KR101320553B1

KR101320553B1 - 가스 배관용 댐퍼 유닛

Info

Publication number: KR101320553B1
Application number: KR1020130006781A
Authority: KR
Inventors: 조창영
Original assignee: (주)다리온
Priority date: 2013-01-22
Filing date: 2013-01-22
Publication date: 2013-10-28

Abstract

본 발명은 가스 배관용 댐퍼 유닛을 개시한다. 개시된 가스 배관용 댐퍼 유닛은, 배관용 단위 파이프의 사이에 설치되는 중공형 튜브 본체의 관로에 내장되도록 설치되는 블레이드를 회동시켜 관로를 개폐시켜 주기 위한 핸들부를 포함하는 가스 배관용 댐퍼 유닛에 있어서, 튜브 본체가 압출 성형에 의해 외피를 형성하는 스테인리스 파이프와 내피 코어체를 형성하는 수지 파이프의 이중 구조체로 이루어지도록 구성함으로써, 댐퍼 내부의 내식성 향상과 이물질이나 더스트 또는 파우더의 증착이나 고착을 최소한으로 억제할 수 있도록 하여 댐퍼의 수명 향상을 통해 배관 내부 청소 및 교체 주기를 늘려 원가 절감과 생산성 향상을 도모할 수 있도록 한 것이다.

Description

가스 배관용 댐퍼 유닛{Damper unit for exhaust gas pipe system}

본 발명은 가스 배관용 댐퍼 유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조설비의 프로세스 가스 배관용 댐퍼 유닛에 관한 것이며, 특히 스테인리스 파이프와 수지 파이프가 내외피로 합체된 이중관 구조를 가지는 가스 배관용 댐퍼 유닛에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조공정이나 LCD 및 LED 제조공정에서는 클린룸(Clean Room) 구간 내의 공정 챔버에 다종다양한 종류의 반응 가스를 일정한 품질 상태로 안전하고 안정적으로 공급하기 위한 각종 가스공급 설비가 필수적으로 설치된다.

주지된 바와 같이 반도체 및 LCD 제조공정의 가스공급 설비를 통하여 공급되는 가스는 소위 "벌크 가스"라고 불리우는 일반 가스와, "프로세스 가스"라고 불리우는 특수재료 가스 등이 있다. 예를 들면, 벌크 가스는 드라이 에어, 질소, 산소, 수소, 아르곤, 헬륨 등과 같이 비교적 대량으로 소비되는 일반 가스가 주종을 이루고 있으며, 프로세스 가스는 모노 실란, 포스핀, 삼불화질소, 암모니아 등과 같은 특수재료 가스가 주종을 이루고 있다.

상기한 바와 같은 프로세스 가스의 경우 미반응 가스와 부성(副成) 가스를 배출하게 되므로 유독성과 부식성 및 가연성 등이 매우 강하여 진공펌프 등과 같은 제해(除害)장치나 배기가스 처리장치(스크러버; scrubber)를 통해 무해화(無害化) 상태로 정화시켜 대기로 방출해야 한다.

한편, 통상적인 반도체 제조설비의 프로세스 가스 배관 시스템의 경우 도 1에 예시한 바와 같이 클린룸(11) 내부의 반응 챔버(미도시)에 공급된 프로세스 가스를 가스 배출 유닛(21)에 의해 클린룸 외부에 설치된 공기정화장치(22)로 배출시키기 위하여 클린룸 내외를 연결하도록 배관 라인(10A)(10B)이 설치된다. 이와 같이 클린룸 내외로 연결되도록 설치되는 배관 라인(10A)(10B)은 실내외의 온도와 환경에 따라 부식과 파우더 침적 현상이 발생되는 상태가 다르게 나타나므로, 배관의 수명이나 수리 보수 및 교체 시기 등에 대한 불규칙성이 높아 생산활동에 불안요소로 작용하는 문제점이 있다.

따라서, 대규모 반도체 생산 시스템의 제조설비 프로세스 가스 배관 시스템은 도 1에 예시한 바와 같이 하부 클린룸(11A)과 상부 클린룸(11B)을 분리하여 기본 사용 라인(10A)과 백업(Back up) 라인(10B)을 2중적으로 설치하고, 기본 사용 라인(10A)에 문제가 발생할 경우 즉시 백업(Back up) 라인(10B)으로 전환하여 가동하는 동시에 기본 사용 라인(10A)의 가동을 중지시키고 배관의 청소나 수리보수 및 교체 작업을 수행할 수 있도록 구성함으로써, 기본 사용 라인 배관 시스템의 문제 발생으로 인한 생산 차질을 미연에 방지할 수 있게 한다.

상술한 바와 같은 기본 사용 라인(10A)과 백업(Back up) 라인(10B)의 가동상태를 전환하기 위하여 반도체 제조설비의 프로세스 가스 배관 시스템에는 개폐 밸브 기능을 수행하는 댐퍼 유닛(20)이 설치되며, 그 댐퍼 유닛(20)의 조작을 통하여 프로세스 가스의 유통상태를 선택적으로 개폐시켜 줌으로써, 기본 사용 라인(10A)과 백업(Back up) 라인(10B)의 가동상태를 즉각적으로 전환할 수 있게 된다.

한편, 반도체 및 LCD 제조공정의 가스공급 설비는 프로세스 장치에까지 이르는 동안 가스의 고순도를 유지하면서 오염이나 누출을 방지할 수 있도록 충분한 청정도와 내식성 및 강도를 지닌 특수 배관 설비를 필요로 한다. 이러한 배관 설비로서의 파이프와 댐퍼 유닛은 품질, 안정성, 수리보수성, 경제성 등을 고려하여 선정하게 되는데, 통상 배기가스의 독성과 부식성 등으로 인하여 내식성이 뛰어난 스테인리스 파이프가 주로 이용되고 있으며, 대한민국 등록특허공보 10-095916호 및 대한민국 등록실용신안공보 20-0370703호에 상기한 댐퍼 유닛의 일예가 상세하게 개시되어 있다.

그런데, 반도체 및 LCD 제조공정의 프로세스 배기가스에는 반응생성물이나 더스트 등의 미립자가 다량 함유되어 있어서 배기가스가 진공펌프 또는 배기가스 처리장치로 이동되는 과정에서 외부 온도 변화 등에 의해 빠르게 파우더화되면서 배관의 내부에 침적되거나 고착된다. 이러한 현상을 최대한 억제시키기 위하여 특히 일반 가스에 비해 독성과 부식성 등이 강한 프로세스 가스의 배관 파이프와 댐퍼 유닛은 스테인리스 파이프의 표면 보호를 위해 내주면에 예를 들어 테프론(Teflon)이라고 불리우는 불소수지(PTFE ; Poly Tetra Fluoro Ethylene)층과 같은 특수 코팅층을 형성하여 사용하는 것이 일반적이다.

그러나, 특히 상술한 바와 같은 댐프 유닛(20)의 경우 개폐용 블레이드와 같은 작동 부품이 내장되도록 설치됨에 따라 스테인리스 파이프의 내주면에 테프론(Teflon) 코팅시 작업성이 매우 떨어져 균일한 두께의 코팅층을 형성하기가 어려운 문제점이 있다. 이러한 문제점으로 인하여 종래의 댐프 유닛은 블레이드 개폐 동작에 따라 도 2a 및 도 2b의 원형 부분에 나타내 보인 바와 같이 주변의 코팅층이 불균일하게 마모되거나 박리 및 균열 됨으로써 쉽게 부식되어 파우더 침적 현상의 촉진에 의해 수명이 단축되는 문제점이 있다.

또한, 기존의 통상적인 스테인리스 파이프를 이용한 댐퍼 유닛은 내부의 블레이드 주위에 형성된 테프론 코팅층에는 육안 관찰이 어려운 미세 균열이 발생하여 도 2a 및 도 2b의 원형 부분에 나타내 보인 바와 같이 부식 및 박리 현상에 의해 쉽게 파손되는 취약성을 가지므로, 테프론 코팅층이 형성된 기존의 스테인리스 파이프를 이용한 댐퍼 유닛은 주기적으로 내부를 청소해 주거나 수리보수 또는 교체해주어야 하는데, 그 수명에 따른 주기가 짧아 청소나 수리보수 및 분리 교체 작업을 해야 하는데에 따른 원가 상승과 생산성 저하의 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상술한 바와 같은 종래 가스 배관용 댐퍼 유닛이 지니는 문제점을 감안하여 이를 개선하고자 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 배기가스와의 반응 관계성이 낮은 재료의 선택과 구조의 개량에 의해 배관 내부에 이물질이나 더스트 또는 파우더의 증착이나 고착 및 부식 발생을 최소한으로 억제할 수 있도록 내식성을 향상시켜 장수명화를 도모할 수 있는 스테인리스 수지 합체 이중 구조 파이프가 적용된 가스 배관용 댐퍼 유닛을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 다른 목적은 배관 내부에 이물질이나 더스트 또는 파우더의 증착이나 고착 및 부식 발생을 최소한으로 억제할 수 있도록 내식성을 향상시켜 장수명화를 도모할 수 있는 반도체 제조설비의 프로세스 가스 배관용으로 적합한 댐퍼 유닛을 제공하기 위한 것이다.

상기한 목적들을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 가스 배관용 댐퍼 유닛은, 배관용 단위 파이프의 사이에 설치되는 중공형 튜브 본체와, 그 튜브 본체의 관로에 내장되도록 설치되는 블레이드 및 그 블레이드를 회동시켜 상기 튜브 본체의 관로를 개폐시켜 주기 위한 핸들부를 포함하는 가스 배관용 댐퍼 유닛에 있어서, 상기 튜브 본체는, 스테인리스 파이프와; 상기 스테인리스 파이프의 양단에 각각 구비되는 1쌍의 플랜지; 및 상기 스테인리스 파이프의 중공부에 삽입되어 내피를 이루도록 코어체로 형성되며, 양단이 상기 1쌍의 플랜지에 각각 적층되어 합체되도록 절곡 성형된 가스켓부를 가지는 수지 파이프;를 포함하는 이중 구조체로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 상기 튜브 본체는 외피를 형성하는 스테인리스 파이프와 내피 코어체를 형성하는 수지 파이프의 압출 성형에 의해 이중 구조체로 이루어지는 것이 바람직하다.

본 발명의 일측면에 따르면, 상기 핸들부는 상기 튜브 본체를 관통하여 상기 블레이드에 결합되도록 설치되는 샤프트와, 상기 샤프트의 일단부에 설치되는 핸들 레버를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

그리고 상기 블레이드는 상기 샤프트가 결합되는 중심축부의 양끝단으로 갈수록 두께가 점차 얇아지도록 외향 경사지게 형성될 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 핸들부는 상기 블레이드의 회동 각도를 결정하여 세팅할 수 있는 스토핑 기구를 더 포함하여 구성될 수 있다.

상기 스토핑 기구는 상기 샤프트와 핸들 레버의 결합부 사이에 동축상으로 설치되며, 톱니형 캠홈이 다수 형성된 원호형 스토퍼 홈을 가지는 패널부재와, 상기 스토퍼 홈에 이동 가능한 상태로 삽입되도록 상기 핸들 레버에 탄성바어스되게 설치된 가이드핀을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

본 발명의 일측면에 따르면, 상기 스토퍼 핀은 볼트 부재와 같은 형상 구조를 가지며, 머리부가 하방으로 향하고 몸체 끝단부가 상방으로 향하도록 상기 핸들 레버에 구비된 부시의 축공에 삽입되어 끝단부가 상기 부시의 상방으로 노출되도록 결합되며, 상기 스토퍼 핀의 상방 노출 부위에 너트 형태의 푸시 버튼이 결합되고, 상기 부시와 푸시 버튼의 사이에 코일 스프링이 개재되도록 설치되며, 상기 스토퍼 핀의 머리부가 상기 패널부재의 원호형 스토퍼 홈에 위치하는 레벨링된 상태를 유지하도록 설치된 결합구조를 가지는 것이 바람직하다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 스토퍼 핀은 상기 핸들 레버에 경사지게 마련된 부시의 축공에 삽입되어 상단 머리부가 상기 부시의 축공 상부로 노출되고 하단부가 일측으로 꺽여 후크 부를 이루는 리벳 형태를 가지며, 상기 부시와 상기 스토퍼 핀의 사이에 코일 스프링이 개재되도록 설치되고, 상기 스토퍼 핀의 하단 후크부가 상기 패널부재의 원호형 스토퍼 홈에 위치하여 레벨링된 상태를 유지하도록 설치된 결합구조를 가지도록 구성될 수 있다.

한편, 본 발명에 의한 가스 배관용 댐퍼 유닛에 따르면, 상기 수지 파이프는 폴리에틸렌(PE; Polyethylene), 폴리프로필렌(PP; Polypropylene), 경질염화비닐(PVC; Rigid Polyvinyl Chloride) 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.

본 발명에 의한 가스 배관용 댐퍼 유닛에 따르면, 배관 파이프와 연통되는 튜브 본체가 스테인리스 파이프와 수지 파이프가 외피 및 내피로 형성되는 이중 구조에 의해 내식성 향상과 이물질이나 더스트 또는 파우더의 증착이나 고착을 최소한으로 억제할 수 있으므로 배관의 수명을 향상시키는 효과를 얻을 수 있다.

그리고, 본 발명에 의한 가스 배관용 댐퍼 유닛에 따르면, 튜브 본체의 수명과 성능 향상에 의해 관로 내부 청소 및 교체 주기를 늘려 원가 절감과 생산성 향상을 도모할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

도 1은 반도체 제조설비의 프로세스 가스 배관 시스템을 예시해 보인 개략적 사시도,
도 2a 및 도 2b는 각각 반도체 제조설비의 프로세스 가스 배관 시스템에 설치되는 기존의 통상적인 댐퍼 유닛의 손상 부위와 상태를 촬영하여 예시적으로 나타내 보인 도면,
도 3은 본 발명에 의한 가스 배관용 댐퍼 유닛을 개략적으로 도시해 보인 외관 사시도,
도 4는 도 3에 도시된 본 발명에 의한 가스 배관용 댐퍼 유닛의 요부를 분리하여 개략적으로 도시해 보인 일부 분리 사시도,
도 5는 도 3 및 도 4에 각각 도시된 본 발명에 의한 가스 배관용 댐퍼 유닛의 개략적 평면도,
도 6은 도 3 내지 도 5에 각각 도시된 본 발명에 의한 가스 배관용 댐퍼 유닛의 요부가 변형된 실시예를 도시해 보인 단면도.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 가스 배관용 댐퍼 유닛(100)을 상세하게 설명한다.

도 3 내지 도 6을 참조하면 본 발명에 의한 가스 배관용 댐퍼 유닛(100)은, 스테인리스와 수지가 합체된 이중 구조의 중공형 튜브 본체(110)와, 그 튜브 본체(110)의 관로에 회동 가능한 상태로 내장되도록 설치되는 블레이드(121) 및 그 블레이드(121)를 회동시켜 상기 튜브 본체(110)의 관로를 개폐시켜 주기 위한 핸들부(130)를 포함하여 구성된다.

본 발명에 따르면, 상기 튜브 본체(110)는 압출 성형에 의해 스테인리스 파이프(111)가 외피를 형성하고, 수지 파이프(113)가 내피 코어체를 형성하는 이중 구조체로 이루어지는 점에 그 구성적 특징이 있는 것으로서, 상기 스테인리스 파이프의 양단에는 각각 1쌍의 플랜지(112)가 구비되고, 그 플랜지(112)에 각각 수지 파이프(113)의 양단부가 절곡 성형된 가스켓부(113a)가 적층되어 합체된 이중 구조체를 이루게 된다.

상기 플랜지(112)는 용접에 의해 상기 스테인리스 파이프(111)의 양끝단에 결합되도록 설치되는 것으로서, 볼트 등의 결합부재가 체결될 수 있도록 복수의 결합공(112a)이 마련되어 있다.

따라서, 배관용 파이프(미도시)에 구비된 플랜지(미도시)와 서로 마주보도록 상기 플랜지(112)를 서로 대면시킨 상태에서 볼트 등의 결합부재를 결합공(112a)에 체결함으로써, 배관용 파이프(미도시)의 사이에 본 발명에 의한 댐퍼 유닛(100)이 개재되도록 설치될 수 있다. 이때, 상기 수지 파이프(113)의 가스켓부(113a)는 배관 이음부의 기밀을 위한 씰링부재로 기능하게 된다.

한편, 상기 플랜지(112)는 상기 튜브 본체(110)의 직경이나 관로 형상 구조에 따라 다양한 형태의 규격과 형상 구조로 선택하여 성형 가공될 수 있으며, 예를 들어 사각형이나 마름꼴 구조 등과 같이 통상적인 공지공용의 배관용 플랜지 구조를 다양하게 채용할 수 있음 물론이다.

본 발명의 일측면에 따르면, 상기 스테인리스 파이프(111)와 상기 플랜지(112)는 예를 들어 SUS304, SUS316, SUS316L 등과 같은 스테인리스 재질을 기본으로 내식성을 높이기 위해 개량된 공지의 다양한 계열을 이용할 수 있으며, 예컨대 광휘소둔이나 전해연마 등과 같은 표면처리나 표면보호용 코팅층을 형성한 상태로 사용할 수도 있다.

상기 수지 파이프(113)는 압출 성형에 의해 상기 스테인리스 파이프(111)의 중공부에 동축상으로 삽입되어 내피를 형성하게 되는 것으로서, 이러한 이중 구조체의 성형과정이 압출성형 공정에 의해 한정되는 것은 아니며, 공지된 다양한 형태의 성형방법과 성형공정을 통하여 이루어질 수 있음은 물론이다.

상기 수지 파이프(113)는 내피 구조의 성형과정에서 상기한 가스켓부(113a)를 형성하기 위하여 상기 스테인리스 파이프(110)의 길이보다 길게 형성된다. 그 이유는 상기 수지 파이프(113)의 가스켓부(113a)가 상기 플랜지(112)의 내측에서 외측으로 균등하게 확장 절곡되어 적층 성형되도록 하기 위해서이다.

본 발명의 일측면에 따르면, 상기 가스켓부(113a)는 플랜지(112)에 구비된 결합공(112a)을 폐쇄하지 않도록 내측에서 결합공(112a)에 바로 인접한 위치에 이르게 절곡되어 적층되는 것이 바람직하다. 즉, 이러한 구성을 위해서는 상기 결합공(112a)의 중심은 환형 플랜지(112)의 중심선에 배열되므로, 상기 가스켓부(113a)는 상기 플랜지(112)의 내측에서 외측으로 균등하게 40% 내외의 면적에 걸쳐 확장되는 상태로 적층 성형되는 것이 바람직하다.

다른 한편으로, 상기 가스켓부(113a)는 플랜지(112)와 전면적으로 겹쳐지도록 절곡 확장되어 적층되도록 성형될 수 있다. 이러한 적층 구조의 경우 결합공(112a)은 가스켓부(113a)와 플랜지(112)를 동축상으로 관통하도록 형성된다.

한편, 상술한 바와 같은 이중 구조체의 튜브 본체(110)를 가지는 본 발명에 의한 댐퍼 유닛(100)에 따르면, 상기 튜브 본체(100)의 관로에는 원반형의 블레이드(121)가 회동 가능한 상태로 설치되며, 그 블레이드(121)는 튜브 본체(100)의 외부에 설치되는 핸들부(130)의 조작에 의해 회동하여 세팅되는 각도가 조절됨에 따라 튜브 본체(100)의 관로 개폐상태를 제어할 수 있도록 되어 있다.

상기 핸들부(130)는 상기 튜브 본체(100)를 관통하여 상기 블레이드(121)의 중심 축공(121a)에 결합되도록 설치되는 샤프트(131)와, 그 샤프트(131)의 일단부에 설치되는 핸들 레버(132)를 포함하여 구성된다.

본 발명의 일측면에 따르면, 상기 블레이드(121)는 도 4에 예시한 바와 같이 상기 샤프트(131)가 결합되는 중심축부의 양끝단으로 갈수록 두께가 점차 얇아지도록 외향 경사지게 형성될 수도 있다.

그리고 상기 핸들부(130)는 상기 블레이드(121)의 회동 각도를 결정하여 세팅할 수 있는 스토핑 기구(140)를 더 포함하여 구성될 수 있다.

상기 스토핑 기구(140)는 상기 샤프트(131)와 핸들 레버(132)의 결합부 사이에 동축상으로 설치되며, 톱니형 캠홈(141b)이 다수 형성된 원호형 스토퍼 홈(141a)을 가지는 원반형의 패널부재(141)와, 상기 스토퍼 홈(141a)에 이동 가능한 상태로 삽입되도록 상기 핸들 레버(132)에 탄성바어스되게 설치된 스토퍼 핀(P)을 포함하여 구성된다.

본 발명의 일측면에 따르면, 상기 스토퍼 핀(P)은 실질적으로 볼트 부재와 같은 형상 구조를 가지는 것으로서, 머리부가 하방으로 향하고 몸체 끝단부가 상방으로 향하도록 상기 핸들 레버(132)에 구비된 부시(132a)의 축공에 삽입되도록 결합된다. 이와 같은 결합 상태에서 상기 스토퍼 핀(P)은 몸체 끝단부가 부시(132a)의 상방으로 노출되고, 그 노출 부위에 너트 형태의 푸시 버튼(B)이 결합되는데, 상기 부시(132a)와 푸시 버튼(B)의 사이에 코일 스프링(S)이 개재되어 상기 스토퍼 핀(P)과 푸시 버튼(B)이 탄성바이어스된 상태로 설치된 결합구조를 가진다. 이러한 결합구조에 따르면, 상기 스토퍼 핀(P)은 머리부가 상기 원반형 패널부재(141)의 원호형 스토퍼 홈(141a)의 내부에 위치하도록 레벨링된 상태를 유지하게 된다. 이러한 레벨링 상태에서는 상기 스토퍼 핀(P)의 머리부가 원반형 패널부재(141)의 스토퍼 홈(141a)에 형성된 톱니형 캠홈(141b)에 의해 구속되어 이동이 방지되도록 록킹된 상태로 세팅된다.

한편, 상기 푸시 버튼(B)을 가압하게 되면 코일 스프링(S)이 압착되면서 스토퍼 핀(P)이 하강하여 머리부가 상기 패널부재(141)의 스토퍼 홈(141a)에서 벗어나 록킹상태가 해제되고, 머리부보다 직경이 작게 형성된 몸체가 스토퍼 홈(141a)에 위치하게 되어 자유로운 이동이 가능한 레벨링 상태를 유지하게 된다. 이와 같은 레벨링 상태에서 상기 핸들 레버(132)를 회동시켜 원하는 위치로 이동시킨 다음 상기 푸시 버튼(B)의 가압 상태를 해제하게 되면, 스토퍼 핀(P)이 승강하여 머리부가 상기 패널부재(141)의 스토퍼 홈(141a)에 위치하여 원상복귀되도록 레벨링됨으써, 블레이드(121)의 회동 각도를 조절하여 원하는 재로 관로 개폐상태를 제어하고 록킹상태를 유지할 수 있게 된다.

본 발명에 따르면, 상기 원반형의 패널부재(141)에는 도 4에 예시한 바와 같이 상기 핸들 레버(132)가 스토퍼 홈(141a)을 따라 회동하는 각도와 대응하는 수치정보가 표시되어 있으며, 그 수치정보에 따라 상기 핸들 레버(132)를 회동시켜 줌으로써 블레이드(121)가 회동하여 세팅되는 개폐상태를 조정할 수 있도록 되어 있다. 즉, 상기 핸들 레버(132)의 스토퍼 홈(141a)에 형성된 톱니형 캠홈(141b)의 갯수와 피치 간격에 따라 블레이드(121)의 회동 각도에 대한 상관관계를 미리 설정하여 설계함으로써, 관로 개폐상태에 대한 정밀도를 설정해 놓을 수 있다.

즉, 본 발명에 의한 가스 배관용 댐퍼 유닛(100)은 오퍼레이터가 상기 푸시 버튼(B)을 가압하여 스토퍼 핀(P)의 록킹상태를 해제함과 동시에 핸들 레버(132)를 회동시키는 동시 조작을 통하여 블레이드(121)의 회동 각도를 조절을 통한 관로 개폐상태를 제어할 수 있게 된다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 오퍼레이터가 상기 푸시 버튼(B)과 핸들 레버(132)의 동시 조작을 보다 용이하게 할 수 있도록 상기 핸들 레버(132)에 구비된 부시(132a)와 스토퍼 핀(P), 코일 스프링(S) 및 푸시 버튼(B) 등의 스토핑 기구(140)가 도 6에 예시적으로 나타내 보인 바와 같이 경사지게 설치된 변형 구조를 실시에로 적용할 수도 있다. 이 실시예의 경우 푸시 버튼(B)은 그 형상 구조가 통상적인 볼트부재와는 달리 하단부가 일측으로 꺽여진 걸림 구조로 성형될 수도 있다.

즉, 상기 스토퍼 핀(P)은 상기 핸들 레버(132)에 경사지게 마련된 부시(132a)의 축공에 삽입되어 상단 머리부가 버튼 기능을 하도록 상기 부시(132a)의 축공 상부로 노출되고 하단부가 일측으로 꺽여 상기 패널부재(141)의 스토퍼 홈(141a)에 록킹되는 후크부를 이루는 리벳 또는 볼트 형태를 가진다.

그리고 상기 부시(132a)와 상기 스토퍼 핀(P)의 사이에 코일 스프링(S)이 개재되도록 설치되어 상기 스토퍼 핀(P)을 상방으로 탄성바이어스시킴에 따라 상기 스토퍼 핀(P)의 하단 후크부가 상기 패널부재(141)의 스토퍼 홈(141a)에 위치하여 레벨링된 상태를 유지하도록 설치된 결합구조를 가진다.

따라서 오퍼레이터가 엄지손가락으로 스토퍼 핀(P)의 상단 머리부를 푸시 버튼 형태로 가압하여 스토퍼 핀(P)의 후크부 록킹상태를 해제함과 동시에 핸들 레버(132)를 회동시키는 조작을 통하여 블레이드(121)의 회동 각도 조절을 통한 관로 개폐상태를 제어할 수 있게 된다.

도 6에 예시한 바와 같이 같이 경사진 형태로 설치되는 스토핑 기구(140)의 경우, 오퍼레이트가 보다 짧은 거리에서 엄지 손가락으로 상기 푸시 버튼(B)을 조작할 수 있는 편의성을 제공할 수 있게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 스테인리스 파이프(111)와 수지 파이프(113)의 이중 구조체로 이루어진 튜브 본체(110)를 가지는 본 발명에 의한 댐퍼 유닛(100)에 따르면, 상기 수지 파이프(113)는 폴리에틸렌(PE; Polyethylene), 폴리프로필렌(PP; Polypropylene), 경질염화비닐(PVC; Rigid Polyvinyl Chloride) 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 성형될 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 수지 파이프(113)의 재질을 상술한 바와 같이 한정한 이유를 설명하면 다음과 같다. 즉, 본 출원인은 반도체 제조설비 배관으로 이용되고 있는 기존의 스테인리스 파이프가 지니는 문제점을 개선하기 위한 기술 개발 과정에서 폴리카보네이트(PC; Polycarbonate), 폴리에틸렌(PE; Polyethylene), 폴리프로필렌(PP; Polypropylene), 경질염화비닐(PVC; Rigid Polyvinyl Chloride)로 제작한 시편을 실제 반도체 제조공정 배관설비에서 채취한 불산 함유 응축수에 투입하여 변화되는 상태를 실험하면서 그 결과를 관찰하였다.

상술한 바와 같은 실험을 관찰한 결과에 따르면, 폴리카보네이트(PC; Polycarbonate) 시편은 일정 시간이 경과하면서 육안 관찰이 가능한 정도로 완전히 분해되는데 반하여, 폴리에틸렌(PE; Polyethylene)과 폴리프로필렌(PP; Polypropylene) 및 경질염화비닐(PVC; Rigid Polyvinyl Chloride) 시편은 별다른 변화없이 원상태가 유지되는 것을 관찰할 수 있었다.

따라서, 본 발명에 의해 스테인리스 파이프(111)와 수지 파이프(113)의 이중 구조체로 이루어진 튜브 본체(110)를 구비한 댐퍼 유닛(100)을 구성함에 있어서, 상기 수지 파이프(113)를 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 경질염화비닐(PVC) 중 어느 하나의 재질로 선택하게 되는 경우, 반도체 및 LCD 제조공정의 프로세스 배기가스 배관용으로 사용하게 될 때 우수한 내식성 등으로 인하여 유효한 작용효과를 얻을 수가 있다.

본 발명의 일측면에 따르면, 상기 수지 파이프(113)의 내주면은 내식성 향상과 이물질이나 더스트 또는 파우더의 증착이나 고착을 최소한으로 억제할 수 있도록 표면거칠기가 20nm 내지 65nm의 범위를 가지도록 형성되는 것이 바람직하다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 의해 한정되지 않으며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 다양한 변형 실시예가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 기재된 청구범위 내에 있게 된다.

110 : 튜브 본체 111 : 스테인리스 파이프
112 : 플랜지 113 : 수지 파이프
113a : 가스켓부 121 : 블레이드
130 : 핸들부 131 : 샤프트
132 : 핸들 레버 140 : 스토핑 기구
141 : 패널부재 141a : 스토퍼 홈

Claims

배관용 단위 파이프의 사이에 설치되는 중공형 튜브 본체와, 그 튜브 본체의 관로에 내장되도록 설치되는 블레이드 및 그 블레이드를 회동시켜 상기 튜브 본체의 관로를 개폐시켜 주기 위한 핸들부를 포함하는 가스 배관용 댐퍼 유닛에 있어서,
상기 튜브 본체는 스테인리스 파이프와, 상기 스테인리스 파이프의 양단에 각각 구비되는 1쌍의 플랜지 및 상기 스테인리스 파이프의 중공부에 삽입되어 내피를 이루도록 코어체로 형성되며, 양단이 상기 1쌍의 플랜지에 각각 적층되어 합체되도록 절곡 성형된 가스켓부를 가지는 수지 파이프;를 포함하는 이중 구조체로 이루어지며,
상기 핸들부는 상기 튜브 본체를 관통하여 상기 블레이드에 결합되도록 설치되는 샤프트와, 상기 샤프트의 일단부에 설치되는 핸들 레버 및 상기 블레이드의 회동 각도를 결정하여 세팅할 수 있는 스토핑 기구를 포함하고,
상기 스토핑 기구는 상기 샤프트와 핸들 레버의 결합부 사이에 동축상으로 설치되며 톱니형 캠홈이 다수 형성된 원호형 스토퍼 홈을 가지는 패널부재와, 상기 스토퍼 홈에 이동 가능한 상태로 삽입되도록 상기 핸들 레버에 탄성바어스되게 설치된 스토퍼 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 배관용 댐퍼 유닛.
제 1 항에 있어서,
상기 튜브 본체는 외피를 형성하는 스테인리스 파이프와 내피 코어체를 형성하는 수지 파이프의 압출 성형에 의해 이중 구조체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 배관용 댐퍼 유닛.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 블레이드는 상기 샤프트가 결합되는 중심축부의 양끝단으로 갈수록 두께가 점차 얇아지도록 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 가스 배관용 댐퍼 유닛.
삭제
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 스토퍼 핀은 볼트 부재와 같은 형상 구조를 가지며, 머리부가 하방으로 향하고 몸체 끝단부가 상방으로 향하도록 상기 핸들 레버에 구비된 부시의 축공에 삽입되어 끝단부가 상기 부시의 상방으로 노출되도록 결합되며, 상기 스토퍼 핀의 상방 노출 부위에 너트 형태의 푸시 버튼이 결합되고, 상기 부시와 푸시 버튼의 사이에 코일 스프링이 개재되도록 설치되며, 상기 스토퍼 핀의 머리부가 상기 패널부재의 원호형 스토퍼 홈에 위치하는 레벨링된 상태를 유지하도록 설치된 결합구조를 가지는 것을 특징으로 하는 가스 배관용 댐퍼 유닛.
제 1 항에 있어서,
상기 스토퍼 핀은 상기 핸들 레버에 경사지게 마련된 부시의 축공에 삽입되어 상단 머리부가 상기 부시의 축공 상부로 노출되고 하단부가 일측으로 꺽여 후크 부를 이루는 리벳 형태를 가지며, 상기 부시와 상기 스토퍼 핀의 사이에 코일 스프링이 개재되도록 설치되고, 상기 스토퍼 핀의 하단 후크부가 상기 패널부재의 원호형 스토퍼 홈에 위치하여 레벨링된 상태를 유지하도록 설치된 결합구조를 가지는 것을 특징으로 하는 가스 배관용 댐퍼 유닛.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 수지 파이프는 폴리에틸렌(PE; Polyethylene), 폴리프로필렌(PP; Polypropylene), 경질염화비닐(PVC; Rigid Polyvinyl Chloride) 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 배관용 댐퍼 유닛.