KR101188015B1 - 반송 장치 - Google Patents

Abstract

인버터 부품(50)을 반송하는 반송용 컨베이어(20)와, 반송용 컨베이어(20)의 일부를 덮고 인버터 부품(50)의 가열을 행하는 가열로(13)와, 반송용 컨베이어(20)를 냉각하는 냉각 기구를 구비하고, 반송용 컨베이어(20)를 냉각 기구에 의해 냉각하는 반송부 냉각 방법에 있어서, 인버터 부품(50)을 반송하는 반송용 컨베이어(20)에, 인버터 부품(50)에 접촉하여 인버터 부품(50)의 반송을 행하는 반송용 롤러(21)가 구비되고, 냉각 기구로서 반송용 롤러(21)의 외주를 둘러싸고, 반송용 롤러(21)의 외주의 일부를 돌출시키는 개구부(25e)를 갖는 롤러 냉각 부재(25)가 구비되고, 가열로(13)의 열에 의해 가열된 반송용 롤러(21)를, 롤러 냉각 부재(25)로 냉각한다.

Description

반송 장치 {CARRIER}

본 발명은, 반송 컨베이어를 냉각하기 위한 기술이다.

고온의 작업물을 반송하는 경우는, 열에 강한 체인 컨베이어와 같은 구조를 이용하거나, 반송계에 냉각 기구를 구비할 필요성이 있다.

이것은, 반송 컨베이어가 고온이 되면, 반송 컨베이어에 사용되고 있는 베어링이나 구동 장치에 사용되는 윤활유나 그리스가 열화되기 쉬워지기 때문이다. 따라서, 열이 전도되는 부분에 윤활유나 그리스가 사용되어 있는 경우, 열이 전달되기 어려워지도록 냉각할 필요가 있다. 물론, 윤활유나 그리스뿐만 아니라, 열에 약한 부재나 기기가 장착되어 있는 부분에 열이 전도될 우려가 있는 경우도, 냉각하거나, 열이 전달되지 않도록 단열재를 설치할 필요가 있다.

또한, 반송 컨베이어가 고온이 되면, 작업자가 접근할 수 없는, 작업 환경이 악화되는 등의 단점도 있다.

따라서, 냉각 수단을 구비하고 있는 반송 컨베이어는, 종래부터 존재한다.

예를 들어, 특허 문헌 1 내지 특허 문헌 3에 개시되는 냉각 방법이 있다.

특허 문헌 1에는, 강편 반송 장치의 냉각 기술이 개시되어 있다. 반송용 롤러의 지지부인 롤러 테이블에 냉각수를 통과시키기 위한 냉각 장치가 설치되어, 롤러 테이블이나 롤러에의 열전달이 방해되는 구성으로 되어 있다.

특허 문헌 2에는, 반송 장치의 냉각 기술이 개시되어 있다. 진공 챔버 내에 설치된 베이스와, 베이스 상에 고정된 리니어 테이블과, 리니어 테이블을 가이드하는 리니어 가이드와, 베이스에 구비된 냉매의 순환로와 수열면(受熱面)을 구비하고 있고, 리니어 테이블로부터의 열전달을 수열면에서 행하고, 그 수열면을 냉매로 냉각하므로, 열에 의한 리니어 가이드의 변형 등을 피하는 것이 가능해지는 구성으로 되어 있다.

특허 문헌 3에는, 수직형 로(vertical furnace)의 냉각 기술이 개시되어 있다. 수직형 로의 통 형상 케이스를 구성하는 벽부의 내부에 냉매를 유통시키기 위한 케이스 내 냉매 유통로가 설치되어 있어, 외부의 열로부터 내부에 구비하는 측정 장치를 보호하는 것이 가능하게 되어 있다.

특허 문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 평10-85821호 공보 특허 문헌 2 : 일본 특허 출원 공개 평11-114745호 공보 특허 문헌 3 : 일본 특허 출원 공개 제2005-233809호 공보

그러나 특허 문헌 1 내지 특허 문헌 3에 개시되는 냉각 기술을 이용하여 반송 컨베이어를 냉각하기 위해서는, 이하에 설명하는 과제가 있다고 생각된다.

작업물을 가열, 반송함에 있어서, 가열로 내에 반송 컨베이어를 설치하지 않으면 안 되는 경우가 있다. 이러한 경우, 반송 컨베이어의 구동 기구는 가열로의 외부에 설치함으로써 열대책을 취하는 경우가 많다.

그러나 반송 컨베이어가 반송용 롤러를 이용한 롤러 컨베이어인 경우, 반송되어 가열되는 작업물에 접촉하는 부분에, 가열된 작업물로부터 열이 전달되어, 작업물을 반송하는 반송용 롤러나 반송 컨베이어 자체가 고온으로 되어 버린다.

이로 인해, 특허 문헌 1 내지 특허 문헌 3에 개시되는 바와 같이, 반송 컨베이어에 냉매를 통과시키기 위한 냉매 유로를 형성하여, 내부에 냉매를 통과시킴으로써 냉각하는 것을 생각할 수 있다.

그런데, 반송용 롤러에는, 미끄럼 이동성을 향상시킬 목적으로 베어링 등의 부재가 사용되고 있고, 반송 롤러를 구동시키기 위해서는 구동 기구가 필요하다. 이들 미끄럼 이동부를 윤활시키기 위해서는 윤활유나 그리스 등의 윤활제를 사용할 필요가 있다. 그러나 내열성 윤활제를 사용해도 200℃ 전후가 사용 한계가 되므로, 그 이상의 온도가 되어 버리는 경우에는 냉각을 행할 필요가 있다.

그러나 단순히 특허 문헌 1 내지 특허 문헌 3에 개시되는 바와 같이, 작업물을 반송하는 프레임에 냉매 유로를 직선상으로 형성한 것만으로는, 반송용 롤러를 보유 지지하는 롤러 테이블의 냉각은 행할 수 있어도, 반송용 롤러 자신의 냉각은 행할 수 없다. 또한, 반송용 롤러가 가열되어, 열팽창되어 버리면 작업물이 사행하는 원인이 되어, 반송 컨베이어 상에서 작업물이 걸려 막혀 버릴 우려가 있다.

그리고 냉각 효율이 좋지 않으면, 전술한 바와 같이 반송용 롤러로부터 베어링이나 구동 기구 등 미끄럼 이동부에 열이 전달되어, 그곳에 사용되는 윤활유나 그리스를 열화시켜 버릴 우려도 있다.

또한, 베어링이나 구동 기구로의 열의 전달에 의해, 예를 들어 베어링 자신의 열팽창에 의한 변형이나 왜곡의 발생에 의해 베어링의 성능이 저하되거나, 구동 기구에 사용되고 있는 벨트나 체인의 신장을 발생시키는 등의 문제가 발생하므로, 작업물의 반송에 영향을 미칠 우려도 있다.

즉, 특허 문헌 1 내지 특허 문헌 3에 기재되는 방법에서는 가열로 내에서의 반송 컨베이어 냉각에는 냉각 성능이 불충분하다고 생각된다.

대책으로서는, 세라믹스를 이용한 무윤활 베어링 등을 사용하는 것도 생각할 수 있다. 그러나 세라믹스제 베어링에서는 비용이 높아지는 데 더하여, 충격이 가해질 우려가 있는 부분에 사용하는 것은 바람직하지 않으므로, 반송 컨베이어에 사용하는 것은 그다지 현실적이지 않다.

또한, 애당초 열에 강한 체인 컨베이어와 같은 구조를 사용하는 것도 생각할 수 있지만, 납땜과 같은 이물질을 꺼리는 가공법의 경우에는, 이물질이 나오는 구조는 바람직하지 않다.

따라서, 본 발명은 이러한 과제를 해결하기 위해, 반송 컨베이어를 효율적으로 냉각하는 것이 가능한 반송부 냉각 방법 및 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 의한 반송부 냉각 방법은 이하와 같은 특징을 갖는다.

(1) 작업물을 반송하는 반송 컨베이어와, 상기 반송 컨베이어의 일부를 덮고 상기 작업물의 가열을 행하는 가열로와, 상기 반송 컨베이어를 냉각하는 냉각 기구를 구비하고, 상기 반송 컨베이어를 상기 냉각 기구에 의해 냉각하는 반송부 냉각 방법에 있어서, 상기 작업물을 반송하는 상기 반송 컨베이어에, 상기 작업물에 접촉하여 상기 작업물의 반송을 행하는 반송용 롤러가 구비되고, 상기 냉각 기구로서, 상기 반송용 롤러의 외주를 둘러싸고, 상기 반송용 롤러의 외주의 일부를 돌출시키는 개구부를 갖는 롤러 냉각 부재가 구비되고, 상기 가열로의 열에 의해 가열된 상기 반송용 롤러를, 상기 롤러 냉각 부재로 냉각하는 것을 특징으로 한다.

(2) (1)에 기재된 반송부 냉각 방법에 있어서, 상기 롤러 냉각 부재의 내부에는, 상기 반송용 롤러의 원호를 따라 형성되는 냉각용 파이프가 보유 지지되고, 상기 냉각용 파이프의 내부에 냉매가 순환되는 것을 특징으로 한다.

(3) (2)에 기재되는 반송부 냉각 방법에 있어서, 상기 롤러 냉각 부재가 복수매의 판 부재로 구성되고, 상기 판 부재는, 상기 냉각용 파이프를 사이에 두고 상기 작업물의 반송 방향과 평행하게 배치되는 것을 특징으로 한다.

(4) (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 기재된 반송부 냉각 방법에 있어서, 상기 반송용 롤러는, 상기 작업물과 접촉하는 외주부와, 상기 외주부와 공간을 사이에 두고 내측에 설치되고, 회전축이 장착되는 내주부와, 상기 외주부와 상기 내주부를 접속하는 리브부로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 의한 반송 장치는 이하와 같은 특징을 갖는다.

(5) 작업물을 반송하는 반송 컨베이어와, 상기 반송 컨베이어의 일부를 덮고 상기 작업물의 가열을 행하는 가열로와, 상기 반송 컨베이어를 냉각하는 냉각 기구를 구비하고, 상기 반송 컨베이어를 상기 냉각 기구에 의해 냉각하는 반송 장치에 있어서, 상기 작업물을 반송하는 상기 반송 컨베이어에, 상기 작업물에 접촉하여 상기 작업물의 반송을 행하는 반송용 롤러가 구비되고, 상기 냉각 기구로서, 상기 반송용 롤러의 외주를 둘러싸고, 상기 반송용 롤러의 외주의 일부를 돌출시키는 개구부를 갖는 롤러 냉각 부재가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.

(6) (5)에 기재된 반송 장치에 있어서, 상기 롤러 냉각 부재의 내부에는, 상기 반송용 롤러의 원호를 따라 형성되는 냉각용 파이프가 보유 지지되고, 상기 냉각용 파이프의 내부에 냉매가 순환되는 것을 특징으로 한다.

(7) (6)에 기재된 반송 장치에 있어서, 상기 롤러 냉각 부재가 복수매의 판 부재로 구성되고, 상기 판 부재는 상기 냉각용 파이프를 사이에 두고 상기 작업물의 반송 방향과 평행하게 배치되는 것을 특징으로 한다.

(8) (5) 내지 (7) 중 어느 하나에 기재된 반송 장치에 있어서, 상기 반송용 롤러는, 상기 작업물과 접촉하는 외주부와, 상기 외주부와 공간을 사이에 두고 내측에 설치되고, 회전축이 장착되는 내주부와, 상기 외주부와 상기 내주부를 접속하는 리브부로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이러한 특징을 갖는 본 발명에 의한 반송부 냉각 방법에 의해, 이하와 같은 작용, 효과가 얻어진다.

우선, (1)에 기재되는 발명은, 작업물을 반송하는 반송 컨베이어와, 반송 컨베이어의 일부를 덮고 작업물의 가열을 행하는 가열로와, 반송 컨베이어를 냉각하는 냉각 기구를 구비하고, 반송 컨베이어를 냉각 기구에 의해 냉각하는 반송부 냉각 방법에 있어서, 작업물을 반송하는 반송 컨베이어에, 작업물에 접촉하여 작업물의 반송을 행하는 반송용 롤러가 구비되고, 냉각 기구로서, 반송용 롤러의 외주를 둘러싸고, 반송용 롤러의 외주의 일부를 돌출시키는 개구부를 갖는 롤러 냉각 부재가 구비되고, 가열로의 열에 의해 가열된 반송용 롤러를, 롤러 냉각 부재로 냉각하는 것이다.

이러한 반송용 롤러를 사용한 반송 컨베이어를 작업물의 반송에 사용하는 경우, 가열로 내에서는, 가열된 작업물과의 접촉 부분으로부터 반송용 롤러에의 입열(入熱)과, 외기로부터 반송용 롤러에의 입열을 생각할 수 있다.

이로 인해, 작업물을 반송하는 일부가 돌출되도록 반송용 롤러의 외주를 롤러 냉각 부재로 덮고, 예를 들어 롤러 냉각 부재를 열용량이 큰 금속으로 하면, 반송용 롤러에의 외기로부터의 입열을 억제할 수 있다. 또한, 작업물과의 접촉에 의해 들어오는 열은, 롤러 냉각 부재의 온도를 반송용 롤러보다도 낮게 함으로써, 반송용 롤러를 냉각하는 것이 가능해진다.

이와 같이 반송 컨베이어를 구성함으로써, 반송용 롤러의 냉각 효율을 높여, 미끄럼 이동부에의 열전달을 최대한 억제하는 것이 가능해진다.

미끄럼 이동부에의 열전달이 억제되면, 윤활유나 그리스의 열화를 억제하는 것이 가능해져, 설비의 고수명화를 도모하는 것이 가능해진다.

또한, (2)에 기재되는 발명은, (1)에 기재된 반송부 냉각 방법에 있어서, 롤러 냉각 부재의 내부에는, 반송용 롤러의 원호를 따라 형성되는 냉각용 파이프가 보유 지지되고, 냉각용 파이프의 내부에 냉매가 순환되는 것이다.

냉각용 파이프를 반송용 롤러의 원호를 따라 형성하는, 예를 들어 냉각용 파이프를 사행시켜 구부려, 반송용 롤러의 원호를 따른 임의의 형상으로 형성함으로써, 반송용 롤러의 표면에 대한 냉각용 파이프의 대응 면적을 넓게 확보할 수 있다. 이로 인해, 반송용 롤러의 바로 근처에, 외주를 따라 구비된 냉각용 파이프에 의해 반송용 롤러를 효율적으로 냉각하는 것이 가능하다.

또한, (3)에 기재된 발명은, (2)에 기재되는 반송부 냉각 방법에 있어서, 롤러 냉각 부재가 복수매의 판 부재로 구성되고, 판 부재는 냉각용 파이프를 사이에 두고 작업물의 반송 방향과 평행하게 배치되는 것이다.

따라서, 판 부재를 포갬으로써 롤러 냉각 부재의 열용량을 확보하는 동시에, 냉각용 파이프를 확실하게 보유 지지하는 것이 가능하다.

롤러 냉각 부재의 열용량은, 반송 컨베이어의 냉각 능력에 영향을 미친다. 롤러 냉각 부재의 열용량이 큰 쪽이, 반송용 롤러의 냉각에 유리하다. 기본적으로는 롤러 냉각 부재의 체적에 비례하여 열용량은 커지므로, 판 부재를 복수매 사용함으로써 원하는 열용량을 확보하는 것이 가능해진다.

그리고 냉각용 파이프는 반송용 롤러의 외형을 따라 구부러져 있으므로, 판 부재와 판 부재 사이에 냉각용 파이프를 끼워 보유 지지하는 구성인 쪽이, 확실하게 보유 지지할 수 있고, 저렴하게 마무리된다.

또한, (4)에 기재된 발명은, (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 기재된 반송부 냉각 방법에 있어서, 반송용 롤러는, 작업물과 접촉하는 외주부와, 외주부와 공간을 사이에 두고 내측에 설치되고, 회전축이 장착되는 내주부와, 외주부와 내주부를 접속하는 리브부로 이루어지는 것이다.

작업물과 접촉하는 외주부로부터의 열은 리브부를 통과하여 내주부로 전달되게 되어, 리브부의 단면적을 작게 하면, 전열량을 낮게 할 수 있다. 그 결과, 회전축에 설치되는 베어링이나 구동 기구에 열이 전달되기 어려워진다.

또한, 이러한 특징을 갖는 본 발명에 의한 반송 장치에 의해, 이하와 같은 작용, 효과가 얻어진다.

우선, (5)에 기재되는 발명은, 작업물을 반송하는 반송 컨베이어와, 반송 컨베이어의 일부를 덮고 작업물의 가열을 행하는 가열로와, 반송 컨베이어를 냉각하는 냉각 기구를 구비하고, 반송 컨베이어를 냉각 기구에 의해 냉각하는 반송 장치에 있어서, 작업물을 반송하는 반송 컨베이어에, 작업물에 접촉하여 작업물의 반송을 행하는 반송용 롤러가 구비되고, 냉각 기구로서, 반송용 롤러의 외주를 둘러싸고, 반송용 롤러의 외주의 일부를 돌출시키는 개구부를 갖는 롤러 냉각 부재가 구비되는 것이다.

따라서, 반송용 롤러의 바로 근처에, 반송용 롤러의 외주를 둘러싸 구비된 롤러 냉각 부재에 의해, (1)에 기재된 반송부 냉각 방법과 마찬가지로, 반송용 롤러를 효율적으로 냉각 가능한 반송 장치를 제공할 수 있다.

또한, (6)에 기재되는 발명은, (5)에 기재된 반송 장치에 있어서, 롤러 냉각 부재의 내부에는, 반송용 롤러의 원호를 따라 형성되는 냉각용 파이프가 보유 지지되고, 냉각용 파이프의 내부에 냉매가 순환되는 것이다.

따라서, (2)에 기재된 반송부 냉각 방법과 마찬가지로, 반송용 롤러의 바로 근처에, 반송용 롤러의 외주를 따라 구비된 냉각용 파이프에 의해, 반송용 롤러를 효율적으로 냉각하는 것이 가능하다.

또한, (7)에 기재되는 발명은, (6)에 기재된 반송 장치에 있어서, 롤러 냉각 부재가 복수매의 판 부재로 구성되고, 판 부재는 냉각용 파이프를 사이에 두고 작업물의 반송 방향과 평행하게 배치되는 것이다.

따라서, 냉각용 파이프를 롤러 냉각 부재의 내부에 보유 지지할 때의 가공이 용이해져, 판 부재를 포갬으로써 롤러 냉각 부재의 열용량을 확보할 수 있으므로, (3)에 기재된 반송부 냉각 방법과 마찬가지로, 반송용 롤러를 효율적으로 냉각 가능한 반송 장치를 제공할 수 있다.

또한, (8)에 기재되는 발명은, (5) 내지 (7) 중 어느 하나에 기재된 반송 장치에 있어서, 반송용 롤러는 작업물과 접촉하는 외주부와, 외주부와 공간을 사이에 두고 내측에 설치되고, 회전축이 장착되는 내주부와, 외주부와 내주부를 접속하는 리브부로 이루어지는 것이다.

따라서, 외주부와 내주부를 접속하는 리브부의 단면적을 작게 하면, 외주부로부터 내주부로의 전열량이 줄어들어, (4)에 기재된 반송부 냉각 방법과 마찬가지로, 회전축에 설치되는 베어링이나 구동 기구에 열이 전달되기 어려워진다.

도 1은 제1 실시 형태의 반송 장치의 단면도를 도시하는 도면이다.
도 2는 제1 실시 형태의 반송 장치에 구비하는 반송용 컨베이어의 평면 단면도를 도시하는 도면이다.
도 3은 제1 실시 형태의 반송 장치의 일부를 확대한 단면도를 도시하는 도면이다.
도 4는 제1 실시 형태의 반송용 컨베이어를 확대한 사시도를 도시하는 도면이다.
도 5는 제1 실시 형태의 반송용 롤러의 단면도를 도시하는 도면이다.
도 6은 제1 실시 형태의 반송용 롤러가 캐리어 팔레트를 반송하는 모습을 도시하는 도면이다.
도 7은 제1 실시 형태의 롤러 냉각 부재의 사시도를 도시하는 도면이다.
도 8은 제1 실시 형태의 롤러 냉각 부재의 분해 사시도를 도시하는 도면이다.
도 9는 제1 실시 형태의 할로겐 히터로부터의 열의 전달을 도시하는 도면이다.
도 10은 제1 실시 형태의 캐리어 팔레트로부터 반송용 롤러로의 열의 전달을 도시하는 도면이다.
도 11은 제2 실시 형태의 반송 장치의 모식 단면도를 도시하는 도면이다.
도 12는 제3 실시 형태의 롤러 냉각 부재의 사시도를 도시하는 도면이다.

다음에, 본 발명의 실시 형태에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.

(제1 실시 형태)

우선, 제1 실시 형태의 구성에 대해 설명한다.

도 1에는, 반송 장치(10)의 단면도를 도시한다. 또한, 도 2에는 반송 장치(10)에 구비하는 반송용 컨베이어(20)의 평면도를 도시한다.

반송 장치(10)에는, 가열로(13)와, 반송용 컨베이어(20)와, 할로겐 히터(30)가 구비되어 있다.

가열로(13)는 주로, 노(爐) 본체인 챔버(14)와 가열 장치인 할로겐 히터(30)로 구성된다. 챔버(14) 내는, 석영 유리판(11)에 의해 2분할되고, 석영 유리판(11)의 상방이 가열실(16), 하방이 감압실(15)이 된다. 이 감압실(15)측에 할로겐 히터(30)가 고정되어 설치된다.

가열실(16)의 내부는, 도시하지 않은 셔터에 의해 외부와 차폐된 후, 예를 들어 질소 등의 불활성 가스 분위기로 된다.

할로겐 히터(30)는, 석영 유리관 중에 할로겐 가스를 채우고 내부에 텅스텐 필라멘트를 사용한 일반적인 것으로, 적외선을 방사함으로써 작업물을 가열할 수 있다. 가열로(13)에서 가열되는 작업물은 인버터 부품(50)이며, 가열함으로써 인버터 부품(50)의 납땜을 행할 수 있다.

할로겐 히터(30)는, 전술한 바와 같이 가열로(13)의 하부에 구비되는 석영 유리판(11)으로 격리된 감압실(15)에 고정되어 있다. 반송용 컨베이어(20)와 격리됨으로써, 먼지 등이 할로겐 히터(30)로 들어가는 것을 방지할 수 있다. 또한, 감압실(15)에는 예를 들어 질소 등의 불활성 가스를 충전하여, 할로겐 히터(30)가 열화되기 어렵도록 배려하는 것이 바람직하다.

도 3에는, 반송 장치(10)의 일부를 확대한 단면도를 도시한다. 반송용 컨베이어(20)의 단면도이다. 또한, 도 4에는 반송용 컨베이어(20)를 확대한 사시도를 도시한다.

가열로(13)의 내부에 설치되는 반송용 컨베이어(20)는, 이른바 롤러 컨베이어이며, 복수 준비된 반송용 롤러(21)를 회전시킴으로써, 반송용 롤러(21)에 접촉하여 지지되는 캐리어 팔레트(40)를, 반송용 롤러(21)의 회전 방향으로 전진시킬 수 있다. 구체적으로는 캐리어 팔레트(40)의 양측 모서리부(단차부)가, 반송용 롤러(21) 상에 적재되고, 반송용 롤러(21)로 지지되어 있다. 캐리어 팔레트(40) 및 인버터 부품(50)의 중량에 의해, 일정한 힘이 반송용 롤러(21)에 가해지고 있으므로, 반송용 롤러(21)가 회전하면 마찰에 의해, 회전 방향으로 캐리어 팔레트(40)를 반송 가능해진다.

이 캐리어 팔레트(40)는, 인버터 부품(50)을 고정하여 반송이 가능한 팔레트로, 가열로(13) 내의 온도에 견딜 수 있도록 알루미늄 합금 등의 금속으로 형성되어 있다. 캐리어 팔레트(40)의 중앙부, 즉 인버터 부품(50)을 적재하는 부분에는, 관통 구멍이 형성되어 있어, 감압실(15)에 구비된 할로겐 히터(30)가 인버터 부품(50)에 적외선을 조사 가능하게 구성되어 있다.

가열로(13)의 챔버(14)는, 인버터 부품(50)의 반송 방향 상류측에 캐리어 팔레트(40)의 반입구를, 인버터 부품(50)의 반송 방향 하류측에 캐리어 팔레트(40)의 반출구를 구비한다. 챔버(14)의 가열실(16)에 있어서의 하부에는, 캐리어 팔레트(40)의 반입구로부터 캐리어 팔레트(40)의 반출구에 걸쳐, 인버터 부품(50)의 반송 방향을 따라 좌우 대칭으로 1열씩 반송용 컨베이어(20)가 설치되어 있다. 반송용 컨베이어(20)에 구비되는 반송용 롤러(21)의 위치는, 도 1 또는 도 3에 도시되는 바와 같이, 석영 유리판(11)으로부터 이격된 위치에 배치되어 있다.

반송용 롤러(21)는 회전축(23)의 일단부에 고정되고, 회전축(23)의 중간부 주위에는 구동용 풀리(22)가 장착되어 있다. 회전축(23)은 격벽(24)과 지지벽(27)에 설치된 베어링에 의해 회전 가능하게 보유 지지되어 있다.

회전축(23)에 장착된 구동용 풀리(22)는, 반송용 롤러(21)보다도 외측에 배치되어 있다. 이것은, 구동용 풀리(22)에 걸리는 벨트(26)가 수지제로, 내열성이 떨어지기 때문이다. 가열로(13)의 내부는 가열 효율도 고려하여 콤팩트한 것이 바람직하지만, 구동용 풀리(22) 및 벨트(26)는 가능한 한 외측에 배치되는 것이 바람직하다.

구동용 풀리(22)는 벨트(26)에 의해 전달되는 가열로(13)의 외부에 장착된 모터(12)의 회전을, 회전축(23)에 전달하고 있다. 따라서, 구동용 풀리(22)의 회전에 의해 회전축(23)에 고정되는 반송용 롤러(21)도 회전한다.

도 5에, 반송용 롤러(21)의 단면도를 도시한다. 또한, 도 6에, 반송용 롤러(21)가 캐리어 팔레트(40)를 반송하는 모습을 도시한다.

반송용 롤러(21)는, 캐리어 팔레트(40)와 접하는 외주부(21a)와, 회전축(23)에 접속하는 내주부(21b)와, 외주부(21a)와 내주부(21b)를 접속하는 리브부(21c)로 이루어진다. 외주부(21a)와 내주부(21b)는, 3개소에 공간(21d)을 형성함으로써, 리브부(21c)에 의해 지지되는 상태로 되어 있다.

반송용 롤러(21)의 재료로는 스테인리스강, 예를 들어 SUS304가 사용되고 있다. SUS304에 한정되지 않고, 다른 재료를 사용하여 반송용 롤러(21)를 형성해도 좋다. 단, 가열로(13) 내부는 고온이 되므로, 산화되기 어렵고, 수소 취성에 의한 열화를 피하기 위해 내부에 탄소를 포함하지 않는 재질이 바람직하다.

또한, 리브부(21c)와 공간(21d)의 비율에 대해, 반송용 롤러(21)가 캐리어 팔레트(40)를 반송함에 있어서 지장이 없을 정도로 공간(21d)을 넓게 하는 것이 바람직하다.

도 7에, 롤러 냉각 부재(25)의 사시도를 도시한다. 또한, 도 8에 롤러 냉각 부재(25)의 분해 사시도를 도시한다.

롤러 냉각 부재(25)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 인접하는 반송용 롤러(21)끼리의 사이를 메워, 반송용 롤러(21)의 외주의 대부분을 덮도록 설치되어 있다.

롤러 냉각 부재(25)는, 냉각판 부재(25a)와, 냉각용 파이프(25b)와, 간격판 부재(25c)로 이루어진다. 어느 부품도, 재료로는 무산소 구리, 예를 들어 C1020을 이용하여 형성하고 있다. 재료에 대해서는 반드시 무산소 구리일 필요는 없지만, 열전도율이 높은 것을 선정하는 것이 바람직하다.

냉각판 부재(25a)는, 반송용 롤러(21)의 외형을 따른 원호 형상의 개구 구멍(25d)을 구비하는 판재이다. 이 개구 구멍(25d)의 개구부가, 롤러 냉각 부재(25)의 개구부(25e)를 형성한다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 반송용 롤러(21)와 냉각판 부재(25a)를 조합하여 배치한 경우, 반송용 롤러(21)의 롤러면의 일부가 롤러 냉각 부재(25)의 개구부(25e)로부터 돌출된다. 예를 들어, 반송용 롤러(21)가 개구부(25e)로부터 1㎜ 정도 돌출되도록 배치된다. 개구부(25e)로부터 돌출되는 반송용 롤러(21)의 롤러면에, 캐리어 팔레트(40)가 적재된다. 또한, 반송용 롤러(21)의 외경에 대해 1㎜ 정도 오프셋된 치수로 되어 있다.

간격판 부재(25c)는, 인접하는 냉각판 부재(25a)의 사이에 스페이서로서 끼워지는 부재로, 인접하는 반송용 롤러(21)의 사이에 배치된다.

냉각판 부재(25a)와 냉각판 부재(25a) 사이에는, 냉각용 파이프(25b)가 끼워져 고정된다. 냉각용 파이프(25b)는 파이프재로, 그 내부를 냉매가 순환한다. 냉각용 파이프(25b)는 도 8에 도시되는 바와 같이, 사행하여 만곡하도록 형성되어 있다. 이 만곡 부분은 반송용 롤러(21)의 외주를 따라 구부려져 있다.

냉각용 파이프(25b)의 형상은, 구체적으로는 롤러 냉각 부재(25)로서 조립되는 간격판 부재(25c)가 오는 위치가 마루측이 되고, 냉각 기구로서 반송용 컨베이어(20)에 세트되었을 때에 반송용 롤러(21)가 오는 위치가 골측이 되도록 만곡하여 형성된다.

그리고 냉각판 부재(25a)는, 도 4에 도시하는 바와 같이 냉매 냉각 순환 수단(45)에 접속되어 있다. 이 냉매 냉각 순환 수단(45)은, 열교환기를 사용하여 냉매를 냉각하는 기능을 갖고 있고, 예를 들어 칠러(chiller) 유닛 등을 사용하는 것을 생각할 수 있다.

제1 실시 형태는 상기와 같은 구성을 구비하므로, 이하에 설명하는 작용을 나타낸다.

가열로(13)에 구비된 반송용 컨베이어(20)는, 가열로(13)의 외부에 구비되는 도시하지 않은 반송 컨베이어로부터, 캐리어 팔레트(40)에 적재된 인버터 부품(50)을, 가열로(13) 내부로 반송하고, 가열된 인버터 부품(50)을 반출한다.

작업물은 차량 탑재용 인버터 부품(50)으로, 인버터 부품(50)에 실장하는 전자 부품의 납땜을 행할 필요가 있다. 이로 인해, 가열로(13)의 전공정에서 인버터 부품(50)의 상면에 땜납박이 적재되고, 그 위에 전자 부품이 배치된다.

캐리어 팔레트(40)는, 회전하는 반송용 롤러(21)로 지지되어, 반송된다. 따라서, 캐리어 팔레트(40)에 적재된 인버터 부품(50)은, 가열로(13)의 내부로 반송된다.

도 9에, 가열로(13)의 할로겐 히터(30)에 의한 열의 방사를 모식적으로 나타낸 도면을 도시한다. 또한, 도 10에, 캐리어 팔레트(40)로부터 반송용 롤러(21)로의 열의 전달 방법을 나타내는 도면을 도시한다. 흑색 화살표가 가열을 나타내고, 백색 화살표가 냉각을 나타낸다.

가열실(16)의 내부의 소정의 위치에 위치 결정된 인버터 부품(50)은, 할로겐 히터(30)에 의해 적외선이 조사됨으로써 가열된다. 땜납의 융점은 220℃ 정도이므로, 인버터 부품(50)은 300℃ 정도까지 데워진다.

그 결과, 인버터 부품(50)에 접촉되어 있는 캐리어 팔레트(40)도 할로겐 히터(30)로부터의 방사를 받아 가열되는 동시에, 인버터 부품(50)으로부터 열전달되어 인버터 부품(50)의 온도에 가까운 온도까지 상승한다.

이로 인해, 캐리어 팔레트(40)에 접하고 있는 반송용 롤러(21)도, 캐리어 팔레트(40)와의 접촉 부분으로부터 열이 전달된다.

따라서, 이 반송용 롤러(21)를 냉각할 목적으로, 롤러 냉각 부재(25)가 설치되고, 롤러 냉각 부재(25)의 냉각용 파이프(25b)의 내부에는 냉매가 흐른다.

반송용 롤러(21)는, 롤러 냉각 부재(25)에 일정한 간극을 두고 외주를 둘러싸고 있다. 이 간극은 1㎜ 정도이고, 롤러 냉각 부재(25)의 냉각용 파이프(25b)에는 냉매가 흘러 낮은 온도로 유지되어 있으므로, 도 10에 도시하는 바와 같이 반송용 롤러(21)와 롤러 냉각 부재(25) 사이에서 온도 구배가 발생하여, 반송용 롤러(21)의 열은 롤러 냉각 부재(25)에 의해, N₂ 등의 불활성 가스를 통해 간접적으로 열이 빼앗기게 된다.

또한, 반송용 롤러(21)의 외주의 대부분이 롤러 냉각 부재(25)에 둘러싸여 있는 점도, 반송용 롤러(21)의 과열을 방지하는 효과가 있다.

할로겐 히터(30)에 의한 가열은, 적외선의 조사에 의한 것이므로, 적외선이 조사되면 대상물의 온도가 상승하기 쉽다. 반송용 롤러(21)의 외주의 대부분을 롤러 냉각 부재(25)로 둘러쌈으로써, 반송용 롤러(21)의 외주면으로부터의 입열은, 캐리어 팔레트(40)와의 접촉 부분과, 가열된 분위기 가스와 반송용 롤러(21)의 접촉 부분(롤러 측면)으로 좁히는 것이 가능하므로, 열이 입력되는 루트를 최소한으로 억제하는 것이 가능하다.

또한, 반송용 롤러(21)는, 외주부(21a)와 내주부(21b)가 리브부(21c)에 의해 접속되어 있는 도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같은 구조로 되어 있어, 외주부(21a)에 전달된 열은, 리브부(21c)를 통해 내주부(21b)에 전달되게 된다.

리브부(21c)의 부분이 가늘어지도록 공간(21d)을 크게 형성하고 있으면, 리브부(21c)의 열전달 효율은 저하되어, 외주부(21a)에 열이 머무르기 쉬워지므로, 보다 효율적으로 롤러 냉각 부재(25)에 의한 냉각을 행할 수 있다.

또한, 공간(21d)을 형성함으로써, 반송용 롤러(21)의 표면적을 증가시킬 수 있고, 이 점도 반송용 롤러(21)의 냉각에 기여하고 있다.

롤러 냉각 부재(25)의 구조에 대해서는, 내부에 냉각용 파이프(25b)를 수개 통과시킴으로써, 보다 냉각 효율을 겨냥한 구조로 되어 있다. 냉각용 파이프(25b)는, 반송용 롤러(21)의 외형에 맞추어 구부려져 있다. 이와 같이 구부림으로써, 접촉 면적이 넓어져 냉각 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 재료에 열전도율이 높은 부재를 사용하고 있음으로써, 냉각 효율을 향상시키고 있다.

이와 같이 하여, 롤러 냉각 부재(25)에 의해, 불활성 가스를 통해 간접적으로(비접촉으로) 반송용 롤러(21)를 냉각하여, 반송용 롤러(21)의 온도 상승을 억제하고 있다.

가열로(13) 내부는, 온도를 상승시키기 위해 가열로(13)에 구비되는 도시하지 않은 셔터를 내리므로, 반송용 컨베이어(20)도 가열되기 쉬워지지만, 롤러 냉각 부재(25)의 냉각용 파이프(25b)에 냉매를 통과시킴으로써 충분히 냉각할 수 있다.

가열로(13)에서 가열된 인버터 부품(50)은, 캐리어 팔레트(40)에 적재되어, 반송용 컨베이어(20)의 작용에 의해 가열로(13) 내부로부터 반출된다. 그리고 도시하지 않은 반송 장치(10)의 하공정의 컨베이어 상에서 냉각되고, 가열로(13) 내에서 가열되어 용융된 땜납박이 응고하여, 인버터 부품(50)에 전자 부품이 납땜된다.

제1 실시 형태는, 상기 구성 및 작용을 나타내므로, 이하에 설명하는 효과를 발휘한다.

제1 효과로서, 반송용 롤러(21)를 효율적으로 냉각하는 것이 가능한 점을 들 수 있다.

인버터 부품(50)을 반송하는 반송용 컨베이어(20)와, 반송용 컨베이어(20)의 일부를 덮고 인버터 부품(50)의 가열을 행하는 가열로(13)와, 반송용 컨베이어(20)를 냉각하는 냉각 기구를 구비하고, 반송용 컨베이어(20)를 냉각 기구에 의해 냉각하는 반송부 냉각 방법에 있어서, 인버터 부품(50)을 반송하는 반송용 컨베이어(20)에, 캐리어 팔레트(40)에 접촉하여 인버터 부품(50)의 반송을 행하는 반송용 롤러(21)가 구비되고, 냉각 기구로서 반송용 롤러(21)의 외주를 둘러싸고, 반송용 롤러(21)의 외주의 일부를 돌출시키는 개구부(25e)를 갖는 롤러 냉각 부재(25)가 구비되고, 가열로(13)의 열에 의해 가열한 반송용 롤러(21)를, 롤러 냉각 부재(25)로 냉각하는 것이다.

또한, 롤러 냉각 부재(25)의 내부에는, 반송용 롤러(21)의 원호를 따라 형성되는 냉각용 파이프(25b)가 보유 지지되고, 내부에 냉매가 순환되어 있다.

반송용 롤러(21)의 냉각은, 롤러 냉각 부재(25)에 구비하는 냉각용 파이프(25b)의 내부에 냉매를 흘림으로써 행해진다.

상술한 바와 같이, 냉각용 파이프(25b)는 반송용 롤러(21)의 외형을 따라 구부러져 있고, 보다 많은 면적의 냉각판 부재(25a)에 접촉시켜, 단위 체적당 수량을 증가시킴으로써, 보다 냉각 효율을 향상시킬 수 있다.

출원인의 조사에서는, 인버터 부품(50)을 300℃까지 가열하는 경우, 냉각 없이는 반송용 롤러(21)의 온도가 150℃ 정도까지 도달하는 것에 대해, 롤러 냉각 부재(25)로 냉각함으로써 반송용 롤러(21)의 온도를 80℃ 이하로 억제할 수 있는 것을 확인하고 있다.

과제에서 기재한 바와 같이, 반송용 롤러(21)로부터, 회전축(23) 및 구동용 풀리(22)에 열이 전달된 경우, 윤활계나 구동계에 악영향을 미칠 우려가 있다.

회전축(23)을 보유 지지하고 있는 베어링은, 윤활제로서 윤활유 또는 그리스를 사용하고 있지만, 윤활제는 고온으로 될수록 열화되기 쉽다. 따라서, 최대한 저온으로 유지하는 것이 바람직하다. 물론, 고온이 되면 윤활제 또는 그리스는 물론이고 베어링 자체도 변형되어, 구름 저항이 증대해 버릴 우려가 있다.

또한, 구동용 풀리(22)에 걸려 있는 벨트(26)는 수지제로, 내열성이 높은 소재라도 신장되거나 변형되는 등의 악영향이 발생할 우려가 있다.

또한, 반송용 롤러(21) 자신이 열팽창됨으로써, 캐리어 팔레트(40)의 사행이 우려된다. 반송용 롤러(21) 전부가 균등하게 팽창되면 문제없지만, 편측의 반송용 롤러(21)만 열팽창하거나 하여, 좌우에 구비하는 반송용 롤러(21)의 직경이 변화되거나 하면, 캐리어 팔레트(40)가 사행할 우려가 있다. 사행함으로써, 가열로(13)의 내부에서 캐리어 팔레트(40)가 막혀버리는 등 라인 정지로 되면, 생산성이 저하되므로 반송용 롤러(21) 자신의 온도 상승도 피하는 것이 바람직하다.

그러나 이러한 문제도 제1 실시 형태에 따르면, 반송용 롤러(21)를 롤러 냉각 부재(25)에 의해 냉각함으로써, 반송용 롤러(21)를 효율적으로 냉각하는 것이 가능하여, 윤활계 및 구동계의 윤활제의 열화나, 베어링이나 회전축(23)의 팽창에 의한 구름 저항의 증대를 방지하여, 반송용 롤러(21)의 팽창에 의한 캐리어 팔레트(40)의 사행을 억제하는 것이 가능해진다.

또한, 제2 효과로서, 냉각판 부재(25a)를 포개어 냉각용 파이프(25b)를 끼워 넣는 방식을 이용함으로써, 롤러 냉각 부재(25)를 용이하게 형성하는 것이 가능해진다.

롤러 냉각 부재(25)가 복수매의 냉각판 부재(25a)로 구성되고, 냉각판 부재(25a)는 냉각용 파이프(25b)를 사이에 두고 캐리어 팔레트(40)의 반송 방향과 평행하게 배치되어 포개지므로, 냉각용 파이프(25b)를 내부에 구비하는 롤러 냉각 부재(25)를 용이하게 형성 가능하다.

냉각용 파이프(25b)는, 반송용 롤러(21)를 효과적으로 냉각하기 위해, 반송용 롤러(21)의 외주에 맞추어 사행되도록 구부려 형성되어 있다. 이러한 유로를 롤러 냉각 부재(25) 내에 가공하는 것은 매우 곤란하다.

따라서, 롤러 냉각 부재(25) 내에 복수의 만곡부를 갖는 유로를 형성하기 위해, 관재를 미리 소정의 형상으로 구부려 냉각용 파이프(25b)를 형성하고, 냉각판 부재(25a) 사이에 끼우는 구조를 취함으로써, 용이하게 롤러 냉각 부재(25)를 형성할 수 있게 된다.

또한, 메인터넌스 등에 관해서도 냉각용 파이프(25b)를 세퍼레이트할 수 있는 구조인 쪽이, 교환 등이 가능해지므로 바람직하다.

또한, 제3 효과로서, 반송용 롤러(21)의 외주부(21a)의 열이 내주부(21b)에 전달되기 어렵게 되어 있음으로써, 보다 냉각 효율을 높일 수 있는 점을 들 수 있다.

반송용 롤러(21)는, 캐리어 팔레트(40)와 접촉하는 외주부(21a)와, 외주부(21a)와 공간을 사이에 두고 내측에 설치되고, 회전축이 장착되는 내주부(21b)와, 외주부(21a)와 내주부(21b)를 접속하는 리브부(21c)로 이루어지므로, 인버터 부품(50)을 적재한 캐리어 팔레트(40)와 접촉하는 외주부(21a)로부터의 열은 리브부(21c)를 통과하여 내주부(21b)에 전달되게 되어, 리브부(21c)의 단면적을 작게 하면, 전열량을 적게 할 수 있으므로, 회전축(23)에 설치되는 베어링이나 구동 기구에 열이 보다 전달되기 어려워진다.

롤러 냉각 부재(25)의 냉각 효율을 높이는 동시에, 반송용 롤러(21)의 외주부(21a)로부터 내주부(21b)로의 열전달 효율을 낮춤으로써, 회전축(23)을 지지하는 베어링의 윤활제나, 구동용 풀리(22)에 걸려 있는 벨트(26)의 열화를 방지하는 효과를 보다 높이는 것이 가능해진다.

또한, 반송용 컨베이어(20)에는, 격벽(24)이 마련되어 있어, 베어링을 구비하여 회전축(23)을 보유 지지하는 동시에, 할로겐 히터(30)로부터의 적외선의 조사를 방지하는 작용을 하므로, 벨트(26)에 직접 적외선이 닿는 것을 방지하는 효과가 있다.

(제2 실시 형태)

도 11에, 제2 실시 형태의 반송 장치(10)의 모식 단면도를 도시한다.

제2 실시 형태와 제1 실시 형태는 거의 동일한 구성이지만, 구동 기구의 구성이 약간 다르다. 제2 실시 형태에서는, 반송용 컨베이어(20)의 구동에 구동용 풀리(22)가 아닌, 스프로킷(35)과 체인(36)을 사용하고 있다. 그리고 롤러 냉각 부재(25)의 상부에 방진벽(防塵壁)(28)을 마련하고 있다. 또한, 방진벽(28)은 격벽(24)의 상부라도 좋다. 또한, 격벽(24)을 연장시킴으로써, 방진벽(28)으로 해도 좋다.

즉, 구동력을 전달하는 방법으로서, 제1 실시 형태에서는 구동용 풀리(22)와 벨트(26)를 사용하고 있지만, 제2 실시 형태는 이것 대신에 스프로킷(35)과 체인(36)을 구비하고, 방진벽(28)을 마련하고 있다.

일반적으로, 구동용 풀리(22)와 벨트(26)의 조합의 쪽이, 스프로킷(35)과 체인(36)의 조합보다도 저발진(低發塵)의 기구를 기대할 수 있다. 그러나 스프로킷(35)과 체인(36)을 사용한 구성의 쪽이, 비용 절감을 기대할 수 있는 것 외에, 열에 강해 장수명화를 기대할 수 있다.

그리고 스프로킷(35)과 체인(36)의 문제점인 발진에 대해서도, 방진벽(28)을 설치함으로써, 인버터 부품(50)측으로 먼지가 가기 어렵도록 구성하는 것이 가능하다.

제2 실시 형태의 효과는, 제1 실시 형태와 거의 동일하다. 단, 상술한 바와 같이 비용 절감이나 메인터넌스면에서의 장점은 기대할 수 있다.

(제3 실시 형태)

제3 실시 형태는 제1 실시 형태의 구성과 거의 동일하다. 단, 롤러 냉각 부재(25)의 구성이 약간 다르다.

도 12에, 제3 실시 형태의 롤러 냉각 부재(25)의 사시도를 도시한다.

제3 실시예의 롤러 냉각 부재(25)는, 냉각판 부재(25a)에 기계 가공으로 냉각수로용 홈(25g)을 형성하고, 다른 1매의 냉각판 부재(25a)를 포개어 냉각수로용 홈(25g)을 막고, 이들의 구성을 적절하게 복수 포갬으로써, 냉각수로용 홈(25g)을 제1 실시 형태에 나타낸 냉각용 파이프(25b) 대신으로 하고 있다. 또한, 포개는 다른 1매의 냉각판 부재(25a)에도 냉각수로용 홈(25g)을 형성하도록 해도 좋다.

밀봉성의 확보가 용이하지 않다고 하는 과제는 있지만, 롤러 냉각 부재(25)의 열용량을 크게 할 수 있는 장점이 있다.

이상, 본 실시 형태에 의거하여 발명을 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니고, 발명의 취지를 일탈하는 일이 없는 범위에서 구성의 일부를 적절하게 변경함으로써 실시할 수도 있다.

예를 들어, 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태에서는 인버터 부품(50)의 납땜에 가열로(13)를 이용하고, 반송용 컨베이어(20)를 냉각하고 있지만, 다른 작업물에 적용하는 것도 무방하다. 또한, 가열로(13)의 내부뿐만 아니라, 반송 장치(10)의 하공정에서의 냉각에 사용하는 것도 무방하다.

또한, 본 실시 형태에 나타내고 있는 재료에 대해서도, 특별히 이것에 한정되는 것은 아니다.

10 : 반송 장치
11 : 석영 유리판
12 : 모터
13 : 가열로
15 : 감압실
20 : 반송용 컨베이어
21 : 반송용 롤러
21a : 외주부
21b : 내주부
21c : 리브부
21d : 공간
22 : 구동용 풀리
23 : 회전축
24 : 격벽
25 : 롤러 냉각 부재
25a : 냉각판 부재
25b : 냉각용 파이프
25c : 간격판 부재
26 : 벨트
27 : 지지벽
30 : 할로겐 히터
40 : 캐리어 팔레트
50 : 인버터 부품

Claims (8)

1. 작업물을 반송하는 반송 컨베이어와, 상기 반송 컨베이어의 일부를 덮고 상기 작업물의 가열을 행하는 가열로와, 상기 반송 컨베이어를 냉각하는 냉각 기구를 구비하고, 상기 반송 컨베이어를 상기 냉각 기구에 의해 냉각하는 반송 장치에 있어서,
   상기 작업물이 반송되는 상기 반송 컨베이어에, 상기 작업물에 접촉하여 상기 작업물의 반송을 행하는 복수의 반송용 롤러를 구비하고,
   상기 냉각 기구가, 상기 반송용 롤러의 외주를 둘러싸고, 상기 반송용 롤러의 외주의 일부를 돌출시키는 개구부를 갖는 롤러 냉각 부재를 구비하고,
   상기 롤러 냉각 부재는, 상기 작업물의 반송 방향을 따라 배열되는 복수의 상기 반송용 롤러의 원호를 따라 사행하여 만곡 형성되는 냉각용 파이프를, 복수매의 판 부재 사이에 각각 끼워 배치하여 구성되는 것을 특징으로 하는, 반송 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 반송용 롤러는, 상기 작업물과 접촉하는 외주부와, 상기 외주부와 공간을 사이에 두고 내측에 설치되어, 회전축에 장착되는 내주부와, 상기 외주부와 상기 내주부를 접속하는 리브부로 구성되는 것을 특징으로 하는, 반송 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 냉각 기구가, 상기 냉각용 파이프의 내부에 냉매를 공급하여 순환시키는 냉매 냉각 순환 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 반송 장치.
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