KR101305139B1 - Lift Pin Assembly and Vacuum Processing Apparatus having the Same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공상태에서 식각, 증착 등 진공처리를 수행하는 진공처리장치에서 기판을 승강시키기 위한 리프트핀 조립체 및 그를 가지는 진공처리장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum processing apparatus, and more particularly, to a lift pin assembly and a vacuum processing apparatus having the same, for lifting and lowering a substrate in a vacuum processing apparatus that performs vacuum processing such as etching and deposition in a vacuum state.

본 발명은 진공챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판지지대를 관통하여 설치되어 상하로 이동하여 기판을 상하로 이동시키는 리프트핀부와; 상기 진공챔버의 외부에 설치되며 상기 리프트핀부의 끝단과 결합되어 상기 리프트핀부를 상하로 이동시키도록 구동하는 구동부와; 상기 리프트핀부가 상하로 이동이 가능하도록 슬라이드공이 관통형성되며 상기 진공챔버에 관통형성된 관통공에 고정 결합되는 플렌지부와; 상기 리프트핀부의 외주면과 밀착된 상태로 슬라이딩이 가능하도록 상기 플렌지부 내에 설치되는 하나 이상의 실링부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트핀 조립체를 개시한다.The present invention includes a lift pin unit installed in a vacuum chamber and installed through a substrate support on which a substrate is seated to move up and down to move the substrate up and down; A driving unit installed outside the vacuum chamber and coupled to an end of the lift pin to drive the lift pin up and down; A flange portion through which a slide hole is formed to allow the lift pin to move up and down and fixedly coupled to a through hole formed in the vacuum chamber; Disclosed is a lift pin assembly, characterized in that it comprises at least one sealing member installed in the flange portion so as to slide in close contact with the outer circumferential surface of the lift pin portion.

리프트핀, 진공처리 Lift pin, vacuum treatment

Description

리프트핀조립체 및 그를 가지는 진공처리장치 {Lift Pin Assembly and Vacuum Processing Apparatus having the Same}Lift Pin Assembly and Vacuum Processing Apparatus having the Same}

본 발명은 진공처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공상태에서 식각, 증착 등 진공처리를 수행하는 진공처리장치에서 기판을 승강시키기 위한 리프트핀 조립체 및 그를 가지는 진공처리장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum processing apparatus, and more particularly, to a lift pin assembly and a vacuum processing apparatus having the same, for lifting and lowering a substrate in a vacuum processing apparatus that performs vacuum processing such as etching and deposition in a vacuum state.

진공처리장치는 진공처리공정을 수행하기 위하여 처리공간이 내부에 형성된 진공챔버 내에 전극을 설치하고, 진공상태에서 전극에 전원을 인가하여 플라즈마를 형성함으로써 전극 위에 안착된 기판의 표면을 증착, 식각하는 등 처리공정을 수행하는 장치를 말한다.In order to perform the vacuum processing process, the vacuum processing apparatus installs an electrode in a vacuum chamber in which a processing space is formed and deposits and etches the surface of a substrate seated on the electrode by applying power to the electrode in a vacuum state to form a plasma. Etc. refers to a device that performs a treatment process.

그리고 진공처리의 대상인 기판은 진공챔버의 일측에 형성된 게이트를 통하여 입출되며, 진공챔버의 기판지지대에서 리프트핀조립체의 리프트핀의 상하이동에 의하여 로딩 및 언로딩된다.Subsequently, the substrate to be subjected to the vacuum process is inputted through a gate formed on one side of the vacuum chamber, and loaded and unloaded by the lifting pin of the lift pin of the lift pin assembly on the substrate support of the vacuum chamber.

그리고 종래의 리프트핀조립체는 진공챔버의 저면에 설치된 플렌지부와, 상단에 리프트핀이 결합되고 리프트핀구동부에 의하여 프렌지부를 관통하여 상하로 이동하는 리프트핀지지부재와, 리프트핀이 결합되는 상단과 플렌지부를 연결하여 진공챔버의 내부공간과 외부를 격리하는 벨로우즈를 포함하여 구성된다.And the conventional lift pin assembly is a flange portion installed on the bottom surface of the vacuum chamber, the lift pin is coupled to the top and the lift pin support member to move up and down through the flange portion by the lift pin driver, and the top and the lift pin is coupled It is configured to include a bellows to connect the flange portion to isolate the inner space and the outside of the vacuum chamber.

여기서 리프트핀이 외부에 설치된 구동부에 의하여 구동이 가능하도록 진공챔버에 관통공이 형성되는바 벨로우즈는 진공챔버 내부의 진공상태를 유지하기 위하여 리프트핀이 설치되는 관통공의 주변에 설치되어 리프트핀의 상하이동을 가능하게 하면서 진공챔버의 내부를 밀폐시키는 기능을 수행한다.Here, the through pin is formed in the vacuum chamber so that the lift pin can be driven by the driving unit installed outside. The bellows is installed around the through hole where the lift pin is installed to maintain the vacuum state inside the vacuum chamber. It performs the function of sealing the inside of the vacuum chamber while enabling movement.

그런데 상기와 같은 구성을 가지는 종래의 리프트핀조립체는 벨로우즈가 파손되는 등 그 유지보수를 위하여 벨로우즈를 교체할 필요가 있는데, 설치되는 기판의 크기가 커지는 경우 설치되는 리프트핀조립체의 개수가 증가하여 교체를 위한 작업시간이 증가할 뿐만 아니라 고가인 벨로우즈의 교체로 인하여 유지보수 비용이 증가하는 문제점이 있다.However, the conventional lift pin assembly having the configuration as described above needs to replace the bellows for maintenance such that the bellows are broken, and when the size of the substrate to be installed is increased, the number of lift pin assemblies to be installed is increased and replaced. In addition to the increase in the working time for the expensive bellows replacement due to the problem that the maintenance cost increases.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 리프트핀조립체에서 벨로우즈를 사용하지 않고 실링부재로 대체함으로써 그 구성 및 조립이 간단한 리프트핀조립체 및 그를 가지는 진공처리장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a lift pin assembly and a vacuum processing apparatus having the same, in which the construction and assembly thereof are simple by replacing the sealing member in the lift pin assembly without using a bellows to solve the above problems.

본 발명의 다른 목적은 리프트핀조립체에서 벨로우즈를 사용하지 않고 수명이 긴 실링부재로 대체하여 교체에 따른 비용을 절감할 수 있는 리프트핀조립체 및 그를 가지는 진공처리장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a lift pin assembly and a vacuum processing apparatus having the same, which can reduce the cost of replacement by replacing the sealing member with a long life without using a bellows in the lift pin assembly.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 진공챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판지지대를 관통하여 설치되어 상하로 이동하여 기판을 상하로 이동시키는 리프트핀부와; 상기 진공챔버의 외부에 설치되며 상기 리프트핀부의 끝단과 결합되어 상기 리프트핀부를 상하로 이동시키도록 구동하는 구동부와; 상기 리프트핀부가 상하로 이동이 가능하도록 슬라이드공이 관통형성되며 상기 진공챔버에 관통형성된 관통공에 고정 결합되는 플렌지부와; 상기 리프트핀부의 외주면과 밀착된 상태로 슬라이딩이 가능하도록 상기 플렌지부 내에 설치되는 하나 이상의 실링부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트핀 조립체를 개시한다.The present invention has been created in order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention is installed in the vacuum chamber is installed through the substrate support on which the substrate is seated to move up and down to move the substrate up and down and the lift pin portion; ; A driving unit installed outside the vacuum chamber and coupled to an end of the lift pin to drive the lift pin up and down; A flange portion through which a slide hole is formed to allow the lift pin to move up and down and fixedly coupled to a through hole formed in the vacuum chamber; Disclosed is a lift pin assembly, characterized in that it comprises at least one sealing member installed in the flange portion so as to slide in close contact with the outer circumferential surface of the lift pin portion.

상기 슬라이드공에는 상기 실링부재의 일부분이 수용되도록 그 내주면에 요 입되어 형성된 수용홈이 형성될 수 있다.The slide hole may be formed with a receiving groove formed in the inner peripheral surface so that a portion of the sealing member is accommodated.

상기 수용홈은 상기 플렌지부 중 상기 진공챔버의 내측을 향하는 면 또는 상기 진공챔버의 외측을 향하는 면에 형성되고, 상기 수용홈은 커버부재에 의하여 복개될 수 있다.The receiving groove may be formed on a surface facing the inner side of the vacuum chamber or a surface facing the outside of the vacuum chamber, and the receiving groove may be covered by a cover member.

상기 플렌지부는 상기 진공챔버 내측을 향하는 면에 상기 리프트핀부의 외주면에 부착되는 이물질을 제거하기 위하여 상기 리프트핀부의 외주면과 밀착되는 밀착공이 관통형성된 이물질제거부가 추가로 설치될 수 있으며, 상기 이물질제거부는 상기 밀착공의 주변에서 돌출 형성될 수 있다. 그리고 상기 이물질제거부는 금속재질 또는 엔지니어링 플라스틱으로 구성될 수 있다.In order to remove the foreign matter attached to the outer circumferential surface of the lift pin part on the surface facing the inner side of the vacuum chamber, the foreign matter removing part may be additionally formed through a close contact hole formed in close contact with the outer circumferential surface of the lift pin part. It may be formed to protrude from the periphery of the close contact hole. The foreign material removing unit may be made of metal or engineering plastic.

상기 슬라이드공에는 상기 리프트핀부의 외주면과 간격을 유지하도록 하는 간격유지부재가 설치될 수 있으며, 탄성변형이 가능한 'C'형상을 이루도록 구성되거나, 상기 슬라이드공에 형성된 삽입홈에 삽입되도록 그 길이방향으로 복수개의 돌출부가 형성될 수 있다. 또한 상기 간격유지부재의 양단 중 적어도 하나는 상기 수용홈의 일부를 이루도록 구성될 수 있다.The slide hole may be provided with a gap retaining member to maintain a gap with the outer peripheral surface of the lift pin portion, it is configured to form a 'C' shape capable of elastic deformation, or its longitudinal direction to be inserted into the insertion groove formed in the slide ball Thus, a plurality of protrusions may be formed. In addition, at least one of both ends of the gap holding member may be configured to form a part of the receiving groove.

상기 리프트핀부는 기판을 지지하는 리프트핀과, 상단에 상기 리프트핀과 탈착가능하게 결합되고 상기 구동부와 연결되어 상하로 이동하는 리프트핀지지부재를 포함하여 구성될 수 있다. The lift pin part may include a lift pin for supporting a substrate, and a lift pin support member detachably coupled to the lift pin at an upper end thereof and connected to the driving part to move up and down.

상기 실링부재는 복수개로 구성되며, 상기 복수개의 실링부재 사이 중 어느 하나의 공간은 외부와 연결되는 연통공이 형성되고, 상기 연통공은 진공펌프와 연결되어 구성될 수 있다.The sealing member is composed of a plurality, any one of the space between the plurality of the sealing member is formed a communication hole is connected to the outside, the communication hole may be configured to be connected to the vacuum pump.

또한 본 발명은 상기와 같은 리프트핀조립체가 설치된 진공처리장치를 개시한다.In another aspect, the present invention discloses a vacuum treatment apparatus provided with a lift pin assembly as described above.

본 발명에 따른 리프트핀조립체는 진공챔버의 내부를 밀폐시키기 위하여 벨로우즈를 사용하는 종래기술에 비하여 실링부재를 사용하므로 그 구조가 간단할 뿐만 아니라, 유지 보수를 위한 교체 작업시 용이하게 교체할 수 있는 이점이 있다.The lift pin assembly according to the present invention uses a sealing member as compared to the prior art that uses a bellows to seal the interior of the vacuum chamber, so that the structure is simple and can be easily replaced during replacement work for maintenance. There is an advantage.

또한, 본 발명에 따른 리프트핀조립체는 유지보수를 위하여 오링과 같은 저가의 실링부재만을 교체하게 되므로 유지보수비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.In addition, the lift pin assembly according to the present invention has the advantage of reducing the maintenance cost because it replaces only a low-cost sealing member such as O-ring for maintenance.

이하 본 발명에 따른 리프트핀조립체 및 그를 가지는 진공처리장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a lift pin assembly and a vacuum processing apparatus having the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 리프트핀조립체가 설치되는 진공처리장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 내부에 진공처리를 위한 처리공간(S)이 형성되며 일측에 진공처리될 기판(1)이 입출될 수 있는 게이트(150)가 형성된 진공챔버(100)를 포함하여 구성된다.In the vacuum processing apparatus in which the lift pin assembly according to the present invention is installed, as shown in FIG. 1, a processing space S for vacuum processing is formed therein, and a substrate 1 to be vacuum-processed on one side may be entered. It is configured to include a vacuum chamber 100, the gate 150 is formed.

상기 진공챔버(100)는 설계조건 및 디자인에 따라서 다양한 형상 및 구조를 가지도록 제작될 수 있으며, 서로 결합되어 처리공간(S)을 형성하는 상부하우징(110) 및 하부하우징(120)을 포함하여 구성될 수 있다.The vacuum chamber 100 includes an upper housing 110 and a lower housing 120, which can be manufactured to have various shapes and structures according to design conditions and designs and are coupled to each other to form a process space S Lt; / RTI >

그리고 상기 진공챔버(100) 내에는 플라즈마를 형성하기 위한 상부전극(130) 및 하부전극, 처리공간(S) 내에서 진공처리를 수행할 수 있는 압력조건(진공압)을 유지하기 위한 배기시스템(미도시), 처리공간(S) 내에 공정가스 등을 주입하기 위한 가스공급시스템(미도시)이 설치될 수 있다.In the vacuum chamber 100, an upper system 130 and a lower electrode for forming plasma, and an exhaust system for maintaining a pressure condition (vacuum pressure) capable of performing vacuum processing in the processing space S ( Not shown) and a gas supply system (not shown) for injecting process gas into the processing space S may be installed.

이때 상기 상부전극(130)에는 가스공급시스템에 의하여 공급되는 공정가스등이 처리공간 내로 주입될 수 있도록 샤워헤드와 일체로 형성될 수 있으며, 상기 하부전극은 진공처리될 기판(1)을 지지하는 기판지지대(140)에 설치될 수 있다.In this case, the upper electrode 130 may be integrally formed with a shower head such that a process gas supplied by a gas supply system may be injected into a processing space, and the lower electrode supports a substrate 1 to be vacuumed. It may be installed on the support 140.

상기 기판지지대(140)는 진공처리를 위한 기판(1)을 지지하기 위한 구성으로서, 진공챔버(100)의 저면에 설치되며 다수개의 플렌지(170)들에 의하여 지지되어 설치될 수 있다.The substrate support 140 is configured to support the substrate 1 for vacuum processing, and is installed on the bottom of the vacuum chamber 100 and supported by a plurality of flanges 170.

그리고 상기 진공처리 후에 기판(1)을 기판지지대(140)로부터 진공챔버(100)의 외부로 배출하거나, 진공처리될 기판(1)을 외부로부터 기판지지대(140)로 기판(1)을 이송할 수 있도록 진공챔버(100)의 측벽에는 게이트(150)가 형성된다. 이때 게이트(150)의 외측에는 처리공간(S)을 밀폐시킬 수 있도록 게이트(150)를 개폐하기 위한 게이트밸브(미도시)가 설치된다.After the vacuum treatment, the substrate 1 may be discharged from the substrate support 140 to the outside of the vacuum chamber 100, or the substrate 1 to be vacuumed may be transferred from the outside to the substrate support 140. The gate 150 is formed on the sidewall of the vacuum chamber 100 so as to be able to do so. At this time, a gate valve (not shown) for opening and closing the gate 150 is installed outside the gate 150 to seal the processing space (S).

한편 진공처리 전후에 기판이 로딩 또는 언로딩되는 데 반송로봇(미도시)이 기판을 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 기판지지대(140) 상에서 다수 개의 리프트핀조립체들에 의하여 상하로 이동되며, 각 리프트핀조립체는 리프트핀부(210)와, 구동부(220)와, 플렌지부(230)와, 실링부재(240)를 포함하여 구성된다.Meanwhile, the substrate is loaded or unloaded before and after the vacuum treatment, and is moved up and down by a plurality of lift pin assemblies on the substrate support 140 so that the carrier robot (not shown) can load or unload the substrate. The pin assembly includes a lift pin 210, a driver 220, a flange 230, and a sealing member 240.

상기 리프트핀부(210)는 상하로 이동하여 기판(1)을 지지하여 상하로 이동시키도록 기판(1)이 안착되는 기판지지대(140)를 관통하여 설치된다. The lift pin part 210 is installed to penetrate the substrate support 140 on which the substrate 1 is seated so as to move up and down to support the substrate 1 and move up and down.

이때 상기 기판지지대(140)에는 리프트핀부(210)가 설치될 수 있도록 상하로 관통형성된 다수개의 리프트핀공(141)들이 형성된다.In this case, a plurality of lift pin holes 141 are formed in the substrate support 140 so that the lift pin unit 210 can be installed.

그리고 상기 리프트핀부(210)는 다양한 구성이 가능하며, 구동부(220)와 연결되어 상하로 이동하는 하나의 부재로 구성될 수 있다. 또한 유지보수가 필요한 경우 손상된 부분만을 교체할 수 있도록 상기 리프트핀부(210)는 도 2에 도시된 바와 같이, 리프트핀(211)과, 상단에 리프트핀(211)이 탈착가능하게 결합되고 하단에 구동부(220)와 연결되어 상하로 이동하는 리프트핀지지부재(212)를 포함하여 구성되는 등 복수 개의 부재로도 구성이 가능하다.In addition, the lift pin unit 210 may be configured in various ways, and may be configured as one member that is connected to the driving unit 220 and moves up and down. In addition, the lift pin unit 210 is replaced with a lift pin 211, the lift pin 211 is detachably coupled to the upper end as shown in FIG. A plurality of members may be configured, including a lift pin support member 212 connected to the driving unit 220 and moving up and down.

상기 리프트핀(211)은 상단이 기판(1)을 지지하도록 구성되며 하단에는 수나사부 등이 형성되어 리프트핀지지부재(212)의 상단에 설치된 연결부재(212a)와 탈착가능하게 결합될 수 있다.The lift pin 211 is configured to support the substrate 1 at an upper end thereof, and a male screw part is formed at the lower end thereof so that the lift pin 211 may be detachably coupled to the connection member 212a installed at the upper end of the lift pin support member 212. .

상기 리프트핀지지부재(212)는 상단은 암나사부가 형성된 연결부재(212a)가 설치될 수 있으며 하단에는 구동부(220)와 연결되어 구동부(220)의 구동에 의하여 종국적으로 리프트핀(211)을 상하로 이동시킨다.The upper end of the lift pin supporting member 212 may be provided with a connection member 212a having a female threaded portion, and the lower end of the lift pin supporting member 212 may be connected to the driving unit 220 to vertically lift the lift pin 211 by driving the driving unit 220. Move to.

상기 구동부(220)는 리프트핀부(210)를 상하로 이동하는 것을 구동하는 구성으로서, 설계조건 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 진공챔버(100)의 외부에 설치되며 리프트핀부(210)의 끝단과 결합되어 리프트핀부(210)를 상하로 이동시키도록 구동한다. 이때 진공챔버(100)의 저면에는 외부에 위치된 구동부(220)와 리프트핀부(210)가 서로 연결될 수 있도록 관통공(121)이 관통형성된다.The drive unit 220 is configured to drive the lift pin unit 210 to move up and down, and various configurations are possible according to design conditions and designs, and are installed outside the vacuum chamber 100 and the lift pin unit 210 Coupled with the end to drive the lift pin 210 to move up and down. At this time, the through hole 121 is formed in the bottom surface of the vacuum chamber 100 so that the driving unit 220 and the lift pin unit 210 located outside are connected to each other.

또한 상기 구동부(220)는 하나의 구동유닛에 의하여 한꺼번에 리프트핀조립 체를 구동하거나, 하나의 구동부에 일부의 리프트핀조립체와 연결하여 구동할 수도 있다.In addition, the driving unit 220 may drive the lift pin assembly at a time by one driving unit, or may be driven by connecting with a part of the lift pin assembly at one driving unit.

상기 플렌지부(230)는 진공챔버(100)에 관통형성된 관통공(121)에 고정결합되며 리프트핀부(210)가 상하로 이동이 가능하도록 슬라이드공(231)이 관통형성된다.The flange portion 230 is fixedly coupled to the through-hole 121 formed through the vacuum chamber 100, the slide hole 231 is formed through the lift pin portion 210 to move up and down.

이때 상기 플렌지부(230)는 내부에 설치된 실링부재(240)에 의하여 진공챔버(100)의 내부를 밀폐시키도록 구성되며, 그 설치위치는 진공챔버(100)의 저면의 하측면 또는 상측면, 관통공 내부, 기판지지대(140)의 저면 등 다양한 위치에 설치될 수 있음은 물론이다.At this time, the flange portion 230 is configured to seal the inside of the vacuum chamber 100 by the sealing member 240 installed therein, the installation position is the lower side or the upper side of the bottom surface of the vacuum chamber 100, Of course, it can be installed in a variety of positions, such as the bottom of the through-hole, the substrate support 140.

한편 상기 플렌지부(230)의 내부에는 실링부재(240)가 리프트핀부(210)의 외주면과 밀착된 상태로 슬라이딩이 가능하도록 설치되는 하나 이상, 바람직하게는 복수 개로 설치된다.On the other hand, the flange portion 230 is provided with one or more, preferably a plurality of sealing members 240 are installed to be in a sliding state in close contact with the outer peripheral surface of the lift pin (210).

상기 실링부재(240)는 밀폐기능을 수행하는 동시에 리프트핀부(210)의 상하이동이 가능하도록 설치됨을 특징으로 한다.The sealing member 240 is characterized in that it is installed to enable the shangdong of the lift pin portion 210 while performing a sealing function.

즉, 상기 실링부재(240)는 리프트핀부(210)의 외주면과 밀착된 상태에서 리프트핀부(210)의 상하이동, 즉 슬라이딩이 가능하여야 하므로 마찰력이 작으면서 밀착상태를 유지할 수 있는 테프론 등의 재질을 가지는 O-링으로 구성될 수 있다.That is, since the sealing member 240 should be able to slide, i.e., slide, the lift pin 210 in a state of being in close contact with the outer circumferential surface of the lift pin 210, a material such as Teflon that can maintain a close contact with a small frictional force. It can be configured as an O-ring having.

한편 상기 플렌지부(230)의 슬라이드공(231)에는 실링부재(240)의 일부분이 수용되도록 그 내주면에 요입되어 형성된 수용홈(232, 233)이 형성될 수 있으며, 수용홈(232, 233)은 슬라이드공(231)의 내주면에서 외경 쪽으로 요입되어 형성된 다.Meanwhile, the slide holes 231 of the flange portion 230 may include receiving grooves 232 and 233 formed in the inner circumferential surface of the slide hole 231 to accommodate a portion of the sealing member 240, and receiving grooves 232 and 233. Is concavely formed toward the outer diameter from the inner peripheral surface of the slide hole (231).

그리고 상기 수용홈(232, 233) 중 적어도 일부의 수용홈(232)은 실링부재(240)의 설치가 용이하도록 플렌지부(230) 중 진공챔버(100)의 내측을 향하는 면 또는 진공챔버(100)의 외측을 향하는 면 중 어느 하나 또는 모두에 형성되고, 도 2 내지 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 그 수용홈(232, 234)은 커버부재(235)에 의하여 복개될 수 있다.At least a portion of the receiving grooves 232 of the receiving grooves 232 and 233 may be a surface facing the inside of the vacuum chamber 100 or the vacuum chamber 100 of the flange portion 230 to facilitate the installation of the sealing member 240. It is formed on any one or both of the outer surface of the), as shown in Figures 2 to 3 and 5, the receiving grooves (232, 234) can be covered by the cover member 235.

한편 상기 진공챔버(100)의 처리공간에서는 진공처리 시에 파티클이 발생될 수 있는데 이러한 파티클은 리프트핀부(210)가 상승할 때 리프트핀공(141), 각 부재들 사이(플렌지(170)와 기판지지대(140)의 사이)에 형성될 수 있는 미세한 틈을 통하여 리프트핀조립체 쪽으로 유입될 수 있다. 그리고 이러한 파티클은 슬라이드공(231) 내부로 유입되어 실링부재(240)를 파손시키거나 리프트핀부(210)의 이동을 방해할 수 있다Particles may be generated during the vacuum treatment in the processing space of the vacuum chamber 100. The particles are lift pin holes 141 when the lift pin 210 is raised, between the members (flange 170 and the substrate). It may flow into the lift pin assembly through a minute gap that can be formed between the support (140). In addition, the particles may be introduced into the slide hole 231 to damage the sealing member 240 or may hinder the movement of the lift pin 210.

따라서 상기 플렌지부(230)는 진공챔버(100) 내측을 향하는 면에 리프트핀부(210)의 외주면에 부착되는 이물질을 제거하기 위하여 리프트핀부(210)의 외주면과 밀착되는 밀착공(251)이 관통형성된 이물질제거부(250)가 추가로 설치될 수 있다. 이때 이물질제거부(250)는 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상술한 커버부재(235) 중의 하나로서 기능을 수행할 수 있다.Therefore, the flange portion 230 penetrates the close contact hole 251 in close contact with the outer circumferential surface of the lift pin portion 210 to remove foreign matter attached to the outer circumferential surface of the lift pin portion 210 on the surface facing the inside of the vacuum chamber 100. The formed foreign matter removing unit 250 may be additionally installed. In this case, the foreign matter removing unit 250 may perform a function as one of the cover members 235 described above as shown in FIGS. 2 and 5.

상기 이물질제거부(250)는 리프트핀부(210)의 외주면과 밀착됨으로써 리프트핀부(210)가 이동할 때 리프트핀부(210)의 외주면에 부착된 파티클을 긁힘에 의하여 제거하게 된다.The foreign material removing unit 250 is in close contact with the outer circumferential surface of the lift pin unit 210 to remove the particles attached to the outer circumferential surface of the lift pin unit 210 by scratching when the lift pin unit 210 moves.

이때 상기 이물질제거부(250)는 파티클의 제거가 용이하도록 밀착공(251)의 주변에서 상측으로 돌출 형성된 돌출부(252)를 포함하는 것이 바람직하다. 이때 돌출부(252)의 끝단은 리프트핀부(210)의 외주면과 밀착될 필요가 있으며 밀착공(251)은 밀착되지 않아도 무방하다.At this time, the foreign material removing unit 250 preferably includes a protrusion 252 protruding upward from the periphery of the close contact hole 251 to facilitate the removal of particles. At this time, the end of the protruding portion 252 needs to be in close contact with the outer circumferential surface of the lift pin portion 210 and the contact hole 251 may not be in close contact.

그리고 상기 이물질제거부(250)의 재질은 금속 또는 플라스틱재질이 사용될 수 있으며, 리프티핀부(210)의 외주면의 보호하면서 플라즈마에 강한 재질인 엔지니어링 플라스틱이 사용되는 것이 바람직하다.In addition, the material of the foreign material removing unit 250 may be a metal or plastic material, it is preferable that an engineering plastic which is a material resistant to plasma while protecting the outer peripheral surface of the leaf tip pin 210.

한편 상기 슬라이드공(231)의 내부에는 리프트핀부(210)의 외주면과 간격을 유지하도록 하는 간격유지부재(260)가 추가로 설치될 수 있다.On the other hand, the interior of the slide hole 231 may be additionally provided with a gap maintaining member 260 to maintain a gap with the outer peripheral surface of the lift pin (210).

상기 간격유지부재(260)는 리프트핀부(210)를 안정적으로 지지하도록 슬라이드공(231)의 중앙부에 설치됨이 바람직하며, 슬라이드공(231)에는 간격유지부재(260)가 설치될 수 있도록 설치홈(236)이 형성될 수 있다.The spacing holding member 260 is preferably installed at the center of the slide hole 231 to stably support the lift pin 210, the installation groove so that the spacing holding member 260 can be installed in the slide hole 231 236 may be formed.

또한 상기 간격유지부재(260)는 외경부에 길이방향으로 돌출부가 형성되고 상기 슬라이드공(231)에는 간격유지부재(260)의 돌출부가 삽입될 수 있도록 요홈부가 형성될 수 있다.In addition, the gap holding member 260 may have a protrusion formed in an outer diameter portion thereof in a longitudinal direction, and a groove may be formed in the slide hole 231 so that the protrusion of the gap holding member 260 may be inserted therein.

그리고 상기 간격유지부재(260)는 슬라이드공(231)에 용이하게 삽입될 수 있도록 도 2에 도시된 바와 같이, 양단 중 적어도 하나가 수용홈(232, 233)의 일부를 이루도록 구성될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 2, the gap maintaining member 260 may be configured to form part of the receiving grooves 232 and 233 so that the gap holding member 260 may be easily inserted into the slide hole 231.

또한 상기 간격유지부재(260)는 도 4a에 도시된 바와 같이, 슬라이드공(231)에 용이하게 삽입될 수 있도록 탄성변형이 가능한 'C'형상의 슬리브관으로 형성될 수 있다.In addition, the gap maintaining member 260 may be formed as a 'C' shaped sleeve tube that is elastically deformable so as to be easily inserted into the slide hole 231 as shown in FIG. 4A.

또한 상기 간격유지부재(260)는 도 4b에 도시된 바와 같이, 복수개의 돌출부(261)가 외주면에 길이방향으로 돌출 형성되고, 슬라이드공(231)에는 돌출부(261)만이 삽입되도록 하는 설치홈(236)이 형성될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 4B, the gap maintaining member 260 has a plurality of protrusions 261 protruding in the longitudinal direction on the outer circumferential surface thereof, and an installation groove for inserting only the protrusions 261 into the slide hole 231 ( 236 may be formed.

한편 상기 간격유지부재(260)가 설치되는 경우 슬라이드공(231)의 내주면과 리프트핀부(210)의 외주면과의 마찰에 의하여 리프트핀부(210)의 상하이동을 방해하는 것을 방지할 수 있다.On the other hand, when the gap holding member 260 is installed, it is possible to prevent the lift pin portion 210 from moving up and down by friction between the inner circumferential surface of the slide hole 231 and the outer circumferential surface of the lift pin portion 210.

한편 상기 실링부재(240)가 슬라이드공(231) 내에 복수 개로 설치된 경우 밀착상태 또는 손상에 의하여 누설이 발생되어 외부공기가 진공챔버(100) 내부로 유입될 수 있다.On the other hand, when the sealing member 240 is installed in plural in the slide hole 231, leakage may occur due to a close contact or damage, and external air may flow into the vacuum chamber 100.

따라서 복수개의 실링부재(230) 사이 중 어느 하나의 공간에는 도 5에 도시된 바와 같이, 외부와 연결되는 연통공(237)이 형성되고, 연통공(237)은 흡입이 가능하도록 진공펌프(180)와 연결될 수 있다. 이때 연통공(237)에는 누설을 감지할 수 있도록 압력센서 등과 같은 감지장치가 설치됨이 바람직하다.Accordingly, as shown in FIG. 5, a communication hole 237 connected to the outside is formed in one of the spaces among the plurality of sealing members 230, and the communication hole 237 is a vacuum pump 180 to allow suction. ) Can be connected. In this case, it is preferable that a communication device such as a pressure sensor is installed in the communication hole 237 to detect leakage.

한편 본 발명에 따는 리프트핀조립체는 내부가 진공상태를 유지하지 않더라도 외부와 격리될 필요가 있는 챔버에 적용될 수 있음은 물론이다.Meanwhile, the lift pin assembly according to the present invention may be applied to a chamber that needs to be isolated from the outside even if the inside does not maintain a vacuum state.

도 1은 본 발명에 따른 리프트핀조립체가 설치된 진공처리장치를 보여주는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a vacuum processing apparatus in which a lift pin assembly according to the present invention is installed.

도 2는 도 1에서 A부분을 확대한 확대단면도이다.FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a portion A enlarged in FIG. 1.

도 3는 도 1의 리프트핀조립체를 분해한 분해 단면도이다.3 is an exploded cross-sectional view of the lift pin assembly of FIG. 1;

도 4a는 도 1의 리프트핀조립체의 간격유지부의 변형례를 보여주는 사시도이다.4A is a perspective view illustrating a modified example of the gap maintaining part of the lift pin assembly of FIG. 1.

도 4b는 도 1의 리프트핀조립체의 간격유지부의 다른 변형례를 보여주는 수평단면도이다.4B is a horizontal cross-sectional view illustrating another modified example of the gap maintaining part of the lift pin assembly of FIG. 1.

도 5는 도 1의 리프트핀조립체의 변형례를 보여주는 확대단면도이다.5 is an enlarged cross-sectional view illustrating a modification of the lift pin assembly of FIG. 1.

***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *****Description of Reference Numerals to Main Parts of the Drawings *****

100 : 진공챔버100: vacuum chamber

210 : 리프트핀부 220 : 구동부210: lift pin 220: drive

230 : 플렌지부 240 : 실링부재230: flange portion 240: sealing member

Claims (12)

진공챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판지지대를 관통하여 설치되어 상하로 이동하여 기판을 상하로 이동시키는 리프트핀부와;A lift pin unit installed in the vacuum chamber and installed through a substrate support on which the substrate is seated to move up and down to move the substrate up and down; 상기 진공챔버의 외부에 설치되며 상기 리프트핀부의 끝단과 결합되어 상기 리프트핀부를 상하로 이동시키도록 구동하는 구동부와;A driving unit installed outside the vacuum chamber and coupled to an end of the lift pin to drive the lift pin up and down; 상기 리프트핀부가 상하로 이동이 가능하도록 슬라이드공이 관통형성되며 상기 진공챔버에 관통형성된 관통공에 고정 결합되는 플렌지부와;A flange portion through which a slide hole is formed to allow the lift pin to move up and down and fixedly coupled to a through hole formed in the vacuum chamber; 상기 리프트핀부의 외주면과 밀착된 상태로 슬라이딩이 가능하도록 상기 플렌지부 내에 설치되는 하나 이상의 실링부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트핀 조립체.Lift pin assembly, characterized in that it comprises at least one sealing member installed in the flange portion to enable sliding in close contact with the outer peripheral surface of the lift pin portion. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 슬라이드공에는 상기 실링부재의 일부분이 수용되도록 그 내주면에 요입되어 형성된 수용홈이 형성된 것을 특징으로 하는 리프트핀 조립체.The slide hole is a lift pin assembly, characterized in that the receiving groove formed in the recess formed in the inner peripheral surface so that a portion of the sealing member is accommodated. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 수용홈은 상기 플렌지부 중 상기 진공챔버의 내측을 향하는 면 또는 상기 진공챔버의 외측을 향하는 면에 형성되고,The receiving groove is formed on the surface facing the inner side of the vacuum chamber or the surface facing the outer side of the vacuum chamber, 상기 수용홈은 커버부재에 의하여 복개되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 조 립체.The receiving groove is lift pin assembly, characterized in that covered by the cover member. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 플렌지부는 상기 진공챔버 내측을 향하는 면에 상기 리프트핀부의 외주면에 부착되는 이물질을 제거하기 위하여 상기 리프트핀부의 외주면과 밀착되는 밀착공이 관통형성된 이물질제거부가 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는 리프트핀조립체.The flange part is a lift pin assembly, characterized in that the foreign matter removal portion is formed through the contact hole in close contact with the outer circumferential surface of the lift pin portion in order to remove the foreign matter attached to the outer circumferential surface of the lift pin portion on the surface facing the inside of the vacuum chamber. . 청구항 4에 있어서,The method of claim 4, 상기 이물질제거부는 상기 밀착공의 주변으로 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 리프트핀조립체.The foreign matter removing unit is characterized in that the lift pin assembly, characterized in that protruding to the periphery of the contact hole. 청구항 4에 있어서,The method of claim 4, 상기 이물질제거부는 금속재질 또는 엔지니어링 플라스틱인 것을 특징으로 하는 리프트핀조립체.The foreign material removing unit is a lift pin assembly, characterized in that the metal material or engineering plastics. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서, The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 슬라이드공에는 상기 리프트핀부의 외주면과 간격을 유지하도록 하는 간격유지부재가 설치된 것을 특징으로 하는 리프트핀조립체.The slide pin assembly is a lift pin assembly, characterized in that the gap holding member is installed to maintain a gap with the outer peripheral surface of the lift pin portion. 청구항 7에 있어서,The method of claim 7, 상기 간격유지부재는 탄성변형이 가능한 'C'형상을 이루거나, 상기 슬라이드공에 형성된 설치홈에 삽입되도록 그 길이방향으로 복수개의 돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 리프트핀조립체.The gap retaining member has a 'C' shape capable of elastic deformation, or lift pin assembly, characterized in that a plurality of protrusions are formed in the longitudinal direction to be inserted into the installation groove formed in the slide hole. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 슬라이드공에는 상기 리프트핀부의 외주면과 간격을 유지하도록 하는 간격유지부재가 설치되며,The slide hole is provided with a gap maintaining member to maintain a gap with the outer peripheral surface of the lift pin, 상기 간격유지부재의 양단 중 적어도 하나는 상기 수용홈의 일부를 이루는 것을 특징으로 하는 리프트핀조립체.Lift pin assembly, characterized in that at least one of both ends of the gap holding member forms a portion of the receiving groove. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 싱기 리프트핀부는 리프트핀과, 상단에 상기 리프트핀과 탈착가능하게 결합되고 상기 구동부와 연결되어 상하로 이동하는 리프트핀지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트핀조립체.A lift pin assembly comprising a lift pin and a lift pin and a lift pin supporting member detachably coupled to the lift pin at an upper end thereof and connected to the driving unit to move up and down. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 실링부재는 복수개로 구성되며, 상기 복수개의 실링부재 사이 중 어느 하나의 공간은 외부와 연결되는 연통공이 형성되고,The sealing member is composed of a plurality, any one of the space between the plurality of sealing members is formed with a communication hole connected to the outside, 상기 연통공은 진공펌프와 연결되는 것을 특징으로하는 리프트핀조립체.The communication hole is a lift pin assembly, characterized in that connected to the vacuum pump. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 따른 리프트핀조립체가 설치된 진공처리장치.Claims 1 to 3, wherein the lift pin assembly according to any one of the vacuum processing apparatus is installed.
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