KR101291966B1 - 실리콘계 나노입자 포집 시스템 및 이에 사용되는 나노입자 포집/보관용기 - Google Patents

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Abstract

실리콘계 나노입자 포집 시스템 및 이에 사용되는 나노입자 포집/보관용기가 제공된다.
본 발명은 나노입자 포집시스템으로, 상기 시스템은 나노입자 및 캐리어 가스가 유입되는 유입라인; 상기 유입라인에 연결된 복수 개의 나노입자 포집/보관 용기; 상기 유입라인으로부터 유입된 캐리어 가스가 상기 나노입자 포집/보관 용기로부터 배출되는 캐리어가스 배출라인을 포함하며, 여기에서 상기 나노입자 포집/보관 용기는 상기 용기의 일 측에 구비되어, 상기 유입라인에 연결된 나노입자 유입부; 상기 용기 내에 구비되는 필터 스크린; 및 상기 필터 스크린을 통과한 캐리어 가스를 외부로 배출시키도록 상기 용기에 구비되며, 상기 캐리어가스 배출라인과 연결된 캐리어 가스 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 나노입자 포집시스템은 캐리어 가스와 함께 유입되는 나노입자를 하나의 유입라인에 연결된 복수 개의 나노입자 용기에 포집시킨다. 따라서, 일정 수준의 나노입자가 포집된 나노입자 용기는 유입시스템으로부터 분리되어, 포집/보관된 증착 시스템에 나노입자를 제공한다. 이때 나노입자의 외부 노출은 없기 때문에, 외부물질에 의한 나노입자 오염을 방지하며, 공정에 따라 복수 개의 나노입자 용기를 사용, 연속적인 나노입자 증착이 가능하다.

Description

실리콘계 나노입자 포집 시스템 및 이에 사용되는 나노입자 포집/보관용기{Capturing system for silicone-series nano-particle and capturing/containg vessel using for the same}
본 발명은 실리콘계 나노입자 포집 시스템 및 이에 사용되는 나노입자 포집/보관용기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어 가스에 의하여 유입되는 실리콘계 나노입자를 복수 개의 나노입자 포집/보관 용기에 포집/보관하여, 선택적으로 나노입자 용기를 분리, 박막 증착공정에 활용할 수 있는 실리콘계 나노입자 포집 시스템 및 이에 사용되는 나노입자 포집/보관용기에 관한 것이다.
태양전지 시장의 대부분을 차지하는 벌크형 실리콘 태양전지는 높은 효율에도 불구하고 높은 원가라는 한계가 있다. 이러한 한계를 극복하기 위한 시도로서 박막 태양전지가 활발히 연구되고 있다.
박막 태양전지 형태 중 하나는 저가의 기판, 예를 들면 유리, 금속판 또는 플라스틱 상에 박막 형태로 실리콘, 게르마늄 등의 실리콘계 물질을 증착시킨 형태이며, 벌크형 실리콘 태양전지에 비하여 낮은 원가라는 장점과 함께, 하부 기판 특성에 따라 플렉서블 태양전지 등이 가능하다는 장점이 있다.
더 나아가, 실리콘계 박막 태양전지의 효율을 향상시키고자 미리 합성된 실리콘계나노입자를 기판에 도입하는 기술이 있다. 상기 도입 기술로서 예를 들면 미리 합성된 나노입자를 함유하는 페이스트 또는 잉크 등을 박막 태양전지 기판에 도포시키는 기술이 있는데, 이 경우 미세한 크기 및 높은 표면적을 갖는 나노입자들이 외부에 노출되게 된다. 즉, 외부 공기나 조건에 나노입자들이 노출됨으로써 오염이 발생할 가능성이 높아지고, 더 나아가, 오염된 나노입자에 의하여 박막 태양전지의 효율이 떨어질 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여, 별도의 나노입자 용기를 이용하여, 나노입자를 포집/보관하는 기술이 필요로 한다.
따라서 본 발명이 해결하려는 과제는 일정 압력이 유지되며, 나노입자를 가능한 외부에 노출시키지 않고 별도의 이송수단을 사용하지 않고서도 기판에 증착시킬 수 있는 나노입자 포집/보관용기를 이용한 나노입자 입자 포집시스템을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는 상술한 나노입자 포집시스템을 이용하여, 나노입자를 효과적으로 포집/보관할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 나노입자 포집시스템으로, 상기 시스템은 나노입자 및 캐리어 가스가 유입되는 유입라인; 상기 유입라인에 연결된 복수 개의 나노입자 포집/보관 용기; 상기 유입라인으로부터 유입된 캐리어 가스가 상기 나노입자 포집/보관 용기로부터 배출되는 캐리어가스 배출라인을 포함하며, 여기에서 상기 나노입자 포집/보관 용기는 상기 나노입자 포집/보관 용기의 일 측에 구비되어, 상기 유입라인에 연결된 나노입자 유입부; 상기 나노입자 포집/보관 용기 내에 구비되는 필터 스크린; 및 상기 필터 스크린을 통과한 캐리어 가스를 외부로 배출시키도록 상기 나노입자 포집/보관 용기에 구비되며, 상기 캐리어가스 배출라인과 연결된 캐리어 가스 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 나노입자 포집/보관 용기의 내부 공간은 상기 필터 스크린에 의해 제 1 공간과, 상기 제 1 공간보다 위에 위치하는 제 2 공간으로 분획하며, 상기 나노입자 유입부는 아래쪽의 제 1 공간에 구비되고, 상기 캐리어가스 배출부는 위쪽의 제 2 공간에 구비된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 나노입자 포집/보관 용기 내의 제 1 공간으로 유입된 나노입자는 상기 필터 스크린에 의하여 상기 제 2 공간으로 이동되지 못하며, 상기 나노입자를 유입시킨 캐리어 가스는 상기 필터 스크린을 지나 제 2 공간으로 이동되며, 상기 나노입자 유입부, 캐리어가스 배출부에는 각각 밸브가 구비된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 나노입자 포집/보관 용기에는 상기 나노입자를 외부로 배출시킬 수 있는 나노입자 배출부가 구비되며, 상기 나노입자 유입라인으로부터 분기된 각각의 개별 라인이 상기 복수 개의 나노입자 포집/보관용기의 나노입자 유입부에 각각 체결된다. 또한, 상기 나노입자 포집/보관용기는 상기 나노입자 유입라인 및 캐리어가스 배출라인으로부터 분리될 수 있다.
본 발명은 상기 또 다른 과제를 해결하기 위하여, 상술한 나노입자 포집시스템에 사용되는 나노입자 포집/보관 용기를 제공한다.
본 발명에 따른 나노입자 포집시스템은 캐리어 가스와 함께 유입되는 나노입자를 하나의 유입라인에 연결된 복수 개의 나노입자 포집/보관 용기에 포집시킨다. 따라서, 일정 수준의 나노입자가 포집된 나노입자 포집/보관 용기는 유입시스템으로부터 분리되어, 포집/보관된 증착 시스템에 나노입자를 제공한다. 이때 나노입자의 외부 노출은 없기 때문에, 외부물질에 의한 나노입자 오염을 방지하며, 공정에 따라 복수 개의 나노입자 포집/보관 용기를 사용, 연속적인 나노입자 증착이 가능하다.
도 1 및 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 나노입자 포집 시스템에서 사용되는 나노입자 포집/보관 용기의 단면도와 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 나노입자 포집시스템의 모식도이다.
이하, 본 발명을 도면을 참조하여 상세하게 설명하고자 한다. 다음에 소개되는 실시예들은당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 설명된 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1 및 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 나노입자 포집 시스템에서 사용되는 나노입자 포집/보관 용기의 단면도와 사시도이다. 본 발명에서 상기 나노입자 포집/보관 용기는 주입되는 나노입자를 포집한 후, 증착을 위하여 보관하는 밀폐형 용기이다.
도 1과 2를 참조하면, 나노입자 포집/보관 용기(10)의 일 측에는 캐리어 가스와 함께 나노입자가 유입되는 나노입자 유입부(11)가 구비된다. 상기 나노입자 유입부(11)를 통하여 외부에서 제조된 나노입자가 아르곤 등과 같은 캐리어 가스가 상기 나노입자 포집/보관 용기(10) 내로 유입되며, 상기 나노입자 유입부(11)에는 상기 캐리어 가스의 유입을 차단할 수 있는 제 1 밸브(12)가 구비될 수 있다.
상기 나노입자 유입부(11)를 통하여 유입된 나노입자는 상기 나노입자 포집/보관 용기(10) 내에 체류하게 되는데, 본 발명에 따른 상기 나노입자 포집/보관 용기(10)에는 상기 나노입자의 외부 배출을 방지하는 필터 스크린(13)이 상기 나노입자 포집/보관 용기(10) 내에 구비된다. 이때 아르곤과 같은 캐리어 가스의 배출을 원활히 촉진하기 위하여, 필터 스크린(13)은 나노입자 포집/보관 용기(10) 내의 위쪽에 구비되는 것이 바람직하다. 이로써 필터 스크린(13) 위쪽으로 나노입자는 배출되지 않고, 다만 캐리어 가스만이 위쪽으로 배출되어, 나노입자 포집/보관 용기 외부에 구비된 캐리어가스 배출부(14)을 통하여 배출된다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 캐리어 가스 배출부(14)에는 별도의 제 2 밸브(15)가 구비될 수 있으며, 상기 캐리어가스 배출부(14)로부터 상기 나노입자 포집/보관 용기(10)는 탈부착될 수 있다. 이로써 목적하는 양의 나노입자를 나노입자 포집/보관 용기에 주입한 후, 상기 제 2 밸브(15)를 먼저 폐쇄하고, 제 1 밸브(12)를 나중에 폐쇄함으로써 상기 나노입자 포집/보관 용기(10)는 닫힌 시스템이 된다. 이후, 상기 나노입자 포집/보관 용기(10)는 분리되어, 이동할 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 필터 스크린(13)이 구비된 나노입자 포집/보관 용기(10) 하부 공간의 일 측에는 나노입자 배출부(16)가 구비되는데, 상기 나노입자 배출부(16)에는 또 다른 제 3 밸브(17)이 구비된다.
본 발명에서 상기 나노입자 포집/보관 용기(10)의 내부 공간은 필터 스크린(13)에 의해 제 1 공간(10a)과, 제 1 공간(10a)보다 위에 위치하는 제 2 공간으로 분획한다. 특히 아래쪽의 제 1 공간(10a)에는 나노입자가 유입되어, 포집/보관되고, 위쪽의 제 2 공간(10b)으로는 캐리어가스가 배출된다. 따라서, 아래쪽의 제 1 공간(10a)에는 나노입자 유입부가, 위쪽의 제 2 공간(10b)에는 캐리어가스 배출부가 구비되며, 상기 나노입자 유입부와 캐리어가스 배출부는 별도의 외부 라인과 연결될 수 있는 체결구조를 갖는 것이 바람직하다. 본 발명에 따르면, 나노입자 유입부로부터 상기 나노입자 포집/보관 용기 내의 제 1 공간(10a)으로 유입된 나노입자는 상기 필터 스크린에 의하여 상기 제 2 공간(10b)으로 이동되지 못하며, 상기 나노입자를 유입시킨 캐리어 가스는 상기 필터 스크린을 지나 제 2 공간-캐리어가스 배출부를 통하여 배출된다.
본 발명은 도 1에 도시된 나노입자 포집/보관용기를 이용한 나노입자 포집 시스템을 제공한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 나노입자 포집시스템의 모식도이다.
도 3을 참조하면, 도 1에 도시된 나노입자 포집/보관용기가 나노입자 유입라인(20)에 연결된다. 상기 나노입자 유입라인(20)으로부터 분기된 각각의 개별 라인(20a, 20b, 20c)은 상기 나노입자 포집/보관 용기 각각의 나노입자 유입부(11)에 체결된다. 이로써 나노입자 유입라인(20)을 통하여 캐리어 가스에 의하여 유입된 나노입자는 도 1의 나노입자 포집/보관 용기로 유입된다. 상기 유입된 나노입자는 필터 스크린(13)에 의하여 걸러지며, 필터스크린(13) 아래 공간에 포집된다. 반면, 나노입자를 유입시킨 캐리어 가스는 다시 필터스크린(13) 위쪽에 구비된 캐리어가스 배출부(14)를 통하여 캐리어가스 배출라인(21)으로 배출된다. 따라서, 나노입자를 제조하는 장치(미도시)로부터 배출된 나노입자를 하나의 나노입자 유입라인에서 캐리어가스와 함께 동시에 유입시키고, 다시 상기 유입라인에 복수 개의 나노입자 용기를 유체연통하도록 연결시킴으로써, 복수 개의 나노입자 포집/보관 용기에서 나노입자를 동시에 포집시킬 수 있다.
이후, 나노입자가 포집/보관된 나노입자 포집/보관 용기(10)를 유입라인(20)과 배출라인(21)으로부터 분리시킴으로써 이동가능한 나노입자 포집/보관 용기가 가능해지는데, 이때 도 1 및 2에 도시된 바와 같이, 나노입자 포집/보관 용기(10)에 연결된 유입, 배출부의 밸브를 폐쇄시킴으로써 용기를 닫힌 시스템으로, 이동가능하게 구성할 수 있다.
본 발명에 따르면, 실리콘계 나노입자는 증착장치로의 이송과정 중 외부에 노출되지 않고, 도 3에 따른 시스템에 의하여 나노입자가 포집/보관된 도 1 및 2의 나노입자 포집/보관 용기를 밀봉된 상태에서 증착장치와 연결, 대기압 미만의 진공 상태가 유지되는 증착장치로 직접 나노입자를 이송시키므로, 나노입자의 오염 또는 입자 응집(aggregation), 그리고 오염 및 응착을 방지하기 위한 나노입자 표면처리 공정 등이 필요하지 않게 된다.
이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들을 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 한다.

Claims (9)

  1. 나노입자 포집시스템으로, 상기 시스템은
    나노입자 및 캐리어 가스가 유입되는 유입라인;
    상기 유입라인에 연결된 복수 개의 나노입자 포집/보관 용기;
    상기 유입라인으로부터 유입된 캐리어 가스가 상기 나노입자 포집/보관 용기로부터 배출되는 캐리어가스 배출라인을 포함하며, 여기에서 상기 나노입자 포집/보관 용기는
    상기 나노입자 포집/보관 용기의 일 측에 구비되어, 상기 유입라인에 연결된 나노입자 유입부;
    상기 나노입자 포집/보관 용기 내에 구비되는 필터 스크린; 및
    상기 필터 스크린을 통과한 캐리어 가스를 외부로 배출시키도록 상기 나노입자 포집/보관 용기에 구비되며, 상기 캐리어가스 배출라인과 연결된 캐리어 가스 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 나노입자 포집/보관 용기의 내부 공간은 상기 필터 스크린에 의해 제 1 공간과, 상기 제 1 공간보다 위에 위치하는 제 2 공간으로 분획하는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 나노입자 유입부는 아래쪽의 제 1 공간에 구비되고, 상기 캐리어가스 배출부는 위쪽의 제 2 공간에 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 나노입자 포집/보관 용기 내의 제 1 공간으로 유입된 나노입자는 상기 필터 스크린에 의하여 상기 제 2 공간으로 이동되지 못하며, 상기 나노입자를 유입시킨 캐리어 가스는 상기 필터 스크린을 지나 제 2 공간으로 이동되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 나노입자 유입부, 캐리어가스 배출부에는 각각 밸브가 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 나노입자 포집/보관 용기에는 상기 나노입자를 외부로 배출시킬 수 있는 나노입자 배출부가 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 나노입자 유입라인으로부터 분기된 각각의 개별 라인이 상기 복수 개의 나노입자 포집/보관용기의 나노입자 유입부(11)에 각각 체결되는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 나노입자 포집/보관용기는 상기 나노입자 유입라인 및 캐리어가스 배출라인으로부터 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 나노입자 포집시스템.
  9. 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 따른 나노입자 포집시스템에 사용되는 나노입자 포집/보관 용기.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10137427B2 (en) 2015-02-27 2018-11-27 Shonano Co., Ltd Nanoparticle preparation device using laser

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101386611B1 (ko) * 2013-01-14 2014-04-17 한국에너지기술연구원 나노 입자 트랩 유닛 및 이를 갖는 나노 입자 포집 장치
WO2017074084A1 (ko) * 2015-10-29 2017-05-04 ㈜에이치아이엠앤드에이코리아 Siox의 포집장치 및 포집방법
KR102021946B1 (ko) * 2017-10-27 2019-11-04 한국에너지기술연구원 나노입자 연속 포집 장치 및 연속 포집 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002159817A (ja) 2000-11-22 2002-06-04 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 乾留ガス中の微細粒子捕集装置
KR20090077549A (ko) * 2008-01-11 2009-07-15 한국기계연구원 수직형 자기기록 소자용 구형 바륨페라이트 나노입자제조장치 및 이를 이용한 바륨페라이트 나노입자 제조방법
KR20100131069A (ko) * 2009-06-05 2010-12-15 한국에너지기술연구원 탄소나노튜브와 수소가스를 생산하는 필터반응장치 및 이를 이용하여 메탄으로부터 탄소나노튜브와 수소가스를 생산하는 방법
KR20110015250A (ko) * 2009-08-07 2011-02-15 한국에너지기술연구원 유동층 건조 및 분류장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002159817A (ja) 2000-11-22 2002-06-04 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 乾留ガス中の微細粒子捕集装置
KR20090077549A (ko) * 2008-01-11 2009-07-15 한국기계연구원 수직형 자기기록 소자용 구형 바륨페라이트 나노입자제조장치 및 이를 이용한 바륨페라이트 나노입자 제조방법
KR20100131069A (ko) * 2009-06-05 2010-12-15 한국에너지기술연구원 탄소나노튜브와 수소가스를 생산하는 필터반응장치 및 이를 이용하여 메탄으로부터 탄소나노튜브와 수소가스를 생산하는 방법
KR20110015250A (ko) * 2009-08-07 2011-02-15 한국에너지기술연구원 유동층 건조 및 분류장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10137427B2 (en) 2015-02-27 2018-11-27 Shonano Co., Ltd Nanoparticle preparation device using laser

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