KR101249011B1 - Board removable apparatus of burn-in tester - Google Patents

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KR101249011B1
KR101249011B1 KR1020120091334A KR20120091334A KR101249011B1 KR 101249011 B1 KR101249011 B1 KR 101249011B1 KR 1020120091334 A KR1020120091334 A KR 1020120091334A KR 20120091334 A KR20120091334 A KR 20120091334A KR 101249011 B1 KR101249011 B1 KR 101249011B1
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burn
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석우채
전성현
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(주)디지털프론티어
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Abstract

PURPOSE: A board removable apparatus for a burn-in tester is provided to conduct a high speed test, to increase a contact force ten times or more than an existing board removable apparatus, to utilize a space within a chamber using a servo motor instead of an air cylinder, and to change the rotary motion of the servo motor into linear motion using a rack and pinion structure, thereby performing stable and accurate control. CONSTITUTION: A board removable apparatus for a burn-in tester accepted by a high speed test burn-in board rack includes: a high speed burn-in board in which a rectangle groove is formed for inserting a hook into both sides; multiple hooks which are respectively combined to the rectangle groove on both sides of the high speed burn-in board; a pinion(40) which is installed on an axis for operating the hook; a rack(50) which is engaged with the pinion; a ball screw(70) which moves an LM guide(60); multiple pulleys(80) which are respectively connected to the axis of the ball screw and a driving source(90); and the driving source which aims to operate the rack connected to the LM guide and the pinion engaged with the rack by operating the ball screw.

Description

번인 테스터의 보드 착탈장치{Board removable apparatus of burn-in tester} [0001] The present invention relates to a board removable apparatus for burn-

본 발명은 번인 테스터의 보드 착탈장치에 관한 것으로, 특히 고속 테스트를 수행할 수 있는 번인 테스터에서 서보 모터를 이용하여 보드를 착탈할 수 있는 번인 테스터의 보드 착탈장치에 관한 것이다. The present invention relates to a board attaching / detaching apparatus for a burn-in tester, and more particularly, to a burn-in / tear-off apparatus for a burn-in tester capable of attaching / detaching a board using a servo motor in a burn-

일반적으로 소자의 번인 테스트를 하기 위한 번인 테스터는 번인 공간을 형성하도록 출입구가 구비된 번인챔버와, 상기 번인챔버의 출입구를 개폐시키는 도어를 구비한다. 그리고, 상기 번인챔버의 후면패널에는 복수개의 터미널이 구비된 복수개의 메인보드가 장착된다.Generally, a burn-in tester for burn-in testing a device includes a burn-in chamber provided with an entrance for forming a burn-in space and a door for opening and closing an entrance of the burn-in chamber. A plurality of main boards having a plurality of terminals are mounted on the rear panel of the burn-in chamber.

상기 메인보드에는 보드랙이 각각 결합되고, 이러한 보드랙에는 복수개의 반도체 소자가 접속된 복수개의 번인보드가 상하로 일정한 간격을 이루면서 삽입되고, 각각의 번인보드에는 메인보드의 터미멀에 접속되도록 접속단자가 구비된다. 따라서, 상기 보드랙은 수평으로 이동시키는 수평실린더와 수직으로 이동시키는 수직실린더에 의해 이동되어 메인보드의 터미널에 번인보드의 접속단자가 접속되게 된다.A board rack is coupled to the main board, and a plurality of burn-in boards to which a plurality of semiconductor elements are connected are inserted into the board rack with a predetermined gap therebetween, and each burn-in board is connected to a terminal Terminal. Therefore, the board rack is moved by the horizontal cylinder moving horizontally and the vertical cylinder moving vertically, and the connection terminal of the burn-in board is connected to the terminal of the main board.

또한, 종래의 번인 테스터는 번인보드가 엣지타입으로 핀수가 적고 콘택 포스가 작은 타입으로 구성되어 보드와 보드 접속시 힘이 작아서 구동원으로 에어실린더를 주로 사용하였지만, 고속테스트 번인보드는 고속으로 구현하기 위하여 시그날 왜곡이 작고 핀(pin)의 개수가 많은 고속 전용 콘넥터 사용으로 기존에 사용한 에어실린더 보다 10배 가량 증가한 콘택포스가 필요하여 하게 된다. In addition, the conventional burn-in tester uses an air cylinder as the driving source because the burn-in board is an edge type and the number of the pins is small and the contact force is small. Therefore, The use of a high-speed connector with a small signal distortion and a large number of pins necessitates a contact force that is 10 times larger than that of a conventional air cylinder.

따라서, 종래 에어실린더를 적용한 번인 테스터는 새로운 타입의 고속 전용 콘넥터를 사용하게 되는 것에는 콘택 포스가 작아 적용할 수 없는 문제점을 내포하고 있다.Therefore, the conventional burn-in tester using the air cylinder has a problem that the contact force is small and can not be applied to the use of a new type high-speed exclusive connector.

한국공개특허 제2008-79771호(특허문헌 1)는 접속단자와 인접한 양측에 후크홀이 형성되는 복수개의 번인보드와, 상기 번인보드의 양측 후크홀에 각기 후크 결합되도록 복수개의 후크 및 외측으로 돌출된 작동핀이 구비되어, 후면 패널의 양측에 배치된 후크부재와, 상기 후크부재의 작동핀을 상하로 경사지게 안내하도록 캠홀이 구비된 캠플레이트와, 상기 캠플레이트를 상하로 작동시키는 작동부재와, 번인보드의 접속단자가 메인보드의 터미널에 접속되도록 캠플레이트의 캠홀로 안내되는 후크부재의 작동핀을 전후로 안내하는 가이드홀이 구비되어 번인챔버에 고정되는 가이드 플레이트를 구비하는 점에 있다. 이와 같이 구성된 상기 선행기술은 실린더의 사용개수를 줄이면서 메인보드에 번인보드를 전기적으로 접속시킬 수 있는 동시에 접속여부를 센서에 의해 파악하게 되므로 작동의 안정성 및 신뢰성을 향상시킨다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 2008-79771 (Patent Document 1) discloses a hook-and-loop fastener that includes a plurality of bunk-in boards in which hook holes are formed on both sides adjacent to a connection terminal, a plurality of hooks to be hook- A cam plate provided with a cam hole for guiding the actuating pin of the hook member in an up and down direction, an actuating member for actuating the cam plate up and down, And a guide plate having a guide hole for guiding the operation pin of the hook member guided to the cam hole of the cam plate so that the connection terminal of the burn-in board is connected to the terminal of the main board. The prior art thus configured can electrically connect the burn-in board to the main board while reducing the number of cylinders used, and at the same time, the presence or absence of the connection is detected by the sensor, thereby improving stability and reliability of operation.

한국공개특허 제2008-79771호(공개일: 2008.09.02)Korean Published Patent Application No. 2008-79771 (Published on September 2, 2008)

본 발명은 종래 기술의 번인 테스터의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 고속 테스트 번인 보드에 적용하여 고속 테스트를 수행할 수 있는 번인 테스터의 보드 착탈장치를 제공하는 점에 있다.The present invention has been made to solve the problems of the conventional burn-in tester, and it is an object of the present invention to provide a burn-in tester board attachment / detachment device which can be applied to a high-speed test burn-

본 발명의 다른 목적은 콘택포스를 종래 보드 착탈장치에 비해 10배 이상 증가시킬 수 있고 에어실린더 대신 서보 모터방식을 적용하여 챔버내의 공간을 활용할 수 있는 번인 테스터의 보드 착탈장치를 제공하는 점에 있다.Another object of the present invention is to provide a board attaching / detaching device for a burn-in tester capable of increasing the contact force by more than ten times as compared with the conventional board attaching / detaching apparatus and utilizing a space in the chamber by applying a servomotor method instead of an air cylinder .

본 발명의 또 다른 목적은 서보 모터의 회전 운동을 랙 앤드 피니언 구조를 이용하여 직선운동으로 변환시켜 보다 안정되고 정확한 제어를 수행할 수 있는 번인 테스터의 보드 착탈장치를 제공하는 점에 있다. It is still another object of the present invention to provide a board attaching / detaching apparatus for a burn-in tester capable of performing stable and accurate control by converting a rotary motion of a servo motor into a linear motion using a rack and pinion structure.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치는 고속 테스트 번인보드 랙에 수용되며, 양측에 후크를 삽입하기 위한 사각홈이 형성된 고속 테스트 번인보드와, 상기 고속 테스트 번인보드의 양측 사각홈에 각각 결합되도록 복수개의 후크와, 상기 후크를 동작시키기 위하여 축에 설치되는 적어도 한 개 이상의 피니언과, 상기 피니언과 치합되는 적어도 한 개 이상의 랙과, LM 가이드의 이동을 안내하는 볼스크류와, 볼스크류와 구동원의 각기 연결되는 복수개의 풀리와, 상기 복수개의 풀리에 연결되는 벨트와, 상기 볼스크류를 동작시켜 LM 가이드에 연결된 랙과 상기 랙과 결합된 피니언을 동작시키기 위한 구동원으로 구성되는 점에 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a burn-in tester board detachment apparatus comprising: a fast test burn-in board accommodated in a fast test burn-in board rack and having square grooves for inserting hooks on both sides thereof; At least one pinion provided on the shaft for operating the hook, at least one rack engaged with the pinion, a ball screw guiding movement of the LM guide, A belt connected to the plurality of pulleys, a rack connected to the LM guide by operating the ball screw, and a driving source for operating the pinion coupled to the rack, .

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치는 베이스에 서로 간격을 두고 설치되는 적어도 한 개 이상의 구동원과, 상기 구동원에 풀리에 의해 연결되는 볼스크류와, 상기 볼스크류의 이동에 따라 이동하며, 일측에 랙이 형성된 LM 가이드와, 상기 랙과 치합되며, 축에 삽입 설치되는 피니언과, 번인 챔버의 일측에 설치되는 브라켓과, 상기 브라켓에 간격을 두고 설치되며, 각 단의 양측에 후크가 간격을 두고 설치되는 지지 플레이트와, 양측에 후크를 삽입하기 위한 사각홈이 형성되는 고속 테스트 번인보드와, 상기 지지 플레이트에 연결되는 복수개의 랙과, 상기 랙과 치합되며, 축에 삽입 설치되는 복수개의 피니언으로 구성되는 점에 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a burn-in / tear-off apparatus for a burn-in tester, comprising: at least one drive source installed at a distance from the base; a ball screw connected to the drive source by a pulley; A pinion which is engaged with the rack and which is inserted into the shaft, a bracket which is provided on one side of the burn-in chamber, and a pair of brackets which are provided on both sides of each of the brackets, A fast test burn-in board having a square groove for inserting hooks on both sides thereof, a plurality of racks connected to the support plate, and a plurality of racks coupled to the rack, And a plurality of pinions.

본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치는 서보 모터를 사용하여 고속 테스트 번인보드를 높은 콘택포스로 번인 테스터에 장착 및 탈착할 수 있는 이점이 있다.The board detachment apparatus of the burn-in tester of the present invention has an advantage that a high-speed test burn-in board can be mounted and detached to a burn-in tester using a high contact force using a servo motor.

또한, 본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치는 100MHz ~ 200MHz의 높은 테스트 속도로 테스트를 수행하게 되므로 테스트 단가를 낮출 수 있고 아울러, 테스트 시간을 줄여 더 많은 양의 디바이스를 테스트할 수 있는 이점이 있다. In addition, since the board detachment apparatus of the burn-in tester according to the present invention performs a test at a high test speed of 100 MHz to 200 MHz, it is possible to lower the test unit cost and also to test a larger amount of devices by reducing the test time .

도 1은 본 발명에 적용된 고속테스트 번인보드의 사시도,
도 2는 본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치가 적용된 번인 테스터의 구성을 개략적으로 나타낸 사시도,
도 3은 본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치를 나타낸 사시도,
도 4는 본 발명의 요부인 랙 앤드 피니언과 볼스크류의 연계를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view of a fast test burn-in board applied to the present invention,
FIG. 2 is a perspective view schematically showing a configuration of a burn-in tester to which a burn-in tester of the present invention is applied,
FIG. 3 is a perspective view showing a board attaching / detaching apparatus of the burn-in tester of the present invention,
Fig. 4 is a perspective view showing the connection of a rack and pinion, which is the essential part of the present invention, and a ball screw.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 번인 테스터의 보드 착탈장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a board attaching / detaching apparatus for a burn-in tester according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치의 설명에 앞서 번인테스터(BT: Burn-in Tester)에 대하여 설명하기로 한다. 번인 테스터(BT:Burn-in Tester)는 도 2에 도시된 바와 같이, 번인공간(122)을 형성하는 번인챔버(120)와, 상기 번인챔버(120)의 일측에는 테스트 보드(124)가 설치된다. 그리고, 상기 번인공간(122)에는 도시되지 않았지만 복수개의 롤러부재(128)에 의해 고속테스트 번인 보드랙(10)이 수평 이송가능하게 설치된다. 상기 고속테스트 번인보드(20)의 상부에는 복수개의 소자(22)가 결합되고, 후방에는 접속단자(24)가 테스트 보드(124)의 터미널(126)에 전기적으로 접속된다.Prior to the description of the apparatus for attaching / detaching a burn-in tester of the present invention, a burn-in tester (BT) will be described. As shown in FIG. 2, the burn-in tester BT includes a burn-in chamber 120 forming a burn-in space 122, and a test board 124 installed at one side of the burn- do. Although not shown in the figure, the fast-burn-in board rack 10 is horizontally conveyed by the plurality of roller members 128. A plurality of elements 22 are coupled to the upper portion of the fast test burn-in board 20 and a connection terminal 24 is electrically connected to the terminal 126 of the test board 124 at the rear side.

상기 고속테스트 번인보드(20)의 후방의 양측에는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 후술하는 후크(25)가 설치된다. 그리고, 고속테스트 번인보드(20)는 상,하로 일정한 간격을 유지하면서 고속테스트 번인 보드랙(10)에 다단으로 안착되며, 상기 고속테스트 번인 보드랙(10)은 번인 테스터(BT)의 롤러부재(128)에 의해 테스트보드(124)의 터미널(126)에 근접되게 이송된다.On both sides of the rear side of the fast test burn-in board 20, hooks 25 to be described later are installed, as shown in FIGS. The fast test burn-in board 20 is seated in a high-speed test burn-in board rack 10 in multiple stages while maintaining a constant gap between the upper and lower stages. The fast test burn-in board rack 10 includes a roller member (126) of the test board (124) by means of the test board (128).

본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 고속 테스트 번인보드(20), 후크(25), 피니언(40), 랙(50), 볼스크류(70), 복수개의 풀리(80) 및 구동원(90)으로 크게 구성된다.2 to 4, the fastener tester of the present invention includes a fast test burn-in board 20, a hook 25, a pinion 40, a rack 50, a ball screw 70, A plurality of pulleys 80, and a driving source 90.

상기 고속 테스트 번인보드(20)는 고속 테스트 번인 보드랙(10)에 다단으로 삽입되어 수용되며, 양측에 후크(25)를 삽입하기 위한 사각홈(2)이 형성된다.The fast test burn-in board 20 is inserted into the high-speed test burn-in board rack 10 in multiple stages and has square grooves 2 for inserting the hooks 25 on both sides thereof.

상기 후크(25)는 고속 테스트 번인보드(20)의 양측으로 형성된 사각홈(2)에 걸려서 후크되도록 구성되어 있다. 그리고, 상기 후크(25)는 고속 테스트 번인보드(20)의 사각홈(2)에 대응되게 소정의 간격을 두고 다단으로 형성된다. The hooks 25 are hooked on the square grooves 2 formed on both sides of the fast test burn-in board 20. The hooks 25 are formed in multiple stages at predetermined intervals corresponding to the square grooves 2 of the fast test burn-in board 20.

상기 피니언(40)은 축에 동축으로 설치되고, 상기 후크(25)를 동작시키기 위한 것으로 랙(50)과 치합되게 된다. 상기 피니언(40)과 랙(50)은 사용자의 요구에 따라 적절한 위치에 복수개를 설치하게 된다. 상기 랙(50)은 LM 가이드(60)에 설치되고, 상기 LM 가이드(60)는 베이스(100)상에 설치된 LM 레일(62)을 따라 이동할 수 있게 구성된다.The pinion 40 is coaxially mounted on the shaft and is engaged with the rack 50 for operating the hook 25. [ A plurality of the pinion 40 and the rack 50 are installed at appropriate positions according to a user's request. The rack 50 is installed in the LM guide 60 and the LM guide 60 is configured to move along the LM rail 62 installed on the base 100.

상기 랙(50)은 축(30)에 삽설된 피니언(40)과 치합되므로 랙(50)의 이동에 따라 피니언(40)이 회전하게 되고, 피니언(40)의 회전이 축(30)을 회전시키게 되므로 후크(25)의 고속 테스트 번인보드(20)를 후킹하여 이동할 수 있다.The rack 50 is engaged with the pinion 40 inserted in the shaft 30 so that the pinion 40 is rotated in accordance with the movement of the rack 50 and the rotation of the pinion 40 rotates the shaft 30 The fast test burn-in board 20 of the hook 25 can be hooked and moved.

상기 볼스크류(70)는 베이스(100)의 상부에 설치되며, LM 가이드(60)상에 설치되며, LM 가이드(60)의 이동을 안내하게 된다. 상기 볼스크류(70)는 일측이 볼스크류 베이스(74)를 거쳐서 풀리(80)에 연결되고, 타측이 볼스크류 베이스(74)에 연결된다. 그리고, 상기 볼스크류 베이스(74)는 볼스크류 베이스 지지대(72)상에 설치된다.The ball screw 70 is installed on the upper portion of the base 100 and is installed on the LM guide 60 to guide the movement of the LM guide 60. One side of the ball screw 70 is connected to the pulley 80 via the ball screw base 74 and the other side is connected to the ball screw base 74. The ball screw base (74) is installed on the ball screw base support (72).

볼스크류(70)와 구동원(90)의 축(도시되지 않음)에 각기 연결되는 복수개의 풀리(80)가 연결되고, 상기 복수개의 풀리(80)에 연결되는 벨트(82)가 연결되게 된다.A plurality of pulleys 80 connected to the ball screw 70 and a shaft (not shown) of the driving source 90 are connected and a belt 82 connected to the plurality of pulleys 80 is connected.

상기 구동원(90)은 볼스크류(70)를 동작시켜 LM 가이드(60)에 연결된 랙(50)과 상기 랙(50)과 결합된 피니언(40)을 동작시키기 위한 것으로, 서보 모터가 적용되게 된다. 상기 구동원(90)에는 보다 정확한 감속을 위하여 감속기(94)를 적용할 수도 있다.The driving source 90 operates the ball screw 70 to operate the rack 50 connected to the LM guide 60 and the pinion 40 coupled to the rack 50 and a servo motor is applied . The speed reducer 94 may be applied to the driving source 90 for more accurate deceleration.

본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치는 랙(50) 앤드 피니언(40)을 LM 가이드(60) 및 축(30)에 적어도 한 개 이상을 설치하지만, 사용자의 요구에 따라 후술한 바와 같이 브라켓(130)의 양측에 복수개를 설치할 수도 있다.The burn-in tester of the present invention is provided with at least one rack 50 and pinion 40 on the LM guide 60 and the shaft 30 but may be mounted on the bracket 130 may be provided on both sides.

한편, 본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치는 복수개의 구동원(90), 볼스크류(70), LM 가이드(60), 랙(50) 앤드 피니언(40), 브라켓(130), 지지 플레이트(140), 고속 테스트 번인보드(20), 복수개의 랙(150) 앤드 피니언(140)으로 구성된다.The burn-in tester of the present invention includes a plurality of driving sources 90, a ball screw 70, an LM guide 60, a rack 50 and a pinion 40, a bracket 130, a support plate 140 A fast test burn-in board 20, a plurality of racks 150 and an end pinion 140,

상기 복수개의 구동원(90)은 베이스(100)에 서로 간격을 두고 2개를 적용하게 되고, 상기 구동원(90)은 서보 모터를 적용하게 된다. 그러나, 사용자의 요구에 따라서는 다른 모터를 적용할 수도 있다. 그리고, 상기 구동원(90)의 일측에는 감속기(94)를 적용하게 된다. 또한, 상기 구동원(90)은 도시되지 않은 제어부에 연결되어 구동원을 제어하게 된다. 일반적으로 사용하는 엔코더 등을 이용하여 구동원의 제어를 수행하게 된다.The driving source 90 applies two servo motors to the base 100 at intervals, and the driving source 90 applies a servo motor. However, other motors may be applied depending on the demand of the user. A speed reducer 94 is applied to one side of the driving source 90. The driving source 90 is connected to a control unit (not shown) to control the driving source. The control of the driving source is performed using an encoder or the like generally used.

상기 LM 가이드(60), 랙(50) 앤드 피니언(40)의 구성은 전술한 실시예와 유사하므로 여기서는 상세한 설명은 생략하기로 한다. The configuration of the LM guide 60, the rack 50, and the pinion 40 is similar to that of the above-described embodiment, and thus a detailed description thereof will be omitted.

상기 볼스크류(70)는 볼스크류 베이스(74)의 사이에 설치되고, 볼스크류 가동테이블(76)에 삽입 설치된다. 볼스크류 가동테이블(76)은 LM 가이드(60)상에 설치된다.The ball screw 70 is installed between the ball screw bases 74 and inserted into the ball screw moving table 76. The ball screw movable table 76 is mounted on the LM guide 60.

상기 브라켓(130)은 번인 챔버(120)의 일측에 설치되고, 상기 지지 플레이트(140)는 브라켓(130)에 간격을 두고 설치되며, 각 단의 양측에 후크(25)가 간격을 두고 설치된다.The brackets 130 are installed on one side of the burning chamber 120. The support plates 140 are installed on the brackets 130 at intervals and hooks 25 are installed at both sides of the brackets 130 at intervals .

상기 고속 테스트 번인보드(20)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 지지 플레이트(140)의 각 단에 삽입되며, 양측에 후크(25)를 삽입하기 위한 사각홈(2)이 형성된다.As shown in FIGS. 1 and 2, the fast test burn-in board 20 is inserted into each end of the support plate 140 and has a rectangular groove 2 for inserting hooks 25 on both sides thereof do.

상기 복수개의 랙(150)은 지지 플레이트(140)에 연결되고, 상기 복수개의 피니언(140)은 상기 랙(150)과 치합되며, 축(30)에 삽입 설치되게 된다. 또한, 피니언(40) 및 복수개의 피니언(140)은 축(30)에 연결되고, 랙(50) 및 복수개의 랙(150)에 각기 치합되게 된다.The plurality of racks 150 are connected to the support plate 140 and the plurality of pinions 140 are engaged with the racks 150 and inserted into the shaft 30. The pinion 40 and the plurality of pinions 140 are connected to the shaft 30 and are engaged with the rack 50 and the plurality of racks 150, respectively.

이제, 상기와 같이 구성된 본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치의 동작 관계에 대하여 설명하기로 한다.Now, the operation of the board attaching / detaching apparatus of the burn-in tester according to the present invention will be described.

사용자가 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 고속 테스트 번인보드(20)를 번인챔버(120)의 내측에 설치된 고속 테스트 번인 보드랙(10)에 복수개의 삽입하게 된다. 이와 같은 상태에서, 구동원(90)인 서보 모터를 구동하게 되면, 구동원(90)의 축(도시되지 않음)과 볼스크류(70)에 연결된 풀리(80,80)가 회전하게 된다. 상기 풀리(80,80)가 회전하게 되면 볼스크류(70)가 회전하게 되고, 상기 볼스크류(70)의 회전에 따라 LM 가이드(60)도 동일한 방향으로 이동하게 된다. The user inserts a plurality of high speed test burn-in boards 20 into the high speed test burn-in board rack 10 installed inside the burn-in chamber 120, as shown in FIGS. In this state, when the servomotor as the driving source 90 is driven, the pulleys 80 and 80 connected to the shaft (not shown) of the driving source 90 and the ball screw 70 rotate. When the pulleys 80 and 80 rotate, the ball screw 70 rotates and the LM guide 60 moves in the same direction as the ball screw 70 rotates.

상기 볼스크류(70)는 볼스크류 가동 테이블(76)에 끼워지고 볼스크류 베이스 지지대(72)의 사이에 지지되게 설치되므로 보다 안정되게 지지된 상태에서 회전 이동을 하게 된다. 또한, 상기 LM 가이드(60)에는 랙(50)이 형성되어 있고, 상기 랙(50)에는 피니언(40)이 치합되어 있으므로 랙(40)의 이동에 따라 피니언(40)이 회전하게 된다. Since the ball screw 70 is fitted to the ball screw moving table 76 and is supported between the ball screw base supports 72, the ball screw 70 rotates while being stably supported. The rack 50 is formed in the LM guide 60. Since the rack 50 is engaged with the pinion 40, the pinion 40 rotates as the rack 40 moves.

상기 LM 가이드(60)는 그 하부에 설치된 LM 레일(62)을 따라 이동하게 된다. 즉, 상기 LM 가이드(60)는 볼스크류(70)의 이동에 따라 랙(50)이 피니언(40)과 치합된 상태에서 LM 레일(62)을 따라 이동하게 된다. The LM guide 60 moves along the LM rail 62 provided at the lower portion thereof. That is, the LM guide 60 moves along the LM rail 62 in a state where the rack 50 meshes with the pinion 40 as the ball screw 70 moves.

상기 피니언(40)이 회전하여 축(30)이 회전하게 되면 후크(25)가 고속 테스트 번인보드(20)의 사각홈(2)을 파지하고 이동하여 번인 테스터(BT)의 후방측에 설치된 테스트 보드(124)에 고속 테스트 번인보드(20)를 접속시키게 된다. 상기 고속 테스트 번인보드(20)가 테스트 보드(124)에 접속되게 되면 센서(도시되지 않음)에 의해 접속 상태를 사용자에게 알려 주면 테스트를 수행하게 된다.When the pinion 40 rotates and the shaft 30 rotates, the hook 25 grips the square groove 2 of the high-speed test burn-in board 20 and moves to the rear side of the burn-in tester BT The high speed test burn-in board 20 is connected to the board 124. When the fast test burn-in board 20 is connected to the test board 124, a test is performed by notifying the user of the connection status by a sensor (not shown).

번인 테스트가 완료되면, 사용자가 구동원(90)인 서보 모터를 역회전시키게 된다. 구동원(90)을 역회전시키게 되면 볼스크류(70)가 전술한 방향과 반대 방향으로 회전하면서 LM 가이드(60)도 반대 방향으로 이동시키게 된다. When the burn-in test is completed, the user rotates the servomotor as the driving source 90 in reverse. When the driving source 90 is reversely rotated, the ball screw 70 rotates in a direction opposite to the above-described direction, and the LM guide 60 is also moved in the opposite direction.

이와 같이, LM 가이드(60)가 반대 방향으로 이동하게 되면, LM 가이드(60)에 설치된 랙(50)도 반대 방향으로 이동하게 된다. 또한, 상기 랙(50)과 치합된 피니언(40)도 반대 방향으로 회전하면서 축(30)을 반대 방향으로 회전시키게 된다.Thus, when the LM guide 60 moves in the opposite direction, the rack 50 provided on the LM guide 60 also moves in the opposite direction. The pinion 40 engaged with the rack 50 also rotates in the opposite direction and rotates the shaft 30 in the opposite direction.

상기 피니언(40)이 회전하여 축(30)이 반대 방향으로 회전하게 되면 테스트 보드(124)로부터 고속 테스트 번인보드(20)의 접속이 해지하게 된다. 그리고, 상기 고속 테스트 번인보드(20)가 소정 위치에 도달하게 되면 후크(25)가 고속 테스트 번인보드(20)의 사각홈(2)을 파지한 상태로부터 해지한 상태로 되면서 초기 위치를 유지하게 된다.When the pinion 40 rotates and the shaft 30 rotates in the opposite direction, the connection of the fast test burn-in board 20 is released from the test board 124. When the fast test burn-in board 20 reaches a predetermined position, the hook 25 is released from the gripped state of the square groove 2 of the fast test burn-in board 20, and the initial position is maintained do.

본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치는 구동원(90)인 서보 모터 및 볼스크류(70)를 이용하여 안정되고 정밀한 제어를 수행할 수 있다. 또한, 랙(50) 앤드 피니언(40)을 이용하여 축(30)을 간단히 회전시킴에 의해 후크(25)가 간편하게 고속 테스트 번인보드(20)를 착탈할 수 있다.The apparatus for attaching and detaching a burn-in tester of the present invention can perform stable and precise control by using a servo motor and a ball screw (70) as a driving source (90). In addition, by simply rotating the shaft 30 using the rack 50 and the pinion 40, the hook 25 can be easily attached and detached to / from the fast test burn-in board 20. [

본 발명의 번인 테스터의 보드 착탈장치는 고속 테스트 번인보드가 적용되는 번인 테스트 장치와 같은 반도체 장비는 물론 다양한 종류의 테스트 보드를 착탈하는 장비 분야에 널리 적용될 수 있다.The board attaching / detaching apparatus of the burn-in tester of the present invention can be widely applied to a semiconductor device such as a burn-in test apparatus to which a high-speed test burn-in board is applied as well as an equipment field for attaching / detaching various kinds of test boards.

10: 고속 테스트 번인 보드랙 20: 고속 테스트 번인보드
25: 후크 30: 축
40,140: 피니언 50,150: 랙
60: LM 가이드 62: LM 레일
70: 볼스크류 80: 풀리
82: 벨트 90: 구동원
130: 브라켓 140: 지지 플레이트10: Fast test burn-in board rack 20: High-speed test burn-in board
25: hook 30: shaft
40, 140: pinion 50, 150: rack
60: LM guide 62: LM rail
70: Ball Screw 80: Pulley
82: belt 90: driving source
130: bracket 140: support plate

Claims (11)

고속 테스트 번인 보드랙에 수용되며, 양측에 후크를 삽입하기 위한 사각홈이 형성된 고속 테스트 번인보드와;
상기 고속 테스트 번인보드의 양측 사각홈에 각각 결합되도록 복수개의 후크와;
상기 후크를 동작시키기 위하여 축에 설치되는 적어도 한 개 이상의 피니언과;
상기 피니언과 치합되는 적어도 한 개 이상의 랙과;
LM 가이드를 이동시키는 볼스크류와;
볼스크류와 구동원의 축에 각기 연결되는 복수개의 풀리와;
상기 볼스크류를 동작시켜 LM 가이드에 연결된 랙과 상기 랙과 결합된 피니언을 동작시키기 위한 구동원으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 번인 테스터의 보드 착탈장치.
A fast test burn-in board accommodated in a high speed test burn-in board rack and provided with square grooves for inserting hooks on both sides thereof;
A plurality of hooks respectively coupled to both side rectangular grooves of the fast test burn-in board;
At least one pinion installed on the shaft for operating the hook;
At least one rack engaged with the pinion;
A ball screw for moving the LM guide;
A plurality of pulleys connected to the shaft of the driving source and the ball screw, respectively;
And a driving source for operating the ball screw to operate the rack coupled to the LM guide and the pinion coupled to the rack.
제1항에 있어서,
상기 랙은 LM 가이드에 설치되고, 상기 LM 가이드는 베이스상에 설치된 LM 레일을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 번인 테스터의 보드 착탈장치.
The method according to claim 1,
Wherein the rack is installed in an LM guide, and the LM guide moves along an LM rail installed on a base.
제1항에 있어서,
상기 볼스크류는 일측이 볼스크류 베이스를 거쳐서 풀리에 연결되고, 타측이 볼스크류 베이스에 연결되는 것을 특징으로 하는 번인 테스터의 보드 착탈장치.
The method according to claim 1,
Wherein the ball screw is connected to the pulley via one side of the ball screw base, and the other side of the ball screw is connected to the ball screw base.
제3항에 있어서,
상기 볼스크류 베이스는 볼스크류 베이스 지지대상에 설치되는 것을 특징으로 하는 번인 테스터의 보드 착탈장치.
The method of claim 3,
Wherein the ball screw base is installed on an object to be supported on a ball screw base.
제1항에 있어서,
상기 구동원은 서보 모터인 것을 특징으로 하는 번인 테스터의 보드 착탈장치.
The method according to claim 1,
Wherein the drive source is a servo motor.
베이스에 서로 간격을 두고 설치되는 적어도 한 개 이상의 구동원과;
상기 구동원에 풀리에 의해 연결되는 볼스크류와;
상기 볼스크류의 이동에 따라 이동하며, 일측에 랙이 형성된 LM 가이드와;
상기 랙과 치합되며, 축에 삽입 설치되는 피니언과;
번인 챔버의 일측에 설치되는 브라켓과;
상기 브라켓에 간격을 두고 설치되며, 각 단의 양측에 후크가 간격을 두고 설치되는 지지 플레이트와;
상기 지지 플레이트의 각 단에 삽입되며, 양측에 후크를 삽입하기 위한 사각홈(2)이 형성되는 고속 테스트 번인보드와;
상기 지지 플레이트에 연결되는 복수개의 랙과;
상기 랙과 치합되며, 축에 삽입 설치되는 복수개의 피니언으로 구성되며,
상기 구동원의 동작에 의해 랙 및 피니언의 동작에 의해 번인보드가 후크에 의해 후크되어 이동되는 것을 특징으로 하는 번인 테스터의 보드 착탈장치.
At least one drive source installed at a distance from the base;
A ball screw connected to the driving source by a pulley;
An LM guide which moves according to the movement of the ball screw and has a rack on one side;
A pinion engaged with the rack and inserted into the shaft;
A bracket installed on one side of the burn-in chamber;
A support plate installed at intervals on the bracket and having hooks spaced from both sides of the support plate;
A fast test burn-in board inserted into each end of the support plate and having square grooves for inserting hooks on both sides thereof;
A plurality of racks connected to the support plate;
A plurality of pinions engaged with the rack and inserted into the shaft,
Wherein the burn-in board is hooked and moved by the hook by the operation of the rack and the pinion by the operation of the driving source.
제6항에 있어서,
상기 구동원은 복수개의 풀리와 벨트에 의해 볼스크류와 연결되는 것을 특징으로 하는 번인 테스터의 보드 착탈장치.
The method according to claim 6,
Wherein the drive source is connected to the ball screw by a plurality of pulleys and belts.
제6항에 있어서,
상기 볼스크류는 볼스크류 베이스의 사이에 설치되고, 볼스크류 가동테이블에 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 번인 테스터의 보드 착탈장치.
The method according to claim 6,
Wherein the ball screw is installed between the ball screw bases and inserted into the ball screw moving table.
제8항에 있어서,
상기 볼스크류 가동테이블은 LM 가이드상에 설치되는 것을 특징으로 하는 번인 테스터의 보드 착탈장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the ball screw movable table is installed on the LM guide.
제6항에 있어서,
LM 가이드는 하부에 설치된 LM 레일을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 번인 테스터의 보드 착탈장치.
The method according to claim 6,
And the LM guide moves along the LM rail installed at the lower portion.
제6항에 있어서,
피니언 및 복수개의 피니언은 축에 연결되고, 랙 및 복수개의 랙에 각기 치합되는 것을 특징으로 하는 번인 테스터의 보드 착탈장치.The method according to claim 6,
Wherein the pinion and the plurality of pinions are connected to the shaft, and are engaged with the rack and the plurality of racks, respectively.
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