KR101309273B1 - 약액 교반 장치용 히팅 장치, 및 이를 구비한 약액 교반 장치 및 방법 - Google Patents

약액 교반 장치용 히팅 장치, 및 이를 구비한 약액 교반 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 약액 교반 장치용 히팅 장치, 및 이를 구비한 약액 교반 장치 및 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 약액 교반 장치용 히팅 장치는 약액을 교반하기 위한 교반 용기의 측면 및 하부면을 둘러싸는 외부 커버; 및 상기 외부 커버 내부에 제공되며, 상기 약액을 가열하기 위한 히팅 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 약액 교반 장치는 약액을 교반하기 위한 교반 용기; 상기 교반 용기의 중앙 상부에서 상기 교반 용기 내로 수직방향으로 제공되는 회전축; 상기 회전축의 하부에 고정 장착되는 임펠러; 상기 회전축과 연결되며, 상기 회전축을 회전시키는 구동장치; 상기 교반 용기의 측면 및 하부면을 둘러싸는 외부 커버; 및 상기 외부 커버 내부에 제공되며, 상기 약액을 가열하기 위한 히팅 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

약액 교반 장치용 히팅 장치, 및 이를 구비한 약액 교반 장치 및 방법{Heating Device for Stirring Apparatus of Chemical Liquid, and Stirring Apparatus and Method of Chemical Liquid Having the Same}
본 발명은 약액 교반 장치용 히팅 장치, 및 이를 구비한 약액 교반 장치 및 방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 약액 교반 장치의 외측에 저온 히팅 장치를 제공하고 임펠러의 날개부의 구조를 변경함으로써, 약액의 교반 시간이 50% 이상 감소되고, 약액의 교반 능력이 향상되며, 약액 공급시 발생하는 기포의 형성 및 액뭉침 현상이 방지되며, 그에 따라 약액의 특성 변화가 방지되어 약액 공급 도중 약액의 특성이 유지되고, 약액의 공급 성능이 향상되며, 최종 제품의 불량 발생 가능성이 감소되고, 교반 장치의 수명이 길어지는 약액 교반 장치용 히팅 장치, 및 이를 구비한 약액 교반 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 전자회로부품, 또는 PDP, LCD, 또는 OLED 등과 같은 FPD를 제조하기 위해서는, 예를 들어, 포토레지스트(photoresist: PR)액 또는 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al) 등과 같은 금속을 함유한 페이스트(paste)를 사용하여 글래스 표면 또는 인쇄회로기판(printed circuit board: PCB) 등과 같은 프린팅 대상물 상에 전극(electrodes) 또는 도트(dots) 등과 같은 일정한 패턴(patterns)을 형성하여야 한다.
상술한 일정한 패턴을 형성하기 위한 방법으로는 예를 들어 잉크 액적을 분출하는 잉크젯 헤드를 사용하여 프린팅 대상물 상에 일정한 패턴을 직접 패턴닝하거나, 또는 디스펜싱 노즐 또는 슬릿 다이 노즐(이하 통칭하여 "노즐"이라 합니다)을 포함한 코팅 장치를 사용하여 도액을 프린팅 대상물 상에 도액을 원하는 패턴 형상으로 도포하는 방식이 사용되고 있다.
상술한 바와 같이 잉크 또는 도액(이하 통칭하여 "약액(chemical liquid)"이라 합니다)을 사용하여 패턴을 형성하기 위해 약액을 잉크 저장소(ink reservoir) 또는 노즐 장치(이하 통칭하여 "용기(container)"라 합니다) 내로 공급하여야 한다. 이 경우, 용기 내로 약액을 공급하기 전에 통상적으로 액을 균일하게 혼합하기 위해 약액 교반 장치가 사용된다.
도 1a는 종래 기술에 따른 약액 교반 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 약액 교반 장치(100)는 교반 용기(140)의 중앙의 상부에서 상기 교반 용기(140) 내로 수직방향으로 제공되는 회전축(110); 상기 회전축(110)의 하부에 고정 장착되는 임펠러(impeller: 120); 및 상기 회전축(110)과 연결되며, 상기 회전축(110)을 회전시키는 구동 장치(130)로 구성되어 있다.
상술한 바와 같은 종래 기술에 따른 약액 교반 장치(100)에서는, 구동장치(130)가 회전축(110)을 회전시키면, 회전축(110)에 고정 장착된 임펠러(120)가 교반 용기(140) 내에 제공된 약액(150) 내에서 회전하여 약액(150)을 혼합시킨다. 이러한 액액(150)의 교반 동작은 약액(150)은 혼합은 물론 약액(150 내부의 버블 또는 마이크로 버블(micro-bubbles)과 같은 기포를 제거하기 위한 것이다.
그러나, 상술한 종래 기술의 약액 교반 장치(100)를 사용하여 약액(150)을 교반시키는 경우, 약액(150 내부의 기포를 제거하기 위해서는 예를 들어 교반 용기(140)의 용량이 20L이고, 약액(150)이 8L인 경우 상당히 장시간의 교반 시간이 필요하다.
좀 더 구체적으로, 약액(150)이 폴리이미드(polyimide)와 같이 대략 13,000cps(centi-poises)인 고점도인 경우, 통상 8시간 이상의 장시간의 교반 시간이 필요하다. 여기서, 고점도는 약액(150)의 점도가 대략 8,000 내지 18,000cps 범위를 말한다.
또한, 약액(150)의 점도가 증가할수록 교반 후 약액(150)을 용기 내로 공급하는 동안 기포가 발생하거나 약액의 뭉침 현상(이하 "액뭉침"이라 합니다)이 발생한다. 이 경우, 약액(150)의 특성이 변경되어 교반 상태의 약액(150)의 특성과 도포 상태의 약액(150)의 특성이 동일성을 유지하지 못하는 경우가 발생한다.
상술한 바와 같이 약액(150)의 특성이 변경되면 약액(150)을 용기 내로 공급 능력이 저하된다.
또한, 약액(150)의 특성이 변경되면 도포된 약액(150)의 도포 높이가 균일하지 않아 최종 제품에 불량이 발생할 수 있다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 약액 교반 장치의 임펠러의 평면도를 도시한 도면이다.
도 1b를 도 1a와 함께 참조하면, 종래 기술에서는 약액 교반 장치(100)의 임펠러(120)를 구성하는 상부 임펠러 블레이드(120u)는 동일한 제 1 폭(W1)을 가지며, 하부 임펠러 블레이드(120d)는 교반 용기(140)의 하부폭을 고려하여 제 1 폭(W1)보다 좁은 제 2 폭(W2)을 갖도록 형성되어 있다. 또한, 상부 임펠러 블레이드(120u)와 하부 임펠러 블레이드(120d)는 회전축(110)을 기준으로 동일한 위치 상에서 수직 방향으로 이격되어 배치되어 있다. 그에 따라, 약액(150)의 교반 시, 상부 임펠러 블레이드(120u)와 하부 임펠러 블레이드(120d)의 폭 차이로 인하여 약액(150)이 균일하게 교반되지 않으며, 상부 임펠러 블레이드(120u)와 하부 임펠러 블레이드(120d)가 동일한 수직 위치 상에 배치되므로 임펠러(120)에 의해 약액(150)에 전달되는 교반력이 균일하지 않아 약액(150)이 균일하게 교반되지 않는다는 추가적인 문제가 발생한다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.
1. 대한민국 특허 제10-0753163호 2. 대한민국 특허 제10-0931562호
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 약액 교반 장치의 외측에 저온 히팅 장치를 제공하고 임펠러의 날개부의 구조를 변경함으로써, 약액의 교반 시간이 50% 이상 감소되고, 약액의 교반 능력이 향상되며, 약액 공급시 발생하는 기포의 형성 및 액뭉침 현상이 방지되며, 그에 따라 약액의 특성 변화가 방지되어 약액 공급 도중 약액의 특성이 유지되고, 약액의 공급 성능이 향상되며, 최종 제품의 불량 발생 가능성이 감소되고, 교반 장치의 수명이 길어지는 약액 교반 장치용 히팅 장치, 및 이를 구비한 약액 교반 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 약액 교반 장치용 히팅 장치는 약액을 교반하기 위한 교반 용기의 측면 및 하부면을 둘러싸는 외부 커버; 및 상기 외부 커버 내부에 제공되며, 상기 약액을 가열하기 위한 히팅 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 약액 교반 장치는 약액을 교반하기 위한 교반 용기; 상기 교반 용기의 중앙 상부에서 상기 교반 용기 내로 수직방향으로 제공되는 회전축; 상기 회전축의 하부에 고정 장착되는 임펠러; 상기 회전축과 연결되며, 상기 회전축을 회전시키는 구동장치; 상기 교반 용기의 측면 및 하부면을 둘러싸는 외부 커버; 및 상기 외부 커버 내부에 제공되며, 상기 약액을 가열하기 위한 히팅 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 약액 교반 방법은 a) 약액을 교반하기 위한 교반 용기의 측면 및 하부면을 둘러싸는 외부 커버 내부에 히팅 부재를 제공하는 단계; b) 상기 히팅 부재를 가동하여 상기 약액을 일정 온도로 가열 및 유지하는 단계; 및 c) 상기 교반 용기 내에 제공되는 임펠러를 이용하여 상기 약액을 교반하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 약액 교반 장치용 히팅 장치, 및 이를 구비한 약액 교반 장치 및 방법을 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 약액이 가열되므로 약액의 교반 시간이 50% 이상 감소된다.
2. 임펠러의 구조 변경에 따라 약액의 교반 능력이 향상된다.
3. 약액 공급시 발생하는 기포의 형성 및 액뭉침 현상이 방지된다.
4. 약액의 특성 변화가 방지되어 약액 공급 도중 약액의 특성이 유지되고, 약액의 공급 성능이 향상된다.
5. 최종 제품의 불량 발생 가능성이 감소된다.
6. 교반 장치의 수명이 길어진다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
도 1a는 종래 기술에 따른 약액 교반 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 약액 교반 장치의 임펠러의 평면도를 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치에 사용되는 히팅 장치의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 2c는 도 2a에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치의 임펠러의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 2d는 도 2c에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치의 임펠러의 평면도를 도시한 도면이다.
도 2e는 도 2c에 도시된 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 약액 교반 장치의 임펠러의 평면도를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 교반 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.
도 2a는 도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치에 사용되는 히팅 장치의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치용 히팅 장치(260)는 약액(250)을 교반하기 위한 교반 용기(240)의 측면 및 하부면을 둘러싸는 외부 커버(262); 및 상기 외부 커버(262) 내부에 제공되며, 상기 약액(250)을 가열하기 위한 히팅 부재(264)를 포함한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치(200)는 약액(250)을 교반하기 위한 교반 용기(240); 상기 교반 용기(240)의 중앙 상부에서 상기 교반 용기(240) 내로 수직방향으로 제공되는 회전축(210); 상기 회전축(210)의 하부에 고정 장착되는 임펠러(220); 상기 회전축(210)과 연결되며, 상기 회전축(210)을 회전시키는 구동장치(230); 상기 교반 용기(240)의 측면 및 하부면을 둘러싸는 외부 커버(262); 및 상기 외부 커버(262) 내부에 제공되며, 상기 약액(250)을 가열하기 위한 히팅 부재(264)를 포함한다. 여기서, 약액 교반 장치(200)는 상기 히팅 부재(264)에 의해 상기 교반 용기(240) 내에서 발생하는 기포(252)를 외부로 배출하기 위한 기포 배출구(254); 및 상기 기포 배출구(254)를 통해 상기 기포(252)를 흡입하기 위한 흡입 장치(256)를 추가로 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치용 히팅 장치(260) 및 약액 교반 장치(200)에 사용되는 히팅 부재(264)는 예를 들어 약액 교반 장치(200)의 교반 용기(240)의 측면 및 하부면을 감싸는 열선(도 2b 참조)으로 구현되거나 또는 물 또는 기름과 같은 유체일 수 있다,
히팅 부재(264)가 열선으로 구현되는 경우에는 열선에 전기 에너지를 공급하여 교반 용기(240) 내의 약액(250)이 일정 온도로 가열된다.
또한, 히팅 부재(264)가 물 또는 기름과 같은 유체로 구현되는 경우에는 일정 온도로 가열된 유체를 예를 들어 외부 커버(262)의 상부에 제공되는 주입구(264a)를 통해 외부 커버(262) 내로 주입하고 외부 커버(262)의 하부에 제공되는 배출구(264b)를 통해 외부 커버(262)의 밖으로 배출하여 교반 용기(240) 내의 약액(250)이 일정 온도로 가열된다. 즉, 유체의 경우는 외부 커버(262)에 제공되는 주입구(264a)와 배출구(264b)를 통해 유체를 순환 방식으로 공급함으로써 교반 용기(240) 내의 약액(250)이 일정 온도로 가열될 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치용 히팅 장치(260) 및 약액 교반 장치(200)에서는 대략 8,000 내지 18,000cps 범위의 고점도를 갖는 약액(250)의 경우 일정 온도가 30 내지 70℃ 범위를 갖는 것이 바람직하고, 40 내지 60℃ 범위를 갖는 것이 더욱 바람직하다. 여기서, 약액(250)의 일정 온도가 30℃ 보다 낮으면 약액(250) 내의 기포가 효과적으로 탈포되지 못하고, 약액(250)의 일정 온도가 70℃를 초과하면 약액(250) 자체의 물성이 변화될 수 있기 때문이다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치용 히팅 장치(260) 및 약액 교반 장치(200)에서, 약액(250)의 일정 온도는 약액(250)의 종류 및 점도에 따라 가변적이다. 특히, 약액(250)의 점도가 높을수록 일정 온도는 증가한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치(200)는 약액 교반 장치용 히팅 장치(260)를 사용하여 교반 용기(240) 내의 약액(250)을 30 내지 70℃ 범위의 저온으로 가열함으로써, 약액(150)으로 13,00cps의 점도를 갖는 폴리이미드를 사용할 경우의 소요되는 교반 시간이 4시간 이하로 종래 기술에 비해 50% 이상 단축되었다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치용 히팅 장치(260)를 사용하여 약액(250)을 가열함으로써, 기포(252)가 약액(250)의 외부로 배출되는 탈포가 진행되어 약액(250) 내의 기포(252)가 제거된다. 또한, 탈포된 기포(252)가 약액(250) 내로 다시 용해되지 않도록 흡입 장치(256)를 가동하여 기포 배출구(254)를 통해 기포(252)를 교반 용기(240)의 외부로 배출시킨다. 흡입 장치(256)는 예를 들어 진공 펌핑 장치로 구현될 수 있다.
또한, 약액(250)의 교반 동작이 완료되면, 히팅 부재(264)의 동작을 중단시키고(히팅 부재(264)가 열선인 경우 전기 에너지 공급을 중단하고, 히팅 부재(264)가 유체인 경우 유체의 순환을 중단시킴), 약액(250)을 공냉 방식으로 상온까지 냉각시킨다. 그 후, 교반 용기(240)를 상온으로 유지한 상태에서 약액 배출구(242)를 통해 약액(250)을 용기(280)로 공급한다.
도 2c는 도 2a에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치의 임펠러의 일 실시예를 도시한 도면이고, 도 2d는 도 2c에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치의 임펠러의 평면도를 도시한 도면이다.
도 2c 및 도 2d를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 장치(200)에 사용되는 임펠러(220)는 복수의 임펠러 블레이드(220a 내지 220g)로 구성된다. 이 때,복수의 임펠러 블레이드(220a 내지 220g)는 회전축(210)을 중심으로 수직 방향을 따라 상부 임펠러 블레이드(210a)에서 중간 임펠러 블레이드(220d)까지는 제 1 폭(W1)에서 제 2 폭(W2)으로 점진적으로 증가하고, 다시 중간 임펠러 블레이드(220d)에서 하부 임펠러 블레이드(220g)까지는 제 2 폭(W2)에서 제 1 폭(W1)으로 점진적으로 감소한다.
또한, 복수의 블레이드(220a 내지 220g)는 각각 회전축(210)을 중심으로 서로 일정한 각도 간격(예를 들어 10 간격)으로 어긋나게 배치되어 있다. 따라서, 복수의 임펠러 블레이드(220a 내지 220g)는 회전축(210)을 중심으로 서로 어긋나면서도 수직 방향을 따라 임펠러 블레이드의 폭(W)이 제 1 폭(W1)에서 제2 폭(W2)으로 증가하다가 다시 제 1 폭(W1)으로 감소하는 형상을 갖는다. 이 경우, 7개의 임펠러 블레이드(220a 내지 220g)는 회전축(210)의 외주면 일부를 따라 균일한 각도 간격으로 배치된다.
상술한 도 2d에 도시된 실시예에서는 7개의 임펠러 블레이드(220a 내지 220g)가 사용되는 것으로 예시되어 있지만, 당업자라면 임펠러 블레이드의 수가 교반 용기(240)의 사이즈 및 약액(250)의 양에 따라 증가 또는 감소될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
좀 더 구체적으로, 도 2e는 도 2c에 도시된 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 약액 교반 장치의 임펠러의 평면도를 도시한 도면이다.
도 2e를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 임펠러(220)는 6개의 임펠러 블레이드(220a 내지 220f)가 회전축(210)을 중심으로 서로 30 간격으로 어긋나게 배열되면서, 회전축(210)의 수직 방향을 따라 상부 임펠러 블레이드(220a)에서 하부 임펠러 블레이드(220f)로 가면서 임펠러 블레이드의 폭(W)이 제 1 폭(W1)에서 제2 폭(W2)으로 증가하다가 다시 제 1 폭(W1)으로 감소하는 형상을 갖는다. 그에 따라, 6개의 임펠러 블레이드(220a 내지 220f)는 회전축(210)의 외주면 전체를 따라 균일한 각도 간격으로 배치된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 임펠러(220)가 회전축(210)의 외주면의 일부 또는 전체를 따라 균일한 각도로 배치되며, 또한 수직 방향을 따라 임펠러 블레이드의 폭이 증가하다가 감소하는 형상을 가지므로 약액(250)의 교반 시 약액(250)에 전달되는 교반력이 균일하여 교반 능력이 향상된다.
또한, 본 발명에 따른 임펠러(220) 구조는 약액(250) 교반 시 저항이 감소되므로 임펠러(220) 및 약액 교반 장치(200)의 수명이 길어진다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 교반 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 3을 도 2a 내지 도 2f를 함께 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 방법(300)은 a) 약액(250)을 교반하기 위한 교반 용기(240)의 측면 및 하부면을 둘러싸는 외부 커버(262) 내부에 히팅 부재(264)를 제공하는 단계(310); b) 상기 히팅 부재(310)를 가동하여 상기 약액(250)을 일정 온도로 가열 및 유지하는 단계(320); 및 c) 상기 교반 용기(240) 내에 제공되는 임펠러(220)를 이용하여 상기 약액(250)을 교반하는 단계(330)를 포함한다.
상술한 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 방법(300)은 d) 상기 c) 단계가 완료되면, 상기 히팅 부재(310)의 가동을 중지하고 상기 약액(250)을 상온까지 공냉 방식으로 냉각시키는 단계(340)를 추가로 포함한다.
또한, 상술한 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 방법(300)에서, 상기 약액(250)은 대략 8,000 내지 18,000cps 범위의 고점도 약액이고, 상기 일정 온도는 30 내지 70℃ 범위를 갖는다.
상술한 본 발명의 실시예에서는 약액이 교반 시간이 50% 이상 감소되고, 약액의 교반 능력이 향상되며. 약액 공급시 발생하는 기포의 형성 및 액뭉침 현상이 방지되고, 약액의 특성 변화가 방지되어 약액 공급 도중 약액의 특성이 유지되며, 약액의 공급 성능이 향상되어, 최종 제품의 불량 발생 가능성이 감소되는 장점이 달성된다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
100,200: 약액 교반 장치 110,210: 회전축 120,220: 임펠러
120u,220d,220a,220b,200c,220d,220e,220f,220g: 임펠러 블레이드
130,230: 구동장치 140,240: 교반 용기 150,250: 약액
252: 기포 254: 기포 배출구 256: 흡입 장치
260: 히팅 장치 262; 외부 커버 264: 히팅 부재
264a: 주입구 264b: 배출구

Claims (16)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 약액 교반 장치에 있어서,
    약액을 교반하기 위한 교반 용기;
    상기 교반 용기의 중앙 상부에서 상기 교반 용기 내로 수직방향으로 제공되는 회전축;
    상기 회전축의 하부에 고정 장착되는 임펠러;
    상기 회전축과 연결되며, 상기 회전축을 회전시키는 구동장치;
    상기 교반 용기의 측면 및 하부면을 둘러싸는 외부 커버; 및
    상기 외부 커버 내부에 제공되며, 상기 약액을 일정 온도로 가열하기 위한 히팅 부재
    를 포함하고,
    상기 임펠러는 복수의 임펠러 블레이드로 구성되고,
    상기 복수의 임펠러 블레이드는 상기 회전축을 중심으로 수직 방향을 따라 서로 일정한 각도 간격으로 어긋나게 배치되며, 또한 상기 수직 방향을 따라 상기 복수의 임펠러 블레이드의 폭이 증가하다가 감소되는 형상을 갖는
    약액 교반 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 약액 교반 장치는
    상기 히팅 부재에 의해 상기 교반 용기 내에서 발생하는 기포를 외부로 배출하기 위한 기포 배출구; 및
    상기 기포 배출구를 통해 상기 기포를 흡입하기 위한 흡입 장치
    를 추가로 포함하는 약액 교반 장치.
  8. 삭제
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 복수의 임펠러 블레이드가 상기 회전축의 외주면 일부 또는 전부를 따라 균일한 각도 간격으로 배치되는 약액 교반 장치.
  10. 제 6항, 제7항, 및 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 히팅 부재는 상기 교반 용기의 상기 측면 및 상기 하부면을 감싸는 열선으로 구현되는 약액 교반 장치.
  11. 제 6항, 제7항, 및 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 히팅 부재는 물 또는 기름과 같은 유체로 구현되고,
    상기 외부 커버는 상기 유체가 주입되는 주입구 및 상기 유체가 배출되는 배출구를 구비하며,
    상기 유체는 상기 주입구와 상기 배출구를 통해 순환 방식으로 공급되는
    약액 교반 장치.
  12. 제 6항, 제7항, 및 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 약액은 8,000 내지 18,000cps 범위의 고점도 약액이고,
    상기 일정 온도는 30 내지 70℃ 범위를 갖는
    약액 교반 장치.
  13. 제 12항 있어서,
    상기 일정 온도는 40 내지 60℃ 범위를 갖는 약액 교반 장치.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
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