KR101258880B1 - 세트 및 래치 전극을 가지는 미소 기전 시스템 스위치 - Google Patents

세트 및 래치 전극을 가지는 미소 기전 시스템 스위치 Download PDF

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퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크.
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Abstract

미소 기전 시스템 기기는 제1 전극(702)과 이동가능한 재료(714) 양단에 인가된 전압에 의해 전기적으로 작동된다. 이 미소 기전 시스템 기기는 제1 전극과 분리된 래치 전극(730a, 730b)에 의해 작동 상태로 유지될 수 있다.

Description

세트 및 래치 전극을 가지는 미소 기전 시스템 스위치 {MEMS SWITCH WITH SET AND LATCH ELECTRODES}
본 발명의 기술분야는 미소 기전 시스템(MicroElelcroMechanical Systems, MEMS)에 관한 것이다.
관련출원의 상호 참조
본 출원은 "집적형 미소 기전 시스템 전기 스위치를 가지는 간섭 변조기 어레이(Interferometric Modulator Array With Integrated MEMS Electrical Switches)라는 명칭으로 2004년 9월 27일에 출원된, 미국 가특허출원 제60/613,501호에 대해 우선권을 주장하며, 그 내용 전부는 참조문헌으로서 본 명세서에 포함된다.
미소 기전 시스템(MEMS)은 미소 기계 소자, 액추에이터, 및 전자 기기를 포함한다. 미소 기계 소자는 침적(deposition), 에칭, 및/또는, 기판 및/또는 침적된 재료 층의 일부를 에칭으로 제거하거나 전기 기기 및 기전 기기를 만들기 위해 층을 부가하는 그 밖의 기타 미소 기계 가공 공정을 이용하여 제조될 수 있다. 미소 기전 시스템 기기의 한 형태로서 간섭 변조기(interferometric modulator)가 있 다. 여기서 사용된 바와 같이, 간섭 변조기 또는 간섭 광 변조기는 광 간섭의 원리를 이용하여 광을 선택적으로 흡수 및/또는 반사하는 기기를 말한다. 어떤 실시예에서, 간섭 변조기는 한 쌍의 도전성 플레이트를 포함하고, 이들 중 하나 또는 양자 모두는 전체적으로 또는 부분적으로 투명하거나 및/또는 반사성을 가지고 있을 수 있고, 적절한 전기 신호가 인가되면 상대적으로 이동할 수 있다. 특정 실시예에서, 하나의 플레이트는 기판 상에 배치된 고정층을 포함하여 구성되고, 다른 하나의 플레이트는 에어갭에 의해 상기 고정층으로부터 이격된 금속막을 포함하여 구성될 수 있다. 여기에 더욱 상세하게 개시한 바와 같이, 하나의 플레이트의 다른 플레이트에 대한 위치는 간섭 변조기에 입사하는 광의 광학적 간섭을 변화시킬 수 있다. 이러한 기기는 그 응용분야가 넓고, 이러한 형태의 기기의 특성을 활용 및/또는 개조하여, 그 특성이 기존의 제품을 개선하고 아직까지 개발되지 않은 새로운 제품을 창출하는 데에 이용될 수 있도록 하는 것은 해당 기술분야에서 매우 유익할 것이다.
본 발명에 따른 시스템, 방법 및 기기는 각각 여러 가지 실시태양을 가지고 있고, 그들 중 하나가 단독으로 모든 바람직한 특성을 나타내는 것은 아니다. 이하에서 본 발명의 주요 특징을 설명하겠지만, 이것이 본 발명의 권리범위를 제한하는 것은 아니다. 이러한 점을 고려하여, "발명의 상세한 설명"을 읽고 나면, 본 발명의 특징적 구성이 어떻게 다른 디스플레이 기기에 비해 더 나은 장점을 제공하는지를 이해하게 될 것이다.
일실시예에서, 본 발명은 기판에 의해 지지되는 둘 이상의 지지 포스트(support post)를 구비하는 상기 기판을 포함하는 미소 기전 시스템 기기를 포함한다. 상기 미소 기전 시스템 기기는 또한, 상기 기판에 의해 지지되고 상기 지지 포스트들 사이에 배치된 전기적으로 분리된 둘 이상의 전극을 포함한다. 상기 미소 기전 시스템 기기는 또한, 상기 지지 포스트들에 의해 상기 기판 위에 지지되는 이동가능한 전극, 및 상기 이동가능한 전극의 위치에 따라 선택적으로 연결가능한 둘 이상의 스위치 단자를 포함한다.
다른 실시예에서, 본 발명은 미소 기전 시스템 스위치를 동작시키는 방법을 포함한다. 상기 방법은, 제1 전극과 제2 전극 양단에 제1 전압을 인가하여 이동가능한 소자를 제1 위치에서 제2 위치로 이동시킴으로써 스위치의 작동을 제어하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 또한, 상기 제1 전극과 제2 전극 양단에 제2 전압을 인가하여 상기 이동가능한 소자를 상기 제2 위치에 유지하는 단계를 포함한다.
다른 실시예에서, 미소 기전 시스템 스위치는, 제1 위치와 제2 위치 사이에서 이동가능한 제1 전극, 및 상기 이동가능한 제1 전극의 위치에 기초하여 선택적으로 연결가능한 복수의 스위치 단자를 포함한다. 상기 미소 기전 시스템 스위치는 또한, 상기 이동가능한 제1 전극을 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이동시키는 수단, 및 상기 제2 위치에 상기 이동가능한 제1 전극을 유지시키는 수단을 포함한다. 상기 유지시키는 수단은 상기 이동시키는 수단에 의해 선택적으로 제어가능하다.
다른 실시예에서, 본 발명은 미소 기전 시스템 스위치를 제조하는 방법을 포함한다. 상기 방법은, 기판 상의 한 쌍의 지지 포스트 사이에 전기적으로 분리된 적어도 제1 전극 및 제2 전극을 형성하는 단계, 복수의 스위치 단자를 형성하는 단계, 및 상기 지지 포스트들 상에 이동가능한 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
다른 실시예에서, 디스플레이 시스템은, 미소 기전 시스템 디스플레이 소자의 어레이를 포함하고, 하나 이상의 미소 기전 시스템 스위치가 상기 어레이에 연결되어 있다. 상기 미소 기전 시스템 스위치 중 적어도 하나는, 기판, 상기 기판에 의해 지지되는 둘 이상의 지지 포스트, 및 상기 기판에 의해 지지되고 상기 지지 포스트들 사이에 배치된 전기적으로 분리된 둘 이상의 전극을 포함한다. 이동가능한 전극은 상기 지지 포스트들에 의해 상기 기판 위에 지지되고, 둘 이상의 스위치 단자는 상기 이동가능한 전극의 위치에 따라 선택적으로 연결가능하도록 제공된다.
도 1은, 제1 간섭 변조기의 이동가능한 반사층이 해방 위치에 있고, 제2 간섭 변조기의 이동가능한 반사층은 작동 위치에 있는, 간섭 변조기 디스플레이의 일실시예의 일부를 도시한 등각투영도이다.
도 2는 3x3 간섭 변조기 디스플레이를 포함하는 전자 기기의 일실시예를 나타낸 시스템 블록도이다.
도 3은, 도 1의 간섭 변조기의 일실시예에서, 인가된 전압에 대응한 이동가능한 미러의 위치를 나타낸 도면이다.
도 4는 간섭 변조기 디스플레이를 구동하기 위해 사용될 수 있는 한 세트의 수평열 및 수직열 전압을 나타낸 것이다.
도 5a 및 도 5b는, 도 2의 3x3 간섭 변조기 디스플레이의 디스플레이 데이터의 프레임을 기록하기 위해 사용될 수 있는 수평열 신호와 수직열 신호의 타이밍도의 일례를 나타낸 것이다.
도 6a 및 도 6b는, 시각 디스플레이 기기의 일실시예를 나타낸 시스템 블록도이다.
도 7a는, 도 1에 도시된 기기의 단면도이다.
도 7b는 간섭 변조기의 다른 실시예의 단면도이다.
도 7c는 간섭 변조기의 또 다른 실시예의 단면도이다.
도 7d는 간섭 변조기의 또 다른 실시예의 단면도이다.
도 7e는 간섭 변조기의 또 다른 실시예의 단면도이다.
도 8a는 미소 기전 시스템 스위치의 실시예의 단면도이다.
도 8b는, 도 8a에 도시된 미소 기전 시스템 스위치 실시예의 평면도이다.
도 9는 미소 기전 시스템 스위치의 다른 실시예의 단면도이다.
도 10은 미소 기전 시스템 스위치의 다른 실시예의 단면도이다.
도 11은, 도 10에 도시된 미소 기전 시스템 스위치 실시예의 개략 블록도이다.
이하의 상세한 설명은 본 발명의 구체적인 실시예에 관한 것이다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 다른 방법과 방식으로 구현될 수 있다. 이하의 설명에서, 도 면이 참조되는데, 전체 도면에 걸쳐 동일한 부분에 대해 동일한 도면부호가 사용된다. 다음의 설명으로부터 명백한 바와 같이, 실시예들은 동적(예: 비디오) 또는 정적(예: 스틸 이미지)으로, 그리고 텍스트 형태 또는 그림 형태로 이미지를 표시하도록 구성된 모든 기기에 구현될 수 있다. 보다 상세하게는, 실시예들은 예컨대, 이동전화기, 무선 기기, 개인 휴대용 정보 단말기(PDA), 손에 들고 다니거나(hand-held) 휴대할 수 있는 컴퓨터, GPS 수신기/네비게이터, 카메라, MP3 플레이어, 캠코더, 게임 콘솔, 손목 시계, 시계, 계산기, 텔레비전 모니터, 평판 디스플레이, 컴퓨터 모니터, 자동차 디스플레이(예컨대, 주행 거리계 디스플레이), 조종석 제어 장치 및/또는 디스플레이, 감시 카메라의 디스플레이(예컨대, 자동차에서의 후방 감시 카메라의 디스플레이), 전자 사진 액자, 전자 게시판 또는 전자 표시기, 프로젝터, 건축 구조물, 포장물, 및 미적 구조물(예컨대, 보석 상의 이미지 디스플레이) 등과 같은 다양한 전자 기기에 또는 이와 관련하여 구현될 수 있는 것을 의도하지만, 이것으로 한정되지는 않는다. 또한, 여기서 개시한 미소 기전 시스템 기기와 유사한 구조의 기기를 전자 스위칭 기기와 같은 비(非)디스플레이 분야에 사용할 수도 있다.
간섭계 미소 기전 시스템 디스플레이 소자를 포함하여 구성된 간섭 변조기 디스플레이의 일실시예가 도 1에 도시되어 있다. 이러한 기기에서, 픽셀은 밝은 상태 또는 어두운 상태 중 하나의 상태로 된다. 밝은 상태("온 상태" 또는 "개방 상태")에서는, 디스플레이 소자가 입사되는 가시광의 대부분을 사용자에게 반사한다. 어두운 상태("오프 상태" 또는 "패쇄 상태")에서는, 디스플레이 소자가 입사 되는 가시광을 사용자에게 거의 반사하지 않는다. 실시예에 따라서는, "온 상태"와 "오프 상태"의 광 반사 특성이 반대로 바뀔 수도 있다. 미소 기전 시스템 픽셀은 선택된 컬러를 두드러지게 반사하여 흑백뿐 아니라 컬러 디스플레이도 가능하도록 구성될 수 있다.
도 1은 영상 디스플레이의 일련의 픽셀들에서 인접하는 두 개의 픽셀을 나타낸 등각투영도다. 여기서, 각 픽셀은 미소 기전 시스템의 간섭 변조기를 포함하여 구성된다. 몇몇 실시예에서, 간섭 변조기 디스플레이는 이들 간섭 변조기들의 행렬 어레이를 포함하여 구성된다. 각각의 간섭 변조기는, 적어도 하나의 치수가 가변적인 공진 광학 캐비티를 형성하도록 서로 가변적이고 제어가능한 거리를 두고 배치되어 있는 한 쌍의 반사층을 포함한다. 일실시예에서, 이 반사층들 중 하나가 두 개의 위치 사이에서 이동될 수 있다. 제1 위치에서(여기서는 "해방 위치"라고 한다), 이동가능한 층은 부분적으로 반사하는 고정된 층으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한다. 제2 위치에서(여기서는 "작동 위치"라고 한다), 이동가능한 층은 부분적으로 반사하는 층에 보다 가까이 인접하여 위치한다. 두 개의 층으로부터 반사되는 입사광은 이동가능한 반사층의 위치에 따라 보강적으로 또는 상쇄적으로 간섭하여, 각 픽셀을 전체적으로 반사 상태 또는 비반사 상태로 만든다.
도 1에 도시된 부분의 픽셀 어레이는 두 개의 간섭 변조기(12a, 12b)를 포함한다. 좌측에 있는 간섭 변조기(12a)에서는, 이동가능한 반사층(14a)이 부분적으로 반사하는 층을 포함하는 광학 스택(16a)으로부터 소정의 거리를 두고 해방 위치에 있는 것이 도시되어 있다. 우측에 있는 간섭 변조기(12b)에서는, 이동가능하고 반사성이 높은 층(14b)이 광학 스택(16b)에 인접한 작동 위치에 있는 것이 도시되어 있다.
광학 스택(16a, 16b)(총괄하여 광학 스택(16)이라고 한다)은, 본 명세서에서 언급하고 있는 바와 같이, 일반적으로 몇 개의 층을 결합시킨 것이며, 이러한 층은 인듐 주석 산화물(ITO)과 같은 전극층, 크롬과 같은 부분 반사층, 및 투명 유전체를 포함할 수 있다. 따라서, 광학 스택(16)은, 전기적으로 도전성을 가지고, 부분적으로 투명하며, 부분적으로 반사성이 있고, 예컨대 투명한 기판(20) 상에 상기한 층들 중 하나 이상을 침적시킴으로써 제조될 수 있다. 부분 반사층은, 금속, 반도체, 및 유전체 등과 같이 부분 반사 특성을 갖는 다양한 재료로 형성될 수 있다. 이 부분 반사층은, 하나 이상의 층들로 형성될 수 있으며, 각각의 층은 단일 재료 또는 재료들을 조합하여 형성될 수 있다.
몇몇 실시예들에서는, 광학 스택의 층들을 평행 스트립으로 패터닝하고, 이하에서 설명하는 바와 같이, 디스플레이 기기의 수평열 전극(row electrodes)을 형성할 수도 있다. 이동가능한 반사층(14a, 14b)은, 포스트(18)와 이 포스트들 사이에 개재된 희생 재료의 표면에 침적된 금속층(들)으로 된 일련의 병렬 스트립(광학 스택(16a, 16b)의 수평열 전극(16a, 16b)에 수직함)으로 형성될 수 있다. 희생 재료를 에칭하여 제거하면, 이동가능한 반사층(14a, 14b)이 광학 스택(16a, 16b)으로부터 미리 정해진 갭(19)에 의해 이격된다. 이동가능한 반사층(14)은 알루미늄과 같이 도전성과 반사성이 높은 재료를 이용하여 형성할 수 있고, 이것의 스트립은 디스플레이 기기의 수직열 전극(column electrodes)을 형성할 수 있다.
전압이 인가되지 않으면, 이동가능한 반사층(14a)과 광학 스택(16a) 사이에 캐비티(19)가 그대로 존재하게 되어, 이동가능한 반사층(14a)이 도 1의 픽셀(12a)로 도시된 바와 같이 기계적으로 해방된 상태로 있게 된다. 그러나, 선택된 행과 열에 전위차가 인가되면, 해당하는 픽셀에서 수평열 전극과 수직열 전극이 교차하는 지점에 형성된 커패시터가 충전되어, 정전기력이 이들 전극을 서로 끌어당기게 된다. 만일 전압이 충분히 높다면, 이동가능한 반사층(14)이 변형되어, 광학 스택(16)에 대해 고정된 층에 대해 힘을 받게 된다. 도 1에서 우측에 도시된 픽셀(12b)과 같이, 광학 스택(16) 내의 유전층(도 1에는 도시하지 않음)은 단락을 방지하고 이동가능한 반사층(14)과 광학 스택(16) 사이의 이격 거리를 제어할 수 있다. 이러한 양상은 인가된 전위차의 극성에 관계없이 동일하다. 이러한 방식으로, 반사와 비반사의 픽셀 상태를 제어할 수 있는 수평열/수직열 작동은 종래의 액정 디스플레이나 다른 디스플레이 기술에서 사용되었던 방식과 여러 가지 면에서 유사하다.
도 2 내지 도 5b는 디스플레이 응용 분야에서 간섭 변조기의 어레이를 사용하는 공정 및 시스템의 일례를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 여러 측면을 포함할 수 있는 전자 기기의 일실시예를 나타낸 시스템 블록도이다. 본 예시적인 실시예에서는, 전자 기기가 프로세서(21)를 포함한다. 이 프로세서(21)는 ARM, Pentium(등록상표), Pentium II(등록상표), Pentium III(등록상표), Pentium IV(등록상표), Pentium(등록상표) Pro, 8051, MIPS(등록상표), Power PC(등록상표), ALPHA(등록상표) 등과 같은 범용의 단일칩 또는 멀티칩 마이크로프로세서나, 또는 디지털 신호 처리기, 마이크로컨트롤러, 프로그래머블 게이트 어레이 등과 같은 특정 목적의 마이크로프로세서일 수 있다. 해당 기술 분야에서 알려진 바와 같이, 프로세서(21)는 하나 이상의 소프트웨어 모듈을 실행하도록 구성될 수 있다. 오퍼레이팅 시스템을 실행하는 것 외에도, 프로세서는 웹 브라우저, 전화 응용프로그램, 이메일 프로그램, 또는 임의의 다른 소프트웨어 응용프로그램을 포함하여 하나 이상의 소프트웨어 응용프로그램을 실행하도록 구성될 수 있다.
일실시예에서, 프로세서(21)는 또한 어레이 컨트롤러(22)와 통신하도록 구성된다. 일실시예에서, 어레이 컨트롤러(22)는 픽셀 어레이(30)에 신호를 제공하는 수평열 구동 회로(24) 및 수직열 구동 회로(26)를 포함한다. 도 2에서 1-1의 선을 따라 절단한 어레이의 단면도가 도 1에 도시되어 있다. 미소 기전 시스템의 간섭 변조기에 대한 수평열/수직열 구동 프로토콜은 도 3에 도시된 기기의 히스테리시스 특성을 이용할 수 있다. 이동가능한 층을 해방 상태에서 작동 상태로 변형시키기 위해, 예컨대, 10볼트의 전위차가 요구될 수 있다. 그러나, 전압이 그 값으로부터 감소할 때, 전압이 10볼트 이하로 떨어지더라도 이동가능한 층은 그 상태를 유지한다. 도 3의 실시예에서, 이동가능한 층은 전압이 2볼트 이하로 떨어질 때까지는 완전히 해방되지 않는다. 따라서, 기기가 해방 상태 또는 작동 상태 중 어느 하나의 상태로 안정되는 인가 전압 영역이 존재하는 전압의 범위가 있다. 도 3에서는 약 3~7볼트가 예시되어 있다. 이것을 여기서는 "히스테리시스 영역(hysteresis window)" 또는 "안정 영역(stability window)"이라고 부른다. 도 3의 히스테리시 스 특성을 가진 디스플레이 어레이에서는, 수평열/수직열 구동 프로토콜은 수평열 스토로브(row strobe)가 인가되는 동안에, 스트로브가 인가된 수평열에 있는 픽셀들 중에 작동되어야 픽셀들은 약 10볼트의 전위차에 노출되고, 해방되어야 할 픽셀들은 0(영) 볼트에 가까운 전위차에 노출되도록 설계될 수 있다. 스트로브를 인가한 후에는, 픽셀들이 수평열 스트로브에 의해 어떠한 상태가 되었든지 간에 그 상태로 유지되도록 약 5볼트의 정상 상태 전압차를 적용받는다. 기록된 후에, 각 픽셀은 본 실시예에서는 3-7볼트인 "안정 영역" 내의 전위차를 가진다. 이러한 구성으로 인해, 도 1에 도시된 픽셀 구조가 동일한 인가 전압의 조건 하에서 작동 상태든 해방 상태든 기존의 상태로 안정되게 된다. 작동 상태로 있든 해방 상태로 있든, 간섭 변조기의 각 픽셀은 필연적으로 고정된 반사층과 이동하는 반사층에 의해 형성되는 커패시터이기 때문에, 이 안정된 상태는 히스테리시스 영역 내의 전압에서 거의 전력 낭비 없이 유지될 수 있다. 인가 전위가 고정되어 있으면, 필연적으로 픽셀에 유입되는 전류는 없다.
전형적인 응용예로서, 첫 번째 수평열에 있는 소정 세트의 작동된 픽셀에 따라 한 세트의 수직열 전극을 어서팅(asserting)함으로써 디스플레이 프레임을 만들 수 있다. 그런 다음, 수평열 펄스를 수평열 1의 전극에 인가하여 어서트된 수직열 라인에 대응하는 픽셀들을 작동시킨다. 그러면, 수직열 전극의 어서트된 세트가 두 번째 수평열에 있는 소정 세트의 작동된 픽셀에 대응하도록 변경된다. 그런 다음, 펄스를 수평열 2의 전극에 인가하여 어서트된 수직열 전극에 따라 수평열 2에서의 해당하는 픽셀을 작동시킨다. 수평열 1의 픽셀들은 수평열 2의 펄스에 영향 을 받지 않고, 수평열 1의 펄스에 의해 설정되었던 상태를 유지한다. 이러한 동작을 순차적으로 전체 수평열에 대해 반복하여 프레임을 생성할 수 있다. 일반적으로, 이러한 프레임들은 초당 소정 수의 프레임에 대해 이러한 처리를 계속해서 반복함으로써 리프레쉬(refresh)되거나, 및/또는 새로운 디스플레이 데이터로 갱신된다. 수평열 및 수직열 전극을 구동하여 디스플레이 프레임을 생성하는 많은 다양한 프로토콜이 잘 알려져 있고, 본 발명과 관련하여 사용될 수 있다.
도 4, 도 5a, 및 도 5b는 도 2의 3x3 어레이에서 디스플레이 프레임을 생성하는 하나의 가능한 구동 프로토콜을 나타낸 것이다. 도 4는 도 3의 히스테리시스 곡선을 보여주는 픽셀들에 사용될 수 있는 수직열 및 수평열의 가능한 전압 레벨 세트를 보여준다. 도 4의 실시예에서, 픽셀을 작동시키기 위해, 해당하는 수직열은 -Vbias로 설정하고 해당하는 수평열은 +ΔV로 설정한다. 각각의 전압은 -5볼트 및 +5볼트에 대응할 수 있다. 픽셀을 해방시키기 위해서는, 해당하는 수직열은 +Vbias로 설정하고 해당하는 수평열은 동일한 값의 +ΔV로 설정하여, 픽셀에 걸리는 전위차가 0(영)볼트가 되도록 한다. 수평열의 전압이 0(영)볼트로 되어 있는 수평열에서는, 수직열이 +Vbias이든 -Vbias이든 관계없이 픽셀들이 원래의 상태로 안정된다. 도 4에 또한 도시된 바와 같이, 전술한 것과 반대 극성의 전압을 사용할 수 있다는 것을 알 수 있을 것이다. 예컨대, 픽셀의 구동은 적당한 수직열을 +Vbias로, 그리고 적당한 수평열을 -ΔV로 설정하는 것을 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 적당한 수직열을 -Vbias로, 그리고 적당한 수평열을 동일한 -ΔV로 설정하여, 픽셀 양단에 0(영) 볼트 전위차를 생성함으로써 픽셀을 해방시킬 수 있다.
도 5b는 도 2의 3x3 어레이에 인가되는 일련의 수평열 및 수직열 신호를 보여주는 타이밍도이며, 그 결과로서 작동된 픽셀들이 비반사성인 도 5a에 도시된 디스플레이 배열이 얻어진다. 도 5a에 도시된 프레임을 기록하기 전에, 픽셀들은 어떤 상태로 되어 있어도 무방하다. 본 예에서는, 모든 수평열들이 0(영)볼트이고, 모든 수직열들이 +5볼트이다. 이러한 인가 전압으로, 모든 픽셀들은 기존의 작동 상태 또는 해방 상태로 안정되어 있다.
도 5a의 프레임에서, (1,1), (1,2), (2,2), (3,2) 및 (3,3)의 픽셀들이 작동된다. 이를 구현하기 위해, 수평열 1에 대한 "라인 시간" 동안, 수직열 1과 2는 -5볼트로 설정되고, 수직열 3은 +5볼트로 설정된다. 이것은 어느 픽셀의 상태도 바꾸지 않는다. 왜냐하면, 모든 픽셀들이 3-7볼트의 안정영역 내에 있기 때문이다. 그런 다음, 수평열 1에 0볼트에서 5볼트로 상승한 후 다시 0볼트로 되는 펄스를 가진 스트로브를 인가한다. 이것은 (1,1) 및 (1,2)의 픽셀을 작동시키고 (1,3)의 픽셀을 해방시킨다. 어레이의 다른 픽셀들은 영향을 받지 않는다. 수평열 2를 원하는 대로 설정하기 위해, 수직열 2를 -5볼트로 설정하고, 수직열 1 및 3은 +5볼트로 설정한다. 동일한 스트로브를 수평열 2에 인가하면, (2,2)의 픽셀이 작동되고, (2,1) 및 (2,3)의 픽셀이 해방된다. 여전히, 어레이의 다른 픽셀들은 영향을 받지 않는다. 수직열 2 및 3을 -5볼트로 설정하고 수직열 1을 +5볼트로 설정함으 로써, 수평열 3도 마찬가지의 방법으로 설정될 수 있다. 수평열 3에 대한 스트로브로 인해 수평열 3의 픽셀들도 도 5a에 도시된 바와 같이 설정된다. 프레임을 기록한 후에, 수평열 전위는 0(영)이고, 수직열 전위는 +5볼트 또는 -5볼트로 남아있으므로, 디스플레이는 도 5a의 배열로 안정된다. 수십 또는 수백의 수평열 및 수직열로 된 어레이에 대해 동일한 처리가 행해질 수 있다는 것도 잘 알 수 있을 것이다. 또한, 수평열 및 수직열의 구동을 위해 사용되는 전압의 타이밍, 순서 및 레벨은 위에서 설명한 전반적인 원리 내에서 다양하게 변화될 수 있으며, 위의 예는 단지 예시일 뿐이며, 작동 전압 방법은 여기에 개시한 시스템 및 방법과 사용될 수 있다.
도 6a 및 도 6b는 디스플레이 기기(40)의 일실시예를 나타낸 시스템 블록도이다. 디스플레이 기기(40)는, 예컨대 휴대 전화기일 수 있다. 하지만, 디스플레이 기기(40)의 동일한 구성요소 또는 그것을 약간 변형한 것도 또한 텔레비전 및 휴대형 매체 플레이어와 같은 여러 형태의 디스플레이 기기의 예가 된다.
디스플레이 기기(40)는 하우징(41), 디스플레이(30), 안테나(43), 스피커(44), 입력 기기(48), 및 마이크(46)를 포함한다. 하우징(41)은 일반적으로 사출 성형이나 진공 성형을 포함하여 해당 기술분야에서 잘 알려진 여러 가지 제조 공정 중 어느 것에 의해서도 제조될 수 있다. 또한, 하우징(41)은, 한정되는 것은 아니지만, 플라스틱, 금속, 유리, 고무, 및 세라믹 또는 이들의 조합을 포함하여 여러 가지 재료 중 어느 것으로도 만들어질 수 있다. 일실시예에서, 하우징(41)은 분리가능한 부분(도시되지 않음)을 포함하고, 이 분리가능한 부분은 다른 색깔이나 다른 로고, 그림 또는 심볼을 가진 다른 분리가능한 부분으로 교체될 수 있다.
본 예의 디스플레이 기기(40)의 디스플레이(30)는, 여기서 개시한 쌍안정(bi-stable) 디스플레이를 포함하여, 여러 가지 디스플레이 중 어느 것이어도 무방하다. 다른 실시예에서, 해당 기술분야에서 당업자에게 잘 알려진 바와 같이, 디스플레이(30)는 전술한 바와 같이 플라즈마, EL, OLED, STN LCD, 또는 TFT LCD와 같은 평판 디스플레이, 또는 CRT나 기타 튜브 디스플레이 기기 등과 같은 비평판 디스플레이를 포함한다. 그러나, 본 실시예를 설명하기 위해, 디스플레이(30)는 여기서 개시하는 바와 같이 간섭 변조기 디스플레이를 포함한다.
예시된 디스플레이 기기(40)의 일실시예에서의 구성요소가 도 6b에 개략적으로 도시되어 있다. 도시된 예시된 디스플레이 기기(40)는 하우징(41)을 포함할 수 있으며, 적어도 부분적으로 수용된 부가적인 구성요소를 포함한다. 예컨대, 일실시예에서, 본 예의 디스플레이 기기(40)가 송수신기(47)와 연결된 안테나(43)를 포함하는 네트워크 인터페이스(27)를 포함할 수 있다. 송수신기(47)는 프로세서(21)에 연결되어 있고, 프로세서(21)는 컨디셔닝 하드웨어(conditioning hardware)(52)에 연결되어 있다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 신호를 고르게 하도록(예컨대, 신호를 필터링하도록) 구성될 수 있다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 스피커(44)와 마이크(46)에 연결되어 있다. 프로세서(21)는 입력 기기(48)와 드라이버 컨트롤러(29)에도 연결되어 있다. 드라이버 컨트롤러(29)는 프레임 버퍼(28)와 어레이 드라이버(22)에 연결되어 있고, 어레이 드라이버는 디스플레이 어레이(30)에 연결되어 있다. 전원(50)은 예시된 디스플레이 기기(40)의 특정 설계에 따라 요구되는 모든 구성요소에 전력을 공급한다.
네트워크 인터페이스(27)는 예시된 디스플레이 기기(40)가 네트워크를 통해 하나 이상의 기기들과 통신할 수 있도록 안테나(43)와 송수신기(47)를 포함한다. 일실시예에서, 네트워크 인터페이스(27)는 프로세서(21)의 부담을 경감하기 위해 어느 정도의 처리 능력을 가질 수도 있다. 안테나(43)는 신호를 송수신하는 것으로서, 해당 기술분야의 당업자에게 알려진 어떠한 안테나라도 무방하다. 일실시예에서, 안테나는 IEEE 802.11(a), (b), 또는 (g)를 포함하여 IEEE802.11 표준에 따라 RF 신호를 송수신한다. 다른 실시예에서, 안테나는 블루투스(BLUETOOTH) 표준에 따라 RF 신호를 송수신한다. 휴대 전화기의 경우, 안테나는 CDMA, GSM, AMPS 또는 무선 휴대폰 네트워크를 통한 통신에 사용되는 공지의 다른 신호를 수신하도록 설계된다. 송수신기(47)는 안테나(43)로부터 수신한 신호를, 프로세서(21)가 수신하여 처리할 수 있도록 전처리한다. 송수신기(47)는 또한 프로세서(21)로부터 수신된 신호를 처리하고, 그 신호는 안테나(43)를 통해 예시된 디스플레이 기기(40)로부터 송신될 수 있다.
다른 실시예에서, 송수신기(47)를 수신기로 대체할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 네트워크 인터페이스(27)는 프로세서(21)로 전송될 이미지 데이터를 저장하거나 생성할 수 있는 이미지 소스로 대체될 수 있다. 예컨대, 이미지 소스는 이미지 데이터를 담고 있는 DVD나 하드디스크 드라이브일 수도 있고, 이미지 데이터를 생성하는 소프트웨어 모듈일 수도 있다.
프로세서(21)는 일반적으로 본 예의 디스플레이 기기(40)의 전반적인 동작을 제어한다. 프로세서(21)는 네트워크 인터페이스(27)나 이미지 소스로부터 압축된 이미지 데이터 등을 수신하여, 이를 본래의 이미지 데이터 또는 본래의 이미지 데이터로 처리될 수 있는 포맷으로 가공한다. 그런 다음, 프로세서(21)는 가공된 데이터를 드라이버 컨트롤러(29)나 저장을 위한 프레임 버퍼(28)로 보낸다. 전형적으로, 본래의 데이터는 이미지 내의 각 위치에 대한 이미지 특성을 나타내는 정보를 말한다. 예컨대, 그러한 이미지 특성은 컬러, 채도, 명도(그레이 스케일 레벨)를 포함할 수 있다.
일실시예에서, 프로세서(21)는 마이크로컨트롤러, CPU, 또는 예시된 디스플레이 기기(40)의 동작을 제어하는 논리 유닛을 포함한다. 일반적으로, 컨디셔닝 하드웨어(52)는, 스피커(44)로 신호를 보내고 마이크(46)로부터 신호를 받기 위해, 증폭기와 필터를 포함한다. 컨디셔닝 하드웨어(52)는 예시된 디스플레이 기기(40) 내의 별도의 구성요소일 수도 있고, 또는 프로세서(21)나 다른 구성요소 내에 통합되어 있을 수도 있다.
드라이버 컨트롤러(29)는 프로세서(21)에 의해 생성된 본래의 이미지 데이터를 이 프로세서(21)로부터 직접 또는 프레임 버퍼(28)로부터 받아서, 이를 어레이 드라이버(22)에 고속으로 전송하기에 적합한 포맷으로 재구성한다. 구체적으로, 드라이버 컨트롤러(29)는 디스플레이 어레이(30)를 가로질러 스캐닝하기에 적합한 시간 순서를 가지도록 본래의 이미지 데이터를 래스터(raster)와 같은 포맷을 가진 데이터 흐름으로 재구성한다. 그런 다음, 드라이버 컨트롤러(29)는 재구성된 정보를 어레이 드라이버(22)로 보낸다. 종종 액정 디스플레이의 컨트롤러 등과 같은 드라이버 컨트롤러(29)가 독립형 집적 회로(stand-alone IC)로서 시스템 프로세서(21)와 통합되기도 하지만, 이러한 컨트롤러는 여러 가지 방법으로 구현될 수 있다. 이러한 컨트롤러는 프로세서(21)에 하드웨어로서 내장될 수도 있고, 프로세서(21)에 소프트웨어로서 내장될 수도 있으며, 또는 어레이 드라이버(22)와 함께 하드웨어로 완전히 통합될 수도 있다.
전형적으로, 어레이 드라이버(22)는 드라이버 컨트롤러(29)로부터 재구성된 정보를 받아서, 이 비디오 데이터를 디스플레이의 x-y 행렬의 픽셀들로부터 이어져 나온 수백 때로는 수천 개의 리드선에 초당 수 회에 걸쳐 인가되는 병렬의 파형 세트로 변환한다.
일실시예에서, 드라이버 컨트롤러(29), 어레이 드라이버(22), 및 디스플레이 어레이(30)는 여기서 기술한 어떠한 형태의 디스플레이에 대해서도 적합하다. 예컨대, 일실시예에서, 드라이버 컨트롤러(29)는 종래의 디스플레이 컨트롤러 또는 쌍안정 디스플레이 컨트롤러(예컨대, 간섭 변조기 컨트롤러)이다. 다른 실시예에서, 어레이 드라이버(22)는 종래의 드라이버 또는 쌍안정 디스플레이 드라이버(예컨대, 간섭 변조기 디스플레이)이다. 일실시예에서, 드라이버 컨트롤러(29)는 어레이 드라이버(22)와 통합되어 있다. 그러한 예는 휴대폰, 시계 및 다른 소형 디스플레이와 같은 고집적 시스템에서는 일반적인 것이다. 또 다른 실시예에서, 디스플레이 어레이(30)는 전형적인 디스플레이 어레이 또는 쌍안정 디스플레이 어레이(예컨대, 간섭 변조기 어레이를 포함하는 디스플레이)이다.
입력 기기(48)는 사용자로 하여금 예시된 디스플레이 기기(40)의 동작을 제 어할 수 있도록 한다. 일실시예에서, 입력 기기(48)는 쿼티(QWERTY) 키보드나 전화기 키패드 등의 키패드, 버튼, 스위치, 터치 스크린, 압력 또는 열 감지 막을 포함한다. 일실시예에서, 마이크(46)는 예시된 디스플레이 기기(40)의 입력 기기이다. 기기에 데이터를 입력하기 위해 마이크(46)가 사용되는 경우에, 예시된 디스플레이 기기(40)의 동작을 제어하기 위해 사용자는 음성 명령을 제공할 수 있다.
전원(50)은 해당 기술분야에서 잘 알려진 다양한 에너지 저장 기기를 포함할 수 있다. 예컨대, 일실시예에서, 전원(50)은 니켈-카드뮴 전지나 리튬-이온 전지와 같은 재충전가능한 전지이다. 다른 실시예에서, 전원(50)은 재생가능한 에너지원, 커패시터, 또는 플라스틱 태양 전지와 태양 전지 도료를 포함하는 태양 전지이다. 다른 실시예에서, 전원(50)은 콘센트로부터 전력을 공급받도록 구성된다.
몇몇 구현예에서는, 상술한 바와 같이, 전자 디스플레이 시스템 내의 여러 곳에 위치될 수 있는 드라이버 컨트롤러의 제어를 프로그래머블하게 구성할 수 있다. 어떤 경우에는, 어레이 드라이버(22)의 제어를 프로그래머블하게 구성할 수도 있다. 해당 기술분야의 당업자라면 임의의 수의 하드웨어 및/또는 소프트웨어 구성요소로도 상술한 최적화 상태를 구현할 수 있고, 또 여러 가지 다양한 구성으로 구현할 수도 있다는 것을 인식할 수 있을 것이다.
위에서 설명한 원리에 따라 동작하는 간섭 변조기의 세부 구조는 다양하게 변경될 수 있다. 예컨대, 도 7a - 도 7e는 이동가능한 반사층(14)과 이를 지지하는 구조체에 대한 5개의 상이한 실시예를 나타낸다. 도 7a는 도 1에 도시된 실시예의 단면도로서, 금속 재료로 된 스트립(14)이 직각으로 연장된 지지대(18) 상에 배치되어 있다. 도 7b에서, 이동가능한 반사층(14)이 연결선(32)에 의해 그 코너에서만 지지대에 부착되어 있다. 도 7c에서, 이동가능한 반사층(14)은 변형가능한 층(34)에 매달려 있고, 변형가능한 층(34)은 가요성 금속(flexible metal)을 포함할 수 있다. 변형가능한 층(34)은, 이 변형가능한 층(34)의 주위 둘레에 있는 기판(20)에 직접 또는 간접으로 연결되어 있다. 이 변형가능한 층과 기판 간의 연결부를, 여기서는 지지 포스트라고 한다. 도 7d에 도시된 실시예는 지지 포스트 플러그(42)를 구비하고 있는데, 이 지지 포스트 플러그(42) 상에 변형가능한 층(34)이 위치한다. 이동가능한 반사층(14)은, 도 7a - 도 7c에서와 같이, 캐비티의 위에 매달려 있는 상태를 유지하고 있지만, 변형가능한 층(34)은, 광학 스택(16)과의 사이에 있는 구멍이 채워져 있기 때문에 지지 포스트를 형성하지 않는다. 그 대신에, 지지 포스트는 지지 포스트 플러그(42)를 형성하는데 사용되는 평탄화 재료로 구성된다. 도 7e에 도시된 실시예는, 도 7d에 도시된 실시예에 기초하고 있지만, 도 7a - 도 7c에 도시된 실시예뿐만 아니라 도시되지 않은 다른 실시예의 어떤 것과도 작용하도록 구성될 수 있다. 도 7e에 도시된 실시예에서는, 금속 또는 그외 다른 도전성 재료로 된 여분의 층을 사용하여, 버스 구조체(44)를 형성하고 있다. 이러한 구성에 의하여, 신호가 간섭 변조기의 후면을 통해 전달될 수 있게 되어, 그렇지 않았다면 기판(20) 상에 형성했어야 하는 많은 전극을 제거할 수 있다.
도 7a - 도 7e에 도시된 것과 같은 실시예들에서, 간섭 변조기는 직시형 기기(direct-view devices)로서 기능하며, 이러한 직시형 기기에서는 이미지를 투명한 기판(20)의 정면에서 보게 되고, 그 반대쪽 면에 간섭 변조기가 배치된다. 이 러한 실시예들에서, 이동가능한 반사층(14)은, 변형가능한 층(34)이 포함하는, 이 반사층의 기판(20)과 대향하는 쪽의 간섭 변조기의 몇몇 부분을 광학적으로 차폐시킨다. 이러한 구성에 의하면, 차폐된 영역이 이미지의 품질에 부정적인 영향을 미치지 않도록 구성되어 동작할 수 있다. 이러한 차폐에 의해, 도 7e의 버스 구조체(44)를 형성할 수 있으며, 이러한 버스 구조체(44)는, 어드레싱 및 어드레싱에 의한 이동과 같은, 간섭 변조기의 전기 기계적 특성으로부터 간섭 변조기의 광학 특성을 분리할 수 있는 능력을 제공한다. 이러한 분리가능한 변조기 구조에 의해, 변조기의 전기 기계적 특징 및 광학적 특징을 위해 사용되는 구조적인 설계 및 재료가, 서로 독립적으로 선택되어 기능하도록 한다. 또한, 도 7c - 도 7e에 도시된 실시예는, 이동가능한 반사층(14)의 광학적 특성을 간섭 변조기의 기계적 특성과 분리시킴으로써 얻는 추가적인 장점이 있으며, 이러한 분리는 변형가능한 층(34)에 의해 이루어진다. 이러한 구성에 의하면, 이동가능한 반사층(14)에 사용되는 구조적 설계 및 재료를 반사층의 광학적 특성에 대해 최적화할 수 있으며, 변형가능한 층(34)에 사용되는 구조적 설계 및 재료를 바람직한 기계적 특성에 대해 최적화할 수 있다.
몇몇 변형예에서, 간섭 변조기의 기본 구조를 미소 기전 시스템 스위치로 사용할 수 있다. 미소 기전 시스템 스위치는 간섭 변조기 어레이에 논리 및 스위칭 기능의 통합이 용이하도록 간섭 변조기와 동일한 기본 구조로 만들었다. 간섭 소자의 제조와 다른 방식으로 제조된 스위치, 및 유리 기판 상에 침적된 실리콘 박막을 사용하여 제조된 좀 더 종래의 스위치와 같은, 다른 형태의 스위치를 통합하는 것도 가능하다. 하지만, 간섭 변조기 기반 미소 기전 시스템 스위치의 제조는 간섭 변조기의 제조에 사용되는 것과 동일한 많은 공정 단계를 사용하여 실행될 수 있기 때문에, 이들 미소 기전 시스템 스위치는, 예컨대 디스플레이용으로 사용되는 간섭 변조기의 어레이와 동일한 기판 상에 싼값으로 통합될 수 있다.
예컨대, 제조 공정 동안에 간섭 변조기 및/또는 미소 기전 시스템 스위치에 대해 특별한 단계들이 수행될 수 있지만, 일실시예에서는 미소 기전 시스템 스위치와 간섭 변조기를 동일한 공정을 사용하여 제조할 수 있다. 예컨대, 간섭 변조기의 제조에는 미소 기전 시스템 스위치에 단자들을 부가하기 위한 침적 및 에칭 단계가 불필요하다. 이러한 실시예에서, 전극을 형성하는 단계 등과 같은 몇몇 공통 단계가 수행될 것이다. 미소 기전 시스템 스위치는 그 다음에 형성될 것이다. 이러한 단계 다음에 간섭 변조기와 미소 기전 시스템 스위치 모두에 필요한 더 많은 단계들이 수행될 것이고, 따라서 결합된 간섭 변조기와 미소 기전 시스템 스위치 어레이를 제공한다. 또 다른 실시예에서, 간섭 변조기의 제조에 사용된 것과 동일한 공정이 미소 기전 시스템 스위치의 제조에 사용된다. 간섭 변조기를 기판 상에 먼저 제조한 다음, 그 기판 상에 미소 기전 시스템 스위치를 제조할 수 있다. 유사하게, 미소 기전 시스템 스위치를 기판 상에 먼저 제조한 다음, 그 기판 상에 간섭 변조기를 제조할 수도 있다. 어느 경우에도, 미소 기전 시스템 스위치가 간섭 변조기와 동일한 구조를 많이 포함하고 있기 때문에, 제조 공정을 크게 변경할 필요는 없다.
일실시예에서는, 이 미소 기전 시스템 스위치들의 그룹을 사용하여 임의의 용도로 사용될 수 있는 논리 블록을 구성할 수 있다. 외부에 부착되는 부품에서 전형적으로 발견되는 논리적 및 전기적 기능을 제공하기 위해 미소 기전 시스템 스위치를 포함하는 논리 블록들을 함께 배치하여, 부품 비용을 줄일 수 있다. 예컨대, 미소 기전 시스템 스위치를 저 리크(low leakage) 트랜지스터, 시프트 레지스터, 또는 디멀티플렉서의 용량(capacity)와 같이, 다양한 방식으로 사용하기 위해 배치할 수 있다. 간섭 변조기에 있어, 전술한 미소 기전 시스템 스위치를 예를 들어 수평열 구동기 또는 수직열 구동기와 함께 사용할 수 있다. 바람직하게는, 전술한 미소 기전 시스템 스위치를 유리 기판, 유리 웨이퍼 기판, 실리콘 웨이퍼 기판, 또는 플라스틱 기판과 같은 다양한 기판 상에 제조할 수 있다.
도 8a는 미소 기전 시스템 스위치(700)의 측단면도이다. 도 8a의 미소 기전 시스템 스위치(700)는 도 7a의 간섭 변조기와 유사한 변형가능한 캐비티 구조를 가지고 있다. 미소 기전 시스템 스위치(700)은 두 개의 단자(706), 절연층(710), 및 도전성 스트립(708)을 더 포함한다. 미소 기전 시스템 스위치(700)는 두 개의 단자(706) 사이에 전기적인 접촉을 선택적으로 제공하는 구조이다. 더욱 상세하게는, 단자들(706)이 전기적 접촉 상태이면 미소 기전 시스템 스위치(700)가 폐쇄된 것으로 간주하고, 단자들(706)이 전기적 비접촉 상태이면 미소 기전 시스템 스위치(700)가 개방된 것으로 간주한다. 기계적으로 해방된 상태에서, 단자들(706)은 전기적 비접촉 상태이고, 따라서 미소 기전 시스템 스위치(700)는 개방 상태이다. 도 8a에 도시된 바와 같이, 미소 기전 시스템 스위치(700)는 이동가능한 재료(714), 도전성 스트립(708), 및 이동가능한 재료(714)와 도전성 스트립(708) 사 이의 절연층(710)을 포함한다. 기판(720)은 전극(702), 및 전극(702) 상의 절연층(704)을 지지한다. 서로 떨어져 있는 두 개의 단자(706)는 절연층(704) 상에 및/또는 절연층(704)을 통해 형성되어 있다. 단자들(706)은 통로(via)를 사용하여 절연층(704) 및/또는 전극(702)을 통해 다른 회로에 접속할 수 있다. 절연층(704) 및 이동가능한 재료(714)는 지지대(718)에 의해 기계적으로 분리되어 캐비티(707)를 규정한다. 간섭 변조기에 대해 전술한 바와 같이, 이동가능한 재료(714)는 변형가능하므로, 이동가능한 재료(714)와 전극(702) 사이에 전압 차를 인가하면, 이동가능한 재료(714)는 기판(720) 쪽으로 변형될 수 있다. 이것은 도 7a의 반사성 재료(14), 기판(20), 전극(16), 및 반사층(14a, 14b), 그리고 도 1의 투명한 기판(20), 및 반사층(16a, 16b)과도 비슷하다. 이동가능한 재료(714) 상에는 절연체(710)가 있을 수 있고, 절연체(710) 상에는 도전성 스트립(708)이 있을 수 있다. 도전성 스트립(708)은, 이동가능한 재료(714)가 전술한 바와 같이 인가된 전위에 의해 기판(720) 쪽으로 구부러지면, 단자들(706)이 전기적 접촉 상태가 되어 미소 기전 시스템 스위치(700)가 폐쇄되도록 정렬되어 있다. 본 실시예에서, 단자들(706)과 이동가능한 재료(714) 사이의 접촉이 이동가능한 재료(714)와 전극(702) 사이에 인가된 전압차를 방해하지 않도록, 도전성 스트립(708)은 절연체(710)에 의해 이동가능한 재료(714)와 전기적으로 분리(isolate)되어 있다. 이러한 분리를 필요로 하지 않는 몇몇 실시예에서는, 도전성 스트립(708)과 절연체(710)는 불필요하며, 이동가능한 재료(714) 자체가 두 개의 단자(706)를 연결하는 도체로 기능할 수 있다. 이동가능한 재료(714)와 전극(702) 사이에 인가된 전압이 어떤 일정한 레벨 이하로 감소되면(전술한 바와 같이), 이동가능한 재료(714)는 기계적으로 해방된 상태로 돌아가고, 미소 기전 시스템 스위치(700)는 개방된다.
도 8b은 미소 기전 시스템 스위치(700)의 평면도이다. 지지대(718), 도전성 스트립(708), 및 단자(706)들은 이동가능한 재료(714)를 통해 보이는 대로 도시되어 있다. 도전성 스트립(807)은 이동가능한 재료(714)에 비해 상당히 작을 수 있다. 이것은 일단 도전성 스트립(708)이 전극들에 접촉하면, 도전성 스트립(708) 상의 전위가 이동가능한 재료(714) 상의 전위와 다를 수 있기 때문에, 이동가능한 재료(714)와 전극(702) 사이의 기전력(electromotive force)이 도전성 스트립(708)과 전극(702) 사이의 기전력보다 다 커도록 보장하기 위한 것이다.
도 9는 또 다른 실시예의 미소 기전 시스템 스위치(800)의 측단면도 이다. 미소 기전 시스템 스위치(800)은 도 7c의 간섭 변조기와 유사한 구조적 특징을 가지고 있다. 이 미소 기전 시스템 스위치(800)는 또한 도 8a의 미소 기전 시스템 스위치(700)의 기능 및 특징과 유사한 미소 기전 시스템 스위치 기능 및 특징을 가지고 있다.
도 10은 다른 미소 기전 시스템 전기 스위치의 측단면로서, 기판 상에 "래치(latch)" 전극(730a, 730b)이 추가된 것을 제외하고는 도 8의 스위치와 유사하며, 이하에 더욱 상세하게 설명한다. 도 10에서, 스위치는 이동가능한 재료(714)가 아래의 단자(706) 쪽으로 변형되어 있는 작동 위치로 도시되어 있다.
동작 시에, 처음에 래치 전극(730a, 730b)에 비교적 낮은 전압이 인가되어 래치 전극(730a, 730b)과 이동가능한 재료(714) 사이의 전압차가 발생한다. 이 설 계의 바람직한 실시예에서, 이 전압차는 이동가능한 재료(714)를 해방 상태에서 작동 상태로 변형시키기에 충분한 크기는 아니지만, 일단 작동 상태가 된 이동가능한 재료(714)를 그 상태로 유지하기에는 충분하다. 이어서, 이동가능한 재료(714)를 전극(702) 쪽으로 이동시키기에 충분한 크기의, 이동가능한 재료(714)와 전극(720) 사이에 전압차를 발생시키는 전압을, 전극(702)에 인가한다. 이 인가된 전압에 의해 기기(device)가 작동한 후에, 전극(702)에 인가된 전압을 제거할 수 있다. 이동가능한 재료(714)와 래치 전극(730a, 730b)이 매우 근접해 있기 때문에, 래치 전극(730a, 730b)에 인가된 전압이 기기를 완전히 해방된 초기 상태에서 작동시킬 수 있을 정도로 높지 않더라도, 이동가능한 재료(714)는 래치 전극(730a, 730b)과의 전압차에 의해 변형된 위치에서 유지될 수 있다. 일실시예에서, 래치 전극(730a, 730b)에 인가된 전압은 1-10볼트 범위 내이고, 전극(702)에 인가된 전압은 5-15볼트 범위 내이다. 또한 세트(set) 전압을 인가한 후에, 래치 전압이 인가될 수 있는 것도 잘 알 수 있을 것이다. 또한 도 10에 도시된 여러 구성요소의 위치는 광범위하게 변화될 수 있다는 것도 잘 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 스위치 단자(706)들은 지지 포스트와 래치 전극들 사이에 배치될 수 있다. 래치 전극(730a, 730b)은 지지 포스트 쪽으로 및/또는 지지 포스트 아래로 더욱 연장될 수 있다. 또, 단 하나, 또는 둘 이상의 래치 전극이 제공될 수 있다. 주요 특징은 래치 전극(들)이 래치 기능을 제공하는 위치에 배치된다는 것이다. 도 10의 실시예에서, 이동가능한 재료가 코너를 형성하고 제일 먼저 기판과 접촉하는 지점 아래에, 래치 전극들의 적어도 일부가 있는 것이 바람직하다.
도 11은, 이 미소 기전 시스템 스위치 실시예의 개략 블록도이다. 전극(702)에 SET(세트) 신호가 인가되고, 래치 전극(730a, 730b)에 LATCH(래치) 신호가 인가된다. LATCH 신호는 SET 신호보다 낮은 전압일 수 있다. 일단 LATCH 신호가 어서트되면, SET 신호를 어서트하여 스위치를 폐쇄할 수 있다. SET 신호의 디어서팅은, LATCH 신호도 제거되지 않는 한, 기기를 해방시키지 않고 스위치를 개방시킨다. 이 설계에 의해, 공통의 LATCH 신호를 어서팅하고 개개의 중심 전극에 라우팅된 규정된 SET 신호의 그룹을 사용한 후, SET 신호가 스위치 상태를 변화시키지 않는 임의의 값을 가질 수 있도록 함으로써, 스위치 그룹을 원하는 대로 구성할 수 있다. 그룹 전체는 SET 신호와 LATCH 신호를 모두 디어서팅함으로써 소거(clear)될 수 있다.
전술한 상세한 설명에서는 다양한 실시예에 적용된 것과 같은 새로운 특징들을 보여주고 설명하고 지적하였지만, 본 발명의 기술적 사상으로 이탈하지 않는 범위 내에서 당업자가 예시된 기기 또는 공정의 상세한 구성이나 형태로부터 다양하게 생략하고 대체하고 변경하는 것이 가능하다는 것을 알아야 한다. 인식하고 있는 바와 같이, 몇몇 특징은 다른 특징들과 분리되어 사용되거나 실현될 수 있으므로, 본 발명은 여기에 개시된 특징과 장점을 모두 가지고 있지는 않은 형태로 구현될 수도 있다.

Claims (24)

  1. 이동가능한 전극; 및
    상기 이동가능한 전극의 위치에 따라 선택적으로 연결가능한 둘 이상의 스위치 단자;
    상기 이동가능한 전극의 하나 이상의 주변부(peripehral portion)에 인접하여 배치되는 제1 래치 전극(latch electrode) 및 제2 래치 전극;
    상기 이동가능한 전극의 중심부(central portion)에 인접하여 배치된 세트 전극(set electrode); 및
    상기 이동가능한 전극과 상기 세트 전극 양단에 제1 전압의 인가에 기초하여, 상기 이동가능한 전극을 작동 위치로 작동시키도록 구성되고, 상기 이동가능한 전극과 상기 제1 래치 전극 및 상기 제2 래치 전극 양단에 제2 전압의 인가에 기초하여, 상기 이동가능한 전극을 상기 작동 위치로 유지하도록 구성되는 구동 회로
    를 포함하고,
    상기 제2 전압은 상기 제1 전압보다 낮은, 미소 기전 시스템 기기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 세트 전극은, 상기 제1 래치 전극과 상기 제2 래치 전극 사이의 중심 영역 내에 배치되는, 미소 기전 시스템 기기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 세트 전극은 상기 미소 기전 시스템 기기의 중심 영역 내에 있고,
    상기 제1 래치 전극 및 상기 제2 래치 전극은 상기 세트 전극과 전기적으로 분리되어 있는, 미소 기전 시스템 기기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 스위치 단자들은 기판에 의해 지지되는, 미소 기전 시스템 기기.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이동가능한 전극이 상기 기판 가까이에 위치되어 있을 때 상기 스위치 단자들이 연결되는, 미소 기전 시스템 기기.
  6. 이동가능한 전극; 및
    상기 이동가능한 전극의 위치에 따라 선택적으로 연결가능한 둘 이상의 스위치 단자;
    상기 이동가능한 전극의 하나 이상의 주변부에 인접하여 배치되는 제1 래치 전극 및 제2 래치 전극;
    상기 이동가능한 전극의 중심부에 인접하여 배치된 세트 전극; 및
    상기 이동가능한 전극과 상기 세트 전극 양단에 제1 전압의 인가에 기초하여, 상기 이동가능한 전극을 작동 위치로 작동시키도록 구성되고, 상기 이동가능한 전극과 상기 제1 래치 전극 및 상기 제2 래치 전극 양단에 제2 전압의 인가에 기초하여, 상기 이동가능한 전극을 상기 작동 위치로 유지하도록 구성되는 구동 회로
    를 포함하고,
    상기 제2 전압은 상기 제1 전압보다 낮은, 디스플레이 시스템.
  7. 삭제
  8. 제6항에 있어서,
    상기 디스플레이와 전기적으로 연결되고, 이미지 데이터를 처리하도록 구성된 프로세서; 및
    상기 프로세서와 전기적으로 연결되는 메모리 기기
    를 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 구동 회로는, 상기 디스플레이에 하나 이상의 신호를 전송하도록 구성되는, 디스플레이 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 이미지 데이터의 적어도 일부를 상기 구동 회로에 전송하도록 구성된 컨트롤러를 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 이미지 데이터를 상기 프로세서에 전송하도록 구성된 이미지 소스 모듈을 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 이미지 소스 모듈은 수신기, 송수신기, 및 송신기 중 적어도 하나를 포함하는, 디스플레이 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    입력 데이터를 수신하고 상기 입력 데이터를 상기 프로세서에 전송하는 입력 기기를 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  14. 세트 전극과 이동가능한 소자(moveable element) 양단에 제1 전압을 인가하여, 상기 이동가능한 소자를 제1 위치에서 제2 위치로 이동시킴으로써 스위치의 작동을 제어하는 단계; 및
    상기 이동가능한 소자와 제1 래치 전극 및 제2 래치 전극 양단에 제2 전압을 인가하여, 상기 이동가능한 소자를 상기 제2 위치에 유지하는 단계
    를 포함하고,
    상기 제1 전압은, 상기 세트 전극과 상기 이동가능한 소자의 중심부 사이의 정전 인력을 설정(establish)하며,
    상기 제2 전압은, 상기 제1 래치 전극 및 상기 제2 래치 전극 각각과 상기 이동가능한 소자의 제1 주변부 및 제2 주변부 사이의 정전 인력을 각각 설정(establish)하고,
    상기 제2 전압은 상기 제1 전압보다 낮은, 미소 기전 시스템 스위치를 동작시키는 방법.
  15. 삭제
  16. 제1 위치와 제2 위치 사이에서 이동가능한 제1 전극;
    상기 이동가능한 제1 전극의 위치에 기초하여 선택적으로 연결가능한 복수의 스위치 단자;
    상기 이동가능한 제1 전극을 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이동시키기 위해 상기 이동가능한 제1 전극의 중심부에 제1 전압을 인가하는 수단; 및
    상기 이동가능한 제1 전극을 상기 제2 위치에 유지시키기 위해 상기 이동가능한 제1 전극의 주변부에 제2 전압을 인가하는 수단
    을 포함하고,
    상기 주변부에 제2 전압을 인가하는 수단은, 상기 중심부에 제1 전압을 인가하는 수단과 별개로 제어가능하며,
    상기 제2 전압은 상기 제1 전압보다 낮은, 미소 기전 시스템 스위치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 중심부에 제1 전압을 인가하는 수단은 제1 전극을 포함하는, 미소 기전 시스템 스위치.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 주변부에 제2 전압을 인가하는 수단은 제2 전극을 포함하는, 미소 기전 시스템 스위치.
  19. 이동가능한 전극을 형성하는 단계;
    상기 이동가능한 전극의 위치에 따라 선택적으로 연결되는 제1 스위치 단자 및 제2 스위치 단자를 형성하는 단계;
    상기 이동가능한 전극에 인접하여 제1 래치 전극 및 제2 래치 전극을 형성하는 단계;
    상기 제1 래치 전극과 상기 제2 래치 전극 사이에, 상기 이동가능한 전극의 중심부에 인접하여 세트 전극을 형성하는 단계; 및
    상기 이동가능한 전극, 상기 제1 래치 전극, 상기 제2 래치 전극, 및 상기 세트 전극에 구동 회로를 연결하는 단계
    를 포함하고,
    상기 구동 회로는,
    상기 이동가능한 전극과 상기 세트 전극 양단에 제1 전압의 인가에 기초하여, 상기 이동가능한 전극을 작동 위치로 작동시키도록 구성되고,
    상기 이동가능한 전극과 상기 제1 래치 전극 및 상기 제2 래치 전극 양단에 제2 전압의 인가에 기초하여, 상기 이동가능한 전극이 상기 작동 위치를 유지하도록 구성되고,
    상기 제2 전압은 상기 제1 전압보다 낮은, 미소 기전 시스템 스위치의 제조 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 미소 기전 시스템 스위치의 중심 영역 내에 상기 세트 전극을 형성하는 단계를 포함하는 미소 기전 시스템 스위치의 제조 방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 미소 기전 시스템 스위치의 주변 영역과 상기 중심 영역 사이에, 하나 이상의 래치 전극을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 하나 이상의 래치 전극은 상기 세트 전극과 전기적으로 분리되어 있는, 미소 기전 시스템 스위치의 제조 방법.
  22. 삭제
  23. 삭제
  24. 삭제
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8804295B2 (en) * 2009-10-15 2014-08-12 Altera Corporation Configurable multi-gate switch circuitry
JP5428771B2 (ja) 2009-11-06 2014-02-26 富士通株式会社 可変分布定数線路、可変フィルタ、および通信モジュール
US9235047B2 (en) * 2011-06-01 2016-01-12 Pixtronix, Inc. MEMS display pixel control circuits and methods
US20130135184A1 (en) * 2011-11-29 2013-05-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Encapsulated arrays of electromechanical systems devices
JP6396440B2 (ja) * 2013-06-07 2018-09-26 キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッドＣａｖｅｎｄｉｓｈ Ｋｉｎｅｔｉｃｓ， Ｉｎｃ． マイクロ電気機械システム（ｍｅｍｓ）デジタル可変キャパシタ（ｄｖｃ）
EP3520129B1 (en) 2016-09-29 2021-01-20 Cavendish Kinetics Inc. Mems rf-switch with near-zero impact landing

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003021795A (ja) * 2001-07-09 2003-01-24 Nec Corp 光スイッチシステム
JP2004534280A (ja) * 2001-07-10 2004-11-11 イリディグム ディスプレイ コーポレイション フォトニックｍｅｍｓ及び構造

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5638946A (en) * 1996-01-11 1997-06-17 Northeastern University Micromechanical switch with insulated switch contact
WO2003007049A1 (en) * 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
FI109155B (fi) * 2000-04-13 2002-05-31 Nokia Corp Menetelmä ja järjestely mikromekaanisen elementin ohjaamiseksi
US6787438B1 (en) * 2001-10-16 2004-09-07 Teravieta Technologies, Inc. Device having one or more contact structures interposed between a pair of electrodes
EP1343190A3 (en) * 2002-03-08 2005-04-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Variable capacitance element
JP3783635B2 (ja) * 2002-03-08 2006-06-07 株式会社村田製作所 シャントスイッチ素子
US6813060B1 (en) * 2002-12-09 2004-11-02 Sandia Corporation Electrical latching of microelectromechanical devices
US20050116924A1 (en) * 2003-10-07 2005-06-02 Rolltronics Corporation Micro-electromechanical switching backplane
US7161728B2 (en) * 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003021795A (ja) * 2001-07-09 2003-01-24 Nec Corp 光スイッチシステム
JP2004534280A (ja) * 2001-07-10 2004-11-11 イリディグム ディスプレイ コーポレイション フォトニックｍｅｍｓ及び構造

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