KR101279378B1

KR101279378B1 - 기판처리장치

Info

Publication number: KR101279378B1
Application number: KR1020110071933A
Authority: KR
Inventors: 박호윤
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2011-07-20
Filing date: 2011-07-20
Publication date: 2013-07-24
Also published as: KR20130011053A

Abstract

본 발명은 기판의 표면처리를 안정적으로 수행할 수 있고, 상기 기판의 표면처리를 위한 약액의 사용량을 줄일 수 있는 기판처리장치에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 기판을 이송시킴과 동시에 상기 기판의 하면을 약액으로 젖게 하기 위하여 회전하는 복수 개의 이송롤러, 그리고 상기 약액이 담겨지고, 상기 복수 개의 이송롤러 각각의 하부에 설치되되, 이격되어 배치되는 복수 개의 약액공급조를 포함하며, 상기 이송롤러는 상기 기판의 하면과 접촉하며 상기 약액공급조에 수용되는 롤러몸체와, 상기 롤러몸체를 회전시키기 위하여 상기 롤러몸체의 양측단에 연장형성되는 제1 회전축부 및 제2 회전축부를 가지는 회전축을 포함하며, 상기 제1 회전축부는 중공형상을 가지면서 상기 약액공급조의 외측에 배치되는 제1 중공축영역을 가지고 있고, 상기 제1 중공축영역에는 제1 약액공급부가 형성되어 있으며, 상기 약액은 상기 제1 약액공급부를 통하여 상기 제1 중공축영역으로 유입된 후 상기 제1 중공축영역과 연통된 상기 롤러몸체의 내부를 경유하여 상기 약액공급조로 공급되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 제공한다.

Description

기판처리장치{Apparatus for treating substrate}

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 특정표면에 대한 표면처리를 안정적으로 수행할 수 있고, 상기 기판의 표면처리를 위한 약액의 사용량을 줄일 수 있는 기판처리장치에 관한 것이다.

일반적으로 기판의 표면에 대하여 현상, 에칭, 박리, 세척 등의 특정 목적을 위한 표면처리를 하기 위하여 상기 기판의 표면에 현상액, 에칭액, 박리액, 세척액 등을 공급하게 된다.

특히, 기판에 코팅된 코팅층을 제거하기 위하여 상기 기판의 특정표면에만 처리액을 공급하는 경우에는 일반적으로 상기 처리액의 표면장력에 의하여 상기 기판의 표면이 상기 처리액이 묻은 롤러와의 직접적인 접촉을 통하여 젖게 되는 방식이 사용된다.

이러한 방식은 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0082642호 및 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0093794호에 기재되어 있다.

상기 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0082642호 및 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0093794호에 따른 기판처리장치는 기판을 이송하는 복수 개의 이송롤러와, 상기 이송롤러들의 사이에 배치되는 흡입수단과, 상기 복수 개의 이송롤러가 설치되며 처리액이 담겨져 있는 하나의 탱크를 포함하고 있다.

그러나, 종래의 기판처리장치에 따르면, 상기 복수 개의 이송롤러들의 사이에 별도의 흡입수단이 설치됨으로 인하여 상기 탱크의 체적이 늘어날 수밖에 없고, 이로 인하여 상기 탱크에 담겨지는 상기 처리액의 용량이 많아지는 문제가 있다.

또한, 복수 개의 롤러들 사이에 홀 타입의 흡입개구가 형성된 별도의 흡입수단이 설치되어야하고, 상기 흡입수단들을 연결하는 연결파이프가 구비되어야 하기 때문에 상기 기판의 표면처리과정에서 발생하는 흄(fume)과 상기 처리액의 액적을 배기하기 위한 배기구조가 복잡한 문제점이 있다.

특히, 홀 타입으로 구비되는 흡입개구에서는 상기 흡입개구의 근접한 위치에 존재하지 않은 상기 흄과 액적은 상기 흡입개구를 통하여 흡입되지 않기 때문에 배기 효율성이 떨어진다.

또한, 상기 흡입수단의 흡입개구는 항상 상기 탱크에 담겨진 약액의 수위보다 높은 위치에 있어야 하지만, 상기 탱크의 하부에 설치된 하나의 매질라인을 통하여 상기 처리액이 다량으로 상기 탱크의 내부로 공급되는 경우에는 상기 탱크 내부에서의 유동흐름이 불안정하여 이웃하는 이송롤러들 사이에 위치하는 처리액이 요동치게 되고, 이로 인하여 상기 흡입개구로 상기 처리액 자체가 흡입되어 흡입을 위한 송풍팬이 손상되는 문제가 발생하게 된다.

결과적으로, 상기 흄과 액적이 홀 타입의 흡입개구에 의하여 완벽하게 흡입되지 못하거나, 상기 처리액 자체가 상기 흡입개구로 흡입됨으로 상기 흄과 액적이 상기 기판의 주변에 잔존하는 경우에는 상기 기판의 하면 이외의 표면들이 부식되는 문제가 발생하게 된다.

특허문헌 1: 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0082642호(발명의 명칭: 기판의 표면을 처리하기 위한 장치, 시스템 및 방법)의 명세서 식별번호 <50>, <51>, <53>, <54>, 도 1 및 도 2 특허문헌 2: 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0093794호 (발명의 명칭: 기판의 표면을 처리하기 위한 장치 및 방법)의 명세서 식별번호 <34>, <35>, <37>, <38>, 도 1 및 도 2

본 발명의 해결하고자 하는 과제는 기판의 표면처리를 안정적으로 수행할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 해결하고자 하는 또 다른 과제는 기판의 표면처리에 사용되는 약액의 사용량을 줄일 수 있는 기판처리장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 해결하고자 하는 다른 과제는 기판의 표면처리과정에서 발생하는 흄과 액적을 흡입하여 배기하는 배기구조를 간단하게 할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 것이다.

상술한 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 기판을 이송시킴과 동시에 상기 기판의 하면을 약액으로 젖게 하기 위하여 회전하는 복수 개의 이송롤러, 그리고 상기 약액이 담겨지고, 상기 복수 개의 이송롤러 각각의 하부에 설치되되, 이격되어 배치되는 복수 개의 약액공급조를 포함하며, 상기 이송롤러는 상기 기판의 하면과 접촉하며 상기 약액공급조에 수용되는 롤러몸체와, 상기 롤러몸체를 회전시키기 위하여 상기 롤러몸체의 양측단에 연장형성되는 제1 회전축부 및 제2 회전축부를 가지는 회전축을 포함하며, 상기 제1 회전축부는 중공형상을 가지면서 상기 약액공급조의 외측에 배치되는 제1 중공축영역을 가지고 있고, 상기 제1 중공축영역에는 제1 약액공급부가 형성되어 있으며, 상기 약액은 상기 제1 약액공급부를 통하여 상기 제1 중공축영역으로 유입된 후 상기 제1 중공축영역과 연통된 상기 롤러몸체의 내부를 경유하여 상기 약액공급조로 공급되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 제공한다.

상기 롤러몸체에 내부에는 상기 제1 회전축부 및 상기 제2 회전축부와 연통되는 몸체중공부가 형성되어 있고, 상기 롤러몸체의 외측면에는 상기 외측면과 상기 몸체중공부를 연결하는 다수의 몸체 연통홀이 형성될 수 있다.

상기 제2 회전축부는 상기 몸체중공부와 연통되고 상기 약액공급조의 외측에 배치되는 중공형상의 제3 중공축 영역을 가지며, 상기 제3 중공축 영역에는 상기 약액공급조로부터 상기 약액이 배출되도록 하기 위한 제1 약액 배출부가 형성될 수 있다.

상기 기판처리장치는 상기 복수 개의 약액공급조를 둘러싸는 메인탱크와, 상기 메인탱크의 일측에 설치되며, 상기 제1 약액공급부와 연통되는 전방탱크와, 상기 전방탱크로 상기 약액을 공급하기 위한 약액공급유닛을 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 기판처리장치는 상기 메인탱크의 타측에 설치되며, 상기 제1 약액 배출부와 연통되는 후방탱크와, 상기 후방탱크로 배출된 상기 약액을 외부로 배출하기 위한 제1 약액배출유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 기판처리장치의 제2 실시 예에 따르면, 상기 회전축은 상기 롤러몸체를 관통하면서 상기 제1 회전축부 및 상기 제2 회전축부와 연장형성되는 중공형상의 제3 회전축부를 더 포함하며, 상기 제3 회전축부에는 상기 롤러몸체와 연통되는 제1 연통홀이 형성되고, 상기 롤러몸체의 외측면에는 상기 약액공급조와 연통되는 제2 연통홀이 형성될 수 있다.

여기서, 상기 롤러몸체는 원통형상을 가지며, 상기 롤러몸체의 내부에는 상기 롤러몸체의 강도를 보강하기 위하여 일정간격으로 배치되는 하나 이상의 롤러격벽이 설치될 수 있다.

상기 기판처리장치의 제3 실시 예에 따르면, 상기 제1 회전축부는 중공형상을 가지면서 상기 약액공급조의 내측에 배치되는 제2 중공축 영역을 가지고, 상기 제2 중공축 영역에는 상기 약액공급조와 연통되는 제2 약액공급부가 형성되어 있으며, 상기 롤러몸체는 중실축 형상을 가질 수 있다.

또한, 기판처리장치의 제3 실시 예에 따르면, 상기 기판처리장치는 상기 복수 개의 약액공급조 각각의 길이방향을 따라 넘쳐 흐르는 상기 약액이 유입되는 복수 개의 약액유로가 형성되며 상기 메인탱크의 타측에 설치되는 후방탱크를 더 포함할 수 있다.

상술한 기판처리장치의 실시 예들은 상기 약액이 상기 기판의 하면에 젖게 되는 과정에서 발생하는 흄(fume) 및 상기 약액의 액적을 흡입하여 배기하기 위한 배기유닛을 더 포함하며, 상기 배기유닛은 이웃하는 상기 복수 개의 약액공급조들 사이에 이격된 공간을 통하여 상기 약액공급조들의 하부방향으로 상기 흄 및 액적을 흡입할 수 있다.

본 발명에 따른 기판처리장치의 효과를 설명하면 다음과 같다.

첫째, 복수 개의 이송롤러들과 각각 대응되는 복수 개의 약액공급조를 설치하여, 상기 이송롤러들의 표면에 상기 약액이 젖을 수 있을 정도의 약액만 상기 약액공급조에 채우게 됨으로써 상기 약액의 사용량을 줄일 수 있고 운전비용을 줄일 수 있는 이점이 있다.

특히, 상기 이송롤러의 회전축을 통하여 상기 약액을 상기 약액공급조로 공급함으로써 상기 약액의 공급구조가 간단하고, 상기 약액의 사용량을 최소로 줄일 수 있는 이점이 있다.

둘째, 복수 개의 이송롤러들과 각각 대응되는 복수 개의 약액공급조를 이격되게 설치하고, 상기 이송롤러들 사이에 별도의 흡입라인이 배치되지 않은 상태에서 상기 복수 개의 약액공급조들 사이에 형성되는 이격공간을 통하여 기판의 처리과정에서 발생하는 흄과 상기 약액의 액적을 흡입하여 배기함으로써 배기구조가 간단한 이점이 있다.

셋째, 상기 복수 개의 약액공급조들 사이에 형성되는 이격공간을 통하여 상기 흄과 액적을 흡입하여 배기함으로써 배기 효율성을 높일 수 있게 되고, 이로 인하여 상기 기판의 하면 이외의 표면들은 부식되지 않게 되어 상기 기판의 표면처리를 안정적으로 수행할 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 기판처리장치의 제1 실시 예에 대한 종단면도.
도 2는 본 발명에 따른 기판처리장치의 제1 실시 예에 대한 횡단면도.
도 3은 도 2의 A 부분에 대한 확대 사시도.
도 4는 도 2의 B 부분에 대한 확대 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 기판처리장치의 제2 실시 예에 대한 횡단면도.
도 6은 도 5의 C 부분에 대한 확대 사시도.
도 7은 도 5의 D 부분에 대한 확대 사시도.
도 8은 본 발명에 따른 기판처리장치의 제3 실시 예에 구비된 이송롤러의 일측단 결합구조를 나타내는 사시도.
도 9는 도 8의 이송롤러의 타측단 결합구조를 나타내는 사시도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 기판처리장치의 실시 예들을 설명한다.

도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 실시 예에 따른 기판처리장치의 제1 실시 예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

본 실시 예에 따른 기판처리장치는 복수 개의 이송롤러(200), 복수 개의 약액공급조(20), 메인탱크(30), 배기유닛(50), 전방탱크(110), 후방탱크(120), 약액공급유닛(80), 제1 약액배출유닛(90), 구동유닛(70), 제2 약액배출유닛(40)을 포함한다.

상기 이송롤러(200)는 상기 기판의 하면(1a)과 접촉하며 상기 약액공급조(20)에 수용되는 롤러몸체(230)와, 상기 롤러몸체(230)를 회전시키기 위하여 상기 롤러몸체(230)의 양측단에 연장형성되는 제1 회전축부(210) 및 제2 회전축부(220)를 갖는 회전축을 포함한다.

상기 롤러몸체(230)에 내부에는 상기 제1 회전축부(210) 및 상기 제2 회전축부(220)와 연통되는 몸체중공부(231)가 형성되어 있고, 상기 롤러몸체(230)의 외측면에는 상기 외측면과 상기 몸체중공부(231)를 연결하는 다수의 몸체연통홀(233)이 형성되어 있다.

상기 제1 회전축부(210)는 상기 전방탱크의 제2 전방측벽(113)을 관통하는 영역에 배치되는 제1 중실축영역(211)과, 상기 전방탱크의 제1 전방측벽(111)과 상기 제2 전방측벽(113)의 사이에 배치되는 제1 중공축영역(213)과, 상기 제1 전방측벽(111)과 상기 롤러몸체(230)의 일측 끝단 사이에 배치되는 제2 중공축영역(215)을 포함한다.

상기 제1 중공축영역(213)은 상기 약액공급조(20)의 외측에 배치되고, 상기 제1 중공축영역(213)에는 상기 약액(4)을 상기 제1 중공축영역(213)을 통하여 상기 약액공급조(20)로 공급하기 위한 제1 약액공급부(213a)가 형성되어 있다.

결과적으로, 상기 약액(4)이 상기 전방탱크(110)로 공급되면, 상기 약액(4)은 상기 제1 약액공급부(213a)를 통하여 상기 제1 중공축영역(213)으로 공급되고, 상기 제2 중공축영역(215)을 경유하여 상기 몸체중공부(231)로 유입되고, 상기 몸체중공부(231)로 공급된 상기 약액(4)은 상기 몸체연통홀(233)을 통하여 상기 약액공급조(20)로 공급된다.

상기 제1 약액공급부(213a)는 홀 형태로 구비될 수도 있고, 슬릿형태로 구비될 수도 있다.

상기 제2 회전축부(220)는 상기 후방탱크의 제2 후방측벽(123)을 관통하는 영역에 배치되는 제2 중실축영역(221)과, 상기 후방탱크의 제1 후방측벽(121)과 상기 제2 후방측벽(123)의 사이에 배치되는 제3 중공축영역(223)과, 상기 제1 후방측벽(121)과 상기 롤러몸체(230)의 타측 끝단 사이에 배치되는 제4 중공축영역(225)을 포함한다.

상기 제3 중공축영역(223)은 상기 제4 중공축영역(225) 및 상기 몸체중공부(231)와 연통되고, 상기 약액공급조(20)의 외측에 배치된다. 상기 제3 중공축영역(223)에는 상기 약액(4)이 상기 약액공급조(20)로부터 상기 후방탱크(120)로 배출되도록 하기 위한 제1 약액 배출부(223a)가 형성되어 있다.

상기 제4 중공축영역(225)에도 상기 약액공급조(20)의 약액이 유입되는 약액유입부(225a)가 형성되어 있다. 상기 제1 약액 배출부(223a)와 상기 약액유입부(225a))는 홀형태로 구비될 수도 있고, 슬릿형태로 구비될 수도 있다.

결과적으로, 상기 약액공급조(20)의 약액은 상기 제4 중공축영역(225)을 경유하여 상기 제3 중공축영역의 제1 약액 배출부(223a)를 통하여 상기 후방탱크(120)로 유입된다.

한편, 상기 약액공급조(20)에 상기 약액(4)이 공급됨과 동시에 상기 복수 개의 이송롤러(200)는 기판(1)을 이송시킴과 동시에 상기 기판의 하면(1a)과 직접적인 접촉을 통하여 상기 기판의 하면(1a)을 약액(4)으로 젖게 한다.

구체적으로, 상기 롤러몸체(230)의 상면에 상기 기판(1)이 얹힌 상태에서 상기 회전축이 회전함으로써 상기 기판(1)이 이송된다. 여기서, 상기 롤러몸체(230)의 상면과 상기 기판의 하면(1a)은 직접적인 접촉을 하면서 상기 기판(1)이 이송되는 이송평면(3)을 형성하게 된다.

이때, 상기 롤러몸체(230)의 표면에는 상기 약액(4)이 묻어 있기 때문에, 상기 기판의 하면(1a)이 상기 약액(4)으로 젖게 된다.

상기 약액(4)은 상기 복수 개의 이송롤러(200)의 각각과 대응되는 상기 복수 개의 약액공급조(20)에 담겨지게 된다. 또한, 상기 롤러몸체(230)의 상면이 상기 약액공급조(20)의 상면보다 높게 돌출되도록 상기 이송롤러(200)가 상기 약액공급조(20) 상에 설치된다.

결과적으로, 상기 이송롤러(200)가 회전하게 되면, 상기 약액(4)은 상기 약액(4)의 표면장력에 의하여 상기 롤러몸체(230)의 표면에 묻혀진 채로 상기 롤러몸체(230)의 상면과 접촉하는 상기 기판의 하면(1a)으로 전달된다.

물론,상기 약액(4)을 상기 기판의 하면(1a)으로 효율적으로 전달하기 위하여 상기 롤러몸체(230)의 표면은 친수화 처리될 수 있다. 또한, 상기 롤러몸체(230)의 표면에는 흡습성을 가지는 별도의 코팅층이 구비될 수도 있다.

한편, 상기 복수 개의 약액공급조(20) 각각은 상기 복수 개의 이송롤러(200) 각각의 하부에 설치되되, 서로 일정거리 이격되어 설치된다. 상기 약액공급조(20)의 형상은 상기 약액공급조(20)의 길이방향으로 상부가 개방된 버킷과 실질적으로 유사한 형상을 가진다.

상기 약액공급조(20)들 사이에는 별도의 구성부품이 설치되지 않게 되고, 상기 약액공급조(20)에는 상기 롤러몸체(230)의 표면에 상기 약액(4)이 묻혀질 정도의 사용량만 채워지게 됨으로써 상기 약액(4)의 사용량을 최소화할 수 있게 된다.

또한, 상기 이송롤러(200)는 해당 약액공급조(20)에 각각 구분되어 설치되기 때문에 이웃하는 이송롤러가 불규칙적으로 회전하더라도 해당 약액공급조(20)의 약액이 요동치지 않게 되어 해당 이송롤러에 안정적으로 상기 약액(4)이 공급되게 된다.

한편, 상기 메인탱크(30)는 상기 복수 개의 약액공급조(20)의 측면 및 하부를 둘러싸게 된다. 결과적으로, 상기 메인탱크(30)의 상부에 버킷 형상을 가지는 상기 약액공급조(20)가 복수 개 설치된다.

물론, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 메인탱크(30)와 상기 복수 개의 약액공급조(20)는 일체로 형성될 수도 있다. 상기 메인탱크(30)와 상기 복수 개의 약액공급조(20)가 일체로 형성되는 경우에는 상기 메인탱크(30)의 상면이 상기 복수 개의 약액공급조(20)로 덮혀지게 되고, 상기 약액공급조(20)들 사이에는 상기 약액공급조(20)의 길이방향을 따라 슬릿이 형성된 형상을 가지게 된다.

뿐만 아니라, 상기 약액공급조(20), 상기 메인탱크(30), 상기 전방탱크(110) 및 상기 후방탱크(120)의 전체가 일체로 형성될 수도 있다.

상기 배기유닛(50)은 상기 약액(4)이 상기 기판의 하면(1a)에 젖게 되는 과정에서 발생하는 흄(fume) 및 상기 약액(4)의 액적을 흡입하여 배기하게 된다. 상기 흄과 상기 액적의 배기가 완전하게 수행되지 못하면, 상기 흄과 상기 액적이 상기 기판의 하면(1a)을 제외한 다른 기판면, 즉 부식되지 않아야 할 기판면과 반응하여 해당 기판면을 부식시키게 된다.

상기 배기유닛(50)은 상기 메인탱크(30)의 바닥면을 관통하면서 상기 메인탱크(30)의 내부에서 개방된 흡입파이프(51)와, 상기 흡입파이프(51)의 상단에 설치되는 흡입가이드(55)와, 상기 흡입파이프(51)에서 흡입된 상기 흄 및 액적의 배기량을 조절하기 위한 배기량조절밸브(53)와, 상기 흡입파이프(51)와 연통되는 배기팬(미도시)을 포함한다.

상기 흡입파이프(51)는 상기 메인탱크(30)의 바닥면으로부터 일정 높이만큼 돌출된 상태로 설치되며, 상기 흡입파이프(51)의 상부 끝단은 상기 복수 개의 약액공급조(20)들의 하부에 위치하게 된다.

상기 배기팬이 구동하게 되면, 상기 흡입파이프(51)는 상기 약액공급조(20)의 하부에서 이웃하는 상기 복수 개의 약액공급조(20)들 사이에 이격된 공간(6)을 통하여 상기 흄 및 액적을 흡입하게 된다. 여기서, 상기 이격된 공간(6)은 이웃하는 약액공급조(20)들 사이에서 형성되는 슬릿과 같은 역할을 하게 된다.

결과적으로, 상기 배기유닛(50)이 상기 흄 및 액적을 흡입하여 배출함에 있어서, 상기 흡입파이프(51)와 상기 이격된 공간(6)을 물리적으로 연결하는 별도의 파이프가 없는 상태에서 상기 기판의 하면(1a) 주변에 존재하는 상기 흄 및 액적을 상기 약액공급조(20)의 하부방향으로 완벽하게 흡입하여 배출시키게 된다.

이로 인하여, 상기 흄 및 액적을 흡입하여 배출하기 위한 구조가 간단하게 되며, 표면처리를 원하는 상기 기판의 하면(1a)만을 안정적으로 표면처리 할 수 있게 된다.

물론, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 흡입파이프(51)는 상기 메인탱크(30)의 측벽을 관통하여 설치되어 외부의 배기팬과 연통될 수도 있을 것이다. 이때, 상기 흡입파이프(51)의 상단에 설치되는 상기 흡입가이드(55)는 상기 흡입파이프(51)에 대하여 일정한 각도를 가지면서 배치되어 상기 흄 및 액적을 흡입할 수도 있을 것이다.

한편, 상기 전방탱크(110)는 상기 전방탱크(110)는 전방측벽과, 전방 바닥벽(115), 전방 상부벽을 포함하고, 상기 전방측벽은 상기 이송롤러(200)의 길이방향을 따라 상기 회전축이 관통하는 제1 전방측벽(111)과, 상기 제1 전방측벽(111)과 일정간격 떨어진 제2 전방측벽(113)과, 상기 제1 전방측벽(111)과 상기 제2 전방측벽(113)을 연결하는 제3 전방측벽(미도시) 및 제4 전방측벽(미도시)을 포함한다.

상기 전방탱크(110)의 내부에는 상기 제1 중공축영역(213)이 배치되고, 상기 중공축 영역의 제1 약액공급부(213a)는 상기 전방탱크(110)와 연통된다.

또한, 상기 전방 바닥벽(115)의 하부에는 상기 전방탱크(110)의 내부로 상기 약액(4)을 공급하기 위한 상기 약액공급유닛(80)이 설치된다.

상기 약액공급유닛(80)은 상기 전방탱크(110)와 연통되는 공급파이프(81)와, 상기 공급파이프(81)를 통하여 공급되는 상기 약액(4)의 공급량을 조절하기 위한 공급량 조절밸브(83)를 포함한다.

결과적으로, 상기 약액공급유닛(80)에 의하여 상기 약액(4)이 상기 전방탱크(110) 내부로 공급되면, 상기 약액(4)은 상기 제1 약액공급부(213a)를 통하여 상기 제1 중공축영역(213)으로 유입되고, 상기 제2 중공축영역(215) 및 상기 롤러몸체(230)를 경유하여 상기 약액공급조(20)로 유입된다.

또한, 상기 전방탱크(110)의 내부에는 상기 약액공급조(20)의 수위를 감지하기 위한 수위감지유닛(130)이 설치된다. 상기 약액공급조(20)와 상기 전방탱크(110)는 상기 제1 약액공급부(213a)에 의하여 서로 연통되어 있기 때문에 동일한 수위를 가진다.

따라서, 상기 전방탱크(110) 내에서 상기 약액(4)의 수위를 체크하면, 상기 약액공급조(20) 내에서의 상기 약액(4)의 수위를 확인할 수 있게 된다. 상기 수위감지유닛(130)는 근접센서의 형태로 구비될 수도 있고, 플로우팅 타입의 센서형태로 구비될 수도 있다.

상기 수위감지유닛(130)에서 감지된 수위를 바탕으로 상기 약액공급유닛(80)에서 공급되는 상기 약액(4)의 공급량이 조절될 수 있게 된다.

물론, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 메인탱크(30) 및 상기 후방탱크(120)에서 배출되는 상기 약액(4)의 배출량을 실시간으로 체크하고, 상기 배출량에 대응되는 양만큼의 약액을 상기 약액공급유닛(80)을 통하여 상기 전방탱크(110)로 공급할 수도 있을 것이다.

한편, 상기 구동유닛(70)은 상기 이송롤러(200)를 회전시키기 위한 것으로서, 상기 이송롤러(200)의 길이방향을 따라 상기 전방탱크(110)를 관통한 상기 제1 중실축영역(211)과 결합된다.

상기 구동유닛(70)은 구동모터(72), 상기 구동모터(72)와 결합된 메인회전부재(71), 상기 회전축과 결합되는 종속회전부재(75), 상기 메인회전부재(71)와 상기 종속회전부재(75)를 연결하는 동력전달부재(73)를 포함한다.

물론, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 메인회전부재(71)가 상기 회전축과 직접적으로 결합될 수도 있고, 상기 메인회전부재(71)와 상기 종속회전부재(75) 직접적으로 기어결합될 수도 있을 것이다.

또한, 하나의 이송롤러를 회전시키기 위하여 하나의 구동모터가 사용될 수도 있지만, 하나의 구동모터와 동력전달부재를 사용하여 복수 개의 이송롤러를 한꺼번에 회전시킬 수도 있을 것이다.

또한, 상기 제1 전방측벽(111)과 상기 제1 회전축부(210) 사이에는 제1 베어링(117)이 설치되고, 상기 제2 전방측벽(113)과 상기 제1 회전축부(210) 사이에는 제2 베어링(118)이 설치된다.

결과적으로, 상기 구동유닛(70)이 상기 전방탱크(110)의 외측에 설치되더라도 상기 제1 회전축부(210)는 상기 제1 베어링(117) 및 상기 제2 베어링(118)에 의하여 안정적으로 지지되면서 회전하게 된다.

또한, 상기 전방탱크(110)와 상기 구동유닛(70) 사이에는 실링부재(140)가 설치될 수 있다. 상기 실링부재(140)는 상기 약액(4)이 상기 전방탱크(110)에서 누설되어 상기 구동유닛(70)으로 전달되는 것을 차단하기 위한 것이다.

한편, 상기 메인탱크(30)의 타측에는 상기 복수 개의 약액공급조(20) 각각에서 배출되는 상기 약액(4)이 유입되는 상기 후방탱크(120)가 설치된다.

상기 후방탱크(120)는 후방측벽과, 후방 바닥벽(125), 후방 상부벽을 포함하고, 상기 후방측벽은 상기 이송롤러(200)의 길이방향을 따라 상기 제2 회전축부(220)가 관통하는 제1 후방측벽(121)과, 상기 제1 후방측벽(121)과 일정간격 떨어진 제2 후방측벽(123)과, 상기 제1 후방측벽(121)과 상기 제2 후방측벽(123)을 연결하는 제3 후방측벽(미도시) 및 제4 후방측벽(미도시)을 포함한다.

상기 후방탱크(120)의 내부에는 상기 제3 중공축영역(223)이 배치되고, 상기 제3 중공축 영역의 제1 약액 배출부(223a)는 상기 후방탱크(120)와 연통된다.

또한, 상기 후방 바닥벽(125)의 하부에는 상기 후방탱크(120)에서 외부로 상기 약액을 배출하기 위한 상기 제1 약액배출유닛(90)이 설치된다.

상기 제1 약액배출유닛(90)은 상기 후방탱크(120)와 연통되는 제1 배출파이프(91)와, 상기 제1 배출파이프(91)를 통하여 배출되는 상기 약액(4)의 배출량을 조절하기 위한 제1 배출량 조절밸브(93)를 포함한다.

결과적으로, 상기 약액공급조(20)의 약액은 상기 제4 중공축영역(225)을 경유하여 상기 제3 중공축영역의 제1 약액 배출부(223a)를 통하여 상기 후방탱크(120)의 내부로 유입되면, 상기 제1 약액배출유닛(90)에 의하여 외부로 배출된다.

또한, 상기 제1 후방측벽(121)과 상기 제2 회전축부(220) 사이에는 제3 베어링(127)이 설치되고, 상기 제2 후방측벽(123)과 상기 제2 회전축부(220) 사이에는 제4 베어링(128)이 설치된다.

결과적으로, 상기 제2 회전축부(220)가 상기 후방탱크(120)를 관통하여 설치되더라도, 상기 제2 회전축부(220)는 상기 제3 베어링(127) 및 상기 제4 베어링(128)에 의하여 안정적으로 지지되면서 회전하게 된다.

한편, 상기 메인탱크(30)의 하부에는 상기 약액공급조(20)의 횡단면방향으로 흘러넘쳐서 상기 메인탱크(30)로 유입된 상기 약액(4)을 외부로 배출하기 위한 제2 약액배출유닛(40)이 설치된다.

상기 제2 약액배출유닛(40)은 상기 메인탱크(30)와 연통되는 제2 배출파이프(41)와, 상기 제2 배출파이프(41)를 통하여 배출되는 상기 약액(4)의 배출량을 조절하기 위한 제2 배출량 조절밸브(43)를 포함한다.

결과적으로, 상기 약액공급조(20)의 횡단면 방향으로 흘러넘친 상기 약액은 상기 메인탱크(30)의 하부로 모여지게 되고, 상기 약액(4)은 상기 메인탱크(30)와 연통되는 제2 배출파이프(41)를 통하여 외부로 배출되게 된다.

여기서, 상기 메인탱크(30)의 바닥면에는 상기 메인탱크(30) 내부의 약액(4)이 모여질 수 있도록 경사지게 형성된 경사부가 형성되어 있고, 상기 제2 배출파이프(41)는 상기 경사부에 설치될 수 있다.

한편, 상기 기판처리장치는 상기 전방탱크(110), 상기 메인탱크(30) 및 상기 후방탱크(120)의 외부에 설치되는 기판처리챔버(2)와, 상기 기판처리챔버(2)내의 유체 및 이물질을 흡입하여 배출하기 위한 배출유닛(60)을 포함한다.

도 1 내기 도 4를 참조하여, 본 발명에 따른 기판처리장치의 제1 실시 예에서 기판의 하면이 처리되는 과정을 설명하면 다음과 같다.

약액(4)을 사용하여 표면처리를 하고자 하는 기판의 하면(1a)이 수직하방을 향하도록 상기 기판(1)을 이송롤러(200)의 상면에 로딩시킨다.

그러면, 상기 이송롤러(200)가 회전하면서 상기 기판(1)을 이송시키게 된다. 이때, 롤러몸체(230)의 표면에는 상기 약액(4)이 묻어 있기 때문에 상기 기판의 하면(1a)이 상기 약액(4)에 의하여 젖게 된다.

동시에, 상기 약액(4)이 상기 기판의 하면(1a)에 젖는 과정에서 발생하는 흄과 상기 약액의 액적이 배기유닛(50)에 의하여 한꺼번에 흡입되어 메인탱크(30)의 외부로 배출된다.

상기 기판의 하면(1a)에 대한 표면처리를 하는 과정 중에 상기 약액(4)은 약액공급유닛(80)에 의하여 전방탱크(110)로 공급되고, 상기 전방탱크(110)와 연통되는 제1 약액공급부(213a)로 유입된 후, 상기 제1 중공축영역(213)을 따라 이동하면서 상기 제2 중공축영역(215) 및 상기 롤러몸체(230)를 경유하여 약액공급조(20)로 지속적으로 공급된다.

상기 약액공급조(20)의 길이방향을 따라 이동하는 약액은 상기 제4 중공축영역(225) 및 제3 중공축 영역을 경유한 후, 제1 약액 배출부(223a)를 통하여 상기 후방탱크(120)로 유입된 후 제1 약액배출유닛(90)에 의하여 외부로 배출된다.

동시에, 상기 약액공급조(20)의 횡단면 방향으로 흘러 넘치는 약액은 상기 메인탱크(30)로 유입된 후 제2 약액배출유닛(40)에 의하여 외부로 배출된다.

도 5 내지 도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 기판처리장치의 제2 실시 예를 설명한다.

본 실시 예에 따른 기판처리장치에는 상술한 제1 실시 예의 이송롤러와 다른 구조를 가지는 이송롤러가 구비된다. 이하에서는, 상기 제1 실시 예의 기판처리장치에 구비된 구성과 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

본 실시 예에 따른 기판처리장치의 이송롤러(300)는 롤러몸체(340)와, 상기 롤러몸체(340)의 일측단에 연장형성되는 제1 회전축부(310)와, 상기 롤러몸체(340)의 타측단에 연장형성되는 제2 회전축부(320)와, 상기 롤러몸체(340)를 관통하면서 상기 제1 회전축부(310) 및 상기 제2 회전축부(320)와 연장형성되는 중공형상의 제3 회전축부(330)를 포함한다.

상기 롤러몸체(340)는 원통형상을 가지고 있으며, 상기 롤러몸체(340)의 외측면에는 상기 약액공급조(20)와 연통되는 제2 연통홀(341)이 형성되어 있다.

또한, 상기 롤러몸체(340)의 내부에는 상기 롤러몸체(340)의 강도를 보강하기 위한 하나 이상의 롤러격벽(350)이 일정간격으로 배치된다. 여기서, 상기 롤러격벽(350)은 상기 제3 회전축부(330)의 외측벽에서 상기 롤러몸체(340)의 내벽을 연결하면서 상기 롤러몸체(340)를 지지하게 된다.

상기 제3 회전축부(330)에는 상기 롤러몸체(340)와 연통되는 제1 연통홀(331)이 형성되어 있다. 상기 제1 회전축부(310)와 상기 제2 회전축부(320)의 구조는 상술한 제1 실시 예에 따른 제1 회전축부(도 3의 210) 및 제2 회전축부(도 4의 220)와 실질적으로 동일한 구조를 가지므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

결과적으로, 전방탱크(110)로 약액이 공급되면, 상기 전방탱크(110)와 연통되는 제1 약액공급부(313a)를 통하여 상기 약액이 제1 중공축영역(313)으로 유입된다. 상기 제1 중공축영역(313)에 유입된 약액은 상기 제1 중공축영역(313)을 따라 이동하면서 제2 중공축영역(315)을 경유하여 상기 제3 회전축부(330)로 유입된다.

상기 제3 회전축부(330)로 유입된 약액(4)은 상기 제1 연통홀(331)을 통하여 상기 롤러몸체(340)로 이동되고, 상기 롤러몸체(340)로 유입된 약액은 상기 제2 연통홀(341)을 통하여 상기 약액공급조(20)로 유입된다.

이후, 상기 기판의 하면(1a)을 적시고 난 약액은 제4 중공축영역(325)을 경유하여 제3 중공축영역의 제1 약액 배출부(323a)를 통하여 후방탱크(120)로 유입된다. 상기 후방탱크(120)로 유입된 약액은 제1 약액배출유닛(90)에 의하여 외부로 배출된다.

도 8 및 도 9를 참조하여, 본 발명에 따른 기판처리장치의 제3 실시 예를 설명한다.

본 실시 예에 따른 기판처리장치에는 상술한 제1 실시 예 및 제2 실시 예의 이송롤러와 다른 구조를 가지는 이송롤러가 구비된다. 이하에서는, 상기 제1 실시 예의 기판처리장치에 구비된 구성과 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

본 실시 예에 따른 기판처리장치의 이송롤러는 롤러몸체(430)와, 상기 롤러몸체(430)의 일측단에 연장형성되는 제1 회전축부(410)와, 상기 롤러몸체(430)의 타측단에 연장형성되는 제2 회전축부(420)를 포함한다.

상기 롤러몸체(430)는 원통형상을 가지고 있으며, 상기 롤러몸체(430)는 내부가 꽉찬 중실축 형상을 가진다. 또한, 상기 제2 회전축부(420)는 중실축 형상을 가지며, 후방탱크의 제1 후방측벽(121)를 관통하여 설치된다.

상기 제1 회전축부(410)는 전방탱크의 제2 전방측벽(113)을 관통하는 영역에 배치되는 제1 중실축영역(411)과, 상기 전방탱크의 제1 전방측벽(111)과 상기 제2 전방측벽(113)의 사이에 배치되는 제1 중공축영역(413)과, 상기 제1 전방측벽(111)과 상기 롤러몸체(430)의 일측 끝단 사이에 배치되는 제2 중공축영역(415)을 포함한다.

상기 제1 중공축영역(413)은 상기 약액공급조(20)의 외측에 배치되고, 상기 제1 중공축영역(413)에는 상기 약액을 상기 제1 중공축영역(413)을 통하여 상기 약액공급조(20)로 공급하기 위한 제1 약액공급부(413a)가 형성되어 있다.

상기 제2 중공축영역(415)은 상기 약액공급조(20)의 내측에 배치되고, 상기 제2 중공축영역(415)에는 상기 약액공급조(20)와 연통되는 제2 약액공급부(415a)가 형성되어 있다. 상기 제2 약액공급부(415a)는 홀형태로 구비될 수도 있고, 슬릿형태로 구비될 수도 있다.

결과적으로, 상기 약액(4)이 상기 전방탱크(110)로 공급되면, 상기 약액(4)은 상기 제1 약액공급부(413a)를 통하여 상기 제1 중공축영역(413)으로 공급된 후, 상기 제1 중공축영역(413)과 연통된 상기 제2 중공축영역(415)으로 이동된다. 이후, 상기 약액(4)은 상기 제2 중공축영역(415)에 형성된 상기 제2 약액공급부(415a)를 통하여 상기 약액공급조(20)로 공급된다.

한편, 본 실시 예에 따른 기판처리장치는 상기 복수 개의 약액공급조(20) 각각의 길이방향을 따라 넘쳐 흐르는 약액이 유입되는 복수 개의 약액유로(121a)가 형성되어 있는 후방탱크(120)를 포함한다.

구체적으로, 상기 복수 개의 약액유로(121a)는 상기 후방탱크의 제1 후방측벽(121)에 형성되어, 상기 후방탱크(120)와 상기 약액공급조(20)가 연통되도록 한다. 상기 약액유로(121a)는 상기 약액공급조(20)의 상단부와 연통되는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 상기 약액(4)이 상기 약액공급조(20)에서 배출될 때 상기 기판의 하면(1a)과 반응을 한 후의 약액이 상기 후방탱크(120)로 유입되도록 하기 위해서이다.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

1: 기판 3: 이송평면
4: 약액 20: 약액공급조
30: 메인탱크 40: 제2 약액배출유닛
50: 배기유닛 60: 배출유닛
70: 구동유닛 80: 약액공급유닛
90: 제1 약액배출유닛 110: 전방탱크
120: 후방탱크 130: 수위감지유닛
140: 실링부재 200: 이송롤러
210, 310, 410: 제1 회전축부 213a,313a,413a: 제1 약액공급부
220,320,420: 제2 회전축부 223a,323a, 121a: 제1 약액 배출부
230, 340, 430: 롤러몸체 330: 제3 회전축부

Claims

기판을 이송시킴과 동시에 상기 기판의 하면을 약액으로 젖게 하기 위하여 회전하는 복수 개의 이송롤러; 그리고,
상기 약액이 담겨지고, 상기 복수 개의 이송롤러 각각의 하부에 설치되되, 이격되어 배치되는 복수 개의 약액공급조를 포함하며,
상기 이송롤러는 상기 기판의 하면과 접촉하며 상기 약액공급조에 수용되는 롤러몸체와, 상기 롤러몸체를 회전시키기 위하여 상기 롤러몸체의 양측단에 연장형성되는 제1 회전축부 및 제2 회전축부를 가지는 회전축을 포함하며,
상기 제1 회전축부는 중공형상을 가지면서 상기 약액공급조의 외측에 배치되는 제1 중공축영역을 가지고 있고, 상기 제1 중공축영역에는 제1 약액공급부가 형성되어 있으며, 상기 약액은 상기 제1 약액공급부를 통하여 상기 제1 중공축영역으로 유입된 후 상기 제1 중공축영역과 연통된 상기 롤러몸체의 내부를 경유하여 상기 약액공급조로 공급되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
제1항에 있어서,
상기 롤러몸체에 내부에는 상기 제1 중공축 영역과 연통되는 몸체중공부가 형성되어 있고, 상기 롤러몸체의 외측면에는 상기 외측면과 상기 몸체중공부를 연결하는 다수의 몸체 연통홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
제2항에 있어서,
상기 제2 회전축부는 상기 몸체중공부와 연통되고 상기 약액공급조의 외측에 배치되는 중공형상의 제3 중공축 영역을 가지며, 상기 제3 중공축 영역에는 상기 약액공급조로부터 상기 약액이 배출되도록 하기 위한 제1 약액 배출부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 약액공급조를 둘러싸는 메인탱크와,
상기 메인탱크의 일측에 설치되며, 상기 제1 약액공급부와 연통되는 전방탱크와,
상기 전방탱크로 상기 약액을 공급하기 위한 약액공급유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치
제3항에 있어서,
상기 복수 개의 약액공급조를 둘러싸는 메인탱크와,
상기 메인탱크의 타측에 설치되며, 상기 제1 약액 배출부와 연통되는 후방탱크와,
상기 후방탱크로 배출된 상기 약액을 외부로 배출하기 위한 제1 약액배출유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
제1항에 있어서,
상기 회전축은 상기 롤러몸체를 관통하면서 상기 제1 회전축부 및 상기 제2 회전축부와 연장형성되는 중공형상의 제3 회전축부를 더 포함하며, 상기 제3 회전축부에는 상기 롤러몸체와 연통되는 제1 연통홀이 형성되고, 상기 롤러몸체의 외측면에는 상기 약액공급조와 연통되는 제2 연통홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
제6항에 있어서,
상기 롤러몸체는 원통형상을 가지며, 상기 롤러몸체의 내부에는 상기 롤러몸체의 강도를 보강하기 위하여 일정간격으로 배치되는 하나 이상의 롤러격벽이 설치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
제4항에 있어서,
상기 제1 회전축부는 중공형상을 가지면서 상기 약액공급조의 내측에 배치되는 제2 중공축 영역을 가지고, 상기 제2 중공축 영역에는 상기 약액공급조와 연통되는 제2 약액공급부가 형성되어 있으며, 상기 롤러몸체는 중실축 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
제8항에 있어서,
상기 복수 개의 약액공급조 각각의 길이방향을 따라 넘쳐 흐르는 상기 약액이 유입되는 복수 개의 약액유로가 형성되며 상기 메인탱크의 타측에 설치되는 후방탱크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
제1항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 약액이 상기 기판의 하면에 젖게 되는 과정에서 발생하는 흄(fume) 및 상기 약액의 액적을 흡입하여 배기하기 위한 배기유닛을 더 포함하며,
상기 배기유닛은 이웃하는 상기 복수 개의 약액공급조들 사이에 이격된 공간을 통하여 상기 약액공급조들의 하부방향으로 상기 흄 및 액적을 흡입하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.