KR101245837B1 - Socket device for testing a ic package - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 패키지 테스트용 소켓장치에 관한 것으로, 특히 반도체 패키지의 솔더볼과 안정적인 전기적 접촉을 얻을 수 있는 수단을 제공할 수 있는 반도체 패키지 테스트용 소켓장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a socket device for testing a semiconductor package, and more particularly to a socket device for testing a semiconductor package that can provide a means for obtaining a stable electrical contact with the solder ball of the semiconductor package.
일반적으로 마이크로 칩(IC package)은 회로 기판 상에 전자회로가 고밀도로 집적되어 제작되므로, 제품에 조립하기 전에 마이크로 칩이 올바로 동작하는 지를 검사하는 과정을 필요로 한다.In general, a microchip (IC package) is manufactured by integrating high density electronic circuits on a circuit board, and thus, a process of checking whether the microchip works properly before assembling it into a product is required.
이러한 검사작업은 칩을 검사용 소켓장치에 조립하여 실시하게 되며, 소켓장치에는 칩 단자와 접촉되는 다수의 콘택트 핀이 마련되어, 칩 단자와 콘택트 프로브가 접촉하여 통전이 이루어져 검사장치를 이용하여 칩을 테스트하게 된다.This inspection work is carried out by assembling the chip into the inspection socket device, the socket device is provided with a plurality of contact pins in contact with the chip terminal, the chip terminal and the contact probe is in contact with the electricity is applied to the chip using the inspection device. Will be tested.
특히 IT기기의 비약적인 성장으로 패키지의 소형화와 박막화가 가속되며, 이에 따라서 피치(pitch) 또한 점점 미세화되어 0.3㎜ 피치 디바이스의 상용화가 가시화되고 있다. 그러나 이러한 미세 피치 디바이스를 안정적으로 테스트하기 위해서는 패키지와 소켓에서의 엄격한 공차관리가 필수적이지만 반도체 제조공정 특성상 패키지 공차와 형상 관리의 한계로 인하여 기존의 0.5㎜ 이상의 미세 피치 패키지 대비 비례적으로 감소가 어려울 뿐만 아니라 미세한 환경변화에 의해 전기적 요구특성 또한 더욱 민감한 반응을 나타낸다.In particular, due to the rapid growth of IT devices, package miniaturization and thinning are accelerating, and accordingly, the pitch is becoming finer, and commercialization of 0.3 mm pitch devices is becoming visible. However, in order to stably test such fine pitch devices, strict tolerance management in packages and sockets is essential, but due to the limitations of package tolerance and shape management due to the characteristics of semiconductor manufacturing process, it is difficult to proportionally decrease compared to conventional fine pitch packages of 0.5 mm or more. In addition, due to the minute environmental changes, the electrical requirements are also more sensitive.
따라서 0.4㎜ 이하의 미세 피치 패키지를 안정적으로 테스트하기 위해서는 기존 방식을 탈피하고 초미세 피치 패키지의 기하학적 한계공차 영역을 유연하게 수용할 수 있는 구조의 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 개발이 시급해졌다.Therefore, in order to stably test a fine pitch package smaller than 0.4 mm, it is urgent to develop a socket device for testing a semiconductor package that has a structure that can flexibly accommodate the geometrical tolerance region of the ultra fine pitch package.
또한 테스트 소켓장치는 반도체 디바이스의 단자로 전달되는 신호의 접속경로가 복잡하지 않으며, 전기적인 연결특성이 저하되지 않도록 구성부품들을 최소화하는 것이 바람직하다.In addition, the test socket device is not complicated in the connection path of the signal transmitted to the terminal of the semiconductor device, it is preferable to minimize the components so that the electrical connection characteristics are not degraded.
현재 반도체 패키지를 테스트하기 위한 소켓장치는 다양하게 나와 있으며, 예를 들어, 본 출원인은 등록특허공보 제10-1007660호(등록일자: 2011.01.05)에서 BGA 타입의 반도체 패키지를 테스트하기 위한 소켓장치를 개시하고 있으며, 상기 등록특허는 대칭되게 마련된 두 개의 핀헤드를 갖는 콘택트 핀에 의해 솔더볼과 안정적인 전기적 접촉이 이루어질 수 있는 소켓장치를 보여주고 있다.Currently, a socket device for testing a semiconductor package is variously disclosed. For example, the present applicant has disclosed a socket device for testing a BGA type semiconductor package in Korean Patent Publication No. 10-1007660 (Registration Date: 2011.01.05). The patent discloses a socket device capable of making stable electrical contact with a solder ball by contact pins having two pin heads provided symmetrically.
다른 예로써 공개특허공보 제10-2007-0073233호(공개일자: 2007.07.10)는 솔더볼의 손상을 최소화하며 솔더볼의 오염이 적고 미세 피치 대응을 개선할 수 있는 BGA 패키지용 테스트 소켓을 보여주고 있다.As another example, Korean Patent Publication No. 10-2007-0073233 (published: 2007.07.10) shows a test socket for a BGA package that minimizes damage to solder balls, reduces solder ball contamination, and improves fine pitch response. .
구체적으로 도 1을 참고하여 종래의 테스트 소켓들을 살펴보면 다음과 같다.Specifically, referring to FIG. 1, the conventional test sockets are as follows.
도 1의 (a)(b)는 종래기술의 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 작동예들을 보여주는 도면으로써, 솔더볼과 전기적인 연결을 위한 다양한 형태의 콘택트 프로브를 보여주고 있다.1 (a) and (b) show examples of operations of a socket device for testing a semiconductor package according to the related art, and show various types of contact probes for electrical connection with solder balls.
도 1의 (a)를 참고하면, BGA 타입의 반도체 패키지(10)의 저면에는 다수의 솔더볼(11)이 배치된다. 소켓장치는 솔더볼(11)과의 전기적인 접촉을 위하여 한 쌍의 암으로 이루어진 콘택트(20)가 마련되며, 암의 상단 선단부에는 서로 대향하여 접촉돌기(21)가 돌출 마련된다. 이러한 콘택트(20)는 패키지가 소켓장치에 안착된 후에 두 개의 암 또는 한 개의 암만이 안쪽으로 닫히면서 접촉돌기(21)가 솔더볼(11)의 측면과 접촉하여 전기적인 연결이 이루어진다.Referring to FIG. 1A, a plurality of
그러나 이러한 종래의 소켓장치는 접촉돌기(21)가 솔더볼(11)의 측면을 핀칭(pinching)하는 구조에 의해 솔더볼(11)과 접촉돌기(21) 사이의 접촉이 이루어지며, 따라서 솔더볼(11)과 접촉돌기(21) 사이의 접촉력(contact force)은 콘택트(20)에만 의존하게 되므로 기구적 공차관리나 솔더볼의 표면 상태(이물질 등)에 의한 환경이나 조건 변화에 따라서 안정적인 전기적 접촉 특성을 확보하는데 한계가 있다.However, in the conventional socket device, the contact between the
다른 예로써 도 1의 (b)를 참고하면, 반도체 패키지의 검사를 위하여 소켓장치는 솔더볼(11)과 전기적 접촉을 위하여 솔더볼(11)의 연직 하방에 콘택트 핀(30)이 마련되며, 콘택트 핀(30) 상단에는 솔더볼(11)과 접촉이 이루어지는 접촉돌기(31)가 형성된다. 이와 같은 소켓장치는 래치(미도시)에 의해 반도체 패키지(10)가 가압되어 솔더볼(11)과 접촉돌기(31)의 전기적인 연결이 이루어진다.As another example, referring to FIG. 1B, a
그러나 이러한 구조의 소켓장치는 반도체 패키지 단자와 콘택트 핀이 항상 일정한 위치에서 접촉이 이루어지며, 이 때문에 패키지 단자에 이물질이 부착되어 있는 경우에는 단자와 콘택트 핀 사이에 양호한 접촉이 이루어지지 않는 문제점이 있다.However, the socket device of such a structure makes contact with the semiconductor package terminal and the contact pin always at a constant position. Therefore, when foreign matter is attached to the package terminal, there is a problem that good contact is not made between the terminal and the contact pin. .
이와 같이 반도체 패키지 테스트용 소켓장치는 검사 신뢰성을 높이기 위해서 솔더볼과 검사장치를 전기적으로 연결하게 되는 콘택트 핀과 솔더볼 사이에 안정적인 전기적 접촉이 보장되어야 하지만, 실질적으로 솔더볼 표면의 조건이나 소켓장치의 기구적인 공차 등으로 인하여 안정적인 특성을 확보하는데 한계가 있으며, 특히 패키지의 소형화와 박막화로 인해 종래기술만으로는 (초)미세 피치의 패키지의 기하학적 한계공차 영역을 유연하면서 효과적으로 대처하기에는 한계가 있다.
As described above, the socket device for testing a semiconductor package has to ensure stable electrical contact between the solder ball and the contact pin that electrically connects the test device to the solder ball in order to increase inspection reliability. There are limitations in securing stable characteristics due to tolerances, and in particular, due to the miniaturization and thinning of the package, there is a limitation in the conventional technology alone in dealing with the flexible and effective geometrical marginal tolerance area of the (ultra) fine pitch package.
본 발명은 이러한 종래기술의 문제점을 해소하기 위한 것으로, 반도체 패키지의 솔더볼과 콘택트 핀의 접촉 과정에서 솔더볼 표면의 산화막 또는 이물질에 의해 접촉 불량을 방지할 수 있도록 솔더볼과 콘택트 핀의 접촉 과정에서 와이핑(wiping) 작용이 이루어지도록 함으로써, 솔더볼과 콘택트 핀 사이의 안정적인 전기적 접촉이 이루어질 수 있는 반도체 패키지 테스트용 소켓장치를 제공하고자 한다.
The present invention is to solve the problems of the prior art, the wiping during the contact between the solder ball and the contact pin to prevent contact failure by the oxide film or foreign matter on the surface of the solder ball during the contact of the solder ball and the contact pin of the semiconductor package. By providing a wiping action, the present invention provides a socket device for testing a semiconductor package that enables stable electrical contact between solder balls and contact pins.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치는, 다수의 솔더볼을 갖는 BGA 타입의 반도체 패키지를 테스트하기 위한 테스트 소켓장치에 있어서, 고정몸체부와; 상기 고정몸체부의 상부에 탄성 지지되어 상하 이동 가능하게 조립되는 커버부와; 반도체 패키지가 안착 위치하게 되며, 고정몸체부와 상기 커버부 사이에 마련되어 상하 이동 가능하게 조립되는 어댑터와; 상기 커버부의 상하 이동과 연동하여 상기 어댑터에 안착된 반도체 패키지의 상부를 아래로 가압하도록 상기 고정몸체부에 마련되는 래치와; 반도체 패키지의 각 솔더볼들과 일대일 대응되도록 마련되되, 하단부가 상기 고정몸체부에 삽입 고정되고 상단부가 상기 솔더볼에 대해 편심 위치하여 탄성 변형에 의해 솔더볼과 접촉이 가능한 다수의 콘택트 핀과; 상기 고정몸체부와 상기 어댑터 사이에 상하 이동 가능하게 조립되되, 상기 콘택트 핀들과 일대일 대응하여 각각이 관통 삽입되도록 다수의 헤드홀이 형성된 작동몸체부에 의해 달성된다.In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a socket device for testing a semiconductor package, the test socket device for testing a BGA type semiconductor package having a plurality of solder balls, comprising: a fixed body part; A cover part elastically supported on an upper portion of the fixed body part to be assembled to be movable up and down; An adapter in which the semiconductor package is seated and provided between the fixed body part and the cover part and assembled to be movable up and down; A latch provided in the fixed body portion to press down the upper portion of the semiconductor package seated on the adapter in association with vertical movement of the cover portion; A plurality of contact pins provided to correspond to the solder balls of the semiconductor package one-to-one, the lower end being inserted into the fixed body part and the upper end being eccentric with respect to the solder ball to be in contact with the solder ball by elastic deformation; Assembled so as to be movable up and down between the fixed body portion and the adapter, it is achieved by a working body portion formed with a plurality of head holes so that each is inserted through one-to-one correspondence with the contact pins.
바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 콘택트 핀의 상측 선단부가 종방향에 대해 경사면을 갖는 것을 특징으로 하며, 보다 바람직하게는 상기 콘택트 핀의 상측 선단부는 솔더볼과 대향하여 돌출 형성된 돌기부가 추가로 형성될 수 있으며, 더욱더 바람직하게는 상기 돌기부는 상기 콘택트 핀의 길이방향으로 좌우 대칭되게 마련된 두 개의 돌기인 것을 특징으로 한다.Preferably, in the present invention, the upper end portion of the contact pin has an inclined surface with respect to the longitudinal direction, and more preferably, the upper end portion of the contact pin is formed to further protrude projections facing the solder ball And, more preferably, the projection is characterized in that the two projections are provided symmetrically in the longitudinal direction of the contact pin.
바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 콘택트 핀은 직선의 세선(fine line)이되, 상기 헤드홀 내에서 편심 위치하도록 절곡구간 또는 만곡구간을 갖는 것을 특징으로 한다.Preferably in the present invention, the contact pin is a fine line of a straight line (fine line), characterized in that it has a bending section or a curved section to be eccentrically positioned in the headhole.
바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 어댑터는 상기 반도체 패키지가 안착되는 표면에 각 솔더볼이 대응되어 삽입되어 안착되도록 다수의 볼컵(ball cup)이 형성되며, 각 볼컵은 상기 콘택트 핀의 상단부가 삽입되어 각 솔더볼과 접촉이 가능하도록 형성된 제2헤드홀과 연통되며, 보다 바람직하게는, 상기 볼컵은 종방향에 대해 회전 대칭되게 마련되며, 상기 제2헤드홀은 상기 볼컵에 대해 편심되어 연통 형성되는 것을 특징으로 한다.
Preferably, in the present invention, a plurality of ball cups are formed on the surface on which the semiconductor package is seated so that each solder ball is inserted into and seated, and each ball cup has an upper end portion of the contact pin inserted therein. Communicate with a second head hole formed to be in contact with each solder ball, more preferably, the ball cup is provided to be rotationally symmetrical with respect to the longitudinal direction, and the second head hole is eccentric with respect to the ball cup and is formed in communication. It features.
본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치는, 어댑터에 안착되는 반도체 패키지를 상부에서 가압하면서 또한 반도체 패키지의 저면에 배치되는 솔더볼과 일대일 대응되어 마련되는 콘택트 핀이 작동몸체부의 상하 구동에 의해 횡방향으로 가압되어 솔더볼 중심의 측면하단과 접촉되면서 와이핑(wiping) 작용에 의해 전기적인 접촉이 이루어지도록 함으로써, 기구적인 공차조건이나 솔더볼의 표면 조건에 상관없이 안정적인 전기적 접촉 특성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
In the socket device for testing a semiconductor package according to the present invention, a contact pin provided in a one-to-one correspondence with a solder ball disposed on a bottom surface of a semiconductor package while pressing a semiconductor package seated on an adapter from an upper side thereof is transversely driven by vertical movement of an operating body part. It is pressurized to make contact with the lower side of the center of the solder ball and make electrical contact by the wiping action, so it is possible to secure stable electrical contact characteristics regardless of mechanical tolerance conditions or surface conditions of the solder ball. have.
도 1의 (a)(b)는 종래기술의 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 작동예들을 보여주는 도면,
도 2는 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 전체 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 분해 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 요부 구성을 보여주는 종단면도,
도 5는 도 4의 A부분의 확대도,
도 6은 도 4의 B부분의 확대도,
도 7은 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치에 있어서, 콘택트 핀의 바람직한 예를 보여주는 정면도,
도 8은 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치에 있어서, 반도체 패키지와 접촉되는 콘택트 핀들의 바람직한 배치 형태를 예시한 도면,
도 9의 (a)(b)(c)(d)는 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 작동예를 설명하기 위한 도면,
도 10의 (a)(b)(c)는 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치에 있어서, 콘택트 핀과 솔더볼의 접촉된 상태를 설명하기 위한 도면.Figure 1 (a) (b) is a view showing the operation examples of the socket device for testing a semiconductor package of the prior art,
2 is an overall perspective view of a socket device for testing a semiconductor package according to the present invention;
3 is an exploded perspective view of a socket device for testing a semiconductor package according to the present invention;
4 is a longitudinal sectional view showing a main configuration of a socket device for testing a semiconductor package according to the present invention;
5 is an enlarged view of a portion A of FIG. 4;
6 is an enlarged view of a portion B of FIG. 4;
7 is a front view showing a preferred example of the contact pin in the socket device for testing a semiconductor package according to the present invention;
8 illustrates a preferred arrangement of contact pins in contact with a semiconductor package in the socket device for testing a semiconductor package according to the present invention;
9 (a), (b), (c) and (d) are views for explaining an operation example of the socket device for testing a semiconductor package according to the present invention;
10A, 10B and 10C are diagrams for explaining a contact state between a contact pin and a solder ball in the socket device for testing a semiconductor package according to the present invention;
이하, 본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 전체 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 분해 사시도이다.2 is an overall perspective view of a socket device for testing a semiconductor package according to the present invention, and FIG. 3 is an exploded perspective view of the socket device for testing a semiconductor package according to the present invention.
도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 반도체 패키지 테스트용 소켓장치는, 고정몸체부(100), 커버부(200), 어댑터(300), 래치(400), 콘택트 핀(500) 및 작동몸체부(600)를 포함하여 솔더볼을 갖는 BGA 타입의 반도체 패키지에 대한 테스트가 이루어진다.
2 and 3, the socket device for testing a semiconductor package of the present invention includes a
고정몸체부(100)는 직사각형의 프레임구조로써 소켓장치의 구성부품들이 조립되는 것으로, 콘택트 핀(500)을 고정 지지하게 되며, 상단부에 커버부(200), 어댑터(300) 및 작동몸체부(600)가 상하 이동 가능하게 조립되며, 래치(400)가 회전 가능하게 결합된다.The
한편, 고정몸체부(100)는 콘택트 핀(500)을 고정 지지하기 위하여 다양한 형태를 가질 수 있으나, 도 3에 예시된 것과 같이 콘택트 핀(500)이 관통 조립되는 베이스(110)와, 베이스(110) 하부에 조립되어 콘택트 핀(500)을 고정 지지하게 되는 스톱퍼(120)와 리드가이드(130)에 의해 제공될 수 있다.On the other hand, the
커버부(200)는 반도체 패키지가 통과할 수 있도록 개방된 직사각형 프레임 구조를 가지며, 고정몸체부(100)의 상부에 탄성 지지되어 상하 조작이 가능하게 조립된다. The
도 3에 예시된 바와 같이, 커버부(200)와 베이스(110) 사이에는 네 개의 코너에 각각 제1스프링(201)이 마련됨으로써, 커버부(200)는 고정몸체부(100) 상부에 탄성 지지되어 상하 이동이 가능하다. 한편 고정몸체부(100)와 커버부(200)에는 제1스프링(201)이 고정되어 조립될 수 있도록 스프링 수용홀 또는 스프링 가이드돌기가 형성될 수 있음은 자명하게 이해될 수 있다.As illustrated in FIG. 3, a
어댑터(300)는 고정몸체부(100)의 상부에 탄성 지지되어 상하 이동이 가능하며, 반도체 패키지(10)가 안착 위치한다. 도 3에 예시된 바와 같이, 어댑터(300)와 베이스(110) 사이에는 4개의 제2스프링(301)이 개재되어 어댑터(300)는 고정몸체부(100) 상부에 탄성 지지되어 상하 이동이 가능하다. 한편, 고정몸체부(100)와 어댑터(300)에는 제2스프링(301)이 고정되어 조립될 수 있도록 스프링 수용홀이나 스프링 가이드돌기가 마련될 수 있음은 자명하게 이해될 수 있다. The
또한 고정몸체부(100) 상부에 커버부(200) 또는 어댑터(300)를 탄성 지지하기 위한 스프링의 위치나 숫자는 다양하게 변경이 가능하며, 또한 고정몸체부(100) 상부에 커버부(200) 및 어댑터(300)가 일정 범위 내에서 상하 이동이 가능하게 일체로 조립하기 위하여 결합돌기와, 이와 결합이 이루어지는 결합홈이 마련될 수가 있다.In addition, the position or number of the spring for elastically supporting the
래치(400)는 커버부(200)의 상하 이동과 연동하여 어댑터(300)에 안착된 반도체 패키지(10)의 상부를 아래로 가압할 수 있도록 고정몸체부(100) 상부에 마련된다.The
도 3에 예시된 바와 같이, 래치(400)는 대칭되게 마련되어 반도체 패키지(10)를 가압하기 위한 두 개의 래치암(410)과, 이 래치암(410)과 링크(421)로 연결되어 베이스(110)의 제1힌지핀결합부(111)에 회동 가능하게 결합되는 제1힌지핀(420)과, 래치암(410)의 후단에 마련되어 커버부(200)의 제2힌지핀결합부(202)에 회동 가능하게 결합되는 제2힌지핀(430)으로 구성될 수 있다.As illustrated in FIG. 3, the
이와 같이 구성된 래치(400)는 제1힌지핀(420)이 베이스(110)에 힌지 결합된 상태에서 커버부(200)의 상하 이동에 따라서 커버부(200)에 결합되는 제2힌지핀(430)이 상하 이동하면서 래치암(410)은 제1힌지핀(420)을 회전축으로 하여 반도체 패키지(10)를 가압하거나 가압상태의 해제가 이루어질 수 있다. 예를 들어, 커버부(200)가 하향 이동하게 되면 제2힌지핀(430) 역시도 아래로 내려오면서 래치암(410)은 제1힌지핀(420)을 회전축으로 하여 바깥으로 벌어지는 상태(가압해제)가 되며, 반대로 커버부(200)가 상향 이동하게 되면 제2힌지핀(430)이 상향 이동되면서 래치암(410)은 제1힌지핀(420)을 회전축으로 회전하여 래치암(410)은 반도체 패키지(10)를 누르게 된다. The
콘택트 핀(500)은 하단부가 고정몸체부(100)에 삽입 고정되어 작동몸체부(600)의 상하 위치에 따라서 반도체 패키지(10)의 솔더볼과 전기적인 접촉이 이루어지는 것으로, 바람직하게는 전체적으로는 탄성을 갖는 직선 형태의 세선(fine line)으로 제공될 수 있으며, 작동몸체부(600)에 의해 제공되는 횡방향 가압력과, 래치(400)에 의한 반도체 패키지(10)의 하향 이동에 의해 콘택트 핀(500) 상단의 핀헤드와 솔더볼은 핀칭(pinching)과 와이핑(wiping)이 순차적으로 함께 이루어지면서 전기적인 접촉이 이루어질 수 있다. 이러한 와이핑이 수반되는 콘택트 핀과 솔더볼의 전기적인 접촉 동작은 관련 도면을 참고하여 다시 구체적으로 설명될 것이다.The
작동몸체부(600)는 고정몸체부(100)와 어댑터(300) 사이에 상하 이동 가능하게 마련되며, 콘택트 핀(500)들과 일대일 대응되어 각각이 관통 삽입되도록 헤드홀(610)이 형성된다. 한편 작동몸체부(600)에 마련된 헤드홀(610)은 콘택트 핀(500)이 삽입된 상태에서 작동몸체부(600)의 상하 위치에 따라서 헤드홀(610)의 내벽면에 의해 콘택트 핀(500)에 대해 횡방향으로의 가압 또는 가압해제가 이루어질 수 있다.The operating
한편, 본 실시예에서 상세하게 설명하지는 않으나, 고정몸체부(100)에 대해 상하 이동 가능하게 조립되는 커버부(200), 어댑터(300) 및 작동몸체부(600)는 원활한 상하 운동을 안내할 수 있도록 각 구성요소에는 상하 운동을 안내하기 위한 다양한 형태의 가이드부재가 마련될 수 있음은 자명하게 이해될 수 있다.On the other hand, although not described in detail in this embodiment, the
예를 들어, 도 2에서 예시하고 있는 것과 같이, 고정몸체부(100)를 구성하는 베이스의 바깥 측면에는 인입 형성된 가이드요홈(102)이 마련되며, 커버부(200)에는 가이드요홈(102)과 계합되는 가이드돌기(210)가 형성됨으로써, 가이드돌기(210)가 가이드요홈(102)에 의해 안내되어 커버부(200)는 고정몸체부(100)에 대해 상하 운동이 가능할 수 있다.For example, as illustrated in FIG. 2, a
다음으로 본 발명의 주요 구성요소들을 중심으로 보다 구체적으로 살펴본다.Next look at the main components of the present invention in more detail.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 요부 구성을 보여주는 종단면도이며, 도 5는 도 4의 A부분의 확대도이며, 도 6은 도 4의 B부분의 확대도이다. 한편 이해를 돕기 위하여 하나의 콘택트 핀만을 도시하고 있으나 동일한 콘택트 핀들이 반도체 패키지의 솔더볼과 일대일 대응되게 마련됨을 이해하여야 한다.4 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a main configuration of a socket device for testing a semiconductor package according to the present invention, FIG. 5 is an enlarged view of portion A of FIG. 4, and FIG. 6 is an enlarged view of portion B of FIG. 4. Meanwhile, only one contact pin is shown for clarity, but it should be understood that the same contact pins are provided in one-to-one correspondence with the solder balls of the semiconductor package.
도 4 및 도 5를 참고하면, 어댑터(300)는 반도체 패키지(10)가 안착되는 것으로, 어댑터(300)가 안착되는 상부 표면에는 다수의 솔더볼(11)과 일대일 대응되어 솔더볼(11)들이 삽입되는 다수의 볼컵(310)이 형성되며, 이 볼컵(310)은 어댑터(300) 하부면의 제2헤드홀(320)과 연통된다.4 and 5, the
볼컵(310)의 형상은 특정한 형태로 제한될 필요는 없으나, 바람직하게는, 볼컵(310)은 종방향에 대해 회전 대칭되는 원기둥 또는 원추형상을 가질 수 있으며, 특히 제2헤드홀(320)은 볼컵(310)에 대해 편심 위치되어 연통된다.The shape of the
따라서 어댑터(300)에 안착되는 반도체 패키지(10)는 볼컵(310) 안쪽으로 각 솔더볼(11)들이 안착 위치하게 되며, 볼컵(310)과 연통되는 제2헤드홀(320) 하단을 통하여 콘택트 핀(500) 상단이 관통 위치하여 콘택트 핀(500)과 솔더볼(11) 사이의 접촉이 가능하다.Therefore, in the
이와 같이 어댑터(300)는 반도체 패키지가 안착되는 상부면에 반도체 패키지(10)의 솔더볼(11)과 일대일 대응되어 솔더볼(11)이 삽입 위치하게 되는 볼컵(310)이 마련됨으로써, 어댑터에 반도체 패키지가 안착되는 과정에서의 미스로딩(miss loading)과 이로 인한 반도체 패키지의 손상을 방지할 수 있다.As described above, the
한편, 작동몸체부(600)는 베이스(110) 상부에서 상하 이동 가능하게 결합되며, 콘택트 핀(500)들과 일대일 대응되어 각각의 콘택트 핀(500)이 관통 삽입되도록 헤드홀(610)이 형성된다. 헤드홀(610)은 대략 하단에서 상단으로 단면적이 좁아게 형성되며, 보다 바람직하게는, 내벽면(611)은 콘택트 핀(500)을 중심으로 상호 대면하는 내벽면의 기하학적 형상이 비대칭 구조를 가지며, 작동몸체부(600)의 위치(높이)에 따라서 콘택트 핀(500) 상단이 헤드홀(610)의 내벽면(611)에 의해 횡방향으로 가압되거나 가압해제가 이루어진다.On the other hand, the working
예를 들어, 도 5에서 헤드홀(610)의 내벽면은 비대칭 구조를 가지면서 서로 대면하는 제1내벽면(611a)과 제2내벽면(611b)으로 이루어지며, 작동몸체부(600)가 상방으로 이동하게 되면, 헤드홀(610)의 제1내벽면(611a)에 의해 콘택트 핀(500)이 지지되어 솔더볼(11)을 향해 횡방향으로 가압되며, 반대로 작동몸체부(600)가 하방으로 이동시에는 헤드홀(610)의 제2내벽면(611b)이 콘택트 핀(500)을 솔더볼(11) 반대 방향으로 밀어서 횡방향으로의 가압 해제가 이루어질 수 있다.For example, in FIG. 5, the inner wall surface of the
또한 콘택트 핀(500)의 상단부(본 발명에서 "핀헤드"로도 지칭)는 절곡구간을 갖거나 만곡구간이 형성될 수 있으며, 이러한 콘택트 핀(500)의 절곡구간 또는 만곡구간이 헤드홀(610) 내에서 내벽면(611)에 의해 가압되어 횡방향으로 가압이 이루어질 수가 있다. 본 실시예에서는 도 5에 예시된 것과 같이, 콘택트 핀(500)의 상단부가 절곡구간(510)을 갖는 것으로 도시하고 있다.In addition, the upper end of the contact pin 500 (also referred to as “pin head” in the present invention) may have a bending section or a curved section, and a bending section or a curved section of the
도 6을 참고하면, 고정몸체부를 구성하는 베이스(110), 스톱퍼(120) 및 리드가이드(130)는 콘택트 핀(500)의 하단을 고정 지지할 수 있는 구조를 가지며, 콘택트 핀(500)의 고정을 위하여 콘택트 핀(500)의 하단부에는 절곡구간 또는 만곡구간을 가질 수 있다.Referring to FIG. 6, the
구체적으로 도 6에서 예시하고 있는 것과 같이, 베이스(110)는 콘택트 핀(500)이 관통되는 제1관통홀(113)이 형성되고 스톱퍼(120)와 리드가이드(130)에도 각각 제2관통홀(121)과 제3관통홀(131)이 형성된다. 따라서 콘택트 핀(500) 하단에 마련된 제2절곡구간(520)이 베이스(110)와 스톱퍼(120) 사이에 물려서 콘택트 핀(500) 하단이 고정될 수 있다.In detail, as illustrated in FIG. 6, the
리드가이드(130)의 제3관통홀(131)을 관통하여 돌출 형성된 콘택트 핀(500)의 하단부는 검사장치(미도시)와 연결되어 반도체 패키지에 대한 검사가 이루어진다.The lower end of the
도 7은 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치에 있어 콘택트 핀의 바람직한 예를 보여주는 정면도로써, 콘택트 핀(500)은 전체적으로 탄성을 갖는 직선 형태의 세선(fine line)(501)에 의해 제공되며, 상단부에는 작동몸체부와 연동되어 탄성 변형이 이루어질 수 있도록 절곡구간(510)과 고정몸체부에 고정을 위하여 하단부에 절곡구간(520)이 마련될 수 있다.7 is a front view showing a preferred example of a contact pin in the socket device for testing a semiconductor package according to the present invention, wherein the
바람직하게는 콘택트 핀(500) 상단에서 솔더볼과 접촉이 이루어지는 구간은 종방향(즉, 콘택트 핀의 길이방향)에 대해 경사면(521)을 가지며, 보다 바람직하게는 솔더볼과 대향하여 돌출 형성된 돌기부(522)가 추가될 수 있다. 특히 돌기부(522)는 콘택트 핀의 길이방향으로 좌우 대칭되게 마련되는 두 개의 돌기에 의해 제공될 수 있다. 한편 본 발명에서 콘택트 핀 상단에 형성되는 경사면 각도 또는 돌기의 형태는 다양하게 제공될 수 있다.Preferably, the section in which contact with the solder ball on the top of the
도 8은 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치에 있어서, 반도체 패키지와 접촉되는 콘택트 핀들의 바람직한 배치 형태를 예시한 도면이다.8 is a view illustrating a preferred arrangement of contact pins in contact with a semiconductor package in the socket device for testing a semiconductor package according to the present invention.
도 8에서 예시하는 것과 같이, 콘택트 핀(500)들은 본 발명의 소켓장치(예를 들어, 고정몸체부)를 중심으로 핀헤드와 솔더볼(11)의 편심 위치에 따라서 서로 대칭되는 두 개의 그룹(500a)(500b)으로 구분되어 대향하여 배치될 수 있으며, 바람직하게는 서로 대향하여 배치되는 두 개의 콘택트 핀 그룹(500a)(500b)은 콘택트 핀(500) 상단부(핀헤드)의 편심 위치가 서로 반대 방향이 되도록 한다.As illustrated in FIG. 8, the contact pins 500 are divided into two groups symmetrical with each other according to the eccentric position of the pin head and the
이와 같이, 베이스에 삽입 고정되는 콘택트 핀들은 소켓장치 중심을 기준으로 수직 또는 수평방향으로 서로 대향되게 배열되어 조립됨으로써, 반도체 패키지(10)의 솔더볼(11)들은 콘택트 핀들과 접촉 시에 반도체 패키지(10)가 한쪽 방향으로 쏠림현상 없이 좌우 균형이 유지되어 안정적인 접촉이 이루어질 수 있다.
As such, the contact pins inserted into and fixed to the base are arranged to face each other in the vertical or horizontal direction with respect to the center of the socket device, so that the
도 9의 (a)(b)(c)(d)는 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 작동예를 설명하기 위한 도면이다.9A, 9B, and 9D are views for explaining an operation example of the socket device for testing a semiconductor package according to the present invention.
이하 도 9를 참고하여 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치의 작동예를 설명한다.Hereinafter, an operation example of the socket package for semiconductor package test according to the present invention will be described with reference to FIG. 9.
도 9의 (a)는 반도체 패키지(10) 장착 전의 초기 상태를 보여주는 도면으로, 설명의 편의를 위하여 반도체 패키지(10)가 안착되는 어댑터는 볼컵(310) 만을 도시하였으며, 작동몸체부(600)는 콘택트 핀(500)이 관통하여 삽입되는 헤드홀의 내벽면(611)으로 도시하였다.9 (a) is a view showing an initial state before the
다음으로 도 9의 (b)에 도시된 것과 같이, 반도체 패키지(10)가 어댑터에 안착된 후에 래치(400)가 작동하여 반도체 패키지(10) 상부를 터치하는 순간부터 어댑터가 아래로 내려오며, 이와 함께 작동몸체부(600)가 상방으로 이동하면서 내벽면(611)에 의해 콘택트 핀(500)은 솔더볼(11)을 향해 횡방향으로 가압되기 시작한다. Next, as shown in (b) of FIG. 9, after the
도 9의 (c)를 참고하면, 래치(400)에 의해 어댑터가 계속 하방으로 이동함과 동시에 콘택트 핀(500)이 작동몸체부(600)에 의해 횡방향으로 가압되어 콘택트 핀(500)과 솔더볼(11) 사이에 접촉이 이루어진다. 이 과정에서 콘택트 핀(500)에 돌출 형성된 돌기는 솔더볼(11) 표면에 접촉되면서 횡방향으로 핀칭(pinching)이 이루어짐과 동시에 래치(400)의 가압력에 의해 계속 하강하게 되는 솔더볼(11) 표면과 종방향으로 와이핑(wiping)을 시작하게 된다.Referring to FIG. 9C, the
도 9의 (d)는 콘택트 핀(500)과 솔더볼(11) 사이의 접촉이 완료된 상태를 보여주는 도면으로, 래치(400)에 의해 반도체 패키지(10)가 가압된 상태에서 콘택트 핀(500)은 작동몸체부(600)에 의해 횡방향의 핀칭력(pinching force)과 래치(400)에 의한 종방향의 와이핑(wiping)이 완료되어 콘택트 핀(500)과 솔더볼(11)은 견고히 접촉이 이루어지며, 따라서 솔더볼(11) 표면을 감싸고 있는 산화피막이나 이물질이 제거됨으로써 전기적인 연결이 안정적으로 이루어질 수 있다.FIG. 9D is a view illustrating a state in which contact between the
도 10의 (a)(b)는 본 발명에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓장치에 있어서, 콘택트 핀과 솔더볼의 접촉된 상태를 설명하기 위한 도면이다.10A and 10B are diagrams for explaining a contact state between a contact pin and a solder ball in the socket device for testing a semiconductor package according to the present invention.
도 10의 (a)는 솔더볼(11)과 접촉된 상태의 콘택트 핀의 평면 상태를 보여주는 도면으로, 콘택트 핀(500)의 상단부에는 좌우 대칭되게 두 개의 돌기(522a)(522b)가 돌출 형성된다. 따라서 콘택트 핀(500)의 돌기(522a)(522b)는 와이핑 작용에 의해 표면의 산화막을 뚫고 솔더볼(11)과 안정적인 전기적 접촉이 가능하다.10A is a view showing a planar state of a contact pin in contact with the
도 10의 (b)는 콘택트 핀과 접촉되어 솔더볼(11) 표면에 발생된 콘택마크(11a)를 보여주고 있으며, 솔더볼(11)은 콘택트 핀의 돌기와 접촉하면서 와이핑구간(WD)에 해당하는 길이의 콘택마크(11a)를 형성된다.10 (b) shows a
한편, 콘택트 핀과 솔더볼의 접촉구간(즉, 와이핑구간)은 솔더볼의 중심(CL) 아래 구간에서 발생되는 것이 바람직할 것이다.
On the other hand, the contact section (ie, the wiping section) of the contact pin and the solder ball may be generated in the section below the center CL of the solder ball.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.
10 : 반도체 패키지 11 : 솔더볼
100 : 고정몸체부 200 : 커버부
300 : 어댑터 310 : 볼컵
320 : 제2헤드홀 400 : 래치
500 : 콘택트 핀 600 : 작동몸체부
610 : 헤드홀10 semiconductor package 11: solder ball
100: fixed body portion 200: cover portion
300: adapter 310: ball cup
320: second head hole 400: latch
500: contact pin 600: working body
610: headhole
Claims (8)
고정몸체부와;
상기 고정몸체부의 상부에 탄성 지지되어 상하 이동 가능하게 조립되는 커버부와;
반도체 패키지가 안착 위치하게 되며, 고정몸체부와 상기 커버부 사이에 마련되어 상하 이동 가능하게 조립되는 어댑터와;
상기 커버부의 상하 이동과 연동하여 상기 어댑터에 안착된 반도체 패키지의 상부를 아래로 가압하도록 상기 고정몸체부에 마련되는 래치와;
반도체 패키지의 각 솔더볼들과 일대일 대응되도록 마련되되, 하단부가 상기 고정몸체부에 삽입 고정되고 상단부가 상기 솔더볼에 대해 편심 위치하여 탄성 변형에 의해 솔더볼과 접촉이 가능한 다수의 콘택트 핀과;
상기 고정몸체부와 상기 어댑터 사이에 상하 이동 가능하게 조립되되, 상기 콘택트 핀들과 일대일 대응하여 각각이 관통 삽입되도록 다수의 헤드홀이 형성된 작동몸체부를 포함하여,
상기 래치에 의한 가압되는 반도체 패키지의 하향 이동과 함께 상기 작동몸체부의 상방 이동에 의해 상기 콘택트 핀이 횡방향 가압되어 콘택트 핀과 반도체 패키지의 솔더볼 사이의 접촉이 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 테스트용 소켓장치.In the test socket device for testing a BGA type semiconductor package having a plurality of solder balls,
A fixed body part;
A cover part elastically supported on an upper portion of the fixed body part to be assembled to be movable up and down;
An adapter in which the semiconductor package is seated and provided between the fixed body part and the cover part and assembled to be movable up and down;
A latch provided in the fixed body portion to press down the upper portion of the semiconductor package seated on the adapter in association with vertical movement of the cover portion;
A plurality of contact pins provided to correspond to the solder balls of the semiconductor package one-to-one, the lower end being inserted into the fixed body part and the upper end being eccentric with respect to the solder ball to be in contact with the solder ball by elastic deformation;
It is assembled so as to move up and down between the fixed body portion and the adapter, including a working body portion formed with a plurality of head holes to be inserted through each one in one-to-one correspondence with the contact pins,
The socket for a semiconductor package test, characterized in that the contact pin is laterally pressed by the upward movement of the operating body portion by the latch and the contact of the contact pin and the solder ball of the semiconductor package by the latch. Device.
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---|---|
KR (1) | KR101245837B1 (en) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101432449B1 (en) | 2013-08-30 | 2014-09-29 | 아주야마이찌전기공업(주) | Socket device for testing a semiconductor device |
KR101446429B1 (en) * | 2013-05-10 | 2014-10-08 | 주식회사 오킨스전자 | Contactor using clad metal and socket using thereof |
KR101593634B1 (en) * | 2014-12-31 | 2016-02-18 | 주식회사 아이에스시 | Electrical test socket |
KR20160119538A (en) * | 2015-04-06 | 2016-10-14 | (주)마이크로컨텍솔루션 | Test socket |
KR20170073797A (en) * | 2015-12-18 | 2017-06-29 | 삼성전자주식회사 | Test socket and Method for testing semiconductor package |
KR101864859B1 (en) * | 2016-12-07 | 2018-06-05 | 주식회사 아이에스시 | Electrical test socket |
KR102060827B1 (en) | 2018-10-30 | 2019-12-30 | 주식회사 마이크로컨텍솔루션 | Test socket |
TWI689734B (en) * | 2017-09-25 | 2020-04-01 | 南韓商Isc股份有限公司 | Test socket |
CN116819286A (en) * | 2023-08-25 | 2023-09-29 | 成都宇熙电子技术有限公司 | Semiconductor package testing tool and testing method thereof |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20100005458A (en) * | 2008-07-07 | 2010-01-15 | 삼성전자주식회사 | Apparatus and method for connecting call during digital media broadcasting |
-
2012
- 2012-03-28 KR KR1020120031921A patent/KR101245837B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20100005458A (en) * | 2008-07-07 | 2010-01-15 | 삼성전자주식회사 | Apparatus and method for connecting call during digital media broadcasting |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101446429B1 (en) * | 2013-05-10 | 2014-10-08 | 주식회사 오킨스전자 | Contactor using clad metal and socket using thereof |
KR101432449B1 (en) | 2013-08-30 | 2014-09-29 | 아주야마이찌전기공업(주) | Socket device for testing a semiconductor device |
KR101593634B1 (en) * | 2014-12-31 | 2016-02-18 | 주식회사 아이에스시 | Electrical test socket |
KR20160119538A (en) * | 2015-04-06 | 2016-10-14 | (주)마이크로컨텍솔루션 | Test socket |
KR101677708B1 (en) | 2015-04-06 | 2016-11-21 | (주)마이크로컨텍솔루션 | Test socket |
KR102520051B1 (en) * | 2015-12-18 | 2023-04-12 | 삼성전자주식회사 | Test socket and Method for testing semiconductor package |
KR20170073797A (en) * | 2015-12-18 | 2017-06-29 | 삼성전자주식회사 | Test socket and Method for testing semiconductor package |
KR101864859B1 (en) * | 2016-12-07 | 2018-06-05 | 주식회사 아이에스시 | Electrical test socket |
TWI660178B (en) * | 2016-12-07 | 2019-05-21 | 南韓商Isc股份有限公司 | Test socket |
CN110121655A (en) * | 2016-12-07 | 2019-08-13 | 株式会社Isc | Test jack |
WO2018105896A1 (en) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 주식회사 아이에스시 | Test socket apparatus |
TWI689734B (en) * | 2017-09-25 | 2020-04-01 | 南韓商Isc股份有限公司 | Test socket |
KR102060827B1 (en) | 2018-10-30 | 2019-12-30 | 주식회사 마이크로컨텍솔루션 | Test socket |
CN116819286A (en) * | 2023-08-25 | 2023-09-29 | 成都宇熙电子技术有限公司 | Semiconductor package testing tool and testing method thereof |
CN116819286B (en) * | 2023-08-25 | 2023-11-24 | 成都宇熙电子技术有限公司 | Semiconductor package testing tool and testing method thereof |
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