JP2009516350A - セットおよびラッチ電極を備えたmemsスイッチ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第一の電極(702)と可動物質(714)の間にかけられた電圧でMEMSデバイスが電気的に動作される。第一の電極から離れているラッチ電極(730a、730b)によってデバイスが動作状態に維持されうる。
【選択図】
Description
画素を弛緩させることは、適切な列を+Vbiasに、適切な行を同じ+ΔVにセットして、画素を横切ってゼロボルト電位差を生成することより実施する。行電圧がゼロボルトに保持される行では、画素は、列が+Vbiasか−Vbiasかにかかわらず、それらがもとあった状態で安定している。また図4に示すように、上述したほかに逆極性の電圧を使用することができること、たとえば、画素を動作させることが適切な列を+Vbiasに、適切な行を−ΔVにセットすることを含みうることもわかるであろう。本実施形態では、画素を解放することは、適切な列を−Vbiasに、適切な行を−ΔVにセットして、画素を横切ってゼロボルト電位差を生産することにより実施する。
Claims (24)
- 基板と、
前記基板によって支持された少なくとも二つの支持ポストと、
前記基板によって支持され前記支持ポスト間に配置された少なくとも二つの電気的分離電極と、
前記支持ポストによって前記基板の上方に支持された可動電極と、
可動電極の位置に応じて選択可能に連結可能な少なくとも二つのスイッチ端子とを備えているMEMSデバイス。 - 前記電極の一つが、前記少なくとも二つの支持ポスト間の中央領域に置かれている、請求項1のMEMSデバイス。
- 前記電極の少なくとも一つが、前記中央領域と前記支持ポストの一つとの間で配置されている、請求項2のMEMSデバイス。
- 前記電極の少なくとも一つが、前記スイッチ端子の一つと前記支持ポストの一つとの間に配置されている、請求項2のMEMSデバイス。
- 前記デバイスの中央領域内の第一の電極と、前記第一の電極の一方の側にあり前記第一の電極から電気的に分離された少なくとも一つの第二の電極とを備えている、請求項1のMEMSデバイス。
- 前記スイッチ端子が前記基板によって支持されている、請求項1のMEMSデバイス。
- 前記可動電極が前記基板の近傍に配置されるときに前記スイッチ端子が連結される、請求項4のMEMSデバイス。
- MEMSディスプレイ素子のアレイと、
前記アレイに接続された一つ以上のMEMSスイッチとを備え、前記MEMSスイッチの少なくとも一つが、
基板と、
前記基板によって支持された少なくとも二つの支持ポストと、
前記基板によって支持され前記支持ポスト間に配置された少なくとも二つの電気的分離電極と、
前記支持ポストによって前記基板の上方に支持された可動電極と、
可動電極の位置に応じて選択可能に連結可能な少なくとも二つのスイッチ端子とを備えている、ディスプレーシステム。 - 前記アレイに接続されたドライバー回路をさらに備えている請求項8のディスプレーシステム。
- 前記ディスプレイと電気的通信状態にあるプロセッサーで、画像データを処理するように構成された前記プロセッサーと、
前記プロセッサーと電気的通信状態にあるメモリーデバイスとをさらに備えている請求項8のディスプレーシステム。 - 前記ドライバー回路が、前記ディスプレイに少なくとも一つの信号を送るように構成されている、請求項9のデバイス。
- 前記ドライバー回路に前記画像データの少なくとも一部を送るように構成されたコントローラーをさらに備えている請求項11のデバイス。
- 前記プロセッサーに前記画像データを送るように構成された像源モジュールをさらに備えている請求項10のデバイス。
- 前記像源モジュールが、レシーバーとトランシーバーとトランスミッターの少なくとも一つを備えている、請求項13のデバイス。
- 入力データを受け取り前記プロセッサーに前記入力データを通信するように構成された入力装置をさらに備えている請求項10のデバイス。
- 第一の電極と第二の電極との間に第一の電圧を印加することにより可動素子を第一の位置から第二の位置に移動させることによりスイッチ動作を制御することと、
前記第一の電極と第三の電極との間に第二の電圧を印加することにより前記可動素子を前記第二の位置に維持することとを備えている、MEMSスイッチを動作させる方法。 - 第二の電圧が前記第一の電圧より小さい、請求項16の方法。
- 第一と第二の位置の間で移動可能な第一の電極と、
前記第一の電極の位置に基づいて選択可能に連結可能なスイッチ端子と、
前記可動電極を前記第一位置から前記第二位置に移動させるための手段と、
前記可動電極を前記第二位置に維持するための手段とを備え、前記維持するための手段が前記移動させるための手段から別々に制御可能である、MEMSスイッチ。 - 前記移動手段が第一の電極を備えている、請求項18のMEMSスイッチ。
- 前記維持する手段が第二の電極を備えている、請求項18または19のMEMSスイッチ。
- 基板上の一対の支持ポストの間に少なくとも第一と第二の電気的分離電極を形成することと、
スイッチ端子を形成することと、
前記支持ポスト上に可動電極を形成することとを備えている、MEMSスイッチを作る方法。 - 前記第一の電極を前記MEMSスイッチの中央領域に形成することを備えている請求項21の方法。
- 前記中央領域と前記支持ポストとの間に少なくとも一つの第二の電極を形成することを備え、前記少なくとも一つの第二の電極が前記第一の電極から電気的に分離されている、請求項22の方法。
- 請求項21の方法で作られたMEMSスイッチ。
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