The Z axis is orthogonal to the XY plane, but the XY plane is parallel to the surface of the substrate on which the electronic component is mounted, so the θ motor 62 rotates the nozzle about an axis orthogonal to the surface of the substrate. . With this function, the θ motor 62 can adjust the positional relationship between the electronic component and the board.

エア制御弁63は、吸着ノズルの吸引と吸引停止とを切り替える。すなわち、エア制御弁63は、吸着ノズルの開口部から空気を吸引させることによって、電子部品を吸着ノズルの開口部に吸着させる。また、エア制御弁63は、前記吸引を停止させることによって、吸着ノズルの開口部に吸着させられている電子部品を前記開口部から開放する。エア制御弁63は、このような動作を吸着ノズルにさせることによって、吸着ノズルによる電子部品の吸着と開放とを制御する。   The air control valve 63 switches between suction and suction stop of the suction nozzle. In other words, the air control valve 63 sucks air from the opening of the suction nozzle, thereby sucking the electronic component into the opening of the suction nozzle. Further, the air control valve 63 stops the suction, thereby opening the electronic component sucked by the opening of the suction nozzle from the opening. The air control valve 63 controls the suction and release of the electronic component by the suction nozzle by causing the suction nozzle to perform such an operation.

基板認識カメラ64は、ヘッド6F、6Rにそれぞれ1台備えられる。基板認識カメラ64は、基板に設けられたアライメントマークの他、吸着位置基準等に設けられた認識マークを撮像する。この動作によって、基板認識カメラ64は、基板及びステージ3の位置についての情報(位置情報)を検出する。基板認識カメラ64は、基板に電子部品を搭載している最中に前記位置情報を検出したり、電子部品の吸着位置のティーチング及び搭載位置の検査等において前記位置情報を検出したりする。レーザアラインセンサ65は、レーザ測定機能を有している。この機能により、ヘッド6Fと基板との距離、ヘッド6Fの傾斜等の情報を検出する。ヘッド6Fが有するZ軸モータ61及びθモータ62等の制御、吸着ノズルからの空気の吸引、基板認識カメラ64が検出した情報の伝送等のために、ヘッド6Fには、フレキシブルケーブル及び吸引チューブが束ねられたフレキシブルケーブル群66が接続されている。次に、部品供給部103(図1参照)について説明する。   One substrate recognition camera 64 is provided for each of the heads 6F and 6R. The substrate recognition camera 64 images the recognition mark provided on the suction position reference in addition to the alignment mark provided on the substrate. By this operation, the substrate recognition camera 64 detects information (position information) about the position of the substrate and the stage 3. The board recognition camera 64 detects the position information while the electronic component is being mounted on the board, and detects the position information in teaching of the suction position of the electronic component and inspection of the mounting position. The laser alignment sensor 65 has a laser measurement function. With this function, information such as the distance between the head 6F and the substrate and the inclination of the head 6F is detected. In order to control the Z-axis motor 61 and θ motor 62 of the head 6F, suck air from the suction nozzle, transmit information detected by the substrate recognition camera 64, etc., the head 6F has a flexible cable and a suction tube. A bundle of flexible cables 66 is connected. Next, the component supply unit 103 (see FIG. 1) will be described.

図13は、本実施形態に係る電子部品実装装置が有する部品供給部の平面図である。部品供給部103F、103Rは、基板が搬送される方向と直交する方向、すなわちY方向における両側に配置される。それぞれの部品供給部103F、103Rは、支持台7に複数の部品供給装置8を搭載している。部品供給装置8は、基板に搭載する電子部品をヘッド6F、6Rに連続して供給可能であり、ヘッド6F、6Rがそれぞれ備えた複数の吸着ノズルに電子部品を吸着可能な状態とする。部品供給装置8は、凹部に電子部品を保持して封止材によって凹部を封止されたテープを送ると同時にテープの封止材を取り除いて、凹部内の電子部品を露出させ、ヘッド6F、6Rの吸着ノズルに電子部品を吸着させる。部品供給装置8はこのような方式(テープフィーダー)に限定されるものではないが、支持台7に対して着脱可能とすることが好ましい。   FIG. 13 is a plan view of a component supply unit included in the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment. The component supply units 103F and 103R are disposed on both sides in the direction orthogonal to the direction in which the substrate is conveyed, that is, in the Y direction. Each of the component supply units 103 </ b> F and 103 </ b> R has a plurality of component supply devices 8 mounted on the support base 7. The component supply device 8 can continuously supply the electronic components to be mounted on the substrate to the heads 6F and 6R, and the electronic components can be sucked to a plurality of suction nozzles respectively provided in the heads 6F and 6R. The component supply device 8 holds the electronic component in the concave portion and sends the tape whose concave portion is sealed by the sealing material, and at the same time removes the tape sealing material to expose the electronic component in the concave portion, and the head 6F, An electronic component is adsorbed by a 6R adsorption nozzle. The component supply device 8 is not limited to such a method (tape feeder), but it is preferable that the component supply device 8 be detachable from the support base 7.

部品供給部103Fの部品供給装置8は、ヘッド6Fに電子部品を供給する。また、部品供給部103Rの部品供給装置8は、ヘッド6Rに電子部品を供給する。このように、部品供給部103は、それぞれのヘッド6F、6Rに電子部品を供給する部品供給装置8を別個に備え、それぞれのヘッド6F、6Rは、より近い部品供給装置8から電子部品の供給を受ける。このような構成により、それぞれのヘッド6F、6Rは迅速に電子部品の供給を受けることができ、部品供給装置8へのアクセスも高速になるので、電子部品を搭載した基板の生産性が向上する。   The component supply device 8 of the component supply unit 103F supplies electronic components to the head 6F. The component supply device 8 of the component supply unit 103R supplies electronic components to the head 6R. As described above, the component supply unit 103 includes the component supply devices 8 that supply the electronic components to the heads 6F and 6R separately, and each of the heads 6F and 6R supplies the electronic components from the closer component supply device 8. Receive. With such a configuration, each of the heads 6F and 6R can quickly receive the supply of electronic components, and the access to the component supply device 8 is also increased, so that the productivity of the board on which the electronic components are mounted is improved. .

部品供給部103F、103Rは、部品認識カメラ83を有する。部品認識カメラ83は、部品供給装置8と生産領域との間に設置されて、ヘッド6F、6Rの吸着ノズルの開口側から吸着ノズルが吸着した電子部品を撮像する。図1に示す制御装置105は、部品認識カメラ83が撮像した情報から吸着ノズルに吸着された電子部品の姿勢等を求め、得られた前記姿勢等の情報に基づいて、電子部品が搭載される位置決めをする。部品認識カメラ83は、図12に示すレーザアラインセンサ65で代用することもできる。次に、図1に示す制御部104が有する制御装置105について説明する。   The component supply units 103 </ b> F and 103 </ b> R have a component recognition camera 83. The component recognition camera 83 is installed between the component supply device 8 and the production area, and images an electronic component sucked by the suction nozzle from the suction nozzle opening side of the heads 6F and 6R. The control device 105 shown in FIG. 1 obtains the posture and the like of the electronic component sucked by the suction nozzle from the information captured by the component recognition camera 83, and the electronic component is mounted based on the obtained information such as the posture. Position it. The component recognition camera 83 can be substituted by a laser alignment sensor 65 shown in FIG. Next, the control device 105 included in the control unit 104 illustrated in FIG. 1 will be described.

図14は、本実施形態に係る電子部品実装装置を制御する制御装置の構成図である。制御装置105は、図1に示す電子部品実装装置100の動作を制御するものである。制御装置105は、演算部106と、記憶部107と、基板認識カメラ制御部108と、部品認識カメラ制御部109と、情報検出部110と、ヘッド位置制御部111と、レーザ制御部112と、ヘッド制御部113と、基板搬送制御部114と、XY制御部115と、基板固定用モータドライバ116と、基板搬送用モータドライバ117と、ステージ移動用モータドライバ118と、サーボアンプ119とを含む。制御装置105のうち、基板固定用モータドライバ116、基板搬送用モータドライバ117、ステージ移動用モータドライバ118及びサーボアンプ119は、半導体素子、抵抗及びコンデンサ等の電子部品(ハードウェア)を組み合わせた電子デバイスである。   FIG. 14 is a configuration diagram of a control device that controls the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment. The control device 105 controls the operation of the electronic component mounting apparatus 100 shown in FIG. The control device 105 includes a calculation unit 106, a storage unit 107, a board recognition camera control unit 108, a component recognition camera control unit 109, an information detection unit 110, a head position control unit 111, a laser control unit 112, The head controller 113, the substrate transport controller 114, the XY controller 115, the substrate fixing motor driver 116, the substrate transport motor driver 117, the stage moving motor driver 118, and the servo amplifier 119 are included. Of the control device 105, the substrate fixing motor driver 116, the substrate transport motor driver 117, the stage moving motor driver 118, and the servo amplifier 119 are electronic devices that combine electronic components (hardware) such as semiconductor elements, resistors, and capacitors. It is a device.

演算部106は、例えば、CPU(Central Processing Unit:中央演算装置)である。演算部106は、図10に示す搬入センサ90及び搬出センサ91等が検出した情報、図13に示す部品認識カメラ83が撮像した情報等に基づいて、ステージ移動機構4I、4E、ステージ3、基板支持搬送装置10、基板固定装置20、ヘッド移動装置5及びヘッド6F、6R等といった電子部品実装装置100を構成する装置の動作を制御する。記憶部107は、RAM(Random Access Memory)若しくはROM(Read Only Memory)若しくは半導体記憶デバイス又はこれらを組み合わせたものである。記憶部107は、電子部品実装装置100の動作を制御するためのコンピュータプログラム、基板や電子部品の種類についての情報及び電子部品を基板に搭載する際に必要な情報等を記憶している。   The computing unit 106 is, for example, a CPU (Central Processing Unit). Based on information detected by the carry-in sensor 90 and the carry-out sensor 91 shown in FIG. 10, information taken by the component recognition camera 83 shown in FIG. 13, and the like, the calculation unit 106 is configured to move the stage moving mechanisms 4I, 4E, stage 3, and substrate. It controls the operation of the devices constituting the electronic component mounting apparatus 100 such as the support / conveyance device 10, the substrate fixing device 20, the head moving device 5, and the heads 6F and 6R. The storage unit 107 is a random access memory (RAM), a read only memory (ROM), a semiconductor storage device, or a combination thereof. The storage unit 107 stores a computer program for controlling the operation of the electronic component mounting apparatus 100, information on the types of boards and electronic components, information necessary for mounting electronic components on the board, and the like.

基板認識カメラ制御部108は、演算部106からの指令によって、基板認識カメラ64の動作を制御するものである。部品認識カメラ制御部109は、演算部106からの指令によって、部品認識カメラ83の動作を制御するものである。情報検出部110は、基板認識カメラ64、部品認識カメラ83、搬入センサ90、搬出センサ91及びレーザアラインセンサ65等が検出した情報を、演算部106が処理できる信号に変換する。ヘッド位置制御部111は、演算部106からの指令により、サーボアンプ119を介してX方向移動装置50F、50R、Y方向移動装置54I、54Eを制御する。この制御によって、基板搬送部101が搬送する基板及び部品搭載部102が有するヘッド6F、6RのX方向における位置とY方向における位置とが制御される。レーザ制御部112は、演算部106からの指令によって、レーザアラインセンサ65の動作を制御する。ヘッド制御部113は、演算部106からの指令によってヘッド6F、6Rの動作を制御する。基板搬送制御部114は、演算部106からの指令によって、基板固定用モータドライバ116を介して基板固定用電動機23の動作を制御する。この制御によって、ステージ3への基板の固定及び前記固定の解除が実現される。また、基板搬送制御部114は、演算部106からの指令によって、基板搬送用モータドライバ117を介して搬送用電動機13の動作を制御する。この制御によって、ステージ3への基板の搬送及びステージ3からの基板の搬送が実現される。XY制御部115は、演算部106からの指令に基づき、ステージ移動用モータドライバ118を介して、ステージ移動機構4I、4Eの動作を制御する。この制御によって、ステージ3のX方向における位置とY方向における位置とが制御される。   The board recognition camera control unit 108 controls the operation of the board recognition camera 64 according to a command from the calculation unit 106. The component recognition camera control unit 109 controls the operation of the component recognition camera 83 according to a command from the calculation unit 106. The information detection unit 110 converts information detected by the board recognition camera 64, the component recognition camera 83, the carry-in sensor 90, the carry-out sensor 91, the laser alignment sensor 65, and the like into a signal that can be processed by the calculation unit 106. The head position control unit 111 controls the X-direction moving devices 50F and 50R and the Y-direction moving devices 54I and 54E via the servo amplifier 119 according to a command from the calculation unit 106. By this control, the position in the X direction and the position in the Y direction of the boards 6F and 6R included in the board carrying part 101 and the component mounting part 102 are controlled. The laser control unit 112 controls the operation of the laser alignment sensor 65 according to a command from the calculation unit 106. The head controller 113 controls the operation of the heads 6F and 6R according to a command from the calculator 106. The substrate transfer control unit 114 controls the operation of the substrate fixing motor 23 via the substrate fixing motor driver 116 according to a command from the arithmetic unit 106. By this control, the substrate is fixed to the stage 3 and the fixing is released. Further, the substrate transfer control unit 114 controls the operation of the transfer motor 13 via the substrate transfer motor driver 117 according to a command from the calculation unit 106. By this control, conveyance of the substrate to the stage 3 and conveyance of the substrate from the stage 3 are realized. The XY control unit 115 controls the operation of the stage moving mechanisms 4I and 4E via the stage moving motor driver 118 based on a command from the calculation unit 106. By this control, the position of the stage 3 in the X direction and the position in the Y direction are controlled.

本実施形態において、基板認識カメラ制御部108と、部品認識カメラ制御部109と、情報検出部110と、ヘッド位置制御部111と、レーザ制御部112と、ヘッド制御部113と、基板搬送制御部114と、XY制御部115とは、それぞれ専用の回路基板又はコプロセッサで実現される。なお、これらの機能は、ソフトウェアで実現されてもよい。この場合、演算部106がこれらの機能を実現するソフトウェアを実行することにより、これらの機能を実現する。次に、図1に示す電子部品実装装置100が基板に電子部品を搭載する際の生産モードの一例を説明する。   In the present embodiment, the substrate recognition camera control unit 108, the component recognition camera control unit 109, the information detection unit 110, the head position control unit 111, the laser control unit 112, the head control unit 113, and the substrate transport control unit. 114 and the XY control unit 115 are each realized by a dedicated circuit board or coprocessor. Note that these functions may be realized by software. In this case, these functions are realized by the arithmetic unit 106 executing software that realizes these functions. Next, an example of a production mode when the electronic component mounting apparatus 100 shown in FIG. 1 mounts electronic components on a substrate will be described.

(第1の生産モード)
図15は、本実施形態に係る電子部品実装装置が基板に電子部品を搭載する際における第1の生産モードの手順を示すフローチャートである。図16〜図20は、第1の生産モードの説明図である。第1の生産モードは、図1に示す電子部品実装装置100のステージ移動機構4I、4Eが、隣接する少なくとも2つのステージの段(図16に示す例では、第1ステージ段3Iと第2ステージ段3E)を、互いに反対方向に移動させて、基板に電子部品を搭載するものである。図16に示すように、第1ステージ段3Iは、Y軸方向に隣接するステージ3FI、3RIであり、第2ステージ段3Eは、Y軸方向に隣接するステージ3FE、3REである。
(First production mode)
FIG. 15 is a flowchart showing the procedure of the first production mode when the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment mounts the electronic component on the board. 16 to 20 are explanatory diagrams of the first production mode. In the first production mode, the stage moving mechanisms 4I and 4E of the electronic component mounting apparatus 100 shown in FIG. 1 are arranged so that at least two adjacent stages (in the example shown in FIG. 16, the first stage stage 3I and the second stage). The stage 3E) is moved in opposite directions to mount electronic components on the board. As shown in FIG. 16, the first stage stage 3I is stages 3FI and 3RI adjacent in the Y-axis direction, and the second stage stage 3E is stages 3FE and 3RE adjacent in the Y-axis direction.

電子部品実装装置100が第1の生産モードにより基板に電子部品を搭載する場合、作業者は、図1に示す入力装置105Cの第1の生産モードによる生産を開始させるためのスタートボタンを押す。入力装置105Cから、第1の生産モードによる生産開始の信号を受信した制御装置105は、図3に示すステージ移動機構4I、4Eを駆動して、ステージ3FI、3RI、3FE、3REを第1の生産モードにおける初期位置へ移動させる(ステップS101)。この移動において、ステージ移動機構4I、4Eは、第1ステージ段3Iを背面側領域MArに向かって移動させ、第2ステージ段3Eを前面側領域MAfに向かって移動させることになる。すなわち、第1ステージ段3Iと第2ステージ段3Eとは、互いに逆方向に移動する。また、図16に示すように、ステージ3FIとステージ3REとが中間領域MAmに、ステージ3RIが背面側領域MArに、ステージ3FEが前面側領域MAfに存在する状態が、ステップS101における初期位置の状態である。   When the electronic component mounting apparatus 100 mounts an electronic component on the board in the first production mode, the operator presses a start button for starting production in the first production mode of the input device 105C shown in FIG. The control device 105 that has received the signal for starting production in the first production mode from the input device 105C drives the stage moving mechanisms 4I and 4E shown in FIG. 3, and sets the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE to the first one. Move to the initial position in the production mode (step S101). In this movement, the stage moving mechanisms 4I and 4E move the first stage stage 3I toward the rear side area MAr and move the second stage stage 3E toward the front side area MAf. That is, the first stage stage 3I and the second stage stage 3E move in opposite directions. In addition, as shown in FIG. 16, the stage 3FI and the stage 3RE are present in the intermediate area MAm, the stage 3RI is present in the rear side area MAr, and the stage 3FE is present in the front side area MAf. It is.

次に、ステップS102へ進み、制御装置105は、基板搬送部101から2枚の基板(第1基板CB1及び第2基板CB2)を、中間領域MAmに存在するステージ3FIとステージ3REとに搬送する。この場合、制御装置105は、基板供給部1の搬入センサ90がONであることをトリガーとして基板供給部1の基板支持搬送装置10(図6、図7)を駆動する。そして、制御装置105は、待機センサ92がONであることをトリガーとしてそれぞれのステージ3FI、3REが有する基板支持搬送装置10を駆動する。制御装置105は、それぞれのステージ3FI、3REの停止センサ93が両方ともONであることをトリガーとして、それぞれのステージ3FI、3REが有する基板支持搬送装置10を停止する(ステップS103)。このような処理によって、図17に示すように、ステージ3FIは第2基板CB2を搭載して支持し、ステージ3REは第1基板CB1を搭載して支持する。なお、基板供給部1には、第3基板CB3が搬送されている。   Next, proceeding to step S102, the control device 105 transfers the two substrates (first substrate CB1 and second substrate CB2) from the substrate transfer unit 101 to the stage 3FI and the stage 3RE present in the intermediate area MAm. . In this case, the control device 105 drives the substrate support / conveyance device 10 (FIGS. 6 and 7) of the substrate supply unit 1 using the carry-in sensor 90 of the substrate supply unit 1 as a trigger. And the control apparatus 105 drives the board | substrate support conveyance apparatus 10 which each stage 3FI and 3RE have as a trigger that the standby sensor 92 is ON. The control device 105 stops the substrate support / conveyance device 10 included in each of the stages 3FI and 3RE, triggered by the fact that both the stop sensors 93 of the respective stages 3FI and 3RE are ON (step S103). By such processing, as shown in FIG. 17, the stage 3FI mounts and supports the second substrate CB2, and the stage 3RE supports and supports the first substrate CB1. Note that the third substrate CB3 is transported to the substrate supply unit 1.

次に、ステップS104に進み、いずれかのステージに電子部品を搭載中、すなわち実装中の基板が存在するか否かが判定される。制御装置105は、いずれのステージでもヘッド6F、6Rが電子部品を基板に搭載していないことを検出した場合に、ステップS104の処理を肯定(Yes)へ分岐させて、第2の生産モードをステップS105へ進める。   Next, the process proceeds to step S104, and it is determined whether or not an electronic component is mounted on any stage, that is, whether there is a substrate being mounted. When the control device 105 detects that the heads 6F and 6R do not mount the electronic component on the substrate at any stage, the control device 105 branches the process of step S104 to affirmative (Yes) and sets the second production mode. Proceed to step S105.

ステップS105において、制御装置105は、ステージ移動機構4I、4Eを駆動して、第1ステージ段3I(ステージ3FI、3RI)と、第2ステージ段3E(ステージ3FE、3RE)とを、互いに逆方向に移動させる。この例では、図17に示すように、ステージ移動機構4I、4Eは、第1ステージ段3Iを前面側領域MAfに向かって移動させ(図17の矢印Fで示す方向)、第2ステージ段3Eを背面側領域MArに向かって移動させる(図17の矢印Rで示す方向)。ステージ3FI、3RE等が移動を開始すると、図10に示すステージ検出センサ95はステージ3FI、3REを検出しなくなるので、OFFを出力する(ステップS106)。   In step S105, the control device 105 drives the stage moving mechanisms 4I and 4E to move the first stage stage 3I (stages 3FI and 3RI) and the second stage stage 3E (stages 3FE and 3RE) in opposite directions. Move to. In this example, as shown in FIG. 17, the stage moving mechanisms 4I and 4E move the first stage stage 3I toward the front side area MAf (the direction indicated by the arrow F in FIG. 17), and the second stage stage 3E. Is moved toward the rear side region MAr (direction indicated by an arrow R in FIG. 17). When the stages 3FI, 3RE, etc. start moving, the stage detection sensor 95 shown in FIG. 10 does not detect the stages 3FI, 3RE, and outputs OFF (step S106).

次に、ステップS107に進み、制御装置105は、ステージ検出センサ95のOFFをトリガーとして、基板固定動作を実行する。具体的には、制御装置105は、第1基板CB1を支持しているステージ3REの基板固定装置20(図8、図9参照)及び第2基板CB2を支持しているステージ3FIの基板固定装置20を駆動して、第1基板CB1をステージ3REに、第2基板CB2をステージ3FIに固定する。ステップS107における基板固定動作は、ステージ3FI、3REに対して実行されるので、ステージ3FI、3REが停止した直後から、あるいは停止してから短い時間で電子部品の基板への搭載を開始できる。その結果、基板の搬送から電子部品の搭載が終了するまでの時間を短縮できる。このように、ステージ3FI、3REの移動中に基板固定動作を実行する場合、ステージ3FI、3REが停止する前に、基板固定動作が終了するようにすると、ステージ3FI、3REの停止直後から電子部品の搭載に移行できるので好ましい。なお、本実施形態は、ステージ3FI、3REが停止してから基板固定動作を実行する処理を除外するものではない。   Next, proceeding to step S107, the control device 105 executes a substrate fixing operation with the stage detection sensor 95 being turned off as a trigger. Specifically, the control device 105 includes the substrate fixing device 20 (see FIGS. 8 and 9) for the stage 3RE that supports the first substrate CB1, and the substrate fixing device for the stage 3FI that supports the second substrate CB2. 20 is driven to fix the first substrate CB1 to the stage 3RE and the second substrate CB2 to the stage 3FI. Since the substrate fixing operation in step S107 is performed on the stages 3FI and 3RE, the mounting of the electronic component on the substrate can be started immediately after the stages 3FI and 3RE stop or in a short time after the stop. As a result, it is possible to shorten the time from the conveyance of the substrate to the end of the mounting of the electronic component. As described above, when the substrate fixing operation is performed during the movement of the stages 3FI and 3RE, if the substrate fixing operation is terminated before the stages 3FI and 3RE are stopped, the electronic components are started immediately after the stages 3FI and 3RE are stopped. It is preferable because it can shift to mounting. Note that this embodiment does not exclude processing for performing the substrate fixing operation after the stages 3FI and 3RE are stopped.

次に、ステップS108に進み、制御装置105は、ステージ検出センサ95がステージ3RI、3FEを検出してONを出力した場合、これをトリガーとしてステージ移動機構4I、4Eを停止する。次に、ステップS109に進み、制御装置105は、図1に示す部品搭載部102によってステージ3REに固定された第1基板CB1と、ステージ3FIに固定された第2基板CB2とに電子部品Aの搭載を開始する(図18参照)。この状態では、図18に示すように、ステージ3FIの第2基板CB2は前面側領域MAfで、ステージ3REの第1基板CB1は背面側領域MArで電子部品Aが搭載される。また、ステージ3RI、3FEは、中間領域MAmに移動している。   Next, in step S108, when the stage detection sensor 95 detects the stages 3RI and 3FE and outputs ON, the control device 105 stops the stage moving mechanisms 4I and 4E using this as a trigger. Next, in step S109, the control device 105 transfers the electronic component A to the first substrate CB1 fixed to the stage 3RE by the component mounting unit 102 shown in FIG. 1 and the second substrate CB2 fixed to the stage 3FI. Mounting is started (see FIG. 18). In this state, as shown in FIG. 18, the electronic component A is mounted on the second substrate CB2 of the stage 3FI in the front side region MAf, and on the first substrate CB1 of the stage 3RE in the back side region MAr. The stages 3RI and 3FE have moved to the intermediate area MAm.

次に、ステップS110へ進む。待機センサ92がONである場合、基板供給部1には中間領域MAmに移動してきたステージ3RI、3FEに対して搬送すべき基板が存在している。制御装置105は、待機センサ92がONであることを検出したら、ステップS110の処理を否定(No)へ分岐させる。この分岐処理によって、第1の生産モードはステップS102に戻る。ステップS102、ステップS103において、基板供給部1からは、ステージ3FEには第3基板CB3が、ステージ3RIには第4基板CB4が搬送される(図18参照)。この状態において、ステージ3FI、3REでは、すでに第2基板CB2、第1基板CB1に対して電子部品の搭載が開始されている。したがって、ステップS104において、制御装置105は、ステップS104の処理を否定(No)へ分岐させて、第1の生産モードをステップS111へ進める。   Next, the process proceeds to step S110. When the standby sensor 92 is ON, the substrate supply unit 1 has a substrate to be transported to the stages 3RI and 3FE that have moved to the intermediate area MAm. When detecting that the standby sensor 92 is ON, the control device 105 branches the process of step S110 to negative (No). By this branching process, the first production mode returns to step S102. In step S102 and step S103, the substrate supply unit 1 transfers the third substrate CB3 to the stage 3FE and the fourth substrate CB4 to the stage 3RI (see FIG. 18). In this state, mounting of electronic components on the second substrate CB2 and the first substrate CB1 has already been started in the stages 3FI and 3RE. Accordingly, in step S104, the control device 105 branches the process of step S104 to negative (No), and advances the first production mode to step S111.

ステップS111において、制御装置105は、基板固定動作を実行する。具体的には、制御装置105は、第3基板CB3を支持しているステージ3FEの基板固定装置20及び第4基板CB4を支持しているステージ3RIの基板固定装置20を駆動して、第3基板CB3をステージ3FEに、第4基板CB4をステージ3RIに固定する。そして、ステップS112へ進み、制御装置105は、第1基板CB1及び第2基板CB2に電子部品の搭載が終了したことを検出したら、第1の生産モードをステップS113に進める。ステップS113において、制御装置105は、ステージ移動機構4I、4Eを駆動して、第1ステージ段3I(ステージ3FI、3RI)と、第2ステージ段3E(ステージ3FE、3RE)とを、互いに逆方向に移動させる。ステップS113では、ステージ移動機構4I、4Eは、第2ステージ段3Eを前面側領域MAfに向かって移動させ(図18の矢印Fで示す方向)、第1ステージ段3Iを背面側領域MArに向かって移動させる(図18の矢印Rで示す方向)。これは、電子部品の搭載が終了した第1基板CB1及び第2基板CB2を、生産領域から搬出させるためである。   In step S111, the control device 105 performs a substrate fixing operation. Specifically, the control device 105 drives the substrate fixing device 20 of the stage 3FE supporting the third substrate CB3 and the substrate fixing device 20 of the stage 3RI supporting the fourth substrate CB4, thereby The substrate CB3 is fixed to the stage 3FE, and the fourth substrate CB4 is fixed to the stage 3RI. Then, the process proceeds to step S112, and when the control device 105 detects that the mounting of the electronic components on the first substrate CB1 and the second substrate CB2 is completed, the control device 105 proceeds the first production mode to step S113. In step S113, the control device 105 drives the stage moving mechanisms 4I and 4E so that the first stage stage 3I (stages 3FI and 3RI) and the second stage stage 3E (stages 3FE and 3RE) are in directions opposite to each other. Move to. In step S113, the stage moving mechanisms 4I and 4E move the second stage stage 3E toward the front side area MAf (in the direction indicated by the arrow F in FIG. 18), and move the first stage stage 3I toward the back side area MAr. (The direction indicated by the arrow R in FIG. 18). This is because the first substrate CB1 and the second substrate CB2 on which mounting of the electronic components has been completed are carried out of the production area.

ステージ3FI、3RE等が移動を開始すると、図10に示すステージ検出センサ95はステージ3FI、3REを検出しなくなるので、OFFを出力する(ステップS114)。次に、ステップS115に進み、制御装置105は、ステージ検出センサ95のOFFをトリガーとして、基板固定解除動作を実行する。具体的には、制御装置105は、第1基板CB1を支持しているステージ3REの基板固定装置20及び第2基板CB2を支持しているステージ3FIの基板固定装置20を駆動して、第1基板CB1のステージ3REに対する固定及び第2基板CB2のステージ3FIに対する固定を解除する。ステップS115における基板固定解除動作は、ステージ3FI、3REに対して実行される。このため、ステージ3FI、3REが停止した直後から、あるいは停止してから短い時間で、電子部品の搭載が終了した第1基板CB1及び第2基板CB2の基板搬出部2への搬送を開始できる。その結果、生産領域から基板搬出部2へ基板を搬送する時間を短縮できる。このように、ステージ3FI、3REの移動中に基板固定解除動作を実行する場合、ステージ3FI、3REが停止する前に、基板固定解除動作が終了するようにすると、生産時間の短縮を実現できる。また、このようにすると、ステージ3FI、3REの停止直後から基板の搬送に移行できるので好ましい。なお、本実施形態は、ステージ3FI、3REが停止してから基板固定解除動作を実行する処理を除外するものではない。   When the stages 3FI, 3RE, etc. start moving, the stage detection sensor 95 shown in FIG. 10 does not detect the stages 3FI, 3RE, and outputs OFF (step S114). Next, proceeding to step S115, the control device 105 executes a substrate fixing releasing operation with the stage detection sensor 95 being turned off as a trigger. Specifically, the control device 105 drives the substrate fixing device 20 of the stage 3RE that supports the first substrate CB1 and the substrate fixing device 20 of the stage 3FI that supports the second substrate CB2. The fixing of the substrate CB1 to the stage 3RE and the fixing of the second substrate CB2 to the stage 3FI are released. The substrate fixing release operation in step S115 is executed for the stages 3FI and 3RE. For this reason, it is possible to start transporting the first substrate CB1 and the second substrate CB2 on which mounting of the electronic components has been completed to the substrate unloading unit 2 immediately after the stages 3FI and 3RE are stopped or in a short time after the stop. As a result, the time for transporting the substrate from the production area to the substrate unloading unit 2 can be shortened. As described above, when the substrate fixing release operation is performed during the movement of the stages 3FI and 3RE, if the substrate fixing release operation is ended before the stages 3FI and 3RE are stopped, the production time can be shortened. In addition, this is preferable because the substrate 3 can be transferred immediately after the stages 3FI and 3RE are stopped. Note that this embodiment does not exclude processing for performing the substrate fixing release operation after the stages 3FI and 3RE are stopped.

次に、ステップS116に進み、制御装置105は、ステージ検出センサ95がステージ3FI、3REを検出してONを出力した場合、これをトリガーとしてステージ移動機構4I、4Eを停止する(図19参照)。次に、ステップS117に進み、制御装置105は、ステージ3FI、3REが備える基板支持搬送装置10を駆動して、第1基板CB1及び第2基板CB2を、ステージ3FI、3REから基板搬出部2へ搬送する。このとき、制御装置105は、搬送センサ94がONを出力したことをトリガーとして、基板搬出部2が備える基板支持搬送装置10を駆動する。   Next, in step S116, when the stage detection sensor 95 detects the stages 3FI and 3RE and outputs ON, the control device 105 stops the stage moving mechanisms 4I and 4E using this as a trigger (see FIG. 19). . Next, in step S117, the control device 105 drives the substrate support / conveyance device 10 included in the stages 3FI and 3RE to move the first substrate CB1 and the second substrate CB2 from the stages 3FI and 3RE to the substrate unloading unit 2. Transport. At this time, the control device 105 drives the substrate support / conveyance device 10 provided in the substrate carry-out section 2 with the fact that the conveyance sensor 94 outputs ON as a trigger.

次に、ステップS118へ進み、生産を終了するか否か、すなわち、電子部品を搭載する基板があるか否かが決定される。例えば、制御装置105は、すべてのステージ3FI、3RI、3FE、3RE及び基板供給部1に基板が存在しないことを検出した場合に、ステップS118の処理を肯定(Yes)へ分岐させて、第1の生産モードを終了させる。また、制御装置105は、電子部品を搭載中である基板を検出した場合に、ステップS118の処理を否定(No)へ分岐させて、第1の生産モードをステップS109へ進める。この場合、電子部品を搭載する基板が存在するため、生産が継続される。本例においては、図19に示す第1基板CB1及び第4基板CB4にはこれから電子部品Aを搭載するので、ステップS109からの処理が実行される。   Next, proceeding to step S118, it is determined whether or not to end production, that is, whether or not there is a board on which electronic components are mounted. For example, when the control device 105 detects that no substrate is present in all the stages 3FI, 3RI, 3FE, 3RE and the substrate supply unit 1, the control device 105 branches the process of step S118 to affirmative (Yes), End the production mode. Further, when the control device 105 detects a board on which an electronic component is mounted, the control device 105 branches the process of step S118 to negative (No), and advances the first production mode to step S109. In this case, since there is a substrate on which the electronic component is mounted, production is continued. In this example, since the electronic component A is now mounted on the first substrate CB1 and the fourth substrate CB4 shown in FIG. 19, the processing from step S109 is executed.

図19に示す例では、基板供給部1に第5基板CB5が存在している。このため、第1の生産モードがステップS109に戻った後のステップS110において、待機センサ92がONである。制御装置105は、待機センサ92がONである場合、基板供給部1には中間領域MAmに移動してきたステージ3FI、3REに対して搬送すべき基板が存在している。制御装置105は、待機センサ92がONであることを検出したら、ステップS110の処理を否定(No)へ分岐させる。この分岐処理によって、第1の生産モードはステップS102に戻る。ステップS102、ステップS103において、基板供給部1からは、ステージ3FIには第6基板CB6が、ステージ3REには第5基板CB5が搬送される(図20参照)。以後の処理は上述した通りである。   In the example illustrated in FIG. 19, the fifth substrate CB <b> 5 exists in the substrate supply unit 1. For this reason, the standby sensor 92 is ON in step S110 after the first production mode returns to step S109. When the standby sensor 92 is ON, the controller 105 has a substrate to be transported to the stages 3FI and 3RE moved to the intermediate area MAm in the substrate supply unit 1. When detecting that the standby sensor 92 is ON, the control device 105 branches the process of step S110 to negative (No). By this branching process, the first production mode returns to step S102. In steps S102 and S103, the substrate supply unit 1 transfers the sixth substrate CB6 to the stage 3FI and the fifth substrate CB5 to the stage 3RE (see FIG. 20). Subsequent processing is as described above.

第1の生産モードがステップS109に戻った後のステップS110において、基板供給部1に基板が存在しない、すなわち、待機センサ92がOFFである場合、制御装置105は、ステップS110の処理を肯定(Yes)へ分岐させる。そして、この時点でステージ3FI、3RI、3FE、3FRに存在するすべての基板に対する電子部品の搭載が終了するまで、ステップS109〜ステップS118が繰り返される。   In step S110 after the first production mode returns to step S109, when there is no substrate in the substrate supply unit 1, that is, when the standby sensor 92 is OFF, the control device 105 affirms the process of step S110 ( Branch to Yes). At this point, steps S109 to S118 are repeated until the mounting of the electronic components on all the boards existing in stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3FR is completed.

上述したように、本実施形態の電子部品実装装置100は、Y方向に配列された少なくとも2つのステージ3FI、3RI等がY方向に移動して、基板供給部1から基板を受け取り、基板搬出部2に基板を搬送する。このため、基板供給部1及び基板搬出部2は、基板の受け渡しにあたってY方向に配列されたステージ3FI、3RI等まで移動する必要はない。その結果、基板供給部1からステージ3FI、3RI等に基板を受け渡す場合又はステージ3FI、3RI等から基板搬出部2へ基板を受け渡す場合のいずれにおいても、基板供給部1及び基板搬出部2が停止することはないので、これらの停止に起因して発生する、基板を搬送する時間の増加を抑制できる。特に、第1の生産モードのように、X方向に配列された複数のステージ3FI、3FR等をそれぞれ用いる場合には、基板を搬送する時間の増加を抑制できる効果は非常に大きくなる。   As described above, in the electronic component mounting apparatus 100 according to the present embodiment, at least two stages 3FI, 3RI, and the like arranged in the Y direction move in the Y direction, receive a substrate from the substrate supply unit 1, and receive a substrate. 2. Transfer the substrate to 2. For this reason, the substrate supply unit 1 and the substrate carry-out unit 2 do not need to move to the stages 3FI, 3RI, etc. arranged in the Y direction when transferring the substrate. As a result, the substrate supply unit 1 and the substrate carry-out unit 2 are either transferred from the substrate supply unit 1 to the stages 3FI, 3RI or the like or from the stage 3FI, 3RI or the like to the substrate carry-out unit 2. Therefore, it is possible to suppress an increase in the time for transporting the substrate, which occurs due to these stops. In particular, when using a plurality of stages 3FI, 3FR, and the like arranged in the X direction as in the first production mode, the effect of suppressing an increase in the time for transporting the substrate becomes very large.

また、第1の生産モードでは、このようにすると、隣接するステージ段を反対方向に移動させることで、生産領域を部品供給部に近づけることができる。具体的には、図18に示すように、前面側領域MAfと背面側領域MArとにそれぞれステージ3FIとステージ3REとが配置される。前面側領域MAfは部品供給部103Fに隣接し、背面側領域MArは部品供給部103Rに隣接している。このため、図1に示すヘッド6Fは前面側領域MAfに配置されたステージ3FIの基板に対して電子部品を搭載し、ヘッド6Rは背面側領域MArに配置されたステージ3REの基板に対して電子部品を搭載することができる。また、ヘッド6F、6Rは、より近い位置の部品供給部103F、103Rから基板に搭載する電子部品の供給を受けることができるので、電子部品を基板に搭載する時間を短縮することができる。   In the first production mode, in this way, the production area can be brought closer to the component supply unit by moving the adjacent stage stages in the opposite direction. Specifically, as shown in FIG. 18, a stage 3FI and a stage 3RE are arranged in the front side area MAf and the back side area MAr, respectively. The front side region MAf is adjacent to the component supply unit 103F, and the back side region MAr is adjacent to the component supply unit 103R. For this reason, the head 6F shown in FIG. 1 mounts electronic components on the substrate of the stage 3FI arranged in the front side region MAf, and the head 6R has an electron on the substrate of the stage 3RE arranged in the back side region MAr. Parts can be mounted. Further, since the heads 6F and 6R can receive the supply of the electronic components to be mounted on the substrate from the component supply units 103F and 103R at a closer position, the time for mounting the electronic components on the substrate can be shortened.

図21〜図23は、第1の生産モードの変形例を示す説明図である。本変形例は、図18に示す状態、すなわち、第1基板CB1及び第2基板CB2に電子部品Aが搭載された後、図21に示すように、これらを基板搬出部2へ搬送しないで、第3基板CB3及び第4基板CB4に電子部品を搭載する。そして、第3基板CB3及び第4基板CB4に電子部品が搭載されたら、これらを基板搬出部2へ搬送する。同時に、基板供給部1から、第5基板CB5、第6基板をステージ3FE、3RIに搬送する。次に、図21に示すように、制御装置105は、ステージ移動機構4I、4Eを駆動して、第5基板CB5、第6基板CB6が搬送されたステージ3FE、3RIを互いに逆方向に移動させる。図21に示す例では、ステージ移動機構4I、4Eは、第1ステージ段3I(ステージ3FI、3RI)を背面側領域MArに向かって移動させ、第2ステージ段3E(ステージ3FE、3RE)を前面側領域MAfに向かって移動させる。この移動が終了したら、ステージ3FEが支持する第5基板CB5及びステージ3RIが支持する第6基板CB6は、電子部品の搭載が開始される。   FIG. 21 to FIG. 23 are explanatory diagrams showing modifications of the first production mode. In this modified example, as shown in FIG. 21, after the electronic component A is mounted on the first substrate CB1 and the second substrate CB2, do not convey them to the substrate carry-out unit 2, as shown in FIG. Electronic components are mounted on the third substrate CB3 and the fourth substrate CB4. Then, when the electronic components are mounted on the third substrate CB3 and the fourth substrate CB4, these are transferred to the substrate carry-out unit 2. At the same time, the fifth substrate CB5 and the sixth substrate are transferred from the substrate supply unit 1 to the stages 3FE and 3RI. Next, as shown in FIG. 21, the control device 105 drives the stage moving mechanisms 4I and 4E to move the stages 3FE and 3RI on which the fifth substrate CB5 and the sixth substrate CB6 are transferred in opposite directions. . In the example shown in FIG. 21, the stage moving mechanisms 4I and 4E move the first stage stage 3I (stages 3FI and 3RI) toward the rear side area MAr and move the second stage stage 3E (stages 3FE and 3RE) to the front surface. Move toward the side area MAf. When this movement is completed, mounting of electronic components is started on the fifth substrate CB5 supported by the stage 3FE and the sixth substrate CB6 supported by the stage 3RI.

上述した処理により、ステージ3FI、3REは、中間領域MAmに移動する。この状態で、図22に示すように、電子部品の搭載が終了した第1基板CB1及び第2基板CB2は、ステージ3RE、3FIから基板搬出部2へ搬送される。同時に、図23に示すように、基板供給部1からは、第7基板CB7、第8基板CB8が、それぞれステージ3RE、3FIに搬送される。以後、上述した手順を繰り返して、基板に電子部品が搭載される。   Through the processing described above, the stages 3FI and 3RE move to the intermediate area MAm. In this state, as shown in FIG. 22, the first substrate CB1 and the second substrate CB2 on which the electronic components have been mounted are transferred from the stages 3RE and 3FI to the substrate carry-out section 2. At the same time, as shown in FIG. 23, the seventh substrate CB7 and the eighth substrate CB8 are transferred from the substrate supply unit 1 to the stages 3RE and 3FI, respectively. Thereafter, the above-described procedure is repeated to mount the electronic component on the substrate.

この変形例は、すべてのステージ3FI、3RI、3FE、3REに基板を支持させた後、すべての基板への電子部品の搭載が終了してから、すべての基板を基板搬出部2へ搬送する。このような処理によっても、基板供給部1からステージ3FI、3RI等に基板を受け渡す場合又はステージ3FI、3RI等から基板搬出部2へ基板を受け渡す場合のいずれにおいても、基板供給部1及び基板搬出部2が停止することはない。その結果、これらの停止に起因して発生する基板を搬送する時間の増加を抑制できる。   In this modification, after all the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3RE support the substrate, the mounting of the electronic components on all the substrates is completed, and then all the substrates are transferred to the substrate carry-out unit 2. Even in such a process, the substrate supply unit 1 and the substrate supply unit 1 and the stage 3FI, 3RI, etc., and the substrate supply unit 1 and the stage 3FI, 3RI, etc. The substrate carry-out unit 2 does not stop. As a result, it is possible to suppress an increase in time for transporting the substrate generated due to these stops.

図24は、基板供給部と基板搬出部とが移動し、基板に電子部品を搭載する際に前記基板を保持するステージを固定した電子部品実装装置を示す模式図である。この電子部品実装装置200は、上述した特許文献1に記載された電子部品実装装置において、本実施形態の電子部品実装装置100のステージ3に相当する位置決め部を4個にしたものである。電子部品実装装置200は、4個の固定ステージ203FI、203RI、203FE、203REを有するとともに、基板供給部201と基板搬出部202とがY方向の第1位置Mfと第2位置Mrへ移動するものである。   FIG. 24 is a schematic diagram showing an electronic component mounting apparatus in which a stage for holding the substrate is fixed when the substrate supply unit and the substrate carry-out unit move and the electronic component is mounted on the substrate. This electronic component mounting apparatus 200 is the electronic component mounting apparatus described in Patent Document 1 described above, and includes four positioning portions corresponding to the stage 3 of the electronic component mounting apparatus 100 of the present embodiment. The electronic component mounting apparatus 200 includes four fixed stages 203FI, 203RI, 203FE, and 203RE, and the substrate supply unit 201 and the substrate carry-out unit 202 move to the first position Mf and the second position Mr in the Y direction. It is.

4枚の基板CBに電子部品を実装する場合、本実施形態の電子部品実装装置100が要する基板の搬送及びステージの移動に要する工程は、
(1)第1基板CB1と第2基板CB2とをステージ3RE、3FIに搬送する工程
(2)第1ステージ段3Iと第2ステージ段3Eとを互いに逆方向に移動させる工程
(3)第3基板CB3と第4基板CB4とをステージ3FE、3RIに搬送する工程
(4)第1ステージ段3Iと第2ステージ段3Eとを互いに逆方向に移動させる工程
(5)電子部品を搭載した第1基板CB1と第2基板CB2とを基板搬出部2へ搬送する工程
(6)第3基板CB3と第4基板CB4とに電子部品を搭載した後、第1ステージ段3Iと第2ステージ段3Eとを互いに逆方向に移動させる工程
(7)第3基板CB3と第4基板CB4とを基板搬出部2へ搬送する工程
の計7工程が必要になる。
When electronic components are mounted on four substrates CB, the steps required for substrate transport and stage movement required by the electronic component mounting apparatus 100 of the present embodiment are as follows:
(1) Step of transporting the first substrate CB1 and the second substrate CB2 to the stages 3RE and 3FI (2) Step of moving the first stage 3I and the second stage 3E in opposite directions to each other (3) Third (4) Step of transporting the substrate CB3 and the fourth substrate CB4 to the stages 3FE and 3RI (4) Step of moving the first stage 3I and the second stage 3E in opposite directions (5) First mounting electronic components Step (6) of transporting the substrate CB1 and the second substrate CB2 to the substrate unloading section 2 After mounting electronic components on the third substrate CB3 and the fourth substrate CB4, the first stage stage 3I and the second stage stage 3E (7) A total of seven steps of transferring the third substrate CB3 and the fourth substrate CB4 to the substrate carry-out unit 2 are required.

これに対して電子部品実装装置200は、4枚の基板CBに電子部品を実装する場合、
(1)基板供給部201から2枚の基板CBがステージ203FE、203FIに搬送されるとともに、基板供給部201が一枚の基板CBを受け取る工程
(2)基板供給部201が第1位置Mfから第2位置Mrへ移動する工程
(3)基板供給部201から一枚の基板CBがステージ203REへ搬送される工程
(4)基板供給部201が第2位置Mrから第1位置Mfへ移動する工程
(5)基板供給部201が一枚の基板CBを受け取る工程
(6)基板供給部201が第1位置Mfから第2位置Mrへ移動する工程
(7)基板供給部201から一枚の基板CBがステージ203RIへ搬送される工程
(8)2枚の基板CBがステージ203FE、203FIから基板搬出部202へ搬送される工程
(9)基板搬出部202が第1位置Mfから第2位置Mrへ移動する工程
(10)一枚の基板CBがステージ203REから基板搬出部202へ搬送される工程
(11)基板搬出部202が第2位置Mrから第1位置Mfへ移動する工程
(12)基板搬出部202が一枚の基板CBを搬出する工程
(13)基板搬出部202が第1位置Mfから第2位置Mrへ移動する工程
(14)一枚の基板CBがステージ203RIから基板搬出部202へ搬送される工程
(15)基板搬出部202が第2位置Mrから第1位置Mfへ移動する工程
の計15工程が必要になる。
On the other hand, when the electronic component mounting apparatus 200 mounts electronic components on four substrates CB,
(1) The process of transporting two substrates CB from the substrate supply unit 201 to the stages 203FE and 203FI, and the substrate supply unit 201 receiving one substrate CB. (2) The substrate supply unit 201 from the first position Mf. Step of moving to second position Mr (3) Step of transferring one substrate CB from substrate supply unit 201 to stage 203RE (4) Step of moving substrate supply unit 201 from second position Mr to first position Mf (5) Step of receiving substrate CB by substrate supply unit 201 (6) Step of moving substrate supply unit 201 from first position Mf to second position Mr (7) Single substrate CB from substrate supply unit 201 (8) Step of transporting two substrates CB from the stages 203FE and 203FI to the substrate unloading unit 202 (9) Substrate unloading unit 202 at the first position Mf (10) Step of transferring one substrate CB from the stage 203RE to the substrate unloading section 202 (11) The substrate unloading section 202 moves from the second position Mr to the first position Mf. Step (12) Step in which the substrate unloading section 202 unloads one substrate CB (13) Step in which the substrate unloading portion 202 moves from the first position Mf to the second position Mr (14) One substrate CB moves to the stage 203RI Step (15) to be transferred from the second position Mr to the first position Mf is required.

電子部品実装装置200(すなわち特許文献1の電子部品実装装置)は、基板供給部201及び基板搬出部202が基板CBの搬送において一度停止する。このため、電子部品実装装置200は、同じ数の基板CBに電子部品を搭載する場合には、本実施形態に係る電子部品実装装置100と比較して、倍以上の工程が必要になる。このように、電子部品実装装置100は、特許文献1に記載された電子部品実装装置と比較して、大幅に生産性を向上させることができる。次に、第2の生産モードを説明する。   In the electronic component mounting apparatus 200 (that is, the electronic component mounting apparatus disclosed in Patent Document 1), the substrate supply unit 201 and the substrate carry-out unit 202 stop once in the conveyance of the substrate CB. For this reason, when mounting electronic components on the same number of substrates CB, the electronic component mounting apparatus 200 requires more than twice as many steps as the electronic component mounting apparatus 100 according to the present embodiment. As described above, the electronic component mounting apparatus 100 can significantly improve the productivity as compared with the electronic component mounting apparatus described in Patent Document 1. Next, the second production mode will be described.

(第2の生産モード)
図25は、本実施形態に係る電子部品実装装置が基板に電子部品を搭載する際における第2の生産モードの手順を示すフローチャートである。図26〜図30は、それぞれ第2の生産モードの説明図である。第2の生産モードは、図1に示す電子部品実装装置100のステージ移動機構4I、4Eが、隣接する少なくとも2つのステージの段(図26に示す例では、第1ステージ段3Iと第2ステージ段3E)を同じ方向に連動して移動させて、基板に電子部品を搭載するものである。図26に示すように、第1ステージ段3Iは、Y軸方向に隣接するステージ3FI、3RIであり、第2ステージ段3Eは、Y軸方向に隣接するステージ3FE、3REである。第2の生産モードは、1つのステージ3FI等では支持できない程度の大きさの基板を、隣接する2つのステージ3FI、3FE又は隣接する2つのステージ3RI、3REで支持して、電子部品を搭載するものである。
(Second production mode)
FIG. 25 is a flowchart showing the procedure of the second production mode when the electronic component mounting apparatus according to this embodiment mounts the electronic component on the board. 26 to 30 are explanatory diagrams of the second production mode, respectively. In the second production mode, the stage moving mechanisms 4I and 4E of the electronic component mounting apparatus 100 shown in FIG. 1 are arranged so that at least two adjacent stages (in the example shown in FIG. 26, the first stage 3I and the second stage). The stage 3E) is moved in conjunction with the same direction to mount the electronic component on the board. As shown in FIG. 26, the first stage stage 3I is the stages 3FI and 3RI adjacent in the Y-axis direction, and the second stage stage 3E is the stages 3FE and 3RE adjacent in the Y-axis direction. In the second production mode, a substrate having a size that cannot be supported by one stage 3FI or the like is supported by two adjacent stages 3FI or 3FE or two adjacent stages 3RI or 3RE, and an electronic component is mounted. Is.

電子部品実装装置100が第2の生産モードにより基板に電子部品を搭載する場合、作業者は、図1に示す入力装置105Cの第2の生産モードによる生産を開始させるためのスタートボタンを押す。入力装置105Cから、第2の生産モードによる生産開始の信号を受信した制御装置105は、図3に示すステージ移動機構4I、4Eを駆動して、ステージ3FI、3RI、3FE、3REを第2の生産モードにおける初期位置へ移動させる(ステップS201)。この移動において、ステージ移動機構4I、4Eは、第1ステージ段3I及び第2ステージ段3Eの両方を背面側領域MArに向かって移動させる。すなわち、第1ステージ段3Iと第2ステージ段3Eとは、互いに同じ方向に移動する。また、図26に示すように、ステージ3FIとステージ3FEとが中間領域MAmに、ステージ3RIとステージ3REとが背面側領域MArに存在する状態が、ステップS201における初期位置の状態である。   When the electronic component mounting apparatus 100 mounts an electronic component on the board in the second production mode, the operator presses a start button for starting production in the second production mode of the input device 105C shown in FIG. The control device 105, which has received the signal for starting production in the second production mode from the input device 105C, drives the stage moving mechanisms 4I, 4E shown in FIG. 3 to set the stages 3FI, 3RI, 3FE, 3RE to the second Move to the initial position in the production mode (step S201). In this movement, the stage moving mechanisms 4I and 4E move both the first stage stage 3I and the second stage stage 3E toward the back side region MAr. That is, the first stage stage 3I and the second stage stage 3E move in the same direction. Further, as shown in FIG. 26, the state where the stage 3FI and the stage 3FE are present in the intermediate area MAm and the stage 3RI and the stage 3RE are present in the back area MAr is the initial position in step S201.

次に、ステップS202へ進み、制御装置105は、基板供給部1から1枚の基板(第1基板CB1)を、中間領域MAmに存在するステージ3FIとステージ3FEとに搬送する。この場合、制御装置105は、基板供給部1の搬入センサ90がONであることをトリガーとして基板供給部1の基板支持搬送装置10を駆動する。そして、制御装置105は、待機センサ92がONであることをトリガーとしてそれぞれのステージ3FI、3FEが有する基板支持搬送装置10を駆動する。制御装置105は、基板搬出部2に近い方のステージ3FEの停止センサ93がONであることをトリガーとして、それぞれのステージ3FI、3REが有する基板支持搬送装置10を停止する(ステップS203)。このような処理によって、図27に示すように、ステージ3FIとステージ3FEとで、1つのステージでは支持できない大きさの第1基板CB1を搭載して支持する。なお、基板供給部1には、第2基板CB2が搬送されている。   Next, the process proceeds to step S202, and the control device 105 conveys one substrate (first substrate CB1) from the substrate supply unit 1 to the stage 3FI and the stage 3FE existing in the intermediate area MAm. In this case, the control device 105 drives the substrate support / conveyance device 10 of the substrate supply unit 1 with a trigger that the carry-in sensor 90 of the substrate supply unit 1 is ON. And the control apparatus 105 drives the board | substrate support conveyance apparatus 10 which each stage 3FI and 3FE have as a trigger that the standby sensor 92 is ON. The control device 105 stops the substrate support / conveyance device 10 included in each of the stages 3FI and 3RE using the stop sensor 93 of the stage 3FE closer to the substrate carry-out unit 2 as a trigger (step S203). By such processing, as shown in FIG. 27, the stage 3FI and the stage 3FE mount and support the first substrate CB1 having a size that cannot be supported by one stage. Note that the second substrate CB <b> 2 is transported to the substrate supply unit 1.

次に、ステップS204に進み、いずれかのステージに電子部品を搭載中、すなわち実装中の基板が存在するか否かが判定される。制御装置105は、いずれのステージでも、ヘッド6F、6Rが電子部品を基板に搭載していないことを検出した場合に、ステップS204の処理を肯定(Yes)へ分岐させて、第2の生産モードをステップS205へ進める。   Next, proceeding to step S204, it is determined whether or not an electronic component is mounted on any stage, that is, whether there is a substrate being mounted. In any stage, when the control device 105 detects that the heads 6F and 6R do not mount the electronic component on the substrate, the control device 105 branches the process of step S204 to affirmative (Yes). Advances to step S205.

ステップS205において、制御装置105は、ステージ移動機構4I、4Eを駆動して、第1ステージ段3I(ステージ3FI、3RI)と、第2ステージ段3E(ステージ3FE、3RE)とを、互いに同じ方向に移動させる。この例では、図27に示すように、ステージ移動機構4I、4Eは、第1ステージ段3I及び第2ステージ段3Eを前面側領域MAfに向かって移動させる(図27の矢印Fで示す方向)。ステージ3FI、3FE等が移動を開始すると、ステージ検出センサ95はステージ3FI、3REを検出しなくなるので、OFFを出力する(ステップS206)。   In step S205, the control device 105 drives the stage moving mechanisms 4I and 4E to move the first stage stage 3I (stages 3FI and 3RI) and the second stage stage 3E (stages 3FE and 3RE) in the same direction. Move to. In this example, as shown in FIG. 27, the stage moving mechanisms 4I and 4E move the first stage stage 3I and the second stage stage 3E toward the front side area MAf (direction indicated by the arrow F in FIG. 27). . When the stages 3FI, 3FE, etc. start moving, the stage detection sensor 95 does not detect the stages 3FI, 3RE, and outputs OFF (step S206).

次に、ステップS207に進み、制御装置105は、ステージ検出センサ95のOFFをトリガーとして、基板固定動作を実行する。具体的には、制御装置105は、第1基板CB1を支持しているステージ3FI、3FEの基板固定装置20を駆動して、第1基板CB1をステージ3FI、3FEに固定する。ステップS207における基板固定動作は、ステージ3FI、3FEに対して実行されるので、ステージ3FI、3FEが停止した直後から、あるいは停止してから短い時間で電子部品の基板への搭載を開始できる。その結果、基板の搬送から電子部品の搭載が終了するまでの時間を短縮できる。このように、ステージ3FI、3FEの移動中に基板固定動作を実行する場合、ステージ3FI、3FEが停止する前に、基板固定動作が終了するようにすると、ステージ3FI、3FEの停止直後から電子部品の搭載に移行できるので好ましい。なお、本実施形態は、ステージ3FI、3FEが停止してから基板固定動作を実行する処理を除外するものではない。   Next, proceeding to step S207, the control device 105 executes the substrate fixing operation with the stage detection sensor 95 being turned off as a trigger. Specifically, the control device 105 drives the substrate fixing device 20 of the stages 3FI and 3FE supporting the first substrate CB1, and fixes the first substrate CB1 to the stages 3FI and 3FE. Since the substrate fixing operation in step S207 is performed on the stages 3FI and 3FE, the mounting of the electronic component on the substrate can be started immediately after the stages 3FI and 3FE stop or in a short time after the stop. As a result, it is possible to shorten the time from the conveyance of the substrate to the end of the mounting of the electronic component. As described above, when the substrate fixing operation is performed during the movement of the stages 3FI and 3FE, if the substrate fixing operation is terminated before the stages 3FI and 3FE are stopped, the electronic components are started immediately after the stages 3FI and 3FE are stopped. It is preferable because it can shift to mounting. Note that this embodiment does not exclude processing for performing the substrate fixing operation after the stages 3FI and 3FE are stopped.

次に、ステップS208に進み、制御装置105は、ステージ検出センサ95がステージ3RI、3REを検出してONを出力した場合、これをトリガーとしてステージ移動機構4I、4Eを停止する。次に、ステップS209に進み、制御装置105は、部品搭載部102によってステージ3FI、3FEに固定された第1基板CB1に電子部品Aの搭載を開始する。   Next, in step S208, when the stage detection sensor 95 detects the stages 3RI and 3RE and outputs ON, the control device 105 stops the stage moving mechanisms 4I and 4E using this as a trigger. In step S209, the control device 105 starts mounting the electronic component A on the first substrate CB1 fixed to the stages 3FI and 3FE by the component mounting unit 102.

次に、ステップS210へ進む。待機センサ92がONである場合、基板供給部1には中間領域MAmに移動してきたステージ3RI、3REに対して搬送すべき基板が存在している。制御装置105は、待機センサ92がONであることを検出したら、ステップS210の処理を否定(No)へ分岐させる。この分岐処理によって、第2の生産モードはステップS202に戻る。ステップS202、ステップS203において、基板供給部1からは、ステージ3RI及びステージ3REに第2基板CB2が搬送される(図28参照)。この状態において、ステージ3FI、3FEでは、すでに第1基板CB1に対して電子部品の搭載が開始されている。したがって、ステップS204において、制御装置105は、ステップS204の処理を否定(No)へ分岐させて、第2の生産モードをステップS211へ進める。   Next, the process proceeds to step S210. When the standby sensor 92 is ON, the substrate supply unit 1 has a substrate to be transported to the stages 3RI and 3RE that have moved to the intermediate area MAm. When detecting that the standby sensor 92 is ON, the control device 105 branches the process of step S210 to No (No). By this branching process, the second production mode returns to step S202. In step S202 and step S203, the second substrate CB2 is transferred from the substrate supply unit 1 to the stage 3RI and the stage 3RE (see FIG. 28). In this state, in stages 3FI and 3FE, mounting of electronic components on the first substrate CB1 has already started. Therefore, in step S204, the control device 105 branches the process of step S204 to negative (No), and advances the second production mode to step S211.

ステップS211において、制御装置105は、基板固定動作を実行する。具体的には、制御装置105は、第2基板CB2を支持しているステージ3RI、3REの基板固定装置20を駆動して、第2基板CB2をステージ3RI、3REに固定する。そして、ステップS212へ進み、制御装置105は、第1基板CB1に電子部品の搭載が終了したことを検出したら、第2の生産モードをステップS213に進める。ステップS213において、制御装置105は、ステージ移動機構4I、4Eを駆動して、第1ステージ段3Iと、第2ステージ段3Eとを、互いに同じ方向に移動させる。ステップS213では、ステージ移動機構4I、4Eは、第1ステージ段3I及び第2ステージ段3E背面側領域MArに向かって移動させる(図28の矢印Rで示す方向)。これは、電子部品の搭載が終了した第1基板CB1を、生産領域から搬出させるためである。   In step S211, the control device 105 performs a substrate fixing operation. Specifically, the control device 105 drives the substrate fixing device 20 of the stages 3RI and 3RE supporting the second substrate CB2, and fixes the second substrate CB2 to the stages 3RI and 3RE. Then, the process proceeds to step S212, and when the control device 105 detects that the mounting of the electronic component on the first substrate CB1 is completed, the control apparatus 105 proceeds the second production mode to step S213. In step S213, the control device 105 drives the stage moving mechanisms 4I and 4E to move the first stage stage 3I and the second stage stage 3E in the same direction. In step S213, the stage moving mechanisms 4I and 4E move toward the first stage stage 3I and the second stage stage 3E rear side area MAr (direction indicated by the arrow R in FIG. 28). This is because the first substrate CB1 on which the electronic component has been mounted is carried out of the production area.

ステージ3FI、3RE等が移動を開始すると、ステージ検出センサ95はステージ3RI、3REを検出しなくなるので、OFFを出力する(ステップS214)。次に、ステップS215に進み、制御装置105は、ステージ検出センサ95のOFFをトリガーとして、基板固定解除動作を実行する。具体的には、制御装置105は、第1基板CB1を支持しているステージ3FI、3FEの基板固定装置20を駆動して、第1基板CB1のステージ3FI、3FEに対する固定を解除する。ステップS215における基板固定解除動作は、ステージ3FI、3FEに対して実行される。このため、ステージ3FI、3FEが停止した直後から、あるいは停止してから短い時間で、電子部品の搭載が終了した第1基板CB1の基板搬出部2への搬送を開始できる。その結果、生産領域から基板搬出部2へ基板を搬送する時間を短縮できる。このように、ステージ3FI、3FEの移動中に基板固定解除動作を実行する場合、ステージ3FI、3FEが停止する前に、基板固定解除動作が終了するようにすると、生産時間の短縮を実現できる。また、このようにすると、ステージ3FI、3FEの停止直後から電子部品の搭載に移行できるので好ましい。なお、本実施形態は、ステージ3FI、3FEが停止してから基板固定解除動作を実行する処理を除外するものではない。   When the stages 3FI, 3RE, etc. start moving, the stage detection sensor 95 does not detect the stages 3RI, 3RE, and outputs OFF (step S214). Next, proceeding to step S215, the control device 105 executes a substrate fixing releasing operation with the stage detection sensor 95 being turned off as a trigger. Specifically, the control device 105 drives the substrate fixing device 20 of the stages 3FI and 3FE supporting the first substrate CB1 to release the fixing of the first substrate CB1 to the stages 3FI and 3FE. The substrate fixing release operation in step S215 is performed on the stages 3FI and 3FE. For this reason, it is possible to start transporting the first substrate CB1 after mounting of the electronic components to the substrate carry-out unit 2 immediately after the stages 3FI and 3FE are stopped or in a short time after the stop. As a result, the time for transporting the substrate from the production area to the substrate unloading unit 2 can be shortened. As described above, when the substrate fixing release operation is executed while the stages 3FI and 3FE are moving, the production time can be shortened by stopping the substrate fixing release operation before the stages 3FI and 3FE are stopped. In addition, this is preferable because it is possible to shift to mounting electronic components immediately after the stages 3FI and 3FE are stopped. Note that this embodiment does not exclude processing for performing the substrate fixing release operation after the stages 3FI and 3FE are stopped.

次に、ステップS216に進み、制御装置105は、ステージ検出センサ95がステージ3FI、3REを検出してONを出力した場合、これをトリガーとしてステージ移動機構4I、4Eを停止する(図29参照)。次に、ステップS217に進み、制御装置105は、ステージ3FI、3FEが備える基板支持搬送装置10を駆動して、第1基板CB1及び第2基板CB2を、ステージ3FI、3REから基板搬出部2へ搬送する。このとき、制御装置105は、ステージ3FEの搬送センサ94がONを出力したことをトリガーとして、基板搬出部2が備える基板支持搬送装置10を駆動する。   Next, in step S216, when the stage detection sensor 95 detects the stages 3FI and 3RE and outputs ON, the control device 105 stops the stage moving mechanisms 4I and 4E using this as a trigger (see FIG. 29). . Next, in step S217, the control device 105 drives the substrate support / conveyance device 10 included in the stages 3FI and 3FE to move the first substrate CB1 and the second substrate CB2 from the stages 3FI and 3RE to the substrate unloading unit 2. Transport. At this time, the control device 105 drives the substrate support / conveyance device 10 included in the substrate carry-out unit 2 by using the fact that the conveyance sensor 94 of the stage 3FE outputs ON as a trigger.

次に、ステップS218へ進み、生産を終了するか否か、すなわち、電子部品を搭載する基板があるか否かが決定される。例えば、制御装置105は、すべてのステージ3FI、3RI、3FE、3RE及び基板供給部1に基板が存在しないことを検出した場合に、ステップS218の処理を肯定(Yes)へ分岐させて、第2の生産モードを終了させる。また、制御装置105は、電子部品の搭載中又はこれから電子部品を搭載する基板を検出した場合に、ステップS218の処理を否定(No)へ分岐させて、第2の生産モードをステップS209へ進める。この場合、電子部品を搭載する基板が存在するため、生産が継続される。本例においては、図29に示す第2基板CB2にはこれから電子部品Aを搭載するので、ステップS209からの処理が実行される。ステップS209において、制御装置105は、背面側領域MArで第2基板CB2に電子部品を搭載させる。   Next, proceeding to step S218, it is determined whether or not to end production, that is, whether or not there is a board on which electronic components are mounted. For example, when the control device 105 detects that no substrate exists in all the stages 3FI, 3RI, 3FE, 3RE and the substrate supply unit 1, the control device 105 branches the process of step S218 to affirmative (Yes), End the production mode. In addition, when the electronic device is being mounted or when a substrate on which the electronic component is to be mounted is detected, the control device 105 branches the process of step S218 to negative (No) and advances the second production mode to step S209. . In this case, since there is a substrate on which the electronic component is mounted, production is continued. In this example, since the electronic component A is now mounted on the second substrate CB2 shown in FIG. 29, the processing from step S209 is executed. In step S209, the control device 105 mounts an electronic component on the second substrate CB2 in the back side region MAr.

図29に示す例では、基板供給部1に第3基板CB3が存在している。このため、第2の生産モードがステップS209に戻った後のステップS210において、待機センサ92がONである。制御装置105は、待機センサ92がONである場合、基板供給部1には中間領域MAmに存在するステージ3FI、3FEに対して搬送すべき基板が存在している。制御装置105は、待機センサ92がONであることを検出したら、ステップS210の処理を否定(No)へ分岐させる。この分岐処理によって、第2の生産モードはステップS202に戻る。ステップS202、ステップS203において、基板供給部1からは、ステージ3FI、3FEに第3基板CB3が搬送される(図30参照)。以後の処理は上述した通りである。   In the example shown in FIG. 29, the third substrate CB3 exists in the substrate supply unit 1. For this reason, in step S210 after the second production mode returns to step S209, the standby sensor 92 is ON. When the standby sensor 92 is ON, the controller 105 has a substrate to be transported to the stages 3FI and 3FE existing in the intermediate area MAm in the substrate supply unit 1. When detecting that the standby sensor 92 is ON, the control device 105 branches the process of step S210 to No (No). By this branching process, the second production mode returns to step S202. In step S202 and step S203, the third substrate CB3 is transferred from the substrate supply unit 1 to the stages 3FI and 3FE (see FIG. 30). Subsequent processing is as described above.

第2の生産モードがステップS209に戻った後のステップS210において、基板供給部1に基板が存在しない、すなわち、待機センサ92がOFFである場合、制御装置105は、ステップS210の処理を肯定(Yes)へ分岐させる。そして、この時点でステージ3FI、3RI、3FE、3FRに存在するすべての基板に対する電子部品の搭載が終了するまで、ステップS209〜ステップS218が繰り返される。   In step S210 after the second production mode returns to step S209, when there is no substrate in the substrate supply unit 1, that is, when the standby sensor 92 is OFF, the control device 105 affirms the process of step S210 ( Branch to Yes). At this time, Steps S209 to S218 are repeated until the mounting of the electronic components on all the boards existing in the stages 3FI, 3RI, 3FE, and 3FR is completed.

第2の生産モードは、基板が搬送される方向、すなわちX方向に向かって複数のステージ段を配列するともに、隣接するステージ段同士を同じ方向に連動して移動させる。このような処理によって、1つのステージに搭載できない寸法の基板であっても、電子部品実装装置100を用いて電子部品を搭載できる。   In the second production mode, a plurality of stage stages are arranged in the direction in which the substrate is transported, that is, in the X direction, and adjacent stage stages are moved in conjunction with each other in the same direction. With such a process, an electronic component can be mounted using the electronic component mounting apparatus 100 even if the substrate has a size that cannot be mounted on one stage.

図31〜図33は、それぞれ第2の生産モードの変形例を示す説明図である。本変形例は、図28に示す状態において、第1基板CB1及び第2基板CB2の両方に電子部品を搭載する。そして、第1基板CB1及び第2基板CB2の両方に電子部品を搭載したら、図31に示すように、ステージ3RI、3REから第2基板CB2を基板搬出部2に搬送するとともに、基板供給部1からステージ3RI、3REに第3基板CB3を搬送する。次に、図32に示すように、ステージ3FI、3FEが移動する(図32の矢印R方向)。そして、ステージ3FI、3FEから第1基板CB1を基板搬出部2に搬送するとともに、基板供給部1からステージ3FI、3FEに第4基板CB4を搬送する。そして、図33に示す状態で、第3基板CB3及び第4基板CB4の両方に電子部品を搭載する。次に部品を搭載する基板がある場合、現在第4基板CB4を支持しているステージ3FI、3FEから電子部品が搭載された第4基板CB4を基板搬出部2へ搬送するとともに、次の基板を基板供給部1からステージ3FI、3FEへ搬送する。   FIG. 31 to FIG. 33 are explanatory diagrams showing modifications of the second production mode, respectively. In this modification, electronic components are mounted on both the first substrate CB1 and the second substrate CB2 in the state shown in FIG. When electronic components are mounted on both the first substrate CB1 and the second substrate CB2, as shown in FIG. 31, the second substrate CB2 is transferred from the stages 3RI and 3RE to the substrate carry-out unit 2 and the substrate supply unit 1 Then, the third substrate CB3 is transferred to the stages 3RI and 3RE. Next, as shown in FIG. 32, the stages 3FI and 3FE move (in the direction of arrow R in FIG. 32). Then, the first substrate CB1 is transferred from the stages 3FI and 3FE to the substrate carry-out unit 2, and the fourth substrate CB4 is transferred from the substrate supply unit 1 to the stages 3FI and 3FE. Then, electronic components are mounted on both the third substrate CB3 and the fourth substrate CB4 in the state shown in FIG. Next, when there is a substrate on which the component is mounted, the fourth substrate CB4 on which the electronic component is mounted is transferred from the stages 3FI and 3FE currently supporting the fourth substrate CB4 to the substrate unloading unit 2, and the next substrate is mounted. The substrate is fed from the substrate supply unit 1 to the stages 3FI and 3FE.

このような処理によっても、基板供給部1からステージ3FI、3FE等に基板を受け渡す場合又はステージ3FI、3FE等から基板搬出部2へ基板を受け渡す場合のいずれにおいても、基板供給部1及び基板搬出部2が停止することはない。その結果、これらの停止に起因して発生する、基板を搬送する時間の増加を抑制できる。   Even when such a process is performed, the substrate supply unit 1 and the substrate supply unit 1 and the stage 3FI, 3FE, and the like are either transferred to the substrate unloading unit 2 or the stage 3FI, 3FE, or the like. The substrate carry-out unit 2 does not stop. As a result, it is possible to suppress an increase in time for transporting the substrate, which occurs due to these stops.

以上、本実施形態では、ステージがY方向に配列され、かつY方向に移動することにより、基板供給部及び基板搬出部は移動する必要がない。このため、これらがステージの位置に移動した後、基板を受け渡しする前の停止を回避できるので、前記停止に起因して発生する、基板を搬送する際における時間の増加を抑制できる。また、本実施形態では、ステージの移動中に、基板をステージに固定したり、ステージに対する基板の固定を解除したりする。このような処理によって、基板を搬送する際における時間の増加をさらに抑制できる。また、本実施形態では、隣接したステージ段同士を互いに反対方向に移動させることにより、ヘッドの移動距離を最小限にして基板に電子部品を搭載する時間を短縮できる。また、本実施形態では、隣接したステージ段同士を互いに同じ方向に連動して移動させることにより、1つのステージには搭載できなかった寸法の基板であっても搭載することができる。その結果、基板に電子部品を搭載する際の自由度が向上するので、様々な生産計画に対しても柔軟に対応できる。   As described above, in the present embodiment, it is not necessary to move the substrate supply unit and the substrate carry-out unit by arranging the stages in the Y direction and moving in the Y direction. For this reason, since the stop before delivering a board | substrate after moving these to the position of a stage can be avoided, the increase in the time at the time of conveying a board | substrate which arises due to the said stop can be suppressed. In the present embodiment, the substrate is fixed to the stage or the substrate is released from the stage while the stage is moving. Such processing can further suppress an increase in time when the substrate is transported. Further, in the present embodiment, by moving the adjacent stage stages in the opposite directions, the time for mounting the electronic component on the substrate can be shortened by minimizing the moving distance of the head. In this embodiment, adjacent stage stages are moved in conjunction with each other in the same direction, so that even a substrate having a size that could not be mounted on one stage can be mounted. As a result, the degree of freedom in mounting electronic components on the board is improved, so that various production plans can be flexibly handled.

以上のように、本発明に係る電子部品実装装置は、電子部品を基板に搭載する際において、基板を搬送する時間の増加を抑制することに有用である。   As described above, the electronic component mounting apparatus according to the present invention is useful for suppressing an increase in time for transporting a substrate when the electronic component is mounted on the substrate.

1、201 基板供給部
2、202 基板搬出部
3、3FI、3RI、3FE、3RE ステージ
3I 第1ステージ段
3E 第2ステージ段
4E、4I ステージ移動機構
5 ヘッド移動装置
6F、6R ヘッド
8 部品供給装置
10 基板支持搬送装置
11 搬送ベルト
12 基板支持部材
12S 搬送ベルト支持部
13 搬送用電動機
20 基板固定装置
23 基板固定用電動機
30 枠部材
31 滑り軸受
32 ナット
34 基板押さえ部材
40 電動機
43E、43I ガイドレール
50F、50R X方向移動装置
54E、54I Y方向移動装置
64 基板認識カメラ
65 レーザアラインセンサ
83 部品認識カメラ
100、200 電子部品実装装置
101 基板搬送部
102 部品搭載部
103、103F、103R 部品供給部
104 制御部
105 制御装置
106 演算部
107 記憶部
108 基板認識カメラ制御部
109 部品認識カメラ制御部
110 情報検出部
111 ヘッド位置制御部
112 レーザ制御部
113 ヘッド制御部
114 基板搬送制御部
115 XY制御部
116 基板固定用モータドライバ
117 基板搬送用モータドライバ
118 ステージ移動用モータドライバ
119 サーボアンプ
1, 201 Substrate supply unit 2, 202 Substrate unloading unit 3, 3FI, 3RI, 3FE, 3RE stage 3I First stage stage 3E Second stage stage 4E, 4I Stage moving mechanism 5 Head moving device 6F, 6R Head 8 Component supply device DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Substrate support conveyance apparatus 11 Conveyance belt 12 Substrate support member 12S Conveyance belt support part 13 Conveyance motor 20 Substrate fixing apparatus 23 Substrate fixation motor 30 Frame member 31 Sliding bearing 32 Nut 34 Substrate pressing member 40 Electric motor 43E, 43I Guide rail 50F , 50R X direction moving device 54E, 54I Y direction moving device 64 Substrate recognition camera 65 Laser alignment sensor 83 Component recognition camera 100, 200 Electronic component mounting device 101 Substrate transport unit 102 Component mounting unit 103, 103F, 103R Component supply unit 104 Control DESCRIPTION OF SYMBOLS 105 Control apparatus 106 Operation part 107 Storage part 108 Board | substrate recognition camera control part 109 Component recognition camera control part 110 Information detection part 111 Head position control part 112 Laser control part 113 Head control part 114 Substrate conveyance control part 115 XY control part 116 Substrate fixation Motor driver 117 Motor driver for board transfer 118 Motor driver for stage movement 119 Servo amplifier

Claims (6)

基板に電子部品を実装する電子部品実装装置において、
前記基板を支持する支持部及び前記支持部への前記基板の搬入と前記支持部からの前記基板の搬出とを行う基板搬送機構を含み、前記基板搬送機構が前記基板を搬送する方向と直交する方向に配列された少なくとも2つのステージと、
前記少なくとも2つのステージを、前記基板搬送機構が前記基板を搬送する方向と直交する方向に移動させるステージ移動機構と、
前記ステージが支持する前記基板に前記電子部品を搭載するヘッドと、
を含み、
前記少なくとも2つのステージ及びこれらを移動させる前記ステージ移動機構を含むステージ段を、前記基板が搬送される方向に向かって少なくとも2段有することを特徴とする電子部品実装装置。
In an electronic component mounting apparatus for mounting electronic components on a board,
A support unit that supports the substrate; and a substrate transport mechanism that carries the substrate into and out of the support unit, and the substrate transport mechanism is orthogonal to a direction in which the substrate is transported. At least two stages arranged in a direction;
A stage moving mechanism that moves the at least two stages in a direction orthogonal to a direction in which the substrate transport mechanism transports the substrate;
A head for mounting the electronic component on the substrate supported by the stage;
Including
An electronic component mounting apparatus comprising: at least two stages including at least two stages and a stage moving mechanism for moving the at least two stages in a direction in which the substrate is conveyed.
前記ヘッドは少なくとも2つである請求項1に記載の電子部品実装装置。   The electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the number of the heads is at least two. 前記ステージは、前記支持部に前記基板を固定又は前記固定の解除を行う基板固定・解除機構を有し、
前記基板固定・解除機構は、前記ステージが移動している最中に、前記基板の固定又は前記固定の解除を行う請求項1又は2に記載の電子部品実装装置。
The stage includes a substrate fixing / releasing mechanism that fixes the substrate to the support portion or releases the fixation.
The electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the substrate fixing / releasing mechanism fixes the substrate or releases the fixing while the stage is moving.
前記ステージ移動機構は、前記少なくとも2つのステージを連動して移動させる請求項1から3のいずれか1項に記載の電子部品実装装置。   The electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the stage moving mechanism moves the at least two stages in conjunction with each other. 前記基板が搬送される方向と直交する方向における、前記少なくとも2つのステージの両側には、前記基板に前記電子部品を搭載するヘッドに前記電子部品を供給する部品供給部がそれぞれ配置される請求項1から4のいずれか1項に記載の電子部品実装装置。   The component supply part which supplies the said electronic component to the head which mounts the said electronic component on the said board | substrate is each arrange | positioned on both sides of the said at least 2 stage in the direction orthogonal to the direction in which the said board | substrate is conveyed. 5. The electronic component mounting apparatus according to any one of 1 to 4. それぞれの前記ステージ移動機構は、
隣接する前記ステージ段同士を互いに反対方向に移動させる第1の生産モードと、隣接する前記ステージ段同士を同じ方向に連動して移動させる第2の生産モードとを有する請求項1から5のいずれか1項に記載の電子部品実装装置。
Each of the stage moving mechanisms is
6. The method according to claim 1, further comprising: a first production mode in which the adjacent stage stages are moved in directions opposite to each other; and a second production mode in which the adjacent stage stages are moved in conjunction with each other in the same direction. The electronic component mounting apparatus of Claim 1.
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